JP2000338129A - 加速度センサ素子の感度較正方法 - Google Patents
加速度センサ素子の感度較正方法Info
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/18—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions
-
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- G01P15/0922—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
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- G01P2015/0805—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration
- G01P2015/0822—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass
- G01P2015/084—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values being provided with a particular type of spring-mass-system for defining the displacement of a seismic mass due to an external acceleration for defining out-of-plane movement of the mass the mass being suspended at more than one of its sides, e.g. membrane-type suspension, so as to permit multi-axis movement of the mass
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定対象以外の軸の感度を抑制することが可
能な加速度センサ素子の感度較正方法を提供する。 【解決手段】 １対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’からな
る加速度検出素子により加速度を検出する加速度センサ
素子の感度較正方法である。加速度センサ素子に振動を
加えた場合において、電気的出力の絶対値が大きい方の
圧電素子１４ｘに対し、既存の分極とは逆極性の電圧を
印加することにより、１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’
から出力される電気的出力の絶対値を近づける。
能な加速度センサ素子の感度較正方法を提供する。 【解決手段】 １対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’からな
る加速度検出素子により加速度を検出する加速度センサ
素子の感度較正方法である。加速度センサ素子に振動を
加えた場合において、電気的出力の絶対値が大きい方の
圧電素子１４ｘに対し、既存の分極とは逆極性の電圧を
印加することにより、１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’
から出力される電気的出力の絶対値を近づける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、１対の圧電素子
からなる加速度検出素子により、外部から作用する加速
度を、Ｘ，Ｙ，Ｚの直交する３軸のうち少なくとも１の
軸の加速度成分を検出し得る加速度センサ素子の感度を
較正する方法に関する。
からなる加速度検出素子により、外部から作用する加速
度を、Ｘ，Ｙ，Ｚの直交する３軸のうち少なくとも１の
軸の加速度成分を検出し得る加速度センサ素子の感度を
較正する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 自動車産業や機械産業では、力、加速
度、磁気などの物理量を正確に検出できるセンサの需要
が高まっている。特に、二次元あるいは三次元の各成分
ごとにこれらの物理量を検出し得る小型のセンサが望ま
れている。例えば、作用体を有する可撓板上に複数個の
圧電体を載置したセンサが公開されている（特開平５−
２６７４４号公報）。
度、磁気などの物理量を正確に検出できるセンサの需要
が高まっている。特に、二次元あるいは三次元の各成分
ごとにこれらの物理量を検出し得る小型のセンサが望ま
れている。例えば、作用体を有する可撓板上に複数個の
圧電体を載置したセンサが公開されている（特開平５−
２６７４４号公報）。
【０００３】 このセンサは、外部から作用体に作用す
る物理量に対応して可撓板が変形するように構成されて
おり、当該可撓板の変形による歪みに応じて圧電体に発
生する電荷により、前記物理量の方向及び大きさを単一
のセンサ素子により三次元的に検出することができるも
のである。
る物理量に対応して可撓板が変形するように構成されて
おり、当該可撓板の変形による歪みに応じて圧電体に発
生する電荷により、前記物理量の方向及び大きさを単一
のセンサ素子により三次元的に検出することができるも
のである。
【０００４】 作用体を重錘とした加速度センサの例に
より説明すると、図２に示すように、センサ素子に対し
外部から加速度ａが作用した場合、重錘１０には加速度
ａと相反する方向に慣性力ｆが作用するため、重錘１０
−支台１１間に横架された可撓板１２に慣性力ｆに伴う
変形が生ずる。
より説明すると、図２に示すように、センサ素子に対し
外部から加速度ａが作用した場合、重錘１０には加速度
ａと相反する方向に慣性力ｆが作用するため、重錘１０
−支台１１間に横架された可撓板１２に慣性力ｆに伴う
変形が生ずる。
【０００５】 当該変形による歪みの方向及び大きさと
可撓板１２上に載置された圧電体１３の分極方向および
大きさに応じた電荷が圧電体１３に発生するため、当該
電荷を上部電極１７ｘ，１７ｙ，１７ｚ及び下部電極１
８から電気的信号として出力することにより外部から作
用する加速度の方向及び大きさを検知することが可能と
なるのである。
可撓板１２上に載置された圧電体１３の分極方向および
大きさに応じた電荷が圧電体１３に発生するため、当該
電荷を上部電極１７ｘ，１７ｙ，１７ｚ及び下部電極１
８から電気的信号として出力することにより外部から作
用する加速度の方向及び大きさを検知することが可能と
なるのである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】 上述の加速度センサ
素子は、単一のセンサ素子により、外部から作用する加
速度をＸ，Ｙ，Ｚの各軸毎の加速度成分として検出し得
るよう構成されていることに起因して、例えば図３
（ｂ）に示すように重錘１０がＺ軸方向にのみ加速度を
受けている場合でも、Ｘ軸用の圧電素子１４ｘ、図３
（ｂ）には示されないＹ軸用の圧電素子１４ｙの圧電体
も変形による歪みを生じ電荷が発生している。
素子は、単一のセンサ素子により、外部から作用する加
速度をＸ，Ｙ，Ｚの各軸毎の加速度成分として検出し得
るよう構成されていることに起因して、例えば図３
（ｂ）に示すように重錘１０がＺ軸方向にのみ加速度を
受けている場合でも、Ｘ軸用の圧電素子１４ｘ、図３
（ｂ）には示されないＹ軸用の圧電素子１４ｙの圧電体
も変形による歪みを生じ電荷が発生している。
【０００７】 しかしながら、重錘１０はＸ軸方向，Ｙ
軸方向に対しては加速度を受けていないのであるから、
Ｘ軸用の圧電素子１４ｘ、Ｙ軸用の圧電素子１４ｙの圧
電体に発生した電荷が電気的に出力されないように構成
する必要がある。そこで、上述の加速度センサ素子にお
いては、１対の圧電素子を１の加速度検出素子として構
成することにより、発生した電荷を電気的に相殺する方
法を採用している。
軸方向に対しては加速度を受けていないのであるから、
Ｘ軸用の圧電素子１４ｘ、Ｙ軸用の圧電素子１４ｙの圧
電体に発生した電荷が電気的に出力されないように構成
する必要がある。そこで、上述の加速度センサ素子にお
いては、１対の圧電素子を１の加速度検出素子として構
成することにより、発生した電荷を電気的に相殺する方
法を採用している。
【０００８】 具体的には、図２に示すように加速度セ
ンサ素子の各軸用の加速度検出素子は、重錘１０を中心
として相対称する位置に配置された少なくとも１対の圧
電素子により構成されている。当該１対の圧電素子は重
錘１０に対して相対称する位置にあるため、圧電体の歪
み量はほぼ等価である。
ンサ素子の各軸用の加速度検出素子は、重錘１０を中心
として相対称する位置に配置された少なくとも１対の圧
電素子により構成されている。当該１対の圧電素子は重
錘１０に対して相対称する位置にあるため、圧電体の歪
み量はほぼ等価である。
【０００９】 当該１対の圧電素子を構成する圧電体の
うちＸ，Ｙ軸用のものを互いに逆極性に、Ｚ軸用のもの
をいずれも同極性に、同じ大きさの分極処理を施すこと
により、図３（ｂ）に示すように重錘１０がＺ軸方向に
振動した場合にはＸ軸用の圧電素子１４ｘ及び図示され
ないＹ軸用の圧電素子１４ｙに発生した逆極性の電荷は
互いに相殺されて電気的信号は出力されず、一方、図３
（ｃ）に示すように重錘１０がＸ，Ｙ軸方向に振動した
場合にはＺ軸用の圧電素子１４ｚに発生した逆極性の電
荷は互いに相殺され、電気的信号は出力されないのであ
る。
うちＸ，Ｙ軸用のものを互いに逆極性に、Ｚ軸用のもの
をいずれも同極性に、同じ大きさの分極処理を施すこと
により、図３（ｂ）に示すように重錘１０がＺ軸方向に
振動した場合にはＸ軸用の圧電素子１４ｘ及び図示され
ないＹ軸用の圧電素子１４ｙに発生した逆極性の電荷は
互いに相殺されて電気的信号は出力されず、一方、図３
（ｃ）に示すように重錘１０がＸ，Ｙ軸方向に振動した
場合にはＺ軸用の圧電素子１４ｚに発生した逆極性の電
荷は互いに相殺され、電気的信号は出力されないのであ
る。
【００１０】 ところが、圧電素子を形成する際の不具
合、例えば圧電素子の電極面積のバラツキ、圧電体の誘
電率のバラツキ、重錘の位置ズレや可撓板の変形による
発生歪みのバラツキ、等の要因により１対の圧電素子に
発生する電荷が等価にならない場合が生じ得る。
合、例えば圧電素子の電極面積のバラツキ、圧電体の誘
電率のバラツキ、重錘の位置ズレや可撓板の変形による
発生歪みのバラツキ、等の要因により１対の圧電素子に
発生する電荷が等価にならない場合が生じ得る。
【００１１】 このような場合には、前記１対の圧電素
子に発生した電荷が完全に相殺されず、電気信号として
出力されるため、例えば加速度センサ素子がＺ軸方向に
のみ加速度を受けているにも拘わらず、Ｘ軸方向の感度
を示すことになる（以下、このような感度を「ノイズ感
度」という。）。
子に発生した電荷が完全に相殺されず、電気信号として
出力されるため、例えば加速度センサ素子がＺ軸方向に
のみ加速度を受けているにも拘わらず、Ｘ軸方向の感度
を示すことになる（以下、このような感度を「ノイズ感
度」という。）。
【００１２】 センサの信頼性を担保するためには、検
出すべき軸方向の感度（以下、このような感度を「主軸
感度」という。）に対するノイズ感度の比率は所定範囲
以内（例えば主軸感度を１００％とした場合にノイズ感
度は５％以下など）に抑制する必要がある。一方、加速
度センサ素子の製造工程においてノイズ感度を所定範囲
以内に作り込むことは非常に困難であるため、センサ素
子を製造後にノイズ感度を抑制する感度較正方法が必要
となる。
出すべき軸方向の感度（以下、このような感度を「主軸
感度」という。）に対するノイズ感度の比率は所定範囲
以内（例えば主軸感度を１００％とした場合にノイズ感
度は５％以下など）に抑制する必要がある。一方、加速
度センサ素子の製造工程においてノイズ感度を所定範囲
以内に作り込むことは非常に困難であるため、センサ素
子を製造後にノイズ感度を抑制する感度較正方法が必要
となる。
【００１３】 本発明は上記の事情に鑑みてなされたも
のであり、その目的とするところは、加速度検出素子を
構成する１対の圧電素子から出力される電気的出力をよ
り相殺し、上述のノイズ感度を抑制することができる加
速度センサ素子の感度較正方法を提供することにある。
のであり、その目的とするところは、加速度検出素子を
構成する１対の圧電素子から出力される電気的出力をよ
り相殺し、上述のノイズ感度を抑制することができる加
速度センサ素子の感度較正方法を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】 すなわち、本発明によ
れば、１対の圧電素子からなる、少なくとも１の加速度
検出素子により、外部から作用する加速度を検出し得る
加速度センサ素子の感度を較正する方法であって、前記
加速度センサ素子に振動を加えた場合において、前記１
対の圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の
圧電素子に対し、既存の分極とは逆極性の電圧を印加す
ることにより、前記１対の圧電素子から出力される電気
的出力の絶対値を近づけることを特徴とする加速度セン
サ素子の感度較正方法が提供される。
れば、１対の圧電素子からなる、少なくとも１の加速度
検出素子により、外部から作用する加速度を検出し得る
加速度センサ素子の感度を較正する方法であって、前記
加速度センサ素子に振動を加えた場合において、前記１
対の圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の
圧電素子に対し、既存の分極とは逆極性の電圧を印加す
ることにより、前記１対の圧電素子から出力される電気
的出力の絶対値を近づけることを特徴とする加速度セン
サ素子の感度較正方法が提供される。
【００１５】 本発明の感度較正方法の対象としては、
重錘と、当該重錘近傍に周設された、中空部を有する支
台と、当該支台の中空部に重錘を釣支するように支台に
横架された可撓板と、１対の圧電素子からなる、少なく
とも１の加速度検出素子と、を備えて構成された加速度
センサ素子が挙げられる。
重錘と、当該重錘近傍に周設された、中空部を有する支
台と、当該支台の中空部に重錘を釣支するように支台に
横架された可撓板と、１対の圧電素子からなる、少なく
とも１の加速度検出素子と、を備えて構成された加速度
センサ素子が挙げられる。
【００１６】 また、本発明の感度較正方法は、Ｘ，
Ｙ，Ｚのうちの直交する２軸に対応する加速度検出素子
を備えた加速度センサ素子、或いはＸ，Ｙ，Ｚの直交す
る３軸に対応する加速度検出素子を備えた加速度センサ
素子を感度較正の対象とする場合に特に好適に用いるこ
とができる。
Ｙ，Ｚのうちの直交する２軸に対応する加速度検出素子
を備えた加速度センサ素子、或いはＸ，Ｙ，Ｚの直交す
る３軸に対応する加速度検出素子を備えた加速度センサ
素子を感度較正の対象とする場合に特に好適に用いるこ
とができる。
【００１７】 本発明の感度較正方法においては、予
め、圧電素子について、既存の分極とは逆極性の電圧を
印加した場合の電圧値及び印加時間とこれに伴って変化
する分極の大きさとの関係を算出しておき、当該関係に
基づいて印加する電圧値及び印加時間を定めることが好
ましい。
め、圧電素子について、既存の分極とは逆極性の電圧を
印加した場合の電圧値及び印加時間とこれに伴って変化
する分極の大きさとの関係を算出しておき、当該関係に
基づいて印加する電圧値及び印加時間を定めることが好
ましい。
【００１８】 また、本発明の感度較正方法において
は、加速度検出素子全体に通電することにより、１対の
圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電
素子に対しては既存の分極とは逆極性の電圧を、電気的
出力の絶対値が小さい方の圧電素子に対しては既存の分
極と同極性の電圧を同時に印加することも可能である。
は、加速度検出素子全体に通電することにより、１対の
圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電
素子に対しては既存の分極とは逆極性の電圧を、電気的
出力の絶対値が小さい方の圧電素子に対しては既存の分
極と同極性の電圧を同時に印加することも可能である。
【００１９】
【発明の実施の形態】 本発明の感度較正方法の対象と
なる加速度センサ素子（以下、単に「センサ素子」とい
う。）としては、例えば図２に示す如く、重錘１０と、
重錘１０近傍に周設された支台１１と、重錘１０を釣支
するように対向する支台１１間に横架される可撓板１２
と、圧電体１３を１組の電極で挟持してなる圧電素子１
４と、を備えたものが挙げられる。
なる加速度センサ素子（以下、単に「センサ素子」とい
う。）としては、例えば図２に示す如く、重錘１０と、
重錘１０近傍に周設された支台１１と、重錘１０を釣支
するように対向する支台１１間に横架される可撓板１２
と、圧電体１３を１組の電極で挟持してなる圧電素子１
４と、を備えたものが挙げられる。
【００２０】 前記センサ素子における重錘１０とは、
上端面を可撓板１２に当接するように釣支された、外部
から作用する加速度の大きさ、方向に基づいて発生した
力により、可撓板１２に変形を生じさせるための部材で
ある。重錘は、可撓板１２に接着剤等により接着しても
よく、或いは可撓板１２と一体成形してもよい。重錘
は、対称性の面から可撓板の中心部に釣支することが好
ましい。
上端面を可撓板１２に当接するように釣支された、外部
から作用する加速度の大きさ、方向に基づいて発生した
力により、可撓板１２に変形を生じさせるための部材で
ある。重錘は、可撓板１２に接着剤等により接着しても
よく、或いは可撓板１２と一体成形してもよい。重錘
は、対称性の面から可撓板の中心部に釣支することが好
ましい。
【００２１】 重錘は、上端面を可撓板に当接するよう
に釣支できる形状である限りにおいて特に限定されず、
筒状の他、円錐台や異径円筒のように外径が連続的に或
いは不連続に変化するものも包含される。但し、Ｘ−Ｙ
平面に対する対称性が高い点において図２に示すような
円筒状が好ましい。
に釣支できる形状である限りにおいて特に限定されず、
筒状の他、円錐台や異径円筒のように外径が連続的に或
いは不連続に変化するものも包含される。但し、Ｘ−Ｙ
平面に対する対称性が高い点において図２に示すような
円筒状が好ましい。
【００２２】 重錘の材質も特に限定されないが、十分
な質量があり密度の高いことに加えて、電磁波の影響を
受け難く、熱膨張率の低い材質であるセラミックスによ
り構成することが好ましい。
な質量があり密度の高いことに加えて、電磁波の影響を
受け難く、熱膨張率の低い材質であるセラミックスによ
り構成することが好ましい。
【００２３】 前記センサ素子における支台１１とは、
重錘１０を中心として周設された、可撓板１２及び重錘
１０を支持するための部材である。従って、可撓板１２
及び重錘１０を支持し得る強度を有する限りにおいてそ
の形状、材質等は特に限定されない。
重錘１０を中心として周設された、可撓板１２及び重錘
１０を支持するための部材である。従って、可撓板１２
及び重錘１０を支持し得る強度を有する限りにおいてそ
の形状、材質等は特に限定されない。
【００２４】 但し、加工が容易で、Ｘ−Ｙ平面に対す
る対称性が比較的高い点において、図２に示すような外
部形状が四角柱状で円筒状中空部１６を有する形状が好
ましく、剛性が高く、電磁波の影響を受け難い材質であ
るセラミックスにより構成することが好ましい。
る対称性が比較的高い点において、図２に示すような外
部形状が四角柱状で円筒状中空部１６を有する形状が好
ましく、剛性が高く、電磁波の影響を受け難い材質であ
るセラミックスにより構成することが好ましい。
【００２５】 前記センサ素子における可撓板１２と
は、重錘１０を釣支して対向する支台１１間に横架され
た、圧電素子を有する板状部材であって、可撓板全体を
圧電体で構成してもよい。
は、重錘１０を釣支して対向する支台１１間に横架され
た、圧電素子を有する板状部材であって、可撓板全体を
圧電体で構成してもよい。
【００２６】 可撓板は、可撓性を有し、重錘の挙動に
より破損しない限りにおいて、形状、材質等は特に限定
されないが、ヤング率が高く、圧電体に歪みを誘起しや
すい材質であるセラミックスが好ましく、形状として
は、図２に示すように１枚の板状体１２により構成する
ことが加工が容易な点において好ましい。
より破損しない限りにおいて、形状、材質等は特に限定
されないが、ヤング率が高く、圧電体に歪みを誘起しや
すい材質であるセラミックスが好ましく、形状として
は、図２に示すように１枚の板状体１２により構成する
ことが加工が容易な点において好ましい。
【００２７】 可撓板には圧電体１３を１組の電極で挟
持した圧電素子１４が配設される。圧電体としては、Ｐ
ＺＴ、ＰＭＮ、ＰＮＮ等の圧電セラミックスや有機圧電
体等を用いることができるが、圧電特性に優れるＰＺＴ
を用いることが好ましい。圧電体の形状は特に限定され
ないが、例えば図２に示すように可撓板１２の上面全体
に圧電体１３を形成することができる。
持した圧電素子１４が配設される。圧電体としては、Ｐ
ＺＴ、ＰＭＮ、ＰＮＮ等の圧電セラミックスや有機圧電
体等を用いることができるが、圧電特性に優れるＰＺＴ
を用いることが好ましい。圧電体の形状は特に限定され
ないが、例えば図２に示すように可撓板１２の上面全体
に圧電体１３を形成することができる。
【００２８】 本明細書において「圧電素子」というと
きは、外部から作用する加速度を電気的に検出するため
の素子であって、前記圧電体を上下面から１組の電極
（上部電極及び下部電極）で挟持した部分をいう。
きは、外部から作用する加速度を電気的に検出するため
の素子であって、前記圧電体を上下面から１組の電極
（上部電極及び下部電極）で挟持した部分をいう。
【００２９】 従って、必ずしも圧電素子毎に上部電
極、圧電体、下部電極を区分して形成する必要はなく、
図２に示すように下部電極１８及び圧電体１３を可撓板
１２の上面全体に形成し、上部電極１７ｘ，１７ｙ，１
７ｚのみを区分して配置することによって圧電素子１４
ｘ，１４ｙ，１４ｚを形成してもよい。
極、圧電体、下部電極を区分して形成する必要はなく、
図２に示すように下部電極１８及び圧電体１３を可撓板
１２の上面全体に形成し、上部電極１７ｘ，１７ｙ，１
７ｚのみを区分して配置することによって圧電素子１４
ｘ，１４ｙ，１４ｚを形成してもよい。
【００３０】 また、本発明の感度較正方法を適用でき
るセンサ素子は、１対の圧電素子からなる、少なくとも
１の加速度検出素子を備えていることが必要である。本
発明の感度較正方法は、当該１対の圧電素子から出力さ
れる電気的出力の絶対値を近づけることにより、ノイズ
感度を抑制する方法だからである。当該１対の圧電素子
は、可撓板上における重錘１０を中心として相対称する
位置に配置される。
るセンサ素子は、１対の圧電素子からなる、少なくとも
１の加速度検出素子を備えていることが必要である。本
発明の感度較正方法は、当該１対の圧電素子から出力さ
れる電気的出力の絶対値を近づけることにより、ノイズ
感度を抑制する方法だからである。当該１対の圧電素子
は、可撓板上における重錘１０を中心として相対称する
位置に配置される。
【００３１】 従って、本発明のセンサ素子は、Ｘ，
Ｙ，Ｚの直交する３軸のうち少なくとも１の軸に対応す
る加速度検出素子を有するものであれば足りるが、Ｘ，
Ｙ，Ｚのうちの直交する２軸に対応する加速度検出素子
を備えた加速度センサ素子（以下、このようなセンサ素
子を「２軸センサ素子」という。）、或いはＸ，Ｙ，Ｚ
の直交する３軸に対応する加速度検出素子を備えた加速
度センサ素子（以下、このようなセンサ素子を「３軸セ
ンサ素子」という。）であってもよい。
Ｙ，Ｚの直交する３軸のうち少なくとも１の軸に対応す
る加速度検出素子を有するものであれば足りるが、Ｘ，
Ｙ，Ｚのうちの直交する２軸に対応する加速度検出素子
を備えた加速度センサ素子（以下、このようなセンサ素
子を「２軸センサ素子」という。）、或いはＸ，Ｙ，Ｚ
の直交する３軸に対応する加速度検出素子を備えた加速
度センサ素子（以下、このようなセンサ素子を「３軸セ
ンサ素子」という。）であってもよい。
【００３２】 これらのセンサ素子は、各軸毎に検出し
た加速度成分を合成することにより外部から作用する物
理量の方向及び大きさを単一のセンサ素子によって二次
元的或いは三次元的に検知することが可能である。な
お、各軸用の加速度検出素子は必ずしも１素子ずつ設け
る必要はなく、例えば各軸用の加速度検出素子が複数素
子ずつ存在しても良く、或いは各軸用の加速度検出素子
の素子数が異なっていても良い。
た加速度成分を合成することにより外部から作用する物
理量の方向及び大きさを単一のセンサ素子によって二次
元的或いは三次元的に検知することが可能である。な
お、各軸用の加速度検出素子は必ずしも１素子ずつ設け
る必要はなく、例えば各軸用の加速度検出素子が複数素
子ずつ存在しても良く、或いは各軸用の加速度検出素子
の素子数が異なっていても良い。
【００３３】 以上のような構成のセンサ素子は、セン
サ素子の形状の断層形状に切断した複数のグリーンシー
トを積層し、一体に圧着した後、焼成する、グリーンシ
ート積層法により成形でき、当該成形体にスクリーン印
刷等の厚膜法の技術を用いて下部電極、圧電体、上部電
極を形成することにより小型で高感度かつ高精度のセン
サ素子を簡便に製造することが可能である。
サ素子の形状の断層形状に切断した複数のグリーンシー
トを積層し、一体に圧着した後、焼成する、グリーンシ
ート積層法により成形でき、当該成形体にスクリーン印
刷等の厚膜法の技術を用いて下部電極、圧電体、上部電
極を形成することにより小型で高感度かつ高精度のセン
サ素子を簡便に製造することが可能である。
【００３４】 本発明の感度較正方法は、加速度センサ
素子に振動を加えた場合において、加速度検出素子を構
成する１対の圧電素子の各々から出力される電気的出力
の絶対値を近づけることにより、センサ素子の感度を較
正する方法である。このような較正方法を採ることによ
り、前記１対の圧電素子の各々から出力される電気的出
力がより相殺されるため、センサ素子のノイズ感度を抑
制することが可能となる。以下、本発明の感度較正方法
について詳細に説明する。
素子に振動を加えた場合において、加速度検出素子を構
成する１対の圧電素子の各々から出力される電気的出力
の絶対値を近づけることにより、センサ素子の感度を較
正する方法である。このような較正方法を採ることによ
り、前記１対の圧電素子の各々から出力される電気的出
力がより相殺されるため、センサ素子のノイズ感度を抑
制することが可能となる。以下、本発明の感度較正方法
について詳細に説明する。
【００３５】 既述のようにセンサ素子のノイズ感度の
抑制は、加振軸以外の軸用の加速度検出素子を構成する
１対の圧電素子から出力される電気的出力を相殺するこ
とにより達成される。従って、当該１対の圧電素子に発
生する電荷自体及び／又はこれに基づいて出力される電
気的出力が等しくなるような較正を施せばよい。
抑制は、加振軸以外の軸用の加速度検出素子を構成する
１対の圧電素子から出力される電気的出力を相殺するこ
とにより達成される。従って、当該１対の圧電素子に発
生する電荷自体及び／又はこれに基づいて出力される電
気的出力が等しくなるような較正を施せばよい。
【００３６】 具体的には、圧電素子の電極の一部を
切除する方法、圧電素子以外の部分に別体の容量成分
（例えばコンデンサ等）を接続する方法等が考えられる
が、本発明においては前記１対の圧電素子のうち一方の
圧電素子を構成する圧電体の分極率を低減することによ
り当該圧電素子に発生する電荷自体を調整する方法を採
る（以下、このような方法を「分極トリミング」とい
う。）。
切除する方法、圧電素子以外の部分に別体の容量成分
（例えばコンデンサ等）を接続する方法等が考えられる
が、本発明においては前記１対の圧電素子のうち一方の
圧電素子を構成する圧電体の分極率を低減することによ
り当該圧電素子に発生する電荷自体を調整する方法を採
る（以下、このような方法を「分極トリミング」とい
う。）。
【００３７】 分極トリミングは、の方法と比較する
とセンサ素子を加工する必要がないため、加工に伴うク
ラックや加工傷が発生しない点において、の方法と比
較すると部品点数が少なく、容量成分を配置するスペー
スが不要であるためセンサ素子自体を小型化できる点に
おいて好ましい。
とセンサ素子を加工する必要がないため、加工に伴うク
ラックや加工傷が発生しない点において、の方法と比
較すると部品点数が少なく、容量成分を配置するスペー
スが不要であるためセンサ素子自体を小型化できる点に
おいて好ましい。
【００３８】 センサ素子の分極トリミングは、以下の
工程に従って行うことができる。まず、センサ素子を、
Ｘ，Ｙ，Ｚいずれかの軸を加振軸として振動を加え、当
該加振軸以外の軸用の加速度検出素子から出力される電
気的出力を測定する。このような操作により、例えばセ
ンサ素子をＺ軸方向に加振した際のＸ軸用加速度検出素
子或いはＹ軸用加速度検出素子の感度、即ちノイズ感度
の有無を評価することができる。
工程に従って行うことができる。まず、センサ素子を、
Ｘ，Ｙ，Ｚいずれかの軸を加振軸として振動を加え、当
該加振軸以外の軸用の加速度検出素子から出力される電
気的出力を測定する。このような操作により、例えばセ
ンサ素子をＺ軸方向に加振した際のＸ軸用加速度検出素
子或いはＹ軸用加速度検出素子の感度、即ちノイズ感度
の有無を評価することができる。
【００３９】 ノイズ感度が認められる場合には、加振
軸以外の軸用の加速度検出素子を構成する１対の圧電素
子の各々に発生する電荷量が異なっており、当該電荷が
完全には相殺されていないことを意味する。従って、前
記１対の圧電素子のうち発生する電荷の小さかった圧電
素子の分極率を上昇させ、発生する電荷を大きくするこ
とによって電荷を相殺する方法も考えられる。但し、圧
電素子を構成する圧電体は、感度をできる限り大きくす
るべく飽和分極させた状態で使用するのが一般的である
ため、本発明においては前記１対の圧電素子のうち発生
する電荷の大きかった圧電素子の分極率を低下させ、発
生する電荷を小さくすることによって電荷を相殺する方
法を採る。
軸以外の軸用の加速度検出素子を構成する１対の圧電素
子の各々に発生する電荷量が異なっており、当該電荷が
完全には相殺されていないことを意味する。従って、前
記１対の圧電素子のうち発生する電荷の小さかった圧電
素子の分極率を上昇させ、発生する電荷を大きくするこ
とによって電荷を相殺する方法も考えられる。但し、圧
電素子を構成する圧電体は、感度をできる限り大きくす
るべく飽和分極させた状態で使用するのが一般的である
ため、本発明においては前記１対の圧電素子のうち発生
する電荷の大きかった圧電素子の分極率を低下させ、発
生する電荷を小さくすることによって電荷を相殺する方
法を採る。
【００４０】 このような状況は、いわゆる２軸センサ
素子，３軸センサ素子のみならず、例えばＸ軸用の加速
度検出素子のみを有するセンサ素子であっても生ずる場
合がある。即ち、Ｚ軸方向に加振した際に生ずる電荷が
完全に相殺されていなければ、当該電荷に伴った電気的
出力がなされるため、センサ素子があたかもＸ軸方向に
振動しているかのように感度を示してしまう。本発明の
感度較正方法は、このようなセンサ素子のノイズ感度抑
制にも使用することができる。
素子，３軸センサ素子のみならず、例えばＸ軸用の加速
度検出素子のみを有するセンサ素子であっても生ずる場
合がある。即ち、Ｚ軸方向に加振した際に生ずる電荷が
完全に相殺されていなければ、当該電荷に伴った電気的
出力がなされるため、センサ素子があたかもＸ軸方向に
振動しているかのように感度を示してしまう。本発明の
感度較正方法は、このようなセンサ素子のノイズ感度抑
制にも使用することができる。
【００４１】 なお、測定する電気的出力としては、当
該圧電素子に発生する電荷若しくは当該電荷に伴って生
ずる電圧等が挙げられる。この場合においては、リード
線等のキャパンシタンス成分の影響を受け難い点におい
ては電荷を、比較的簡便に測定できる点においては電圧
を測定することが好ましい。
該圧電素子に発生する電荷若しくは当該電荷に伴って生
ずる電圧等が挙げられる。この場合においては、リード
線等のキャパンシタンス成分の影響を受け難い点におい
ては電荷を、比較的簡便に測定できる点においては電圧
を測定することが好ましい。
【００４２】 次いで、前記１対の圧電素子のうち測定
した電気的出力の絶対値が大きい方の圧電素子を構成す
る圧電体に対し、逆分極処理を行う。逆分極処理を行っ
た圧電体は、分極率が飽和分極率と比較して低下するた
め、同じ歪み量でも発生する電荷が少なくなる（即ち、
感度が低下する）。従って、測定した電気的出力の絶対
値が小さい方の圧電素子と電荷量が等しくなるように調
整することによりノイズ感度がより抑制されることにな
る。
した電気的出力の絶対値が大きい方の圧電素子を構成す
る圧電体に対し、逆分極処理を行う。逆分極処理を行っ
た圧電体は、分極率が飽和分極率と比較して低下するた
め、同じ歪み量でも発生する電荷が少なくなる（即ち、
感度が低下する）。従って、測定した電気的出力の絶対
値が小さい方の圧電素子と電荷量が等しくなるように調
整することによりノイズ感度がより抑制されることにな
る。
【００４３】 逆分極処理は、前記１対の圧電素子のう
ちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電素子に対し、
既存の分極とは逆極性の電圧を印加することにより行う
ことができる。例えば、印加時間を一定にして印加電圧
を徐々に上げていく方法、印加電圧及び印加時間を一定
にして繰り返し電圧を印加する方法等により、前記１対
の圧電素子から発生する電荷が等しくなるように分極率
を低減すればよい。
ちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電素子に対し、
既存の分極とは逆極性の電圧を印加することにより行う
ことができる。例えば、印加時間を一定にして印加電圧
を徐々に上げていく方法、印加電圧及び印加時間を一定
にして繰り返し電圧を印加する方法等により、前記１対
の圧電素子から発生する電荷が等しくなるように分極率
を低減すればよい。
【００４４】 但し、本発明においては、予め、圧電素
子について、既存の分極とは逆極性の電圧を印加した場
合の電圧値及び印加時間とこれに伴って変化する分極の
大きさとの関係を算出しておき、当該関係に基づいて印
加する電圧値及び印加時間を定めることが好ましい。
子について、既存の分極とは逆極性の電圧を印加した場
合の電圧値及び印加時間とこれに伴って変化する分極の
大きさとの関係を算出しておき、当該関係に基づいて印
加する電圧値及び印加時間を定めることが好ましい。
【００４５】 印加する電圧の電圧値、印加時間は、分
極反転が生じない限り特に限定されないが、印加する電
圧が小さ過ぎれば所望の分極率に達するまでの時間が長
くなり生産性が低下する一方、印加する電圧が大きけれ
ば、分極反転を生じないまでも分極率の変化が大きすぎ
て、印加時間を極端に短くしなければならず制御が困難
となる場合があるからである。
極反転が生じない限り特に限定されないが、印加する電
圧が小さ過ぎれば所望の分極率に達するまでの時間が長
くなり生産性が低下する一方、印加する電圧が大きけれ
ば、分極反転を生じないまでも分極率の変化が大きすぎ
て、印加時間を極端に短くしなければならず制御が困難
となる場合があるからである。
【００４６】 また、本発明においては、個々の圧電素
子毎ではなく、加速度検出素子全体に通電することによ
り感度を較正しても良い。こうすることにより、１対の
圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電
素子に対しては既存の分極とは逆極性の電圧を、電気的
出力の絶対値が小さい方の圧電素子に対しては既存の分
極と同極性の電圧を同時に印加することができるからで
ある。
子毎ではなく、加速度検出素子全体に通電することによ
り感度を較正しても良い。こうすることにより、１対の
圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい方の圧電
素子に対しては既存の分極とは逆極性の電圧を、電気的
出力の絶対値が小さい方の圧電素子に対しては既存の分
極と同極性の電圧を同時に印加することができるからで
ある。
【００４７】 なお、本発明の感度較正方法は、前記１
対の圧電素子から出力される電気的出力の絶対値を近づ
けるように分極率を低減するものであり、必ずしも発生
する電荷を完全に等価にする必要はない。即ち、前記１
対の圧電素子から出力される電気的出力の絶対値の差は
許容されるノイズ感度や経済性に応じて適宜決定される
べきである。通常は、主軸感度を１００％とした場合に
ノイズ感度が５％以下に抑制できる範囲で相殺されてい
れば足りる。
対の圧電素子から出力される電気的出力の絶対値を近づ
けるように分極率を低減するものであり、必ずしも発生
する電荷を完全に等価にする必要はない。即ち、前記１
対の圧電素子から出力される電気的出力の絶対値の差は
許容されるノイズ感度や経済性に応じて適宜決定される
べきである。通常は、主軸感度を１００％とした場合に
ノイズ感度が５％以下に抑制できる範囲で相殺されてい
れば足りる。
【００４８】 一方、上述の感度較正の後に、前記１対
の圧電素子から出力される電気的出力を再度測定し、当
該電気的出力が所望の程度まで相殺されていない場合に
は、再度同様の感度較正を行うことにより、当該電気的
出力の絶対値を更に近づけることも可能である。
の圧電素子から出力される電気的出力を再度測定し、当
該電気的出力が所望の程度まで相殺されていない場合に
は、再度同様の感度較正を行うことにより、当該電気的
出力の絶対値を更に近づけることも可能である。
【００４９】 更に、本発明の感度較正方法のような分
極トリミングは、センサ素子がいわゆる２軸センサ素
子，３軸センサ素子の場合に特に好適に使用することが
できる。これらのセンサ素子は、１の可撓板上に全ての
加速度検出素子が配置されているため、一時に全ての加
速度検出素子について感度較正を行うことも可能だから
である。
極トリミングは、センサ素子がいわゆる２軸センサ素
子，３軸センサ素子の場合に特に好適に使用することが
できる。これらのセンサ素子は、１の可撓板上に全ての
加速度検出素子が配置されているため、一時に全ての加
速度検出素子について感度較正を行うことも可能だから
である。
【００５０】 具体的には、枠状のプラスチック板に複
数の細い針状の端子が突設されてなり、電圧を印加すべ
き圧電素子の電極位置に前記端子を配置してなる１枚の
プローブカードで逆分極処理を行うことにより、Ｘ，
Ｙ，Ｚの各軸を同時にトリミングすることが可能であ
る。このような方法によれば、トリミングの回数やプロ
ーブの位置合わせをする回数が少なくて済むという利点
がある。
数の細い針状の端子が突設されてなり、電圧を印加すべ
き圧電素子の電極位置に前記端子を配置してなる１枚の
プローブカードで逆分極処理を行うことにより、Ｘ，
Ｙ，Ｚの各軸を同時にトリミングすることが可能であ
る。このような方法によれば、トリミングの回数やプロ
ーブの位置合わせをする回数が少なくて済むという利点
がある。
【００５１】 更にまた、本発明の感度較正方法は、
Ｚ軸を加振軸としてセンサ素子を振動させた場合におけ
る、Ｘ軸用及び／又はＹ軸用の加速度検出素子のノイズ
感度の較正、Ｘ軸若しくはＹ軸を加振軸として振動さ
せた場合における、Ｚ軸用の加速度検出素子のノイズ感
度の較正に特に有効である。
Ｚ軸を加振軸としてセンサ素子を振動させた場合におけ
る、Ｘ軸用及び／又はＹ軸用の加速度検出素子のノイズ
感度の較正、Ｘ軸若しくはＹ軸を加振軸として振動さ
せた場合における、Ｚ軸用の加速度検出素子のノイズ感
度の較正に特に有効である。
【００５２】 例えば、Ｘ軸を加振軸として振動させ
た場合におけるＹ軸用の加速度検出素子のノイズ感度、
Ｙ軸を加振軸として振動させた場合におけるＸ軸用の
加速度検出素子のノイズ感度と比較すると、，の場
合におけるノイズ感度の方が大きいため、効果的に感度
較正を行うことができるからである。
た場合におけるＹ軸用の加速度検出素子のノイズ感度、
Ｙ軸を加振軸として振動させた場合におけるＸ軸用の
加速度検出素子のノイズ感度と比較すると、，の場
合におけるノイズ感度の方が大きいため、効果的に感度
較正を行うことができるからである。
【００５３】 なお、本発明の感度較正方法は、あくま
でノイズ感度の抑制を目的とする較正に適用するもので
あるため、本発明の方法による感度較正後においても、
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸に対し同一加速度を加えた場合におけ
る、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸用の加速度検出素子から出力され
る電気的出力が相互に異なる場合は生じ得る。
でノイズ感度の抑制を目的とする較正に適用するもので
あるため、本発明の方法による感度較正後においても、
Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸に対し同一加速度を加えた場合におけ
る、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸用の加速度検出素子から出力され
る電気的出力が相互に異なる場合は生じ得る。
【００５４】 このような場合には、各加速度検出素子
に接続されるアンプの増幅率を調整する、各加速度検出
素子と並列にキャパシタを接続して電気的出力を調整す
る等の方法により、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸相互間の電気的出
力を均衡させるべく別途較正を行う必要がある。
に接続されるアンプの増幅率を調整する、各加速度検出
素子と並列にキャパシタを接続して電気的出力を調整す
る等の方法により、Ｘ，Ｙ，Ｚの各軸相互間の電気的出
力を均衡させるべく別途較正を行う必要がある。
【００５５】
【実施例】 以下、本発明の感度較正方法について実施
例により更に詳細に説明する。本実施例においては、Ｚ
軸を加振軸としてセンサ素子を振動させた場合におけ
る、Ｘ軸用加速度検出素子のノイズ感度較正の例につい
て説明する。
例により更に詳細に説明する。本実施例においては、Ｚ
軸を加振軸としてセンサ素子を振動させた場合におけ
る、Ｘ軸用加速度検出素子のノイズ感度較正の例につい
て説明する。
【００５６】 まず、本実施例において使用した振動試
験機、及びセンサ素子について説明する。振動試験機と
しては、図５に示す構造の動電型振動試験機を使用し
た。センサ素子としては、図６に示すような構造のセン
サ素子２０を使用した。
験機、及びセンサ素子について説明する。振動試験機と
しては、図５に示す構造の動電型振動試験機を使用し
た。センサ素子としては、図６に示すような構造のセン
サ素子２０を使用した。
【００５７】（実施例１）実施例１においては、加速度
検出素子を構成する１対の圧電素子の各々について電気
的出力を測定し、感度較正した例を示す。
検出素子を構成する１対の圧電素子の各々について電気
的出力を測定し、感度較正した例を示す。
【００５８】センサ素子の固定 センサ素子２０の固定は図４に示す治具２２，２３，２
６を使用して行った。治具２２はセンサ素子２０と略同
一形状の開口部２２ｃを備えた箱状であって、同軸線２
１を引き出すための細溝２２ｄ、及び四隅にめねじ２２
ａ、辺中央にボルト穴２２ｂが形成されている。
６を使用して行った。治具２２はセンサ素子２０と略同
一形状の開口部２２ｃを備えた箱状であって、同軸線２
１を引き出すための細溝２２ｄ、及び四隅にめねじ２２
ａ、辺中央にボルト穴２２ｂが形成されている。
【００５９】 治具２３は平板状であって、治具２２と
同様に四隅にボルト穴２３ａ、辺中央にボルト穴２３ｂ
が形成されている。また、治具２６は治具２２，２３と
一辺の長さを同じくする正六面体であって、四隅にボル
ト穴２６ａ、辺中央にめねじ２６ｂが形成されている。
更に、振動試験機の振動体２８にもめねじ２８ａを形成
し、めねじ２８ａ近傍に標準加速度ピックアップ３１を
瞬間接着剤で固定した。
同様に四隅にボルト穴２３ａ、辺中央にボルト穴２３ｂ
が形成されている。また、治具２６は治具２２，２３と
一辺の長さを同じくする正六面体であって、四隅にボル
ト穴２６ａ、辺中央にめねじ２６ｂが形成されている。
更に、振動試験機の振動体２８にもめねじ２８ａを形成
し、めねじ２８ａ近傍に標準加速度ピックアップ３１を
瞬間接着剤で固定した。
【００６０】 まず、電気的信号を出力するための同軸
線２１を半田付けしたセンサ素子２０を治具２２に接着
剤で貼着し、ボルト２５を用いて治具２３との間にセン
サ素子２０を挟持するように螺着して固定する（以下、
この部材を「固定用部材３０」という。）。一方、ボル
ト２７を用いて治具２６と振動試験機の振動体２８とを
螺着して固定し、治具２６の水平を水準器で調整してお
く。
線２１を半田付けしたセンサ素子２０を治具２２に接着
剤で貼着し、ボルト２５を用いて治具２３との間にセン
サ素子２０を挟持するように螺着して固定する（以下、
この部材を「固定用部材３０」という。）。一方、ボル
ト２７を用いて治具２６と振動試験機の振動体２８とを
螺着して固定し、治具２６の水平を水準器で調整してお
く。
【００６１】 次いで、固定用部材３０のボルト穴２２
ｂ，２３ｂと治具２６のめねじ２６ｂとを位置合わせ
し、ボルト２４を用いて固定用部材３０と治具２６とを
螺着することにより、センサ素子２０と振動試験機の振
動体２８とを固定した。
ｂ，２３ｂと治具２６のめねじ２６ｂとを位置合わせ
し、ボルト２４を用いて固定用部材３０と治具２６とを
螺着することにより、センサ素子２０と振動試験機の振
動体２８とを固定した。
【００６２】 なお、Ｘ，Ｙ軸方向に振動させる場合に
は固定用部材３０は、治具２６の側面に取り付けられる
ため、治具２６の固定用部材３０を取り付けた面の裏面
に固定用部材３０と同一形状、同一重量のダミー治具２
９を螺着して固定し、重量を均衡させるようにする。
は固定用部材３０は、治具２６の側面に取り付けられる
ため、治具２６の固定用部材３０を取り付けた面の裏面
に固定用部材３０と同一形状、同一重量のダミー治具２
９を螺着して固定し、重量を均衡させるようにする。
【００６３】感度較正 まず、センサ素子２０を上述の如く振動試験機に固定
し、図１（ａ）に示すように、Ｘ軸用加速度検出素子を
構成する１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’を同軸線を介
して分極用電源に接続し、飽和分極電圧である３０Ｖの
電圧を３回ｏｎ、ｏｆｆを繰り返すことにより印加した
（飽和分極処理）。
し、図１（ａ）に示すように、Ｘ軸用加速度検出素子を
構成する１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’を同軸線を介
して分極用電源に接続し、飽和分極電圧である３０Ｖの
電圧を３回ｏｎ、ｏｆｆを繰り返すことにより印加した
（飽和分極処理）。
【００６４】 次いで、振動周波数８０Ｈｚにおいてセ
ンサ素子をＺ軸方向に加振し、振動体に固定された標準
ピックアップを用いてＺ軸方向の加速度が１０ｍ／ｓ2
となるように振動試験機の振動を調整した後、前記１対
の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’から出力される電圧を各々
測定した。その結果、出力された電圧の絶対値は、圧電
素子１４ｘが２７８ｍＶ、圧電素子１４ｘ’が２５７ｍ
Ｖであった。
ンサ素子をＺ軸方向に加振し、振動体に固定された標準
ピックアップを用いてＺ軸方向の加速度が１０ｍ／ｓ2
となるように振動試験機の振動を調整した後、前記１対
の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’から出力される電圧を各々
測定した。その結果、出力された電圧の絶対値は、圧電
素子１４ｘが２７８ｍＶ、圧電素子１４ｘ’が２５７ｍ
Ｖであった。
【００６５】 更に、図１（ｂ）に示すように、測定し
た電圧の絶対値が大きかった圧電素子１４ｘに対して飽
和分極させた既存の分極とは逆極性の１０Ｖの電圧を１
秒印加する操作を３回繰り返すことにより、逆分極処理
を行った。その結果、圧電素子１４ｘから出力される電
圧は２５７ｍＶとなった。
た電圧の絶対値が大きかった圧電素子１４ｘに対して飽
和分極させた既存の分極とは逆極性の１０Ｖの電圧を１
秒印加する操作を３回繰り返すことにより、逆分極処理
を行った。その結果、圧電素子１４ｘから出力される電
圧は２５７ｍＶとなった。
【００６６】 即ち、センサ素子をＺ軸方向に加振した
場合における前記１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’から
の電気的出力は完全に相殺され、Ｚ軸方向加振時におけ
るＸ軸用加速度検出素子のノイズ感度は０に較正され
た。
場合における前記１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’から
の電気的出力は完全に相殺され、Ｚ軸方向加振時におけ
るＸ軸用加速度検出素子のノイズ感度は０に較正され
た。
【００６７】（実施例２）通常、センサ素子は、図７に
示すように、圧電素子からの電気的信号を増幅するため
の増幅回路４１の他、図示されない抵抗素子、コンデン
サその他の必要な回路部品とを備え、これらをプリント
配線基板上に配設してなるセンサ回路４０に接続して用
いられる。
示すように、圧電素子からの電気的信号を増幅するため
の増幅回路４１の他、図示されない抵抗素子、コンデン
サその他の必要な回路部品とを備え、これらをプリント
配線基板上に配設してなるセンサ回路４０に接続して用
いられる。
【００６８】 本発明の感度較正方法は、センサ素子を
センサ回路に組み込んだ後にも適用できる。実施例２に
おいては、図６に示すセンサ素子２０を図７に示すセン
サ回路４０に組み込んだ状態で、加速度検出素子全体に
ついて電気的出力を測定し、感度較正した例を示す。
センサ回路に組み込んだ後にも適用できる。実施例２に
おいては、図６に示すセンサ素子２０を図７に示すセン
サ回路４０に組み込んだ状態で、加速度検出素子全体に
ついて電気的出力を測定し、感度較正した例を示す。
【００６９】 まず、図８に示すように、実施例１と同
様の操作にてセンサ素子のＸ軸用加速度検出素子を構成
する１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’の飽和分極処理を
行った後、図６に示すセンサ素子２０を図７に示すセン
サ回路４０を備えた回路基板に接着した。センサ素子２
０のボンディングパッド１９はワイヤボンディングによ
りセンサ回路４０の対応するボンディングパッド４５に
電気的に接続した。
様の操作にてセンサ素子のＸ軸用加速度検出素子を構成
する１対の圧電素子１４ｘ，１４ｘ’の飽和分極処理を
行った後、図６に示すセンサ素子２０を図７に示すセン
サ回路４０を備えた回路基板に接着した。センサ素子２
０のボンディングパッド１９はワイヤボンディングによ
りセンサ回路４０の対応するボンディングパッド４５に
電気的に接続した。
【００７０】 次いで、センサ素子を接着した回路基板
を実施例１と同様の方法にて振動試験機に固定し、Ｘ軸
方向に加振して、Ｘ軸用加速度検出素子から出力される
電圧を測定した。Ｘ軸用加速度検出素子から出力された
電圧（即ち、圧電素子１４ｘ，１４ｘ’から出力された
電圧の和）は６２２ｍＶであった（主軸感度）。
を実施例１と同様の方法にて振動試験機に固定し、Ｘ軸
方向に加振して、Ｘ軸用加速度検出素子から出力される
電圧を測定した。Ｘ軸用加速度検出素子から出力された
電圧（即ち、圧電素子１４ｘ，１４ｘ’から出力された
電圧の和）は６２２ｍＶであった（主軸感度）。
【００７１】 更に、Ｚ軸方向に加振してＸ軸用加速度
検出素子から出力される電圧を測定した。Ｘ軸用加速度
検出素子から出力された電圧は５５ｍＶであった（ノイ
ズ感度）。即ち、Ｘ軸用加速度検出素子の主軸感度６２
２ｍＶに対するノイズ感度５５ｍＶの比率は８．８％で
あり、一般的な目標値である５％を超えていた。
検出素子から出力される電圧を測定した。Ｘ軸用加速度
検出素子から出力された電圧は５５ｍＶであった（ノイ
ズ感度）。即ち、Ｘ軸用加速度検出素子の主軸感度６２
２ｍＶに対するノイズ感度５５ｍＶの比率は８．８％で
あり、一般的な目標値である５％を超えていた。
【００７２】 そこで、以下の操作にて分極トリミング
を実施した。まず、図７に示すように、スイッチ４２に
て回路の一部を切断し、逆分極用電源４３に接続したプ
ローブ４４を下部電極Ｃ側のＢ１と、Ｘ軸用加速度検出
素子を構成する圧電素子の上部電極Ｘ１，Ｘ２側のＢ２
に接触させた。
を実施した。まず、図７に示すように、スイッチ４２に
て回路の一部を切断し、逆分極用電源４３に接続したプ
ローブ４４を下部電極Ｃ側のＢ１と、Ｘ軸用加速度検出
素子を構成する圧電素子の上部電極Ｘ１，Ｘ２側のＢ２
に接触させた。
【００７３】 即ち、図８（ｂ）に示すように、個々の
圧電素子毎ではなく、加速度検出素子全体に通電するこ
とにより圧電素子１４ｘには既存の分極とは逆極性の１
０Ｖの電圧が、圧電素子１４ｘ’には既存の分極とは同
極性の１０Ｖの電圧が同時に印加されるように接続し
た。
圧電素子毎ではなく、加速度検出素子全体に通電するこ
とにより圧電素子１４ｘには既存の分極とは逆極性の１
０Ｖの電圧が、圧電素子１４ｘ’には既存の分極とは同
極性の１０Ｖの電圧が同時に印加されるように接続し
た。
【００７４】 上述の接続状態において１０Ｖの電圧を
１秒間，１回印加することにより逆分極処理を行った
後、再度、センサ素子を接着した回路基板を、Ｘ軸方向
に加振して、Ｘ軸用加速度検出素子から出力される電圧
を測定した。出力された電圧は６１４ｍＶであった（主
軸感度）。
１秒間，１回印加することにより逆分極処理を行った
後、再度、センサ素子を接着した回路基板を、Ｘ軸方向
に加振して、Ｘ軸用加速度検出素子から出力される電圧
を測定した。出力された電圧は６１４ｍＶであった（主
軸感度）。
【００７５】 更に、Ｚ軸方向に加振してＸ軸用加速度
検出素子から出力される電圧を測定した。出力された電
圧は１８ｍＶであった（ノイズ感度）。即ち、Ｘ軸用加
速度検出素子の主軸感度６１４ｍＶに対するノイズ感度
１８ｍＶの比率は２．９％となり、一般的な目標値であ
る５％以内に較正された。
検出素子から出力される電圧を測定した。出力された電
圧は１８ｍＶであった（ノイズ感度）。即ち、Ｘ軸用加
速度検出素子の主軸感度６１４ｍＶに対するノイズ感度
１８ｍＶの比率は２．９％となり、一般的な目標値であ
る５％以内に較正された。
【００７６】 実施例２の方法では、圧電素子１４ｘ’
は飽和分極の状態にあるのでこれと同極性の電圧を印加
しても分極率には変化がなく、一方、圧電素子１４ｘに
は飽和分極時と逆極性の電圧が印加されるため、分極率
を低下させることが可能となる。
は飽和分極の状態にあるのでこれと同極性の電圧を印加
しても分極率には変化がなく、一方、圧電素子１４ｘに
は飽和分極時と逆極性の電圧が印加されるため、分極率
を低下させることが可能となる。
【００７７】 なお、実施例２におけるスイッチにて回
路の一部を切断する方法は、回路基板を構成する回路部
品の絶対最大定格以上の電圧を印加したい場合に有効で
ある。この場合においては、増幅回路４１部分はスイッ
チ４２のｏｎ、ｏｆｆ等により電気的に分離可能な状態
にしておき、電圧印加時はｏｆｆに、ノイズ感度測定時
はｏｎにする。スイッチの代わりに取り外し可能なジャ
ンパ用チップ（約０Ωのチップ抵抗）を配置しておき、
適宜脱着しても良い。
路の一部を切断する方法は、回路基板を構成する回路部
品の絶対最大定格以上の電圧を印加したい場合に有効で
ある。この場合においては、増幅回路４１部分はスイッ
チ４２のｏｎ、ｏｆｆ等により電気的に分離可能な状態
にしておき、電圧印加時はｏｆｆに、ノイズ感度測定時
はｏｎにする。スイッチの代わりに取り外し可能なジャ
ンパ用チップ（約０Ωのチップ抵抗）を配置しておき、
適宜脱着しても良い。
【００７８】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の感度較
正方法によれば、加速度検出素子を構成する１対の圧電
素子から出力される電気的出力の絶対値を近づけること
により、当該電気的出力をより相殺することができるた
め、加速度センサ素子のノイズ感度を抑制することが可
能となる。
正方法によれば、加速度検出素子を構成する１対の圧電
素子から出力される電気的出力の絶対値を近づけること
により、当該電気的出力をより相殺することができるた
め、加速度センサ素子のノイズ感度を抑制することが可
能となる。
【図１】 本発明の感度較正方法の一の実施例を示す説
明図（ａ）、（ｂ）である。
明図（ａ）、（ｂ）である。
【図２】 本発明に使用するセンサ素子の一の実施例を
示す概略説明図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）はＡ
−Ａ’断面図である。
示す概略説明図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）はＡ
−Ａ’断面図である。
【図３】 本発明に使用するセンサ素子の作動状況を示
す概略説明図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）である。
す概略説明図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）である。
【図４】 センサ素子と振動試験機との固定方法の例を
示す概略斜視図である。
示す概略斜視図である。
【図５】 振動試験機の例を示す概略断面図である。
【図６】 実施例１、２に使用したセンサ素子の構造を
示す概略説明図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は概
略断面図である。
示す概略説明図であって、（ａ）は上面図、（ｂ）は概
略断面図である。
【図７】 実施例２に使用したセンサ回路の構造を示す
概略回路図である。
概略回路図である。
【図８】 本発明の感度較正方法の他の実施例を示す説
明図（ａ）、（ｂ）である。
明図（ａ）、（ｂ）である。
１…振動試験機、２…励磁用コイル、３…基台、４…板
バネ、５…振動体、６…駆動用コイル、１０…重錘、１
１…支台、１２…可撓板、１３…圧電体、１４…圧電素
子、１６…円筒状中空部、１７…上部電極、１８…下部
電極、１９…ボンディングパッド、２０…センサ素子、
２１…同軸線、２２，２３…治具、２４，２５…ボル
ト、２６…治具、２７…ボルト、２８…振動体、２９…
ダミー治具、３０…固定用部材、３１…標準ピックアッ
プ、４０…センサ回路、４１…増幅回路、４２…スイッ
チ、４３…逆分極用電源、４４…プローブ、４５…ボン
ディングパッド。
バネ、５…振動体、６…駆動用コイル、１０…重錘、１
１…支台、１２…可撓板、１３…圧電体、１４…圧電素
子、１６…円筒状中空部、１７…上部電極、１８…下部
電極、１９…ボンディングパッド、２０…センサ素子、
２１…同軸線、２２，２３…治具、２４，２５…ボル
ト、２６…治具、２７…ボルト、２８…振動体、２９…
ダミー治具、３０…固定用部材、３１…標準ピックアッ
プ、４０…センサ回路、４１…増幅回路、４２…スイッ
チ、４３…逆分極用電源、４４…プローブ、４５…ボン
ディングパッド。
フロントページの続き (72)発明者 柴田 和義 愛知県名古屋市瑞穂区須田町２番56号 日 本碍子株式会社内 (72)発明者 安藤 秀樹 愛知県小牧市大字下末字五反田434番地の ３ エヌジーケイ・オプトセラミックス株 式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 １対の圧電素子からなる、少なくとも１
の加速度検出素子により、外部から作用する加速度を検
出し得る加速度センサ素子の感度を較正する方法であっ
て、 前記加速度センサ素子に振動を加えた場合において、前
記１対の圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大きい
方の圧電素子に対し、既存の分極とは逆極性の電圧を印
加することにより、前記１対の圧電素子から出力される
電気的出力の絶対値を近づけることを特徴とする加速度
センサ素子の感度較正方法。 - 【請求項２】 重錘と、当該重錘近傍に周設された、中
空部を有する支台と、当該支台の中空部に重錘を釣支す
るように支台に横架された可撓板と、１対の圧電素子か
らなる、少なくとも１の加速度検出素子と、を備えて構
成された加速度センサ素子を感度較正の対象とする請求
項１に記載の加速度センサ素子の感度較正方法。 - 【請求項３】 Ｘ，Ｙ，Ｚのうちの直交する２軸に対応
する加速度検出素子を備えた加速度センサ素子を感度較
正の対象とする請求項１又は２に記載の加速度センサ素
子の感度較正方法。 - 【請求項４】 Ｘ，Ｙ，Ｚの直交する３軸に対応する加
速度検出素子を備えた加速度センサ素子を感度較正の対
象とする請求項１又は２に記載の加速度センサ素子の感
度較正方法。 - 【請求項５】 予め、圧電素子について、既存の分極と
は逆極性の電圧を印加した場合の電圧値及び印加時間と
これに伴って変化する分極の大きさとの関係を算出して
おき、当該関係に基づいて印加する電圧値及び印加時間
を定める請求項１〜４のいずれか一項に記載の加速度セ
ンサ素子の感度較正方法。 - 【請求項６】 加速度検出素子全体に通電することによ
り、１対の圧電素子のうちの電気的出力の絶対値が大き
い方の圧電素子に対しては既存の分極とは逆極性の電圧
を、電気的出力の絶対値が小さい方の圧電素子に対して
は既存の分極と同極性の電圧を同時に印加する請求項１
〜５のいずれか一項に記載の加速度センサ素子の感度較
正方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000069885A JP2000338129A (ja) | 1999-03-19 | 2000-03-14 | 加速度センサ素子の感度較正方法 |
| US09/528,132 US6435000B1 (en) | 1999-03-19 | 2000-03-17 | Method for calibrating sensitivity of acceleration sensor |
| EP00302211A EP1039302A1 (en) | 1999-03-19 | 2000-03-17 | Method for calibrating sensitivity of acceleration sensor |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-76769 | 1999-03-19 | ||
| JP7676999 | 1999-03-19 | ||
| JP2000069885A JP2000338129A (ja) | 1999-03-19 | 2000-03-14 | 加速度センサ素子の感度較正方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000338129A true JP2000338129A (ja) | 2000-12-08 |
Family
ID=26417902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000069885A Withdrawn JP2000338129A (ja) | 1999-03-19 | 2000-03-14 | 加速度センサ素子の感度較正方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6435000B1 (ja) |
| EP (1) | EP1039302A1 (ja) |
| JP (1) | JP2000338129A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003093566A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-02 | Microstone Corp | 運動識別方法および運動センシングモジュール |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100521819C (zh) * | 2004-10-15 | 2009-07-29 | 清华大学 | 硅基铁电微声学传感器畴极化区域控制和电极连接的方法 |
| US7640786B2 (en) * | 2007-03-28 | 2010-01-05 | Northrop Grumman Guidance And Electronics Company, Inc. | Self-calibrating accelerometer |
| DE102008040525B4 (de) * | 2008-07-18 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Sensorelement |
| CN102072968B (zh) * | 2010-11-04 | 2012-03-21 | 国营红林机械厂 | 一种高g值加速度传感器的标定方法 |
| US9635794B2 (en) * | 2012-02-20 | 2017-04-25 | Trw Automotive U.S. Llc | Method and apparatus for attachment of integrated circuits |
| CN109655092B (zh) * | 2018-12-26 | 2020-12-04 | 北京诺亦腾科技有限公司 | 一种传感器标定治具 |
| US11611835B2 (en) | 2020-06-09 | 2023-03-21 | Infineon Technologies Ag | Combined corrugated piezoelectric microphone and corrugated piezoelectric vibration sensor |
| US11693021B2 (en) * | 2020-06-09 | 2023-07-04 | Infineon Technologies Ag | Combined corrugated piezoelectric microphone and corrugated piezoelectric vibration sensor |
| CN112284435B (zh) * | 2020-09-23 | 2022-09-23 | 北京致感致联科技有限公司 | 压电基底器件及其自校准方法和系统、以及监控系统 |
| CN112378512B (zh) * | 2020-11-26 | 2022-10-28 | 西安航天动力试验技术研究所 | 一种多测点压电式振动传感器的检查及使用方法 |
| CN113063493A (zh) * | 2021-04-13 | 2021-07-02 | 无锡韦尔半导体有限公司 | 振动传感器的测试系统和测试方法 |
| US11691871B2 (en) | 2021-06-18 | 2023-07-04 | Infineon Technologies Ag | Microelectromechanical system (MEMS) vibration sensor having a segmented backplate |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0316498B1 (de) * | 1987-11-09 | 1992-03-04 | Vibro-Meter Sa | Accelerometer |
| JPH07105684B2 (ja) | 1990-07-24 | 1995-11-13 | 株式会社村田製作所 | 圧電体の分極方法 |
| US5540094A (en) * | 1990-12-22 | 1996-07-30 | British Aerospace Public Limited Company | Scale factor compensation for piezo-electric rate sensors |
| JP3141954B2 (ja) | 1991-07-17 | 2001-03-07 | 株式会社ワコー | 圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ |
| JP3549590B2 (ja) | 1994-09-28 | 2004-08-04 | 和廣 岡田 | 加速度・角速度センサ |
-
2000
- 2000-03-14 JP JP2000069885A patent/JP2000338129A/ja not_active Withdrawn
- 2000-03-17 EP EP00302211A patent/EP1039302A1/en not_active Withdrawn
- 2000-03-17 US US09/528,132 patent/US6435000B1/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003093566A (ja) * | 2001-09-26 | 2003-04-02 | Microstone Corp | 運動識別方法および運動センシングモジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6435000B1 (en) | 2002-08-20 |
| EP1039302A1 (en) | 2000-09-27 |
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| Xiaoyan et al. | A new transducer for rotational and translational impedance measurement |
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