JP2000303167A - レンズの蒸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成によって、被成膜体の複数の被成
膜面をそれぞれ成膜に適した方向に正確に向けて高品質
の成膜ができるようにした成膜装置及びレンズの蒸着装
置を提供する。 【解決手段】 真空容器１内の下部に蒸着源２を配する
と共に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを
保持するレンズ保持機構１０を配したレンズの蒸着装置
において、レンズ保持機構１０が、水平旋回フレーム１
１と多数のレンズホルダユニット２０とからなる。レン
ズホルダユニット２０には、初期位置と反転位置との間
で回動可能とされたレンズホルダと、レンズホルダを弾
性体の力で初期位置から反転位置まで回動させる反転機
構と、レンズホルダを初期位置に位置決め係止する初期
位置係止手段と、レンズホルダを反転位置に位置決め係
止する反転位置係止手段とが装備されている。更に、初
期位置係止手段の係止を水平旋回フレームの旋回動作を
利用して解除する係止解除機構５０を具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、眼鏡レン
ズ等の被成膜体に反射防止膜その他の蒸着膜等を形成す
るために使用する成膜装置及びレンズの蒸着装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】眼鏡レンズに反射防止膜を形成する場合
等には、当然のことながら、レンズの両面に反射防止膜
を形成する必要がある。又、例えば、各種の光学フィル
ターやプリズム等にフィルター作用を行う多層膜や反射
防止膜等を形成する場合にも必要な各面に所定の薄膜を
形成する必要がある。ここで、眼鏡レンズに対しての反
射防止膜の形成には、通常、真空容器を用いた蒸着装置
が採用されている。この場合、レンズの両面に反射防止
膜を形成する上での時間短縮の要請等から、レンズの片
面に反射防止膜を形成した後に、真空雰囲気を破らず
に、真空容器内でレンズを反転させて、他の面に反射防
止膜を形成するのが好ましい。

【０００３】そのために、真空容器内でレンズを反転さ
せることのできる反転機構を具備した蒸着装置が開発さ
れている。

【０００４】特開平１０−６８０６４号公報には、真空
容器の上部にモータ駆動式の反転機構を装備し、その反
転機構に対して、各レンズホルダに設けた回転軸を着脱
自在に装着し、反転機構で各レンズホルダを回転させる
ことにより、レンズホルダに保持されたレンズを反転さ
せるようにした蒸着装置が開示されている。

【０００５】また、米国特許５１３８９７４号公報に
は、真空容器の上部に設けたレンズ保持用のドームを複
数の扇形の部品に分割し、この分割した扇型の部品を、
ドームの中心部に設けたモータ駆動式の反転機構で回転
させることにより、扇形の部品に保持されたレンズを反
転させるようにした蒸着装置が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、眼鏡レンズ
などの光学レンズに反射防止膜を形成するような場合に
は、同一物を大量に生産できるよう精密に膜を形成する
必要がある。そのためには、蒸着源に対するレンズの保
持姿勢を一定に保つことが重要である。

【０００７】この点、上記公報に記載の蒸着装置では、
１個のモータ駆動式の反転機構によって全部のレンズを
反転させるようにしているため、個々のレンズホルダや
扇形部品の取り付け状態によっては、反転した際のレン
ズの保持姿勢に狂いが出る可能性がある。即ち、個別に
セットされる全部のレンズの保持姿勢を１つの反転機構
で制御することは非常に難しく、結果的に、レンズ毎に
保持姿勢が微妙に違ってしまう可能性がある。また、上
記公報の蒸着装置では、モータの回転で直接レンズを反
転させるようにしているため、反転駆動のための機構が
複雑になるという問題もある。

【０００８】また、特に前者の公報に記載の装置の場合
は、レンズホルダを１つずつ真空容器内の反転機構に装
着しなくてはならないから、レンズホルダのセットをク
リーンブース内で行うことができず、レンズにゴミが付
着する可能性が高いという問題もあった。

【０００９】本発明は、上記事情を考慮し、簡単な構成
によって、被成膜体の複数の被成膜面をそれぞれ成膜に
適した方向に正確に向けて高品質の成膜ができるように
した成膜装置及びレンズの蒸着装置を提供することを目
的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに、請求項１の発明は、成膜室内において複数の被成
膜面を有する被成膜体に成膜物質発生源から飛翔させた
成膜物質を堆積させることによって該被成膜体の複数の
被成膜面に薄膜を形成する成膜装置において、前記被成
膜体を少なくとも１つ保持する被成膜体ホルダユニット
と、前記成膜室内に設置され、前記被成膜体ホルダユニ
ットを少なくとも１つ取り付けて該被成膜体ホルダユニ
ットに保持された被成膜体を成膜に適した位置に配置す
るようにした被成膜体保持機構とを有し、前記被成膜体
ホルダユニットは、前記被成膜体を保持するとともに、
該被成膜体の姿勢を変えて複数の被成膜面をそれぞれ成
膜に適した方向に向けて切り替え固定する姿勢切替機構
を有し、前記姿勢切替機構は、前記被成膜面が成膜に適
した方向に向いた時に前記被成膜体の姿勢を少なくとも
一時的に停止させて機械的に位置決めする位置係止手段
と、該位置係止手段の係止を解除する係止解除手段とを
有することを特徴とする。

【００１１】上記発明において、被成膜体としては、表
裏に被成膜面を有する眼鏡レンズ等の光学レンズやカラ
ーフィルター、３面以上の被成膜面を有するやプリズム
等の光学部品その他、複数の被成膜面を有し、これら被
成膜面に反射防止膜や偏光膜等の一層又は多層の薄膜を
形成するもの全てが含まれる。また、成膜の手法として
は、蒸着法やスパッタリング等の化学的又は物理的成膜
法であって、成膜物質源から飛翔させた成膜物質を被成
膜体の被成膜面に堆積させることによって該被成膜面に
薄膜を形成する方法が全て含まれる。

【００１２】また、被成膜体保持機構は、被成膜体ホル
ダユニットに保持された被成膜体を成膜に適した位置に
配置するようにする機構が全て含まれる。取り付ける被
成膜体ホルダユニットは１つでもよく又複数でもよい。
例えば、頂角の大きい円錐体の周囲に等間隔で多数取り
付けるようにしてもよい。さらに、被成膜体ホルダユニ
ットの姿勢切替機構は、被成膜体を保持するとともに、
該被成膜体の姿勢を変えて複数の被成膜面をそれぞれ成
膜に適した方向に向けて切り替え固定する機構を有し、
被成膜面が成膜に適した方向に向いた時に被成膜体の姿
勢を少なくとも一時的に停止させて機械的に位置決めす
る位置係止手段及び該位置係止手段の係止を解除する係
止解除手段を有するものであれば、どのような機構でも
よい。例えば、被成膜体を回転させて姿勢を変える機
構、並びに、機械的ストッパー機構及びこのストッパー
を解除する機構等を有するものがあげられるが、同様の
機能を実現できる機構であれば原則的にどのようなもの
であってもよい。

【００１３】上記発明によれば、機械的に精密に位置決
めできる位置係止手段を用いたことによって、正確かつ
確実な位置決めがなされる。これによって、正確・確実
にかつ再現性よく各被成膜面を成膜に適した方向に向け
て成膜を行うことができるから、高品質の成膜を容易に
行うことができる。しかも、係止解除手段によって係止
を解除することにより、比較的容易に姿勢を変えて次の
被成膜面を所定の方向に正確に向けることもできる。

【００１４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、前記被成膜体ホルダユニットが、前記被成膜体の複
数の被成膜面のうち、成膜に適した方向に向いている面
を除く面を覆うカバーを有することを特徴とする。この
カバーは、１つの面に成膜をしている間、他の面に異物
が付着するおそれを防止できるものであれば、どのよう
なものであってもよい。

【００１５】さらに、請求項３の発明は、請求項１〜２
の発明において、前記被成膜体保持機構が、前記成膜物
質源に対する前記被成膜体の位置関係を成膜に適した関
係に維持しつつ所定の回転軸を中心に前記被成膜体を回
転する機構を有するものであり、かつ、前記姿勢切替機
構の係止解除手段は、前記被成膜体保持機構の回転力を
利用して前記位置係止手段の係止を解除する機構を有す
るものであることを特徴とする。

【００１６】上記構成において、被成膜体保持機構の被
成膜体を回転する機構は、所定の回転軸に回転自在に支
持されたフレーム部材に多数の被成膜体ホルダユニット
を取り付けたもの等があげられるが、上記機能を有する
ものであれば、どのような機構でもよい。また、係止解
除手段は、例えば、被成膜体保持機構を回転したとき
に、位置係止手段の所定部位が、成膜室に固定した係止
バーに当たるようにしておき、その回転力によって係止
解除の駆動を行うようにした機構等があげられる。この
場合、係止バーは位置係止手段毎に設けてもよいし、１
つの係止バーが回転につれて次々と位置係止手段に当た
るようにしておき、順次係止解除を行うようにしてもよ
い。

【００１７】被成膜体を回転する機構を設けたことによ
り、複数の被成膜体に対する成膜条件の平均化等を行う
ことができ、成膜むらが生ずるのを防止してより均一な
成膜を可能としている。また、この回転力を利用して係
止解除を行うので機構の単純化が可能になる。

【００１８】請求項４の発明は、成膜室内において表裏
面を被成膜面とする被成膜体に成膜物質発生源から飛翔
させた成膜物質を堆積させることによって該被成膜体の
表裏面に薄膜を形成する成膜装置において、前記被成膜
体を少なくとも１つ保持する被成膜体ホルダユニット
と、前記成膜室内に設置され、前記被成膜体ホルダユニ
ットを複数取り付けて該被成膜体ホルダユニットに保持
された被成膜体を成膜に適した位置に配置するようにし
た被成膜体保持機構とを有し、前記被成膜体保持機構
は、前記成膜物質発生源に対する前記被成膜体の位置関
係を成膜に適した関係に維持しつつ所定の回転軸を中心
に回転する回転フレームを有するものであり、前記被成
膜体ホルダユニットは、前記被成膜体保持機構の回転フ
レームに所定間隔をおいて取り付けられたものであり、
かつ、前記被成膜体ホルダユニットは、被成膜体ホルダ
と、反転機構と、初期位置停止手段と、反転位置係止手
段とを有し、前記被成膜体ホルダは、前記被成膜体の表
裏面を露出させた状態で該被成膜体を保持するととも
に、前記被成膜体ホルダユニットに回転自在に取り付け
られており、前記被成膜体の表裏面のうちの一方の面を
成膜に適した方向に向けた初期位置と他方の面を成膜に
適した方向に向けた反転位置との間で該成膜体を回動可
能に構成されており、前記反転機構は、前記被成膜体を
前記被成膜体ホルダユニットに設けられた駆動力源から
供給される駆動力で初期位置から反転位置まで回動させ
る機構を有するものであり、前記初期位置係止手段は、
前記被成膜体ホルダを初期位置に位置決め係止する手段
であり、前記反転位置係止手段は、前記初期位置係止手
段による係止が解除されることで前記反転機構の作用に
より初期位置から反転位置まで前記被成膜体ホルダが回
動した際に、前記被成膜体ホルダを反転位置に位置決め
係止する手段であり、更に、前記被成膜体ホルダユニッ
トに装備された初期位置係止手段の係止を解除する係止
解除手段が設けられていることを特徴とする。

【００１９】上記構成において、反転機構の駆動力源と
しては、コイルバネ等の弾性体駆動力源あるいはモータ
ー等があげられるが、被成膜体保持機構の回転力を利用
する機構であってもよい。また、初期位置停止手段及び
反転位置係止手段は、カム機構を応用したものがあげら
れるが、他の機構で同様の機能を有するものでもよい。

【００２０】請求項５の発明は、真空容器内の下部に蒸
着源を配すると共に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対
象のレンズを保持するレンズ保持機構を配したレンズの
蒸着装置において、次のように構成されていることを特
徴とする。

【００２１】即ち、レンズ保持機構が、真空容器に装備
された駆動機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動
機構により水平旋回させられる水平旋回フレームと、該
水平旋回フレームに該フレームの周方向に沿って間隔的
に取り付けられた多数のレンズホルダユニットとにより
構成されている。

【００２２】レンズホルダユニットには、レンズ両面を
露出させた状態でレンズを保持する開口部を持ち、且
つ、保持したレンズの片面を下に向けた初期位置と他方
の片面を下に向けた反転位置との間で回動可能とされた
レンズホルダと、該レンズホルダを弾性体の力で初期位
置から反転位置まで回動させる反転機構と、前記レンズ
ホルダを初期位置に位置決め係止する初期位置係止手段
と、該初期位置係止手段による係止が解除されることで
前記反転機構の作用により初期位置から反転位置までレ
ンズホルダが回動した際に、レンズホルダを反転位置に
位置決め係止する反転位置係止手段とが装備されてい
る。

【００２３】そして、更に、前記レンズホルダユニット
に装備された初期位置係止手段の係止を前記水平旋回フ
レームの旋回動作を利用して解除する係止解除手段が具
備されている。

【００２４】この発明の装置では、水平旋回フレームが
旋回すると、各レンズホルダユニットの初期位置係止手
段が係止解除手段を通過する。その通過の際に、該係止
解除手段によって初期位置係止手段の係止が解除され、
該係止の解除により反転機構の弾性体の力が解放され
て、初期位置に位置決めされていたレンズホルダが反転
位置まで反転する。そして、反転位置まで回動すると、
反転位置係止手段によりレンズホルダが再び位置決め係
止される。

【００２５】このように本装置では、レンズホルダユニ
ット毎に独立した反転機構を装備しているので、各ホル
ダの回動位置の位置決めを個別に確実に行うことができ
る。しかも、初期位置と反転位置でホルダを係止する手
段を備えているので、初期位置と反転位置においてレン
ズを確実に一定の姿勢で保持することができる。つま
り、安定姿勢でレンズを蒸着源に対しセットすることが
できる。

【００２６】また、反転機構には反転のための動力源と
して弾性体を用いているので、各ユニット毎の構成を単
純化することができる。言い換えると、この弾性体を使
った反転機構を用いたことにより、レンズホルダユニッ
ト毎に反転機構の装備が可能となっている。

【００２７】また、この発明の装置では、水平旋回フレ
ームに取り付けたレンズホルダユニット毎に反転機構を
備え、且つ、水平旋回フレームを駆動機構の旋回部に着
脱自在に取り付けているので、真空容器に対して水平旋
回フレームごと全部のレンズホルダを交換することがで
きる。従って、レンズホルダのセットをクリーンブース
内で行うことができ、レンズに対するゴミの付着を減ら
せる。

【００２８】請求項６の発明は、請求項１において、前
記水平旋回フレームに、前記レンズホルダユニットがそ
れぞれ着脱自在に取り付けられていることを特徴とす
る。

【００２９】この発明の装置では、各レンズホルダユニ
ット自体を水平旋回フレームに着脱自在に取り付けるよ
うにしたので、レンズの交換がやりやすくなる。また、
レンズに応じたタイプのレンズホルダユニットを自由に
選択して取り付けることができるようになる。

【００３０】請求項７の発明は、請求項５または６にお
いて、前記水平旋回フレームに、前記レンズホルダユニ
ットの枠材が取り付けられ、該枠材に、前記水平旋回フ
レームの半径方向に軸線を向けた反転軸を介して、前記
レンズホルダが回動自在に取り付けられていることを特
徴とする。

【００３１】この発明の装置では、各レンズホルダの反
転軸を水平旋回フレームの半径方向に揃えたので、レン
ズホルダが水平旋回フレームの旋回中心に対して放射状
に並ぶことになり、回転方向に対して同じ条件でレンズ
を並ばせやすくなる。

【００３２】請求項８の発明は、請求項７において、前
記反転軸が前記レンズホルダと一体回転するように設け
られており、前記反転機構が、弾性力によって前記反転
軸を回動させる弾性体としてのバネと、該バネと反転軸
の間の動力伝達経路途中に介在されてバネによる回動力
を拡大して反転軸に伝達するギヤセットとを備えている
ことを特徴とする。

【００３３】この発明の装置では、反転軸を回してレン
ズホルダを反転させるので、反転機構とレンズホルダの
連結構造を簡略にすることができる。しかも、弾性体と
して設けたバネと反転軸との間にギヤセットを設けて、
バネの力を拡大して反転軸に伝えるようにしているの
で、力のあまり強くないバネを利用することができるよ
うになる。

【００３４】請求項９の発明は、請求項７または８にお
いて、前記反転軸に該反転軸と一体に回動する位置決め
カムが取り付けられており、前記初期位置係止手段及び
反転位置係止手段が、前記レンズホルダを位置決め係止
する際に、この位置決めカムの回転を阻止するように設
けられていることを特徴とする。

【００３５】この発明の装置では、反転軸に位置決めカ
ムを一体化し、この位置決めカムの回転を阻止すること
で、レンズホルダの回転方向の位置決めをするようにし
ているので、簡単な構造で精度良くレンズホルダの位置
決めを行うことができる。

【００３６】請求項１０の発明は、請求項５〜９のいず
れかにおいて、前記係止解除手段が、水平旋回フレーム
と共に旋回する前記初期位置係止手段の解除操作部と干
渉することで該初期位置係止手段のレンズホルダに対す
る係止を解除する解除部材を備えており、該解除部材
が、初期位置係止手段の解除操作部と干渉する位置から
非干渉となる位置まで退避可能とされていることを特徴
とする。

【００３７】この発明の装置では、係止解除手段の解除
部材を干渉位置に保持しておいた場合、水平旋回フレー
ムの回転に伴って、係止解除手段の解除部材が初期位置
係止手段の解除操作部と干渉する。従って、それにより
該初期位置係止手段の係止が解除されて、レンズホルダ
の反転が行われる。一方、係止解除手段の解除部材を非
干渉となる位置に退避させておいた場合は、水平旋回フ
レームが回転しても、初期位置係止手段の解除操作部と
係止解除手段の解除部材が干渉しないので、初期位置で
のレンズホルダの係止が解除されないままとなる。この
ように、係止解除手段の解除部材の位置を変えることに
より、反転の実行・不実行を選択することができる。

【００３８】請求項１１の発明は、請求項５〜１０のい
ずれかにおいて、前記レンズホルダが、２枚の眼鏡レン
ズを１組として装着し得る２つの開口部を備えているこ
とを特徴とする。

【００３９】通常、眼鏡レンズは、２枚１組で少量多品
種生産されることを常とし、これらをもしバラバラにレ
ンズホルダにセットすると、セットした位置を正確に記
録しておかなければならない。この点、この発明の装置
では、２枚１組の眼鏡レンズを１個のレンズホルダに装
着できるようにしている。従って、１組の眼鏡レンズご
とにレンズホルダを用意することで、特に記録しないで
も、取り扱いが容易になる。また、同じレンズホルダに
１組の眼鏡レンズをセットできることから、各組の眼鏡
レンズ毎に蒸着条件を揃えることもできる。

【００４０】請求項１２の発明は、請求項５〜１１のい
ずれかにおいて、前記各レンズホルダユニットには、前
記レンズホルダの反転動作を許容する位置に、レンズホ
ルダにより保持したレンズの上面を保護するカバーを具
備していることを特徴とする。この発明の装置では、カ
バーを設けたことにより、レンズに異物が付着するのを
防止することができる。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。この実施の形態は、本発明を、眼
鏡レンズ等のレンズに保護膜等の薄膜を成膜するレンズ
蒸着装置に適用した例である。以下図面を参照にしなが
ら本実施の形態にかかるレンズ蒸着装置を説明する。

【００４２】図１は実施形態のレンズ蒸着装置の概略構
成を示す側断面図である。図１に示される蒸着装置は、
真空容器１内の下部に蒸着源２を配すると共に、真空容
器１内の上部に、蒸着膜形成対象のレンズを保持するレ
ンズ保持機構１０を配したものである。

【００４３】レンズ保持機構１０は、真空容器１の天井
部に装備された駆動機構３の旋回部４に着脱自在に装着
されて該駆動機構３により水平旋回させられるドーム形
の水平旋回フレーム１１と、図２に示すように、水平旋
回フレーム１１に該フレーム１１の周方向に沿って間隔
的に取り付けられた多数のレンズホルダユニット２０と
により構成されている。水平旋回フレーム１１は、中央
上側に配したボス部１２の上端１２ａを駆動機構３の旋
回部４に係合することで、該旋回部４により保持されて
いる。また、レンズホルダユニット２０は、水平旋回フ
レーム１１にそれぞれ着脱自在に取り付けられている。

【００４４】各レンズホルダユニット２０は、長円形状
の枠材２１と、該枠材２１の長手方向の一端に一体的に
延設された基板２２と、枠材２１の内部に配されて蒸着
対象の眼鏡レンズ１００を保持すると共に初期位置から
反転位置まで反転駆動されるレンズホルダ２３と、レン
ズホルダ２３の上側を覆うカバー２５と、レンズホルダ
２３を反転駆動するために基板２２上に装備された反転
機構組立部３０とから構成されている。

【００４５】枠材２１は、図２に示すように、長円の長
軸方向を水平旋回フレーム１１の半径方向に向けた姿勢
で、基板２２により水平旋回フレーム１１に着脱自在に
取り付けられている。すなわち、図示しないが、例え
ば、水平旋回フレーム１１に取り付け用のピン及びビス
を固定して設け、これらピン及びビスに嵌合する取り付
け孔を基板２２に設け、該基板２２の取り付け孔を上記
ピン及びビスに嵌合させ、さらに必要に応じて同様の取
り付け孔を設けた押さえ板を重ねて上記ビスにナットを
ねじ込んで固定するようになっている。また、上記枠材
２１の内部に、枠材２１よりもやや小さい長円形の板状
に形成されたレンズホルダ２３が収容されている。従っ
て、レンズホルダユニット２０は水平旋回フレーム１１
に放射状に取り付けられている。

【００４６】図３、図４はレンズホルダユニット２０の
一部を省略して示す拡大図である。また、図５はレンズ
ホルダユニット２０に装備された反転機構組立部３０の
原理構造を一部省略して示す斜視図である。

【００４７】図４に示すように、長円形のレンズホルダ
２３には、その長手方向に並べて、２つの円形の開口部
２３ａ、２３ａが設けられている。これら２つの開口部
２３ａ、２３ａは、レンズ両面を露出させた状態で、２
枚１組の眼鏡レンズ１００を着脱自在に保持するための
ものである。眼鏡レンズ１００の保持方法としては、図
示しないが、例えば、開口部２３ａの円形の回りに等間
隔で３カ所に板バネ等を用いた弾性保持機構を設け、眼
鏡レンズ１００の外周側面の３カ所で点接触や線接触あ
るいは面接触で眼鏡レンズ１００を押さえることによっ
て保持する方法等がある。また、円形のレンズホルダ２
３の長軸方向の両端には、長い反転軸２６と短い反転軸
２７とが一体に突設されている。

【００４８】長い反転軸２６は、枠材２１に設けた貫通
孔２１ａを挿通して基板２２の上方にまで延びている。
また、短い反転軸２７は、枠材２１の内面に設けた凹部
２１ｂに嵌まっている。このように、両端の反転軸２
６、２７が枠材２１の貫通孔２１ａと凹部２１ｂに支持
されていることにより、レンズホルダ２３は、図３
（ｂ）中の矢印で示すように、反転軸２６、２７を軸と
して回動できるようになっている。ここでは、保持した
眼鏡レンズ１００の片面を下に向けた初期位置と、他方
の片面を下に向けた反転位置との間で回動可能となって
いる。

【００４９】長い反転軸２６は、図４に示すように、基
板２２上に装備した反転機構組立部３０に取り込まれて
いる。反転機構組立部３０内において、長い反転軸２６
は軸受部材３１、３２により回転自在に支持されてい
る。また、この反転軸２６と平行に駆動軸３３が、軸受
部材３１、３２により回転自在に支持されている。

【００５０】図５に示すように、駆動軸３３には渦巻き
バネ（弾性体）３４が巻き付けられている。渦巻きバネ
３４は、その外周側の一端３４ａが基板２２上に固着さ
れ、その内周側の一端３４ｂが駆動軸３３に固着されて
いる。それにより、渦巻きバネ３４の弾性力によって、
駆動軸３３には、図５の手前から見て左回りしようとす
る回転力が付与されている。

【００５１】また、この駆動軸３３には小ギヤ３５が取
り付けられており、反転軸２６には大ギヤ３６が取り付
けられている。小ギヤ３５と大ギヤ３６は噛み合ってお
り、このギヤセットの噛み合いにより、前記渦巻きバネ
３４によって駆動軸３３に付与された回転力が、拡大さ
れた上で、反転軸２６に図５の手前から見て右回りの回
転力として伝達されている。従って、小さいバネ力の渦
巻きバネ３４を用いることができる。

【００５２】また、反転軸２６には、該反転軸２６と一
体回転するように位置決めカム４０が取り付けられてい
る。位置決めカム４０は、半円を超えた大きさにカット
された横断面を有する半円柱部４０ａと、板体に近い形
態の三角柱部４０ｂとを一体に結合した異形柱状体とし
て構成されている。

【００５３】図６を併せて参照しながら以下説明する。
三角柱部４０ｂは、半円柱部４０ａの円弧面４０ｃの周
方向一端部に、径方向外方に突出するように一体化され
ている。半円柱部４０ａには下面側に位置する円弧面４
０ｃと反対側（上面側）に、カット平面（半円柱を形成
するために円柱を弦でカットした面）があり、そのカッ
ト平面上の三角柱部４０ｂを一体化した側と反対側の略
半分に、カット平面より一段低まった形の切欠部４０ｄ
が形成されている。また、三角柱部４０ｂには、前記カ
ット平面と平行な下面４０ｅと、半円柱部４０ａ側に下
り傾斜した上面４０ｆとがある。

【００５４】位置決めカム４０の三角柱部４０ｂ側の側
方には、初期位置ストッパブロック４２が配置され、こ
のストッパブロック４２に設けたブラケット４６に、
「ト」字形をなしたストッパアーム４１の下端が、ピン
４７で回動可能に結合されている。ストッパアーム４１
は、前記ピン４７で下端がブラケット４６に連結された
直線アーム４１ａと、直線アーム４１ａの側部に斜めに
突き出した斜めアーム４１ｃとを有する。直線アーム４
１ａの上端４１ｂは、斜めアーム４１ｃの付け根よりも
上に延びており、この部分が後で説明する解除操作部と
なっている。

【００５５】位置決めカム４０の反対側の側方には、三
角ピース状の反転位置ストッパブロック４３が配置され
ている。このストッパブロック４３の上面は、斜めの位
置決め面４３ａとなっている。

【００５６】また、前記初期位置ストッパブロック４２
には、位置決めカム４０側を向いた側面に開口したスラ
イド溝４２ａが形成されており、そのスライド溝４２ａ
に、ストッパ板４４が出没方向にスライド自在に挿入さ
れている。このストッパ板４４は、図示しないバネによ
って、位置決めカム４０の円弧面４０ｃに対して押し当
てられている。

【００５７】図６（ａ）に示すように、レンズホルダ２
３が初期位置にあるとき、ストッパブロック４２の上面
に、位置決めカム４０の三角柱部４０ｂの下面４０ｅが
当たり、ストッパアーム４１の斜めアーム４１ｃの下面
が、三角柱部４０ｂの上面４０ｆに当たっている。これ
により、渦巻きバネによって矢印Ｓ方向に回ろうとする
位置決めカム４０は確実に係止され、レンズホルダ２３
が初期位置に位置決めされる。

【００５８】この状態で、ストッパアーム４１を位置決
めカム４０と反対方向（以下、解除方向という）に倒し
て位置決めカム４０の押さえを解放するために、係止解
除機構５０が真空容器１の天井部に固定的に設けられて
いる（図１参照）。この係止解除機構５０は、上下に移
動操作される解除ロッド（解除部材）５１を備えてい
る。水平旋回フレーム１１と一緒に移動するレンズホル
ダユニット２０の移動方向は図中矢印で示すＲ方向であ
り、解除ロッド５１は、下方に下げられると、Ｒ方向に
移動するストッパアーム４１の上端（解除操作部）４１
ｂと干渉して、図６（ｂ）に示すように、ストッパアー
ム４１を解除方向に倒す。また、解除ロッド５１は、上
方に持ち上げられると、ストッパアーム４１の上端４１
ｂと非干渉となる。なお、係止解除機構５０は、ストッ
パアーム４１の上端４１ａの通過軌跡上に位置してお
り、円周方向の最低１ヶ所に配置されている。

【００５９】次に作用を説明する。レンズホルダ２３が
初期位置にあるとき、図６（ａ）に示すように、ストッ
パアーム４１は直立している。このとき、位置決めカム
４０の三角柱部４０ｂが、ストッパアーム４１の斜めア
ーム４１ｃとストッパブロック４２との間に挟持され
る。それにより、渦巻きバネ３４の力でＳ方向に回転し
ようとする位置決めカム４０が、初期位置に確実に位置
決めされて押さえられる。しかも、位置決めカム４０が
Ｓ方向に回転しようとしても、斜めアーム４１ｃの傾斜
面の作用で、ストッパアーム４１には位置決めカム４０
方向に倒れるモーメントが発生することになるので、ス
トッパアーム４１による係止が外れることはない。

【００６０】この状態で、各レンズホルダユニット２０
のレンズホルダ２３に保持された眼鏡レンズ１００の片
面（下側の面）に蒸着を施す。このとき、係止解除機構
５の解除ロッド５１は上方に退避させておく。そして、
必要に応じて水平旋回フレーム１１を旋回させて、蒸着
の均一化を図る。

【００６１】次に、片面の蒸着が終了したら、係止解除
機構５０の解除ロッド５１を下方位置に位置決めし、水
平旋回フレーム１１を回す。そうすると、係止解除機構
５０の位置に到達したレンズホルダユニット２０におい
て、図６（ａ）→（ｂ）→（ｃ）の動作が順に生じる。

【００６２】即ち、まず図６（ａ）の状態から、レンズ
ホルダユニット２０がＲ方向へ移動すると、解除ロッド
５１がストッパアーム４１の上端４１ｂに干渉し、さら
にＲ方向へのユニット２０の移動により、ストッパアー
ム４１が図６（ｂ）のように解除方向へ倒れる。そうす
ると、位置決めカム４０の押さえがとれて、位置決めカ
ム４０がＳ方向へ回り、ストッパ板４４の先端が、位置
決めカム４０の円弧面４０ｃを摺動する。

【００６３】そして、位置決めカム４０が１８０度回転
すると、図６（ｃ）に示すように、位置決めカム４０の
三角柱部４０ｂの斜めの上面４０ｆが、反転位置ストッ
パブロック４３の斜め位置決め面４３ａに当たって止ま
る。このとき、円弧面４０ｃを摺動していたストッパ板
４４が、位置決めカム４０の切欠部４０ｄに係合し、位
置決めカム４０が戻り方向に回転阻止される。そして、
これにより、位置決めカム４０は、反転位置に確実に位
置決め係止される。

【００６４】この状態で、各レンズホルダユニット２０
のレンズホルダ２３に保持された眼鏡レンズ１００の他
方の片面（新たに下側になった面）に蒸着を施す。この
ときも、必要な全てのレンズホルダ２３の反転が終了し
たら、係止解除機構５の解除ロッド５１を上方に退避さ
せて、必要に応じて水平旋回フレーム１１を旋回させる
ことにより、蒸着の均一化を図る。

【００６５】なお、この装置においては、初期位置スト
ッパブロック４２及びストッパアーム４１が初期位置係
止手段に相当し、反転位置ストッパブロック４３及びス
トッパ板４４が反転位置係止手段に相当する。また、渦
巻きバネ３４と小ギヤ３５と大ギヤ３６とが反転機構を
構成している。

【００６６】このようにして蒸着を行う際に、全てのレ
ンズホルダユニット２０に保持された眼鏡レンズ１００
が確実に一定の姿勢に保持されるようになるので、精度
良く均一な蒸着膜をレンズ表面に形成することができ
る。また、各レンズホルダユニット２０には、レンズホ
ルダ２３の反転動作を許容する位置に、眼鏡レンズ１０
０の上面側を保護するカバー２５を設けているので、眼
鏡レンズ１００の上側の面にゴミが付かない。

【００６７】また、反転機構組立部３０には反転のため
の動力源として渦巻きバネ３４を設けているので、各レ
ンズホルダユニット２０毎の構成が単純になっている。

【００６８】また、水平旋回フレーム１１ごと真空容器
１に対して交換することができるので、クリーンブース
内でレンズの脱着作業を行うことができ、レンズに対す
るゴミの付着を減らせる。特に、各レンズホルダユニッ
ト２０自体を水平旋回フレーム１１に着脱自在に取り付
けているので、レンズの交換がやりやすくなる。

【００６９】また、２枚１組で眼鏡レンズ１００をレン
ズホルダユニット２０にセットできるので、取り扱いが
容易になる上、各組の眼鏡レンズ１００毎に蒸着条件を
揃えることができる。

【００７０】なお、以上の説明では、眼鏡レンズ等のレ
ンズに保護膜等の薄膜を成膜するレンズ蒸着装置に適用
した実施の形態に基づいて本発明を説明したが、本発明
はこれに限られるものではない。すなわち、例えば、適
用できる成膜の手法としては、蒸着法やスパッタリング
等の化学的又は物理的成膜法であって、成膜物質源から
飛翔させた成膜物質を被成膜体の被成膜面に堆積させる
ことによって該被成膜面に薄膜を形成する方法が全て含
まれる。

【００７１】また、適用できる被成膜体としては、眼鏡
レンズ等の光学レンズのほかに、カラーフィルター等の
光学部品があげられる。また、３面以上の被成膜面を有
するプリズム等の光学部品にも適用可能である。その
他、複数の被成膜面を有し、これら被成膜面に反射防止
膜や偏光膜等の一層又は多層の薄膜を形成するもの全て
に適用できる。３面以上の被成膜面を有するプリズム等
の光学部品に適用する場合には、被成膜体ホルダユニッ
トの姿勢切替機構として、３面以上の被成膜面をそれぞ
れ成膜に適した方向に向けて切り替え固定する機構を備
えたものを採用すればよい。このような機構は、カム機
構を応用して例えば３面のそれぞれに対応して機械的に
位置決めする位置係止手段と、該位置係止手段の係止を
解除する係止解除手段とを有する機構とすればよい。す
なわち、第１面に対応する位置係止手段及びその係止解
除手段と、第２面に対応する位置係止手段及びその係止
解除手段と、第３面の位置係止手段とを設ける。そし
て、第１面の係止を解除すると第２面に切り替わって第
２面の位置係止手段によって係止されるようにし、さら
に、第２面の係止を解除すると、第３面に切り替わって
第３面の位置係止手段によって係止されるようにすれば
よい。

【００７２】さらに、被成膜体ホルダユニット、被成膜
体保持機構、回転フレーム、被成膜体ホルダ、反転機
構、初期位置停止手段、反転位置係止手段及び係止解除
手段についても、上記実施の形態に掲げた例のほかに、
同様の機能を有する他の機構を採用できることは勿論で
ある。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
機械的に精密に位置決めできる位置係止手段を用いたこ
とによって、正確かつ確実な位置決めがなされる。これ
によって、正確・確実にかつ再現性よく各被成膜面を成
膜に適した方向に向けて成膜を行うことができるから、
高品質の成膜を容易に行うことができる。しかも、係止
解除手段によって係止を解除することにより、比較的容
易に姿勢を変えて次の被成膜面を所定の方向に正確に向
けることもできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の蒸着装置の概略構成を示す
側断面図である。

【図２】図１の蒸着装置におけるレンズ保持機構１０を
上から見た平面図である。

【図３】図１のレンズホルダユニット２０の反転機構組
立部３０を図示省略した要部構成図で、（ａ）は側面
図、（ｂ）は（ａ）図のＩＩＩｂ矢視図である。

【図４】図１のレンズホルダユニットのカバーを外した
状態を示す平面図である。

【図５】図４の点線で囲んだ反転機構組立部３０の原理
構造を示す斜視図である。

【図６】図５の反転機構の動作説明図であり、（ａ）は
レンズホルダが初期位置にあって反転動作が開始する直
前の状態を示す図、（ｂ）は反転動作の途中の状態を示
す図、（ｃ）は反転動作が終了した状態を示す図であ
る。

【符号の説明】

１ 真空容器 ２ 蒸着源 ３ 駆動機構 ４ 旋回部 １０ レンズ保持機構 １１ 水平旋回フレーム ２０ レンズホルダユニット ２１ 枠材 ２２ 基板 ２３ レンズホルダ ２５ カバー ２６ 長い反転軸 ３０ 反転機構組立部 ３４ 渦巻きバネ（弾性体） ３５ 小ギヤ ３６ 大ギヤ ４０ 位置決めカム ４１ ストッパアーム（初期位置係止手段） ４２ 初期位置ストッパブロック（初期位置係止手段） ４３ 反転位置ストッパブロック（反転位置係止手段） ４４ ストッパ板（反転位置係止手段） ５０ 係止解除機構 ５１ 解除ロッド（解除部材） １００ 眼鏡レンズ

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１２年５月８日（２０００．５．８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】発明の名称

【補正方法】変更

【補正内容】

【発明の名称】 レンズの蒸着装置

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１０】上述の改題を解決するための手段として第
１の手段は、真空容器内の下部に蒸着源を配すると共
に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを保持
するレンズ保持機構を配したレンズの蒸着装置におい
て、前記レンズ保持機構は、前記真空容器に装備された
駆動機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動機構に
より水平旋回さられる水平旋回フレームと、該水平旋回
フレームに該フレームの周方向に沿って間隔的に取り付
けられた多数のレンズホルダユニットとを有し、前記レ
ンズホルダユニットは、レンズ両面を露出させた状態で
レンズを保持する開口部を持ち、且つ、保持したレンズ
の片面を下に向けた初期位置と他方の片面を下に向けた
反転位置との間で回動可能とされたレンズホルダと、こ
のレンズホルダに取り付けられて該レンズホルダを所期
位置から反転位置に回動する軸である反転軸と、この反
転軸と一体回転するように該反転軸に取り付けられた位
置決めカムと、この位置決めカムを初期位置及び反転位
置でそれぞれ位置決めして係止する初期位置係止手段及
び反転位置係止手段と、前記反転軸にギアセットを介し
て反転方向に回転力を与える渦巻きバネと、前記初期位
置での係止を解除する係止解除手段とを有し、前記位置
決めカムは、半円を越えた大きさにカットされた横断面
を有する半円柱部と、この半円柱部の円弧面の周方向一
端部に径方向外方に突出するように設けられた板状に近
い三角柱部とを有し、前記初期位置係止手段は、前記位
置決めカムの三角柱部の一方の面を当接して初期位置の
位置決めをする初期位置ストッパブロックとこの初期位
置ストッパブロックに回動可能に取付られた略トの字形
をなしたストッパアームとを有し、このストッパアーム
は下端がストッパブロックに回動自在に取付られた直線
アーム部とこの直線アーム部の側部に斜めに突き出した
斜めアーム部とを有し、この斜めアーム部を前記位置決
めカムの三角柱部の他方の面に当接させて前記三角柱部
を前記初期位置ストッパブロックとの間に挟むようにし
て位置決めする機構を有するものであり、前記反転位置
係止手段は、前記位置決めカムの三角柱部の他方の面を
当接して反転方向への回転を止めて位置決めする反転位
置ストッパブロックと、前記位置決めカムが反転位置に
あるときこの位置決めカムの半円柱部の平面部に当接し
て位置決めカムが反転方向と逆の方向に回転するのを止
めるストッパ板とを有し、このストッパ板と前記反転位
置ストッパブロックとの間に前記三角柱部を挟むように
して位置決めする機構を有するものであり、前記係止解
除手段は、前記ストッパアームの直線アーム部の上部に
前記旋回方向と反対方向の力を加えて該ストッパアーム
を回動させて斜めアーム部の前記三角柱への当接を解除
する機構を有するものであるレンズの蒸着装置である。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】削除

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１２

【補正方法】削除

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１３

【補正方法】削除

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１４

【補正方法】削除

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１５

【補正方法】削除

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１６

【補正方法】削除

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】削除

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】削除

【手続補正１２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】削除

【手続補正１３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】削除

【手続補正１４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２１

【補正方法】削除

【手続補正１５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２２

【補正方法】削除

【手続補正１６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２３

【補正方法】削除

【手続補正１７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２４

【補正方法】削除

【手続補正１８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２５

【補正方法】削除

【手続補正１９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２６

【補正方法】削除

【手続補正２０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２７

【補正方法】削除

【手続補正２１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２８

【補正方法】削除

【手続補正２２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２９

【補正方法】削除

【手続補正２３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３０

【補正方法】削除

【手続補正２４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３１

【補正方法】削除

【手続補正２５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３２

【補正方法】削除

【手続補正２６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３３

【補正方法】削除

【手続補正２７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３４

【補正方法】削除

【手続補正２８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３５

【補正方法】削除

【手続補正２９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】削除

【手続補正３０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】削除

【手続補正３１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３８】第２の手段は、前記レンズホルダユニット
は、前記被蒸着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に
適した方向に向いている面を除く面を覆うカバーを有す
ることを特徴とする第１の手段にかかるレンズの蒸着装
置である。第３の手段は、前記水平旋回フレームに、前
記レンズホルダユニットがそれぞれ着脱自在に取り付け
られていることを特徴とする第１及び第２の手段にかか
るレンズの蒸着装置である。第４の手段は、前記レンズ
ホルダが、２枚の眼鏡レンズを１組として装着し得る２
つの開口部を備えていることを特徴とする第１〜第３の
いずれかの手段にかかるレンズの蒸着装置である。

【手続補正３２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３９】上述の第１の手段によれば、前記初期位置
係止手段が、位置決めカムの三角柱部をストッパアーム
の斜めアーム部と初期位置ストッパブロックとの間に挟
むようにして位置決めする機構を有し、かつ、反転位置
係止手段が、位置決めカムの三角柱部を反転位置ストッ
パブロックと位置決めカムが反転方向と逆の方向に回転
するのを止めるストッパ板との間に挟むようにして位置
決めする機構を有するものであることから、初期位置及
び反転位置での位置決めをコンパクトな構造で極めて正
確かつ確実に行うことを可能にしている。また、第２の
手段によれば、前記レンズホルダユニットは、前記被蒸
着レンズの複数の被蒸着面のうち、蒸着に適した方向に
向いている面を除く面を覆うカバーを有することから、
１つの面に蒸着している間に他の面に異物が付着するお
それを防止するできる。さらに、第３の手段によれば、
前記水平旋回フレームに、前記レンズホルダユニットが
それぞれ着脱自在に取り付けられているので、レンズの
交換がやりやすくなる。また、レンズに応じたタイプの
レンズホルダユニットを自由に選択して取り付けること
ができるようになる。第４の手段によれば、前記レンズ
ホルダが、２枚の眼鏡レンズを１組として装着し得る２
つの開口部を備えていることから、眼鏡レンズに対する
蒸着工程を極めて効率よくかつ歩留まりよく行うことを
可能にする。すなわち、通常、眼鏡レンズは、２枚１組
で少量多品種生産されることを常とし、これらをもしバ
ラバラにレンズホルダにセットすると、セットした位置
を正確に記録しておかなければならない。この点、この
発明の装置では、２枚１組の眼鏡レンズを１個のレンズ
ホルダに装着できるようにしている。従って、１組の眼
鏡レンズごとにレンズホルダを用意することで、特に記
録しないでも、取り扱いが容易になる。また、同じレン
ズホルダに１組の眼鏡レンズをセットできることから、
各組の眼鏡レンズ毎に蒸着条件を揃えることもできる。

【手続補正３３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００４０

【補正方法】削除

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 成膜室内において複数の被成膜面を有す
   る被成膜体に成膜物質発生源から飛翔させた成膜物質を
   堆積させることによって該被成膜体の複数の被成膜面に
   薄膜を形成する成膜装置において、 前記被成膜体を少なくとも１つ保持する被成膜体ホルダ
   ユニットと、 前記成膜室内に設置され、前記被成膜体ホルダユニット
   を少なくとも１つ取り付けて該被成膜体ホルダユニット
   に保持された被成膜体を成膜に適した位置に配置するよ
   うにした被成膜体保持機構とを有し、 前記被成膜体ホルダユニットは、前記被成膜体を保持す
   るとともに、該被成膜体の姿勢を変えて複数の被成膜面
   をそれぞれ成膜に適した方向に向けて切り替え固定する
   姿勢切替機構を有し、 前記姿勢切替機構は、前記被成膜面が成膜に適した方向
   に向いた時に前記被成膜体の姿勢を少なくとも一時的に
   停止させて機械的に位置決めする位置係止手段と、該位
   置係止手段の係止を解除する係止解除手段とを有するこ
   とを特徴とする成膜装置。
2. 【請求項２】 前記被成膜体ホルダユニットは、前記被
   成膜体の複数の被成膜面のうち、成膜に適した方向に向
   いている面を除く面を覆うカバーを有することを特徴と
   する請求項１記載の成膜装置。
3. 【請求項３】 前記被成膜体保持機構は、前記成膜物質
   発生源に対する前記被成膜体の位置関係を成膜に適した
   関係に維持しつつ所定の回転軸を中心に前記被成膜体を
   回転する機構を有するものであり、かつ、前記姿勢切替
   機構の係止解除手段は、前記被成膜体保持機構の回転力
   を利用して前記位置係止手段の係止を解除する機構を有
   するものであることを特徴とする請求項１又は２記載の
   成膜装置。
4. 【請求項４】 成膜室内において表裏面を被成膜面とす
   る被成膜体に成膜物質発生源から飛翔させた成膜物質を
   堆積させることによって該被成膜体の表裏面に薄膜を形
   成する成膜装置において、 前記被成膜体を少なくとも１つ保持する被成膜体ホルダ
   ユニットと、 前記成膜室内に設置され、前記被成膜体ホルダユニット
   を複数取り付けて該被成膜体ホルダユニットに保持され
   た被成膜体を成膜に適した位置に配置するようにした被
   成膜体保持機構とを有し、 前記被成膜体保持機構は、前記成膜物質発生源に対する
   前記被成膜体の位置関係を成膜に適した関係に維持しつ
   つ所定の回転軸を中心に回転する回転フレームを有する
   ものであり、 前記被成膜体ホルダユニットは、前記被成膜体保持機構
   の回転フレームに所定間隔をおいて取り付けられたもの
   であり、 かつ、前記被成膜体ホルダユニットは、被成膜体ホルダ
   と、反転機構と、初期位置停止手段と、反転位置係止手
   段とを有し、 前記被成膜体ホルダは、前記被成膜体の表裏面を露出さ
   せた状態で該被成膜体を保持するとともに、前記被成膜
   体ホルダユニットに回転自在に取り付けられており、前
   記被成膜体の表裏面のうちの一方の面を成膜に適した方
   向に向けた初期位置と他方の面を成膜に適した方向に向
   けた反転位置との間で該成膜体を回動可能に構成されて
   おり、 前記反転機構は、前記被成膜体を前記被成膜体ホルダユ
   ニットに設けられた駆動力源から供給される駆動力で初
   期位置から反転位置まで回動させる機構を有するもので
   あり、 前記初期位置係止手段は、前記被成膜体ホルダを初期位
   置に位置決め係止する手段であり、 前記反転位置係止手段は、前記初期位置係止手段による
   係止が解除されることで前記反転機構の作用により初期
   位置から反転位置まで前記被成膜体ホルダが回動した際
   に、前記被成膜体ホルダを反転位置に位置決め係止する
   手段であり、 更に、前記被成膜体ホルダユニットに装備された初期位
   置係止手段の係止を解除する係止解除手段が設けられて
   いることを特徴とする成膜装置。
5. 【請求項５】 真空容器内の下部に蒸着源を配すると共
   に、真空容器内の上部に蒸着膜形成対象のレンズを保持
   するレンズ保持機構を配したレンズの蒸着装置におい
   て、 前記レンズ保持機構が、前記真空容器に装備された駆動
   機構の旋回部に着脱自在に装着されて該駆動機構により
   水平旋回させられる水平旋回フレームと、該水平旋回フ
   レームに該フレームの周方向に沿って間隔的に取り付け
   られた多数のレンズホルダユニットとにより構成され、 該レンズホルダユニットには、 レンズ両面を露出させた状態でレンズを保持する開口部
   を持ち、且つ、保持したレンズの片面を下に向けた初期
   位置と他方の片面を下に向けた反転位置との間で回動可
   能とされたレンズホルダと、 該レンズホルダを弾性体の力で初期位置から反転位置ま
   で回動させる反転機構と、 前記レンズホルダを初期位置に位置決め係止する初期位
   置係止手段と、 該初期位置係止手段による係止が解除されることで前記
   反転機構の作用により初期位置から反転位置までレンズ
   ホルダが回動した際に、レンズホルダを反転位置に位置
   決め係止する反転位置係止手段とが装備され、 更に、前記レンズホルダユニットに装備された初期位置
   係止手段の係止を前記水平旋回フレームの旋回動作を利
   用して解除する係止解除手段が具備されていることを特
   徴とするレンズの蒸着装置。
6. 【請求項６】 前記水平旋回フレームに、前記レンズホ
   ルダユニットがそれぞれ着脱自在に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項５記載のレンズの蒸着装置。
7. 【請求項７】 前記水平旋回フレームに、前記レンズホ
   ルダユニットの枠材が取り付けられ、該枠材に、前記水
   平旋回フレームの半径方向に軸線を向けた反転軸を介し
   て、前記レンズホルダが回動自在に取り付けられている
   ことを特徴とする請求項５または６記載のレンズの蒸着
   装置。
8. 【請求項８】 前記反転軸が前記レンズホルダと一体回
   転するように設けられており、前記反転機構が、弾性力
   によって前記反転軸を回動させる弾性体としてのバネ
   と、該バネと反転軸の間の動力伝達経路途中に介在され
   てバネによる回動力を拡大して反転軸に伝達するギヤセ
   ットとを備えていることを特徴とする請求項７記載のレ
   ンズの蒸着装置。
9. 【請求項９】 前記反転軸に該反転軸と一体に回動する
   位置決めカムが取り付けられており、前記初期位置係止
   手段及び反転位置係止手段が、前記レンズホルダを位置
   決め係止する際に、この位置決めカムの回転を阻止する
   ように設けられていることを特徴とする請求項７または
   ８記載のレンズの蒸着装置。
10. 【請求項１０】 前記係止解除手段が、水平旋回フレー
    ムと共に旋回する前記初期位置係止手段の解除操作部と
    干渉することで該初期位置係止手段のレンズホルダに対
    する係止を解除する解除部材を備えており、該解除部材
    が、初期位置係止手段の解除操作部と干渉する位置から
    非干渉となる位置まで退避可能とされていることを特徴
    とする請求項５〜９のいずれかに記載のレンズの蒸着装
    置。
11. 【請求項１１】 前記レンズホルダが、２枚の眼鏡レン
    ズを１組として装着し得る２つの開口部を備えているこ
    とを特徴とする請求項５〜１０のいずれかに記載のレン
    ズの蒸着装置。
12. 【請求項１２】 前記各レンズホルダユニットには、前
    記レンズホルダの反転動作を許容する位置に、レンズホ
    ルダにより保持したレンズの上面を保護するカバーを具
    備していることを特徴とする請求項５〜１１のいずれか
    に記載のレンズの蒸着装置。