JPH05328702A - 平面アクチュエータの可動子支持装置 - Google Patents
平面アクチュエータの可動子支持装置Info
- Publication number
- JPH05328702A JPH05328702A JP16024492A JP16024492A JPH05328702A JP H05328702 A JPH05328702 A JP H05328702A JP 16024492 A JP16024492 A JP 16024492A JP 16024492 A JP16024492 A JP 16024492A JP H05328702 A JPH05328702 A JP H05328702A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stator
- mover
- movable element
- top surface
- pole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 可動子２と固定子１の互いに対向する面を平
板状に形成し、可動子２または固定子１に高周波の振動
を発生する加振器５を取り付け、加振器５により可動子
２または固定子１を固定子１の上面に対して垂直方向に
振動させて、移動子２と固定子１の間に気体のスクィー
ズ膜を形成するものである。 【効果】 設備費が安く、小形で安定した平面アクチュ
エータを提供できる。
板状に形成し、可動子２または固定子１に高周波の振動
を発生する加振器５を取り付け、加振器５により可動子
２または固定子１を固定子１の上面に対して垂直方向に
振動させて、移動子２と固定子１の間に気体のスクィー
ズ膜を形成するものである。 【効果】 設備費が安く、小形で安定した平面アクチュ
エータを提供できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、平面上を２次元方向に
移動し得る平面アクチュエータに関し、特にその可動子
の支持機構に関する。
移動し得る平面アクチュエータに関し、特にその可動子
の支持機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、平面モータの可動子を平面状の固
定子上に空隙を介して支持する場合、固定子にエアベア
リングを設け、可動子を空気圧によって浮上させて支持
している（例えば特開昭５９−１１０３６６号公報）。
定子上に空隙を介して支持する場合、固定子にエアベア
リングを設け、可動子を空気圧によって浮上させて支持
している（例えば特開昭５９−１１０３６６号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成で
はエアベアリングのために圧力空気発生装置が必要とな
り、設備費が高くなる問題があった。また、可動子の固
定子に対向する面積が極めて小さい小形平面アクチュエ
ータの場合、エアベアリングが不安定になりやすく、可
動子と固定子の空隙長さを安定させるためにはエアベア
リングの構造が複雑になるという欠点があった。本発明
は、圧力空気発生装置を用いることなく、安定して可動
子を浮上させ、かつ設備費が安い平面アクチュエータの
支持装置を提供することを目的とするものである。
はエアベアリングのために圧力空気発生装置が必要とな
り、設備費が高くなる問題があった。また、可動子の固
定子に対向する面積が極めて小さい小形平面アクチュエ
ータの場合、エアベアリングが不安定になりやすく、可
動子と固定子の空隙長さを安定させるためにはエアベア
リングの構造が複雑になるという欠点があった。本発明
は、圧力空気発生装置を用いることなく、安定して可動
子を浮上させ、かつ設備費が安い平面アクチュエータの
支持装置を提供することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、可動子を平面
状の固定子上に空隙を介して支持する平面アクチュエー
タの可動子支持装置において、前記可動子と前記固定子
の互いに対向する面を平板状に形成し、前記可動子また
は前記固定子に高周波の振動を発生する加振器を取り付
け、前記加振器により前記可動子または前記固定子を前
記固定子の上面に対して垂直方向に振動させて、前記移
動子と固定子の間に気体のスクィーズ膜を形成するもの
である。とくに、上記加振器を圧電素子または静電電極
で構成したものである。
状の固定子上に空隙を介して支持する平面アクチュエー
タの可動子支持装置において、前記可動子と前記固定子
の互いに対向する面を平板状に形成し、前記可動子また
は前記固定子に高周波の振動を発生する加振器を取り付
け、前記加振器により前記可動子または前記固定子を前
記固定子の上面に対して垂直方向に振動させて、前記移
動子と固定子の間に気体のスクィーズ膜を形成するもの
である。とくに、上記加振器を圧電素子または静電電極
で構成したものである。
【０００５】
【作用】可動子と固定子の互いに対向する面を平板状に
形成し、可動子または固定子に高周波の振動を発生する
加振器を取り付けて可動子または固定子を振動させるの
で、可動子と固定子の間に気体のスクィーズ膜を形成
し、可動子が固定子上に浮上支持される。
形成し、可動子または固定子に高周波の振動を発生する
加振器を取り付けて可動子または固定子を振動させるの
で、可動子と固定子の間に気体のスクィーズ膜を形成
し、可動子が固定子上に浮上支持される。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の電磁形平面モータの実施例を示す側断面
図で、固定子１の上面１１にはＸ，Ｙ方向に伸び、かつ
等間隔に溝１２を設けてあり、碁盤目状に凸極１３を形
成してある。凸極１３の表面および溝１２の中にＳｉＯ
2 などの非磁性材料からなる充填材１４を塗布または埋
め込んで、固定子１の上面１１を平板状に形成してあ
る。固定子１の上にはＸ，Ｙ方向に移動し得る可動子２
を設けてある。可動子２は、Ｘ方向に所定のピッチで配
列した凸極３１に励磁コイル３２を巻回したＸ方向磁極
３と、Ｙ方向に所定のピッチで配列した凸極４１に励磁
コイル４２を巻回したＹ方向磁極４とを設け、凸極３
１、４１を固定子の凸極１３に対向するようにしてあ
る。Ｘ方向磁極３とＹ方向磁極４に隣接して固定子１の
上面１１に対して垂直方向にスライダ５２を振動する圧
電素子５１よりなる加振器５を設けてある。可動子の固
定子１に対向する下面２１の各凸極の間にはＳｉＯ2 な
どの非磁性材料からなる充填材２２を塗布または埋め込
んで、移動子２の下面２１を平板状に形成してある。２
３はＸ方向磁極３、Ｙ方向磁極４、圧電素子５を覆うカ
バーである。圧電素子５１に、図示しない電源によっ
て、数ＫＨｚの高周波電圧を加えて加振器５を振動させ
ると、スライダ５２が固定子１の上面１１に対して垂直
方向に振動して、移動子２の下面２１と固定子１の上面
１１の間に気体のスクィーズ膜（例えば、雑誌「トライ
ボロジスト」第３６巻第７号、１９９１年、５４３〜５
４８ページ参照）を生じ、可動子２は１０μｍオーダの
空隙を介して浮上支持される。その後、励磁コイル３
２、４２に電圧を印加して可動子２を任意の方向に移動
する。図２は第２の実施例で、加振器５を可動子２に設
ける代わりに、固定子１とベース６の間に設けたもの
で、圧電素子５１に高周波電圧を印加して固定子１全体
を振動させ、固定子１の上面１１と可動子２の下面２１
との間に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子２を浮上
支持するものである。図３は第３の実施例で、加振源に
圧電素子を使用する代わりに、静電吸引力を利用する静
電形加振器７を使用するもので、固定子１とベース６を
板状のゴムなどからなるバネ８によって空隙を介して対
向するように支持し、固定子１がベース６と対向する面
に静電電極７１、７２を絶縁材７３を介して設けてあ
る。静電電極７１、７２に高周波の電位を与えることに
より、固定子１を振動させ、固定子１の上面１１と可動
子２の下面２１に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子
２を浮上支持するものである。なお、以上は電磁形平面
モータについて適用した例を説明したが、静電モータな
ど、他の原理を利用した平面モータに適用してもよい。
また、実施例は励磁コイル側を可動子、碁盤目状に形成
した凸極を固定子としているが、この構成を逆にしても
よいことは言うまでもない。
図１は本発明の電磁形平面モータの実施例を示す側断面
図で、固定子１の上面１１にはＸ，Ｙ方向に伸び、かつ
等間隔に溝１２を設けてあり、碁盤目状に凸極１３を形
成してある。凸極１３の表面および溝１２の中にＳｉＯ
2 などの非磁性材料からなる充填材１４を塗布または埋
め込んで、固定子１の上面１１を平板状に形成してあ
る。固定子１の上にはＸ，Ｙ方向に移動し得る可動子２
を設けてある。可動子２は、Ｘ方向に所定のピッチで配
列した凸極３１に励磁コイル３２を巻回したＸ方向磁極
３と、Ｙ方向に所定のピッチで配列した凸極４１に励磁
コイル４２を巻回したＹ方向磁極４とを設け、凸極３
１、４１を固定子の凸極１３に対向するようにしてあ
る。Ｘ方向磁極３とＹ方向磁極４に隣接して固定子１の
上面１１に対して垂直方向にスライダ５２を振動する圧
電素子５１よりなる加振器５を設けてある。可動子の固
定子１に対向する下面２１の各凸極の間にはＳｉＯ2 な
どの非磁性材料からなる充填材２２を塗布または埋め込
んで、移動子２の下面２１を平板状に形成してある。２
３はＸ方向磁極３、Ｙ方向磁極４、圧電素子５を覆うカ
バーである。圧電素子５１に、図示しない電源によっ
て、数ＫＨｚの高周波電圧を加えて加振器５を振動させ
ると、スライダ５２が固定子１の上面１１に対して垂直
方向に振動して、移動子２の下面２１と固定子１の上面
１１の間に気体のスクィーズ膜（例えば、雑誌「トライ
ボロジスト」第３６巻第７号、１９９１年、５４３〜５
４８ページ参照）を生じ、可動子２は１０μｍオーダの
空隙を介して浮上支持される。その後、励磁コイル３
２、４２に電圧を印加して可動子２を任意の方向に移動
する。図２は第２の実施例で、加振器５を可動子２に設
ける代わりに、固定子１とベース６の間に設けたもの
で、圧電素子５１に高周波電圧を印加して固定子１全体
を振動させ、固定子１の上面１１と可動子２の下面２１
との間に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子２を浮上
支持するものである。図３は第３の実施例で、加振源に
圧電素子を使用する代わりに、静電吸引力を利用する静
電形加振器７を使用するもので、固定子１とベース６を
板状のゴムなどからなるバネ８によって空隙を介して対
向するように支持し、固定子１がベース６と対向する面
に静電電極７１、７２を絶縁材７３を介して設けてあ
る。静電電極７１、７２に高周波の電位を与えることに
より、固定子１を振動させ、固定子１の上面１１と可動
子２の下面２１に気体のスクィーズ膜を形成し、可動子
２を浮上支持するものである。なお、以上は電磁形平面
モータについて適用した例を説明したが、静電モータな
ど、他の原理を利用した平面モータに適用してもよい。
また、実施例は励磁コイル側を可動子、碁盤目状に形成
した凸極を固定子としているが、この構成を逆にしても
よいことは言うまでもない。
【０００７】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、可
動子または固定子に高周波によって加振する加振器を取
り付け、固定子と可動子の間に気体のスクィーズ膜を形
成して可動子を浮上支持するので、設備費が安く小形で
安定した平面アクチュエータを提供できる効果がある。
動子または固定子に高周波によって加振する加振器を取
り付け、固定子と可動子の間に気体のスクィーズ膜を形
成して可動子を浮上支持するので、設備費が安く小形で
安定した平面アクチュエータを提供できる効果がある。
【図１】本発明の実施例を示す側断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す側断面図である。
【図３】本発明の他の実施例を示す側断面図である。
【符号の説明】 １ 固定子 １１ 上面 １２ 溝 １３、３１、４１
凸極 １４、２２ 充填材 ２ 可動子 ２１ 下面 ３ Ｘ方向磁極 ４ Ｙ方向磁極 ３２、４２ 励磁
コイル ５ 加振器 ５１ 圧電素子 ６ ベース ７ 静電加振器 ７１、７２ 静電電極 ７３ 絶縁材 ８ バネ
凸極 １４、２２ 充填材 ２ 可動子 ２１ 下面 ３ Ｘ方向磁極 ４ Ｙ方向磁極 ３２、４２ 励磁
コイル ５ 加振器 ５１ 圧電素子 ６ ベース ７ 静電加振器 ７１、７２ 静電電極 ７３ 絶縁材 ８ バネ
Claims (2)
- 【請求項１】 可動子を平面状の固定子上に空隙を介し
て支持する平面アクチュエータの可動子支持装置におい
て、前記可動子と前記固定子の互いに対向する面を平板
状に形成し、前記可動子または前記固定子に高周波の振
動を発生する加振器を取り付け、前記加振器により前記
可動子または前記固定子を前記固定子の上面に対して垂
直方向に振動させて、前記移動子と固定子の間に気体の
スクィーズ膜を形成することを特徴とする平面アクチュ
エータの可動子支持装置。 - 【請求項２】 上記加振器を圧電素子または静電電極で
構成した請求項１記載の平面アクチュエータの可動子支
持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16024492A JP3244193B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 平面アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16024492A JP3244193B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 平面アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05328702A true JPH05328702A (ja) | 1993-12-10 |
| JP3244193B2 JP3244193B2 (ja) | 2002-01-07 |
Family
ID=15710821
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16024492A Expired - Fee Related JP3244193B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | 平面アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3244193B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7257902B2 (en) | 2004-03-19 | 2007-08-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Stage device |
| US20130147317A1 (en) * | 2010-12-23 | 2013-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Mems kinetic energy conversion |
| CN104617740A (zh) * | 2015-01-14 | 2015-05-13 | 江西农业大学 | 一种湿式耐高温电―机械转换器 |
| WO2018161016A1 (en) * | 2017-03-02 | 2018-09-07 | Discovery Technology International, Inc. | Linear piezoelectric actuator on rail system |
-
1992
- 1992-05-26 JP JP16024492A patent/JP3244193B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7257902B2 (en) | 2004-03-19 | 2007-08-21 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Stage device |
| US20130147317A1 (en) * | 2010-12-23 | 2013-06-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Mems kinetic energy conversion |
| US8763220B2 (en) * | 2010-12-23 | 2014-07-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method of manufacturing a MEMS device |
| CN104617740A (zh) * | 2015-01-14 | 2015-05-13 | 江西农业大学 | 一种湿式耐高温电―机械转换器 |
| WO2018161016A1 (en) * | 2017-03-02 | 2018-09-07 | Discovery Technology International, Inc. | Linear piezoelectric actuator on rail system |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3244193B2 (ja) | 2002-01-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101336562B (zh) | 压电致动器及电子装置 | |
| JP5304877B2 (ja) | 発電装置及び電子機器 | |
| US5453653A (en) | Ceramic motor | |
| EP0067317B1 (en) | Fluid bearing assembly | |
| US11025149B2 (en) | Linear vibration motor and electronic device | |
| US20100187835A1 (en) | Electromagnetic Energy Scavenger Based on Moving Permanent Magnets | |
| JPH04505091A (ja) | バイブレータ | |
| JPWO2016194762A1 (ja) | リニア振動モータ | |
| US20200274432A1 (en) | Vibration generating device | |
| JP2023520097A (ja) | 振動アクチュエータ | |
| JP4616008B2 (ja) | 超音波浮上装置 | |
| JPH05328702A (ja) | 平面アクチュエータの可動子支持装置 | |
| JP2000051790A (ja) | 電磁モ―タ及びこのようなモ―タを少なくとも１つ備えたアクティブ振動制御装置 | |
| JPH10115527A (ja) | 共振子 | |
| JP2019193511A (ja) | リニア振動モータ及び電子機器 | |
| JPH03139180A (ja) | 超音波浮揚装置 | |
| JP2004105816A (ja) | 電磁音響変換振動発生器と同器を備えた移動体通信装置 | |
| JP4819445B2 (ja) | 超音波浮上装置 | |
| JPS60162487A (ja) | 圧電駆動装置 | |
| JP5305380B2 (ja) | アクチュエータ、位置決め装置 | |
| JPH02209339A (ja) | 紙送り装置 | |
| JPH03124275A (ja) | 平面２自由度アクチュエータ | |
| Hong et al. | The trial fabrication and characteristics of linear ultrasonic motor for application to XY table | |
| JPH03117357A (ja) | 交流及び交流パルス電流による励磁振動機構の振動子に永久磁石を使用する方法 | |
| JPH0918065A (ja) | 圧電アクチュエータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 7 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081026 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 8 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091026 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |