JP2000330634A - 搬送システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 各ステーションの空車通過率を均等とし、こ
れにより搬送命令の実行待ちである周回空車を閉ループ
搬送軌道上に均等に分散させて、搬送命令の不均等な割
付けを解消することができる搬送システムを提供するこ
と。 【解決手段】 複数の搬送台車３Ａ，３Ｂが走行する閉
ループ状の搬送軌道１に、複数のステーション２を配置
した搬送システムにおいて、各ステーション２での空車
通過率がほぼ均等になるように搬送台車３Ａ，３Ｂを走
行させ、搬送命令の実行待ちの周回空車３Ｂを搬送軌道
１上にほぼ均等に分散させるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、搬送システムに関
し、特に、半導体又は液晶製造工場内の製造ライン等
で、複数の搬送台車を用いて自動搬送される搬送システ
ムにおいて、各ステーションの空車通過率を均等とする
ことにより、搬送命令の実行待ちの周回空車を閉ループ
搬送軌道上に均等に分散させて、搬送命令の不均等な割
付けを解消できるようにした搬送システムに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体又は液晶製造工場内の製造
ライン等では、部品又は製品などの被搬送物を、予め定
めた搬送ルートに沿って自動走行する搬送台車の複数台
を用いて搬送元のステーションから搬送先のステーショ
ンへ自動搬送するようにしている。従来の搬送システム
の構成を図３に示す。図３において、被搬送物の積載状
態にある搬送台車（以下、本明細書で「実車」とい
う。）は、搬送命令に従い、目的地である搬送先ステー
ションまで走行する。被搬送物が積載されていない搬送
台車（以下、本明細書で「空車」という。）は、実車の
走行の妨げにならないように、また、搬送命令のサービ
スのため、閉ループの搬送軌道上を周回走行するように
構成している。

【０００３】そして、その制御は図４に示すように、被
搬送物の搬送命令は、各ステーション別に生成され、搬
送命令の実行及びキューイング（ＱＵＥＵＥ：バッファ
と同様に、これから実行されるべき命令群を、前の命令
の処理が終わってプロセッサが次の命令を受ける準備が
整うまで一時的に保管しておく待ち行列の搬送台車割付
け待ち行列をいう。）も各ステーション毎に行われ、ス
テーションでの積出し命令は、制御単位内に入ってきた
空車に対して積み命令を割付ける。また、ステーション
での卸し命令は、制御単位内で該当被搬送物を積載して
いる実車に対して卸し命令を割付ける。いずれの命令を
割付けにも搬送台車への命令割付け順は、制御単位内の
先頭にある搬送台車からなされるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の搬送
システムにおいては、生産変動等により、同一の搬送命
令が集中するような割り付けを行う場合が生じることが
ある。このような搬送条件の基では、 特定の搬送元あるいは搬送先ステーションにおいて
搬送台車が連続して停止し渋滞が発生する。 特定の搬送命令の経路に位置するステーションヘの
空車の配車が減少し、サービス待ち時間が増大する。 複数の閉ループ形の搬送軌道のレイアウトにおいて
は、搬送命令の偏在により、特定のループに搬送台車が
集中する。などの問題点があった。

【０００５】さらに、搬送台車制御単位内に存在する搬
送台車に対して、搬送台車の渋滞発生を低減する搬送台
車割付制御を実施するためには、搬送台車コントローラ
に上記ロジックを組込む必要がある。また、各ステーシ
ョン間における搬送命令の不均等な割付けを低減するに
は、搬送台車制御単位の拡張や他の単位との共有等によ
り効率の向上は見込まれるが、対処方法のロジックは煩
雑で、現状では具現化することが困難である。さらに、
大規模ラインに対しては搬送台車コントローラの負荷は
マトリックス的に増大してしまうという問題点があっ
た。

【０００６】本発明は、上記従来の搬送システムの有す
る問題点を解決し、各ステーションの空車通過率を均等
とし、これにより搬送命令の実行待ちである周回空車を
閉ループ搬送軌道上に均等に分散させて、搬送命令の不
均等な割付けを解消することができる搬送システムを提
供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の搬送システムは、複数の搬送台車が走行す
る閉ループ状の搬送軌道に、複数のステーションを配置
した搬送システムにおいて、各ステーションでの空車通
過率がほぼ均等になるように搬送台車を走行させ、搬送
命令の実行待ちの周回空車を前記搬送軌道上にほぼ均等
に分散させることを特徴とする。なお、ここでいう空車
通過率とは、ステーションを通過する実車に対する空車
の比率をいう。

【０００８】上記の構成からなる本発明の搬送システム
は、各ステーションの空車通過率をほぼ均等とすること
で、搬送命令の実行待ちである周回空車を閉ループ状搬
送軌道上にほぼ均等に分散させることができ、これによ
り搬送命令の不均等な割付けを解消することが可能とな
る。

【０００９】この場合、上記各ステーションに、空車の
通過走行を制御して空車通過率を調整する制御機構を設
けることができる。

【００１０】これにより、ステーションで空車の通過走
行を制御するだけで、周回空車を搬送軌道上に均等に分
散させることができ、複雑な搬送台車制御を構築するこ
となく搬送命令の均等割付けが可能となる。

【００１１】また、複数の閉ループ状の搬送軌道を分岐
合流機構を介して接続した場合は、該分岐合流機構に、
空車の分岐走行を制御して各搬送軌道のステーションの
空車通過率を調整する制御機構を設けることもできる。

【００１２】これにより、分岐合流機構で空車の分岐走
行を制御するだけで、周回空車を複数の搬送軌道上にそ
れぞれ均等に分散させることができ、複雑な搬送台車制
御を構築することなく搬送命令の均等割付けが可能とな
る。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の搬送システムの実
施の形態を図面に基づいて説明する。

【００１４】図１は、本発明の搬送システムの概略を示
す平面図である。図において１は閉ループ状に形成した
搬送路の全体を構成する搬送軌道であり、この搬送軌道
１は、２つの閉ループ搬送軌道１１，１２を分岐合流機
構４ａ，４ｂを介して接続したものからなる。分岐合流
機構４ａ，４ｂは、搬送軌道１１，１２を走行する搬送
台車３Ａ，３Ｂの分岐と合流を行うものであり、この分
岐合流機構４ａ，４ｂによって、搬送台車３Ａ，３Ｂは
搬送軌道１１または１２に相互に乗り入れが可能となっ
ている。また、これらの搬送軌道１１，１２には、軌道
に沿って任意の位置、或いは予め定めた位置に複数のス
テーション２がそれぞれ配設されている。なお、図示の
搬送軌道１は一例であり、例えば閉ループ状の搬送軌道
が１つで分岐合流機構がない場合もある。また、搬送軌
道１の形態は、工場等の形状、搬送順路等により変更さ
れ、分岐合流機構４ａ，４ｂを３以上配置することもあ
る。

【００１５】上記搬送軌道１１，１２には、同方向（こ
の例では時計回りの方向）に走行する自走式の搬送台車
３Ａ，３Ｂが複数台配車されており、各搬送台車３Ａ，
３Ｂはそれぞれ搬送指令に基づいて独自で搬送する。こ
れらの搬送台車は、被搬送物の積載状態にある搬送台車
を実車３Ａとし、また被搬送物が積載されていない搬送
台車を空車３Ｂとする。

【００１６】ところで、図１に示すレイアウトにおい
て、走行している搬送台車に対し、連続した搬送命令、
例えばステーションａ位置にて被搬送物を積み込んでス
テーションｂ位置まで搬送するという搬送命令が連続し
て発生したとする。この場合、搬送命令が発生したステ
ーションａ位置から時計回りでステーションｂ位置まで
の搬送軌道１を系１とし、また同様に時計回りでステー
ションｂ位置からステーションａ位置までまでの搬送軌
道１を系２として区画するとすれば、搬送軌道１を周回
走行する搬送台車の中で系１の最も近くを走行する空車
３Ｂに対して、ステーションａ位置にて被搬送物を積み
込むように搬送命令が順次割付けられる。搬送命令が割
り付けられた空車３Ｂは、ステーションａ位置にて被搬
送物を積み込んだ後、順次実車３Ａとなって系１を走行
するようになるので、搬送軌道の系１においては空車が
減少することになる。また、上記のような搬送命令が連
続した場合は、通常、空車３Ｂは分岐合流機構４ａにて
搬送軌道１をショートカットするように分岐し、搬送軌
道１１に集中して、もう一方の搬送軌道１２を走行する
空車が減少するという状況になる。

【００１７】一方、各ステーションでの空車通過率を定
義する。例えば、ステーションａ位置で被搬送物を積み
込む作業をした搬送台車（実車と見なす）の数と、この
ステーションａでの実車通過数の和に対してのステーシ
ョンａ位置での空車通過数の比率として算出する。な
お、この場合、ステーションａで卸し作業をした搬送台
車は空車と見なす。前記したようにステーションａで搬
送命令が連続して発生した場合、このステーションａ位
置の空車通過率は極端に低い状況にある。この様な状況
に対して、本発明では、個々のステーション２に対して
空車通過率を均等にするようにする。

【００１８】この空車通過率の均等化は、各ステーショ
ン２に設けた制御機構（図示省略）が、図２に示す制御
フローチャートに基づいて行う。具体的には、ステーシ
ョンａ位置では、連続した搬送命令の累積により空車通
過率が低下していく。そしてある設定値を下回った場
合、次の周回する空車３Ｂに対してはステーションａ位
置での作業を指示せず、強制的に通過させる。これによ
り系１を周回する空車３Ｂが増やされることになる。

【００１９】同様に、閉ループ搬送軌道１１、閉ループ
搬送軌道１２においても、閉ループ搬送軌道１１と閉ル
ープ搬送軌道１２を周回する空車台数が均等となるよう
に、分岐合流機構４ａ，４ｂに設けた制御機構（図示省
略）が、空車３Ｂの分岐走行を制御して各搬送軌道１
１，１２のステーション２の空車通過率を調整すること
により、搬送軌道１のレイアウト内のサービスを均等と
することができる。

【００２０】

【発明の効果】本発明の搬送システムによれば、各ステ
ーションの空車通過率を均等化することで、搬送命令の
実行待ちである周回空車を閉ループ状搬送軌道上にほぼ
均等に分散させることができ、これにより搬送命令の不
均等な割付けを解消することが可能である。

【００２１】そして、各ステーションに、空車の通過走
行を制御して空車通過率を調整する制御機構を設けるこ
とにより、ステーションで空車の通過走行を制御するだ
けで、周回空車を搬送軌道上に均等に分散させることが
でき、複雑な搬送台車制御を構築することなく搬送命令
の均等割付けを行うことが可能となる。

【００２２】また、複数の閉ループ状の搬送軌道を分岐
合流機構を介して接続した場合は、分岐合流機構に、空
車の分岐走行を制御して各搬送軌道のステーションの空
車通過率を調整する制御機構を設けることも可能であ
り、これにより、分岐合流機構で空車の分岐走行を制御
するだけで、周回空車を複数の搬送軌道上にそれぞれ均
等に分散させることができ、複雑な搬送台車制御を構築
することなく搬送命令の均等割付けを行うことが可能と
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の搬送システムの一実施例を示す説明図
である。

【図２】本発明の搬送システムの制御フローチャートで
ある。

【図３】従来の搬送システムを示す説明図である。

【図４】従来の搬送システムの制御構成図である。

【符号の説明】

１ 搬送軌道 ２ ステーション ３Ａ 実車 ３Ｂ 空車 ４ａ，４ｂ 分岐合流機構 １１ 搬送軌道 １２ 搬送軌道 ａ 積み込み指令を受けたステーション ｂ 卸し指令を受けたステーション

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の搬送台車が走行する閉ループ状の
   搬送軌道に、複数のステーションを配置した搬送システ
   ムにおいて、各ステーションでの空車通過率がほぼ均等
   になるように搬送台車を走行させ、搬送命令の実行待ち
   の周回空車を前記搬送軌道上にほぼ均等に分散させるこ
   とを特徴とする搬送システム。
2. 【請求項２】 各ステーションに、空車の通過走行を制
   御して空車通過率を調整する制御機構を設けたことを特
   徴とする請求項１記載の搬送システム。
3. 【請求項３】 複数の閉ループ状の搬送軌道を分岐合流
   機構を介して接続し、該分岐合流機構に、空車の分岐走
   行を制御して各搬送軌道のステーションの空車通過率を
   調整する制御機構を設けたことを特徴とする請求項１又
   は２記載の搬送システム。