JP2000340500A

JP2000340500A - 露光装置ならびにパラメータセットの処理装置および編集方法

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Publication number: JP2000340500A
Application number: JP11153810A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Motoki; 利彦本木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-06-01
Filing date: 1999-06-01
Publication date: 2000-12-08

Abstract

(57)【要約】【課題】パラメータセットの編集に要する時間を短縮
し、また、パラメータセットの記憶に要する記憶容量を
減少させ、かつパラメータセットの読み出しや転送に要
する時間を短縮する。【解決手段】露光装置の制御に使用される各制御パラ
メータの値をジョブ単位で設定したパラメータセットを
作成しまたは変更するための編集手段を備えた露光装置
またはパラメータセットの処理装置において、編集手段
９１は、操作者によって入力された制御パラメータの設
定値または変更値を、複数のパラメータセットについて
適用する。また、パラメータセットを記憶する記憶手段
を備え、記憶手段は、パラメータセットを表データ部分
９２、９４と設定データ部分９３との組合せとして記憶
するものであり、表データ部分は、各パラメータセット
の各制御パラメータが参照しているパラメータセットを
特定する参照データを有し、設定データ部分は、表デー
タ部分の各パラメータセットについて、それ自身を前記
参照データにより参照している制御パラメータの設定値
を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体の製造装
置、特にウエハ上に回路パターンを焼き付ける半導体露
光装置に対して適用するのに好ましい露光装置ならびに
これに用いられるパラメータセットの処理装置および編
集方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体製造（露光）工程に用いる
露光装置では、制御パラメータは、ジョブと呼ぶパラメ
ータセットを１単位としている。そして操作者は、エデ
ィタと呼ばれるパラメータセットの編集機能を用い、露
光工程毎に、各種計測シーケンスに関するパラメータ
や、露光量、各種オフセットなどを、随時、適切な値に
変更し、あらかじめ保存しておく。

【０００３】通常、１ジョブ（パラメータセット）あた
り、およそ１０００個ものパラメータがある。このよう
なパラメータセットは、関連する工程に関するパラメー
タセット、例えば製造する製品（ＬＳＩ）毎に、ディレ
クトリにまとめて、わかりやすく保存している。あるい
は、ディレクトリを使用せずに、パラメータセットに適
時、解りやすい名前を与えて保存している場合もある。
前者の場合、操作者は半導体露光装置に指示を与えると
き、ディレクトリとパラメータセット名により指示をす
る。後者の場合は、パラメータセット名のみを指示し、
半導体露光装置に、露光工程の指示を与えている。

【０００４】通常、これらパラメータセットは、２０〜
３０パラメータセットで１つの製品工程とされ、ディレ
クトリに保存されることが多い。また、製品の規模、種
類、複雑さ等によっては多くのパラメータセットを準備
する必要があり、１つの半導体露光装置あたり、３００
０〜１００００セットものパラメータセットを保持して
いる必要がある。特に近年、半導体の微細化、複雑化、
多様化等が進むとともに、１つの半導体露光装置あたり
で保持している必要のあるパラメータセットの数は、飛
躍的に増大している。また、１つのパラメータセットに
含まれるパラメータの数もますます増加している。さら
に、製品の多様化に伴ない、１つの装置で多くの工程を
露光するため、１つの装置で保持しておく必要のあるパ
ラメータセットの数も非常に増加してきている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来、
１つのパラメータセット毎に編集操作を繰り返している
ため、上述のように半導体露光装置の性能向上にともな
ってパラメータの数がますます増えてくると、ジョブの
作成や編集に費す時間が非常に多くなるという問題があ
る。また、パラメータセットを増設する場合には、パラ
メータセット全体をコピーし、そして必要なパラメータ
を変更することにより増設しているため、類似のパラメ
ータセットがある場合は、結果として、同じ内容のパラ
メータを重複して記憶することになり、非常に非効率的
である。このため、パラメータセットの数をあまり多く
増設することができないという問題がある。さらに、特
定のパラメータセットを読み出す際にも、多くのパラメ
ータセットすなわち広い記憶領域を検索する必要がある
ため、非常に効率が悪い。また、常時、パラメータセッ
ト全体を読み出しているため、読み出しや装置に送信す
る時間がかかるという問題もある。

【０００６】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、露光装置ならびにパラメータセットの処理
装置および編集方法において、第１に、パラメータセッ
トの作成や更新等の編集に要する時間を短縮することに
ある。第２に、パラメータセットの記憶に要する記憶容
量を減少させることにある。第３に、パラメータセット
の読み出しや転送に要する時間を短縮することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記第１の目的を達成す
るため、本発明の第１の露光装置またはパラメータセッ
トの処理装置は、露光装置の制御に使用される各制御パ
ラメータの値をジョブ単位で設定したパラメータセット
を作成しまたは変更するための編集手段を備えた露光装
置またはパラメータセットの処理装置において、前記編
集手段は、操作者によって入力された制御パラメータの
設定値または変更値を、複数のパラメータセットについ
て適用する手段を有することを特徴とする。この適用手
段は、実施例中の選択メニュー４１、４２等に対応す
る。

【０００８】この構成において、操作者によって入力さ
れた制御パラメータの設定値または変更値は、複数のパ
ラメータセットについて適用されるため、操作者は複数
のパラメータセットにおける所望の制御パラメータにつ
いて共通の値を設定しまたは共通の変更を行いたい場合
は、その制御パラメータに対してその値を１度入力する
だけでよい。したがって、パラメータセットの作成や変
更に要する時間が短縮されることになる。

【０００９】また、前記第１の目的を達成するため、本
発明のパラメータセットの編集方法は、露光装置の制御
に使用される各制御パラメータの値をジョブ単位で設定
したパラメータセットを作成しまたは変更するための編
集手段を用いてパラメータセットを編集する方法におい
て、操作者が前記編集手段によって制御パラメータの設
定値または変更値を入力する工程と、この設定値または
変更値を、前記編集手段が複数のパラメータセットにつ
いて適用する工程とを具備することを特徴とする。これ
によっても同様に、パラメータセットの作成や変更に要
する時間が短縮されることになる。

【００１０】また、前記第２および第３の目的を達成す
るため、本発明の第２の露光装置またはパラメータセッ
トの処理装置は、露光装置の制御に使用される各制御パ
ラメータの値をジョブ単位で設定したパラメータセット
を記憶する記憶手段を備えた露光装置またはパラメータ
セットの処理装置において、前記記憶手段は、前記パラ
メータセットを表データ部分と設定データ部分との組合
せとして記憶するものであり、前記表データ部分は、各
パラメータセットの各制御パラメータが参照しているパ
ラメータセットを特定する参照データを有し、前記設定
データ部分は、前記表データ部分の各パラメータセット
について、それ自身を前記参照データにより参照してい
る制御パラメータの設定値を有し、各パラメータセット
の各制御パラメータの設定値は、その制御パラメータが
前記参照データにより参照しているパラメータセットに
ついて前記設定データ部分が有する同種の制御パラメー
タの設定値として得られるものであることを特徴とす
る。表データ部分は、実施例中のデータ部９２や９４す
なわち図８に示されるようなテーブルに対応し、設定デ
ータ部分はデータ部９３すなわち図７に示されるような
構造のデータ部に対応する。

【００１１】この構成において、各パラメータセットは
表データ部分と設定データ部分との組合せとして記憶さ
れ、各パラメータセットの各制御パラメータの設定値
は、実際の設定値の代わりに表データ部分において参照
データとして表現される。そして、実際の設定値は設定
データ部分において、各パラメータセットで設定値が共
通する制御パラメータについては重複が排除されたかた
ちで各制御パラメータの設定値が記憶されることにな
る。したがって、パラメータセットの記憶に要する記憶
容量は、全体として減少することになる。また、パラメ
ータセットの読み出しや転送を行う場合には、表データ
部分を参照し、既に読み出しあるいは転送してあるパラ
メータセットと比較して、必要な制御パラメータについ
てのみの設定値を設定データ部分から読み出しあるいは
これをさらに転送することにより、パラメータセットの
読み出しや転送に要する時間が短縮することになる。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の第１の露光装置またはパ
ラメータセットの処理装置の好ましい実施形態において
は、編集手段は、操作者によって入力された制御パラメ
ータの設定値または変更値を、複数のパラメータセット
について適用する場合に、適用の対象となる制御パラメ
ータとパラメータセットを操作者が特定するための手段
を有する。この手段は、実施例中のボタン３６、メニュ
ー４１、４２等に対応する。また、編集手段は、指定さ
れた複数のパラメータセットのそれぞれについて制御パ
ラメータの設定値または変更値の入力を行うための複数
の編集画面を視覚的に重ねて選択可能に表示するととも
に、選択された編集画面を一番上に表示し、その編集画
面において、対応するパラメータセットの制御パラメー
タについての前記設定値または変更値の入力が行われる
ものである。この場合、編集手段は、前記複数の編集画
面を表示すべきパラメータセットおよびこれらを含むパ
ラメータセットのグループを操作者が特定するための手
段（実施例中の図２の画面に対応）を備え、そのグルー
プの単位で前記編集画面の表示を行い、そのグループ内
において、操作者によって入力された制御パラメータの
設定値または変更値の複数パラメータセットについての
適用を行う。これによって、一度に多くのパラメータセ
ットの一括編集が行われ、パラメータセットの作成や変
更等の編集に費される作業時間が大幅に短縮されること
になる。

【００１３】本発明の第２の露光装置またはパラメータ
セットの処理装置の好ましい実施形態においては、各制
御パラメータは識別ＩＤにより区別され、設定データ部
分は各パラメータセットの識別子と、これに対応する制
御パラメータの設定値およびその識別ＩＤとを有する。
設定データ部分はさらに、各パラメータセットの種別を
示す種別情報を有し、これにより、通常のパラメータセ
ットとは区別された階層名に関する情報を有することも
できる。また、設定データ部分は、各パラメータセット
に付された名称、および各パラメータセットを所定のグ
ループに分類しているキーワードを有し、このキーワー
ドは、一方の制御パラメータが他方に対して前記参照を
行っているパラメータセット間で同一である。すなわ
ち、前記参照データは同一グループ内のパラメータセッ
トを指し示しており、参照は同一グループ内においての
み行われる。さらに、設定データ部分は各パラメータセ
ットに対応したサブキーワードを有し、このサブキーワ
ードは設定データ部分においてパラメータセットが追加
された順にカウントアップした値としてそれらパラメー
タセットに対して生成されたものである。実施例中で
は、このサブキーワードが、上述の参照データとして用
いられている。

【００１４】設定データ部分における各パラメータセッ
トの制御パラメータの設定値は、そのパラメータセット
を、他のパラメータセットを変更して作成する際に、変
更された制御パラメータの設定値である。たとえば、最
初に作成されたパラメータセットについては、そのすべ
ての制御パラメータの設定値が設定データ部分に記憶さ
れており、他のパラメータセットについては、最初のパ
ラメータセットまたはその後に作成されたパラメータセ
ットの制御パラメータの設定値を変更することによって
作成される際に、設定値が変更された制御パラメータに
ついてのみ、その設定値が設定データ部分に記憶され
る。

【００１５】表データ部分は、各パラメータセットを所
定のグループに分類するキーワードおよび各グループ内
において各パラメータセットを区別しているサブキーワ
ードと、各制御パラメータを区別するための識別ＩＤと
でそれぞれ行および列方向について分類してマトリクス
化した表データである。そして、表データ部分の同一グ
ループ中のパラメータセットにおいて、１つのパラメー
タセットはそのすべての制御パラメータがそれ自身を参
照しており、その制御パラメータの設定値に対して変更
を加えたものとして他のパラメータセットが形成されて
いる。

【００１６】この第２の露光装置またはパラメータセッ
トの処理装置は、さらに、記憶手段に記憶されているパ
ラメータセットをメモリ上に読み出して所定の編集を行
う編集手段を備え、この編集手段は、編集対象となるパ
ラメータセットの制御パラメータの設定値を読み出す場
合には、そのパラメータセットと、そのとき前記メモリ
上に保持しているパラメータセットとで、表データ部分
における参照データが異なる制御パラメータについての
み、その設定値を設定データ部分から読み出すものであ
る。またさらに、記憶手段に記憶されているパラメータ
セットをメモリ上に読み出して送信する送信手段を備
え、この送信手段は、送信対象となるパラメータセット
の制御パラメータの設定値を読み出して送信する場合に
は、そのパラメータセットと、そのときすでに送信して
あるパラメータセットとで、表データ部分における参照
データが異なる制御パラメータについてのみ、その設定
値を設定データ部分から読み出して送信するものであ
る。

【００１７】また、この第２の露光装置またはパラメー
タセットの処理装置は、複数の装置間で各種のパラメー
タセットを共有するとともに、各装置において更新され
たパラメータセットの内容および表データ部分の更新内
容を各装置間で送受信することにより、各装置における
各パラメータセットの内容の一貫性を保持するようにし
ている。

【００１８】これにより、効率的に、パラメータセット
の編集、更新、保存、読み出し、送信等が行われる。ま
た、より少ない記憶容量によって多くのパラメータセッ
トが保持されるため、装置のコストが下がることにな
る。

【００１９】また、本発明のパラメータセットの編集方
法の好ましい実施形態においては、編集手段が、指定さ
れた複数のパラメータセットのそれぞれについて制御パ
ラメータの設定値または変更値の入力を行うための複数
の編集画面を視覚的に重ねて選択可能に表示する工程
と、操作者が必要に応じて前記編集画面のうちの１つを
選択する工程と、編集手段が選択された編集画面を一番
上に表示する工程と、操作者が一番上に表示された編集
画面により、対応するパラメータセットの制御パラメー
タについて前記設定値または変更値の入力を行う工程と
を有する。また、操作者が編集手段により前記複数の編
集画面を表示すべきパラメータセットおよびこれらを含
むパラメータセットのグループを特定する工程を有し、
編集手段はそのグループ内において、操作者によって入
力された制御パラメータの設定値または変更値の複数パ
ラメータセットについての適用を行う。さらに、編集手
段が、前記設定値または変更値のパラメータセットにつ
いての適用の結果を、上述のパラメータセットの処理装
置における記憶手段に記憶されている表データ部分と設
定データ部分に対して反映する工程を有する。

【００２０】

【実施例】図１は、本発明の一実施例に係る半導体露光
装置の概略の構成を示す。同図において、１は半導体露
光装置本体部、２は半導体露光装置本体部１で用いられ
る制御パラメータを設定したり、動作の開始や停止等を
指示するためのコンソール部である。コンソール部２
は、ＣＰＵ３、モニタ４、キーボード５、マウス６、通
信Ｉ／Ｆ（インタフェース）７等を備えている。この半
導体露光装置は、通信Ｉ／Ｆ７および通信路８を介し
て、他の半導体露光装置の操作部や、ホストコンピュー
タ等と通信することができるようになっている。半導体
露光装置の制御パラメータは、装置に附属している入力
手段を提供するためのコンピュータ上のプログラムによ
って入力編集が行われ、必要に応じて装置の記憶装置に
保存され、または通信路８を介して外部の記憶装置に保
存される。また、実際の露光に際しては、編集記憶され
ているパラメータが、ジョブと呼ばれるパラメータセッ
ト単位で、半導体露光装置本体１へ送信され、露光装置
本体では、このジョブに従った露光動作が行われる。

【００２１】パラメータセットの入力編集は、装置に附
属している入力手段を提供するためのコンピュータ上の
プログラムによって実現している。このプログラムはエ
ディタと呼ばれ、操作者は、このエディタにより、コン
ピュータのモニタ画面に表示されるパラメータの名称や
入力ガイドに従い、入力手段であるマウス、キーボー
ド、タッチパネル等を使用して入力を行う。次に、図２
および図３を用いて、複数のパラメータセットをどのよ
うにして編集するかについて述べる。

【００２２】図２および図３は、複数のパラメータセッ
ト（ジョブ）を一度に編集（以下、複数編集という）す
るためのエディタプログラムによる画面を示す図であ
る。図２の画面は、複数編集を行うため、パラメータセ
ット名と、そのグループに、いくつのパラメータセット
を含めるかを指定することができる画面である。同図に
おいて、２１は編集グループ名を指定するための入力表
示部（入力エリア）、２２は編集するパラメータセット
の数を指定するための入力表示部、２３はパラメータセ
ット名を入力または表示するためのエリア、２４は終了
ボタン、２５は指定された編集グループおよびパラメー
タセットに対して編集操作を実行するための操作ボタ
ン、２６はパラメータセットの削除操作を行うための操
作ボタン、２７はパラメータセットの追加操作を行うた
めの操作ボタンである。

【００２３】図３の画面は複数のパラメータセットのた
めの編集画面であり、２８〜３０はパラメータセット名
の表示／選択部、３１はパラメータ編集エリア、３２は
パラメータ編集エリア３１をスクロールさせるためのス
クロール操作部、３３はパラメータのタイトル表示部、
３４はパラメータのデータ入力部、３５はパラメータの
単位表示部、３６はパラメータの編集内容の適用範囲を
指示するための操作ボタン、３７はパラメータリミット
の表示エリア、３８は編集を終了するための終了操作ボ
タン、３９は保存操作ボタンである。

【００２４】複数編集を開始すると、操作者はまず、図
２の画面において、入力エリア２１に、複数編集を行う
ためのグループ名を入力する。次に、入力エリア２２
に、編集するパラメータセットの数を入力する。この
時、自動的に、パラメータセット名の入力エリア２３
が、入力されたパラメータセットの数分だけ表示され
る。この時、入力エリア２３には、既定値として、入力
エリア２１に入力されているグループ名に関連したパラ
メータセットの名前が、自動的に表示される。このパラ
メータセット名は、操作者が任意の名前に変更すること
もできる。また、操作ボタン２７により、一度作成した
パラメータセットのグループに、新たにパラメータセッ
トを追加したり、操作ボタン２６により、不要になった
パラメータセットを削除したりすることもできる。

【００２５】次に、図２の画面で指定したグループのパ
ラメータセットに対して実際の編集を行うために操作ボ
タン２５を押す。この操作により、図３の編集操作画面
が表示される。操作者は、パラメータセット名の表示／
選択部２８〜３０によって選択を行うことにより、編集
したいパラメータセットの編集画面を、直ちに編集可能
な状態にすることができる。図３では、仮想的に、これ
らの画面が重なっているような表示を行い、編集対象と
する画面を最も上位に表示するような工夫を行った画像
を示している。この他、各パラメータセットの編集画面
を重なり合わないように表示し、表示画面の背景色によ
って編集対象としている画面を現すような工夫も考えら
れる。

【００２６】表示／選択部２８〜３０により編集対象と
するパラメータセット画面を選択した後、操作者は、ス
クロール操作部３２によりスクロールを行いながら、多
くのパラメータの中から、編集するパラメータを選択す
ることができる。なお、スクロール操作の代わりに、表
示エリアをページ単位で切り替えることにより選択でき
るようにするような工夫も考えられる。

【００２７】編集するパラメータを入力手段により選択
した後、入力部３４に、データを入力する。この時、入
力部３４に表示されている変更前（入力前）のデータ
は、一度保存操作を行っている場合は、保存されている
データであり、新規作成のパラメータセットの場合は、
編集指定を行った元のパラメータセットのデータ、また
はプログラム内で保持している既定値である。入力によ
り変更したデータは、キーボードのリターンキーなどに
より確定する。

【００２８】本発明に従えば、この変更内容を、編集対
象のパラメータセットのみでなく、編集グループに含ま
れるパラメータセットの全部に対し一括して反映させた
り、編集グループ内の指定したパラメータセットに反映
させたりすることができる。すなわち、パラメータの変
更を確定した後、適用操作ボタン３６を操作する。する
と、図４に示すように、選択メニュー４１が表示され、
編集対象のパラメータセットのみに適用するための
「Ａ．このジョブのみ適用」、編集グループ内の全パラ
メータセットに適用するための「Ｂ．全適用」、または
編集グループ内の指定したパラメータセットに適用する
ための「Ｃ．選択して適用」のいずれかの選択を行うこ
とができる。この適用操作は、デフォルトを定義してお
き、例えば、パラメータの変更確定の後、「Ａ．このジ
ョブのみ適用」を既定設定としておけば、変更結果の適
用は、編集対象になっているパラメータセットに対して
のみ行われる。この場合、編集対象となっているパラメ
ータセットに対してのみ適用したいのであれば、いちい
ち適用操作ボタン３６により操作を行なう必要はない。
また、既定設定を、「Ｂ．全適用」としておけば、適用
操作ボタン３６により操作を行わない場合は、編集グル
ープ内の全パラメータセットに対して同じ変更データが
設定される。既定設定が、「Ａ．このジョブのみ適用」
の場合において、全パラメータセットに対して適用した
い場合は、適用操作ボタン３６によって「Ｂ．全適用」
を選択することにより、他の編集操作画面に移動した
り、新たな編集操作を行う必要なく、グループ内の全パ
ラメータセットに対して同様の編集を行ったのと同じ効
果が得られる。

【００２９】図４の例において、既定設定が「Ａ．この
ジョブのみ適用」の場合、パラメータ名称“Ｆｏｃｕ
ｓ”に対して、データ“０．３”を入力し、その後、
「Ｂ．全適用」を選択すると、グループ内の、パラメー
タセット“ＪＯＢ−Ａ００１”、“ＪＯＢ−Ａ００２”
および“ＪＯＢ−Ａ００３”の“Ｆｏｃｕｓ”のデータ
全てに“０．３”が設定される。編集対象のパラメータ
セット“ＪＯＢ−Ａ００１”に対してのみ設定したい場
合は、既定設定が「Ａ．このジョブのみ適用」であるた
め、データ“０．３”の入力後、適用操作ボタン３６の
操作を行わなければよい。「Ｃ．選択して適用」を選択
すると、グループ内の全ジョブ名のリスト表示４２が行
われるので、このなかから、設定を行うパラメータセッ
ト名を選択すれば、編集対象のパラメータセットと、こ
の操作で選択したパラメータセットにのみ編集データが
設定される。

【００３０】次に、図５および図６を用いて、編集した
パラメータセットの保存について述べる。図５は、編集
作業が終了して、操作者が図３の保存ボタン３９を操作
した後に表示される画面を示す。図５において、５１は
画面のタイトル、５２は保存する階層の表示部、５３は
保存名称の表示／入力エリア、５４は階層を移動するた
めの操作部ボタン、５５は保存を実行するための操作ボ
タンである。図６は、保存、編集起動、階層移動等に使
用するリスト表示画面を示す。同図において、６１は階
層表示部、６２は階層レベル表示部、６３はリスト表示
エリア、６４は新規階層作成ボタン、６５は階層移動操
作ボタン、６６は編集操作開始ボタン、６７は編集の方
法を指示するためのボタン、６９および７０は同一の内
容の画面で、下の階層の表示を行っている状態を現して
いる。

【００３１】保存操作を行うために図３のボタン３９を
操作すると、まず、図５の画面が表示されるので、表示
／入力エリア５３に、保存するパラメータセットに付け
る名前を入力する。なお、表示／入力エリア５３には、
編集操作時に入力した名前が既定値として入っている。
表示部５２において表示されている階層で保存したい場
合は、保存実行操作ボタン５５を操作する。階層を移動
する場合はリスト操作ボタン５４を操作する。図６のリ
スト表示画面での操作によって、階層を移動したり、新
規に階層を作成したりして、いろいろな階層に保存する
ことができる。また、図６のリスト表示画面から、パラ
メータセットを指定し、既に保存しているパラメータセ
ットの単独編集や、グループ編集を行うこともできる。

【００３２】次に、パラメータセットの階層構造と、グ
ループ化したパラメータセットの構造をもつパラメータ
を効率良く記憶する手法について述べる。図７および図
８はデータの記憶構造を示しており、図７の記憶構造
は、パラメータの内容を保存するための行列形式のデー
タ構造である。このデータ構造においては、各パラメー
タセットごとに１行のデータを有する。また、各パラメ
ータには、それぞれユニークなＩＤが定義されている。

【００３３】各行の１列目は、そのパラメータセットに
付けられた名前である。これは、図２の入力エリア２３
や図５の入力エリア５３において操作者によって任意に
設定されたか、自動的に設定された名前である。２列目
は、各パラメータセットに付けられたＩＤ（ファイルＩ
Ｄ）であり、プログラムにより自動的にユニークなもの
が割当てられる。３列目は、各行のファイルＩＤが、デ
ータをもつパラメータセットのものか、またはデータを
もたない階層名を示すものであるかを表す。図６のボタ
ン６４の操作によって新規の階層が作成された場合に、
この３列目（識別；ファイルタイプ）に、階層名である
ことが設定される。４列目は、そのパラメータセットが
属するグループを表す識別キーワードであり、プログラ
ムによりユニークなものが割当てられる。５列目は、同
一のグループ内でパラメータセットを識別するためのサ
ブキーワードであり、同一識別キーワード内でユニーク
なものが割り当てられる。６列目以降は、そのパラメー
タセットにおいて変更されたパラメータのパラメータ識
別子と、そのデータ（パラメータの内容）との組合せで
ある。この組合せは、変更されたパラメータが複数あれ
ば、その数だけ存在する。

【００３４】図８の記憶構造は、パラメータセットのグ
ループ毎に作成する記憶テーブルを形成している。行方
向は識別キーワード（図７のデータ構造における４列
目）とサブキーワード（図７のデータ構造における５列
目）８２、列方向はパラメータ識別子８１で分類したマ
トリックスを構成している。マトリックスの各行の各列
の要素８３は、その行のその列のパラメータ識別子８１
で識別されるパラメータがグループ内のどのパラメータ
セットの内容を参照しているかを示す。図８の例では、
“ｋｅｙａｂｃ０００”で示されるパラメータセット
は、全パラメータを、識別キーワードが“ｋｅｙａｂ
ｃ”であるグループ内のサブキーワードが“０００”で
あるパラメータセットすなわち自身を参照していること
を示している。また、“ｋｅｙａｂｃ００１”で示され
るパラメータセットは、全パラメータの中で、パラメー
タ識別子“ｐｉｄ００１”のパラメータのみ、“ｋｅｙ
ａｂｃ００１”を参照している。すなわち、“ｐｉｄ０
０１”のみ、そのパラメータセットで編集されたことを
示している。

【００３５】図９はデータの流れを示す。同図におい
て、９１は編集プログラム（エディタプログラム）、９
２および９４は図８と同様のマトリックス構造もつデー
タ部、９３は図７の構造をもつパラメータの内容を有す
るデータ部、９５は送信プログラム、９６は本体プログ
ラムである。編集プログラム９１は、全パラメータの内
容およびパラメータ識別子と共に、識別キーワードおよ
びサブキーワードを有している。編集が行われ、その結
果を保存するときには、変更されたデータをデータ部９
３に記憶し、またデータ部９２および９４も更新する。

【００３６】図９に示すように、編集プログラム９１が
“ｋｅｙａｂｃ００２”で示されるパラメータセットを
保持しているとき、異なるパラメータセット“ｋｅｙａ
ｂｃ００５”を編集する場合、まず表データ（データ
部）９２を参照し、“ｋｅｙａｂｃ００２”と“ｋｅｙ
ａｂｃ００５”で示されるパラメータセットの内容を比
較し、読み出すパラメータＩＤ（パラメータ識別子）を
抽出する。この結果から必要なパラメータデータのみを
データ部９３から読み込み、プログラムで保持している
キーワード（識別キーワード＋サブキーワード）を、
“ｋｅｙａｂｃ００５”に更新する。

【００３７】また、同様に、本体部１等へ送信を行う場
合も、現在保持しているキーワードと、次に送信したい
パラメータセットのキーワードを比較し、表データ（デ
ータ部）９４から同様にパラメータ識別子を抽出し、デ
ータ部９３から、送信すべきパラメータすなわち内容の
異なるパラメータを読み出して送信する。このような手
法によれば、パラメータセットの内容が類似しているほ
ど、更新または送信すべきパラメータは少なくなり、よ
り効率よく処理を行うことができる。

【００３８】最も効率の悪い場合は全パラメータが異な
る場合であるが、この場合も、表データ９２または９４
を参照する時間のみ余分になるだけであり、従来のよう
に、常時、全パラメータをデータ部９３から読み出して
いた場合に比べ、遜色ない時間で処理を行うことができ
る。

【００３９】なお、パラメータセットが増えると、表デ
ータ９２、９４等の行を増やす必要がある。１つのパラ
メータセットに含まれるパラメータの数に比較して、表
データ９２、９４等の行数が極端に多くなるような場合
は、表データ９２、９４等の検索に時間がかかり、非効
率的になる可能性もある。このような場合は、サブキー
ワードの数があらかじめ設定した一定数以上になったと
きに自動的にユニークなキーワードを増やし、図７およ
び図８のデータ構造も増やしておけばよい。このような
工夫によれば、検索時間を最適に保ち、旦つ効率的にデ
ータを保存することができる。もちろん、表データ９
２、９４等の行数が増えても、十分高速に検索可能であ
れば、図７および図８のデータ構造を増やさない方が記
憶容量は少なくてすむ。

【００４０】また、不要になったパラメータセットを削
除する場合には、図７および図８のデータ構造も適時更
新する必要がある。例えば、図７および図８において、
パラメータセット名称“ＪＯＢ−Ａ００２”を、削除す
るような指示がプログラムに与えられた場合、図７の２
行目における６列目の“ＰＩＤ００５”の“データＣ”
は、図８の“ｋｅｙａｂｃ００３”で参照されているた
め、“ＰＩＤ００５”の“データＣ”を、図７の“ＪＯ
Ｂ−Ａ００３”の６列目に追加し、図８のマトリックス
要素“００２”は、“００３”に更新しておく必要があ
る。このような削除処理は、削除操作が行われる毎に行
うようにしてもよいが、図７の２行目に削除された旨の
マークを付けておき、操作のリスト画面には、このマー
クがあれば非表示とするような処理を加えておき、実際
の削除処理は、定期的にまとめて行なうようにしてもよ
い。この場合、特殊な処理として、一度、削除指示があ
っても、実際のデータ削除処理が実行されるまでの間で
あれば、削除の旨のマークを取り除くことにより、復帰
させることも可能である。

【００４１】さらに、本実施例の手法においては、類似
したパラメータセットを同一グループとする方がより効
率的である。通常、同一の製品を製造するそれぞれの工
程のパラメータセット群は、露光ステップや位置合せの
ためのマーク座標等のような多くの共通のパラメータが
存在する。そのため、同一の製品を製造するためのパラ
メータセット群に対して、パラメータセットのグループ
化を実施すると大変効率的である。この場合でも、本実
施例の手法によれば、パラメータセットのグループと、
ディレクトリ階層とを必ずしも一致させる必要はない。
また、ディレクトリ階層を１階層とし、多重なディレク
トリ階層をもたずにグループ化して、判りやすくパラメ
ータセットを記憶するような工夫も考えられる。

【００４２】また、露光処理を行なう順番を、パラメー
タセットのグループ単位で実行すれば、パラメータセッ
トのデータの読み出しや、装置本体への送信時間を短縮
することができ、装置のスループット向上にも貢献する
ことができる。

【００４３】さらに、複数の露光装置を通信路で接続し
ているような場合は、各装置において、他の装置で現在
保持し、実行しているパラメータセットの識別キーワー
ドおよびサブキーワードを保持していれば、次にどのパ
ラメータセットを、どの装置で実行するのが最も効率的
かを判断することができ、より効率的な露光処理を実現
することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
パラメータセットを一括して効率良く編集することがで
きる。したがって、パラメータセットの作成や更新、パ
ラメータチェック等に要する時間を大幅に短縮すること
ができる。

【００４５】また、パラメータセットの記憶に要する記
憶容量を減少させて記憶効率を大幅に向上させ、かつ、
パラメータセットの読み出しや転送に要する時間も短縮
することができる。したがって、装置の生産性向上にも
寄与することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る半導体露光装置の概
略構成を示すブロック図である。

【図２】図１の装置における複数のパラメータセット
を指定するための編集画面を示す図である。

【図３】図１の装置における複数のパラメータセット
のための編集画面を示す図である。

【図４】図１の装置におけるパラメータの適用範囲の
操作を説明するための図である。

【図５】図１の装置におけるパラメータセットの保存
名の指定画面を示す図である。

【図６】図１の装置における保存、編集起動、階層移
動などに使用するリスト表示画面を示す図である。

【図７】図１の装置におけるパラメータの内容を保存
するための行列形式のデータ構造を示す図である。

【図８】図１の装置におけるパラメータセットのグル
ープ毎に作成する記憶テーブルを示す図である。

【図９】図１の装置におけるデータの流れを示す図で
ある。

【符号の説明】

１：半導体露光装置本体部、２：コンソール部、３：Ｃ
ＰＵ部、４：モニタ、５：キーボード、６：マウス、
７：通信Ｉ／Ｆ、８：通信路、２１：編集グループ名を
指定する入力表示部、２２：編集パラメータセットの数
を指定する入力表示部、２３：パラメータセット名を入
力および表示するエリア、２４：終了ボタン、２５：入
力内容で編集操作を実行するための操作ボタン、２６：
パラメータセットの削除操作を行うための操作ボタン、
２７：パラメータセットの追加操作を行うための操作ボ
タン、２８：編集対象となっているパラメータセット名
の表示／選択部、２９，３０：パラメータセット名の表
示／選択部、３１：パラメータ編集エリア、３２：パラ
メータエリアスクロール操作部、３３：パラメータのタ
イトル表示部、３４：パラメータのデータ入力部、３
５：パラメータの単位表示部、３６：パラメータの編集
内容の適用範囲を指示するための操作ボタン、３７：パ
ラメータリミットの表示エリア、３８：編集終了操作ボ
タン、３９：保存操作ボタン、４１：適用範囲のメニュ
ー、４２：適用するパラメータセットを指定するための
リストメニュー、５１：タイトル、５２：保存する階層
の表示部、５３：保存名の入力エリア、５４：階層を移
動する場合の操作ボタン、５５：保存名確定および保存
指示ボタン、６１：階層表示部、６２：階層レベル表示
部、６３：リスト表示エリア、６４：新規階層作成ボタ
ン、６５：階層移動操作ボタン、６６：編集操作開始ボ
タン、６７：編集の方法を指示するためのメニューボタ
ン、６９，７０：階層下の表示をしている画面、８１：
パラメータ識別子、８２：識別キーワードとサブキーワ
ード、８３：参照を示す各要素、９１：編集プログラ
ム、９２：キーワード“ｋｅｙａｂｃ”の記憶テーブ
ル、９３：パラメータの内容を記憶したデータ部、９
４：キーワード“ｋｅｙｘｙｚ”の記憶テーブル、９
５：送信プログラム、９６：本体プログラム部。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光装置の制御に使用される各制御パラ
メータの値をジョブ単位で設定したパラメータセットを
作成しまたは変更するための編集手段を備えたパラメー
タセットの処理装置において、前記編集手段は、操作者
によって入力された制御パラメータの設定値または変更
値を、複数のパラメータセットについて適用する手段を
有することを特徴とするパラメータセットの処理装置。
【請求項２】前記編集手段は、前記適用の対象となる
制御パラメータとパラメータセットを操作者が特定する
ための手段を有することを特徴とする請求項１に記載の
パラメータセットの処理装置。
【請求項３】前記編集手段は、指定された複数のパラ
メータセットのそれぞれについて前記制御パラメータの
設定値または変更値の入力を行うための複数の編集画面
を視覚的に重ねて選択可能に表示するとともに、選択さ
れた編集画面を一番上に表示し、その編集画面におい
て、対応するパラメータセットの制御パラメータについ
ての前記設定値または変更値の入力が行われるものであ
ることを特徴とする請求項１または２に記載のパラメー
タセットの処理装置。
【請求項４】前記編集手段は、前記複数の編集画面を
表示すべきパラメータセットおよびこれらを含むパラメ
ータセットのグループを操作者が特定するための手段を
備え、そのグループの単位で前記編集画面の表示を行
い、そのグループ内において前記設定値または変更値の
複数のパラメータセットについての適用を行うものであ
ることを特徴とする請求項３に記載のパラメータセット
の処理装置。
【請求項５】露光装置の制御に使用される各制御パラ
メータの値をジョブ単位で設定したパラメータセットを
記憶する記憶手段を備えたパラメータセットの処理装置
において、前記記憶手段は、前記パラメータセットを表
データ部分と設定データ部分との組合せとして記憶する
ものであり、前記表データ部分は、各パラメータセット
の各制御パラメータが参照しているパラメータセットを
特定する参照データを有し、前記設定データ部分は、前
記表データ部分の各パラメータセットについて、それ自
身を前記参照データにより参照している制御パラメータ
の設定値を有し、各パラメータセットの各制御パラメー
タの設定値は、その制御パラメータが前記参照データに
より参照しているパラメータセットについて前記設定デ
ータ部分が有する同種の制御パラメータの設定値として
得られるものであることを特徴とするパラメータセット
の処理装置。
【請求項６】各制御パラメータは識別ＩＤにより区別
されていることを特徴とする請求項５に記載のパラメー
タセットの処理装置。
【請求項７】前記設定データ部分は、各パラメータセ
ットの識別子と、これに対応する前記制御パラメータの
設定値およびその識別ＩＤとを有することを特徴とする
請求項６に記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項８】前記設定データ部分は、各パラメータセ
ットの種別を示す種別情報を有し、これにより、通常の
パラメータセットとは区別された階層名に関する情報を
有することを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に
記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項９】前記設定データ部分は、各パラメータセ
ットに付された名称を有することを特徴とする請求項５
〜７のいずれか１項に記載のパラメータセットの処理装
置。
【請求項１０】前記設定データ部分は、各パラメータ
セットを所定のグループに分類しているキーワードを有
することを特徴とする請求項５〜９のいずれか１項に記
載のパラメータセットの処理装置。
【請求項１１】前記キーワードは、一方の制御パラメ
ータが他方に対して前記参照を行っているパラメータセ
ット間で同一であり、前記設定データ部分は各パラメー
タセットに対応したサブキーワードを有することを特徴
とする請求項１０に記載のパラメータセットの処理装
置。
【請求項１２】前記サブキーワードは、前記設定デー
タ部分においてパラメータセットが追加された順にカウ
ントアップした値としてそれらパラメータセットに対し
て生成されたものであることを特徴とする請求項１１に
記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項１３】前記設定データ部分における各パラメ
ータセットの制御パラメータの設定値は、そのパラメー
タセットを、他のパラメータセットを変更して作成する
際に、設定値が変更された制御パラメータの設定値であ
ることを特徴とする請求項５〜１２のいずれか１項に記
載のパラメータセットの処理装置。
【請求項１４】前記表データ部分は、各パラメータセ
ットを所定のグループに分類するキーワードおよび各グ
ループ内において各パラメータセットを区別しているサ
ブキーワードと、各制御パラメータを区別するための識
別ＩＤとでそれぞれ行および列方向について分類してマ
トリクス化した表データであることを特徴とする請求項
５〜１３のいずれか１項に記載のパラメータセットの処
理装置。
【請求項１５】前記表データ部分の同一グループ中の
パラメータセットにおいて、１つのパラメータセットは
そのすべての制御パラメータがそれ自身を参照してお
り、その制御パラメータの設定値に対して変更を加えた
ものとして他のパラメータセットが形成されていること
を特徴とする請求項１４に記載のパラメータセットの処
理装置。
【請求項１６】前記記憶手段に記憶されているパラメ
ータセットをメモリ上に読み出して所定の編集を行う編
集手段を備え、この編集手段は、編集対象となるパラメ
ータセットの制御パラメータの設定値を読み出す場合に
は、そのパラメータセットと、そのとき前記メモリ上に
保持しているパラメータセットとで、前記表データ部分
における参照データが異なる制御パラメータについての
み、その設定値を前記設定データ部分から読み出すもの
であることを特徴とする請求項５〜１５のいずれか１項
に記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項１７】前記記憶手段に記憶されているパラメ
ータセットをメモリ上に読み出して送信する送信手段を
備え、この送信手段は、送信対象となるパラメータセッ
トの制御パラメータの設定値を読み出して送信する場合
には、そのパラメータセットと、そのときすでに送信し
てあるパラメータセットとで、前記表データ部分におけ
る参照データが異なる制御パラメータについてのみ、そ
の設定値を前記設定データ部分から読み出して送信する
ものであることを特徴とする請求項５〜１６のいずれか
１項に記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項１８】複数の前記処理装置間で各種のパラメ
ータセットを共有するとともに、各処理装置において更
新されたパラメータセットの内容および前記表データ部
分の更新内容を各処理装置間で送受信することにより、
各処理装置における各パラメータセットの内容の一貫性
を保持するようにしたことを特徴とする請求項５〜１７
のいずれか１項に記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項１９】ネットワークを介して前記露光装置に
接続されていることを特徴とする請求項１〜１８のいず
れか１項に記載のパラメータセットの処理装置。
【請求項２０】請求項１〜１８のいずれかのパラメー
タセットの処理装置を具備することを特徴とする露光装
置。
【請求項２１】露光装置の制御に使用される各制御パ
ラメータの値をジョブ単位で設定したパラメータセット
を作成しまたは変更するための編集手段を用いてパラメ
ータセットを編集する方法において、操作者が前記編集
手段によって制御パラメータの設定値または変更値を入
力する工程と、この設定値または変更値を、前記編集手
段が複数のパラメータセットについて適用する工程とを
具備することを特徴とするパラメータセットの編集方
法。
【請求項２２】前記適用の対象となる制御パラメータ
とパラメータセットを、操作者が前記編集手段により特
定する工程を有することを特徴とする請求項２１に記載
のパラメータセットの編集方法。
【請求項２３】前記編集手段が、指定された複数のパ
ラメータセットのそれぞれについて前記制御パラメータ
の設定値または変更値の入力を行うための複数の編集画
面を視覚的に重ねて選択可能に表示する工程と、操作者
が必要に応じて前記編集画面のうちの１つを選択する工
程と、前記編集手段が選択された編集画面を一番上に表
示する工程と、操作者が一番上に表示された編集画面に
より、対応するパラメータセットの制御パラメータにつ
いて前記設定値または変更値の入力を行う工程とを有す
ることを特徴とする請求項２１または２２に記載のパラ
メータセットの編集方法。
【請求項２４】操作者が前記編集手段により前記複数
の編集画面を表示すべきパラメータセットおよびこれら
を含むパラメータセットのグループを特定する工程を有
し、前記編集手段はそのグループ内において前記複数の
パラメータセットについての適用を行うことを特徴とす
る請求項２３に記載のパラメータセットの編集方法。
【請求項２５】前記編集手段が、前記設定値または変
更値のパラメータセットについての適用の結果を、請求
項５のパラメータセットの処理装置における記憶手段に
記憶されている表データ部分と設定データ部分に対して
反映する工程を有することを特徴とする請求項２１〜２
４のいずれか１項に記載のパラメータセットの編集方
法。