JP2000309328A - Tray and designing method therefor - Google Patents

Tray and designing method therefor

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JP2000309328A
JP2000309328A JP11117097A JP11709799A JP2000309328A JP 2000309328 A JP2000309328 A JP 2000309328A JP 11117097 A JP11117097 A JP 11117097A JP 11709799 A JP11709799 A JP 11709799A JP 2000309328 A JP2000309328 A JP 2000309328A
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tray
electronic component
storage
semiconductor electronic
storage section
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JP11117097A
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Japanese (ja)
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Makoto Imanishi
誠 今西
Takahiro Yonezawa
隆弘 米澤
Shinji Kanayama
真司 金山
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reliably perform reception operation by a suction nozzle by determining lower and upper limit values of a size of a housing so that a tray has a predetermined clearance in longitudinal and lateral directions for an electronic component to be stored and so that the maximum rotation angle of the electronic component is a predetermined value or less. SOLUTION: When a square semiconductor electronic component 10 with a side of (a) is to be received in an approximately square housing 21 with a side of Y, the tray is designed so that the distance Y between opposite housing walls of the housing has a predetermined clearance C for the component 10, that is, Y>=a+C is satisfied. The clearance is preferably 0.5 mm or more. In addition, the distance Y is specified so that the maximum rotation angle θof the component is in a predetermined range or less, that is Y<=a.sinθ+a.cosθ is satisfied. The maximum rotation angle θ preferably 30 degree or less.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ICチップ等の半
導体電子部品(以下、単に「電子部品」ということがあ
る)を収納するトレイ、及びその設計方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a tray for storing semiconductor electronic components such as IC chips (hereinafter sometimes simply referred to as "electronic components"), and a method for designing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】回路基板に装着されて電子回路基板構成
する電子部品は、回路基板に装着されるまでの間、一般
にトレイに収納されて工程内を搬送される。
2. Description of the Related Art Electronic components mounted on a circuit board and constituting an electronic circuit board are generally stored in a tray and conveyed in a process until they are mounted on the circuit board.

【0003】図10は、電子部品と回路基板との電気的
接続を図るために、回路基板に装着する前に電子部品の
電極に金やはんだ等の金属のバンプ(突起電極)を形成
するためのバンプボンディング装置の一例の概略斜視図
である。
FIG. 10 shows a method of forming a bump (protruding electrode) made of a metal such as gold or solder on an electrode of an electronic component before the electronic component is mounted on the circuit board in order to establish an electrical connection between the electronic component and the circuit board. 1 is a schematic perspective view of an example of the bump bonding apparatus of FIG.

【0004】図10において、900a,900bはト
レイ、918は電子部品、921は電子部品を載置する
処理ステージ、922はトレイ900aに収納された電
子部品を処理ステージ921に移載し、また、処理ステ
ージ921上の電子部品をトレイ900bに移載するた
めの移載装置、923は電子部品918の上面の電極に
バンプを形成するためのキャピラリー、924はキャピ
ラリーに923に供給されるバンプ材料としての金線が
巻回された金線リールである。
In FIG. 10, reference numerals 900a and 900b denote trays, reference numeral 918 denotes an electronic component, reference numeral 921 denotes a processing stage for mounting electronic components, and reference numeral 922 denotes an electronic component housed in the tray 900a, which is transferred to the processing stage 921. A transfer device for transferring electronic components on the processing stage 921 to the tray 900b, 923 is a capillary for forming a bump on an electrode on the upper surface of the electronic component 918, and 924 is a bump material supplied to the capillary 923. Is a gold wire reel on which the gold wire is wound.

【0005】トレイ900aに収納された状態で供給さ
れた電子部品は移載装置922により一つずつ処理ステ
ージ921に移載される。移載装置922は先端に吸着
ノズルを備え、電子部品の上面を真空吸引して持ち上げ
て、吸着ノズルに吸着させた状態で電子部品を移載す
る。処理ステージ921上では、電子部品918の上面
の電極にキャピラリー923を用いてバンプが形成され
る。その後、電子部品918は再び移載装置922に吸
着されてトレイ900bに移載され収納される。
The electronic components supplied while being stored in the tray 900a are transferred one by one to the processing stage 921 by the transfer device 922. The transfer device 922 is provided with a suction nozzle at the tip, vacuum-suctions and lifts the upper surface of the electronic component, and transfers the electronic component while being sucked by the suction nozzle. On the processing stage 921, bumps are formed on the electrodes on the upper surface of the electronic component 918 using the capillary 923. After that, the electronic component 918 is sucked again by the transfer device 922, transferred and stored on the tray 900b.

【0006】図11は、一般的なトレイの一例の概略構
成を示した斜視図である。図示したように、トレイ90
0は、碁盤目状に突出して形成された収納壁902によ
り仕切られた収納部901を有する。1枚のトレイに形
成される収納部901の数は、図11のように4つのも
のに限られず、3つ以下、あるいは5つ以上の場合もあ
る。平面形状が略矩形状の電子部品は、図11のトレイ
の1つの収納部901に1つずつ収納されて工程内を搬
送される。
FIG. 11 is a perspective view showing a schematic configuration of an example of a general tray. As shown, the tray 90
No. 0 has a storage section 901 partitioned by a storage wall 902 formed in a grid pattern. The number of storage portions 901 formed in one tray is not limited to four as shown in FIG. 11, but may be three or less, or five or more. Electronic components having a substantially rectangular planar shape are stored one by one in one storage unit 901 of the tray shown in FIG. 11 and transported in the process.

【0007】図12は、電子部品を吸着する吸着ノズル
の一例の概略図であり、図12(a)は断面図、図12
(b)は底面図である。図12において、910は吸着
ノズル、911は平面形状が略矩形状の吸着面、912
a,912bは吸着面911の対向する2辺に突出して
形成された傾斜面、913は吸引孔、914は位置決め
用ノッチである。また、矢印915は吸引孔913内の
空気の吸引方向を示し、矢印方向に吸引ポンプが接続さ
れる。2点鎖線918は平面形状が略矩形状の電子部品
である。
FIG. 12 is a schematic view of an example of a suction nozzle for sucking an electronic component. FIG.
(B) is a bottom view. In FIG. 12, reference numeral 910 denotes a suction nozzle; 911, a suction surface having a substantially rectangular planar shape;
Reference numerals a and 912b denote inclined surfaces formed on two opposite sides of the suction surface 911, 913 denotes a suction hole, and 914 denotes a positioning notch. An arrow 915 indicates the direction of suction of air in the suction hole 913, and a suction pump is connected in the direction of the arrow. A two-dot chain line 918 is an electronic component having a substantially rectangular planar shape.

【0008】図13は、トレイ900の収納部901内
に収納された電子部品918を吸着ノズル910で吸着
する様子を示した断面図である。吸着ノズル910の吸
着面911をトレイの収納部901に位置合わせして、
矢印915方向に空気を吸引することにより、電子部品
918の上面と吸着面911との間が負圧となって、電
子部品918が吸着ノズル910の吸着面911に吸着
される。
FIG. 13 is a cross-sectional view showing a state in which the electronic component 918 stored in the storage section 901 of the tray 900 is sucked by the suction nozzle 910. The suction surface 911 of the suction nozzle 910 is aligned with the storage unit 901 of the tray,
By sucking air in the direction of arrow 915, a negative pressure is generated between the upper surface of electronic component 918 and suction surface 911, and electronic component 918 is sucked by suction surface 911 of suction nozzle 910.

【0009】トレイ900の対向する収納壁902の間
隔は電子部品918の外径寸法よりやや大きく設定され
ているから、電子部品918は収納部901内でいずれ
かの収納壁902に片寄っていたり、収納壁902に対
して回転していたりする。吸着ノズル910の吸着面9
11に形成された傾斜面912a,912bは、吸着時
に電子部品のこのような片寄りや回転を修正する(傾斜
面の修正機能)。その結果、電子部品は図12に示した
ように吸着ノズル910の吸着面911のほぼ中央に、
電子部品の対向する1対の辺が傾斜面912a,912
bと略平行に吸着される。
The interval between the opposite storage walls 902 of the tray 900 is set to be slightly larger than the outer diameter of the electronic component 918, so that the electronic component 918 is offset to one of the storage walls 902 in the storage portion 901, It rotates with respect to the storage wall 902. Suction surface 9 of suction nozzle 910
The inclined surfaces 912a and 912b formed on the surface 11 correct such deviation or rotation of the electronic component during suction (a function of correcting the inclined surface). As a result, as shown in FIG. 12, the electronic component is almost at the center of the suction surface 911 of the suction nozzle 910.
A pair of opposing sides of the electronic component are inclined surfaces 912a, 912
Adsorbed substantially in parallel with b.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現実の
工程で使用される電子部品の外径寸法は多様化してお
り、電子部品の外径寸法に応じた収納部サイズを有する
トレイを使用しないと以下の問題が生じる。
However, the outer diameters of electronic components used in actual processes are diversified, and unless a tray having a storage unit size corresponding to the outer diameter of the electronic components is used, the following will occur. Problem arises.

【0011】電子部品サイズに対して収納部サイズが大
きすぎると、電子部品が収納部内で一方に片寄ったり回
転したりする程度がより大きくなる。
If the size of the storage portion is too large relative to the size of the electronic component, the degree to which the electronic component is shifted or rotated to one side in the storage portion becomes larger.

【0012】図14は、収納部内で一方に大きく片寄っ
ていた電子部品を吸着した状態を示した側面図である。
電子部品918が傾斜面912bの外周端より外にはみ
出した状態で吸着されており、このような場合には上記
の傾斜面の修正機能は有効に機能しない。
FIG. 14 is a side view showing a state in which an electronic component which is largely deviated to one side in the storage unit is sucked.
The electronic component 918 is sucked while protruding outside the outer peripheral end of the inclined surface 912b. In such a case, the above-described function of correcting the inclined surface does not function effectively.

【0013】また、図15は収納部内で大きく回転して
いた電子部品を吸着した状態を示した図であり、図15
(a)は側面図、図15(b)は底面図である。電子部
品918が傾斜面912a,912bの外周端より外に
はみ出した状態で吸着されており、このような場合にも
上記の傾斜面の修正機能は有効に機能しない。
FIG. 15 is a view showing a state in which the electronic component which has been largely rotated in the storage section is sucked.
FIG. 15A is a side view, and FIG. 15B is a bottom view. The electronic component 918 is sucked while protruding outside the outer peripheral ends of the inclined surfaces 912a and 912b. In such a case, the above-described function of correcting the inclined surface does not function effectively.

【0014】図14,図15の状態で吸着された電子部
品を所定の処理ステージに移載すると、電子部品が処理
ステージ上で所定位置に所定の向きに設置することがで
きず、その後の工程に支障を来たす。
When the electronic component sucked in the state shown in FIGS. 14 and 15 is transferred to a predetermined processing stage, the electronic component cannot be placed at a predetermined position on the processing stage in a predetermined direction. Cause trouble.

【0015】一方、電子部品サイズに対して収納部サイ
ズが小さすぎると、以下の問題が生じる。
On the other hand, if the size of the storage section is too small with respect to the size of the electronic component, the following problem occurs.

【0016】図16は、吸着ノズル910に対してわず
かにずれて吸着された電子部品918がトレイの収納部
901に搬送されてきた状態を示した断面図である。ト
レイの対向する収納壁902の間隔は、電子部品918
の外径寸法に対してごくわずかに大きく形成されてい
る。従って、電子部品918が吸着ノズル910に対し
てわずかでもずれて吸着されていると、たとえ吸着ノズ
ル910をトレイの収納部901に正確に位置合わせし
たとしても、トレイの収納壁902の上面に電子部品9
18の下面が当接して、電子部品を収納部901に収納
することができない。従って、例えば、処理ステージか
らトレイの収納部に移載するような場合に、電子部品を
収納部内に収納できないという問題が生じる。
FIG. 16 is a cross-sectional view showing a state where the electronic component 918 sucked slightly shifted from the suction nozzle 910 has been conveyed to the storage section 901 of the tray. The distance between the opposite storage walls 902 of the tray is determined by the electronic components 918.
Is formed to be slightly larger than the outer diameter dimension of. Accordingly, if the electronic component 918 is sucked with a slight shift with respect to the suction nozzle 910, even if the suction nozzle 910 is accurately positioned on the tray storage section 901, the electronic component 918 will be placed on the upper surface of the tray storage wall 902. Part 9
The electronic component cannot be stored in the storage portion 901 because the lower surface of the electronic component 18 contacts the storage portion 901. Therefore, for example, in the case where the electronic component is transferred from the processing stage to the storage portion of the tray, there is a problem that the electronic component cannot be stored in the storage portion.

【0017】図14,図15に示した電子部品の収納部
からの吸着時の問題は、電子部品の片寄りや回転角を検
知して、吸着ノズルを収納部に位置合わせする時にこれ
を考慮した補正を行なえば解決することができる。ま
た、図16に示した電子部品の収納部への収納時の問題
は、電子部品の吸着状態を検知して、吸着ノズルを収納
部に位置合わせする時にこれを考慮した補正を行なえば
解決することができる。しかしながら、これらの方法は
いずれも装置が複雑化し、コストの上昇を招く。
The problem of picking up the electronic component from the storage section shown in FIGS. 14 and 15 is considered when the shift and the rotation angle of the electronic component are detected and the suction nozzle is aligned with the storage section. This can be solved by performing the correction described above. In addition, the problem of storing the electronic component in the storage unit illustrated in FIG. 16 can be solved by detecting the suction state of the electronic component and performing a correction that takes this into account when positioning the suction nozzle in the storage unit. be able to. However, all of these methods complicate the apparatus and increase the cost.

【0018】本発明は、トレイに収納された電子部品の
吸着ノズルによる吸着、及び吸着ノズルに吸着された電
子部品のトレイへの収納を、簡単な方法で上記の問題な
く行なうことができるトレイ、及びそのようなトレイの
設計方法を提供することを目的とする。
According to the present invention, there is provided a tray in which electronic components stored in a tray can be sucked by a suction nozzle and electronic components sucked by the suction nozzle can be stored in the tray in a simple manner without the above-mentioned problems. And a method for designing such a tray.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために以下の構成とする。
The present invention has the following configuration to achieve the above object.

【0020】即ち、本発明の第1の構成にかかるトレイ
は、収納壁によって形成された収納部を備え、前記収納
部に半導体電子部品を収納して使用するトレイであっ
て、前記収納部は一辺がYの略正方形であり、前記収納
部に収納される前記半導体電子部品は一辺がaの略正方
形であり、縦方向及び横方向のクリアランスをC(C>
0)としたとき、以下の関係を満足することを特徴とす
る。
That is, the tray according to the first configuration of the present invention includes a storage portion formed by a storage wall, and is a tray for storing and using semiconductor electronic components in the storage portion. The one side is a substantially square of Y, and the semiconductor electronic component housed in the housing part is a substantially square of a side, and the clearances in the vertical and horizontal directions are C (C> C).
0), the following relationship is satisfied.

【0021】[0021]

【数7】Y≧a+C[Formula 7] Y ≧ a + C

【0022】かかる構成によれば、吸着ノズルによる電
子部品の収納部への収納動作を確実に行なうことが可能
になる。
According to this configuration, the operation of storing the electronic component in the storage section by the suction nozzle can be reliably performed.

【0023】また、本発明の第2の構成にかかるトレイ
は、収納壁によって形成された収納部を備え、前記収納
部に半導体電子部品を収納して使用するトレイであっ
て、前記収納部は一辺がYの略正方形であり、前記収納
部に収納される前記半導体電子部品は一辺がaの略正方
形であり、前記収納部内での前記半導体電子部品の最大
回転角をθとしたとき、以下の関係を満足することを特
徴とする。
Further, the tray according to the second configuration of the present invention is provided with a storage section formed by a storage wall, and is a tray for storing and using semiconductor electronic components in the storage section. When one side is a substantially square of Y, and the semiconductor electronic component housed in the housing portion is a substantially square of a side, and the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the housing portion is θ, Is satisfied.

【0024】[0024]

【数8】Y≦a・sinθ+a・cosθ[Equation 8] Y ≦ a · sin θ + a · cos θ

【0025】かかる構成によれば、収納部に収納された
電子部品を吸着ノズルで吸着して処理ステージに問題な
く移載することができる。
According to this configuration, the electronic components stored in the storage section can be suctioned by the suction nozzle and transferred to the processing stage without any problem.

【0026】また、本発明の第3の構成にかかるトレイ
は、収納壁によって形成された収納部を備え、前記収納
部に半導体電子部品を収納して使用するトレイであっ
て、前記収納部は一辺がYの略正方形であり、前記収納
部に収納される前記半導体電子部品は一辺がaの略正方
形であり、縦方向及び横方向のクリアランスをC(C>
0)、前記収納部内での前記半導体電子部品の最大回転
角をθとしたとき、以下の関係を満足することを特徴と
する。
A tray according to a third aspect of the present invention is provided with a storage section formed by a storage wall, and is a tray for storing and using semiconductor electronic components in the storage section. The one side is a substantially square of Y, and the semiconductor electronic component housed in the housing part is a substantially square of a side, and the clearances in the vertical and horizontal directions are C (C> C).
0), wherein the following relationship is satisfied when the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the storage portion is θ.

【0027】[0027]

【数9】a+C≦Y≦a・sinθ+a・cosθ## EQU9 ## a + C ≦ Y ≦ a · sin θ + a · cos θ

【0028】かかる構成によれば、トレイに収納された
電子部品を吸着ノズルに吸着して処理ステージに移載
し、また、処理ステージ上の電子部品を吸着ノズルに吸
着してトレイの所定の収納部に収納するという一連の動
作を問題なく行なうことができる。
According to this configuration, the electronic components housed in the tray are sucked by the suction nozzle and transferred to the processing stage, and the electronic components on the processing stage are sucked by the suction nozzle and stored in the tray in a predetermined manner. A series of operations of storing in a unit can be performed without any problem.

【0029】また、本発明の第4の構成にかかるトレイ
は、収納壁によって形成された収納部を備え、前記収納
部に半導体電子部品を収納して使用するトレイであっ
て、前記収納部は横がX、縦がYの略長方形であり、前
記収納部に収納される前記半導体電子部品は横がa、縦
がbの略長方形であり、横方向及び縦方向のクリアラン
スをそれぞれC1,C2(C1>0,C2>0)としたと
き、以下の関係を満足することを特徴とする。
Further, a tray according to a fourth configuration of the present invention is provided with a storage section formed by a storage wall, and is a tray for storing and using semiconductor electronic components in the storage section. The semiconductor electronic component housed in the housing portion is a substantially rectangular shape having a width of a and a height of b, and the clearances in the horizontal and vertical directions are respectively C1, C2. When (C1> 0, C2> 0), the following relationship is satisfied.

【0030】[0030]

【数10】X≧a+C1 Y≧b+C2X ≧ a + C1 Y ≧ b + C2

【0031】かかる構成によれば、吸着ノズルによる電
子部品の収納部への収納動作を確実に行なうことが可能
になる。
According to this configuration, the operation of storing the electronic component in the storage section by the suction nozzle can be reliably performed.

【0032】また、本発明の第5の構成にかかるトレイ
は、収納壁によって形成された収納部を備え、前記収納
部に半導体電子部品を収納して使用するトレイであっ
て、前記収納部は横がX、縦がYの略長方形であり、前
記収納部に収納される前記半導体電子部品は横がa、縦
がbの略長方形であり、前記収納部内での前記半導体電
子部品の最大回転角をθとしたとき、以下の関係を満足
することを特徴とする。
A tray according to a fifth aspect of the present invention is provided with a storage section formed by a storage wall, and is a tray for storing and using semiconductor electronic components in the storage section. The semiconductor electronic component accommodated in the storage part is a substantially rectangular shape having a width a and a height b, and a maximum rotation of the semiconductor electronic component in the storage part. When the angle is θ, the following relationship is satisfied.

【0033】[0033]

【数11】X≦a・cosθ+b・sinθ Y≦b・cosθ+a・sinθX ≦ a · cos θ + b · sin θ Y ≦ b · cos θ + a · sin θ

【0034】かかる構成によれば、収納部に収納された
電子部品を吸着ノズルで吸着して処理ステージに問題な
く移載することができる。
According to such a configuration, the electronic component stored in the storage section can be suctioned by the suction nozzle and transferred to the processing stage without any problem.

【0035】また、本発明の第6の構成にかかるトレイ
は、収納壁によって形成された収納部を備え、前記収納
部に半導体電子部品を収納して使用するトレイであっ
て、前記収納部は横がX、縦がYの略長方形であり、前
記収納部に収納される前記半導体電子部品は横がa、縦
がbの略長方形であり、横方向及び縦方向のクリアラン
スをそれぞれC1,C2(C1>0,C2>0)、前記収納
部内での前記半導体電子部品の最大回転角をθとしたと
き、以下の関係を満足することを特徴とする。
A tray according to a sixth aspect of the present invention includes a storage section formed by a storage wall, and is a tray for storing and using semiconductor electronic components in the storage section. The semiconductor electronic component housed in the housing portion is a substantially rectangular shape having a width of a and a height of b, and the clearances in the horizontal and vertical directions are respectively C1, C2. (C1> 0, C2> 0), and the following relationship is satisfied when the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the housing portion is θ.

【0036】[0036]

【数12】a+C1≦X≦a・cosθ+b・sinθ b+C2≦Y≦b・cosθ+a・sinθA + C1 ≦ X ≦ a · cos θ + b · sin θ b + C2 ≦ Y ≦ b · cos θ + a · sin θ

【0037】かかる構成によれば、トレイに収納された
電子部品を吸着ノズルに吸着して処理ステージに移載
し、また、処理ステージ上の電子部品を吸着ノズルに吸
着してトレイの所定の収納部に収納するという一連の動
作を問題なく行なうことができる。
According to this configuration, the electronic components stored in the tray are sucked by the suction nozzles and transferred to the processing stage, and the electronic components on the processing stage are sucked by the suction nozzles and stored in the tray. A series of operations of storing in a unit can be performed without any problem.

【0038】また、本発明の第1の構成にかかるトレイ
の設計方法は、略矩形状(正方形、長方形のいずれをも
含む。以下同じ。)の半導体電子部品を収納する略矩形
状の収納部を有するトレイの設計方法であって、収納さ
れる前記半導体電子部品に対して縦方向及び横方向に所
定のクリアランスを有するように、前記収納部の大きさ
の下限値を決定することを特徴とする。かかる構成によ
れば、吸着ノズルによる電子部品の収納部への収納動作
を確実に行なうことが可能なトレイを提供することがで
きる。
Further, the tray designing method according to the first configuration of the present invention is a substantially rectangular storage portion for storing a substantially rectangular semiconductor electronic component (including both a square and a rectangle; the same applies hereinafter). A method of designing a tray comprising: determining a lower limit value of the size of the storage unit so as to have a predetermined clearance in a vertical direction and a horizontal direction with respect to the stored semiconductor electronic component. I do. According to this configuration, it is possible to provide a tray that can reliably perform an operation of storing the electronic component in the storage unit by the suction nozzle.

【0039】また、本発明の第2の構成にかかるトレイ
の設計方法は、略矩形状の半導体電子部品を収納する略
矩形状の収納部を有するトレイの設計方法であって、前
記収納部内での前記半導体電子部品の最大回転角が所定
値以下となるように、前記収納部の大きさの上限値を決
定することを特徴とする。かかる構成によれば、収納部
に収納された電子部品を吸着ノズルで吸着して処理ステ
ージに問題なく移載することが可能なトレイを提供する
ことができる。
A tray designing method according to a second configuration of the present invention is a tray designing method having a substantially rectangular storage portion for storing a substantially rectangular semiconductor electronic component, wherein the tray is provided within the storage portion. The upper limit value of the size of the housing portion is determined so that the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component is equal to or less than a predetermined value. According to this configuration, it is possible to provide a tray capable of sucking the electronic components stored in the storage unit with the suction nozzle and transferring the electronic components to the processing stage without any problem.

【0040】また、本発明の第3の構成にかかるトレイ
の設計方法は、略矩形状の半導体電子部品を収納する略
矩形状の収納部を有するトレイの設計方法であって、収
納される前記半導体電子部品に対して縦方向及び横方向
に所定のクリアランスを有するように前記収納部の大き
さの下限値を決定し、前記収納部内での前記半導体電子
部品の最大回転角が所定値以下となるように前記収納部
の大きさの上限値を決定することを特徴とする。かかる
構成によれば、トレイに収納された電子部品を吸着ノズ
ルに吸着して処理ステージに移載し、また、処理ステー
ジ上の電子部品を吸着ノズルに吸着してトレイの所定の
収納部に収納するという一連の動作を問題なく行なうこ
とが可能なトレイを提供することができる。また、本設
計方法に従って収納部の大きさを適当な間隔で段階的に
変えた有限個のトレイを準備しておけば、どのようなサ
イズの電子部品に対してもこれら有限個のトレイの中に
最適なトレイが少なくとも一つは必ず存在する。従っ
て、電子部品のサイズの数だけトレイを準備する必要が
なくなる。
A third aspect of the present invention is a tray designing method for designing a tray having a substantially rectangular storage portion for storing a substantially rectangular semiconductor electronic component. The lower limit value of the size of the storage portion is determined so as to have a predetermined clearance in the vertical direction and the horizontal direction with respect to the semiconductor electronic component, and the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the storage portion is equal to or less than a predetermined value. The upper limit value of the size of the storage portion is determined so as to be as follows. According to this configuration, the electronic components stored in the tray are suctioned by the suction nozzle and transferred to the processing stage, and the electronic components on the processing stage are suctioned by the suction nozzle and stored in the predetermined storage portion of the tray. It is possible to provide a tray capable of performing a series of operations without performing any problem. By preparing a finite number of trays in which the sizes of the storage units are changed stepwise at appropriate intervals according to the present design method, any number of electronic components of any size can be stored in these finite number of trays. There is always at least one tray that is most suitable for the application. Therefore, it is not necessary to prepare trays by the number of electronic components.

【0041】[0041]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を示し
ながら本発明を具体的に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to the embodiments of the present invention.

【0042】(実施の形態1)電子部品及びトレイの収
納部の平面形状が、いずれも正方形の場合について説明
する。
(Embodiment 1) A case will be described in which the planar shape of each of the storage portions for the electronic components and the tray is square.

【0043】トレイの収納部の対向する収納壁の間隔
は、電子部品の外径寸法より所定量だけ大きく形成され
る。電子部品の外周端とこれと対向する収納壁の内壁面
との隙間(「クリアランス」)により、電子部品は収納
部内で一方に片寄ったり回転したりする。
The space between the opposite storage walls of the storage portion of the tray is formed larger by a predetermined amount than the outer diameter of the electronic component. Due to the gap (“clearance”) between the outer peripheral end of the electronic component and the inner wall surface of the storage wall facing the electronic component, the electronic component is shifted or rotated to one side in the storage portion.

【0044】図1はトレイの収納部に収納された電子部
品が一方に片寄った状態を示した拡大平面図である。ま
た、図2はトレイの収納部に収納された電子部品が最も
大きく回転した状態を示した拡大平面図である。図1、
図2において、10は平面形状が正方形の電子部品、2
1は平面形状が正方形のトレイの収納部、22はトレイ
の収納壁である。また、図1においてCはクリアラン
ス、図2においてθは電子部品10の外周面とトレイの
収納壁22の内面とのなす角(以下、「回転角」とい
う。θ≦45゜)である。
FIG. 1 is an enlarged plan view showing a state in which the electronic components stored in the storage portion of the tray are shifted to one side. FIG. 2 is an enlarged plan view showing a state in which the electronic components stored in the storage portion of the tray have rotated most. Figure 1,
In FIG. 2, reference numeral 10 denotes an electronic component having a square planar shape;
Reference numeral 1 denotes a tray storage section having a square planar shape, and reference numeral 22 denotes a tray storage wall. In FIG. 1, C is the clearance, and in FIG. 2, θ is the angle between the outer peripheral surface of the electronic component 10 and the inner surface of the tray storage wall 22 (hereinafter referred to as “rotation angle”; θ ≦ 45 °).

【0045】図3は、バンプボンディング装置(図10
参照)の処理ステージ上の電子部品を吸着ノズルに吸着
させてトレイまで搬送してトレイの収納部に収納する動
作を、クリアランスCを種々に変えて行なった場合の、
クリアランスCと収納動作の成功率との関係を示した図
である。電子部品としては一辺が6mmのものと、一辺
が12mmのものを用い、それぞれの電子部品について
クリアランスを変えて各10万回行なった。いずれの電
子部品についても図3に示す結果が得られた。クリアラ
ンスが小さくなると、図16に示したように、電子部品
が吸着ノズルにわずかにずれて吸着されても、電子部品
を収納部に収納することができなくなる。図3の結果か
ら、クリアランスが0.5mm未満になると、収納動作
の成功率が急激に下降することが分かる。
FIG. 3 shows a bump bonding apparatus (FIG. 10).
When the clearance C is variously changed, the electronic component on the processing stage is sucked by the suction nozzle, transported to the tray, and stored in the storage section of the tray.
FIG. 9 is a diagram illustrating a relationship between a clearance C and a success rate of a storing operation. As the electronic parts, one having a side of 6 mm and one having a side of 12 mm were used, and the clearance was changed for each electronic part 100,000 times each. The results shown in FIG. 3 were obtained for all the electronic components. When the clearance is small, as shown in FIG. 16, even if the electronic component is slightly shifted and sucked by the suction nozzle, the electronic component cannot be stored in the storage unit. From the results in FIG. 3, it can be seen that when the clearance is less than 0.5 mm, the success rate of the storing operation sharply decreases.

【0046】図4は、トレイの収納部に収納された電子
部品を吸着ノズルに吸着させる動作を、電子部品の回転
角θを変えて行なった場合の、回転角θと吸着動作の成
功率との関係を示した図である。なお、ここで吸着動作
の成功とは、吸着ノズルの傾斜面の修正機能により電子
部品の回転が修正されて、処理ステージに所定の向きに
問題なく移載されることをいう。電子部品としては一辺
が6mmのものと、一辺が12mmのものを用い、それ
ぞれの電子部品について回転角を変えて各10万回行な
った。いずれの電子部品についても図4に示す結果が得
られた。回転角が大きくなると傾斜面の修正機能が発揮
されず、電子部品は図15に示した状態で吸着されてし
まい、処理ステージ上に回転したままの状態で載置され
てしまう。図4の結果から、回転角が30度を超える
と、電子部品の回転角は修正されず、吸着ノズルによる
移載後の工程に支障を来たすことが分かる。
FIG. 4 shows the rotation angle θ and the success rate of the suction operation when the operation of sucking the electronic components stored in the tray storage portion by the suction nozzle is performed while changing the rotation angle θ of the electronic components. FIG. Here, the success of the suction operation means that the rotation of the electronic component is corrected by the correction function of the inclined surface of the suction nozzle, and the electronic component is transferred to the processing stage in a predetermined direction without any problem. As the electronic components, one having a side of 6 mm and one having a side of 12 mm were used, and each electronic component was performed 100,000 times while changing the rotation angle. The results shown in FIG. 4 were obtained for all the electronic components. When the rotation angle is increased, the function of correcting the inclined surface is not exhibited, and the electronic component is sucked in the state shown in FIG. 15 and is placed on the processing stage while being rotated. From the results in FIG. 4, it can be seen that when the rotation angle exceeds 30 degrees, the rotation angle of the electronic component is not corrected, which hinders the process after transfer by the suction nozzle.

【0047】以上の結果から、トレイに収納された電子
部品を吸着ノズルによって吸着して処理ステージに移載
し、処理ステージ上で所定の工程を行なった後、再び吸
着ノズルに吸着してトレイの所定の収納部に収納すると
いう一連の動作を問題なく行なうためには、電子部品に
対して収納部のクリアランスが0.5mm以上であり、
かつ回転角θが30度以下となるように設計された収納
部を有するトレイを使用することが必要である。
From the above results, the electronic components housed in the tray are sucked by the suction nozzle and transferred to the processing stage. After performing a predetermined process on the processing stage, the electronic components are suctioned again by the suction nozzle and the tray In order to perform a series of operations of storing in a predetermined storage part without any problem, the clearance of the storage part with respect to the electronic component is 0.5 mm or more,
In addition, it is necessary to use a tray having a storage unit designed so that the rotation angle θ is 30 degrees or less.

【0048】図5は、一辺がYの正方形の収納部21
に、一辺がaの正方形の電子部品10が収納されている
状態を示した平面図である。実線で示した電子部品10
はその4隅が収納壁の内壁に接するように最大回転角θ
で回転している状態を示し、2点鎖線で示した電子部品
10は収納部の左下隅に片寄った状態を示している。
FIG. 5 shows a storage section 21 having a square shape of Y on one side.
FIG. 3 is a plan view showing a state in which a square electronic component 10 having a side a is housed. Electronic component 10 shown by solid line
Is the maximum rotation angle θ so that the four corners contact the inner wall of the storage wall
Indicates a rotating state, and indicates a state in which the electronic component 10 indicated by the two-dot chain line is offset to the lower left corner of the storage unit.

【0049】ここで、吸着ノズルによる電子部品10の
収納部21への収納動作を確実に行なうためには、収納
部の対向する収納壁の間隔Yが電子部品に対して所定の
クリアランスCを有するように、即ちY≧a+Cを満足
するように構成する必要がある。特に図3で説明したよ
うにクリアランスCが0.5mm以上であることが好ま
しいから、Y≧a+0.5(mm)を満足することが好
ましい。
Here, in order to reliably perform the operation of storing the electronic component 10 in the storage portion 21 by the suction nozzle, the interval Y between the storage walls facing the storage portion has a predetermined clearance C with respect to the electronic component. That is, it is necessary to configure so as to satisfy Y ≧ a + C. In particular, as described with reference to FIG. 3, since the clearance C is preferably 0.5 mm or more, it is preferable to satisfy Y ≧ a + 0.5 (mm).

【0050】また、収納部21に収納された電子部品1
0を吸着ノズルで吸着して処理ステージに所定の向きに
問題なく移載するためには、収納部の対向する収納壁の
間隔Yを電子部品の最大回転角θが所定の範囲以下にな
るように、即ちY≦a・sinθ+a・cosθを満足するよ
うに構成する必要がある。特に図4で説明したように最
大回転角θが30度以下であることが好ましいから、Y
≦a・sin30°+a・cos30°を満足することが好ま
しい。
The electronic component 1 stored in the storage section 21
In order to adsorb 0 by the adsorption nozzle and transfer it to the processing stage in a predetermined direction without any problem, the interval Y between the opposing storage walls of the storage unit is set so that the maximum rotation angle θ of the electronic component is equal to or smaller than a predetermined range. In other words, it is necessary to configure so as to satisfy Y ≦ a · sin θ + a · cos θ. Particularly, as described with reference to FIG. 4, it is preferable that the maximum rotation angle θ is 30 degrees or less.
It is preferable to satisfy ≦ a · sin 30 ° + a · cos 30 °.

【0051】以上より、平面形状が一辺がaの正方形で
ある電子部品に好適なトレイの収納部の平面形状は、下
記式を満足するY(mm)を一辺とする正方形である。
As described above, the planar shape of the storage portion of the tray suitable for an electronic component whose planar shape is a square whose one side is a is a square whose side is Y (mm) which satisfies the following expression.

【0052】[0052]

【数13】 a+0.5≦Y≦a・sin30°+a・cos30°A + 0.5 ≦ Y ≦ a · sin 30 ° + a · cos 30 °

【0053】上記[数13]を変形すると、以下のよう
になる。
When the above [Equation 13] is modified, the following is obtained.

【数14】 Y/(sin30°+cos30°)≦a≦Y−0.5## EQU14 ## Y / (sin 30 ° + cos 30 °) ≦ a ≦ Y−0.5

【0054】上記[数14]から明らかなように、Yが
ある特定の値Y1であるときに[数14]を満足するa
は一定の幅を有する。これは、ある大きさの収納部を有
するトレイに適合する電子部品のサイズに幅があること
を意味する。即ち、本発明によれば、電子部品のサイズ
の数だけ、電子部品のサイズに応じてトレイを準備する
必要はない。適当な間隔で収納部の大きさYを段階的に
変えた有限個のトレイを準備しておけば、電子部品のサ
イズaがどのように変わっても、いずれかのトレイに必
ず適合する。よって、有限個のトレイで全てのサイズの
電子部品に対して、常にトレイに収納された電子部品を
吸着ノズルによって吸着して処理ステージに移載し、処
理ステージ上で所定の工程を行なった後、再び吸着ノズ
ルに吸着してトレイの所定の収納部に収納するという一
連の動作を問題なく行なうことができる。この結果、ト
レイの保管スペースを少なくでき、またトレイを多数製
作することによるコストの上昇を抑えることができる。
As is apparent from the above [Equation 14], a satisfying [Equation 14] when Y is a specific value Y1.
Has a constant width. This means that there is a wide range of electronic component sizes that fit in a tray with a certain size of storage. That is, according to the present invention, it is not necessary to prepare trays in accordance with the size of the electronic components by the number of the sizes of the electronic components. If a finite number of trays in which the size Y of the storage section is changed stepwise at appropriate intervals are prepared, no matter how the size a of the electronic component changes, the tray always fits any one of the trays. Therefore, for electronic components of all sizes in a finite number of trays, the electronic components stored in the tray are always sucked by the suction nozzle and transferred to the processing stage, and after performing a predetermined process on the processing stage, Thus, a series of operations of sucking again into the suction nozzle and storing it in the predetermined storage portion of the tray can be performed without any problem. As a result, the storage space for the trays can be reduced, and the increase in cost due to manufacturing a large number of trays can be suppressed.

【0055】(実施の形態2)電子部品の平面形状が横
a×縦bの長方形であり、トレイの収納部が横X×縦Y
の長方形である場合について説明する。ここで、X=a
+C1、Y=b+C2(C1,C2はそれぞれ横方向及び縦
方向のクリアランス)とする。
(Embodiment 2) The planar shape of the electronic component is a rectangle of width a × length b, and the storage portion of the tray is width X × length Y.
Will be described. Where X = a
+ C1, Y = b + C2 (C1, C2 are clearances in the horizontal and vertical directions, respectively).

【0056】本実施の形態の場合も実施の形態1と同様
に、クリアランスC1,C2が0.5mm以上であること
が好ましい。クリアランスC1,C2がこれより小さい
と、電子部品が吸着ノズルにわずかにずれて吸着されて
も、電子部品を収納部に収納することが困難となって、
収納動作の成功率が急激に下降する。
In the present embodiment, as in the first embodiment, it is preferable that the clearances C1, C2 are 0.5 mm or more. If the clearances C1 and C2 are smaller than this, it becomes difficult to store the electronic components in the storage section even if the electronic components are slightly shifted by the suction nozzle and sucked.
The success rate of the storing operation drops sharply.

【0057】また、実施の形態1と同様に、収納部内で
の電子部品の回転角θが30度以下であることが好まし
い。回転角θがこれより大きくなると、吸着ノズルの傾
斜面の修正機能が発揮されず、電子部品が処理ステージ
上に回転したままの状態で載置されてしまい、吸着ノズ
ルによる移載後の工程に支障を来たす。
Also, as in the first embodiment, it is preferable that the rotation angle θ of the electronic component in the storage portion is 30 degrees or less. If the rotation angle θ is larger than this, the function of correcting the inclined surface of the suction nozzle is not exhibited, and the electronic component is mounted on the processing stage while being rotated, and the process after transfer by the suction nozzle is performed. It causes trouble.

【0058】従って、トレイに収納された電子部品を吸
着ノズルによって吸着して処理ステージに移載し、処理
ステージ上で所定の工程を行なった後、再び吸着ノズル
に吸着してトレイの所定の収納部に収納するという一連
の動作を問題なく行なうためには、電子部品に対してト
レイの収納部のクリアランスC1,C2が0.5mm以上
であり、かつ回転角θが30度以下となるように設計さ
れた収納部を有するトレイを使用することが必要であ
る。
Therefore, the electronic components stored in the tray are sucked by the suction nozzle and transferred to the processing stage, and after performing a predetermined process on the processing stage, the electronic components are suctioned again by the suction nozzle and stored in the tray in a predetermined manner. In order to perform a series of operations of storing the components in the tray without any problem, the clearances C1 and C2 of the tray storage portion with respect to the electronic components should be 0.5 mm or more and the rotation angle θ should be 30 degrees or less. It is necessary to use trays with designed storage.

【0059】図6は、横がX、縦がYの長方形の収納部
21に、横がa、縦がbの長方形の電子部品10が収納
されている状態を示した平面図である。実線で示した電
子部品10はその4隅が収納壁の内壁に接するように最
大回転角θで回転している状態を示し、2点差線で示し
た電子部品10は収納部の左下隅に片寄った状態を示し
ている。
FIG. 6 is a plan view showing a state in which a rectangular electronic component 10 having a width a and a length b is stored in a rectangular storage portion 21 having a width X and a length Y. The electronic component 10 indicated by a solid line indicates a state in which the four corners are rotated at the maximum rotation angle θ so that the four corners contact the inner wall of the storage wall, and the electronic component 10 indicated by the two-dotted line is offset to the lower left corner of the storage unit. It shows the state where it was turned on.

【0060】ここで、吸着ノズルによる電子部品10の
収納部21への収納動作を確実に行なうためには、収納
部の対向する収納壁の間隔X,Yが電子部品に対して所
定のクリアランスC1,C2を有するように、即ちX≧a
+C1、かつ、Y≧b+C2を満足するように構成する必
要がある。特にクリアランスC1,C2がいずれも0.5
mm以上であることが好ましいから、X≧a+0.5
(mm)、かつ、Y≧b+0.5(mm)を満足するこ
とが好ましい。
Here, in order to reliably perform the operation of storing the electronic component 10 in the storage portion 21 by the suction nozzle, the distances X and Y between the storage walls facing the storage portion should be a predetermined clearance C1 with respect to the electronic component. , C2, ie, X ≧ a
+ C1 and Y≥b + C2. Especially, clearance C1 and C2 are both 0.5.
mm or more, X ≧ a + 0.5
(Mm) and Y ≧ b + 0.5 (mm).

【0061】また、収納部21に収納された電子部品1
0を吸着ノズルで吸着して処理ステージに所定の向きに
問題なく移載するためには、収納部の対向する収納壁の
間隔X,Yを電子部品の最大回転角θが所定の範囲以下
になるように、即ちX≦a・cosθ+b・sinθ、かつY
≦b・cosθ+a・sinθを満足するように構成する必要
がある。特に最大回転角θが30度以下であることが好
ましいから、X≦a・cos30°+b・sin30°、かつ
Y≦b・cos30°+a・sin30°を満足することが好
ましい。
The electronic component 1 stored in the storage section 21
In order to adsorb 0 with the suction nozzle and transfer it to the processing stage in a predetermined direction without any problem, the interval X, Y between the opposing storage walls of the storage unit must be set so that the maximum rotation angle θ of the electronic component is less than a predetermined range. That is, X ≦ a · cos θ + b · sin θ, and Y
It is necessary to be configured to satisfy ≦ b · cos θ + a · sin θ. In particular, since the maximum rotation angle θ is preferably 30 degrees or less, it is preferable to satisfy X ≦ a · cos 30 ° + b · sin 30 ° and Y ≦ b · cos 30 ° + a · sin 30 °.

【0062】以上より、平面形状が横a×縦bの長方形
である電子部品に好適なトレイの収納部の平面形状は、
下記式を満足する横X×縦Y(mm)の長方形である。
As described above, the planar shape of the tray storage portion suitable for an electronic component having a rectangular shape of horizontal a × vertical b is as follows.
It is a rectangle of width X × length Y (mm) that satisfies the following expression.

【0063】[0063]

【数15】 a+0.5≦X≦a・cos30°+b・sin30° b+0.5≦Y≦b・cos30°+a・sin30°A + 0.5 ≦ X ≦ a · cos 30 ° + b · sin 30 ° b + 0.5 ≦ Y ≦ b · cos 30 ° + a · sin 30 °

【0064】本実施の形態においても、実施の形態1と
同様に、適当な間隔で収納部の大きさX,Yを段階的に
変えた有限個のトレイを準備しておけば、電子部品のサ
イズa,bがどのように変わっても、いずれかのトレイ
に必ず適合する。よって、有限個のトレイで全てのサイ
ズの電子部品に対して、常にトレイに収納された電子部
品を吸着ノズルによって吸着して処理ステージに移載
し、処理ステージ上で所定の工程を行なった後、再び吸
着ノズルに吸着してトレイの所定の収納部に収納すると
いう一連の動作を問題なく行なうことができる。この結
果、トレイの保管スペースを少なくでき、またトレイを
多数製作することによるコストの上昇を抑えることがで
きる。
In the present embodiment, as in the first embodiment, if a finite number of trays in which the sizes X and Y of the storage portions are changed stepwise at appropriate intervals are prepared, electronic components can be manufactured. Regardless of how the sizes a and b change, they always fit in any of the trays. Therefore, for electronic components of all sizes in a finite number of trays, the electronic components stored in the tray are always sucked by the suction nozzle and transferred to the processing stage, and after performing a predetermined process on the processing stage, Thus, a series of operations of sucking again into the suction nozzle and storing it in the predetermined storage portion of the tray can be performed without any problem. As a result, the storage space for the trays can be reduced, and the increase in cost due to manufacturing a large number of trays can be suppressed.

【0065】(実施の形態3)図7は本実施の形態のト
レイの構成及び機能を説明するための図であり、図7
(a)はトレイの平面図、図7(b)はトレイに収納さ
れた電子部品が吸着される状態を示した断面図である。
図7において、30はトレイ、31は電子部品を収納す
る収納部、32は収納壁、33は貫通孔、35は面取り
である。
(Embodiment 3) FIG. 7 is a diagram for explaining the configuration and functions of a tray according to this embodiment.
FIG. 7A is a plan view of the tray, and FIG. 7B is a cross-sectional view illustrating a state where electronic components housed in the tray are sucked.
In FIG. 7, 30 is a tray, 31 is a storage section for storing electronic components, 32 is a storage wall, 33 is a through hole, and 35 is a chamfer.

【0066】図7(a)に示したように、本実施の形態
のトレイ30は、外周面の4隅のうちの1つに面取り3
5を有している。面取り35はトレイの向きを確認する
ための目印として機能する。面取り35の位置と収納さ
れる電子部品の向きとに規則性をもたせておけば、トレ
イの向きを制御するだけで、トレイから取り出された電
子部品の向きを常に一定の向きに揃えることができる。
特に本発明のトレイは収納部内の電子部品の最大回転角
が一定角度以下に抑えられているので、両者の相乗効果
によってトレイから取り出された電子部品の向きの正確
性は一段と向上する。
As shown in FIG. 7A, the tray 30 of the present embodiment has a chamfer 3 at one of the four corners of the outer peripheral surface.
Five. The chamfer 35 functions as a mark for confirming the direction of the tray. If the position of the chamfer 35 and the direction of the stored electronic components have regularity, the electronic components taken out from the tray can always be aligned in a fixed direction only by controlling the direction of the tray. .
In particular, in the tray of the present invention, since the maximum rotation angle of the electronic components in the storage portion is suppressed to a certain angle or less, the accuracy of the orientation of the electronic components taken out of the tray is further improved by a synergistic effect of the both.

【0067】また、トレイ30は、各収納部31の底面
の略中央部に貫通孔33が設けられている。図7(b)
に示すように、貫通孔33は、電子部品10を収納した
ときに電子部品10の底面内に位置するような位置及び
大きさで形成される。収納部31に収納された電子部品
10を吸着ノズル910で吸引するとき、貫通孔33の
存在により電子部品10の底面側が負圧になることがな
い。この結果、吸着ノズル910が電子部品10を吸引
することができないといったトラブルが生じにくくな
り、例えばバンプボンディング工程では吸着ミスによる
歩留まりを向上させることができる。
The tray 30 is provided with a through hole 33 substantially at the center of the bottom surface of each storage section 31. FIG. 7 (b)
As shown in (2), the through-hole 33 is formed at a position and a size such that the through-hole 33 is located within the bottom surface of the electronic component 10 when the electronic component 10 is stored. When the electronic component 10 stored in the storage unit 31 is sucked by the suction nozzle 910, the bottom surface of the electronic component 10 does not become negative pressure due to the presence of the through-hole 33. As a result, a trouble that the suction nozzle 910 cannot suction the electronic component 10 is less likely to occur, and for example, in a bump bonding process, the yield due to a suction error can be improved.

【0068】図8は本実施の形態のトレイの別の構成を
示した図であり、図8(a)は平面図、図8(b)は図
8(a)のI−Iでの矢印方向から見た断面図、図8
(c)はさらに別の構成を示した、図8(b)と同様の
方向から見た断面図である。図8において、40はトレ
イ、41は電子部品を収納する収納部、42は収納壁、
44,44’は収納部41から収納壁42を横切るよう
に形成された溝、45は面取りである。
FIG. 8 is a diagram showing another configuration of the tray according to the present embodiment. FIG. 8 (a) is a plan view, and FIG. 8 (b) is an arrow II in FIG. 8 (a). Sectional view seen from the direction, FIG. 8
FIG. 9C is a cross-sectional view showing another configuration, viewed from the same direction as FIG. 8B. 8, 40 is a tray, 41 is a storage unit for storing electronic components, 42 is a storage wall,
Reference numerals 44 and 44 'denote grooves formed so as to cross the storage wall 42 from the storage part 41, and reference numeral 45 denotes a chamfer.

【0069】図8(a),(b)に示したように、トレ
イ40は、各収納部41の4隅の収納壁42に溝44を
形成してある。従って、収納部41に収納された電子部
品を吸着ノズルで吸引するとき、溝44を介して電子部
品の周囲に容易に空気が回り込むことができるので、電
子部品の底面側が負圧になりにくい。この結果、吸着ノ
ズルが電子部品を吸引することができないといったトラ
ブルが生じにくくなる。
As shown in FIGS. 8A and 8B, the tray 40 has grooves 44 formed in the storage walls 42 at the four corners of each storage portion 41. Therefore, when the electronic component stored in the storage section 41 is sucked by the suction nozzle, the air can easily flow around the electronic component through the groove 44, so that the bottom side of the electronic component does not easily become negative pressure. As a result, a trouble that the suction nozzle cannot suction the electronic component is less likely to occur.

【0070】なお、図8(c)に示すように、溝44’
を深く形成して、収納部41の底面にも溝44’が形成
されるようにすると、電子部品の底面側への空気の回り
込みがより良好となるので好ましい。
Note that, as shown in FIG.
Is formed deeply so that the groove 44 ′ is also formed on the bottom surface of the storage portion 41, since air wrap around to the bottom surface side of the electronic component becomes better, which is preferable.

【0071】なお、本例においても、図8(a)に示し
たように、トレイの向きを確認するための面取り45が
形成されている。
In this example, as shown in FIG. 8A, a chamfer 45 for confirming the direction of the tray is formed.

【0072】図9は本実施の形態のトレイのさらに別の
構成を示した平面図である。図9に示したように、本実
施の形態のトレイ50は、各収納部51を囲む4辺の収
納壁52に、収納壁52を横切るように溝54を形成し
てある。溝の形成位置が異なる以外は図8のトレイ40
と同様である。本例のトレイ50も図8のトレイ40と
同様に、溝54を介して電子部品の周囲に容易に空気が
回り込むことができるので、電子部品の底面側が負圧に
なりにくい。この結果、吸着ノズルが電子部品を吸引す
ることができないといったトラブルが生じにくくなる。
FIG. 9 is a plan view showing still another configuration of the tray of the present embodiment. As shown in FIG. 9, in the tray 50 of the present embodiment, grooves 54 are formed in four sides of the storage walls 52 surrounding the storage parts 51 so as to cross the storage walls 52. The tray 40 shown in FIG.
Is the same as 8, the air can easily flow around the electronic component through the groove 54, similarly to the tray 40 of FIG. 8, so that the bottom side of the electronic component is less likely to be under negative pressure. As a result, a trouble that the suction nozzle cannot suction the electronic component is less likely to occur.

【0073】なお、溝54の位置及び幅は収納部51に
収納する電子部品が回転してその角部が溝54に掛合し
ないように配慮して設けることが必要である。図8のト
レイ40では、溝44は収納部の4隅に設けられている
ので、これを考慮する必要はない。
The positions and widths of the grooves 54 need to be provided in consideration of the fact that the electronic parts stored in the storage portion 51 do not rotate and the corners thereof do not engage with the grooves 54. In the tray 40 shown in FIG. 8, the grooves 44 are provided at the four corners of the storage section, and it is not necessary to take this into account.

【0074】なお、本例においても、図9に示したよう
に、トレイの向きを確認するための面取り55が形成さ
れている。
In this example, as shown in FIG. 9, a chamfer 55 for confirming the direction of the tray is formed.

【0075】上記した図7〜図9のトレイでは、収納部
を形成する対向する収納壁の間隔は、収納する電子部品
の大きさに合わせて上記の実施の形態1,2に従い決定
される。
In the trays of FIGS. 7 to 9 described above, the interval between the opposite storage walls forming the storage section is determined according to the first and second embodiments according to the size of the electronic components to be stored.

【0076】また、収納部を4つ有するトレイを例に説
明したが本実施の形態はこれに限定されるものではな
く、収納部の数がこれより少なくても、また多くてもか
まわない。また、収納部の形状も正方形、長方形のいず
れであっても良い。
Further, the tray having four storage sections has been described as an example, but the present embodiment is not limited to this, and the number of storage sections may be smaller or larger. Further, the shape of the storage section may be any of a square and a rectangle.

【0077】また、トレイの向きを確認するための目印
として面取りを例に説明したが、本実施の形態はこれに
限定されず、同様の機能を有する別の構成に変更するこ
とは可能である。例えば、面取りに代えて、凹部(例え
ば、窪み、溝等)や凸部(例えば、突起、リブ状突起
等)等の形状上の目印を設けたり、印刷などによりマー
クや着色を施しても良い。また、目印の位置もトレイの
周囲壁の上面、外周面、下面等の適当な場所に設けるこ
とができる。
Also, chamfering has been described as an example of a mark for confirming the direction of the tray, but the present embodiment is not limited to this, and it is possible to change to another configuration having the same function. . For example, instead of chamfering, a mark such as a concave portion (for example, a dent or a groove) or a convex portion (for example, a protrusion or a rib-like protrusion) may be provided, or a mark or coloring may be given by printing or the like. . Further, the position of the mark can be provided at an appropriate place such as the upper surface, the outer peripheral surface, or the lower surface of the peripheral wall of the tray.

【0078】[0078]

【発明の効果】本発明によれば、トレイに収納された電
子部品を吸着ノズルに吸着して処理ステージに移載し、
また、処理ステージ上の電子部品を吸着ノズルに吸着し
てトレイの所定の収納部に収納するという一連の動作を
問題なく行なうことが可能なトレイを提供することがで
きる。
According to the present invention, the electronic components stored in the tray are sucked by the suction nozzle and transferred to the processing stage.
Further, it is possible to provide a tray capable of performing a series of operations of causing electronic components on a processing stage to be sucked by a suction nozzle and stored in a predetermined storage portion of the tray without any problem.

【0079】また、本発明の設計方法に従って収納部の
大きさを適当な間隔で段階的に変えた有限個のトレイを
準備しておけば、どのようなサイズの電子部品に対して
もこれら有限個のトレイの中に最適なトレイが少なくと
も一つは必ず存在する。従って、電子部品のサイズの数
だけトレイを準備する必要がなくなる。
Further, by preparing a finite number of trays in which the sizes of the storage portions are changed stepwise at appropriate intervals in accordance with the design method of the present invention, these finite numbers of electronic components of any size can be prepared. There is always at least one optimal tray among the individual trays. Therefore, it is not necessary to prepare trays by the number of electronic components.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 トレイの収納部に収納された電子部品が一方
に片寄った状態を示した拡大平面図である。
FIG. 1 is an enlarged plan view showing a state in which electronic components stored in a storage section of a tray are offset to one side.

【図2】 トレイの収納部に収納された電子部品が最も
大きく回転した状態を示した拡大平面図である。
FIG. 2 is an enlarged plan view showing a state in which electronic components stored in a storage portion of a tray have rotated most.

【図3】 電子部品を吸着ノズルを用いてトレイの収納
部に収納する動作を、クリアランスを種々に変えて行な
った場合の、クリアランスと収納動作の成功率との関係
を示した図である。
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the clearance and the success rate of the storing operation when the operation of storing the electronic component in the storing section of the tray using the suction nozzle is performed while changing the clearance variously.

【図4】 トレイの収納部に収納された電子部品を吸着
ノズルに吸着させる動作を、電子部品の回転角を変えて
行なった場合の、回転角と吸着動作の成功率との関係を
示した図である。
FIG. 4 shows the relationship between the rotation angle and the success rate of the suction operation when the operation of sucking the electronic component stored in the storage portion of the tray to the suction nozzle is performed while changing the rotation angle of the electronic component. FIG.

【図5】 一辺がYの正方形の収納部に、一辺がaの正
方形の電子部品が収納されている状態を示した平面図で
ある。
FIG. 5 is a plan view showing a state in which a square electronic component having a side a is stored in a storage portion having a square Y. FIG.

【図6】 横がX、縦がYの長方形の収納部に、横が
a、縦がbの長方形の電子部品が収納されている状態を
示した平面図である。
FIG. 6 is a plan view showing a state in which a rectangular electronic component having a width of a and a height of b is stored in a rectangular storage portion having a width of X and a height of Y;

【図7】 本発明の実施の形態3のトレイの構成及び機
能を説明するための図であり、図7(a)はトレイの平
面図、図7(b)はトレイに収納された電子部品が吸着
される状態を示した断面図である。
FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining the configuration and functions of a tray according to a third embodiment of the present invention. FIG. 7A is a plan view of the tray, and FIG. 7B is an electronic component housed in the tray. FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which is absorbed.

【図8】 本発明の実施の形態3のトレイの別の構成を
示した図であり、図8(a)は平面図、図8(b)は図
8(a)のI−Iでの矢印方向から見た断面図、図8
(c)はさらに別の構成を示した断面図である。
8A and 8B are diagrams illustrating another configuration of the tray according to the third embodiment of the present invention. FIG. 8A is a plan view, and FIG. 8B is a view taken along a line II in FIG. 8A. Sectional view seen from the direction of the arrow, FIG.
(C) is sectional drawing which showed another structure.

【図9】 本発明の実施の形態3のトレイのさらに別の
構成を示した平面図である。
FIG. 9 is a plan view showing still another configuration of the tray according to the third embodiment of the present invention.

【図10】 電子部品の電極にバンプを形成するための
バンプボンディング装置の一例の概略斜視図である。
FIG. 10 is a schematic perspective view of an example of a bump bonding apparatus for forming a bump on an electrode of an electronic component.

【図11】 従来のトレイの一例の概略構成を示した斜
視図である。
FIG. 11 is a perspective view showing a schematic configuration of an example of a conventional tray.

【図12】 電子部品を吸着する吸着ノズルの一例の概
略図であり、図12(a)は断面図、図12(b)は底
面図である。
12A and 12B are schematic views of an example of a suction nozzle for sucking an electronic component, wherein FIG. 12A is a cross-sectional view and FIG. 12B is a bottom view.

【図13】 トレイの収納部内に収納された電子部品を
吸着ノズルで吸着する様子を示した断面図である。
FIG. 13 is a cross-sectional view illustrating a state in which electronic components housed in a housing section of the tray are sucked by a suction nozzle.

【図14】 収納部内で一方に大きく片寄っていた電子
部品を吸着した状態を示した側面図である。
FIG. 14 is a side view showing a state where an electronic component that has been largely deviated to one side in the storage unit is sucked.

【図15】 収納部内で大きく回転していた電子部品を
吸着した状態を示した図であり、図15(a)は側面
図、図15(b)は底面図である。
15A and 15B are diagrams illustrating a state where an electronic component that has been largely rotated in the storage unit is sucked, wherein FIG. 15A is a side view and FIG. 15B is a bottom view.

【図16】 わずかにずれて吸着ノズルに吸着された電
子部品がトレイの収納部に搬送されてきた状態を示した
断面図である。
FIG. 16 is a cross-sectional view illustrating a state in which the electronic component sucked by the suction nozzle with a slight shift is conveyed to the storage unit of the tray.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 電子部品 21 収納部 22 収納壁 30 トレイ 31 収納部 32 収納壁 33 貫通孔 35 面取り 40 トレイ 41 収納部 42 収納壁 44,44’ 溝 45 面取り 50 トレイ 51 収納部 52 収納壁 54 溝 55 面取り 900,900a,900b トレイ 901 収納部 902 収納壁 910 吸着ノズル 911 吸着面 912a,912b 傾斜面 913 吸引孔 914 位置決め用ノッチ 915 空気の吸引方向 918 電子部品 921 処理ステージ 922 移載装置 923 キャピラリー 924 金線リール DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Electronic component 21 Storage part 22 Storage wall 30 Tray 31 Storage part 32 Storage wall 33 Through hole 35 Chamfer 40 Tray 41 Storage part 42 Storage wall 44,44 'Groove 45 Chamfer 50 Tray 51 Storage part 52 Storage wall 54 Groove 55 Chamfer 900 , 900a, 900b Tray 901 Storage unit 902 Storage wall 910 Suction nozzle 911 Suction surface 912a, 912b Inclined surface 913 Suction hole 914 Positioning notch 915 Air suction direction 918 Electronic component 921 Processing stage 922 Transfer device 923 Capillary 924 Gold wire reel

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金山 真司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 3E033 AA10 DE12 GA03 3E096 AA09 BA08 BB05 CA06 FA09 FA15 FA25 GA04  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Shinji Kanayama 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F-term in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (reference) 3E033 AA10 DE12 GA03 3E096 AA09 BA08 BB05 CA06 FA09 FA15 FA25 GA04

Claims (18)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 収納壁によって形成された収納部を備
え、前記収納部に半導体電子部品を収納して使用するト
レイであって、前記収納部は一辺がYの略正方形であ
り、前記収納部に収納される前記半導体電子部品は一辺
がaの略正方形であり、縦方向及び横方向のクリアラン
スをC(C>0)としたとき、以下の関係を満足するこ
とを特徴とするトレイ。 【数1】Y≧a+C
1. A tray provided with a storage section formed by a storage wall, wherein a tray is used for storing semiconductor electronic components in the storage section, wherein the storage section has a substantially square shape with one side Y. Wherein the semiconductor electronic component accommodated in the tray is substantially square with one side a, and the following relationship is satisfied when clearances in the vertical and horizontal directions are C (C> 0). [Equation 1] Y ≧ a + C
【請求項2】 収納壁によって形成された収納部を備
え、前記収納部に半導体電子部品を収納して使用するト
レイであって、前記収納部は一辺がYの略正方形であ
り、前記収納部に収納される前記半導体電子部品は一辺
がaの略正方形であり、前記収納部内での前記半導体電
子部品の最大回転角をθとしたとき、以下の関係を満足
することを特徴とするトレイ。 【数2】Y≦a・sinθ+a・cosθ
2. A tray provided with a storage part formed by a storage wall, wherein the storage part is used to store semiconductor electronic components, wherein the storage part has a substantially square shape with one side Y. Wherein the semiconductor electronic component accommodated in the tray has a substantially square shape with one side a, and the following relationship is satisfied when the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the accommodation portion is θ. [Equation 2] Y ≦ a · sin θ + a · cos θ
【請求項3】 収納壁によって形成された収納部を備
え、前記収納部に半導体電子部品を収納して使用するト
レイであって、前記収納部は一辺がYの略正方形であ
り、前記収納部に収納される前記半導体電子部品は一辺
がaの略正方形であり、縦方向及び横方向のクリアラン
スをC(C>0)、前記収納部内での前記半導体電子部
品の最大回転角をθとしたとき、以下の関係を満足する
ことを特徴とするトレイ。 【数3】a+C≦Y≦a・sinθ+a・cosθ
3. A tray provided with a storage section formed by a storage wall, wherein the storage section is used to store semiconductor electronic components, wherein the storage section has a substantially square shape with one side Y. The semiconductor electronic component accommodated in the housing is substantially square with one side a, the vertical and horizontal clearances are C (C> 0), and the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the accommodation portion is θ. A tray which satisfies the following relationship at times. ## EQU3 ## a + C ≦ Y ≦ a · sin θ + a · cos θ
【請求項4】 前記クリアランスCが0.5mmである
請求項1又は3に記載のトレイ。
4. The tray according to claim 1, wherein the clearance C is 0.5 mm.
【請求項5】 前記最大回転角θが30°である請求項
2又は3に記載のトレイ。
5. The tray according to claim 2, wherein the maximum rotation angle θ is 30 °.
【請求項6】 収納壁によって形成された収納部を備
え、前記収納部に半導体電子部品を収納して使用するト
レイであって、前記収納部は横がX、縦がYの略長方形
であり、前記収納部に収納される前記半導体電子部品は
横がa、縦がbの略長方形であり、横方向及び縦方向の
クリアランスをそれぞれC1,C2(C1>0,C2>0)
としたとき、以下の関係を満足することを特徴とするト
レイ。 【数4】X≧a+C1 Y≧b+C2
6. A tray provided with a storage section formed by a storage wall, and storing and using semiconductor electronic components in the storage section, wherein the storage section has a substantially rectangular shape with a horizontal X and a vertical Y. The semiconductor electronic component accommodated in the accommodating portion is a substantially rectangular shape having a horizontal dimension of a and a vertical dimension of b, and the clearances in the horizontal and vertical directions are respectively C1, C2 (C1> 0, C2> 0).
And a tray satisfying the following relationship. [Expression 4] X ≧ a + C1 Y ≧ b + C2
【請求項7】 収納壁によって形成された収納部を備
え、前記収納部に半導体電子部品を収納して使用するト
レイであって、前記収納部は横がX、縦がYの略長方形
であり、前記収納部に収納される前記半導体電子部品は
横がa、縦がbの略長方形であり、前記収納部内での前
記半導体電子部品の最大回転角をθとしたとき、以下の
関係を満足することを特徴とするトレイ。 【数5】X≦a・cosθ+b・sinθ Y≦b・cosθ+a・sinθ
7. A tray provided with a storage section formed by a storage wall, and storing and using semiconductor electronic components in the storage section, wherein the storage section is a substantially rectangular shape having a horizontal X and a vertical Y. The semiconductor electronic component housed in the housing is substantially rectangular with a horizontal and b vertical, and the following relationship is satisfied when the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the housing is θ. Tray. X ≦ a · cos θ + b · sin θ Y ≦ b · cos θ + a · sin θ
【請求項8】 収納壁によって形成された収納部を備
え、前記収納部に半導体電子部品を収納して使用するト
レイであって、前記収納部は横がX、縦がYの略長方形
であり、前記収納部に収納される前記半導体電子部品は
横がa、縦がbの略長方形であり、横方向及び縦方向の
クリアランスをそれぞれC1,C2(C1>0,C2>
0)、前記収納部内での前記半導体電子部品の最大回転
角をθとしたとき、以下の関係を満足することを特徴と
するトレイ。 【数6】a+C1≦X≦a・cosθ+b・sinθ b+C2≦Y≦b・cosθ+a・sinθ
8. A tray provided with a storage portion formed by a storage wall, wherein the storage portion is used to store semiconductor electronic components, and the storage portion is substantially rectangular with a horizontal X and a vertical Y. The semiconductor electronic component accommodated in the accommodating portion has a substantially rectangular shape having a horizontal a and a vertical b, and has clearances C1 and C2 (C1> 0, C2>) in the horizontal and vertical directions, respectively.
0), wherein the following relationship is satisfied when the maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the storage section is θ. A + C1 ≦ X ≦ a · cos θ + b · sin θ b + C2 ≦ Y ≦ b · cos θ + a · sin θ
【請求項9】 前記クリアランスC1,C2がいずれも
0.5mmである請求項6又は8に記載のトレイ。
9. The tray according to claim 6, wherein the clearances C1 and C2 are both 0.5 mm.
【請求項10】 前記最大回転角θが30°である請求
項7又は8に記載のトレイ。
10. The tray according to claim 7, wherein the maximum rotation angle θ is 30 °.
【請求項11】 前記収納部の底面に貫通孔を有する請
求項1〜10のいずれかに記載のトレイ。
11. The tray according to claim 1, wherein a through hole is provided in a bottom surface of the storage section.
【請求項12】 前記収納壁を横切る溝が形成されてい
る請求項1〜10のいずれかに記載のトレイ。
12. The tray according to claim 1, wherein a groove is formed across the storage wall.
【請求項13】 前記トレイの向きを確認するための目
印が形成されている請求項1〜10のいずれかに記載の
トレイ。
13. The tray according to claim 1, wherein a mark for confirming the direction of the tray is formed.
【請求項14】 略矩形状の半導体電子部品を収納する
略矩形状の収納部を有するトレイの設計方法であって、
収納される前記半導体電子部品に対して縦方向及び横方
向に所定のクリアランスを有するように、前記収納部の
大きさの下限値を決定するトレイの設計方法。
14. A method for designing a tray having a substantially rectangular storage portion for storing a substantially rectangular semiconductor electronic component,
A tray designing method for determining a lower limit value of the size of the storage portion so as to have a predetermined clearance in a vertical direction and a horizontal direction with respect to the semiconductor electronic component to be stored.
【請求項15】 略矩形状の半導体電子部品を収納する
略矩形状の収納部を有するトレイの設計方法であって、
前記収納部内での前記半導体電子部品の最大回転角が所
定値以下となるように、前記収納部の大きさの上限値を
決定するトレイの設計方法。
15. A method of designing a tray having a substantially rectangular storage portion for storing a substantially rectangular semiconductor electronic component,
A tray designing method for determining an upper limit value of the size of the storage portion such that a maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the storage portion is equal to or less than a predetermined value.
【請求項16】 略矩形状の半導体電子部品を収納する
略矩形状の収納部を有するトレイの設計方法であって、
収納される前記半導体電子部品に対して縦方向及び横方
向に所定のクリアランスを有するように前記収納部の大
きさの下限値を決定し、前記収納部内での前記半導体電
子部品の最大回転角が所定値以下となるように前記収納
部の大きさの上限値を決定するトレイの設計方法。
16. A method for designing a tray having a substantially rectangular accommodating portion for accommodating a substantially rectangular semiconductor electronic component,
The lower limit value of the size of the storage portion is determined so as to have a predetermined clearance in the vertical direction and the horizontal direction with respect to the stored semiconductor electronic component, and a maximum rotation angle of the semiconductor electronic component in the storage portion is determined. A tray designing method for determining an upper limit value of the size of the storage portion so as to be equal to or less than a predetermined value.
【請求項17】 前記クリアランスが0.5mm以上と
なるように前記収納部の大きさの下限値を決定する請求
項14又は16に記載のトレイの設計方法。
17. The tray designing method according to claim 14, wherein the lower limit value of the size of the storage section is determined so that the clearance is 0.5 mm or more.
【請求項18】 前記最大回転角が30°以下となるよ
うに前記収納部の大きさの上限値を決定する請求項15
又は16に記載のトレイの設計方法。
18. An upper limit value of the size of the storage portion is determined so that the maximum rotation angle is 30 ° or less.
Or the tray design method according to 16.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102050280B (en) * 2009-10-30 2012-11-14 孙月卫 Box body, guide carrier for guiding the position of box body and position guiding method

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