JP2001205028A

JP2001205028A - ガス除去用フィルタ及びその製造方法

Info

Publication number: JP2001205028A
Application number: JP2000020421A
Authority: JP
Inventors: Jiro Shibata; 次郎柴田
Original assignee: Nitta Corp
Current assignee: Nitta Corp
Priority date: 2000-01-28
Filing date: 2000-01-28
Publication date: 2001-07-31

Abstract

(57)【要約】【課題】吸着剤同士を接着剤により一体化することに
より、吸着剤同士の接触による発塵を防止でき、また交
換作業を簡易にできるガス除去用フィルタを提供するこ
と。【解決手段】多数の吸着剤を並べて形成される吸着剤
群と熱溶融性接着シートとを交互に積層し、接着シート
を溶融して少なくとも第１の吸着剤群の吸着剤と接着シ
ートを挟んで対向して配置される第２の吸着剤群の吸着
剤とを接着シートの溶融物にて固着するガス除去用フィ
ルタの製造方法。多数の吸着剤が、熱溶融性接着シート
の溶融物にて固着されているガス除去用フィルタ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、臭気、有害ガス等
を吸着濾過するためのガス除去用フィルタとその製造方
法に関し、特に、主に半導体工場などのクリーンルーム
及び工場などにおいて空気浄化のための吸排気処理用フ
ィルタとその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、この種のガス除去用フィルタ
としては、除去対象ガスによって活性炭（薬品添着炭な
ど）やゼオライトなどの吸着剤を箱詰めにして構成され
ている。また、天井設置型のフィルタでは、活性炭、イ
オン交換樹脂を樹脂発泡体に接着したり、活性炭繊維、
イオン交換樹脂繊維をプリーツ・ハニカムに加工したも
のが提案されている。

【０００３】しかし、このような従来のフィルタでは、
フィルタの設置、交換時及び通風時に、吸着剤同士がこ
すれ合って発塵が生じているという欠点があった。

【０００４】さらに、フィルタユニット一台あたりの重
量が重いため、設置、交換作業に困難が伴っていた。ま
た、天井設置型のフィルタでは、基材もしくはセパレー
ターが用いられているため、フィルタ一台あたりの容積
に対して吸着総量が小さいという欠点があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記欠点を
解決するためになされたものであり、その目的とすると
ころは、吸着剤同士を接着剤により一体化することによ
り、吸着剤同士の接触による発塵を防止でき、また交換
作業を簡易にできるガス除去用フィルタ及びその製造方
法を提供することにある。

【０００６】さらに、本発明の他の目的は、設置、交換
作業が容易であり、また天井設置型のフィルタにおいて
も、フィルタ一台あたりの容積に対して吸着総量が大き
いガス除去用フィルタ及びその製造方法を提供すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に記載のガス除
去用フィルタの製造方法は、多数の吸着剤を並べて形成
される吸着剤群と熱溶融性接着シートとを交互に積層
し、該接着シートを溶融して少なくとも第１の吸着剤群
の吸着剤と接着シートを挟んで対向して配置される第２
の吸着剤群の吸着剤とを該接着シートの溶融物にて固着
することを特徴とし、そのことにより上記目的が達成さ
れる。

【０００８】請求項２に記載のガス除去用フィルタの製
造方法は、多数の吸着剤を並べて第１の吸着剤群を形成
する工程、該第１の吸着剤群の上に接着シートを配置す
る工程、該接着シートの上に多数の吸着剤を並べて第２
の吸着剤群を形成する工程、および該接着シートを溶融
して少なくとも第１の吸着剤群の吸着剤と第２の吸着剤
群の吸着剤とを該接着シートの溶融物にて固着する工
程、を包含し、そのことにより上記目的が達成される。

【０００９】請求項３に記載のガス除去用フィルタは、
多数の吸着剤が、熱溶融性接着シートの溶融物にて固着
されていることを特徴とし、そのことにより上記目的が
達成される。

【００１０】一つの実施態様においては、前記吸着剤の
平均粒径が３mm以上である。

【００１１】一つの実施態様においては、前記接着シー
トがポリアミド、ポリオレフィン及びポリエステルから
なる群から選択される少なくとも一種からなる多孔性シ
ートである。

【００１２】本発明の作用は次の通りである。

【００１３】多数の吸着剤が熱溶融性接着シートによっ
て直接、固着されて所定厚みのフィルタが形成されてい
ることにより、従来のフィルタのように樹脂発泡体など
の空隙を有する基材を用いたり、あるいは不織布も必要
とせずにフィルタを形成できる。得られたフィルタは、
吸着剤同士が直接接着シートの溶融物によって固着され
ていることにより、吸着剤同士の接触による発塵を防止
できる。

【００１４】また、従来のように溶剤系の接着剤あるい
は水系の接着剤を使用することがないので、これらの溶
液状接着剤が吸着剤の表面に浸入してその吸着能を低下
させたり、多量の接着剤が吸着剤の表面を覆って吸着剤
の吸着能を低下させることがない。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。

【００１６】本発明で使用する吸着剤としては、粒状活
性炭、無機吸着剤、薬品添着活性炭、イオン交換樹脂、
薬品添着無機吸着剤等がある。具体的には、粒状活性炭
には、球状活性炭、粉砕活性炭、破砕活性炭、造粒活性
炭があり、無機吸着剤には、シリカゲル、アルミナ、活
性白土、ゼオライト等がある。また、吸着剤には、酸化
チタン、酸化銅、ニッケル等の金属触媒、難燃助剤を添
加してもよい。

【００１７】好ましい吸着剤は、平均粒径が３．０mm以
上、特に３．０〜１０．０mmの粒状活性炭や、イオン交
換樹脂の造粒加工品である。粒径が球でない場合には長
径が３．０mm以上が好ましい。このような比較的粒径が
大きい吸着剤は、小粒径の吸着剤を樹脂等で成形固着し
て形成することができる。

【００１８】本発明では吸着剤を固着するために、従来
のような水系接着剤、非溶剤系接着剤、溶剤系接着剤等
の液状接着剤を使用するものではなく、その代わりに熱
溶融性接着シートを使用する。

【００１９】熱溶融性接着シートとしては、ポリアミ
ド、ポリオレフィン、及びポリエステルの一種または２
種以上が好ましく使用される。接着シートの形態として
は、通常のフィルムでもよいが、多孔性シートが好まし
い。例えば、ポリアミドとポリオレフィンとの混合から
なるホットメルト樹脂のくもの巣状の不織布シートがあ
る。市販品としては、ダイナックシート（商標、東洋紡
社製）がある。

【００２０】本発明のフィルタは、多数の吸着剤が、熱
溶融性接着シートの溶融物にて固着されており、隣接す
る相互の吸着剤の間に通気用の空隙が形成されているの
で。気体（空気等）がこの空隙を通過する際に、気体中
の吸着成分（臭い成分や有害ガス等）が吸着剤に吸着さ
れることになる。

【００２１】本発明のフィルタにおいては、各吸着剤が
接着シートの溶融物によって固着されているので、従来
のような基材が不要であると共に、吸着剤の固着強度が
高く、擦れ等によって落下するのを防止し、発塵を防止
できる。また、従来のフィルタのように、フィルタ枠が
不要であるので、フィルタの配置や取り付けも容易であ
る。フィルタを構成する吸着剤の粒径は適切な固着強度
のフィルタを得る上で、および通気抵抗の低いフィルタ
を得る上で３．０ｍｍ以上が好ましい。

【００２２】以下に、本発明のフィルタの製造方法の一
例を以下に示す。

【００２３】図１に示すように、基台１上に枠２を配置
し、この枠２内に吸着剤３を１層だけ散布して第１の吸
着剤群を形成する。吸着剤３の密度は任意に設定するこ
とができるが、隣接する吸着剤３が相互に近接または接
触する状態で密に１層配置するのが好ましい。

【００２４】次いで、第１の吸着剤群の上に熱溶融性接
着シート４を配置し、さらにその接着シート４の上にさ
らに吸着剤３を１層だけ散布して並べ、第２の吸着剤群
を形成する。必要に応じて、さらにこの第２の吸着剤群
の上に接着シート４を配置し、上記操作を繰り返す。こ
のようにして、所望とする高さとなるように吸着剤群と
接着シート４とを交互に積層し、その後この積層体を接
着シート４の溶融温度以上の温度に加熱して溶融させ
る。

【００２５】接着シート４の溶融方法は、積層体をオー
ブンの中に配置してもよく、あるいは熱風を積層体に吹
き付けてもよい。接着シート４の溶融によって第１の吸
着剤群の中の吸着剤３と接着シート４を挟んで対向する
第２の吸着剤群中の吸着剤３とが相互に該接着シート４
の溶融物４ａで固着する（図２）。吸着剤群と接着シー
ト４とが多層（２層以上）に積層されている場合も同様
である。また、接着シート４の溶融物４ａによって同じ
吸着剤群の中の吸着剤３、３同士も相互に固着し得る。

【００２６】このようにして得られたフィルタにおいて
は、隣接する吸着剤３が接着シート４の溶融物４ａによ
って接合され、しかも該接合部の面積は小さいので、吸
着剤３の表面が接着剤によって大きく減少させられるこ
とがない。つまり、接着剤が吸着剤３の有効な表面を被
覆することがない。接着シートとして、多孔質のシート
を用いた場合には、吸着剤に付着する接着剤の量をさら
に減少することができる。

【００２７】

【実施例】以下に、本発明の実施例を説明するが、本発
明はこれらの実施例に限定されるものではない。

【００２８】（実施例１）内径１９mmの金属製円筒に粒
状添着活性炭（ピュラコールＡＭＳクラレケミカル
製、粒径３〜５mm）を、互いに重ならないように一層だ
け並べ、その上に熱溶融性シート（ダイナミックＬＮＳ
−００６０呉羽テック製）を載せた。この作業を５回繰
り返し、高さ２０mmの積層体を得た。

【００２９】次に、金属製円筒ごと１５０℃のオーブン
中に入れて２０分間加熱してシートを溶融させ、サンプ
ルを作成した。

【００３０】得られたサンプルを用いて、アンモニアガ
スの除去効率を測定した。図３に試験装置の概略を示
す。試験装置は、アンモニアガスボンベ１０と、マスフ
ローコントローラ１１と、アンモニアガスの希釈用ガス
の流量計１２と、試験サンプル装着部１３と、吸引ポン
プ１４とを有する。測定方法は、３０ｐｐｍのアンモニ
アガスを流し（風速０．３ｍ／ｓｅｃ）たときのサンプ
ル１３の上流と下流のアンモニアガス濃度からアンモニ
ア除去効率を算出した。

【００３１】その結果、アンモニアガス除去効率は９２
％であった。

【００３２】（比較例１）実施例１と同一の粒状添着活
性炭を同量だけ内径１９mmの試験カラムに入れ、実施例
１と同様な方法でアンモニアガスの除去効率を測定し
た。その結果、アンモニアガス除去効率は、８８％であ
った。

【００３３】

【発明の効果】本発明によれば、吸着剤同士を接着シー
トの溶融物で固着するので、フィルタの設置、交換及び
通風時等において発塵がなく、またフィルタ枠やフィル
タ基材が不要であるので、フィルタに対する付属部品の
重量が軽く、設置、交換作業も容易であり、またフィル
タ１台あたりの容積に対する吸着容量も大きい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガス除去用フィルタの製造方法の一例
を示す模式図である。

【図２】本発明のガス除去用フィルタの要部拡大図であ
る。

【図３】本発明のガス除去用フィルタのアンモニアガス
除去効率の測定方法を示す模式図である。

【符号の説明】

１基台２枠３吸着剤４接着シート

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】多数の吸着剤を並べて形成される吸着剤
群と熱溶融性接着シートとを交互に積層し、該接着シー
トを溶融して少なくとも第１の吸着剤群の吸着剤と接着
シートを挟んで対向して配置される第２の吸着剤群の吸
着剤とを該接着シートの溶融物にて固着することを特徴
とするガス除去用フィルタの製造方法。
【請求項２】多数の吸着剤を並べて第１の吸着剤群を
形成する工程、該第１の吸着剤群の上に熱溶融性接着シートを配置する
工程、該接着シートの上に多数の吸着剤を並べて第２の吸着剤
群を形成する工程、および該接着シートを溶融して少な
くとも第１の吸着剤群の吸着剤と第２の吸着剤群の吸着
剤とを該接着シートの溶融物にて固着する工程、を包含
するガス除去用フィルタの製造方法。
【請求項３】多数の吸着剤が、熱溶融性接着シートの
溶融物にて固着されていることを特徴とするガス除去用
フィルタ。
【請求項４】前記吸着剤の平均粒径が３mm以上である
請求項３に記載のガス除去用フィルタ。
【請求項５】前記接着シートがポリアミド、ポリオレ
フィン及びポリエステルからなる群から選択される少な
くとも一種からなる多孔性シートである請求項３又は４
に記載のガス除去用フィルタ。