JP2000330816A - 半導体試験装置のプログラム実行方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 それぞれのテストヘッドを制御するデバイス
テストプログラムの実行によって得られた試験結果やプ
ログラムの変更内容をデバイステストプログラム間で共
通に利用することができるようにする。 【解決手段】 半導体試験装置１００は共通プログラム
を指定するプログラム指定コマンドを含んで構成された
２種類のテストプログラムを用いて２台のテストヘッド
に実装された被測定デバイス１７Ａ，１７Ｂを試験す
る。中間コード群コンパイラによってテストプログラム
をコンパイルする際に、プログラム指定コマンドの位置
に共通プログラムにリンクさせる中間コードを挿入す
る。テスタ制御部１１０はコンパイルされたテストプロ
グラムを実行する際に、中間コードによってリンクされ
ている共通プログラムをテストプログラムとは独立して
実行し、共通プログラムの内容が変更された場合でもそ
の変更内容が、テストプログラムに共通に反映されるよ
うにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体試験装置用
のデバイステストプログラムに基づいて被測定デバイス
の試験を行う半導体試験装置のプログラム実行方式に係
り、特に所定のプログラムファイルを共通に利用するよ
うに構成された複数のデバイステストプログラムに基づ
いて試験を行う半導体試験装置のプログラム実行方式に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、各種の半導体素子に対して所
定の動作試験を行う半導体試験装置が知られている。例
えば、被測定デバイスとしての半導体素子には、半導体
メモリ、ロジックＩＣ、リニアＩＣなどがあり、それぞ
れの半導体素子に適した半導体試験装置が用いられる。
このような各種の半導体試験装置は、利用者によって作
成された所定のデバイステストプログラムを実行するこ
とにより、所定の機能試験（ファンクション試験）や直
流試験（ＤＣパラメトリック試験）を行うものである。
この半導体試験装置には、デバイステストプログラムの
元となるデバイステストソースプログラムを作成した
り、利用者による各種の動作を指示するためのインター
フェースとして動作したり、半導体試験装置の試験結果
を表示したり、解析したりするためのワークステーショ
ンが接続される。

【０００３】一般に、ワークステーションによって作成
されたデバイステストソースプログラムは、プリプロセ
ッサによって、Ｃ言語の「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」コマンド
に代表されるようなプリプロセッサコマンドの解釈が行
われ、前処理済のソースプログラムに変換される。変換
後の前処理済のソースプログラムは、コンパイラによっ
てコンパイルされ、複数のオブジェクトファイル群に変
換される。コンパイル後の複数のオブジェクトファイル
群は他のオブジェクトファイルと共にリンカーによって
連係処理され、一つの実行ファイルであるデバイステス
トプログラムに変換される。このような一連の処理によ
って、半導体試験装置で実行されるデバイステストプロ
グラムは生成される。半導体試験装置はこのようにして
生成されたデバイステストプログラムに基づいて動作
し、半導体素子に対して所定の試験を行う。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】半導体試験装置は、上
述のコンパイルや連係処理などを行い、半導体試験装置
全体の動作を制御するテスタ制御部と、このテスタ制御
部によって制御され、実際に半導体素子などに試験信号
などを生成して供給するテスタ本体と、半導体素子の実
装されるテストヘッドとを含んで構成される。半導体試
験装置は、通常２個のテストヘッドを有し、両方のテス
トヘッドを交互に使用して試験することによって効率的
に試験を行っている。両方のテストヘッドに同じ種類の
半導体素子を実装して同様の試験を行う場合には、テス
トヘッドを交互に切り換えるだけで同じデバイステスト
プログラムを用いて試験を行うことができる。また、両
方のテストヘッドに異なる種類の半導体素子を実装し
て、それぞれ異なる試験を行う場合には、半導体試験装
置はそれぞれの半導体素子に対応したデバイステストプ
ログラムをメモリのプログラム領域に別々に記憶してお
き、それをテストヘッド毎に切り換えて実行している。

【０００５】ところが、前述のように「♯ｉｎｃｌｕｄ
ｅ」コマンドを用いてデバイステストソースプログラム
を構成したような場合には、この「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」
コマンドによって指定された共通ファイルが直接ソース
プログラムの指定箇所に挿入される。挿入された共通フ
ァイルは、そのままコンパイルされてオブジェクトファ
イルに変換される。コンパイル後のデバイステストプロ
グラムが半導体試験装置によって実行されると、共通フ
ァイルは挿入された内容のまま実行されるだけであり、
その共通ファイルによって定義された変数や関数なども
実行の度に再定義されていた。従って、従来は、いずれ
かのテストヘッドに実装された半導体素子の試験結果を
その共通ファイルによって定義された変数や関数として
記憶しておいても、その試験結果を他方のテストヘッド
に実装された半導体素子の試験を制御するデバイステス
トプログラム中に反映させるということはできなかっ
た。また、共通ファイルによって定義された変数や関数
のプログラム内容が他のファイルの実行によって変更さ
れた場合、同様にそのプログラムの変更内容を他方のテ
ストヘッドに実装された半導体素子の試験を制御するデ
バイステストプログラム中に反映させるということもで
きなかった。

【０００６】本発明は、このような点に鑑みて創作され
たものであり、その目的は、それぞれのテストヘッドを
制御するデバイステストプログラムの実行によって得ら
れた試験結果やプログラムの変更内容をデバイステスト
プログラム間で共通に利用することのできる半導体試験
装置のプログラム実行方式を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、請求項１に記載された半導体試験装置のプログラ
ム実行方式は、共通プログラムを指定するプログラム指
定コマンドを含んで構成された第１のデバイステストプ
ログラムを第１のテストヘッドに実装された被測定デバ
イスの試験用プログラムとして供給する第１のプログラ
ム供給手段と、前記共通プログラムを指定するプログラ
ム指定コマンドを含んで構成された第２のデバイステス
トプログラムを第２のテストヘッドに実装された被測定
デバイスの試験用プログラムとして供給する第２のプロ
グラム供給手段と、前記第１及び第２のデバイステスト
プログラム中の前記プログラム指定コマンドの位置に、
前記プログラム指定コマンドによって指定された前記共
通プログラムにリンクさせる中間コードを挿入すること
によって前記第１及び第２のデバイステストプログラム
をコンパイルし、コンパイルされた前記第１及び第２の
デバイステストプログラムを実行する際に前記中間コー
ドに基づいて前記共通プログラムを前記第１及び第２の
デバイステストプログラムとは別個に実行する実行手段
とを備えるものである。

【０００８】この発明に係るプログラム実行方式は、第
１及び第２のデバイステストプログラムをコンパイルす
る際に、従来のプログラム指定コマンドである「♯ｉｎ
ｃｌｕｄｅ」コマンドをコンパイルするように単純にそ
の位置に指定された共通プログラムを展開して挿入する
のではなく、共通プログラムにリンクさせる中間コード
を挿入する。そして、実行手段は、コンパイルされた第
１及び第２のデバイステストプログラムを実行する際
に、中間コードによってリンクされている共通プログラ
ムを第１及び第２のデバイステストプログラムとは独立
して実行する。これによって、実行後の共通プログラム
は、第１及び第２のデバイステストプログラムからは独
立した別のプログラムとなるので、共通プログラムの内
容が変更された場合でもその変更内容は、第１又は第２
のデバイステストプログラムに共通に反映されるように
なる。

【０００９】請求項２に記載された半導体試験装置のプ
ログラム実行方式は、前記請求項１に記載された半導体
試験装置のプログラム実行方式の一実施態様として、前
記実行手段が、前記第１及び第２のデバイステストプロ
グラムを前記中間コード群にコンパイルするコンパイル
手段と、前記コンパイル手段から出力される前記中間コ
ード群を解釈しながら実行するインタープリタ手段とか
ら構成されるものである。実行手段は第１及び第２のデ
バイステストプログラムをコンパイルする際に、プログ
ラム全体を中間コード群に変換し、その中で特に共通プ
ログラムを指定するプログラム指定コマンドについて
は、プログラム指定コマンドによって指定された共通プ
ログラムにリンクさせるような中間コードに変換するよ
うにした。これによってインタープリタ手段はこれらの
中間コードを解釈しながら実行するだけでよくなる。

【００１０】請求項３に記載された半導体試験装置のプ
ログラム実行方式は、前記請求項２に記載された半導体
試験装置のプログラム実行方式の一実施態様として、前
記コンパイル手段がワークステーション側に設けられ、
前記インタープリタ手段がテスタ制御部側に設けられ、
前記ワークステーションから前記テスタ制御部への前記
第１及び第２のデバイステストプログラムの転送は前記
中間コード群によって行われるように構成されているも
のである。コンパイル手段がワークステーション側に設
けられているので、テスタ制御部側はコンパイル処理を
行う必要がなく、中間コード群をインタープリタ処理す
るだけでいいので、テスタ制御部側の処理の負荷を軽減
することができる。

【００１１】請求項４に記載された半導体試験装置のプ
ログラム実行方式は、前記請求項１〜３のいずれかに記
載された半導体試験装置のプログラム実行方式の一実施
態様として、前記プログラム指定コマンドとして、「ｕ
ｓｅ」コマンドを使用するものである。デバイステスタ
制御部のソースプロセッサをＣ言語などで記述する場合
に、それに使用されていない特別な「ｕｓｅ」コマンド
を使用することによって「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」コマンド
との差別化を図ることができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を適用した実施の形
態に係る半導体試験装置のプログラム実行方式の一例に
ついて、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明
に係る半導体試験装置のプログラム実行方式によって生
成されたデバイステストプログラムが実行される半導体
試験装置の全体構成を示す図である。同図に示す半導体
試験装置１００は、テスタ制御部１１０、テスタバス１
２０、テスタ本体１３０、２台のテストヘッド１５Ａ，
１５Ｂを含んで構成されている。この半導体試験装置１
００は、２台のテストヘッド１５Ａ，１５Ｂを用いて２
種類の被測定デバイス１７Ａ，１７Ｂに対して所定の試
験を実施することができるように構成されている。

【００１３】テスタ制御部１１０は、テスタ本体１３０
の動作を制御するためのものであり、所定のオペレーテ
ィングシステム（ＯＳ）上で動作するテスタバスドライ
バ、テスタライブラリ、コード解析プログラム（インタ
ープリタ）及び中間コード群を含んでいる。この実施の
形態に係る半導体試験装置１００で使用されるオペレー
ティングシステムは、汎用的なものであって、少なくと
もＣ言語で作成されたプログラムを実行する機能を有し
ている。

【００１４】中間コード群は、図２のプログラム作成装
置１によって作成されたデバイステストソースプログラ
ムを変換する事により得られ、実行順に並べられた複数
の命令１、２、…、ｎによって構成されるオブジェクト
として提供されている。各命令は、Ｃ言語の関数に対応
した所定のオペレーションコードと、この関数が有する
各種のパラメータの具体的な値とが組み合わされてい
る。このパラメータの値は、Ｃ言語のオブジェクトプロ
グラムを作成した場合に、各関数に対応して生成される
パラメータの具体的な値そのものが設定される。また、
オペレーションコードは、Ｃ言語の関数そのものではな
く、Ｃ言語の関数に１対１に対応した所定のコードが割
り当てられている。なお、中間コード群に変換される前
のデバイステストソースプログラムは、利用者が半導体
試験装置１００を用いて、被測定デバイス１７Ａ，１７
Ｂに対してどのような試験を行いたいのか、その手順や
方法を記述したものである。一般的にこのデバイステス
トプログラムは、半導体試験装置１００の利用者によっ
て作成される。

【００１５】コード解析プログラムは、デバイステスト
プログラムの実行時に、中間コード群の各命令に含まれ
るオペレーションコードを１個ずつ解析して実行するイ
ンタープリタとして動作する。テスタライブラリは、コ
ード解析プログラムによって構文解析が行われた後の中
間コード群の各命令をレジスタレベルの命令に変換し
て、半導体試験装置１００の動作に必要なデータの作成
や設定を行うとともに、テスタ本体１３０に対して測定
動作を指示する。テスタバスドライバは、テスタバス１
２０を介した各種データの送受を行うためのものであ
り、機能試験やＤＣ試験等に必要な各種の設定データを
テスタ本体１３０に送ったり、テスタ本体１３０から出
力される試験結果を受け取ったりする制御を行う。

【００１６】図１に示したテスタ本体１３０は、テスタ
制御部１１０による制御によって２台のテストヘッドに
実装された被測定デバイス１７Ａ，１７Ｂに対して機能
試験やＤＣ試験、ＲＦ試験（高周波試験）等の各種の試
験を行うためのものであり、レジスタ１３２、メモリ１
３４、試験実行部１３６を含んで構成されている。レジ
スタ１３２は、テスタ制御部１１０のテスタライブラリ
との間で送受される動作指示や各種のデータを格納す
る。レジスタ１３２に格納されたデータは、直接あるい
はメモリ１３４を介して試験実行部１３６に送られる。
また、試験実行部１３６から出力される試験結果データ
は、一旦レジスタ１３２やメモリ１３４に格納された
後、レジスタ１３２を通してテスタ制御部１１０のテス
タライブラリに送られる。試験実行部１３６は、被測定
デバイス１７Ａ，１７Ｂに対して機能試験等を実施する
ために必要な各種の構成（例えばパターン発生器やタイ
ミング発生器、ＤＣユニット等）を含んでおり、被測定
デバイス１７Ａ，１７Ｂに実際に入力する各種の信号を
生成するとともに、被測定デバイス１７Ａ，１７Ｂのそ
れぞれの出力ピンに現れるデータを測定する。

【００１７】次に、上述した半導体試験装置１００で用
いられるデバイステストソースプログラムを作成するプ
ログラム作成装置の構成について説明する。図２は、デ
バイステストプログラムを作成するプログラム作成装置
の概略構成を示す図である。通常は、半導体試験装置１
００に接続され、利用者による各種の動作指示の入力や
試験結果の表示を行うワークステーションによって構成
される。

【００１８】図２に示すように、この実施の形態に係る
プログラム作成装置１は、メモリに格納された各種のプ
ログラムをプロセッサによって実行することにより実現
されるプログラム作成処理部１０と、デバイステストプ
ログラムの作成を行う利用者との間のマンマシンインタ
フェースを実現するディスプレイ装置３０、キーボード
３２、マウス３４と、作成したプログラムを保存するハ
ードディスク装置３６とを含んで構成されている。

【００１９】上述したプログラム作成処理部１０は、汎
用的なオペレーティングシステム（ＯＳ）２８上で動作
するシーケンスエディタ１２を有している。このシーケ
ンスエディタ１２は、デバイステストソースプログラム
を作成、編集するために必要なシーケンス設定部１４、
ファンクション設定部１６、パラメータ計算部１８、デ
バイステストプログラムのデバッグ作業を行うために必
要なデバッグ実行部２０を含んで構成される。また、上
述した汎用的なＯＳ２８は、ＧＵＩ（グラフィカル・ユ
ーザ・インタフェース）処理部２６を含んでいる。この
ＧＵＩ処理部２６はパラメータ計算部１８以外のシーケ
ンス設定部１４、ファンクション設定部１６、デバッグ
実行部２０による各動作において、ＧＵＩ機能によって
利用者との間の各種のデータの入出力を行うように動作
する。

【００２０】利用者は、プログラム作成装置１を用いて
デバイステストソースプログラムの作成やデバッグを行
う場合、ディスプレイ装置３０の画面上に表示されるシ
ーケンスエディタ１２の起動用ボタンをマウス３４を用
いてクリックすることにより、シーケンスエディタを起
動させる。利用者は、シーケンスエディタ１２を用いて
デバイステストソースプログラムの作成、編集、デバッ
グなどを行う。このようにして作成されたデバイステス
トソースプログラムは、中間コード群コンパイラ２４に
よって半導体試験装置１００のテスタ制御部１１０に送
信される中間コード群に変換される。この実施の形態に
係るプログラム実行方式では、プログラム作成装置１と
して動作するワークステーションによってデバイステス
トソースプログラムを中間コード群にコンパイルして半
導体試験装置１００側に送信しているので、半導体試験
装置１００はコード解析プログラムによって受信した中
間コード群をインタープリタして実行するだけでよく、
処理の負荷が軽減されるような構成になっている。

【００２１】上述のプログラム作成装置が第１及び第２
のプログラム供給手段に、テストヘッド１５Ａが第１の
テストヘッドに、テストヘッド１５Ｂが第２のテストヘ
ッドに、中間コード群コンパイラ２４及びテスタ制御部
１１０が実行手段にそれぞれ対応する。また、プログラ
ム作成処理部１０がコンパイル手段に、テスタ制御部１
００がインタープリタ手段にそれぞれ対応する。

【００２２】図３は、プログラム作成装置１によって作
成されたデバイステストソースプログラムの一例を示す
図であり、図３（Ａ）は第１のプログラム「ａ．ｔｄ
ｌ」の内容を、図３（Ｂ）は第２のプログラム「ｂ．ｔ
ｄｌ」の内容を、図３（Ｃ）は第３のプログラム「ｃ．
ｔｄｌ」の内容をそれぞれ示すものである。ここで、図
３（Ａ）の第１のプログラム「ａ．ｔｄｌ」が共通プロ
グラムとして、第２及び第３のプログラム「ｂ．ｔｄ
ｌ」，「ｃ．ｔｄｌ」によって共通に利用される。図か
ら明らかなように、この実施の形態では、Ｃ言語の「♯
ｉｎｃｌｕｄｅ」コマンドの代わりに「ｕｓｅ」コマン
ドという新たなプログラム指定コマンドを定義し、それ
に基づいて共通プログラムを特定し、デバイステストソ
ースプログラムを記述するようにしたものである。図３
（Ａ）の第１のプログラム「ａ．ｔｄｌ」は、変数ｉを
「０」にセットするという内容である。図３（ｂ）の第
２のプログラム「ｂ．ｔｄｌ」は、「ｕｓｅ」コマンド
で第１のプログラム「ａ．ｔｄｌ」を実行し、変数ｉに
「１００」を設定し、その変数ｉの値を印刷するという
内容である。図３（Ｃ）の第３のプログラム「ｃ．ｔｄ
ｌ」は、「ｕｓｅ」コマンドで第１のプログラム「ａ．
ｔｄｌ」を実行し、変数ｉの値を印刷するという内容で
ある。

【００２３】「ｕｓｅ」コマンドによって指定されたプ
ログラムは、デバイステストプログラムとは別個に独立
して実行される。従って、「ｕｓｅ」コマンドで指定さ
れたプログラムによって定義された変数や関数はそれぞ
れ独立したプログラムとして実行されるようになる。従
って、第２のプログラム「ｂ．ｔｄｌ」及び第３のプロ
グラム「ｃ．ｔｄｌ」では、第１のプログラム「ａ．ｔ
ｄｌ」で定義された変数ｉを共通に使用することができ
る。すなわち、「ｕｓｅ」コマンドによって指定された
第１のプログラム「ａ．ｔｄｌ」は、第２のプログラム
「ｂ．ｔｄｌ」と第３のプログラム「ｃ．ｔｄｌ」とは
別個に独立して実行しているので、第１のプログラムで
定義された変数ｉの内容を第２のプログラム「ｂ．ｔｄ
ｌ」又は第３のプログラム「ｃ．ｔｄｌ」で変更して
も、その変更された内容は他方のプログラムにも反映さ
れるようになる。

【００２４】例えば、第２のプログラム「ｂ．ｔｄｌ」
を先に実行すると、「ｕｓｅ」コマンドの実行によっ
て、第１のプログラム「ａ．ｔｄｌ」が実行され、変数
ｉの値が「０」に設定される。この時点では、点線矢印
で示すように変数ｉはｉ＝０となる。次に第２のプログ
ラム「ｂ．ｔｄｌ」のメイン処理にって第１のプログラ
ム「ａ．ｄｌ」の中の変数ｉの値は「０」から「１０
０」に変更される。この時点では、点線矢印で示すよう
に変数ｉはｉ＝１００となる。その後に、第３のプログ
ラム「ｃ．ｔｄｌ」を実行すると、第３のプログラム
「ｃ．ｔｄｌ」の中で参照される変数ｉの値は、前述の
第２のプログラム「ｂ．ｔｄｌ」によって変更された後
の値「１００」がそのまま引用される。この時点では、
点線矢印で示すように変数ｉはｉ＝１００である。従っ
て、第２のプログラム「ｂ．ｔｄｌ」の実行の結果は点
線矢印で示すように「１００」と印刷され、第３のプロ
グラム「ｃ．ｔｄｌ」の実行の結果も「１００」と印刷
されることになる。

【００２５】図４は、前述の「ｕｓｅ」コマンドの代わ
りに従来の「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」コマンドを用いた場合
のプログラム例を示す図である。この場合も第１のプロ
グラム「ａ．ｃ」、第２のプログラム「ｂ．ｃ」及び第
３のプログラム「ｃ．ｃ」の内容は、図３の第１〜第３
のプログラムと全く同じである。ところが従来の「♯ｉ
ｎｃｌｕｄｅ」コマンドで記述された第２のプログラム
「ｂ．ｃ」を実行しても、「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」によっ
て第１のプログラム「ａ．ｃ」が第２のプログラム
「ｂ．ｃ」の直前に展開されて挿入された形となるだけ
である。すなわち、第２のプログラム「ｂ．ｃ」、第３
のプログラム「ｃ．ｃ」の順番でコンパイルした実行フ
ァイルを実行すると、「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」によって挿
入された第１のプログラム「ａ．ｃ」によって変数ｉの
値として「０」が定義される。この時点では、点線矢印
で示すように変数ｉはｉ＝０である。その後に第２のプ
ログラム「ｂ．ｃ」のメイン処理の実行によって変数ｉ
の値が「１００」に変更される。この時点では、点線矢
印で示すように変数ｉの値はｉ＝１００となる。そし
て、変更後の変数ｉの値「１００」が点線矢印で示すよ
うに印刷される。その後で第３のプログラム「ｃ．ｃ」
が実行されても、第３のプログラム「ｃ．ｃ」の中で参
照される変数ｉの値は、第２のプログラム「ｂ．ｃ」で
変更された変数ｉとは全く別のものであり、第１のプロ
グラム「ａ．ｃ」の実行によって新たに変数ｉの値とし
て「０」が定義される。この時点では、点線矢印で示す
ように変数ｉの値はｉ＝０である。第３のプログラム
「ｃ．ｃ」のメイン処理の実行によってその変数ｉの値
「０」が点線矢印で示すようにそのまま印刷されること
になる。

【００２６】なお、本発明は上述の実施形態に限定され
るものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実
施が可能である。例えば、上述の実施の形態のプログラ
ム作成装置１は、中間コード群コンパイラ２４を有して
いるが、この中間コード群コンパイラ２４を半導体試験
装置１００側に設けてもよいことはいうまでもない。ま
た、他のプログラムを指定するコマンドして「ｕｓｅ」
コマンドを使用する場合について説明したが、これ以外
の名前のコマンドを定義して使用してもよいことは言う
までもない。さらに、プログラム作成装置１を半導体試
験装置１００に接続されたワークステーションによって
実現する場合について説明したが、ＧＵＩ処理が可能な
パーソナルコンピュータ等を用いてプログラム作成を行
うようにしてもよい。

【００２７】

【発明の効果】上述したように本発明によれば、それぞ
れのテストヘッドを制御するデバイステストプログラム
の実行によって得られた試験結果やプログラムの変更内
容をデバイステストプログラム間で共通に利用すること
ができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半導体試験装置のプログラム実行
方式によって生成されたデバイステストプログラムが実
行される半導体試験装置の全体構成を示す図である。

【図２】デバイステストプログラムを作成するプログラ
ム作成装置の概略構成を示す図である。

【図３】図２のプログラム作成装置によって作成された
デバイステストソースプログラムの一例を示す図であ
る。

【図４】 従来の「♯ｉｎｃｌｕｄｅ」コマンドを用い
た場合のプログラム例を示す図である。

【符号の説明】

１ プログラム作成装置 １０ プログラム作成処理部 １２ シーケンスエディタ １４ シーケンス設定部 １６ ファンクション設定部 １８ パラメータ計算部 ２０ デバッグ実行部 ２４ 中間コード群コンパイラ ２６ ＧＵＩ処理部 ２８ オペレーティングシステム（ＯＳ） ３０ ディスプレイ装置 ３２ キーボード ３４ マウス ３６ ハードディスク装置 １００ 半導体試験装置 １１０ テスタ制御部 １３０ テスタ本体 １５Ａ，１５Ｂ テストヘッド １７Ａ，１７Ｂ 被測定デバイス

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 共通プログラムを指定するプログラム指
   定コマンドを含んで構成された第１のデバイステストプ
   ログラムを第１のテストヘッドに実装された被測定デバ
   イスの試験用プログラムとして供給する第１のプログラ
   ム供給手段と、 前記共通プログラムを指定するプログラム指定コマンド
   を含んで構成された第２のデバイステストプログラムを
   第２のテストヘッドに実装された被測定デバイスの試験
   用プログラムとして供給する第２のプログラム供給手段
   と、 前記第１及び第２のデバイステストプログラム中の前記
   プログラム指定コマンドの位置に、前記プログラム指定
   コマンドによって指定された前記共通プログラムにリン
   クさせる中間コードを挿入することによって前記第１及
   び第２のデバイステストプログラムをコンパイルし、コ
   ンパイルされた前記第１及び第２のデバイステストプロ
   グラムを実行する際に前記中間コードに基づいて前記共
   通プログラムを前記第１及び第２のデバイステストプロ
   グラムとは別個に実行する実行手段とを備えることを特
   徴とする半導体試験装置のプログラム実行方式。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記実行手段は、前記第１及び第２のデバイステストプ
   ログラムを前記中間コード群にコンパイルするコンパイ
   ル手段と、 前記コンパイル手段から出力される前記中間コード群を
   解釈しながら実行するインタープリタ手段とから構成さ
   れることを特徴とする半導体試験装置のプログラム実行
   方式。
3. 【請求項３】 請求項２において、 前記コンパイル手段はワークステーション側に設けら
   れ、 前記インタープリタ手段はテスタ制御部側に設けられ、 前記ワークステーションから前記テスタ制御部への前記
   第１及び第２のデバイステストプログラムの転送は前記
   中間コード群によって行われるように構成されているこ
   とを特徴とする半導体試験装置のプログラム実行方式。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、 前記プログラム指定コマンドとして、「ｕｓｅ」コマン
   ドを使用することを特徴とする半導体試験装置のプログ
   ラム実行方式。