JP2000343359A - Disk transfer device - Google Patents

Disk transfer device

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JP2000343359A
JP2000343359A JP11153454A JP15345499A JP2000343359A JP 2000343359 A JP2000343359 A JP 2000343359A JP 11153454 A JP11153454 A JP 11153454A JP 15345499 A JP15345499 A JP 15345499A JP 2000343359 A JP2000343359 A JP 2000343359A
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JP
Japan
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gripper
plate
opening
movable plate
gripper arms
Prior art date
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Withdrawn
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JP11153454A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuyuki Fukutake
康之 福武
Akio Hamada
浜田  昭夫
Motohiro Terao
元宏 寺尾
Masahiro Odawa
昌宏 小田和
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Kubota Corp
Original Assignee
Kubota Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent scattering of dust and play in drive parts. SOLUTION: A movable plate 28 is disposed over a baseplate 14 via a translatory guide 16 so as to be moved in a first direction by a motor 30. The movable plate 28 has, over its center, an opening/closing plate 46 disposed via a second translatory guide 44, and over its front end, two gripper arms 50 and 52 disposed via a third translatory guide 48. Forward movement of the opening/closing plate 46 by an electromagnetic solenoid 54 forces gripper rollers 56 and 58 on the movable plate 28 into acting on oblique lines 50c and 52c of the gripper arms 50 and 52 or opening the gripper arms 50 and 52.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明はディスク移載装置に関
し、特にたとえばハードディスク等のようなディスクの
製造装置または検査装置においてディスクを移載するの
に用いられる、ディスク移載装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a disk transfer apparatus, and more particularly to a disk transfer apparatus used for transferring a disk in a disk manufacturing apparatus such as a hard disk or an inspection apparatus.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5に示すこの種の従来のディスク移載
装置1は、図示しないロボットアーム等に固定されるベ
ースプレート2を含む。ベースプレート2には、第1方
向へ移動可能なピストン3aを有するエアシリンダ装置
3が設けられ、ピストン3aには、可動プレート4が取
り付けられる。また、可動プレート4には、第1方向に
対して直交する第2方向へ移動可能なピストン5aを有
するエアシリンダ装置5が設けられ、ピストン5aには
グリッパアーム6が取り付けられる。したがって、グリ
ッパアーム6は、エアシリンダ装置3によって第1方向
へ移動され、エアシリンダ装置5によって第2方向で開
閉される。
2. Description of the Related Art A conventional disk transfer device 1 of this type shown in FIG. 5 includes a base plate 2 fixed to a robot arm or the like (not shown). An air cylinder device 3 having a piston 3a movable in a first direction is provided on the base plate 2, and a movable plate 4 is attached to the piston 3a. The movable plate 4 is provided with an air cylinder device 5 having a piston 5a movable in a second direction orthogonal to the first direction, and a gripper arm 6 is attached to the piston 5a. Therefore, the gripper arm 6 is moved in the first direction by the air cylinder device 3 and is opened and closed by the air cylinder device 5 in the second direction.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】従来技術では、エアシ
リンダ装置3および5を用いてグリッパアーム6の第1
方向への移動および第2方向での開閉を行っていたた
め、エアシリンダ装置3および5から漏れ出した空気に
よって塵埃が飛散されるという問題があった。また、エ
アシリンダ装置3および5において、シリンダとピスト
ンとの間に介挿されたパッキンが経時的に劣化するた
め、駆動部にがたつきが生じるという問題もあった。
In the prior art, the first operation of the gripper arm 6 using the air cylinder devices 3 and 5 is described.
Since the movement in the direction and the opening and closing in the second direction are performed, there is a problem that air leaked from the air cylinder devices 3 and 5 scatters dust. Further, in the air cylinder devices 3 and 5, the packing inserted between the cylinder and the piston deteriorates with the lapse of time, so that there is a problem that rattling occurs in the driving unit.

【0004】それゆえに、この発明の主たる目的は、塵
埃の飛散や駆動部のがたつきを防止できる、ディスク移
載装置を提供することである。
[0004] Therefore, a main object of the present invention is to provide a disk transfer device capable of preventing scattering of dust and rattling of a drive unit.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】この発明は、ベースプレ
ート、ベースプレート上に第1直動ガイドによって第1
方向へ移動可能に設けられた可動プレート、ベースプレ
ートに設けられて可動プレートを第1方向へ移動させる
第1電気駆動手段、可動プレート上に第2直動ガイドに
よって第1方向へ移動可能に設けられた開閉プレート、
可動プレートに設けられて開閉プレートを第1方向へ移
動させる第2電気駆動手段、可動プレート上に第3直動
ガイドによって第1方向に対して直交する第2方向へ移
動可能に設けられた2つのグリッパアーム、およびグリ
ッパアームのそれぞれに設けられたグリッパローラを備
える、ディスク移載装置である。
According to the present invention, a first linear motion guide is provided on a base plate and a base plate.
A movable plate provided to be movable in the first direction, a first electric drive means provided on the base plate to move the movable plate in the first direction, and a movable plate provided on the movable plate in the first direction by a second linear guide. Opening and closing plate,
A second electric drive means provided on the movable plate for moving the opening / closing plate in the first direction; A disk transfer device comprising: two gripper arms; and gripper rollers provided on each of the gripper arms.

【0006】[0006]

【作用】可動プレートが第1電気駆動手段によって第1
方向へ移動されると、それに伴って2つのグリッパアー
ムも第1方向へ移動される。また、開閉プレートが第2
電気駆動手段によって第1方向へ移動されると、開閉プ
レートがグリッパアームに作用して、グリッパアームが
第2方向で開閉される。可動プレート,開閉プレートお
よびグリッパアームは、電気駆動手段(電磁ソレノイド
またはモータ等)によって直動ガイドに沿ってスムーズ
に移動される。
The movable plate is moved by the first electric drive means to the first position.
As a result, the two gripper arms are also moved in the first direction. The opening and closing plate is the second
When moved in the first direction by the electric drive means, the opening / closing plate acts on the gripper arm, and the gripper arm is opened / closed in the second direction. The movable plate, the opening / closing plate, and the gripper arm are smoothly moved along a linear guide by an electric drive means (an electromagnetic solenoid or a motor).

【0007】[0007]

【発明の効果】この発明によれば、塵埃の飛散や駆動部
のがたつきを防止できる。したがって、たとえばディス
ク製造装置に用いた場合には加工精度を向上でき、ディ
スク検査装置に用いた場合には検査精度を向上できる。
According to the present invention, scattering of dust and rattling of the driving unit can be prevented. Therefore, for example, when used in a disk manufacturing apparatus, processing accuracy can be improved, and when used in a disk inspection apparatus, inspection accuracy can be improved.

【0008】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
The above objects, other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description of embodiments with reference to the drawings.

【0009】[0009]

【実施例】図1に示すこの実施例のディスク移載装置1
0は、ディスク製造装置またはディスク検査装置等にお
いてディスク12を移載するものであり、図示しないロ
ボットアーム等に固定される平面視略四角形のベースプ
レート14を含む。ベースプレート14の上面には第1
直動ガイド16および駆動部18が設けられ、ベースプ
レート14の中央部には排気孔20が設けられ、排気孔
20には排気ホース22が接続される。
FIG. 1 shows a disk transfer apparatus 1 according to this embodiment.
Numeral 0 is for transferring the disk 12 in a disk manufacturing apparatus or a disk inspection apparatus or the like, and includes a base plate 14 which is fixed to a robot arm or the like (not shown) and has a substantially rectangular shape in plan view. On the upper surface of the base plate 14, a first
A linear motion guide 16 and a drive unit 18 are provided. An exhaust hole 20 is provided in the center of the base plate 14, and an exhaust hose 22 is connected to the exhaust hole 20.

【0010】第1直動ガイド16は第1方向(図1にお
ける左右方向)に延びるレール24を含み、レール24
にはスライダ26が移動可能に取り付けられる。スライ
ダ26はレール24の上部に嵌め合わされる略コ字状の
溝26aを有し、溝26aの内側面に装着された図示し
ない複数のボールがレール24の側面に接触されて転動
される。したがって、スライダ26は、がたつきを生じ
ることなく第1方向へスムーズに案内される。そして、
スライダ26の上面には可動プレート28が取り付けら
れ、この可動プレート28が駆動部18によって第1方
向へ移動される。
The first linear guide 16 includes a rail 24 extending in a first direction (the left-right direction in FIG. 1).
A slider 26 is movably mounted on the slidable head. The slider 26 has a substantially U-shaped groove 26a fitted on the upper portion of the rail 24, and a plurality of balls (not shown) mounted on the inner surface of the groove 26a come into contact with the side surface of the rail 24 to roll. Therefore, the slider 26 is smoothly guided in the first direction without rattling. And
A movable plate 28 is attached to the upper surface of the slider 26, and the movable plate 28 is moved in the first direction by the drive unit 18.

【0011】駆動部18は、電気駆動手段としてのモー
タ30およびモータ30の回転力を可動プレート28に
伝達する伝達部32を含む。伝達部32は、可動プレー
ト28の下面に固定された雌ねじ部材34を含み、雌ね
じ部材34には軸受36によって回転可能に支持された
雄ねじ部材38が螺合される。そして、雄ねじ部材38
の一端にはプーリ40が取り付けられ、モータ30の回
転軸30aとプーリ40とがベルト42を介して連結さ
れる。したがって、モータ30を駆動すると、その回転
に伴って雄ねじ部材38が回転され、雄ねじ部材38に
螺合された雌ねじ部材34が第1方向に移動され、それ
に伴って可動プレート28が第1方向に移動される。な
お、可動プレート28の移動距離や移動方向は、モータ
30の回転数や回転方向を切り替えることによって変更
される。
The drive section 18 includes a motor 30 as an electric drive means and a transmission section 32 for transmitting the rotational force of the motor 30 to the movable plate 28. The transmission portion 32 includes a female screw member 34 fixed to the lower surface of the movable plate 28, and a male screw member 38 rotatably supported by a bearing 36 is screwed to the female screw member 34. And the male screw member 38
A pulley 40 is attached to one end of the motor 30, and the rotating shaft 30 a of the motor 30 and the pulley 40 are connected via a belt 42. Accordingly, when the motor 30 is driven, the male screw member 38 is rotated with the rotation, the female screw member 34 screwed to the male screw member 38 is moved in the first direction, and the movable plate 28 is accordingly moved in the first direction. Be moved. The moving distance and moving direction of the movable plate 28 are changed by switching the number of rotations and the rotating direction of the motor 30.

【0012】そして、可動プレート28の上面中央部に
は、第1方向へ延びる第2直動ガイド44を介して開閉
プレート46が設けられ、上面先端部には、第1方向に
対して直交する第2方向に延びる第3直動ガイド48を
介して2つのグリッパアーム50および52が設けら
れ、上面後端部には、電気駆動手段としての電磁ソレノ
イド54が設けられる。
An opening / closing plate 46 is provided at the center of the upper surface of the movable plate 28 via a second linear motion guide 44 extending in the first direction, and the front end of the upper surface is orthogonal to the first direction. Two gripper arms 50 and 52 are provided via a third linear guide 48 extending in the second direction, and an electromagnetic solenoid 54 as an electric driving means is provided at the rear end of the upper surface.

【0013】開閉プレート46は、第1方向へ延びる長
辺46aと長辺46aの後端から垂直に立ち上がる短辺
46bとを含み、長辺46aの上面先端部には、2つの
開閉ローラ56および58が幅方向に所定の間隔を隔て
て形成される。そして、短辺46bが電磁ソレノイド5
4のピストン60にねじ62によって固定される。
The opening / closing plate 46 includes a long side 46a extending in the first direction and a short side 46b rising vertically from the rear end of the long side 46a. 58 are formed at predetermined intervals in the width direction. And the short side 46b is the electromagnetic solenoid 5
4 is fixed to the piston 60 by a screw 62.

【0014】グリッパアーム50は、第2方向へ延びる
長辺50aと長辺50aの一端から前方へ突出された短
辺50bとを有する平面視略L字状に形成され、一方、
グリッパアーム52は、第2方向へ延びる長辺52aと
長辺52aの一端から前方へ突出された短辺52bとを
含む平面視略L字状に形成され、長辺50aおよび52
aの対向する辺(以下、「傾斜辺」という。)50cお
よび52cは、略ハ字状となるように、第1方向に対し
て傾斜される。また、短辺50bおよび52bの前端か
ら垂直に立ち上がって支持部64および66が形成さ
れ、支持部64および66のそれぞれの下部および上部
には、ディスク12を挟持するグリッパローラ68が設
けられる。さらに、グリッパアーム50および52の上
面には、これらを連結するコイルばね70が設けられ、
このコイルばね70の付勢によって傾斜辺50cおよび
52cが開閉ローラ56および58に当接される。した
がって、電磁ソレノイド54によって開閉プレート46
を前方へ移動させるとグリッパアーム50および52が
開かれ、後方へ移動させると閉じられる。
The gripper arm 50 is formed in a substantially L shape in plan view having a long side 50a extending in the second direction and a short side 50b protruding forward from one end of the long side 50a.
The gripper arm 52 is formed in a substantially L shape in plan view including a long side 52a extending in the second direction and a short side 52b protruding forward from one end of the long side 52a.
Opposite sides (hereinafter, referred to as “inclined sides”) 50c and 52c of “a” are inclined with respect to the first direction so as to have a substantially C shape. Further, support portions 64 and 66 are formed to rise vertically from the front ends of the short sides 50b and 52b, and gripper rollers 68 for holding the disk 12 are provided at lower and upper portions of the support portions 64 and 66, respectively. Further, on the upper surfaces of the gripper arms 50 and 52, a coil spring 70 for connecting them is provided.
By the bias of the coil spring 70, the inclined sides 50c and 52c are brought into contact with the opening / closing rollers 56 and 58. Therefore, the opening / closing plate 46 is controlled by the electromagnetic solenoid 54.
When is moved forward, the gripper arms 50 and 52 are opened, and when moved backward, they are closed.

【0015】そして、ベースプレート14には、全体を
覆うようにしてカバー72が装着される。
A cover 72 is mounted on the base plate 14 so as to cover the whole.

【0016】クランプ装置10は、たとえばディスク1
2をディスク製造装置のスピンドルハブに取り付けた
り、スピンドルハブから取り外したりするのに用いられ
る。以下には、ディスク12をスピンドルハブから取り
外す動作を簡単に説明する。まず、図示しないロボット
アーム等によってクランプ装置10をディスク12と対
向する位置に位置決めする。そして、モータ30を駆動
して可動プレート28を前方へ移動させ、第1方向にお
いてグリッパアーム50および52を位置決めする。続
いて、電磁ソレノイド54で開閉プレート46を後退さ
せ、コイルばね70の復元力を利用してグリッパローラ
68でディスク12を挟持する。その後、モータ30を
駆動して、可動プレート28とともにグリッパアーム5
0および52を後退させる。
The clamp device 10 is, for example, a disk 1
2 is used to attach to or detach from the spindle hub of the disk manufacturing apparatus. Hereinafter, the operation of removing the disk 12 from the spindle hub will be briefly described. First, the clamp device 10 is positioned at a position facing the disk 12 by a robot arm (not shown) or the like. Then, the motor 30 is driven to move the movable plate 28 forward, and the gripper arms 50 and 52 are positioned in the first direction. Subsequently, the opening / closing plate 46 is retracted by the electromagnetic solenoid 54, and the disk 12 is nipped by the gripper roller 68 using the restoring force of the coil spring 70. Thereafter, the motor 30 is driven to move the gripper arm 5 together with the movable plate 28.
0 and 52 are retracted.

【0017】この実施例によれば、可動プレート28,
開閉プレート46,グリッパアーム50および52を直
動ガイド16,44および48で案内するようにしてい
るので、正確かつスムーズに動作させることができる。
また、可動プレート28をモータ30で駆動し、かつ、
開閉プレート46を電磁ソレノイド54で駆動している
ので、塵埃の飛散や駆動部のがたつき等は生じない。さ
らに、グリッパアーム50および52から垂直に立ち上
げて支持部64および66を形成し、そこにグリッパロ
ーラ68を設けているので、ディスク12を比較的高い
位置で挟持することができる。したがって、クランプ装
置10の背面側からでもディスク12の位置を容易に確
認することができ、点検・調整等の作業性を向上でき
る。
According to this embodiment, the movable plate 28,
Since the open / close plate 46 and the gripper arms 50 and 52 are guided by the linear motion guides 16, 44 and 48, the operation can be performed accurately and smoothly.
In addition, the movable plate 28 is driven by the motor 30, and
Since the opening / closing plate 46 is driven by the electromagnetic solenoid 54, no scattering of dust and no rattling of the driving unit occur. Further, since the support portions 64 and 66 are formed by vertically rising from the gripper arms 50 and 52, and the gripper rollers 68 are provided thereon, the disk 12 can be held at a relatively high position. Therefore, the position of the disk 12 can be easily confirmed even from the back side of the clamp device 10, and workability such as inspection and adjustment can be improved.

【0018】なお、上述の実施例では、開閉プレート4
6の開閉ローラ56および58をグリッパアーム50お
よび52の傾斜辺50cおよび52cに作用させてグリ
ッパアーム50および52を開閉するようにしている
が、たとえば図3に示すように、開閉プレート46の傾
斜辺74aおよび74bをグリッパアーム50および5
2の開閉ローラ76および78に作用させてグリッパア
ーム50および52を開閉するようにしてもよい。図3
実施例では、略ハ字状に形成された傾斜辺74aおよび
74bの内側に開閉ローラ76および78が配置され、
グリッパアーム50および52がコイルばね80によっ
て互いに遠ざかる方向へ付勢されるので、開閉プレート
46を前方へ移動させたときにグリッパアーム50およ
び52が閉じられ、後方へ移動させたときに開かれる。
In the above embodiment, the open / close plate 4
The opening / closing rollers 56 and 58 of FIG. 6 act on the inclined sides 50c and 52c of the gripper arms 50 and 52 to open and close the gripper arms 50 and 52. For example, as shown in FIG. The sides 74a and 74b are connected to the gripper arms 50 and 5
The gripper arms 50 and 52 may be opened and closed by acting on the second opening and closing rollers 76 and 78. FIG.
In the embodiment, opening and closing rollers 76 and 78 are arranged inside inclined sides 74a and 74b formed in a substantially C shape,
Since the gripper arms 50 and 52 are urged away from each other by the coil spring 80, the gripper arms 50 and 52 are closed when the opening / closing plate 46 is moved forward, and are opened when moved backward.

【0019】また、たとえば図4に示すように、開閉プ
レート46とグリッパアーム50および52とをリンク
82で連結し、開閉プレート46の動きをリンク82を
介してグリッパアーム50および52に作用させるよう
にしてもよい。図4実施例では、リンク82が略ハ字状
に設けられているので、開閉プレート46を前方へ移動
させたときにグリッパアーム50および52が開かれ、
後方へ移動させたときに閉じられる。
As shown in FIG. 4, for example, the opening / closing plate 46 and the gripper arms 50 and 52 are connected by a link 82 so that the movement of the opening / closing plate 46 acts on the gripper arms 50 and 52 via the link 82. It may be. In the embodiment of FIG. 4, since the link 82 is provided in a substantially C-shape, the gripper arms 50 and 52 are opened when the opening / closing plate 46 is moved forward,
Closed when moved backwards.

【0020】さらに、上述の各実施例においては、駆動
部18(モータ30)に代えて電磁ソレノイドを用いて
もよいし、電磁ソレノイド54に代えてモータを用いて
もよい。つまり、モータ30および電磁ソレノイド54
は他の任意の電気駆動手段に置き換えることが可能であ
る。
Further, in each of the above-described embodiments, an electromagnetic solenoid may be used instead of the drive unit 18 (motor 30), or a motor may be used instead of the electromagnetic solenoid 54. That is, the motor 30 and the electromagnetic solenoid 54
Can be replaced by any other electric drive means.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施例を示す図解図である。FIG. 1 is an illustrative view showing one embodiment of the present invention;

【図2】図1実施例の側面図である。FIG. 2 is a side view of the embodiment of FIG.

【図3】この発明の他の実施例を示す図解図である。FIG. 3 is an illustrative view showing another embodiment of the present invention;

【図4】この発明の他の実施例を示す図解図である。FIG. 4 is an illustrative view showing another embodiment of the present invention;

【図5】従来技術を示す図解図である。FIG. 5 is an illustrative view showing a conventional technique;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 …ディスク移載装置 14 …ベースプレート 16,44,48 …直動ガイド 18 …駆動部 28 …可動プレート 30 …モータ 46 …開閉プレート 50,52 …グリッパアーム 50c,52c …傾斜辺 54 …電磁ソレノイド 56,58 …開閉ローラ 68 …グリッパローラ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Disk transfer apparatus 14 ... Base plate 16, 44, 48 ... Linear guide 18 ... Driving part 28 ... Movable plate 30 ... Motor 46 ... Opening / closing plate 50, 52 ... Gripper arm 50c, 52c ... Inclination side 54 ... Electromagnetic solenoid 56 , 58… Opening / closing roller 68… Gripper roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 寺尾 元宏 兵庫県伊丹市奥畑5丁目10番地 株式会社 クボタ内 (72)発明者 小田和 昌宏 兵庫県伊丹市奥畑5丁目10番地 株式会社 クボタ内 Fターム(参考) 3C016 CA00 CB06 CB12 CC04 5D112 AA24 KK02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Motohiro Terao 5-10 Okuhata, Itami-shi, Hyogo Prefecture Inside Kubota Corporation (72) Inventor Masahiro Oda 5- 10-10 Okuhata, Itami-shi, Hyogo Prefecture Kubotanai F Term (reference) 3C016 CA00 CB06 CB12 CC04 5D112 AA24 KK02

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ベースプレート、 前記ベースプレート上に第1直動ガイドによって第1方
向へ移動可能に設けられた可動プレート、 前記ベースプレートに設けられて前記可動プレートを前
記第1方向へ移動させる第1電気駆動手段、 前記可動プレート上に第2直動ガイドによって前記第1
方向へ移動可能に設けられた開閉プレート、 前記可動プレートに設けられて前記開閉プレートを前記
第1方向へ移動させる第2電気駆動手段、 前記可動プレート上に第3直動ガイドによって前記第1
方向に対して直交する第2方向へ移動可能に設けられた
2つのグリッパアーム、および前記グリッパアームのそ
れぞれに設けられたグリッパローラを備える、ディスク
移載装置。
A movable plate provided on the base plate so as to be movable in a first direction by a first linear guide; a first electric member provided on the base plate for moving the movable plate in the first direction; Driving means, the first linear motion guide on the movable plate,
An opening / closing plate movably provided in the first direction, a second electric drive means provided on the movable plate to move the opening / closing plate in the first direction, and a first linear guide on the movable plate by a third linear guide.
A disc transfer device, comprising: two gripper arms provided so as to be movable in a second direction orthogonal to the direction; and gripper rollers provided on each of the gripper arms.
【請求項2】前記グリッパアームのそれぞれは前記第1
方向に対して所定角度で傾斜する傾斜辺を有し、前記開
閉プレートが前記傾斜辺に作用して前記グリッパアーム
が開閉される、請求項1記載のディスク移載装置。
2. The method according to claim 1, wherein each of said gripper arms includes said first arm.
The disk transfer device according to claim 1, further comprising an inclined side inclined at a predetermined angle with respect to a direction, wherein the opening / closing plate acts on the inclined side to open and close the gripper arm.
【請求項3】前記開閉プレートは前記第1方向に対して
所定角度で傾斜する傾斜辺を有し、前記傾斜辺が前記グ
リッパアームのそれぞれに作用して前記グリッパアーム
が開閉される、請求項1記載のディスク移載装置。
3. The open / close plate has an inclined side inclined at a predetermined angle with respect to the first direction, and the inclined side acts on each of the gripper arms to open and close the gripper arm. 2. The disk transfer device according to 1.
【請求項4】前記開閉プレートと前記グリッパアームの
それぞれとを連結するリンクを備え、前記開閉プレート
の動きが前記リンクを介して前記グリッパアームに伝達
されて前記グリッパアームが開閉される、請求項1記載
のディスク移載装置。
4. The apparatus according to claim 1, further comprising a link connecting the open / close plate and each of the gripper arms, wherein the movement of the open / close plate is transmitted to the gripper arm via the link to open and close the gripper arm. 2. The disk transfer device according to 1.
【請求項5】前記グリッパローラは前記グリッパアーム
よりも上に配置される、請求項1ないし4のいずれかに
記載のディスク移載装置。
5. The disk transfer device according to claim 1, wherein said gripper roller is disposed above said gripper arm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002208134A (en) * 2001-01-09 2002-07-26 Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd Rotation gripper for disk substrate

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