JP2000346129A - 振動除去装置 - Google Patents

振動除去装置

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JP2000346129A
JP2000346129A JP11163161A JP16316199A JP2000346129A JP 2000346129 A JP2000346129 A JP 2000346129A JP 11163161 A JP11163161 A JP 11163161A JP 16316199 A JP16316199 A JP 16316199A JP 2000346129 A JP2000346129 A JP 2000346129A
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JP
Japan
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permanent magnet
yoke
vibration
shaped
plate
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JP11163161A
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English (en)
Inventor
Kenichi Kon
健一 今
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Tokin Corp
Original Assignee
Tokin Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型、かつ薄型で取り扱いが容易な安価な振
動除去装置を得る。 【解決手段】 コの字型のヨーク1と、第1の永久磁石
2a、第2の永久磁石2b、および帯状金属導体4とで
構成されていて、前記コの字型のヨーク1は、第1の板
状ヨーク1aと、第2の板状ヨーク1bの間に中間ヨー
ク3が配置されて構成されたコの字型形状であり、前記
第1の帯状ヨーク1aには複数極性の着磁を行った第1
の永久磁石2aが固定され、第2の帯状ヨーク1bに
は、前記と同一間隔の複数極性の着磁を行った第2の永
久磁石2bが、互いに磁極の極性が対向するように接合
されていて、 前記帯状金属導体4は、その平面部分
を、前記第1の永久磁石2aと第2の永久磁石2bとの
なす空隙内に平行に配置され、他端部が被対象物と機械
的に固定されている振動除去装置とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密機器等の設置
に用いる架台の振動を除去する振動除去装置に関し、特
に、精密機器設置用架台の横方向振動を除去装置として
好適な振動除去装置に関する。
【0002】
【従来の技術】精密機器において、外来の機械的な振動
により製品特性に大きな影響を生じる場合がある。その
振動を除去する手段として、従来より、ゴム等の柔軟性
樹脂等による振動除去装置、エア、油等による流動体に
よる振動除去装置が提案されている。
【0003】従来の振動除去装置の例を、図2に示す。
図2にて、振動除去装置は、固定台61と固定台71
が、ゴム8によって接合された構成となっている。ここ
で、固定台61は、被対象物に固定されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】その一つに、ゴム等に
よる柔軟性樹脂を使用した振動除去装置では、使用環境
条件や経年変化により性能特性が劣化する。また、振動
除去装置を振動体と固定台の間に挿入するため、高さ方
向に影響があるような装置には、設置が困難である。一
方、流動体を使用した振動除去装置では、環境温度変化
による特性変化が大きく、限られた使用条件下での使用
となっている。
【0005】それに加え、流動体を使用することによ
り、気密構造等の複雑な構造が必要となり、小型、軽量
化を計ることが難しく、また、定期的なメンテナンスを
必要としているため、取り扱いが困難である。
【0006】そこで、本発明は、小型かつ薄型で取り扱
いが容易な安価な振動除去装置を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記の問題を解決するた
めの本発明の構成は、コの字型ヨークに、複数極着磁を
行った永久磁石を接着した組立品2枚を、所定の隙間を
持たせた状態にて対抗させ、かつ交番磁界が発生するよ
うに配置し、磁気回路を形成する。
【0008】磁気回路は、固定台上に固定される帯状の
金属導体を磁気回路の隙間中央に、永久磁石面と平行か
つ接触しないように配置し、振動を除去しようとする対
象物へ固定する。この帯状金属導体が交番磁界方向と同
一方向の振動等に変位を起こした場合、この導体に電磁
力により渦電流が発生し、この渦電流により力が発生
し、振動を吸収することができる。形状を帯状にするこ
とにより、高さ寸法を押さえることができることを特徴
とする。
【0009】本発明では、板状ヨークに接着した永久磁
石により、交番磁界発生磁気回路形成することにより、
効率的に、金属導体に渦電流を発生させ、振動吸収特性
を向上させることができる。
【0010】また、従来型と比較し、環境温度変化によ
る特性劣化、気密構造等による複雑な構造が不要にな
り、取り扱いが容易になると共に、小型、軽量化及び取
り扱いが容易になり効果的である。
【0011】即ち、本発明は、電磁力による制動効果を
利用する振動除去装置であって、その構成は、コの字型
ヨークと、第1の永久磁石、第2の永久磁石、および帯
状金属導体とで構成されていて、前記コの字型ヨーク
は、第1の板状ヨークと、第2の板状ヨークの間に中間
ヨークが配置されて構成されたコの字型形状であり、前
記第1の板状ヨークには複数極性の着磁を行った第1の
永久磁石が固定され、第2の板状ヨークには、前記と同
一間隔の複数極性の着磁を行った第2の永久磁石が、互
いに磁極の極性が対向するように接合されていて、前記
帯状金属導体は、その平面部分を、前記第1の永久磁石
と第2の永久磁石とのなす空隙内に平行に配置され、他
端部が被対象物と機械的に固定されている振動除去装置
である。
【0012】また、本発明は、前記第1の永久磁石と、
第2の永久磁石の材質を希土類金属系材料とし、前記帯
状金属導体は、その材質をアルミ材料とする振動除去装
置である。
【0013】また、本発明は、前記第1の永久磁石と、
第2の永久磁石の着磁を、所定の間隔にて、長手方向に
磁極を交互に反転させる着磁をしてなる振動除去装置で
ある。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態による振動除
去装置について、以下、実施例によって説明する。
【0015】
【実施例】本発明の実施例による振動除去装置の例を、
図1に示す。
【0016】図1より、本発明による振動除去装置は、
コの字型のヨーク1と、第1の永久磁石2aと、第2の
永久磁石2b、および帯状金属導体4とで構成されてい
る。ここで、前記コの字型のヨーク1は、第1の帯状ヨ
ーク1aと、第2の帯状ヨーク1bの間に接続ヨーク3
が配置されて構成されたコの字型形状である。
【0017】また、前記第1の板状ヨーク1aには複数
極性の着磁を行った第1の永久磁石2aが固定され、第
2の板状ヨーク1bには、前記と同一間隔の複数極性の
着磁を行った第2の永久磁石2bが、互いに磁極の極性
が対向するように接合されている。
【0018】ここで、帯状金属導体4が、その平面部分
を、第1の永久磁石2aと第2の永久磁石2bとのなす
空隙内に平行に配置され、他端部が被対象物と機械的に
固定されている振動除去装置とする。
【0019】また、第1の永久磁石2aと、第2の永久
磁石2bの着磁は、所定の間隔にて、長手方向に磁極を
交互に反転させる着磁としている。また、第1の永久磁
石2aと、第2の永久磁石2bは、その材質を希土類金
属系材料とし、前記帯状金属導体4は、その材質をアル
ミ材料としている。
【0020】ここで、各部の寸法は下記のごとくであ
る。板状ヨーク1aに、長手方向に複数極の着磁を行っ
た厚み3mm、幅20mm、長さ40mmの第1の永久
磁石2aを接着にて固定し、一方、板状ヨーク1bに同
じく長手方向に複数極の着磁を行った厚み3mm、幅2
0mm、長さ40mmの永久磁石2bを接着にて固定
し、中間ヨーク3にて永久磁石を交番磁界が発生する用
に対向させ、間隙5mmをあけて固定し磁気回路を形成
させる。この時の磁気回路の間隙中央に於ける、磁界強
度は2kGピーク程度である。
【0021】磁気回路は、固定台6に固定されている。
対向させた第1永久磁石2aと、第2永久磁石2bとの
空隙中央に、両永久磁石と平行に厚み1mm、幅20m
m、長さ60mmの金属導体4をに挿入する。
【0022】金属導体4の片側は、スペーサー5にて振
動を除去しようとする対象物とする固定台7に取り付け
られる。上記の永久磁石2は高性能の希土類系磁石(S
m−Co系磁石等)が好ましい。また、金属導体7の材
質は、アルミ等の良導体が好ましい。
【0023】固定台7が固定台6の永久磁石2と平行方
向(伸び方向)及び曲げ方向に振動及び移動した場合、
帯状金属導体4は、第1の永久磁石2aと第2の永久磁
石2bとの間に発生する交番磁界中を平行移動すること
になり、発生磁束が交錯する。
【0024】この時、帯状金属導体4中には、電磁誘導
により渦電流が発生する。この渦電流は、フレミングの
左手の法則により振動(平行移動)方向と直交し、振動
をうち消す方向へ力を発生させる。この力は、振動の大
きさに比例し発生するため、この力により、結果的に
は、振動を吸収させることができる。
【0025】
【発明の効果】以上、本発明によれば、小型かつ薄型で
取り扱いが容易な安価な振動除去装置を提供できるもの
である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による振動除去装置を示す
図。
【図2】従来の振動除去装置を示す図。
【符号の説明】
1 コの字型ヨーク 1a 第1の板状ヨーク 1b 第2の板状ヨーク 2a 第1の永久磁石 2b 第2の永久磁石 3 中間ヨーク 4 帯状の金属導体 5 スペーサ 6,7,61,71 固定台 8 ゴム

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電磁力による制動効果を利用する振動除
    去装置であって、その構成は、コの字型ヨークと、第1
    の永久磁石、第2の永久磁石、および帯状金属導体とで
    構成されていて、前記コの字型ヨークは、第1の板状ヨ
    ークと、第2の板状ヨークの間に中間ヨークが配置され
    て構成されたコの字型形状であり、前記第1の板状ヨー
    クには複数極性の着磁を行った第1の永久磁石が固定さ
    れ、第2の板状ヨークには、前記と同一間隔の複数極性
    の着磁を行った第2の永久磁石が、互いに磁極の極性が
    対向するように接合されていて、前記帯状金属導体は、
    その平面部分を、前記第1の永久磁石と第2の永久磁石
    とのなす空隙内に平行に配置され、他端部が被対象物と
    機械的に固定されていることを特徴とする振動除去装
    置。
  2. 【請求項2】 前記第1の永久磁石と、第2の永久磁石
    は、その材質を希土類金属系材料とし、前記帯状金属導
    体は、その材質をアルミ材料とすることを特徴とする請
    求項1記載の振動除去装置。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の振動除去装置
    において、第1の永久磁石と、第2の永久磁石は、その
    着磁を、所定の間隔にて、長手方向に磁極を交互に反転
    させる着磁をしてなることを特徴とする振動除去装置。
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