JP2000357488A

JP2000357488A - 質量分析装置及び質量分析方法

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Publication number: JP2000357488A
Application number: JP2000118476A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Kato; 義昭加藤
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1999-04-15
Filing date: 2000-04-14
Publication date: 2000-12-26
Anticipated expiration: 2020-04-14
Also published as: JP3707348B2

Abstract

(57)【要約】【課題】一台の質量分析計に複数のイオン源を装着し、
イオン源の迅速な切り替えを実現することで、複数の測
定を並行的に実行することが可能な装置を提供する。【解決手段】イオン源で生成したイオンを質量分析計に
導き質量分析する質量分析装置において、複数のイオン
源と、当該複数のイオン源の内、少なくとも一のイオン
源からのイオンを電界を発生させることによって前記質
量分析計へ向かうように偏向する偏向手段を有する。【効果】複数のイオン源を備えたＬＣ／ＭＳ，ＧＣ／Ｍ
Ｓ，プラズマイオン化ＭＳ等において、複数のイオン源
を稼動させながら、質量分析を行うことが可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、質量分析装置に関
わり、特に複数のイオン源を同時に装着し、測定の効率
向上や単位時間当たりの情報量の拡大を図るに最適な質
量分析装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ガスクロマトグラフ直結質量分析
計（ＧＣ／ＭＳ）や液体クロマトグラフ直結質量分析計
（ＬＣ／ＭＳ），プラズマイオン化質量分析計（プラズ
マイオン化ＭＳ）などの分析装置が、環境，医学，薬学
等広範な領域で用いられるようになったきた。

【０００３】ＧＣ／ＭＳ，ＬＣ／ＭＳは、極微量の有機
化合物の定性，定量分析に、プラズマイオン化ＭＳは、
微量金属の定性，定量分析に用いられる。ＧＣ／ＭＳや
ＬＣ／ＭＳは分離手段であるガスクロマトグラフ(ＧＣ)
や液体クロマトグラフ(ＬＣ)と質量分析計（ＭＳ）が結
合した分析装置である。プラズマイオン化ＭＳは質量分
析計（ＭＳ）と大気圧下で動作するプラズマイオン源が
結合した分析装置である。

【０００４】ＬＣ／ＭＳは、液体クロマトグラフ（Ｌ
Ｃ），大気圧イオン源，質量分析計（ＭＳ），データ処
理装置等で構成される。質量分析計は１０^-3Ｐａ以上の
高真空を必要とするのに対して、ＬＣは大気圧下(１０⁵
Ｐａ）で水や有機溶媒などの液体を取り扱う機器であ
る。そのため、この二つの機器の相性が悪く、これら機
器の結合は困難を極めた。しかし、真空技術の進歩と大
気圧下で溶液を噴霧しイオン化する大気圧イオン源の開
発によりＬＣ／ＭＳは実用的なものとなった。図３１に
一般的なＬＣ／ＭＳの模式図を示す。

【０００５】ＬＣ／ＭＳの測定は、一般に以下の手順で
行われる。

【０００６】ポンプ１１により送られる移動相中に、試
料はオートサンプラ１２により自動的に注入される。試
料は分析カラム１３により成分毎に分離される。分離さ
れた成分は、ＬＣ／ＭＳの大気圧イオン源２０に導入さ
れる。導入された成分は、大気圧イオン源２０でイオン
化される。生成したイオンは油回転ポンプ２２で排気さ
れた中間圧力室２１を経て、ターボ分子ポンプ２６によ
り排気された高真空室８０に導入される。イオンはこの
高真空室８０に置かれた質量分析計８２により質量分析
され、検出器８３によりイオン電流として検出される。
最終的にデータ処理装置８４によりマススペクトルやマ
スクロマトグラムなどを与える。

【０００７】一般のＬＣ／ＭＳ測定の場合、試料導入開
始から一試料の分析が終了するまでの時間は、約一時間
程度必要である。それは、ＬＣの分離時間（３０分程
度）が先ず必要であり、また、ＬＣ分析には移動相の組
成を時間とともに変化させるグラジエント分析がある
が、この場合には、分析が終了しても、元の移動相組成
に戻す時間（２０，３０分）が必要だからである。この
ため、試料測定サイクルは１時間程度必要となる。その
ため、自動測定にしても、ＬＣ／ＭＳ一台あたりの一日
の処理検体数は２０から３０検体程度に過ぎない。

【０００８】ＬＣ／ＭＳのイオン源としては、大気圧化
学イオン化イオン源（ＡＰＣＩ）とエレクトロスプレイ
イオン源(ＥＳＩ），ソニックスプレイイオン源(ＳＳ
Ｉ）が現在広く用いられている。ＡＰＣＩは中性・弱極
性の化合物に、ＥＳＩやＳＳＩは高極性・イオン性の化
合物のイオン化に適している。これらのイオン化は相補
的な情報を与えてくれる。また、イオン化の極性（正，
負）によっても与える情報は異なってくる。一つの試料
であってもＬＣ／ＭＳ分析から出来るだけ多くの情報を
引き出すために、測定者はイオン源（ＥＳＩ／ＡＰＣＩ
／ＳＳＩ）を切り替えたり、イオン化の極性を切り替え
たり、移動相，カラム等の分析条件の変更などを頻繁に
行なっている。

【０００９】このなかで、イオン源の切り替えは装着さ
れているイオン源を人手により取り外し、新たなイオン
源を装着する方法が広く行われている。これはＥＳＩ，
APCI，ＳＳＩのイオン源の構造が大きく異なるためであ
る。このイオン源の交換は、以下の様に多くの作業と時
間を必要とする。

【００１０】先ず、ＬＣやイオン源を停止する。イオン
源温度が室温に戻るまで待つ。次に、イオン源を取り外
し、新イオン源を装着する。イオン源の電源を投入しイ
オン源を加熱する。ＬＣカラムに移動相を流しコンデシ
ョニングを行なう。標準試料によるキャリブレーション
など行なう。

【００１１】以上、イオン源の交換には、このように多
くの手順，手間、更に、時間と人手を必要とする。この
煩わしさを嫌い、多くの測定者は装着された一つのイオ
ン源で全ての試料の分析を済ませてしまおうとする事が
往々にしてある。その結果、ネガティブな分析結果を得
る事が多い。これは、ＬＣ／ＭＳ分析においては、３種
類のイオン源を用いて測定していれば、たとえ試料が一
種類であっても、少なくとも６種類（３種類のイオン源
×正負スペクトル＝３×２＝６）の異なるデータが得ら
れる可能性があるにも関わらず、測定者がこの可能性を
自ら放棄した事になる。また当然ながら、イオン源の交
換が人手によるため、全分析の自動化は不可能である。

【００１２】このＬＣ／ＭＳの処理能力不足の問題を解
決するために、複数のイオン源を簡単に切り替える方法
がいくつか提案されている。

【００１３】特開平７−７３８４８号公報には、ＡＰＣ
Ｉ，ＥＳＩのイオン源の交換を簡単に行なう機構が開示
されている。ＬＣ／ＭＳ装置のイオン源部に大きな回転
台を設け、ＥＳＩとＡＰＣＩの２つのイオン源を回転台
に装着する。この回転台を回転させてＥＳＩとＡＰＣＩ
の切り替えを行なう。この方法では、イオン源交換の手
間はかなり簡素化されるが、ＡＰＣＩ，ＥＳＩの分析を
シリーズに行う必要があるため、分析時間の短縮化は図
れない。当然コンデショニングなどの時間の短縮も図れ
ない。また、測定の多様さ（イオン化法の切替，正／負
極性切替など）に対応する時間短縮法についても何も示
されていない。単位時間あたりの測定効率を向上させる
技術等も開示されていない。

【００１４】複数のイオン源を一つの質量分析計に接続
する別の技術が、Journal ofAmerican Society for Mas
s Spectrometry 第３巻（１９９２年）６９５ページか
ら７０５ページに示されている。これは、２つの大気圧
イオン源で生成したイオンをＹ字形のキャピラリの２つ
の入り口から別々に取り込み、質量分析計に送り込むも
のである。どちらか一方からのイオンを大気圧下からサ
ンプリングすれば、イオン源の機械的な交換無しに、イ
オン源を切り替える事が出来る。しかし、この方式にお
いては大きな問題がある。一つの分析を行なう場合、２
つのイオン源の内、一方は稼動状態、もう一方は不稼動
状態である事が必要である。不稼動状態にするにはイオ
ン源の電源を遮断した上、更にＬＣからの送液も停止す
る必要がある。それはＹ字形キャピラリの２つの入り口
からイオンと中性のＬＣ溶液の気体分子が吸入される
と、Ｙ字形キャピラリの途中でイオンと溶液分子との混
合が起きる。そこで、イオン分子反応が起きてしまい、
正しいマススペクトルを与えなくなる恐れが有る。しか
し、ＬＣの停止はＬＣ分析を行なっている間は全く不可
能である。そのため、この方式ではイオン源交換の機械
的な手間は省けても、ＬＣ／ＭＳ分析の測定効率向上は
図れない。

【００１５】図３２には、２つのＬＣと一つのＭＳを結
び付けた従来の方式を示す。分離された成分は、溶離液
と共に二つのＬＣ１０及びＬＣ３０から送出される。こ
の溶離液を切り替えバルブ１９０を経て、大気圧イオン
源２０に導入し、質量分析計８２によりマススペクトル
を得る。２つのＬＣ流路は、必要な時に切り替えバルブ
１９０を切り替える事により達成できる。この方式の利
点は、選択された一つのＬＣと別のＬＣを両方とも停止
することなくＬＣ分離を行なえる事である。しかしなが
ら、この方式は、２つのＬＣを高速に切り替える事が困
難であり、並行分析は不可能である。当然、同じ時間に
分析対象がＬＣ１０とＬＣ３０から溶出する場合、一方
のＬＣしか分析できない。また、切り替えバルブ１９０
および連結パイプ３４中で２つの溶離液が混合する恐れ
が有るため、高速のＬＣの切替はできない。

【００１６】特開平６−２１５７２９号公報には、２種
類のＬＣのイオン源とＧＣのイオン源を組み合わせた例
が示されている。これは、ＬＣ／ＭＳとＧＣ／ＭＳの両
方の機能を備えるようにしたものであり、任意に切り替
えて使用することができるものである。更に、ＬＣ／Ｍ
Ｓとして使用するときには、ディフレクタ電極の電圧を
切り替える事で、２種類のイオン源を使用できるように
したものである。しかし、この構成ではＬＣから流入さ
れる大量の溶媒を取り除く手段が示されていない。その
ため、２つのイオン源が互いに汚染し合う事によるバッ
クグラウンドレベルの上昇などが大きな問題となる。高
感度のイオン化手段であるＥＩを用いるＧＣ／ＭＳとＬ
Ｃ／ＭＳの併用は、ＧＣ／ＭＳの高感度を大きく損ねて
しまう。即ち、ＬＣ／ＭＳあるいはＧＣ／ＭＳとして実
際の使用は困難である。また、同時にＬＣとＧＣの測定
を行なうことはできない。また、ＬＣ／ＭＳとして使用
するときは、２種類のイオン源を使用できるものの、２
組のディフレクタ電極を使用するため、イオンを効率よ
く質量分析計へ導入するためのディフレクタ電極の軸合
せをそれぞれ行なう必要がある。さらに、２種類のイオ
ン源を同時に使用しているとき、分析を行なわない方は
ディフレクタ電極によって質量分析計以外にイオンの飛
行方向を偏向させる必要が有る。質量分析計に導かれな
いイオンは装置内の壁面に衝突し、ディフレクタ電極を
汚したり、二次電子を発生させ、ノイズの原因となる。
従ってイオン源の切り替えはできても、結局の所、２組
のイオン源の同時使用は困難である。

【００１７】一方、イオン源と質量分析計の間に静電偏
向器を置き、イオンを偏向する技術自身は特許、文献等
に記載されている。大気圧イオン源と質量分析計の間に
四重極偏向器を配置した例として、特開平７−７８５９
０号公報がある。この例では、大気圧下で動作するプラ
ズマイオン源で生成したイオンを四重極偏向器により９
０度偏向し質量分析計に導くものである。これによりプ
ラズマイオン源で生成した光、中性微粒子が質量分析
計、検出器に入射しなくなり、高Ｓ／Ｎ比が得られると
している。ここでは、四重極偏向器は専ら、一つのイオ
ン源で生成されたイオンの９０度偏向のために用いるの
みで、複数のイオン源の切り替え、並行導入等の技術開
示は全くなされていない。

【００１８】米国特許5,073,713 には、キャピラリ電気
泳動，大気圧イオン源（ＥＳＩ）と質量分析計が開示さ
れている。この特許の構成部品の一つとして四重極偏向
器が開示されている。この四重極偏向器の役目は、ＥＳ
Ｉで生成し、真空室に導入されたイオンを中性微粒子な
どから分離し、Ｓ／Ｎ比の向上を図るものである。この
例の中には、複数のイオン源との結合、切り替え等の技
術の開示は一切無い。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】ＬＣ／ＭＳの測定は、
ＬＣの分離時間の短縮と自動測定により能率化が図れて
きた。しかし、イオン源の交換は相変わらず人手によら
なければならないものが多い。さらに、一つのＬＣから
の溶出する成分を一つの質量分析計が引き受けシーケン
シャルに処理するだけでも、ＬＣの分離、グラジエント
溶出のイニシャライズなどのための時間は必ず必要であ
る。そのため、全体の測定時間の短縮は図られていない
ばかりか、測定対象試料や測定項目が増えるたびに全体
での測定時間は伸びるばかりであった。

【００２０】近年、測定対象試料が急激に増加するとと
もに、これら分析装置も高い処理能力が要求されるよう
になってきた。また、一方で水質分析などの場合、測定
分野が一つにも関わらず、測定手法がＧＣ／ＭＳ，ＬＣ
／ＭＳ，プラズマイオン化ＭＳなど多肢に渡るものが多
くなった。そのため、分析毎に装置を準備しなければな
らず、コストの急騰、広いスペースを必要とするなど問
題が多くなった。そのため、データの纏めを含め、分析
装置の低価格化，小型化，一体化等が強く要求されるよ
うになった。しかしながら、従来の技術ではこれら要求
に応えるものはなかった。

【００２１】本発明は、かかる問題点を解決するために
成されたものであり、一台の質量分析計に複数のイオン
源を装着し、イオン源の迅速な切り替えを実現すること
で、複数の測定を並行的に実行することが可能な装置を
提供することを目的としたものである。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の特徴は、イオン源で生成したイオンを質量分
析計に導き質量分析する質量分析装置において、複数の
イオン源と、当該イオン源の内、任意のイオン源からの
イオンを前記質量分析計へ向かうように偏向する偏向手
段を有することである。

【００２３】上記偏向手段は、具体的には、２枚の平板
電極から成る静電偏向器か、あるいは４つの電極から成
る四重極偏向器によって構成される。

【００２４】本発明の構成によれば、複数のイオン源が
同時にイオンを生成している状態でも、所望のイオン源
からのイオンを選択的に質量分析計に対して導入する事
が出来る。静電偏向器を用いた構成であれば、全てのイ
オン源からのイオンを同時に質量分析計へ導くことも可
能となる。

【００２５】また、本発明に適用できるイオン源とし
て、エレクトロスプレイイオン源，大気圧化学イオン
源，ソニックスプレイイオン源，誘導結合プラズマイオ
ン源，マイクロ波誘導イオン源，電子イオン化イオン
源，化学イオン化イオン源，レーザイオン化イオン源，
グロー放電イオン源，ＦＡＢイオン源，二次イオン化イ
オン源を用いることが出来、これらのイオン源を種類を
問わず組合わせて使用することも可能である。

【００２６】

【発明の実施の形態】（第一の実施例）図１は、本発明
による大気圧イオン化ＬＣ／ＭＳ装置の一実施例を示
す。

【００２７】図１に示されるように、本実施例の大気圧
イオン化ＬＣ／ＭＳにおいては、２台の液体クロマトグ
ラフ（以下、ＬＣ）が、それぞれ大気圧イオン源を介し
て１台の質量分析装置（以下、ＭＳ）に接続される。

【００２８】ここで、１台のＬＣからの試料を質量分析
計で分析を行う際の動作を説明する。

【００２９】ＬＣ１０において、移動相（溶離液）は溶
離液瓶からポンプ１１により送り出され、オートサンプ
ラ１２に供給される。試料溶液はオートサンプラ１２に
より溶離液中に注入され分析カラム１３に導入される。
この分析カラム１３により試料は成分毎に分離される。
分離された成分は分析カラム１３を出て、連結パイプ１
４を経て、大気圧下の第一のイオン源２０の噴霧キャピ
ラリ１５に導入される。噴霧キャピラリ１５の先端部に
は、高電圧電源１７から供給される３ｋＶ〜６ｋＶ程度
の高電圧が印加されている。ここで試料溶液は、キャピ
ラリと同軸方向に噴出する高速の噴霧ガス１６と高電界
により大気圧の噴霧空間１８中に電荷を持った微細な液
滴１８として噴出される。この微細な液滴１８は大気中
のガス分子と衝突して更に微細化し、最終的にイオンが
大気中に放出される。

【００３０】第一のイオン源２０で生成したイオンは、
真空ポンプ８６で真空排気された真空室８０に導入さ
れ、イオンは真空室８０内に置かれたイオン加速電極２
３に印加されたイオン加速電圧Ｖａ１により加速され
る。イオンは真空中を飛行し静電偏向器７０に導入さ
れ、静電偏向器７０内の静電界により右方向に偏向さ
れ、静電偏向器第二電極７２に開けられた細孔７３を通
過して質量分析計８２に導かれる。ここでイオンは質量
分析される。イオンは検出器８３により検出され、デー
タ処理装置８４によりマススペクトルやマスクロマトグ
ラムなどを与える。制御装置８５はデータ処理装置８４
に接続され、液体クロマトグラフ，大気圧イオン源，質
量分析装置などを制御する。

【００３１】真空筐体９４の壁面には、静電偏向器７０
を介して第一のイオン源２０と相対する位置に、第二の
イオン源４０が装着されている。ＬＣ３０から送り込ま
れた試料成分は第二のイオン源４０に送られイオン化さ
れる。生成したイオンは真空室８０に送り込まれる。こ
こで、イオン加速電極４３に印加されたイオン加速電圧
Ｖａ２によりイオンは加速される。静電偏向器７０に入
射したイオンは、静電偏向器７０内の静電界により右方
向に偏向される。

【００３２】複数のイオン源２０，４０からイオンが静
電偏向器７０に同時に入射すると、どちらのイオン源か
らのイオンも共に偏向され、細孔７３を経て質量分析計
８２に送り込まれる。質量分析計８２は同時に導入され
たイオンを差別することなく質量分析する。その結果、
複数のイオン源によるマススペクトルの積算が可能にな
る。

【００３３】一方、各々のイオン源の加速電極２３や４
３に印加される加速電圧Ｖａ１，Ｖａ２を制御すれば、
複数のイオン源の中から一つのイオン源を選び、このイ
オン源からのイオンのみを質量分析計８２に送り込む事
ができる。即ち、Ｖａ１のみＯｎにし、Ｖａ２をＯｆｆ
(接地電位にする。)にすれば、第一のイオン源で生成し
たイオンのみが質量分析できる事になる。逆にＶａ１を
Ｏｆｆとし、Ｖａ２をＯｎとすると第二のイオン源で生
成したイオンを質量分析できる。結果として、イオン加
速電圧を印加する電極（特定のイオン源）を選べば、あ
る時刻において測定イオン源を自由に選択できる。

【００３４】ここで、図２に本実施例で用いたイオン源
２０，静電偏向器７０などの模式図を示す。

【００３５】静電偏向器７０は、円形または多角形の平
板よりなる電極７１と７２を平行に向かい合わせになる
ように組み立てたものである。二枚の電極の内、質量分
析計８２側の第二電極７２には、中央に細孔７３を設け
る。２つの電極７１と７２は、絶縁物を介して組み立て
られ、真空ポンプ８６により真空排気された真空室８０
内に収められる。

【００３６】第一のイオン源２０で生成されたイオン
は、真空筐体９４の壁とイオン加速電極２３の間に電源
２４によって印加されたイオン加速電圧Ｖａ１により加
速される。イオン加速電極２３によって加速されたイオ
ンは、真空中を飛行して静電偏向器７０に入射し、偏向
される。偏向は、静電偏向器７０の２つの電極７１と７
２間に電源７４から直流電圧を印加することで行われ
る。今、正のイオンビーム８８がイオン加速電極２３か
ら入射したとすると、電極７１に正の電位＋Ｖd1、電極
７２に負の電位−Ｖｄ１を印加することで、イオンは偏
向され細孔７３から質量分析計８２側に出射する。負イ
オンが入射した場合は、逆の電位を印加することで、容
易に質量分析計８２へ導くことが出来る。

【００３７】このように静電偏向器７０は、イオンを簡
単に偏向することができる。

【００３８】図３に、本実施例の装置外観を示す。

【００３９】ＬＣ１０から送られる試料成分を含む溶離
液は連結チューブ１４を経て第一のイオン源２０に送ら
れる。ＬＣ３０からの溶離液は同様に連結チューブ３４
を経て第二のイオン源４０に送られる。

【００４０】これらのイオン源からのイオンは、それぞ
れのイオン加速電極に印加するイオン加速電圧のＯＮ／
ＯＦＦにより、自由に切り替えて静電偏向器７０へ導く
ことが出来る。

【００４１】図４に、図３に示したＬＣ／ＭＳ装置の詳
細な模式図を示す。

【００４２】第一のＬＣ１０を構成するポンプ１１から
送液された溶離液は、オートサンプラ１２に供給され
る。ここで試料が溶離液中に導入され分離カラム１３に
より分離される。分離カラム１３で成分毎に分離された
試料成分は、連結チューブ１４を経て大気圧イオン源２
０に導入される。試料溶液は、高電圧が印加された噴霧
器１５から大気中に電荷を持った微細な液滴として噴霧
される。大気中を電界に沿って進む微細な液滴は大気分
子と衝突し更に微細化される。最終的に大気中にイオン
が放出される。生成したイオンは油回転ポンプ２２で排
気された中間圧力室２１を経て、ターボ分子ポンプ２６
で排気された高真空室２７に導入される。ここでイオン
は、イオン加速電極２３に印加されたイオン加速電圧Ｖ
ａ１により加速され、静電偏向器７０に入射する。この
静電偏向器７０によりイオンは偏向を受け静電偏向器第
二電極７２の中央に開けられた細孔７３から出射する。
アインツエルレンズ２５により再び収束されたイオン
は、ターボ分子ポンプ８６で排気された別の真空室８０
に導入される。真空室８０内に置かれた質量分析計８２
により、イオンは質量分析され検出器８３でイオン電流
として検出される。データ処理装置８４はデータを整理
し、マススペクトルやマスクロマトグラムを与える。制
御装置８５はデータ処理の制御の基で、ＬＣ１０，３０
やイオン源２０，４０および質量分析計８２などを制御
する。

【００４３】一方、もう一つのＬＣ３０は、同様にポン
プ３１，オートサンプラ３２，分析カラム３３などで構
成される。試料は第二のイオン源４０でイオン化され
る。生成したイオンは中間圧力室４１を経て、イオン加
速電極４３や静電偏向器７０が置かれた真空室に導かれ
る。

【００４４】尚、第一のイオン源２０と第二のイオン源
４０からのイオンの導入は、イオン加速電極２３，４３
の印加電圧Ｖａ１，Ｖａ２を制御することで、選択が自
由に行える。

【００４５】以上は、二つのイオン源を装着した例を示
したが、これ以上のイオン源を装着することも可能であ
る。この場合のイオン源の配置例を図５に示す。

【００４６】複数のイオン源２０，４０，６０，６２を
静電偏向器７０を中心として、真空筐体９４の壁面に配
置装着する。真空筐体９４の壁には、イオンが通過する
細孔が開けられている。実際は静電偏向器７０の細孔７
３を中心として放射状になるように配置する。イオンを
同じ加速電圧で加速し導入すれば、イオンはすべて等し
く偏向を受け細孔７３に入射する。

【００４７】特定のイオン源からのイオンのみを選択的
に質量分析計に導入したい場合には、イオン源の加速電
圧印加を制御すれば良い。例えばイオン源２０のイオン
を測定する場合、イオン加速電極２３にのみ加速電圧を
印加し、他のイオン加速電極４３，６１，６３にはすべ
て電圧を印加しないようにする。

【００４８】図７から図９に一つのイオン源の選択につ
いて模式的に示した。図７ではイオン加速電極２３にの
み加速電圧Ｖａ１が印加される。また、他のイオン源
（図中では省略）のイオンは加速されないようにしたた
め、静電偏向器７０に入射しない。同様に、図８では第
二のイオン源４０が選択され、図９では第三のイオン源
６０がそれぞれ選択された例である。

【００４９】また、複数のイオン源のイオンを質量分析
計に導入する場合は、複数のイオン源のイオン加速電極
に同時に加速電圧を印加する。例えば、イオン源２０と
４０のイオンを積算したい場合は、イオン加速電極２
３，４３のイオン加速電圧をＯｎとし、イオン加速電極
６１，６３のイオン加速電圧をＯｆｆとすればよい。

【００５０】選択されたイオン源のイオンは、偏向され
細孔７３を通り質量分析計８２に送り込まれる。（紙面
に水平に飛行後、紙面に垂直な力を受け、紙面に垂直な
方向から細孔７３を通過する。）静電偏向器７０の形状
は図５に示したように円形でも、図６に示したように多
角形でも良い。

【００５１】イオン源の選択には、イオン加速電極に印
加するイオン加速電圧のＯＮ／OFF以外に別の方法があ
る。

【００５２】イオン加速電圧Ｖａ（真空筐体９４の壁と
イオン加速電極間の電圧）と細孔７３を通過させる偏向
電圧Ｖｄ（電極７１，７２間の電圧）との間には厳密な
相関が有る。図１０に示すように、高いイオン加速電圧
Ｖａで加速されたイオンビーム７６は、静電偏向器７０
内の電界で偏向しきれず、細孔７３の先まで到達してし
まう。その結果、イオンビーム７６は細孔７３を通過で
きない。また、イオン加速電圧Ｖａが低い場合、逆にイ
オンビーム７５は静電界で大きく偏向され、細孔７３の
手前で電極７２に衝突してしまう。イオンビーム７５は
細孔７３を通過できない。

【００５３】即ち、イオン加速電圧Ｖａと静電偏向器７
０の印加電圧Ｖｄとの間には、Ｖａ／Ｖｄ＝ｋの関係が
成り立つ。静電偏向器７０の印加電圧Ｖｄを一定値とし
て、一つのイオン源のみ正確なイオン加速電圧（Ｖａ＝
ｋＶｄ）を与え、他のイオン源の加速電圧の値をずらせ
ば（Ｖａ′≠ｋＶｄ）、一つだけのイオン源を選択でき
る。

【００５４】逆に、各イオン源のイオン加速電極に別々
のイオン加速電圧Ｖａ１，Ｖａ２，Ｖａ３，…を印加し
て置き、イオン源を選択する時は、Ｖａ＝ｋＶｄの式に
合致した静電偏向器印加電圧Ｖｄを選び印加することで
も特定のイオン源を選択できる。例えば、第二のイオン
源４０を選ぶときは，ＶｄはＶｄ＝ｋＶａ２となる。

【００５５】実際の装置においては、各イオン源と細孔
７３との距離，位置，イオンの侵入角度などを全く同一
にすることは困難であり、そのため、ｋは一定とならな
い。従って、予めイオン源を切り替える際に、イオン加
速電圧Ｖａや静電偏向器の印加電圧Ｖｄは、イオン源毎
に微細な調整をする必要がある。この値はデータ処理装
置８４が記憶しておいて、切り替え時にデータ処理装置
８４から制御装置８５を経て各電源に信号を送り設定す
ればよい。

【００５６】Ｖａ，Ｖｄの最適値を、いちいち測定者の
手によること無く、自動的に求める事ができる。図１
１，図１２にその動作模式図を示す。

【００５７】図１１は、静電偏向器７０の印加電圧Ｖｄ
を一定として、各イオン源の最適イオン加速電圧Ｖａを
求める動作手順を示す。以下に手順を示す。（１）各イオン源を動作状態とする。（２）ｔ１で、静電偏向器７０の印加電圧Ｖｄを印加す
る。（３）第一，第二，第三，…全てのイオン源のイオン加
速電圧Ｖａを接地電位とする。（４）わずかな待ち時間ｔ１１後、第一のイオン源の加
速電圧Ｖａ１を掃引する。この場合、前回測定時の値Ｖ
ａ１のデータがあれば、零からではなく、このＶａ１の
±１０％程度を掃引すれば、十分であり時間の節約にも
なる。掃引しながら、質量分析計８２により、全イオン
量または、特定イオンのイオン電流値を計測する。（５）イオン電流値が最大値となる点が、イオン加速電
圧Ｖａ１の最適値である。即ち、細孔７３を通過したイ
オンが最大となる点Ｖａ１が求まる。この時の加速電圧
Ｖａ１をデータ処理装置８４は記憶する。（６）同様に、第二，第三，…のイオン源について、Ｖ
ａ２，Ｖａ３…を求める。これにより、各イオン源の最
適イオン加速電圧Ｖａは決定され、データ処理装置８４
により、イオン源の選択が可能になる。

【００５８】図１２は、各イオン源の加速電圧Ｖａを一
定として、各イオン源毎の最適静電偏向器印加電圧Ｖｄ
を求める動作手順を示す。（１）各イオン源を動作状態とする。（２）第一，第二，第三，…のイオン源のイオン加速電
圧Ｖａを接地電位とする。（３）静電偏向器の印加電圧Ｖｄを接地電位とする。（４）ｔ１で、第一のイオン源の加速電圧Ｖａ１を印加
する。（５）ｔ１１から、静電偏向器の印加電圧Ｖｄを掃引す
る。この場合、前回測定時のＶｄのデータがあれば、零
からではなく、このＶｄの値の±１０％程度を掃引すれ
ば、十分であり時間の節約にもなる。掃引しながら、質
量分析計８２により、全イオン量または、特定イオンの
イオン電流値を計測する。（５）イオン電流値が最大値となる点が、静電偏向器の
印加電圧Ｖｄ１の最適値である。即ち、細孔７３を通過
したイオンが最大となる点が求まる。この時の加速電圧
Ｖｄ１をデータ処理装置８４は記憶する。（６）同様に、第二第二，第三，のイオン源について、
Ｖｄ２，Ｖｄ３…を求める。これにより、各イオン源毎
の最適静電偏向器印加電圧Ｖｄは決定され、データ処理
装置８４により、イオン源の選択が可能になる。

【００５９】図１３にイオン源切替の動作手順を示す。
尚、ここでは、イオン源が二つの場合の例で説明する。

【００６０】ある時刻において第一のイオン源２０を選
択する。先ず、測定者はデータ処理装置８４に第一のイ
オン源２０の選択を指示する。データ処理装置８４は、
記憶されたイオン加速電圧Ｖａ１や静電偏向器印加電圧
Ｖｄ１と切替指示を制御装置８５に送る。制御装置８５
はＶａ１の設定信号とＶａ２リセット信号を信号線９４
を介してイオン加速電源２４に送る。これにより、イオ
ン加速電源２４はＶａ１の設定とＶａ２のリセットを電
源線９５，９６を通じて行なう。静電偏向器７０の印加
電圧Ｖｄ１は、制御装置８５から信号線９３を介して静
電偏向器電源７４に送られ、電極７１，７２に電源線９
１，９２を介して設定される。この結果、第一のイオン
源２０で生成したイオンのみが加速、偏向され質量分析
される。即ち、第一のイオン源２０が選択された事にな
る。イオン源の選択が完了すれば、通常の質量分析の手
順に従い分析を行ない、データ処理装置８４によりデー
タ収集を行なう。

【００６１】また、第二のイオン源４０の選択も、同様
に行なわれる。即ち、Ｖａ２をＯｎにする一方、Ｖａ１
をＯｆｆ（接地電位）とする。（第二の実施例）図１４に本発明の第二の実施例を示
す。

【００６２】第一の実施例では、複数のイオン源に対し
て、それぞれ個別の液体クロマトグラフが用意されてい
た。この場合、ＬＣ測定を含めてイオン源を一緒に切り
替える事ができる。

【００６３】これに対して本実施例においては、１台の
ＬＣから流出する試料成分を分岐ティー７８で分流して
２つのイオン源に送るものである。更に本実施例では、
第一のイオン源２０にはＥＳＩを採用し、第二のイオン
源４０にはＡＰＣＩを採用し、必要によりイオン源を切
り替える。

【００６４】ＬＣに逆相カラムを装着した場合、保持時
間が早い（小さい）時間にイオン性，高極性の化合物が
溶出する。一方、保持時間が遅く（大きく）なると疎水
性の化合物が溶出する。ＬＣ／ＭＳイオン源の中で、Ｅ
ＳＩはイオン性，高極性の化合物を高感度にイオン化で
きるのに対して、ＡＰＣＩは低極性や中極性の化合物を
イオン化し易い。これを利用して、保持時間の早い間は
ＥＳＩ，遅くなったらＡＰＣＩに切り替えて分析する
と、極性の大きく異なる成分を含む試料を一回の測定で
分析可能になる。

【００６５】また本実施例の応用として、同じ種類のイ
オン源（例えばＥＳＩを２台）を用い、イオン化の条件
（ＥＳＩ印加電圧，カウンタガス温度，ドリフト電圧な
ど）を大きく変えて測定をしてもよい。

【００６６】また、２つのイオン源を同時に作動させ質
量分析計８２に導入するイオンの量を増やしＳ／Ｎ比改
善を図る事もできる。

【００６７】また更に、イオン源を３台装着する構成で
あれば、第一のイオン源２０にＥＳＩ，第二のイオン源
４０にＡＰＣＩ、第三のイオン源をＳＳＩとすることに
より、この３つのイオン源の交換をイオン加速電圧Ｖａ
を瞬時に切り替えることで容易に行うことが可能にな
る。（第三の実施例）図１５に、第三の実施例の模式図を示
す。図１５は、ガスクロマトグラフ（以下、ＧＣ）とＭ
Ｓを接続した所謂ＧＣ／ＭＳであり、ＧＣを２組接続し
た例である。

【００６８】オートサンプラ１００より採取された試料
溶液は、ＧＣ１０１の注入口１０２に注入される。試料
溶液はここで加熱気化されＧＣカラム１０３に導入され
る。ＧＣカラム１０３を経て成分毎に分離された試料
は、ターボ分子ポンプ２６で排気された真空室に置かれ
たイオン源１０４に導かれる。イオン源１０４は通常の
ＭＳで用いられるイオン源であれば、電子イオン化（Ｅ
Ｉ）イオン源や化学イオン化（ＣＩ）イオン源、また他
のイオン源でも良い。ＥＩの場合、フィラメント（図示
なし）から放出された熱電子の衝撃を受け、試料分子は
イオン化される。ＣＩの場合、イオン分子反応によりイ
オンが生成される。生成したイオンはイオン源から放出
され静電偏向器７０に入射する。

【００６９】ここでＧＣ１０１の分析を行う場合は、イ
オン源１０４から入射したイオンが偏向され、ターボ分
子ポンプ８６で排気された高真空室８０内に置かれた質
量分析計８２に導かれて質量分析される。別のＧＣ１１
１を経て導入される試料分子は、イオン源１１４でイオ
ン化される。

【００７０】イオン源１０４と１１４は、静電偏向器７
０の細孔７３を中心に放射状の位置に配置される。質量
分析計８２は、この軸に直角となる位置に配置される。
ＧＣ／ＭＳの場合、ＬＣ／ＭＳの場合と異なり、イオン
源はターボ分子ポンプ２６で排気された独立の真空室に
配置される。

【００７１】本実施例で示すように、ＧＣ／ＭＳにおい
ても、上述の実施例で示したＬＣ／ＭＳと同様に、イオ
ン加速電極２３，４３の印加電圧を制御するのみで、瞬
時にイオン源の切り替えを行うことが可能となる。（第四の実施例）図１６に、第四の実施例を示す。図１
６に示される構成は、ＬＣとＧＣが同時にＭＳに接続さ
れている例である。

【００７２】ＬＣ１０から溶出する成分は大気圧下のイ
オン源２０でイオン化され、油回転ポンプ２２で真空排
気された中間圧力室を経て、ターボ分子ポンプ２６によ
り排気された真空室に導かれる。イオンはイオン加速電
極２３に印加されたイオン加速電圧Ｖａ１により加速さ
れた後、静電偏向器７０に入射し、偏向される。イオン
はさらに細孔７３を経てターボ分子ポンプ８６で排気さ
れた真空室８０に入り、質量分析計８２により質量分析
される。

【００７３】ＧＣ１０１のためのイオン源１０４は、Ｌ
Ｃの大気圧イオン源２０と静電偏向器７０の反対側に設
置されている。大気圧イオン源２０と異なり、ＧＣ／Ｍ
Ｓのイオン源１０４はターボ分子ポンプ２６で排気され
た静電偏向器７０と同じ部屋内に設置されている。これ
はＧＣのイオン源１０４が電子イオン化（ＥＩ）イオン
源で１０^-1Ｐａ程度の真空を必要とするためである。

【００７４】本実施例に示すように、本発明であれば、
１台のＭＳに対してＬＣとＧＣを同時に接続することが
でき、イオン加速電極２３，４３の印加電圧を制御する
のみで、瞬時にイオン源の切り替えを行うことができ、
ＬＣ／ＭＳ測定とＧＣ／ＭＳ測定の両方の測定が可能と
なる。（第五の実施例）図１７には元素の定性，定量分析に用
いられるプラズマイオン源（誘導結合プラズマ（ＩＣ
Ｐ）またはマイクロウエーブ誘導プラズマ（ＭＩＰ））
を２つ接続した質量分析装置の例を示す。

【００７５】Ａｒ（アルゴン）ガスボンベ１２０，１３
０から供給されたＡｒガス中に試料霧化器１２１，１３
１から試料が混合され、プラズマイオン源１２４，１３
４に供給される。誘導コイル１２２，１３２に供給され
る高周波の誘導により、Ａｒは高温のプラズマ１２３，
１３３となる。Ａｒ中の金属元素は高温のプラズマ中で
イオン化される。生成したイオンは、油回転ポンプ２
２，４２で排気された中間圧力室を経て、ターボ分子ポ
ンプ２６で真空排気された真空室に導かれる。真空室に
導入されたイオンは、イオン加速電極２３，４３に印加
されたイオン加速電圧により加速された後、静電偏向器
７０により偏向される。

【００７６】本実施例においても、前述の実施例で示し
たようなイオン加速電極２３，４３への印加電圧の切り
替えを行うことにより、２つのプラズマイオン源からの
イオンを瞬時に選択して質量分析計８２に導入すること
ができる。

【００７７】本実施例において、２つのプラズマイオン
源１２４，１３４は、静電偏向器７０を中心として、同
軸上でかつ質量分析計８２の軸と直角になる位置に配置
される。この様な配置にすることにより、プラズマイオ
ン源から放出される光や中性微粒子が、質量分析計８２
に導かれることがなくなり、従って、低ノイズでありな
がら２つのプラズマイオン源を瞬時に切り替え可能なＩ
ＣＰ−ＭＳを実現することが可能である。

【００７８】尚、２つのプラズマイオン源として、ＩＣ
Ｐのみを設置することも、また、ＩＣＰとＭＩＰを混在
させて設置することも可能である。（第六の実施例）上記第一〜第五の実施例では、複数の
イオン源を静電偏向器７０の周囲に配置し、イオン源を
イオン加速電圧Ｖａと静電偏向器の電界の組合せにより
自由に選択できる事を示した。そこで第六の実施例とし
て、これら複数のイオン源の具体的な切り替えタイミン
グについて示す。

【００７９】本発明におけるイオン源の切り替えタイミ
ングは、イオン加速電極２３，４３への印加電圧の切り
替えタイミングが該当する。本発明では、イオン加速電
極２３，４３への印加電圧の切り替えを質量分析計８２
の質量掃引周期に同期させて行う。イオン源の選択は、
データ処理装置８４及び制御装置８５からの制御によ
り、イオン加速電源２４から選択すべきイオン源のイオ
ン加速電極にイオン加速電圧Ｖａを供給することで行わ
れる。これにより、複数のイオン源の並行測定が可能に
なる。

【００８０】図１８に、２つのイオン源を備えた場合の
イオン加速電圧Ｖａの切り替えによるイオン源の切り替
えタイミングと、質量分析計８２の質量掃引の周期のタ
イミングを示す。横軸は時間の経過である。

【００８１】図１８によれば、時刻ｔ１からｔ２の間は
第一のイオン源が選択されている。

【００８２】ｔ１で、制御電源８５からイオン源の切り
替えの指示が、イオン加速電源２４に行なわれる。イオ
ン加速電源２４は、第一のイオン源２０のイオン加速電
圧Ｖａ１をＯｎとし、他のイオン源の加速電圧をＯｆｆ
とする。静電偏向器７０の印加電圧Ｖｄは印加されたま
まである。これにより、第一のイオン源が選択された事
になる。

【００８３】わずかの待ち時間の後、ｔ１１から質量分
析計８２の質量掃引が質量ｍ１からｍ２に向け開始され
る。質量掃引開始とともにデータ処理装置８４はイオン
電流値を質量とともに計測し、マススペクトルを取得す
る。すなわち、この質量掃引で得られたマススペクトル
は、第一のイオン源で生成されたイオンのマススペクト
ルである。

【００８４】時刻がｔ２となり質量掃引が終了すると、
データ処理装置８４，制御装置８５はイオン加速電圧の
切り替えをイオン加速電源２４に指示する。これによ
り、第二のイオン源が選択される。また、同様に待ち時
間の後、質量の掃引が開始され、データ処理装置８４に
おいて第二のイオン源からのマススペクトルを収集す
る。これを繰り返すことにより、質量掃引の奇数回は第
一のイオン源のマススペクトル、偶数回は第二のイオン
源からのマススペクトルが記録され、マススペクトルフ
ァイルがデータ処理装置８４の記憶装置上に完成する。
即ち、図１９の最下段「マススペクトル」のようなデー
タ収集が出来た事になる。

【００８５】図１９には、図１８のタイミングで収集さ
れた２つのイオン源からのクロマトグラムを示す。な
お、縦軸はイオンの電流値であり、横軸は時間である。

【００８６】図１９の上段は、第一のイオン源によるク
ロマトグラムであり、下段は第二のイオン源によるクロ
マトグラムである。質量掃引に同期して２つのイオン源
から交互にデータ収集を行っているため、データ処理装
置８４においては、太い実線で示されるような形態でデ
ータが収集される。つまり、２つのイオン源からのイオ
ンを時分割（ｔ１，ｔ２，…ｔｎ）で交互にデータ収集
する。データ収集の後、データ処理装置８４は、データ
を整理し各データ間の値を内挿して、図２０に示したご
とく元のマスクロマトグラムを再現し、ＣＲＴやプリン
タに出力する。

【００８７】質量分析計８２の質量掃引は、質量２０か
ら質量２０００までなら０.１秒から０.５秒程度で行
なえる。図１９の場合、掃引時間の２倍が一つのＬＣの
測定周期となる。即ち、一成分（一ＬＣ）あたり０.２
秒から１秒間隔でデータを取得できる事になる。

【００８８】ＧＣの場合、一成分の溶出時間は数秒程度
と短いが、０.２秒間隔のデータ取得なら十分にクロマ
トグラムの変化に追従出来るし、定量分析も可能にな
る。

【００８９】ＬＣの場合、成分の溶出時間は数十秒程度
となるため、１秒周期の測定で十分にクロマトグラムの
変化に追従可能である。

【００９０】また、質量掃引については、高感度測定の
ために、リニアでなくステップ状に行なう所謂ＳＩＭ(S
elected Ion Monitoring）法が広く用いられている。こ
の場合も図１８と同様にイオン源の切り替え、ステップ
掃引周期を一致させれば良い。また、イオン源の切り替
え周期と質量掃引の周期を異なるようにすることも可能
である。

【００９１】イオン源の切り替え周期と質量掃引の周期
を異ならせた場合のＳＩＭ法の例を図２１，図２２に示
す。

【００９２】図２１では、質量分析計８２のステップ掃
引の一ステップ（一質量のイオンの検出）の間にイオン
源の切り替えを高速に行うものである。ｎ個のイオン源
の場合、質量掃引の一ステップの時間に１／ｎを乗じた
ものがイオン源の切り替え周期となる。

【００９３】即ち、時刻ｔ１からｔ３の間、質量分析計
８２は質量ｍ１のイオンを検出しているが、このｔ１と
ｔ３の間のｔ２で第一のイオン源と第二のイオン源を切
り替えられる。また次の周期では、ｔ３とｔ５の間に質
量分析計８２はｍ２のイオンを検出する。このｔ３とｔ
５の間のｔ４でもイオン源が切り替えられる。これによ
り、データ処理装置８４の記憶装置には、奇数周期のデ
ータは第一のイオン源、偶数周期は第二のイオン源に由
来するデータがファイルされる。また、さらにそれらデ
ータは順にｍ１，ｍ２，…と順に、収集した質量のイオ
ン量のデータが記録されている。データ処理装置８４は
整理しクロマトグラムをＣＲＴやプリンタに出力でき
る。

【００９４】また、図２２に他の手法を示す。図２２の
例では、質量ステップ毎にイオン源を切り替えるが、図
２２では一つのイオン源が選択されている間に、複数の
質量ステップを行なう方式である。

【００９５】一質量の測定時間をｔｄとし、ｍ個の異な
る質量のイオンを計測する場合、イオン源の切替時間は
両者の積ｍ・ｔｄとなる。図２１，図２２の場合もデー
タ処理装置８４によりイオン源の切替とデータとの相関
は管理されているため、収集したデータを後程処理し
て、ＣＲＴなどに独立なクロマトグラムのように出力す
ることが可能となる。

【００９６】本実施例で示したようなイオン源の切り替
え操作を行うことにより、複数のイオン源を１台のＭＳ
にて並列測定を行うことが可能になる。（第七の実施例）前述までの実施例では、イオン加速電
極２３と静電偏向器７０の間は、直接イオンが導入され
るように説明したが、この間には、質量分析計で多用さ
れている、静電レンズ、高周波多極（四重極，六重極，
八重極，…など）イオンガイドなどを挿入することもで
きる。

【００９７】図２３に示すように高周波多極イオンガイ
ド８７をイオン加速電極２３と静電偏向器７０の間に置
く事により、イオンの透過効率を大きく改善する事がで
きる。イオン源２０で生成されたイオンは前述のように
イオン加速電圧Ｖａにより加速される。イオンの加速さ
れる領域は、大気圧から真空の室にイオンと大気分子が
導入される領域である。そのため、圧力が高く、高真空
は望めない。加速されたイオンは残留気体分子と衝突
し、運動エネルギを失う事になる。イオンの加速と運動
エネルギの消滅が起きる事により、最終的にイオンの運
動エネルギに広がりができる。この運動エネルギの広が
りは、図１０に示したように、静電偏向器７０内でイオ
ンビームの広がりとして現れる。これによりイオン源２
０で生成したイオンの一部が失われる。この損失をカバ
ーするために、高周波多極イオンガイド８７が用いられ
る。この高周波多極イオンガイド８７は、イオンをイオ
ンガイドの中心軸方向に収束させるとともに、残留気体
分子とイオンとの衝突により、イオンの速度を平均化さ
せる事（エネルギーの平準化）ができるため、静電偏向
器７０におけるイオンの偏向によるイオンビームの広が
りを防ぐ事ができる。すなわち、イオンビームを偏向
し、効率良く細孔７３を通す事ができる。細孔７３を通
過したイオンビームに広がりがある場合は、前述のよう
にアインツェルレンズを設けてイオンを収束させること
ができる。また、高周波多極イオンガイドを静電偏向器
７０と質量分析計８２の間に設置してイオンを効率よく
質量分析計に導くことができる。

【００９８】前述第一〜第七の実施例においては、イオ
ンの選択は、専らイオン加速電圧のＯｎ／Ｏｆｆによる
としたが、第一の実施例の中で示したように、イオン加
速電圧と静電偏向器の印加電圧の組合せを意図的にずら
す事でもイオンビームを遮断できる。

【００９９】また、イオン加速電極と静電偏向器７０の
間に、イオン偏向器を置き、通常は接地電位としイオン
ビームに何ら影響を与えないようにしておき、イオンビ
ームを遮断したい時、偏向電圧を印加してイオンビーム
をカットすることもできる。また、イオン偏向器の代わ
りにアインツエルレンズを置き、印加電圧を制御してイ
オンビームのＯｎ／Ｏｆｆに用いても良い。（第八の実施例）前述までの実施例は、静電偏向器７０
によりイオンを偏向していたが、これ以外にも四重極偏
向器を用いても本発明を実現できる。

【０１００】図２４に、本実施例のＬＣ／ＭＳ装置の概
略構成図を示す。イオンの偏向手段として四重極偏向器
８１を用いている点以外は、第一の実施例と同じ構成で
ある。

【０１０１】第一のイオン源２０で生成したイオンは、
真空ポンプ８６で真空排気された真空室８０に導入され
る。イオンは四重極偏向器８１により９０度偏向され、
質量分析計８２に導かれ質量分析される。イオンは検出
器８３により検出され、データ処理装置８４においてマ
ススペクトルやマスクロマトグラムなどを算出する。

【０１０２】第二のイオン源４０で生成したイオンも同
様に、四重極偏向器８１により９０度偏向され、質量分
析計８２に導かれ質量分析される。

【０１０３】本実施例において、２台のＬＣを１台のＭ
Ｓに接続する上で、最も重要な構成要素は、上記の四重
極偏向器８１である。各ＬＣの大気圧イオン源は、図２
４に示されるように四重極偏向器８１の相対する二面に
それぞれ配置される。四重極偏向器８１の各面から入射
したイオンは、四重極偏向器８１内の四重極電界により
偏向され、１つのイオン源からのイオンのみが選択的に
質量分析計に導かれる。その他のイオン源からのイオン
は、質量分析計８２とは反対の方向に偏向され、イオン
補捉器２８に捉えられ、質量分析計８２に入射できなく
なる。導入するイオン源の選択は、四重極偏向器８１の
４つの電極に印加する電圧を変えることにより行われ
る。

【０１０４】図２５に図２４の四重極偏向器８１の模式
図を示す。四重極偏向器８１は、１つの円柱または円筒
を４つ割りにした電極を円弧部分を向かい合わせになる
ように組み立てたものである。４つ割りにされた側面は
外部に向けられ四角の形状となる。４つの電極は絶縁物
を介して、四角の筒（図示なし）内に組み立てられる。
４つの電極の内、相向かい合う電極８１ａと８１ｃ，８
１ｂと８１ｄの二組の電極間に直流電圧を印加する。イ
オンは四重極電極の長手（Ｚ軸）方向ではなく、側面
（ＸＹ平面）の電極間より入射させる。例えば、正のイ
オンビーム８８を側面（Ｙ軸方向）から入射し、電極８
１ａ，８１ｃに負の電位、電極８１ｂ，８１ｄに正の電
位を印加すると、イオンは９０度偏向され、四重極偏向
器８１の電極８１ｂと８１ｃの間、即ちＸ軸方向８９か
ら外部に出射する。このように四重極偏向器８１は、イ
オンを簡単に９０度偏向することができる。

【０１０５】図２６，図２７に四重極偏向器８１の動作
機能を示す。

【０１０６】図２６に、第一のイオン源２０で生成され
たイオンを質量分析計８２に導入する場合を示す。ま
ず、各イオン源で生成されたイオンは、加速電圧“Ａ”
Ｖで加速され四重極偏向器８１に入射する。このとき、
電極８１ａ，８１ｃには“−ａ・Ａ”の直流電圧が印加
されている。一方、電極８１ｂ，８１ｄには“＋ｂ・
Ａ”の直流電圧が印加されている。その結果、四重極偏
向器８１内には四重極正電場が形成される。すると、第
一のイオン源２０からのイオンは、９０度偏向され、質
量分析計８２に導かれる。このとき、第二のイオン源４
０からのイオンは、電極８１ａと８１ｂの間から入射し
ているが、入射したイオンは破線のように偏向され、イ
オン捕捉器２８に捉えられ、決して質量分析計８２に入
射することはない。

【０１０７】イオン捕捉器２８は、円筒状の金属容器
で、入射されたイオンを捕捉するとともに、入射イオン
の衝突によって生じた二次電子をも捕捉するようにす
る。このイオン補捉器２８を備えることにより、真空室
２７内に散乱するイオンや電子をなくすことが可能とな
り、ノイズ量を低減することができ、結果として精度の
高い分析が可能となる。また、このイオン捕捉器２８に
直流増幅器（図示なし）を接続し、イオン電流を計測す
ることも可能である。なおイオン捕捉器２８は長時間の
測定の結果汚れた場合、取り外して掃除できる構造であ
ることが好ましい。

【０１０８】図２７には、第二のイオン源４０からのイ
オンを質量分析計８２に導入する場合を示す。この場合
は、電極８１ａ，８１ｃに“＋ｂ・Ａ”の電圧を、一
方、電極８１ｂ，８１ｄに“−ａ・Ａ”を印加する。す
なわち、図２６に示した電圧の印加と逆にする。する
と、第２大気圧イオン源４０で生成したイオンは、四重
極偏向器８１の電界により実線の様に９０度偏向され、
質量分析計８２に導入される。一方、第一のイオン源２
０から四重極偏向器８１に導入されたイオンは、破線の
ような軌道をとり、質量分析計８２に導入されることは
ない。

【０１０９】以上から、四重極偏向器８１を構成する４
つの電極に印加される電圧を切り替え制御することによ
り、同時に動作している２つのイオン源から、１つのイ
オン源を選択することが可能である。実際に、電極に印
加する電圧は、ａ＝−０.４５，ｂ＝＋０.６程度であ
る。四重極質量分析計の場合、イオン加速電圧Ａは２０
Ｖ程度あるから、四重極偏向器８１の電極に印加する電
圧は−９Ｖ，＋１２Ｖ程度で良い。

【０１１０】本実施例におけるイオン源の切り替えタイ
ミングは、前述の平板電極を用いた静電偏向器を使用す
る実施例と同様に、質量分析計８２の質量掃引の周期と
同期させて行うことが出来る。更に、図２１，図２２に
示すようなＳＩＭ法での測定も当然ながら行うことが可
能である。

【０１１１】また、本実施例で用いた四重極偏向器８１
は、図１５〜図１７で示したＧＣ／ＭＳやプラズマイオ
ン化ＭＳと組み合わせた装置においても、同様に適用す
ることが可能である。（第九の実施例）図２８に、第九の実施例を示す。本実
施例は、第八の実施例に備えられていたイオン捕捉器２
８の代わりに、新たに第三のイオン源６０が備えられた
ものである。四重極偏向器を用いる点は第八の実施例と
変わりはない。

【０１１２】図２９に、第三のイオン源６０からのイオ
ンを選択的に質量分析計８２に導く方法を示す。この場
合においては、四重極偏向器８１を構成する４つの電極
81ａ，８１ｂ，８１ｃ，８１ｄを全て同じ電位（接地電
位など）にする。第三のイオン源６０で生成したイオン
は、実線のように直進し、質量分析計８２に導入され
る。第一，第二のイオン源２０，４０で生成したイオン
は同様に直進するため（破線）、質量分析計８２に導入
されることはない。

【０１１３】尚、第一，第二のイオン源２０，４０で生
成したイオンを質量分析計８２に導入する場合は、第八
の実施例と同様の制御を行う。

【０１１４】図３０には、本実施例の更に具体的な例を
示す。これは、２つのＬＣ用の大気圧イオン源２０，４
０と１つのＧＣ用のＥＩイオン源１０４を１台のＭＳに
設置した例である。

【０１１５】本実施例においては、四重極偏向器８１へ
の印加電圧の切り替えを行うことにより、第一のＬＣ１
０、または第二のＬＣ３０、或いはＧＣ１０１からのイ
オン化試料を瞬時に選択して質量分析計８２に導入する
ことができる。

【０１１６】尚、図３０の例においては、ＧＣのイオン
源１０４は、質量分析計８２と同軸上に配置する。一
方、ＬＣの大気圧イオン源２０，４０は、質量分析計８
２の軸に直角に配置される。これは以下の利点があるた
めである。ＬＣ／ＭＳのイオン源２０，４０からは、大
気圧イオン源であるために、イオン以外に液滴，中性微
粒子等も放出している。中性微粒子等は質量分析計８２
に導入されるとノイズとして検出される。また、中性微
粒子等は四重極偏向器８１で偏向を受けないため、四重
極偏向器８１に入射してもそのまま直進し検出器に侵入
してノイズを発生させる。従って、図３０のような配置
構成にすることにより、イオン源２０，４０から放出さ
れた中性微粒子等を質量分析計８２に入射させなくする
ことができる。これによりマススペクトル上のノイズを
小さくすることが可能となる。

【０１１７】また、ＧＣ／ＭＳのＥＩまたはＣＩイオン
源１０４は真空中のガスのイオン化のため、ＬＣ／ＭＳ
の大気圧イオン源と異なり中性微粒子等は生成しない。
そのため、四重極偏向器８１を直進し、中性微粒子を除
けない位置に設置されていても問題はない。

【０１１８】本実施例の構成では、質量分析計８２に導
かれなかったイオンの影響により、前述までの実施例の
構成よりは、測定精度が悪くなるという欠点はあるもの
の、イオン源が増設されることにより、更に高スループ
ットの測定が可能になるというメリットが生じる。

【０１１９】更には、図３０のような構成にすることに
より、ＧＣ／ＭＳ，ＬＣ／ＭＳが同時に実現でき、両手
法を必要とする分析の効率を飛躍的に高めることができ
る。

【０１２０】尚、ＬＣのイオン源２０または４０に代え
て、プラズマイオン源を設置することも可能である。こ
のように構成すれば、ＧＣ／ＭＳ，ＬＣ／ＭＳに加えて
プラズマイオン化ＭＳをも同時に測定可能になる。

【０１２１】本実施例においては、３つのイオン源を四
重極偏向器８１の周りに設置して、四重極偏向器８１の
電極に印加する電圧を制御することで、３つのイオン源
を切り替えて使用することが可能になる。しかしこの場
合、選択されていないイオン源が別のイオン源から放出
されたイオンにより汚染される問題が起きる。この場
合、質量分析されているイオンを放出しているイオン源
（選択されたイオン源）以外のイオン源に供給されるイ
オン加速電圧を遮断すれば、非選択イオン源からイオン
は放出されず他のイオン源を汚染することはない。

【０１２２】以上に示したように、本発明では、１台の
ＭＳに対して様々な種類のイオン源を複数接続して、同
時に測定を行うことが可能となる。従って、本発明に依
れば、ＬＣ／ＭＳ，ＧＣ／ＭＳ，プラズマイオン化ＭＳ
の測定を、１台のＭＳで同時に行うことができる。

【０１２３】本発明におけるイオン源の切り替えは、四
重極質量分析計，イオントラップ質量分析計，磁場型質
量分析計，飛行時間型質量分析計などに広く応用するこ
とが可能である。

【０１２４】また、イオン源の種類も質量分析計に適用
されている多く種類のイオン源を適用することが可能で
ある。即ち、質量分析では、ＥＳＩ，ＡＰＣＩ，ＥＩ，
ＣＩ，ＩＣＰ，ＭＩＰ以外にも、分析対象により、レー
ザイオン化イオン源，ＦＡＢイオン源，二次イオン化
（ＳＩＭＳ）イオン源（これらの３つイオン源は、何れ
も高真空下で動作する）、グロー放電イオン源等が広く
使われる。本発明に適用可能なこれらのイオン源は、大
気圧下で動作させるもの、高真空下で動作させるもの等
種々あるが、いずれも前述の方法で組み合わせ使用が可
能になる。

【０１２５】

【発明の効果】本発明によれば、複数のイオン源を備え
たＬＣ／ＭＳ，ＧＣ／ＭＳ，プラズマイオン化ＭＳ等に
おいて、複数のイオン源を稼動させながら、質量分析を
行うことが可能である。また、本発明では、イオン源の
動作に関わらずイオン加速電極や四重極偏向器の印加電
圧の切り替えを行うのみで、質量分析計に導くイオンを
容易に、且つすばやく切り替えることができるので、単
位時間当たりの試料処理能力を大幅に向上させる事が可
能となり、高スループットの装置が実現できる。

【０１２６】さらに、１台の質量分析計で複数のイオン
源の分析を行うことが可能であるので、装置の小型化，
低価格化を達成することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施例の基本構成を示す図であ
る。

【図２】静電偏向器７０の説明図である。

【図３】本発明の第一の実施例の外観構成を示す図であ
る。

【図４】本発明の第一の実施例の内部概略構成を示す図
である。

【図５】円形の静電偏向器において４台のイオン源を装
着した例を示す図である。

【図６】多角形の静電偏向器において４台のイオン源を
装着した例を示す図である。

【図７】図５の構成例において、イオンの偏向の様子を
表した図である。

【図８】図５の構成例において、イオンの偏向の様子を
表した図である。

【図９】図５の構成例において、イオンの偏向の様子を
表した図である。

【図１０】イオン加速電極の印加電圧と静電偏向器の電
界との関係を説明する図である。

【図１１】イオン加速電極の最適な印加電圧を求める動
作を説明する図である。

【図１２】静電偏向器の最適な印加電圧を求める動作を
説明する図である。

【図１３】第一の実施例の動作を説明する図である。

【図１４】第二の実施例の構成を示す図である。

【図１５】第三の実施例の構成を示す図である。

【図１６】第四の実施例の構成を示す図である。

【図１７】第五の実施例の構成を示す図である。

【図１８】第六の実施例の測定動作を表す図である。

【図１９】２つのイオン源による測定の際のクロマトグ
ラムを表す図である。

【図２０】ＣＲＴやプリンタからの出力例を示した図で
ある。

【図２１】第六の実施例の他の測定動作を表す図であ
る。

【図２２】第六の実施例の他の測定動作を表す図であ
る。

【図２３】第七の実施例の構成を示す図である。

【図２４】第八の実施例の構成を示す図である。

【図２５】四重極偏向器の外観を示す図である。

【図２６】四重極偏向器によるイオンの偏向を説明する
図である。

【図２７】四重極偏向器によるイオンの偏向を説明する
図である。

【図２８】第九の実施例の構成を示す図である。

【図２９】四重極偏向器によるイオンの偏向を説明する
図である。

【図３０】第九の実施例の具体的な構成を示す図であ
る。

【図３１】従来の例を示す図である。

【図３２】従来の例を示す図である。

【符号の説明】

１０，３０，５０…液体クロマトグラフ、１１，３１…
ポンプ、１２，３２…オートサンプラ、１３，３３…分
離カラム、１４，３４…連結パイプ、１６…噴霧ガス、
１７…高圧電源、１９…廃棄ガス排出口、２０…第一の
イオン源、２１，４１…中間圧力室、２２，４２…油回
転ポンプ、２３，４３，６１，６３…イオン加速電極、
２４…イオン加速電源、２６，２９，８６…ターボ分子
ポンプ、２７…真空室、２８…イオン捕捉器、４０…第
二のイオン源、６０…第三のイオン源、６２…第四のイ
オン源、７０…静電偏向器、７１…静電偏向器第一電
極、７２…静電偏向器第二電極、７３…静電偏向器細
孔、７４…静電偏向器電源、７８…分岐ティー、８０…
真空室、８１…四重極偏向器、８１ａ,８１ｂ,８１ｃ，
８１ｄ…四重極偏向器電極、８２…質量分析計、８３…
検出器、８４…データ処理装置、８５…制御装置、８７
…質量分析計電源、８８…入射イオンビーム、８９…出
射イオンビーム、９０…四重極偏向器電源、９１，９２
…電源線、９３…信号線、１００，１１０…ＧＣオート
サンプラ、１０１，１１１…ガスクロマトグラフ(Ｇ
Ｃ)、１０２，１１２…インジェクタ、１０３，１１３
…ＧＣカラム、１０４，１１４…イオン源、１２０，１
３０…Ａｒガス、１２１，１３１…噴霧器、１２２，１
３２…プラズマプローブ、１２３，１３３…プラズマ、
１２４，１３４…プラズマイオン源、１６０，１７０…
ディフレクター電極、１９０…流路切り替えバルブ、１
９１…ドレイン用ビーカ、２００…ガスクロ用イオン
源。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】イオン源で生成したイオンを質量分析計に
導き質量分析する質量分析装置において、複数のイオン源と、当該複数のイオン源の内、少なくとも一のイオン源から
のイオンを静電界によって前記質量分析計へ向かうよう
に偏向する偏向手段を有することを特徴とする質量分析
装置。
【請求項２】請求項１の質量分析装置において、前記偏向手段は、２枚の平板電極から成る静電偏向器で
あることを特徴とする質量分析装置。
【請求項３】請求項２の質量分析装置において、前記イオン源毎にイオン加速電極を備え、当該イオン加速電極への印加電圧の制御により、前記任
意のイオン源のイオンを前記静電偏向器へ導入すること
を特徴とする質量分析装置。
【請求項４】請求項３の質量分析装置において、前記イオン加速電極と前記静電偏向器の間に、イオンを
収束するイオンガイドを備えたことを特徴とする質量分
析装置。
【請求項５】請求項２の質量分析装置において、前記静電偏向器の２枚の平板電極のそれぞれは、前記質
量分析計へイオンが導入される軸上で、平行となるよう
に配置され、前記複数のイオン源は、前記平行に配置された平板電極
間にイオンを導入できる位置に配置され、当該静電偏向器と複数のイオン源から成る配列の面は、
前記質量分析計と前記静電偏向器とを結ぶ軸と、直角に
交わるように配置されることを特徴とする質量分析装
置。
【請求項６】請求項５の質量分析装置において、前記質量分析計側に配置される前記平板電極は、偏向さ
れたイオンが通過する細孔を有することを特徴とする質
量分析装置。
【請求項７】請求項１の質量分析装置において、前記偏向手段は、４つの電極からなる四重極偏向器であ
ることを特徴とする質量分析装置。
【請求項８】請求項７の質量分析装置において、前記四重極偏向器は、前記各電極に印加する電位を切り
替えることにより、１つのイオン源のイオンを選択的に
質量分析計に導入することを特徴とする質量分析装置。
【請求項９】請求項７の質量分析装置において、入射されるイオンを捕捉するイオン捕捉部を備え、前記質量分析計と前記イオン捕捉部と前記四重極偏向器
とを同一軸上に配置したことを特徴とする質量分析装
置。
【請求項１０】請求項９の質量分析装置において、前記四重極偏向器と２つのイオン源とを同一軸上に配置
し、当該四重極偏向器と２つのイオン源からなる配列の軸
は、前記質量分析計と前記イオン捕捉部とを含む配列の
軸と、前記四重極偏向器を中心として直角に交わるよう
に配置されることを特徴とする質量分析装置。
【請求項１１】請求項７の質量分析装置において、前記質量分析計と前記四重極偏向器と前記イオン源の一
つとを同一軸上に配置し、前記四重極偏向器と２つのイオン源とを同一軸上に配置
し、当該四重極偏向器と２つのイオン源からなる配列の
軸は、前記質量分析計と任意の１つのイオン源とを含む
配列の軸と、前記四重極偏向器を中心として直角に交わ
るように配置されることを特徴とする質量分析装置。
【請求項１２】分析試料をイオン化する複数のイオン源
と、イオンの質量分析を行う質量分析計と、前記複数の
イオン源からのイオンを選択的に前記質量分析計に導入
する２枚の平板電極から成る静電偏向器或いは４つの電
極から成る四重極偏向器とを備えた質量分析装置であっ
て、前記複数のイオン源は、エレクトロスプレイイオン源，
大気圧化学イオン化イオン源，結合誘導プラズマイオン
源，マイクロ波誘導イオン源，電子イオン化イオン源，
化学イオン化イオン源，レーザイオン化イオン源，ＦＡ
Ｂイオン源，二次イオン化（ＳＩＭＳ）イオン源，グロ
ー放電イオン源の何れかであること特徴とする質量分析
装置。
【請求項１３】分析試料のイオンを生成するイオン源が
配置された第１の室と、質量分析計が置かれた第２の室
とを備え、前記第１の室で生成されたイオンを前記第２
の室に導き質量分析する質量分析装置において、前記第１の室と第２の室の間に、前記イオン源からのイ
オンを前記質量分析計へ向かうように偏向する偏向手段
が配置された第３の室を備え、前記第３の室に対して、前記第１の室は少なくとも２つ
接続されることを特徴とする質量分析装置。
【請求項１４】請求項１３において、前記第２の室に対して接続される第１の室は、前記第２
の室と第３の室とを結ぶ軸と直角となる軸上に配置され
ることことを特徴とする質量分析装置。
【請求項１５】２枚の平板電極からなる静電偏向器と、
当該静電偏向器の電極間にイオンを導入できる位置に配
置された複数のイオン源と、各イオン源毎に備えられイ
オン源からのイオンを加速するイオン加速電極と、当該
イオン源からのイオンを質量分離する質量分析計とを備
え、前記複数のイオン源からのイオンを選択的に前記質
量分析計に導いて測定を行う質量分析方法であって、前記質量分析計に導くべきイオンを生成するイオン源に
対応するイオン加速電極に、イオンを加速させるための
電圧を印加することを特徴とする質量分析方法。
【請求項１６】請求項１５において、前記質量分析計へイオンを導入するイオン源の切り替え
は、前記質量分析計の質量掃引の周期と同期して行われ
ることを特徴とする質量分析方法。
【請求項１７】請求項１５において、前記質量分析計が任意の質量数に対してイオン電流の計
測を行っている間に、前記イオン源の切り替え動作を行
うことを特徴とする質量分析方法。
【請求項１８】請求項１５において、特定のイオン源からのイオンを前記質量分析計へ導入す
る間に、複数の質量数の質量掃引をステップ的に行うこ
とを特徴とする質量分析方法。
【請求項１９】４つの電極部材からなる四重極偏向器
と、当該四重極偏向器の各電極部材の間隙にイオンを導
入できる位置に配置された複数のイオン源と、当該イオ
ン源からのイオンを質量分離する質量分析計とを備え、
前記複数のイオン源からのイオンを選択的に前記質量分
析計に導いて測定を行う質量分析方法であって、前記四重極偏向器の対向する２つの電極部材からなる第
１の組を高電位とし、他の２つの電極部材からなる第２
の組を前記第１の組より低電位とする第１のステップ
と、前記第１の組を前記第２の組よりも高電位とする第２の
ステップとを有することを特徴とする質量分析方法。
【請求項２０】請求項１９において、前記第１のステップと第２のステップは連続的に切り替
えられ、当該各ステップの切り替え周期は、前記質量分析計の質
量掃引の周期と同期して行われることを特徴とする質量
分析方法。
【請求項２１】請求項１９において、前記質量分析計が任意の質量数に対してイオン電流の計
測を行っている間に、前記第１のステップと第２のステ
ップの切り替えが行われることを特徴とする質量分析方
法。
【請求項２２】請求項１９において、前記四重極偏向器の４つの電極を全て等電位とする第３
のステップを有することを特徴とする質量分析方法。
【請求項２３】請求項１５及び１９において、前記複数のイオン源は、前記静電偏向器或いは前記四重
極偏向器に対して同時期にイオンの放出を行うことを特
徴とする質量分析方法。
【請求項２４】少なくとも片方の電極にイオンを通過さ
せる細孔を有する２枚の平板電極からなる静電偏向器
と、当該静電偏向器の電極間にイオンを導入できる位置
に配置された複数のイオン源と、各イオン源毎に備えら
れイオン源からのイオンを加速するイオン加速電極と、
当該イオン源からのイオンを質量分離する質量分析計と
を備え、前記複数のイオン源からのイオンを選択的に前
記質量分析計に導いて測定を行う質量分析方法であっ
て、前記各イオン加速電極と前記静電偏向器には、前記静電
偏向器の細孔にイオンを導くように電圧が印加され、測定すべきイオン源を選択する際には、測定を行わない
イオン源の前記イオン加速電極への印加電圧を変更する
ことを特徴とする質量分析方法。
【請求項２５】少なくとも片方の電極にイオンを通過さ
せる細孔を有する２枚の平板電極からなる静電偏向器
と、当該静電偏向器の電極間にイオンを導入できる位置
に配置された複数のイオン源と、各イオン源毎に備えら
れイオン源からのイオンを加速するイオン加速電極と、
当該イオン源からのイオンを質量分離する質量分析計と
を備え、前記複数のイオン源からのイオンを選択的に前
記質量分析計に導いて測定を行う質量分析方法であっ
て、前記各イオン加速電極のそれぞれに異なる電圧を印加
し、測定すべきイオン源を選択する際には、選択したイオン
源からのイオンが前記静電偏向器の細孔に導入されるよ
うに前記静電偏向器への印加電圧を変更することを特徴
とする質量分析方法。
【請求項２６】少なくとも片方の電極にイオンを通過さ
せる細孔を有する２枚の平板電極からなる静電偏向器
と、当該静電偏向器の電極間にイオンを導入できる位置
に配置された複数のイオン源と、各イオン源毎に備えら
れイオン源からのイオンを加速するイオン加速電極と、
当該イオン源からのイオンを質量分離する質量分析計と
を備えた質量分析装置における、前記イオン源からのイ
オンを前記細孔へ導くために、前記イオン加速電極と前
記静電偏向器へ印加すべき電圧を設定する方法であっ
て、静電偏向器の印加電圧を固定し、設定すべきイオン源以外のイオン源に対応するイオン加
速電極への印加電圧を接地電位として、設定すべきイオ
ン源に対応したイオン加速電圧を掃引し、イオン電流が最大となる時の印加電圧を当該掃引を行っ
たイオン加速電極への印加電圧とすることを特徴とする
質量分析装置の印加電圧設定方法。
【請求項２７】少なくとも片方の電極にイオンを通過さ
せる細孔を有する２枚の平板電極からなる静電偏向器
と、当該静電偏向器の電極間にイオンを導入できる位置
に配置された複数のイオン源と、各イオン源毎に備えら
れイオン源からのイオンを加速するイオン加速電極と、
当該イオン源からのイオンを質量分離する質量分析計と
を備えた質量分析装置における、前記イオン源からのイ
オンを前記細孔へ導くために、前記イオン加速電極と前
記静電偏向器へ印加すべき電圧を設定する方法であっ
て、設定すべきイオン源に対応したイオン加速電極への印加
電圧を固定し、設定すべきイオン源以外のイオン加速電極への印加電圧
を接地電位として、前記静電偏向器への印加電圧を掃引
し、イオン電流が最大となる時の印加電圧を、設定すべきイ
オン源に対応した静電偏向器への印加電圧とすることを
特徴とする質量分析装置の印加電圧設定方法。