JP2000323955A - 表面波共振子、表面波装置、通信機装置 - Google Patents
表面波共振子、表面波装置、通信機装置Info
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
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- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 挿入損失を劣化させることなく、エッチング
の際に生じる電極指幅や膜厚のバラツキによる周波数の
バラツキを抑えることのできる表面波装置を提供する。 【解決手段】 オイラー角（０°，１２１°〜１３６
°，８７〜９３°）である水晶基板上にＴａからなり電
極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）が０．５５
〜０．８５であるＩＤＴ及び反射器を構成する。
の際に生じる電極指幅や膜厚のバラツキによる周波数の
バラツキを抑えることのできる表面波装置を提供する。 【解決手段】 オイラー角（０°，１２１°〜１３６
°，８７〜９３°）である水晶基板上にＴａからなり電
極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）が０．５５
〜０．８５であるＩＤＴ及び反射器を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面波共振子やそ
れを用いた表面波フィルタや共用器等の表面波装置及び
通信機装置に関し、特にＳＨ波を用いた表面波共振子、
表面波フィルタや共用器等の表面波装置及び通信機装置
に関する。
れを用いた表面波フィルタや共用器等の表面波装置及び
通信機装置に関し、特にＳＨ波を用いた表面波共振子、
表面波フィルタや共用器等の表面波装置及び通信機装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、移動体通信機器の帯域通過フ
ィルタ等に表面波共振子が広く用いられている。このよ
うな表面波共振子の一つとして、互いに電極指が交差す
るように配置された櫛形電極より成るＩＤＴ（ＩＤＴ）
を圧電基板上に形成した構造を有する表面波共振子やこ
の表面波共振子を用いた表面波フィルタ等の表面波装置
が良く知られている。
ィルタ等に表面波共振子が広く用いられている。このよ
うな表面波共振子の一つとして、互いに電極指が交差す
るように配置された櫛形電極より成るＩＤＴ（ＩＤＴ）
を圧電基板上に形成した構造を有する表面波共振子やこ
の表面波共振子を用いた表面波フィルタ等の表面波装置
が良く知られている。
【０００３】近年、表面波装置の圧電基板としてオイラ
ー角が（０°，１２１°〜１３６°，８７〜９３°）の
水晶基板を用い、その表面にＴａやＷ、Ａｕ等の質量負
荷の大きい金属によってＩＤＴを構成しＳＨ波型の表面
波を用いて小型化を行う技術が開発されている。
ー角が（０°，１２１°〜１３６°，８７〜９３°）の
水晶基板を用い、その表面にＴａやＷ、Ａｕ等の質量負
荷の大きい金属によってＩＤＴを構成しＳＨ波型の表面
波を用いて小型化を行う技術が開発されている。
【０００４】このような、表面波装置の製造方法を、順
を追って説明をする。まず、水晶からなるウエハ１００
を図９（ａ）に示すように用意する。次に、図９（ｂ）
に示すように、ウエハ１００の上面に蒸着、スパッタリ
ング等によりＴａによる金属薄膜１０１を形成する。さ
らに、金属薄膜１０１の不要な部分をエッチングにより
除去し、図９（ｃ）に示すように複数のＩＤＴ１０１ａ
と複数の反射器１０１ｂからなるパターンを多数形成す
る。また、図９（ｄ）に示すようにＩＤＴ１０１ａと反
射器１０１ｂの組み合わせを１つの表面波素子１０２と
してＩＤＴ１０１ａや反射器１０１ｂの形成されていな
い部分でウエハ１００を切断する。最後に、図９（ｅ）
に示すように分割された表面波素子１０２をパッケージ
１０３に収納し、パッケージ１０３の電極１０４とＩＤ
Ｔ１０１ａとをボンディングワイヤー１０５により電気
的に接続する。
を追って説明をする。まず、水晶からなるウエハ１００
を図９（ａ）に示すように用意する。次に、図９（ｂ）
に示すように、ウエハ１００の上面に蒸着、スパッタリ
ング等によりＴａによる金属薄膜１０１を形成する。さ
らに、金属薄膜１０１の不要な部分をエッチングにより
除去し、図９（ｃ）に示すように複数のＩＤＴ１０１ａ
と複数の反射器１０１ｂからなるパターンを多数形成す
る。また、図９（ｄ）に示すようにＩＤＴ１０１ａと反
射器１０１ｂの組み合わせを１つの表面波素子１０２と
してＩＤＴ１０１ａや反射器１０１ｂの形成されていな
い部分でウエハ１００を切断する。最後に、図９（ｅ）
に示すように分割された表面波素子１０２をパッケージ
１０３に収納し、パッケージ１０３の電極１０４とＩＤ
Ｔ１０１ａとをボンディングワイヤー１０５により電気
的に接続する。
【０００５】以上のように、表面波装置のＩＤＴを構成
する電極指は一般に、水晶等の圧電基板上にＴａやＷ、
Ａｕ等の質量負荷の大きい金属を蒸着あるいはスパッタ
リング等の手法で金属薄膜を形成した上で、この金属膜
をフォトエッチング等の手法でパターン化することによ
って形成されている。このような表面波装置では、その
共振周波数は、ＩＤＴを構成する電極指同士の間隔や膜
厚、電極指幅によって大部分が決定される。
する電極指は一般に、水晶等の圧電基板上にＴａやＷ、
Ａｕ等の質量負荷の大きい金属を蒸着あるいはスパッタ
リング等の手法で金属薄膜を形成した上で、この金属膜
をフォトエッチング等の手法でパターン化することによ
って形成されている。このような表面波装置では、その
共振周波数は、ＩＤＴを構成する電極指同士の間隔や膜
厚、電極指幅によって大部分が決定される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たような工程を経て、表面波装置を作製すると、ＩＤＴ
をパターン化するためのエッチングの精度によって、電
極指幅や膜厚がウエハ毎に異なるという問題があった。
また、同一ウエハ内でも電極指幅や膜厚にバラツキが生
じるという問題があった。これらの電極指幅や膜厚のバ
ラツキが周波数のバラツキとなっていた。
たような工程を経て、表面波装置を作製すると、ＩＤＴ
をパターン化するためのエッチングの精度によって、電
極指幅や膜厚がウエハ毎に異なるという問題があった。
また、同一ウエハ内でも電極指幅や膜厚にバラツキが生
じるという問題があった。これらの電極指幅や膜厚のバ
ラツキが周波数のバラツキとなっていた。
【０００７】しかしながら、Ａｌ等の電極材料と異な
り、ＴａやＷ、Ａｕ等の質量負荷の大きい金属によって
ＩＤＴを構成した場合、電極指幅や膜厚のバラツキによ
る周波数のバラツキが大きいという問題点があった。す
なわち、Ａｌ等の電極材料でＩＤＴを形成した場合に
は、周波数にバラツキが生じてもウエハレベルで周波数
調整をすることで対応できる程度のものであるが、Ｔａ
やＷ、Ａｕ等の質量負荷の大きい金属によってＩＤＴを
構成した場合は、ウエハレベルで周波数調整をすること
では対応できない程大きなバラツキが生じていた。これ
は、ＴａやＷ、Ａｕ等のように質量負荷が大きければ大
きい程、Ａｌ等の質量負荷の小さい金属に比べて、金属
の密度に対する周波数の依存度が大きいため、Ａｌ等の
質量負荷の小さい金属と同じ程度の電極指幅や膜厚のバ
ラツキでも、周波数ではより大きなバラツキとなるから
である。
り、ＴａやＷ、Ａｕ等の質量負荷の大きい金属によって
ＩＤＴを構成した場合、電極指幅や膜厚のバラツキによ
る周波数のバラツキが大きいという問題点があった。す
なわち、Ａｌ等の電極材料でＩＤＴを形成した場合に
は、周波数にバラツキが生じてもウエハレベルで周波数
調整をすることで対応できる程度のものであるが、Ｔａ
やＷ、Ａｕ等の質量負荷の大きい金属によってＩＤＴを
構成した場合は、ウエハレベルで周波数調整をすること
では対応できない程大きなバラツキが生じていた。これ
は、ＴａやＷ、Ａｕ等のように質量負荷が大きければ大
きい程、Ａｌ等の質量負荷の小さい金属に比べて、金属
の密度に対する周波数の依存度が大きいため、Ａｌ等の
質量負荷の小さい金属と同じ程度の電極指幅や膜厚のバ
ラツキでも、周波数ではより大きなバラツキとなるから
である。
【０００８】本発明の目的は、挿入損失を改善し、かつ
エッチングの際に生じる電極指幅や膜厚のバラツキによ
る周波数のバラツキを抑えることのできる表面波共振子
や表面波装置を提供することにある。
エッチングの際に生じる電極指幅や膜厚のバラツキによ
る周波数のバラツキを抑えることのできる表面波共振子
や表面波装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】そこで、請求項１に係る
表面波共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成さ
れており、前記圧電基板の圧電材料より比重が大きい金
属又は合金により構成されることによりＳＨ波を励振す
るＩＤＴとを備える表面波共振子であって、前記ＩＤＴ
を構成する電極指の電極指幅／（電極指幅＋電極指間の
スペース）が０．５５〜０．８５に設定されている。
表面波共振子は、圧電基板と、前記圧電基板上に形成さ
れており、前記圧電基板の圧電材料より比重が大きい金
属又は合金により構成されることによりＳＨ波を励振す
るＩＤＴとを備える表面波共振子であって、前記ＩＤＴ
を構成する電極指の電極指幅／（電極指幅＋電極指間の
スペース）が０．５５〜０．８５に設定されている。
【００１０】これにより、ＳＨ波型の表面波の音速がＩ
ＤＴの電極指幅に対して感度が鈍くなる。
ＤＴの電極指幅に対して感度が鈍くなる。
【００１１】請求項２に係る表面波共振子は、請求項１
記載の表面波共振子において圧電基板をオイラー角（０
°，１２１°〜１３６°，８７〜９３°）である水晶基
板にしている。
記載の表面波共振子において圧電基板をオイラー角（０
°，１２１°〜１３６°，８７〜９３°）である水晶基
板にしている。
【００１２】これにより、電気機械結合係数が大きく、
温度特性の良い表面波共振子が得られる。
温度特性の良い表面波共振子が得られる。
【００１３】請求項３に係る共振子は、請求項１記載の
表面波共振子において前記ＩＤＴを挟むように、前記Ｉ
ＤＴの両側に電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペー
ス）を０．５５〜０．８５とした反射器を形成してい
る。
表面波共振子において前記ＩＤＴを挟むように、前記Ｉ
ＤＴの両側に電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペー
ス）を０．５５〜０．８５とした反射器を形成してい
る。
【００１４】これにより、ＳＨ波型の表面波の音速が反
射器の電極指幅に対して感度が鈍くなる。
射器の電極指幅に対して感度が鈍くなる。
【００１５】請求項４に係る表面波装置は、請求項１〜
３記載の表面波共振子を用いている。また、請求項５に
係る通信機装置は、請求項１〜３の表面波共振子または
請求項４記載の表面波装置の少なくともいずれかを用い
ている。
３記載の表面波共振子を用いている。また、請求項５に
係る通信機装置は、請求項１〜３の表面波共振子または
請求項４記載の表面波装置の少なくともいずれかを用い
ている。
【００１６】以上のような構成により、通過帯域におい
て挿入損失が改善された周波数変動の小さい表面波装置
や通信機装置を得ることができる。
て挿入損失が改善された周波数変動の小さい表面波装置
や通信機装置を得ることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図を
用いて説明する。図１は本発明の第１の実施形態を示す
表面波共振子の平面図である。図１に示すように、表面
波共振子１は水晶からなる圧電基板２上に１つのＩＤＴ
３とその両側に反射器４、４を形成することにより構成
されている。
用いて説明する。図１は本発明の第１の実施形態を示す
表面波共振子の平面図である。図１に示すように、表面
波共振子１は水晶からなる圧電基板２上に１つのＩＤＴ
３とその両側に反射器４、４を形成することにより構成
されている。
【００１８】ＩＤＴ３は、Ｔａを主成分とする電極材料
により形成されており、一組の櫛形電極がそれぞれの櫛
歯部分が互いに対向するように配置されることにより構
成されている。
により形成されており、一組の櫛形電極がそれぞれの櫛
歯部分が互いに対向するように配置されることにより構
成されている。
【００１９】また、ＩＤＴ３の櫛歯部分を構成する電極
指は、図１に示すように、ＩＤＴ３の電極指間のスペー
スに対する電極指幅が大きくなるように設定されてい
る。すなわち、電極指幅Ｌ２／（電極指幅＋電極指間の
スペース）Ｌ１＝０．５５〜０．８５の範囲になるよう
に設定されている。また、反射器４の電極指間のスペー
スに対する電極指幅も大きくなるように設定されてい
る。すなわち、電極指幅Ｌ４／（電極指幅＋電極指間の
スペース）Ｌ３＝０．５５〜０．８５の範囲になるよう
に設定されている。
指は、図１に示すように、ＩＤＴ３の電極指間のスペー
スに対する電極指幅が大きくなるように設定されてい
る。すなわち、電極指幅Ｌ２／（電極指幅＋電極指間の
スペース）Ｌ１＝０．５５〜０．８５の範囲になるよう
に設定されている。また、反射器４の電極指間のスペー
スに対する電極指幅も大きくなるように設定されてい
る。すなわち、電極指幅Ｌ４／（電極指幅＋電極指間の
スペース）Ｌ３＝０．５５〜０．８５の範囲になるよう
に設定されている。
【００２０】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図２は本発明の第２の実施形態を示す縦結合型
表面波フィルタの平面図である。図２に示すように、縦
結合型表面波フィルタ１１は水晶を材料とする圧電基板
１２上に２つのＩＤＴ１３ａ、１３ｂ及びその両側に反
射器１４、１４を形成することにより構成されている。
明する。図２は本発明の第２の実施形態を示す縦結合型
表面波フィルタの平面図である。図２に示すように、縦
結合型表面波フィルタ１１は水晶を材料とする圧電基板
１２上に２つのＩＤＴ１３ａ、１３ｂ及びその両側に反
射器１４、１４を形成することにより構成されている。
【００２１】ＩＤＴ１３は、Ｔａを主成分とする電極材
料により形成されており、一組の櫛形電極がそれぞれの
櫛歯部分が互いに対向するように配置されることにより
構成されている。また、ＩＤＴ１３ａ、１３ｂは表面波
伝搬方向に一定の間隔を隔てて平行に並べられている。
本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様にＩ
ＤＴ１３ａ、１３ｂの電極指間のスペースに対する電極
指幅が大きくなるように設定されている。すなわち、電
極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）＝０．５５
〜０．８５の範囲になるように設定されている。また、
反射器１４ａ、１４ｂの電極指間のスペースに対する電
極指幅も大きくなるように設定されている。すなわち、
電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）＝０．５
５〜０．８５の範囲になるように設定されている。
料により形成されており、一組の櫛形電極がそれぞれの
櫛歯部分が互いに対向するように配置されることにより
構成されている。また、ＩＤＴ１３ａ、１３ｂは表面波
伝搬方向に一定の間隔を隔てて平行に並べられている。
本実施の形態においても、第１の実施の形態と同様にＩ
ＤＴ１３ａ、１３ｂの電極指間のスペースに対する電極
指幅が大きくなるように設定されている。すなわち、電
極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）＝０．５５
〜０．８５の範囲になるように設定されている。また、
反射器１４ａ、１４ｂの電極指間のスペースに対する電
極指幅も大きくなるように設定されている。すなわち、
電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）＝０．５
５〜０．８５の範囲になるように設定されている。
【００２２】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。図３は本発明の第３の実施形態を示す横結合型
表面波フィルタの平面図である。図３に示すように、横
結合型表面波フィルタ２１は水晶を材料とする圧電基板
２２上に２つのＩＤＴ２３ａ、２３ｂ及びその両側に反
射器２４ａ、２４ｂを形成することにより構成されてい
る。
明する。図３は本発明の第３の実施形態を示す横結合型
表面波フィルタの平面図である。図３に示すように、横
結合型表面波フィルタ２１は水晶を材料とする圧電基板
２２上に２つのＩＤＴ２３ａ、２３ｂ及びその両側に反
射器２４ａ、２４ｂを形成することにより構成されてい
る。
【００２３】ＩＤＴ２３ａ、２３ｂは、Ｔａを主成分と
する電極材料により形成されており、一組の櫛形電極が
それぞれの櫛歯部分が互いに対向するように配置される
ことにより構成されている。また、ＩＤＴ２３ａ、２３
ｂは表面波伝搬方向に垂直な方向に並べられている。本
実施の形態においても、第１、第２の実施の形態と同様
にＩＤＴ２３ａ、２３ｂの電極指間のスペースに対する
電極指幅が大きくなるように設定されている。すなわ
ち、電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）＝
０．５５〜０．８５の範囲になるように設定されてい
る。また、反射器２４ａ、２４ｂの電極指間のスペース
に対する電極指幅も大きくなるように設定されている。
すなわち、電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペー
ス）＝０．５５〜０．８５の範囲になるように設定され
ている。
する電極材料により形成されており、一組の櫛形電極が
それぞれの櫛歯部分が互いに対向するように配置される
ことにより構成されている。また、ＩＤＴ２３ａ、２３
ｂは表面波伝搬方向に垂直な方向に並べられている。本
実施の形態においても、第１、第２の実施の形態と同様
にＩＤＴ２３ａ、２３ｂの電極指間のスペースに対する
電極指幅が大きくなるように設定されている。すなわ
ち、電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）＝
０．５５〜０．８５の範囲になるように設定されてい
る。また、反射器２４ａ、２４ｂの電極指間のスペース
に対する電極指幅も大きくなるように設定されている。
すなわち、電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペー
ス）＝０．５５〜０．８５の範囲になるように設定され
ている。
【００２４】次に、本発明の第４の実施形態について説
明する。図４は本発明の第４の実施形態を示すラダー型
表面波フィルタの平面図である。図４に示すように、ラ
ダー型表面波フィルタ３１は水晶を材料とする圧電基板
３２上にＩＤＴ３３ａ、３３ｂ及びその両側に反射器３
４ａ、３４ｂを形成することにより構成されている。
明する。図４は本発明の第４の実施形態を示すラダー型
表面波フィルタの平面図である。図４に示すように、ラ
ダー型表面波フィルタ３１は水晶を材料とする圧電基板
３２上にＩＤＴ３３ａ、３３ｂ及びその両側に反射器３
４ａ、３４ｂを形成することにより構成されている。
【００２５】ＩＤＴ３３ａ、３３ｂは、Ｔａを主成分と
する電極材料により形成されており、一組の櫛形電極が
それぞれの櫛歯部分が互いに対向するように配置される
ことにより構成されている。また、ＩＤＴ３３ａは直列
腕に配され、ＩＤＴ３３ｂは並列腕に配されることによ
り、ラダー型に構成されている。本実施の形態において
も、第１、第２の実施の形態と同様にＩＤＴ３３ａ、３
３ｂの電極指間のスペースに対する電極指幅が大きくな
るように設定されている。すなわち、電極指幅／（電極
指幅＋電極指間のスペース）＝０．５５〜０．８５の範
囲になるように設定されている。また、反射器３４ａ、
３４ｂの電極指間のスペースに対する電極指幅も大きく
なるように設定されている。すなわち、電極指幅／（電
極指幅＋電極指間のスペース）＝０．５５〜０．８５の
範囲になるように設定されている。
する電極材料により形成されており、一組の櫛形電極が
それぞれの櫛歯部分が互いに対向するように配置される
ことにより構成されている。また、ＩＤＴ３３ａは直列
腕に配され、ＩＤＴ３３ｂは並列腕に配されることによ
り、ラダー型に構成されている。本実施の形態において
も、第１、第２の実施の形態と同様にＩＤＴ３３ａ、３
３ｂの電極指間のスペースに対する電極指幅が大きくな
るように設定されている。すなわち、電極指幅／（電極
指幅＋電極指間のスペース）＝０．５５〜０．８５の範
囲になるように設定されている。また、反射器３４ａ、
３４ｂの電極指間のスペースに対する電極指幅も大きく
なるように設定されている。すなわち、電極指幅／（電
極指幅＋電極指間のスペース）＝０．５５〜０．８５の
範囲になるように設定されている。
【００２６】次に、本発明の第５、第６の実施の形態に
ついて説明する。図５は本発明の第４の実施の形態を示
す共用器及び本発明の第５の実施形態を示す通信機装置
のブロック図である。
ついて説明する。図５は本発明の第４の実施の形態を示
す共用器及び本発明の第５の実施形態を示す通信機装置
のブロック図である。
【００２７】図５に示すように、通信機装置４１は、受
信用の表面波フィルタ４２と送信用の表面波フィルタ４
３を有する共用器４４のアンテナ端子がアンテナ４５に
接続され、出力端子が受信回路４６に接続され、入力端
子が送信回路４７に接続されることにより構成されてい
る。このような共用器４４の受信用の表面波フィルタ４
２と送信用の表面波フィルタ４３には、第２〜第４の実
施の形態の表面波フィルタ１１〜２１のいずれかまたは
その組み合わせを用いる。
信用の表面波フィルタ４２と送信用の表面波フィルタ４
３を有する共用器４４のアンテナ端子がアンテナ４５に
接続され、出力端子が受信回路４６に接続され、入力端
子が送信回路４７に接続されることにより構成されてい
る。このような共用器４４の受信用の表面波フィルタ４
２と送信用の表面波フィルタ４３には、第２〜第４の実
施の形態の表面波フィルタ１１〜２１のいずれかまたは
その組み合わせを用いる。
【００２８】次に本発明の電極指幅／（電極指幅＋電極
指間のスペース）＝０．５５〜０．８５の範囲について
実施例を用いて説明する。図６は、電極指幅／（電極指
幅＋電極指間のスペース）を０．５０〜０．９０間で変
化させてその中心周波数の変位を見た図である。なお、
■は規格化膜厚（厚さｄ／波長λ）の値が２．００％、
以下、●：２．０４％、△：２．０８％、▽：２．１２
％、○：２．１６％、＋：２．２０％、＊：２．４７％
の場合の中心周波数の変位を表している。また、本実施
例ではオイラー角（０°，１２７°，９０°）で表わさ
れる水晶基板上にＴａを電極材料として、２個のＩＤＴ
と反射器を備えたＳＨ型の表面波を用いた縦結合型表面
波フィルタを用いている。また、○：２．１６％の場合
のみはオイラー角（０°，１２６°，９０°）で表わさ
れる水晶基板上にＴａを電極材料として、２個のＩＤＴ
と反射器を備えたＳＨ型の表面波を用いた縦結合型表面
波フィルタを用いている。
指間のスペース）＝０．５５〜０．８５の範囲について
実施例を用いて説明する。図６は、電極指幅／（電極指
幅＋電極指間のスペース）を０．５０〜０．９０間で変
化させてその中心周波数の変位を見た図である。なお、
■は規格化膜厚（厚さｄ／波長λ）の値が２．００％、
以下、●：２．０４％、△：２．０８％、▽：２．１２
％、○：２．１６％、＋：２．２０％、＊：２．４７％
の場合の中心周波数の変位を表している。また、本実施
例ではオイラー角（０°，１２７°，９０°）で表わさ
れる水晶基板上にＴａを電極材料として、２個のＩＤＴ
と反射器を備えたＳＨ型の表面波を用いた縦結合型表面
波フィルタを用いている。また、○：２．１６％の場合
のみはオイラー角（０°，１２６°，９０°）で表わさ
れる水晶基板上にＴａを電極材料として、２個のＩＤＴ
と反射器を備えたＳＨ型の表面波を用いた縦結合型表面
波フィルタを用いている。
【００２９】図６に示すように、電極指幅／（電極指幅
＋電極指間のスペース）の値が０．７５の場合を頂点と
して下向きの弧を描いている。したがって、電極指幅／
（電極指幅＋電極指間のスペース）の値が０．７５の
時、電極指幅が前後にずれた場合、もっとも周波数変化
が小さいことがわかる。この特性は、規格化膜厚や水晶
基板のオイラー角が変化しても同様の傾向を示している
ことが図６より明らかである。
＋電極指間のスペース）の値が０．７５の場合を頂点と
して下向きの弧を描いている。したがって、電極指幅／
（電極指幅＋電極指間のスペース）の値が０．７５の
時、電極指幅が前後にずれた場合、もっとも周波数変化
が小さいことがわかる。この特性は、規格化膜厚や水晶
基板のオイラー角が変化しても同様の傾向を示している
ことが図６より明らかである。
【００３０】図７は、電極指幅／（電極指幅＋電極指間
のスペース）を０．０５ずらした時に、中心周波数の変
化の割合を見た図である。すなわち、変化前の電極指幅
／（電極指幅＋電極指間のスペース）をｄ１、変化後の
電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）をｄ２、
変化前の中心周波数をｆ0（ｄ１）、変化後の中心周波
数をｆ0（ｄ２）と規定した時に、横軸：（ｄ１＋ｄ
２）／２、縦軸：［ｆ0（ｄ２）−ｆ0（ｄ１）］／
［（ｄ１＋ｄ２）／２］／（ｄ２−ｄ１）をプロットし
たものが図７である。なお、■〜＊は、図６と同じもの
を用いている。
のスペース）を０．０５ずらした時に、中心周波数の変
化の割合を見た図である。すなわち、変化前の電極指幅
／（電極指幅＋電極指間のスペース）をｄ１、変化後の
電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）をｄ２、
変化前の中心周波数をｆ0（ｄ１）、変化後の中心周波
数をｆ0（ｄ２）と規定した時に、横軸：（ｄ１＋ｄ
２）／２、縦軸：［ｆ0（ｄ２）−ｆ0（ｄ１）］／
［（ｄ１＋ｄ２）／２］／（ｄ２−ｄ１）をプロットし
たものが図７である。なお、■〜＊は、図６と同じもの
を用いている。
【００３１】図７に示すように、電極指幅／（電極指幅
＋電極指間のスペース）の値が０．７５の時、中心周波
数の変動がもっとも小さくなることがわかる。また、中
心周波数の変動は、±０．１５％程度であれば、製造バ
ラツキによる電極指幅のバラツキが±１％程度存在する
場合にも対応できることから、電極指幅／（電極指幅＋
電極指間のスペース）の値が０．５５以上であればよい
ことが図７から明らかである。
＋電極指間のスペース）の値が０．７５の時、中心周波
数の変動がもっとも小さくなることがわかる。また、中
心周波数の変動は、±０．１５％程度であれば、製造バ
ラツキによる電極指幅のバラツキが±１％程度存在する
場合にも対応できることから、電極指幅／（電極指幅＋
電極指間のスペース）の値が０．５５以上であればよい
ことが図７から明らかである。
【００３２】図８は電極指幅／（電極指幅＋電極指間の
スペース）の値によってフィルタの挿入損失がどの程度
変化するかを見た図である。なお、■〜＋は、図６及び
図７と同じものを用いている。また、本実施例は入出力
の整合を取った上で測定している。
スペース）の値によってフィルタの挿入損失がどの程度
変化するかを見た図である。なお、■〜＋は、図６及び
図７と同じものを用いている。また、本実施例は入出力
の整合を取った上で測定している。
【００３３】図８に示すように、電極指幅／（電極指幅
＋電極指間のスペース）が０．７５の時、■〜○では最
も挿入損失が小さくなることがわかる。また、規格化膜
厚に関係無く、電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペ
ース）が０．８５を越えた辺りで急激に挿入損失が大き
くなっている。さらに、図８に示すように、＋は、電極
指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）が０．７０が
挿入損失の最小点となっているが、これは規格化膜厚が
厚くなったことにより若干最小点が移行しているもので
あり、いずれにしても０．５５〜０．８５の間であれ
ば、従来の０．５０とほぼ同じか、それ以上に挿入損失
は良好になっていることがわかる。したがって、規格化
膜厚によっては傾向が変わらないことから、電極膜の厚
み方向の質量負荷にはほとんど影響を受けない。このこ
とから、Ｔａに限らず、圧電材料より比重が大きく音速
の遅い高密度な金属、例えば、Ｗ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，
Ｃｏ，Ｃｒ，Ｚｎ，Ｆｅ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｏ
ｓ，Ｉｒ，Ｈｆ等、又はそれらの合金でＩＤＴを構成
し、ＳＨ波型の表面波を励振した場合でも、同様の傾向
を示すことは明らかである。また、水晶の場合のオイラ
ー角も（０°，１２１°〜１３６°，８７〜９３°）の
範囲であれば同様の効果が得られる。
＋電極指間のスペース）が０．７５の時、■〜○では最
も挿入損失が小さくなることがわかる。また、規格化膜
厚に関係無く、電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペ
ース）が０．８５を越えた辺りで急激に挿入損失が大き
くなっている。さらに、図８に示すように、＋は、電極
指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）が０．７０が
挿入損失の最小点となっているが、これは規格化膜厚が
厚くなったことにより若干最小点が移行しているもので
あり、いずれにしても０．５５〜０．８５の間であれ
ば、従来の０．５０とほぼ同じか、それ以上に挿入損失
は良好になっていることがわかる。したがって、規格化
膜厚によっては傾向が変わらないことから、電極膜の厚
み方向の質量負荷にはほとんど影響を受けない。このこ
とから、Ｔａに限らず、圧電材料より比重が大きく音速
の遅い高密度な金属、例えば、Ｗ，Ｍｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，
Ｃｏ，Ｃｒ，Ｚｎ，Ｆｅ，Ｍｎ，Ａｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｏ
ｓ，Ｉｒ，Ｈｆ等、又はそれらの合金でＩＤＴを構成
し、ＳＨ波型の表面波を励振した場合でも、同様の傾向
を示すことは明らかである。また、水晶の場合のオイラ
ー角も（０°，１２１°〜１３６°，８７〜９３°）の
範囲であれば同様の効果が得られる。
【００３４】なお、上記実施の形態では、１段の弾性表
面波フィルタについて説明したがこれに限るものではな
く、複数段縦続接続したり、複数段並列接続したもので
も、同様の効果が得られることはいうまでもない。
面波フィルタについて説明したがこれに限るものではな
く、複数段縦続接続したり、複数段並列接続したもので
も、同様の効果が得られることはいうまでもない。
【００３５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、ＩＤＴ
を構成する電極指の電極指幅／（電極指幅＋電極指間の
スペース）を０．５５〜０．８５とすることにより、挿
入損失を劣化させることなく、エッチングの際に生じる
電極指幅や膜厚のバラツキによる周波数のバラツキを抑
えることができる。
を構成する電極指の電極指幅／（電極指幅＋電極指間の
スペース）を０．５５〜０．８５とすることにより、挿
入損失を劣化させることなく、エッチングの際に生じる
電極指幅や膜厚のバラツキによる周波数のバラツキを抑
えることができる。
【図１】第１の実施形態を説明するための表面波共振子
の平面図である。
の平面図である。
【図２】第２の実施形態を説明するための縦結合型表面
波フィルタの平面図である。
波フィルタの平面図である。
【図３】第３の実施形態を説明するための横結合型表面
波フィルタの平面図である。
波フィルタの平面図である。
【図４】第４の実施形態を説明するためのラダー型表面
波フィルタの平面図である。
波フィルタの平面図である。
【図５】第５、第６の実施形態を説明するための共用器
及び通信機装置のブロック図である。
及び通信機装置のブロック図である。
【図６】電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）
に関する中心周波数の変位を示す特性図である。
に関する中心周波数の変位を示す特性図である。
【図７】電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）
に関する周波数偏差を示す特性図である。
に関する周波数偏差を示す特性図である。
【図８】電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）
に関する挿入損失を示す特性図である。
に関する挿入損失を示す特性図である。
【図９】表面波装置の製造方法を示す工程図である。
１ 表面波共振子 ２ 圧電基板 ３ ＩＤＴ ４ 反射器
フロントページの続き (72)発明者 門田 道雄 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 5J097 AA28 AA31 BB01 CC01 DD04 GG02 GG07 KK03
Claims (5)
- 【請求項１】 圧電基板と、前記圧電基板上に形成され
ており、前記圧電基板の圧電材料より比重が大きい金属
又は合金により構成されることによりＳＨ波を励振する
ＩＤＴとを備える表面波共振子であって、前記ＩＤＴを
構成する電極指の電極指幅／（電極指幅＋電極指間のス
ペース）が０．５５〜０．８５であることを特徴とする
表面波共振子。 - 【請求項２】 前記圧電基板が、オイラー角（０°，１
２１°〜１３６°，８７〜９３°）である水晶基板であ
ることを特徴とする請求項１記載の表面波共振子。 - 【請求項３】 前記ＩＤＴを挟むように、前記ＩＤＴ
の両側に電極指幅／（電極指幅＋電極指間のスペース）
を０．５５〜０．８５とした反射器を形成したことを特
徴とする請求項１または２記載の表面波共振子。 - 【請求項４】 請求項１〜３記載の表面波共振子を用い
たことを特徴とする表面波装置。 - 【請求項５】 請求項１〜３の表面波共振子または請求
項４記載の表面波装置の少なくともいずれかを用いたこ
とを特徴とする通信機装置。
Priority Applications (7)
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|---|---|---|---|
| JP12738799A JP3353742B2 (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | 表面波共振子、表面波装置、通信機装置 |
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| US09/557,805 US6437668B1 (en) | 1999-05-07 | 2000-04-25 | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave device, and communication device using shear horizontal waves |
| SG200002371A SG111003A1 (en) | 1999-05-07 | 2000-04-28 | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave device, and communication device |
| EP00401252A EP1061646A1 (en) | 1999-05-07 | 2000-05-05 | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave device, and communication device |
| CNB001086472A CN1164031C (zh) | 1999-05-07 | 2000-05-08 | 声表面波谐振器、声表面波装置和通信装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12738799A JP3353742B2 (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | 表面波共振子、表面波装置、通信機装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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ID=14958743
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP12738799A Expired - Lifetime JP3353742B2 (ja) | 1999-05-07 | 1999-05-07 | 表面波共振子、表面波装置、通信機装置 |
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|---|---|
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| JP (1) | JP3353742B2 (ja) |
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| CN (1) | CN1164031C (ja) |
| SG (1) | SG111003A1 (ja) |
| TW (1) | TW445710B (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6498548B2 (en) * | 2000-12-07 | 2002-12-24 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter with optimized width and pitch of interdigital electrodes and reflector electrodes |
| US6856218B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-02-15 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and communications apparatus using the same |
| WO2005060094A1 (ja) * | 2003-12-16 | 2005-06-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| JP2008099339A (ja) * | 2008-01-11 | 2008-04-24 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波デバイスとこれを用いたモジュール装置又は発振回路 |
| US7382217B2 (en) | 2004-12-03 | 2008-06-03 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave device |
| US7589451B2 (en) | 2004-04-01 | 2009-09-15 | Epson Toyocom Corporation | Surface acoustic wave device |
Families Citing this family (14)
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|---|---|---|---|---|
| US6429569B1 (en) * | 1999-07-22 | 2002-08-06 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and communication apparatus |
| JP3402311B2 (ja) * | 2000-05-19 | 2003-05-06 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| JP3435638B2 (ja) * | 2000-10-27 | 2003-08-11 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置及びその製造方法 |
| JP2002152001A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-24 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波フィルタ装置 |
| JP3414384B2 (ja) * | 2001-01-12 | 2003-06-09 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ、およびそれを用いた通信機装置 |
| JP4148220B2 (ja) * | 2005-01-06 | 2008-09-10 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイス、複合デバイス、発振回路およびモジュール |
| JP4001157B2 (ja) * | 2005-07-22 | 2007-10-31 | 株式会社村田製作所 | 弾性境界波装置 |
| JP4591800B2 (ja) * | 2008-02-20 | 2010-12-01 | エプソントヨコム株式会社 | 弾性表面波デバイスおよび弾性表面波発振器 |
| JP5341006B2 (ja) * | 2010-03-30 | 2013-11-13 | 新科實業有限公司 | 弾性表面波装置 |
| JP5736392B2 (ja) * | 2011-04-12 | 2015-06-17 | スカイワークス・パナソニック フィルターソリューションズ ジャパン株式会社 | 弾性波素子と、これを用いたアンテナ共用器 |
| CN104639092A (zh) * | 2014-12-13 | 2015-05-20 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 高带外抑制高频表面贴装声表面横波谐振滤波器 |
| CN106154186B (zh) * | 2016-06-20 | 2020-01-17 | 瑞声声学科技(常州)有限公司 | 声表面波磁传感器及其制备方法 |
| CN112653417A (zh) * | 2020-12-18 | 2021-04-13 | 广东广纳芯科技有限公司 | 声表面波谐振器及该声表面波谐振器的制造方法 |
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Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH06164306A (ja) * | 1992-02-12 | 1994-06-10 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波共振子 |
| JPH06164286A (ja) * | 1992-03-03 | 1994-06-10 | Kokusai Electric Co Ltd | 弾性表面波共振子の製造方法 |
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| JPH0730363A (ja) * | 1993-07-06 | 1995-01-31 | Murata Mfg Co Ltd | Ｓａｗ共振子フィルタ |
| JP3173300B2 (ja) * | 1994-10-19 | 2001-06-04 | 株式会社村田製作所 | ラブ波デバイス |
| JP3285469B2 (ja) * | 1995-07-11 | 2002-05-27 | 株式会社日立製作所 | 弾性表面波装置 |
| JPH0969751A (ja) * | 1995-08-30 | 1997-03-11 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JP3339350B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2002-10-28 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| JPH10247835A (ja) * | 1997-03-03 | 1998-09-14 | Kokusai Electric Co Ltd | ラブ波型弾性表面波デバイス |
| TW404091B (en) * | 1997-05-16 | 2000-09-01 | Murata Manufacturing Co | Ladder filter having edge-reflection type resonators |
| JP3171144B2 (ja) * | 1997-07-07 | 2001-05-28 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
| JP3301399B2 (ja) * | 1998-02-16 | 2002-07-15 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波装置 |
| JP3206548B2 (ja) * | 1998-05-14 | 2001-09-10 | 株式会社村田製作所 | 表面波フィルタ、共用器、通信機装置 |
| JP3317273B2 (ja) * | 1998-08-25 | 2002-08-26 | 株式会社村田製作所 | 表面波共振子、フィルタ、共用器、通信機装置 |
-
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Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6498548B2 (en) * | 2000-12-07 | 2002-12-24 | Fujitsu Media Devices Limited | Surface acoustic wave filter with optimized width and pitch of interdigital electrodes and reflector electrodes |
| US6856218B2 (en) | 2001-12-28 | 2005-02-15 | Seiko Epson Corporation | Surface acoustic wave device and communications apparatus using the same |
| WO2005060094A1 (ja) * | 2003-12-16 | 2005-06-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| KR100785242B1 (ko) * | 2003-12-16 | 2007-12-12 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 경계파 장치 |
| JP2009290914A (ja) * | 2003-12-16 | 2009-12-10 | Murata Mfg Co Ltd | 弾性境界波装置 |
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