JP2000350913A - ガス除去用フィルタ及びその製造方法 - Google Patents
ガス除去用フィルタ及びその製造方法Info
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- JP2000350913A JP2000350913A JP11164510A JP16451099A JP2000350913A JP 2000350913 A JP2000350913 A JP 2000350913A JP 11164510 A JP11164510 A JP 11164510A JP 16451099 A JP16451099 A JP 16451099A JP 2000350913 A JP2000350913 A JP 2000350913A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 粒径の異なる複数種の吸着剤を使用すること
により、簡単な構成で、安価に、且つ省スペースでフィ
ルタ自体から発生するガスを取り除くことのできるフィ
ルタを提供すること。 【解決手段】 ガス除去用フィルタは、フィルタ基材と
フィルタ基材に接着剤によって固着された吸着剤とを有
する。吸着剤は異なるガス成分を吸着し得る第１の吸着
剤と、第２の吸着剤とから少なくともなり、第１の吸着
剤の粒径に比して第２の吸着剤の粒径が小さい。
により、簡単な構成で、安価に、且つ省スペースでフィ
ルタ自体から発生するガスを取り除くことのできるフィ
ルタを提供すること。 【解決手段】 ガス除去用フィルタは、フィルタ基材と
フィルタ基材に接着剤によって固着された吸着剤とを有
する。吸着剤は異なるガス成分を吸着し得る第１の吸着
剤と、第２の吸着剤とから少なくともなり、第１の吸着
剤の粒径に比して第２の吸着剤の粒径が小さい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体工場等のク
リーンルームで問題となっているガス汚染による半導体
の歩留まり低下を改善することを目的とした、ガス除去
用フィルタに関する。
リーンルームで問題となっているガス汚染による半導体
の歩留まり低下を改善することを目的とした、ガス除去
用フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームで問題となっているガス
は、有機ガス、塩基性ガス、酸性ガスの３種に大きく分
類される。従来のフィルタは単一成分のガスを吸収する
ように構成されており、従って、フィルタを構成する接
着剤から他のガスが発生する場合は、さらにその成分を
吸収するフィルタを使用することにより対処していた。
は、有機ガス、塩基性ガス、酸性ガスの３種に大きく分
類される。従来のフィルタは単一成分のガスを吸収する
ように構成されており、従って、フィルタを構成する接
着剤から他のガスが発生する場合は、さらにその成分を
吸収するフィルタを使用することにより対処していた。
【０００３】このようなフィルタを備えたフィルタ装置
では、他の成分を吸収するフィルタを１枚加えると、フ
ィルタ装置のコストが高くなり、さらにそのフィルタを
設置するスペースが必要になる等の問題が発生する。
では、他の成分を吸収するフィルタを１枚加えると、フ
ィルタ装置のコストが高くなり、さらにそのフィルタを
設置するスペースが必要になる等の問題が発生する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記欠点を
解消するためになされたものであり、その目的とすると
ころは、簡単な構成で、安価に、且つ省スペースでフィ
ルタ自体から発生するガスを取り除くことのできるガス
除去用フィルタとその製造方法を提供することにある。
解消するためになされたものであり、その目的とすると
ころは、簡単な構成で、安価に、且つ省スペースでフィ
ルタ自体から発生するガスを取り除くことのできるガス
除去用フィルタとその製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明のガス除去用フィ
ルタは、フィルタ基材と、該フィルタ基材に接着剤によ
って固着された吸着剤と、を有し、該吸着剤は異なるガ
ス成分を吸着し得る第１の吸着剤と、第２の吸着剤とか
ら少なくともなり、該第１の吸着剤の粒径に比して該第
２の吸着剤の粒径が小さいことを特徴とし、そのことに
より上記目的が達成される。
ルタは、フィルタ基材と、該フィルタ基材に接着剤によ
って固着された吸着剤と、を有し、該吸着剤は異なるガ
ス成分を吸着し得る第１の吸着剤と、第２の吸着剤とか
ら少なくともなり、該第１の吸着剤の粒径に比して該第
２の吸着剤の粒径が小さいことを特徴とし、そのことに
より上記目的が達成される。
【０００６】一つの実施態様においては、前記第２の吸
着剤の粒径が、第１の吸着剤の粒径の０．１〜０．５倍
である。
着剤の粒径が、第１の吸着剤の粒径の０．１〜０．５倍
である。
【０００７】一つの実施態様においては、前記第１の吸
着剤の粒径が０．６mm〜０．８mmであり、第２の吸着剤
の粒径が０．２mm〜０．４mmである。
着剤の粒径が０．６mm〜０．８mmであり、第２の吸着剤
の粒径が０．２mm〜０．４mmである。
【０００８】一つの実施態様においては、前記フィルタ
基材に接着している第１の吸着剤の間に第２の吸着剤が
配置された状態で第２の吸着剤がフィルタ基材に接着し
ている。
基材に接着している第１の吸着剤の間に第２の吸着剤が
配置された状態で第２の吸着剤がフィルタ基材に接着し
ている。
【０００９】本発明のガス除去用フィルタの製造方法
は、フィルタ基材に接着剤を塗布する工程と、該接着剤
が塗布されたフィルタ基材に第１の吸着剤を散布して接
着させる工程と、該第１の吸着剤が接着したフィルタ基
材に第２の吸着剤を散布してフィルタ基材に該第２の吸
着剤を接着させる工程と、を包含し、そのことにより上
記目的が達成される。
は、フィルタ基材に接着剤を塗布する工程と、該接着剤
が塗布されたフィルタ基材に第１の吸着剤を散布して接
着させる工程と、該第１の吸着剤が接着したフィルタ基
材に第２の吸着剤を散布してフィルタ基材に該第２の吸
着剤を接着させる工程と、を包含し、そのことにより上
記目的が達成される。
【００１０】本発明の作用は次の通りである。
【００１１】本発明のガス除去用フィルタは、異なるガ
ス成分を吸着し得る第１の吸着剤と、第２の吸着剤とを
有するので、外部からの汚染ガスのみならずフィルタ装
置の構成部材からの汚染ガスをも吸着することができ
る。
ス成分を吸着し得る第１の吸着剤と、第２の吸着剤とを
有するので、外部からの汚染ガスのみならずフィルタ装
置の構成部材からの汚染ガスをも吸着することができ
る。
【００１２】また、第１の吸着剤の粒径に比して第２の
吸着剤の粒径が小さいので、第１の吸着剤と第２の吸着
剤を効率良くフィルタ基材に接着させることができ、ま
た容易に本発明のガス除去用フィルタを製造することも
できる。
吸着剤の粒径が小さいので、第１の吸着剤と第２の吸着
剤を効率良くフィルタ基材に接着させることができ、ま
た容易に本発明のガス除去用フィルタを製造することも
できる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
【００１４】本発明のガス除去用フィルタで使用するフ
ィルタ基材は、合成樹脂または熱可塑性樹脂エラストマ
ーで形成される。それには例えば、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド
等の熱可塑性樹脂またはポリエステル系エラストマー、
オレフィン系エラストマー等があげられる。
ィルタ基材は、合成樹脂または熱可塑性樹脂エラストマ
ーで形成される。それには例えば、ポリエチレン、ポリ
プロピレン、ポリエステル、ポリウレタン、ポリアミド
等の熱可塑性樹脂またはポリエステル系エラストマー、
オレフィン系エラストマー等があげられる。
【００１５】これらの熱可塑性樹脂で形成した三次元網
状構造を有する網状体や、繊維状不織布等でフィルタ基
材を形成することができる。
状構造を有する網状体や、繊維状不織布等でフィルタ基
材を形成することができる。
【００１６】本発明で使用する接着剤は、公知の接着剤
が使用できるが、揮発成分の少ない、あるいはほとんど
ないアクリル系接着剤（特にアクリルエマルジョン系接
着剤）が好ましい。
が使用できるが、揮発成分の少ない、あるいはほとんど
ないアクリル系接着剤（特にアクリルエマルジョン系接
着剤）が好ましい。
【００１７】本発明で使用する吸着剤としては、粒状活
性炭、活性シリカ、アルミナ活性白土、ゼオライト、イ
オン交換樹脂、ＴｉＯ2等があり、典型的には直径０．
１〜１．５mmの粒子である。
性炭、活性シリカ、アルミナ活性白土、ゼオライト、イ
オン交換樹脂、ＴｉＯ2等があり、典型的には直径０．
１〜１．５mmの粒子である。
【００１８】本発明では、異なるガス成分を吸着し得る
第１の吸着剤と、第２の吸着剤の少なくとも２種の吸着
剤を使用する。第１の吸着剤の粒径に比して第２の吸着
剤の粒径は小さいものであり、例えば、第２の吸着剤の
粒径は第１の吸着剤の粒径の０．１〜０．５倍が好まし
い。例えば、第１の吸着剤の粒径として０．６mm〜０．
８mmのものを使用する場合は、第２の吸着剤の粒径とし
て０．２mm〜０．４mmのものを使用するのが好ましい。
第１の吸着剤と、第２の吸着剤の少なくとも２種の吸着
剤を使用する。第１の吸着剤の粒径に比して第２の吸着
剤の粒径は小さいものであり、例えば、第２の吸着剤の
粒径は第１の吸着剤の粒径の０．１〜０．５倍が好まし
い。例えば、第１の吸着剤の粒径として０．６mm〜０．
８mmのものを使用する場合は、第２の吸着剤の粒径とし
て０．２mm〜０．４mmのものを使用するのが好ましい。
【００１９】ここで、吸着剤の形態としては、球形、楕
円形、方形、繊維状あるいは粉砕されたもの等何ら限定
されるものではない。本発明で使用する吸着剤の粒径と
は、吸着剤の最大径または最大寸法をいう。
円形、方形、繊維状あるいは粉砕されたもの等何ら限定
されるものではない。本発明で使用する吸着剤の粒径と
は、吸着剤の最大径または最大寸法をいう。
【００２０】第１の吸着剤と第２の吸着剤との組み合わ
せは目的に応じて（吸着するガス成分の種類等に応じ
て）選択することができる。例えば、活性炭とイオン交
換樹脂との組み合わせがあげられる。
せは目的に応じて（吸着するガス成分の種類等に応じ
て）選択することができる。例えば、活性炭とイオン交
換樹脂との組み合わせがあげられる。
【００２１】本発明のガス除去用フィルタは、上記フィ
ルタ基材に、該フィルタ基材に接着された接着剤層によ
って第１及び第２の吸着剤が固着されている。第１及び
第２の吸着剤の割合は、第１の吸着剤５０〜９０重量部
に対して、第２の吸着剤１０〜５０重量部が好ましい。
通常は、第１の吸着剤が第２の吸着剤の粒径に比して大
きいために隣接する第１の吸着剤の間に形成されるスペ
ースに第２の吸着剤が配置された状態となる。
ルタ基材に、該フィルタ基材に接着された接着剤層によ
って第１及び第２の吸着剤が固着されている。第１及び
第２の吸着剤の割合は、第１の吸着剤５０〜９０重量部
に対して、第２の吸着剤１０〜５０重量部が好ましい。
通常は、第１の吸着剤が第２の吸着剤の粒径に比して大
きいために隣接する第１の吸着剤の間に形成されるスペ
ースに第２の吸着剤が配置された状態となる。
【００２２】次に、上記構成のガス除去用フィルタの製
造例を示す。
造例を示す。
【００２３】フィルタ基材に接着剤を塗布し、接着剤が
塗布されたフィルタ基材に第１の吸着剤を散布する（上
方から振りかける）。粒子状の第１の吸着剤は接着剤に
よって基材に接着することになる。基材に対する第１の
吸着剤の量は、使用する基材の形態や吸着剤の粒径等に
よって異なるが、一般的には重量比で基材１に対して吸
着剤０．５〜１０である。
塗布されたフィルタ基材に第１の吸着剤を散布する（上
方から振りかける）。粒子状の第１の吸着剤は接着剤に
よって基材に接着することになる。基材に対する第１の
吸着剤の量は、使用する基材の形態や吸着剤の粒径等に
よって異なるが、一般的には重量比で基材１に対して吸
着剤０．５〜１０である。
【００２４】次に、第１の吸着剤が付着した状態のフィ
ルタ基材に第２の吸着剤を散布する（上方から振りかけ
る）。第２の吸着剤の粒径は第１の吸着剤の粒径に比し
て小さいために、隣接する第１の吸着剤の間に形成され
たスペースに配置され、フィルタ基材に接着することに
なる。基材に対する第２の吸着剤の量は、使用する基材
の形態や吸着剤の粒径等によって異なるが、一般的には
重量比で基材１に対して吸着剤０．１〜１０である。接
着剤が溶剤、水等の揮発成分を含んでいる場合には、適
時にこの接着剤を乾燥させる。このようにして、本発明
のガス除去用フィルタが得られる。
ルタ基材に第２の吸着剤を散布する（上方から振りかけ
る）。第２の吸着剤の粒径は第１の吸着剤の粒径に比し
て小さいために、隣接する第１の吸着剤の間に形成され
たスペースに配置され、フィルタ基材に接着することに
なる。基材に対する第２の吸着剤の量は、使用する基材
の形態や吸着剤の粒径等によって異なるが、一般的には
重量比で基材１に対して吸着剤０．１〜１０である。接
着剤が溶剤、水等の揮発成分を含んでいる場合には、適
時にこの接着剤を乾燥させる。このようにして、本発明
のガス除去用フィルタが得られる。
【００２５】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明するが、本発
明はこれらの実施例に限定されるものではない。
明はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００２６】（実施例１） １）ガス除去用フィルタの製造 フィルタ基材（発泡多孔体、８メッシュ）を接着剤に含
浸させ、強酸性イオン交換樹脂（粒径0.6 mm）をふりか
けて固定し、さらに球状活性炭（粒径0.4ｍｍ）をふり
かけて固定した後、乾燥させた。
浸させ、強酸性イオン交換樹脂（粒径0.6 mm）をふりか
けて固定し、さらに球状活性炭（粒径0.4ｍｍ）をふり
かけて固定した後、乾燥させた。
【００２７】強酸性イオン交換樹脂の使用量は、重量比
で基材１に対して６、球状活性炭の使用量は、基材１に
対して１であった。
で基材１に対して６、球状活性炭の使用量は、基材１に
対して１であった。
【００２８】２）フィルタの評価 上記項目１）で得られたフィルタを規定の大きさ（φ19
mm）に切り取り、試験ガス（30 ppmアンモニアガス）
を流通させ、フィルタの前後のアンモニアガスの濃度を
測定して、下式により除去効率（Ｅ％）を求めた。初期
除去効率は98％であった。
mm）に切り取り、試験ガス（30 ppmアンモニアガス）
を流通させ、フィルタの前後のアンモニアガスの濃度を
測定して、下式により除去効率（Ｅ％）を求めた。初期
除去効率は98％であった。
【００２９】Ｅ＝（Ａ−Ｂ）／Ａ ×１００ ここでＡはフィルタ前のアンモニアガスの濃度、Ｂはフ
ィルタ後のアンモニアガスの濃度である。
ィルタ後のアンモニアガスの濃度である。
【００３０】３）アウトガス発生評価 上記項目１）で得られたフィルタ５×５ cmを加熱チャ
ンバーの中に入れ、フィルタから発生したガスをGC-MS
により測定したところ、0.197μg/hrのガスが検出され
た。
ンバーの中に入れ、フィルタから発生したガスをGC-MS
により測定したところ、0.197μg/hrのガスが検出され
た。
【００３１】（比較例１） １）フィルタの製造 フィルタ基材（発泡多孔体、８メッシュ）を接着剤に含
浸させ、強酸性イオン交換樹脂（粒径0.6 mm）をふりか
けて固定し、乾燥させた。
浸させ、強酸性イオン交換樹脂（粒径0.6 mm）をふりか
けて固定し、乾燥させた。
【００３２】２）フィルタの評価 上記項目１）で得られたフィルタを規定の大きさ（φ19
mm）に切り取り、実施例１と同様にして除去効率（Ｅ
％）を求めた。初期除去効率は98％であった。
mm）に切り取り、実施例１と同様にして除去効率（Ｅ
％）を求めた。初期除去効率は98％であった。
【００３３】３）アウトガス発生評価 上記項目１）で得られたフィルタ５×５ cmを加熱チャ
ンバーの中に入れ、フィルタから発生したガスをGC-MS
により測定したところ、1.307μg/hrのガスが検出され
た。
ンバーの中に入れ、フィルタから発生したガスをGC-MS
により測定したところ、1.307μg/hrのガスが検出され
た。
【００３４】
【発明の効果】本発明によれば、複数種のガスに対する
吸着剤を１枚のフィルタ基材に接着しているので、外部
からの汚染ガスのみならずフィルタ装置の構成部材から
の汚染ガスを吸着して低減することができ、また構成が
簡単であって比較的安価に製造することができる。さら
に、従来のように複数種のガス吸着用フィルタを複数設
置する必要もないので、広いスペースを必要とすること
もない。
吸着剤を１枚のフィルタ基材に接着しているので、外部
からの汚染ガスのみならずフィルタ装置の構成部材から
の汚染ガスを吸着して低減することができ、また構成が
簡単であって比較的安価に製造することができる。さら
に、従来のように複数種のガス吸着用フィルタを複数設
置する必要もないので、広いスペースを必要とすること
もない。
【００３５】本発明のガス除去用フィルタは、クリーン
ルーム用として好適なものである。
ルーム用として好適なものである。
フロントページの続き (72)発明者 堀内 健一 奈良県奈良市左京６丁目５−６ ニッタ株 式会社ならやま研究所内 Ｆターム(参考） 4D012 CA10 CA12 CB03 CE03 CF05 CF10 CG01 CG02 CG05 CG06 CK05 CK07
Claims (5)
- 【請求項１】 フィルタ基材と、該フィルタ基材に接着
剤によって固着された吸着剤と、を有し、該吸着剤は異
なるガス成分を吸着し得る第１の吸着剤と、第２の吸着
剤とから少なくともなり、該第１の吸着剤の粒径に比し
て該第２の吸着剤の粒径が小さいことを特徴とするガス
除去用フィルタ。 - 【請求項２】 前記第２の吸着剤の粒径が、第１の吸着
剤の粒径の０．１〜０．５倍である請求項１に記載のガ
ス除去用フィルタ。 - 【請求項３】 前記第１の吸着剤の粒径が０．６mm〜
０．８mmであり、第２の吸着剤の粒径が０．２mm〜０．
４mmである請求項１に記載のガス除去用フィルタ。 - 【請求項４】 前記フィルタ基材に接着している第１の
吸着剤の間に第２の吸着剤が配置された状態で第２の吸
着剤がフィルタ基材に接着している請求項１〜３のいず
れかに記載のガス除去用フィルタ。 - 【請求項５】 フィルタ基材に接着剤を塗布する工程
と、該接着剤が塗布されたフィルタ基材に第１の吸着剤
を散布して接着させる工程と、該第１の吸着剤が接着し
たフィルタ基材に第２の吸着剤を散布してフィルタ基材
に該第２の吸着剤を接着させる工程と、を包含するガス
除去用フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11164510A JP2000350913A (ja) | 1999-06-10 | 1999-06-10 | ガス除去用フィルタ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11164510A JP2000350913A (ja) | 1999-06-10 | 1999-06-10 | ガス除去用フィルタ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000350913A true JP2000350913A (ja) | 2000-12-19 |
Family
ID=15794541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11164510A Pending JP2000350913A (ja) | 1999-06-10 | 1999-06-10 | ガス除去用フィルタ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000350913A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003320209A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-11 | Mahle Tennex Corp | 脱臭濾材および脱臭フィルタ |
| JP2019013888A (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-31 | 日本無機株式会社 | ガス除去フィルタ用ろ材 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05305213A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-19 | Kobe Steel Ltd | 空気浄化シート及びそれを使用した空気浄化フィルタ |
| JPH08266849A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Tsuchiya Mfg Co Ltd | 吸着構造体 |
| JPH08299720A (ja) * | 1995-05-10 | 1996-11-19 | Bridgestone Corp | 脱臭フィルター |
| JP2000153114A (ja) * | 1998-11-18 | 2000-06-06 | Japan Vilene Co Ltd | 脱臭濾材の製造方法 |
-
1999
- 1999-06-10 JP JP11164510A patent/JP2000350913A/ja active Pending
Patent Citations (4)
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| JPH05305213A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-19 | Kobe Steel Ltd | 空気浄化シート及びそれを使用した空気浄化フィルタ |
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