JP2000352543A

JP2000352543A - 密閉容器のエアリーク検出装置

Info

Publication number: JP2000352543A
Application number: JP11163408A
Authority: JP
Inventors: Akira Fukushima; 彰福島
Original assignee: HITTO KAIHATSU KENKYUSHO KK
Current assignee: HITTO KAIHATSU KENKYUSHO KK
Priority date: 1999-06-10
Filing date: 1999-06-10
Publication date: 2000-12-19
Anticipated expiration: 2019-06-10
Also published as: JP4154077B2

Abstract

(57)【要約】【課題】容易な構成で迅速かつ正確な完全リーク及び
非完全リークの有無判定を行うことのできるエアリーク
検出装置を提供する。【解決手段】ワーク１２を所定容積の密閉空間を形成
し所定の初期槽内圧力を有する測定槽１４に収納し、基
準容積を有し前記初期槽内圧力と異なる基準圧力状態を
形成可能な基準圧力室２８を接続し、測定槽１４の内部
圧力を変化させる。ワーク１２にエアリークが存在する
場合、ワーク１２の内部空間が測定槽１４の内部空間と
同化し、実質的な内部容積が増加するため、測定槽１４
と基準圧力室２８とが連通した後に測定槽１４の到達す
る圧力がエアリークが存在しない場合に対して上昇す
る。この圧力変化を圧力センサ１８で検出し、制御部２
０が検出した圧力変化に基づいてエアリークの有無を判
定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、密閉容器のエアリ
ーク検出装置、特に容易な構造で密閉容器のエアリーク
の有無を検出することのできる密閉容器のエアリーク検
出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から内部に空室を残して密閉される
容器が各種の産業分野において用いられている。例えば
マイクロ電子部品であるシールリレーは、プラスチック
容器内に可動接点と励磁コイルとが収納され、この容器
をシールすることによって密封された小型小電力リレー
素子を得ることができる。この様なシールリレーは、容
器内で密閉された空気あるいは不活性ガスがリレーの可
動部やその他の内部部品を安定した状態に保つと共に、
当該内部部品が塵埃等の影響を受けないことから長期間
に渡ってマイクロ電子部品の安定した作動特性を保つこ
とが可能になる。もちろん、密封容器は前述したような
マイクロ電子部品ばかりでなく、医療用、食品用、その
他広範囲の分野に適用可能であり、同様に密閉容器内の
物体の安定化や保護を行うことができる。

【０００３】この様な密封容器は、製造時におけるシー
ル不良、容器自体の破損や通孔その他の存在によって完
全な密封状態を保つことができない場合がある。この様
な密閉状態が害された密閉容器は、エアリークを起こし
ているものとして不良品として確実に除去されなければ
ならない。この判別を行うためにエアリーク検出方法が
幾つか提案されている。

【０００４】以前は、密封容器をフロン液等に浸漬した
状態で加温あるいは減圧をおこない、この時にフロン液
内に生じる気泡を検出してリークの有無が判定されてい
たが、環境保護の観点からフロン液の使用が禁止された
今日では、他の方法によるエアリーク検出が要望されて
いる。例えば、差圧式と称される検出方法では、圧力バ
ランス検出器を挟んで接続された二つの密閉槽を準備
し、一方の密閉槽に被測定密閉容器を収納し、他方の密
閉槽にエアリークの無い基準密閉容器を収納する。この
状態で、各密閉槽を減圧または加圧して同一の一定圧空
間を形成する。もし、被測定密閉容器にリークが存在す
れば、被測定密閉容器の内部空間が密閉槽の内部空間と
同化することになり二つの密閉槽の圧力バランスが崩れ
る。この崩れを検出することによりリークの有無判定を
行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この様な従来
の差圧方式の装置においては、密閉槽内の圧力を安定化
させるために充分な平衡時間を必要とし、検査時間の短
縮が計れないという問題があった。また、前記密閉槽の
内圧を安定化させるためには、充分に大きな加圧源或い
は減圧源が必要となり、装置が大型化し、またリーク検
査のためのみに大きなエネルギーを必要とするという欠
点があった。また、密閉槽内の圧力が安定した後、徐々
にエアリークする非完全リーク、いわゆる小リーク、中
リークに関しては、圧力バランスの崩れを検出できる
が、完全リーク（大きな穴等により激しいリークを起こ
す大リーク）が存在する場合、加圧または減圧の開始時
には既に被測定密閉容器の内部空間が密閉槽の内部空間
と同化しているため、完全リークが正確に検出できない
虞がある。

【０００６】本発明は上記従来の課題に鑑みなされたも
のであり、その目的は、容易な構成で迅速かつ正確な完
全リーク及び非完全リークの有無判定を行うことのでき
るエアリーク検出装置を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記のような目的を達成
するために、本発明は、被測定密閉容器を収納可能な所
定容積の密閉空間を形成可能な密閉槽であって、所定の
初期槽内圧力を有する測定槽と、基準容積を有し前記初
期槽内圧力と異なる基準圧力状態を形成可能な基準圧力
室と、前記測定槽と基準圧力室の選択的な連通を許容す
る連通切換機構と、前記測定槽内の圧力を測定する圧力
センサと、前記測定槽と基準圧力室との連通により変化
した測定槽内圧力の圧力変化に基づいて被測定密閉容器
のエアリークの有無を判定する判定部と、を含むことを
特徴とする。

【０００８】ここで、前記測定槽と基準圧力室は、変形
による容積変化を起こさない空間を有し、連通切換機構
（例えば、切換バルブ）を介した測定槽と基準圧力室と
の連通は、極力短い経路により行われることが好まし
い。なお、連通経路の容積は、測定槽または基準圧力室
のいずれか一方に含まれるものとし、基準圧力室の圧力
状態は測定槽の初期槽内圧力に対して減圧または加圧し
た状態とする。

【０００９】この構成によれば、被測定密閉容器にエア
リークが存在する場合、当該被測定密閉容器の内部空間
が測定槽の内部空間と同化し、実質的な内部容積が増加
するため、測定槽と基準圧力室とが連通した後に測定槽
の到達する圧力がエアリークが存在しない場合に対して
上昇（基準圧力室を測定槽に対して減圧した場合）また
は下降（基準圧力室を測定槽に対して加圧した場合）す
る。この圧力変化に基づいてエアリークの有無を判定す
る。この時、測定準備のための測定槽内の圧力安定化を
行う必要が無いので、測定槽と基準圧力室とを連通させ
る容易な構成で迅速な判定を行うことが可能になる。

【００１０】上記のような目的を達成するために、本発
明は、前記構成において、前記判定部は、前記基準圧力
室の基準容積と、エアリークのない完全非リークの基準
密閉容器を収納した場合の測定槽の残余容積に前記基準
圧力室の基準容積を加えた総合容積とで規定される固定
比と、被測定密閉容器を収納した測定槽と基準圧力室と
の連通により変化した測定槽内圧力変化値と、被測定密
閉容器を収納した測定槽を基準圧力室の基準圧力状態値
にした後所定時間経過後の測定槽内圧力とで規定される
変動比と前記固定比とを比較することにより被測定密閉
容器の完全エアリークを判定することを特徴とする。

【００１１】この構成によれば、エアリークが存在した
場合、測定槽の残余容積が増加することになり、容積に
よって規定されるエアリークが存在しない場合の固定比
に対して圧力で規定される変動比が変化する。従って、
エアリークの有無を確実に検出することができる。この
時、被測定密閉容器に完全エアリーク、いわゆる大リー
クがある場合でも、測定槽と基準圧力室との連通後の圧
力変化に基づいて判定を行っているため完全エアリーク
を正確に検出することができる。

【００１２】上記のような目的を達成するために、本発
明は、前記構成において、前記判定部は、前記測定槽と
基準圧力室との連通から所定時間測定槽内圧力を測定
し、その時の圧力変化量に基づいて被測定密閉容器の非
完全エアリークを検出することを特徴とする。

【００１３】ここで、連通から所定時間とは、例えば、
測定槽と基準圧力室との連通後、５〜６秒程度である。

【００１４】この構成によれば、徐々に被測定密閉容器
内のエアがリークする非完全エアリークの場合でもその
リークによる圧力変化量を検出することが可能になり、
非完全エアリーク、特に小リークを確実かつ容易に検出
することができる。

【００１５】上記のような目的を達成するために、本発
明は、前記構成において、前記判定部は、前記測定槽と
基準圧力室との連通後、所定時間経過後の短時間に変化
する測定槽内圧力の圧力変化量に基づいて被測定密閉容
器の非完全エアリークを検出することを特徴とする。

【００１６】ここで、連通後所定時間経過後の短時間と
は、例えば、測定槽と基準圧力室との連通後、０．３秒
程度経過後の０．１秒間程度である。

【００１７】この構成によれば、非完全リークの中でも
大リークと小リークの中間程度の中リークが発生する場
合でも初期段階の圧力変化に基づく判断を行うのでエア
リークの程度を含めて迅速に判定することが可能にな
る。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
（以下、実施形態という）を図面に基づき説明する。

【００１９】図１は本実施形態のエアリーク検出装置１
０の基本構成概念を説明する概略説明図である。エアリ
ーク検出装置１０は、被測定密閉容器、例えばマイクロ
電子部品であるシールリレー（以下、ワークという）１
２を収納し検査を行う測定槽１４と、当該測定槽１４に
連通切換機構として複数の切換バルブ（本実施形態では
４個の切換バルブＶa，Ｖb，Ｖc，Ｖd）を介して接続さ
れた減圧装置１６と、前記測定槽１４の近傍に配置され
測定槽１４内の槽内圧力を検出可能な圧力センサ１８
と、減圧装置１６、圧力センサ１８、各切換バルブＶ
a，Ｖb，Ｖc，Ｖd等の制御及び検出値等に関する演算を
行い所定の判定出力を行う判定部を含む制御部２０等で
構成されている。

【００２０】前記測定槽１４は、例えば、ヒンジ等で接
続された上部筐体１４ａと下部筐体１４ｂで構成された
開閉自在なケースで、上部筐体１４ａと下部筐体１４ｂ
を接合した状態（閉状態）でほぼ中央部にワーク１２を
収納する測定室２２を形成する。この測定室２２の周囲
には、閉状態における当該測定室２２の気密を確保する
ために、気密シール部材として例えばＯリング２４が配
置される。従って、上部筐体１４ａと下部筐体１４ｂと
により、所定容積の実質的密閉空間を有する測定室２２
を形成することが可能になる。なお、測定室２２は圧力
変化等によって、内壁面が変形したりしないように、上
部筐体１４ａと下部筐体１４ｂ全体または内壁面が金属
や硬質樹脂等で形成されている。

【００２１】一方、前記減圧装置１６は、真空ポンプ１
６ａとレギュレータ１６ｂを有する減圧タンク１６ｃで
構成され、減圧タンク１６ｃ内を常に所定の圧力に維持
できるように成っている。また、切換バルブＶa，Ｖb，
Ｖdは、測定槽１４と減圧装置１６とを連通接続する流
路２６を選択的に開閉を行っている。特に、切換バルブ
Ｖaと切換バルブＶbとの間に形成される空間は、前記測
定槽１４に対して、異なる圧力状態を形成可能な基準圧
力室２８を規定している。また、切換バルブＶcは、大
気開放用の弁であり、流路２６及び測定槽１４の測定室
２２の圧力を大気開放する場合に開かれる。

【００２２】本実施形態の特徴的事項は、測定槽１４と
当該測定槽１４と内部圧力の異なる基準圧力室２８とを
選択的に連通させることにより、測定槽１４内部の圧力
を変化させて、その時の圧力変化状態に応じて、測定槽
１４に収納したワーク１２のエアリークの有無を判定す
るところである。すなわち、ワーク１２の密閉の完全ま
たは非完全によって、ワーク１２の内部空間１２ａが測
定槽１４の残余空間２２ａ（ワーク１２の体積を除いた
測定槽１４の内部空間）と独立または同化する。その結
果、測定槽１４の実質的残余空間（残余容積）が変動
し、測定槽１４と基準圧力室２８との連通時の到達圧力
が変動する。この変動に基づいてエアリークの有無判定
を行う。なお、図１において、測定室２２にワーク１２
を配置した場合に、測定室２２の残余空間２２ａが比較
的大きく描かれているが、実際は、測定室２２の容積は
ワーク１２の体積より僅かに大きいだけで、ワーク１２
の内部空間１２ａの同化による測定槽１４内の空間の変
動量が顕著に現れるようになっている。例えば、ワーク
１２の内部空間１２ａが０．１ｃｃの場合、測定室２２
の残余空間２２ａを１．５ｃｃに設定し、この時の基準
圧力室２８の容量を、例えば、０．８ｃｃに設定する。

【００２３】図２に示す切換バルブＶa，Ｖb，Ｖc，Ｖd
の動作テーブル表及び、図３に示す測定槽１４の測定室
２２の圧力変化図を用い、図１のエアリーク検出装置１
０の動作を説明する。なお、本実施形態では大気圧は一
定であるとする。

【００２４】まず、判定準備として、測定槽１４の測定
室２２に判定対象のワーク１２を投入する。この時、制
御部２０は、切換バルブＶa，Ｖbのみ開く（タイミング
Ｔ１）。従って、測定槽１４と切換バルブＶa，Ｖbで規
定される基準圧力室２８は連通する。続いて、測定槽１
４の上部筐体１４ａと下部筐体１４ｂを密着させ（蓋閉
め動作）、測定槽１４を実質的密閉状態にする。この蓋
閉め動作により測定室２２を含む空間の内部圧力は上昇
してしまうので、制御部２０は、切換バルブＶa，Ｖbに
続いて、切換バルブＶcを開放し、測定室２２及び基準
圧力室２８の圧力を大気圧（Ｐ0＝１０１３×１０²Ｐ
ａ）にする（タイミングＴ２）。次に、切換バルブＶ
a，Ｖcを閉じ、切換バルブＶdを開放する（タイミング
Ｔ３）。この操作により、基準圧力室２８を含む空間が
減圧装置１６に接続され、減圧装置１６で制御される。
この時、減圧装置１６では、例えば、ＰV＝０．４ｋｇ
ｆ／ｃｍ²（３９２×１０²Ｐａ）に減圧する。この状態
で、切換バルブＶb，Ｖdを閉じる。すなわち、全ての切
換バルブを閉じて、基準圧力状態値Ｐ1（大気圧から３
９２×１０²Ｐａ減圧した負圧状態）の所定容積（０．
８ｃｃ）を有する基準圧力室２８を形成し、制御部２０
は測定準備を完了する（タイミングＴ４）。

【００２５】制御部２０に測定開始信号が与えられる
と、制御部２０は切換バルブＶaのみを開放し（タイミ
ングＴ５）、測定槽１４（測定室２２）と基準圧力室２
８とを連通させ、測定槽１４（測定室２２）の内部圧力
を変化（減圧）させる。

【００２６】制御部２０は、切換バルブＶaのみを開放
した状態で圧力センサ１８を制御して、経過時間Ｂ（切
換バルブＶaの開放後０．３秒経過）と経過時間Ｃ（切
換バルブＶaの開放後０．４秒経過）時点の測定室２２
の圧力（例えばＰXa，ＰXb）を測定する（図３参照）。
続いて、制御部２０は、切換バルブＶa，Ｖb，Ｖdを所
定時間（例えば、経過時間Ｇ−Ｈ間；０．４秒）開放
し、測定室２２を基準圧力室２８の当初の基準圧力状態
値Ｐ1まで減圧し（タイミングＴ６）、切換バルブＶaを
閉じて（タイミングＴ７）、所定時間（例えば、３秒）
経過後、測定室２２の圧力（例えばＰXd）を測定する。
この時、ワーク１２にエアリークが存在しない場合、測
定室２２の圧力センサ１８の測定値はＰXd＝ＰVとな
る。さらに、制御部２０は、ＰXd測定後、所定時間（例
えば、２秒）の測定室２２の圧力（例えば、ＰXc）を測
定し、エアリーク判定のための圧力測定を終了する。

【００２７】続いて、制御部２０は、エアリーク判定処
理を開始する。ところで、測定槽１４の測定室２２と基
準圧力室２８との間にはボイルシャルルの法則により以
下のような関係が成り立つ。

【００２８】

【数１】この時、Ｐ1＝Ｐ0−ＰV，Ｐ2＝Ｐ0−ＰXであるから、式
１を整理すると、

【数２】となる。なお、測定室２２と基準圧力室２８の接続時に
気体温度が変化するが、所定時間後には安定し変化しな
いものとする。

【００２９】従って、経過時間Ｃで測定された測定室２
２の圧力ＰX（ＰXa）と基準圧力室２８の基準圧力状態
値ＰV（ＰXd）とは、基準圧力室の基準容積Ｖ1と、当該
基準容積Ｖ1にワーク１２を収納した場合の測定槽１４
の残余容積Ｖ2を加えた総合容積で規定される固定値と
関連付けることができる。ワーク１２にエアリークが存
在しない場合、すなわちワーク１２が完全に密閉された
『良品』である場合、基準圧力室の基準圧力状態値ＰV
と、基準圧力室２８と測定槽１４を連通させた後に測定
される測定槽１４の槽内圧力値ＰX（ＰXa）で規定され
る値は、エアリークが存在しない場合の測定槽１４の容
積Ｖ1と基準圧力室２８の容積Ｖ2とで規定される値と一
致することになる。例えば、Ｖ1＝０．８ｃｃ、Ｖ2＝
１．５ｃｃの場合、ＰX／ＰVの値がＶ1／（Ｖ1＋Ｖ2）
＝０．８／２．３＝０．３４７８になる。一方、ワーク
１２が完全にリークした『完全リーク品（大リーク）』
である場合、Ｖ1／（Ｖ1＋Ｖ2）＝０．８／２．４＝
０．３３３３になる。従って、エアリークのない良品を
収納した場合の、測定槽１４と基準圧力室２８の容積で
規定される固定比Ｖ1／（Ｖ1＋Ｖ2）を判定基準とし
て、それに対応する基準圧力室の基準圧力状態値ＰV
（ＰXd）と測定槽１４と連通させた後に測定される測定
槽１４の槽内圧力値ＰX（ＰXa）とによる変動比を算出
することにより『良品』か『完全リーク品』かを判定す
ることができる。なお、厳密な判定を行うためには、判
定値として、Ｖ1／（Ｖ1＋Ｖ2）＝０．３４７８の値を
用いることが好ましいが、測定誤差を考慮して、良品と
判定する判定値を例えば、０．３４００に取っておけ
ば、実用的な大リークの判定を良好に行うことができ
る。なお、ＰV，ＰXはほぼ同時期に測定するので、測定
時の大気圧は、ほぼ一定であると見なすことができるの
で、判定は良好に行うことができる。

【００３０】図３には、測定槽１４に良品のワーク１２
を収納して測定した場合の圧力変化（図中実線Ａ）と完
全にエアリーク（大リーク）を起こしているワーク１２
を測定槽１４に収納して測定を行った場合の圧力変化
（図中破線Ｂ）を示している。図から、大リークを起こ
している場合には、測定槽１４内の実質的な容積が増加
するため減圧率が低下していることがわかる。なお、図
３において、経過時間Ａ−Ｃ間で一時的に圧力が低下し
た後再び上昇しているのは、空気を急激に減圧すると空
気が急冷され（断熱膨張）、この時、急冷された空気は
回りの熱を奪って常温に戻る。この温度変化が圧力変化
を引き起こす。その結果上述のような一時的な圧力低下
が発生する。なお、本実施形態においては、大リークを
起こしている場合、経過時間Ｃ後に測定槽１４内が基準
圧力室２８の初期圧力に減圧されるので、圧力変化は、
良品と同じになっている。

【００３１】このように、測定槽１４と基準圧力室２８
の容積で規定される固定比と測定槽１４と基準圧力室２
８とを連通させた後に測定される測定槽１４内圧力と被
測定密閉容器を収納した測定槽を基準圧力室の基準圧力
状態値にした後所定時間経過後の測定槽内圧力とで規定
される変動比とを比較することにより、迅速かつ正確に
大リークの有無判定を行うことができる。

【００３２】続いて、制御部２０は、極僅かずつワーク
１２内のエアが漏れる非完全リークすなわち小リークの
有無を検出する。小リークの場合、リーク量が極僅かで
あるため、測定槽１４と基準圧力室２８を連通させて、
測定室２２の圧力を変化させても、連通直後の圧力変化
は、良品と同じ変化を示す。そのため、制御部２０は、
タイミングＴ７で切換バルブＶaを閉じて、所定時間
（例えば、３秒；経過時間Ｅ）経過後に測定した測定室
２２の圧力（ＰXd）と、ＰXd測定後、所定時間（例え
ば、２秒；経過時間Ｆ）の測定室２２の圧力（ＰXc）を
用いて、密閉された測定槽１４内部の所定時間後の圧力
変化量を測定する。小リークが発生している場合、測定
槽１４の内部圧力は、エアリークによって徐々に増加し
ていくので、良品の場合と、その変化率は異なる（小リ
ーク時の圧力変化を図３中三点鎖線Ｃで示す）。測定槽
１４の内部圧力を減圧してから所定時間後の圧力変化
（開花時間Ｅ−Ｆ）を測定し良品の場合の圧力変化と比
較することにより、小リークが発生している場合でも適
切なリーク判定を行うことができる。なお、図３中の経
過時間Ｃ−Ｆで測定槽１４内の圧力が一度急激に低下し
た後徐々に上昇している。これも前述した断熱膨張によ
るもので、良品のワーク１２の場合も僅かな圧力変化を
起こしている。小リークが存在する場合には、その変化
率がエアリーク分大きくなる。

【００３３】さらに、ワーク１２のエアリークの中に
は、前述した大リークと小リークの中間程度のエアリー
ク、いわゆる中リークが発生する場合がある。この場
合、図３中に一点鎖線Ｄで示すように、中リークは、例
えば図３中の経過時間Ｄ−Ｅまでに完了してしまうもの
である。その結果、小リークを判定する経過時間Ｅ−Ｆ
間では、断熱膨張による圧力変化のみ、すなわち良品
（図３中実線Ａ）と同じ圧力変化を示してしまい、適切
なリーク判定を行うことができなくなる。一方、図３に
示すように、大リークを判定する経過時間Ｃ，Ｅにおけ
るＰX／ＰVの値は、共に増加してしまうので、Ｖ1／
（Ｖ1＋Ｖ2）で規定する固定比（容積比）に対する変動
比（圧力比）による判定は行うことができない（良品と
判断する可能性がある）。そこで、中リークを判定する
ためには、測定槽１４と基準圧力室２８とを連通させた
直後（経過時間Ｂ−Ｃ；例えば、０．１ｓ）の圧力変化
に注目する。図３に示すように、中リークを起こしてい
る場合、経過時間Ｂ−Ｃ間でもエアリークにより測定槽
１４の内部圧力が良品の場合より上昇する。この短時間
における圧力変化率を良品の場合の圧力変化率と比較す
ることにより中リークの存在判定を行う。

【００３４】以上説明したように、測定槽１４に対し
て、所定の基準容積と基準圧力状態値とを有する基準測
定室２８を選択的に接続して測定槽１４の圧力変化を観
察することにより、制御部２０は大リーク、中リーク、
小リークといった全てのエアリークを識別自在に確実に
判定することが可能であり、その結果を例えば、『良
品』、『大リーク』、『中リーク』、『小リーク』のよ
うに出力する。この時、測定槽１４と基準圧力室２８と
の接続を行い圧力変化を測定するのみなので、容易な構
成で迅速かつ正確な完全リーク及び非完全リークの有無
判定を行うことができる。

【００３５】なお、本実施形態では、基準圧力室２８を
減圧する例を説明したが、基準圧力室２８を加圧状態に
して測定槽１４の槽内圧力を変化させても同様な判定を
行うことができる。また、本実施形態では測定槽１４を
大気圧としたが、基準圧力室２８と異なる圧力状態であ
れば、減圧状態でも加圧状態でも本実施形態と同様の効
果を得ることができる。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、被測定密閉容器にエア
リークが存在する場合、当該被測定密閉容器の内部空間
が測定槽の内部空間と同化し、実質的な内部容積が増加
するため、測定槽と基準圧力室とが連通した後に測定槽
の到達する圧力がエアリークが存在しない場合に対して
上昇（基準圧力室を測定槽に対して減圧した場合）また
は下降（基準圧力室を測定槽に対して加圧した場合）す
る。この圧力変化に基づいてエアリークの有無を正確に
判定する事が可能になる。この時、測定準備のための測
定槽内の圧力安定化を行う必要が無いので、測定槽と基
準圧力室とを連通させる容易な構成で迅速な判定を行う
ことが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係るエアリーク検出装置
の構成概念を説明する説明図である。

【図２】本発明の実施形態に係るエアリーク検出装置
の切換バルブの動作タイミングを示すタイミング説明図
である。

【図３】本発明の実施形態に係るエアリーク検出装置
を使用したときの各エアリークの発生時の圧力変化を説
明する説明図である。

【符号の説明】

１０エアリーク検出装置、１２ワーク、１２ａ内
部空間、１４測定槽、１４ａ上部筐体、１４ｂ下
部筐体、１６減圧装置、１８圧力センサ、２０制
御部、２２測定室、２２ａ残余空間、２４Ｏリン
グ、２６流路、２８基準圧力室、Ｖa，Ｖb，Ｖc，
Ｖd 切換バルブ。

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【手続補正書】

【提出日】平成１２年５月２日（２０００．５．２）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２６】制御部２０は、切換バルブＶaのみを開放
した状態で圧力センサ１８を制御して、経過時間Ｂ（切
換バルブＶaの開放後０．３秒経過）と経過時間Ｃ（切
換バルブＶaの開放後０．４秒経過）時点の測定室２２
の圧力（例えばＰXa，ＰXb）を測定する（図３参照）。
続いて、制御部２０は、切換バルブＶa，Ｖb，Ｖdを所
定時間（例えば、経過時間Ｃ−Ｄ間；０．４秒）開放
し、測定室２２を基準圧力室２８の当初の基準圧力状態
値Ｐ1まで減圧し（タイミングＴ６）、切換バルブＶaを
閉じて（タイミングＴ７）、所定時間（例えば、３秒）
経過後、測定室２２の圧力（例えばＰXd）を測定する。
この時、ワーク１２にエアリークが存在しない場合、測
定室２２の圧力センサ１８の測定値はＰXd＝ＰVとな
る。さらに、制御部２０は、ＰXd測定後、所定時間（例
えば、２秒）の測定室２２の圧力（例えば、ＰXc）を測
定し、エアリーク判定のための圧力測定を終了する。

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図３

【補正方法】変更

【補正内容】

【図３】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定密閉容器を収納可能な所定容積の
密閉空間を形成可能な密閉槽であって、所定の初期槽内
圧力を有する測定槽と、基準容積を有し前記初期槽内圧力と異なる基準圧力状態
を形成可能な基準圧力室と、前記測定槽と基準圧力室の選択的な連通を許容する連通
切換機構と、前記測定槽内の圧力を測定する圧力センサと、前記測定槽と基準圧力室との連通により変化した測定槽
内圧力の圧力変化に基づいて被測定密閉容器のエアリー
クの有無を判定する判定部と、を含むことを特徴とする密閉容器のエアリーク検出装
置。
【請求項２】請求項１記載の検出装置において、前記判定部は、前記基準圧力室の基準容積と、エアリークのない完全非
リークの基準密閉容器を収納した場合の測定槽の残余容
積に前記基準圧力室の基準容積を加えた総合容積とで規
定される固定比と、被測定密閉容器を収納した測定槽と
基準圧力室との連通により変化した測定槽内圧力変化値
と、被測定密閉容器を収納した測定槽を基準圧力室の基
準圧力状態値にした後所定時間経過後の測定槽内圧力と
で規定される変動比と前記固定比とを比較することによ
り被測定密閉容器の完全エアリークを判定することを特
徴とする密閉容器のエアリーク検出装置。
【請求項３】請求項１記載の検出装置において、前記判定部は、前記測定槽と基準圧力室との連通から所定時間測定槽内
圧力を測定し、その時の圧力変化量に基づいて被測定密
閉容器の非完全エアリークを検出することを特徴とする
密閉容器のエアリーク検出装置。
【請求項４】請求項１記載の検出装置において、前記判定部は、前記測定槽と基準圧力室との連通後、所定時間経過後の
短時間に変化する測定槽内圧力の圧力変化量に基づいて
被測定密閉容器の非完全エアリークを検出することを特
徴とする密閉容器のエアリーク検出装置。