JP2000298287A - 液晶表示装置 - Google Patents
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- JP2000298287A JP2000298287A JP11107581A JP10758199A JP2000298287A JP 2000298287 A JP2000298287 A JP 2000298287A JP 11107581 A JP11107581 A JP 11107581A JP 10758199 A JP10758199 A JP 10758199A JP 2000298287 A JP2000298287 A JP 2000298287A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 樹脂BMを用いたカラーフィルタで、BMパ
ターンの悪いエッジ形状やパターンずれに起因する画像
表示むらの発生を防止する。 【解決手段】 カラーフィルタ基板とアレイ基板を貼り
合わせた液晶表示パネルにおいて、アレイ基板の表示画
素領域における少なくともソース線10sの直線部分1
1sと、それに対向するカラーフィルタ基板の表示画素
領域における遮光膜4部分とが、ソース線10sの領域
内で対向するようにする。すなわち、遮光膜4の線幅X
1をソース線10sの線幅Y1より小さくする。これに
より、遮光膜4のパターンエッジが遮光効果のある金属
膜のソース線10sに隠れて、表示むらの発生を防止す
ることができる。
ターンの悪いエッジ形状やパターンずれに起因する画像
表示むらの発生を防止する。 【解決手段】 カラーフィルタ基板とアレイ基板を貼り
合わせた液晶表示パネルにおいて、アレイ基板の表示画
素領域における少なくともソース線10sの直線部分1
1sと、それに対向するカラーフィルタ基板の表示画素
領域における遮光膜4部分とが、ソース線10sの領域
内で対向するようにする。すなわち、遮光膜4の線幅X
1をソース線10sの線幅Y1より小さくする。これに
より、遮光膜4のパターンエッジが遮光効果のある金属
膜のソース線10sに隠れて、表示むらの発生を防止す
ることができる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、TFT型液晶表示
装置のカラー化を目的としたカラーフィルタ基板および
TFT型液晶表示装置の構成に関する。
装置のカラー化を目的としたカラーフィルタ基板および
TFT型液晶表示装置の構成に関する。
【0002】
【従来の技術】図8は、従来の薄膜トランジスタ(Th
in Film Transister、以下「TF
T」と称する)型の液晶表示装置(以下「液晶パネル」
と称する)の一例を示す断面模式図であり、図9はその
液晶パネルの表示領域の構成を示す平面図である。
in Film Transister、以下「TF
T」と称する)型の液晶表示装置(以下「液晶パネル」
と称する)の一例を示す断面模式図であり、図9はその
液晶パネルの表示領域の構成を示す平面図である。
【0003】図8に示すように、スイッチング能動素子
(以下「能動素子」と称す)3が形成されたアレイ基板
15と、RGBの着色膜6R、6G、6Bが形成された
カラーフィルタ基板21とをスペーサ12を介してシー
ル材14にて貼り合わせ、両基板の間隙部に液晶13が
封入されて、液晶パネルが構成されている。
(以下「能動素子」と称す)3が形成されたアレイ基板
15と、RGBの着色膜6R、6G、6Bが形成された
カラーフィルタ基板21とをスペーサ12を介してシー
ル材14にて貼り合わせ、両基板の間隙部に液晶13が
封入されて、液晶パネルが構成されている。
【0004】このように構成された液晶パネルのアレイ
基板15の一例として、まず、アレイ基板15は、ガラ
ス基板2bの上に、ソース線10sおよびゲート線10
gに接続された能動素子3がマトリックス状に配置さ
れ、その上に平坦化膜5が形成されている。さらに、こ
の平坦化膜5には、コンタクトホール7が形成されてお
り、能動素子3と画素電極8bが電気的に導通された構
成となっている。
基板15の一例として、まず、アレイ基板15は、ガラ
ス基板2bの上に、ソース線10sおよびゲート線10
gに接続された能動素子3がマトリックス状に配置さ
れ、その上に平坦化膜5が形成されている。さらに、こ
の平坦化膜5には、コンタクトホール7が形成されてお
り、能動素子3と画素電極8bが電気的に導通された構
成となっている。
【0005】一方、カラーフィルタ基板21は、ガラス
基板2aの上にRGBの着色膜6R、6G、6Bが形成
され、その間を埋めるようにマトリックス状の遮光膜4
が形成され、さらにその上には透明電極8aが形成され
ている。
基板2aの上にRGBの着色膜6R、6G、6Bが形成
され、その間を埋めるようにマトリックス状の遮光膜4
が形成され、さらにその上には透明電極8aが形成され
ている。
【0006】これらアレイ基板15とカラーフィルタ基
板21との相対向する面には、それぞれ配向膜9a、9
bが形成されており、液晶パネルの表裏面には、用途に
応じて偏光板が貼り付けられる。
板21との相対向する面には、それぞれ配向膜9a、9
bが形成されており、液晶パネルの表裏面には、用途に
応じて偏光板が貼り付けられる。
【0007】また、これらカラーフィルタ基板の遮光膜
4として、クロム膜や顔料分散した樹脂ブラック等が用
いられる。また、カラーフィルタ基板の着色膜6R、6
G、6Bの形成方法として、染色法、顔料分散法、印刷
法、電着法、フィルム転写法、インクジェット法等の工
法が開発され、それぞれ開示されている。
4として、クロム膜や顔料分散した樹脂ブラック等が用
いられる。また、カラーフィルタ基板の着色膜6R、6
G、6Bの形成方法として、染色法、顔料分散法、印刷
法、電着法、フィルム転写法、インクジェット法等の工
法が開発され、それぞれ開示されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
のカラーフィルタ方式のうち、樹脂BM(BlackM
atrix)を用いたカラーフィルタにおいては、BM
のパターニング精度の点で問題があり、このカラーフィ
ルタを用いて液晶パネル化し、画像表示をした場合、表
示むらが発生するという課題があった。さらに、下記に
樹脂BMを用いたカラーフィルタ形成法を2方式説明す
るが、いずれの場合においても上記同様の課題があっ
た。以下、その2方式について説明する。
のカラーフィルタ方式のうち、樹脂BM(BlackM
atrix)を用いたカラーフィルタにおいては、BM
のパターニング精度の点で問題があり、このカラーフィ
ルタを用いて液晶パネル化し、画像表示をした場合、表
示むらが発生するという課題があった。さらに、下記に
樹脂BMを用いたカラーフィルタ形成法を2方式説明す
るが、いずれの場合においても上記同様の課題があっ
た。以下、その2方式について説明する。
【0009】まず、第1方式のカラーフィルタ製造時の
工程断面を図4に、その完成平面およびアレイ基板と貼
り合わせた液晶パネルの平面を図5にそれぞれ示す。こ
の方式は、樹脂BMを先に形成した後、この上に着色膜
6R、6G、6Bをパターンニングしてカラーフィルタ
基板21を製造するものである。以下、その製造方法を
詳述する。
工程断面を図4に、その完成平面およびアレイ基板と貼
り合わせた液晶パネルの平面を図5にそれぞれ示す。こ
の方式は、樹脂BMを先に形成した後、この上に着色膜
6R、6G、6Bをパターンニングしてカラーフィルタ
基板21を製造するものである。以下、その製造方法を
詳述する。
【0010】図4(a)に示すように、ガラス基板2a
上に黒色顔料分散の樹脂ブラック4a膜を形成する。次
に、図4(b)に示すように、フォトマスク17aを用
いて露光18、現像することにより、図4(c)のよう
にBMの所要パターン形状にパターニングする。この
後、図4(d)に示すように、この上にR色顔料分散の
樹脂膜6Rを形成した後、フォトマスク17bを用いて
フォトリソ法により、図4(e)のようにRパターンを
形成する。これを3色繰り返すことにより、図4(f)
に示すようにRGBを形成し、所望のカラーフィルタが
得られる。
上に黒色顔料分散の樹脂ブラック4a膜を形成する。次
に、図4(b)に示すように、フォトマスク17aを用
いて露光18、現像することにより、図4(c)のよう
にBMの所要パターン形状にパターニングする。この
後、図4(d)に示すように、この上にR色顔料分散の
樹脂膜6Rを形成した後、フォトマスク17bを用いて
フォトリソ法により、図4(e)のようにRパターンを
形成する。これを3色繰り返すことにより、図4(f)
に示すようにRGBを形成し、所望のカラーフィルタが
得られる。
【0011】この方式においては、樹脂ブラック4aを
フォトリソ法でパターニングする際、画素パターン形状
が悪い場合には、図5(a)にその平面を示したよう
に、画素エッジ形状(樹脂ブラック4aのエッジ)の悪
いカラーフィルタとなる。このため、図5(b)に示す
ように、アレイ基板と貼り合わせてパネル化した際、ソ
ース線10sの直線部分11s(ゲート線と交わらない
ソース線のみの部分)の線幅より樹脂ブラック4aの線
幅の方が広いため、この樹脂ブラック4aの悪いエッジ
形状が表示品位を悪くし、表示むらのあるものとなる場
合があった。
フォトリソ法でパターニングする際、画素パターン形状
が悪い場合には、図5(a)にその平面を示したよう
に、画素エッジ形状(樹脂ブラック4aのエッジ)の悪
いカラーフィルタとなる。このため、図5(b)に示す
ように、アレイ基板と貼り合わせてパネル化した際、ソ
ース線10sの直線部分11s(ゲート線と交わらない
ソース線のみの部分)の線幅より樹脂ブラック4aの線
幅の方が広いため、この樹脂ブラック4aの悪いエッジ
形状が表示品位を悪くし、表示むらのあるものとなる場
合があった。
【0012】次に、第2方式のカラーフィルタ製造工程
時の断面を図6に、その完成平面およびアレイ基板と貼
り合わせた液晶パネルの平面を図7にそれぞれ示す。こ
の方式は、着色膜6R、6G、6Bを形成した後、この
上に樹脂ブラック4b膜を形成し、裏面から露光するこ
とにより着色膜の間隙部に樹脂ブラック4bを形成する
ものである。以下、詳述する。
時の断面を図6に、その完成平面およびアレイ基板と貼
り合わせた液晶パネルの平面を図7にそれぞれ示す。こ
の方式は、着色膜6R、6G、6Bを形成した後、この
上に樹脂ブラック4b膜を形成し、裏面から露光するこ
とにより着色膜の間隙部に樹脂ブラック4bを形成する
ものである。以下、詳述する。
【0013】図6(a)に示すように、ガラス基板2a
上にR色顔料分散の樹脂膜6Rを形成する。次に、図6
(b)に示すように、フォトマスク17bを用いて露光
18、現像することにより、図6(c)のように所要の
Rパターンをパターニングする。この後、このRパター
ンに合わせて、図6(d)のようにGパターン、Bパタ
ーンをそれぞれ形成する。最後に、図6(e)に示すよ
うに、この上に樹脂ブラック4b膜を形成した後、裏面
から露光することにより、図6(f)に示すような所望
のカラーフィルタが形成される。なお、裏面から露光す
る際、パネルパターンの周辺部を露光させないように、
裏面露光用のマスク19を用いてパターニングする。さ
らに、着色膜6R、6G、6Bの中にも、光遮光剤を含
有させ、着色膜上の樹脂ブラック4b膜にも光を当てな
いようにし、現像によりこの部分の樹脂ブラックも除去
するものである。
上にR色顔料分散の樹脂膜6Rを形成する。次に、図6
(b)に示すように、フォトマスク17bを用いて露光
18、現像することにより、図6(c)のように所要の
Rパターンをパターニングする。この後、このRパター
ンに合わせて、図6(d)のようにGパターン、Bパタ
ーンをそれぞれ形成する。最後に、図6(e)に示すよ
うに、この上に樹脂ブラック4b膜を形成した後、裏面
から露光することにより、図6(f)に示すような所望
のカラーフィルタが形成される。なお、裏面から露光す
る際、パネルパターンの周辺部を露光させないように、
裏面露光用のマスク19を用いてパターニングする。さ
らに、着色膜6R、6G、6Bの中にも、光遮光剤を含
有させ、着色膜上の樹脂ブラック4b膜にも光を当てな
いようにし、現像によりこの部分の樹脂ブラックも除去
するものである。
【0014】この方式においては、図7(a)に示すよ
うに、R、G、Bパターンのそれぞれのパターニング位
置が、露光機のパターニング精度により微妙にずれるた
め、この間隙部に形成された樹脂ブラック4bの形状が
色ごとにずれたものになる。このため、図7(b)に示
すように、このずれにより、アレイ基板と貼り合わせて
パネル化した際、ソース線10sの直線部分11s(ゲ
ート線と交わらないソース線のみの部分)の線幅より樹
脂ブラック4bの線幅の方が広いため、表示むらのある
ものとなる場合があった。
うに、R、G、Bパターンのそれぞれのパターニング位
置が、露光機のパターニング精度により微妙にずれるた
め、この間隙部に形成された樹脂ブラック4bの形状が
色ごとにずれたものになる。このため、図7(b)に示
すように、このずれにより、アレイ基板と貼り合わせて
パネル化した際、ソース線10sの直線部分11s(ゲ
ート線と交わらないソース線のみの部分)の線幅より樹
脂ブラック4bの線幅の方が広いため、表示むらのある
ものとなる場合があった。
【0015】
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るため、本発明は、カラーフィルタ基板とアレイ基板を
貼り合わせた液晶表示パネルにおいて、アレイ基板の表
示画素領域におけるソース線またはゲート線の直線部分
と、それに対向するカラーフィルタ基板の表示画素領域
における遮光膜部分とが、前記ソース線またはゲート線
の直線部分の範囲内で対向するようにしたものである。
るため、本発明は、カラーフィルタ基板とアレイ基板を
貼り合わせた液晶表示パネルにおいて、アレイ基板の表
示画素領域におけるソース線またはゲート線の直線部分
と、それに対向するカラーフィルタ基板の表示画素領域
における遮光膜部分とが、前記ソース線またはゲート線
の直線部分の範囲内で対向するようにしたものである。
【0016】すなわち、アレイ基板上のソース線および
ゲート線は金属膜で形成されており、この部分で十分に
遮光効果が得られるので、両基板を重ねた際、カラーフ
ィルタ基板上の樹脂ブラックの領域がソース線およびゲ
ート線の領域で隠されるように配置することにより、表
示むらの発生しない液晶パネルが得られる。
ゲート線は金属膜で形成されており、この部分で十分に
遮光効果が得られるので、両基板を重ねた際、カラーフ
ィルタ基板上の樹脂ブラックの領域がソース線およびゲ
ート線の領域で隠されるように配置することにより、表
示むらの発生しない液晶パネルが得られる。
【0017】カラーフィルタ基板上の樹脂ブラックの領
域がソース線およびゲート線の領域で隠されるようにす
るために、樹脂ブラックの線幅を、ソース線またはゲー
ト線の線幅と略同一または細くする。さらには、樹脂ブ
ラックの線幅を実質的に0、すなわち、その部分の樹脂
ブラックを形成しないようにしてもよい。
域がソース線およびゲート線の領域で隠されるようにす
るために、樹脂ブラックの線幅を、ソース線またはゲー
ト線の線幅と略同一または細くする。さらには、樹脂ブ
ラックの線幅を実質的に0、すなわち、その部分の樹脂
ブラックを形成しないようにしてもよい。
【0018】したがって、本発明の請求項1に記載の液
晶表示装置は、ソース線とゲート線に接続されたスイッ
チング能動素子および前記スイッチング能動素子により
駆動される画素電極を備えたアレイ基板と、前記画素電
極の対向電極を有するカラーフィルタ基板とを互いに対
向させて貼り合わせ、その間隙部に液晶を封入してなる
液晶表示装置において、前記アレイ基板の表示画素領域
における少なくともソース線の直線部分および/または
ゲート線の直線部分と、これに対向する前記カラーフィ
ルタ基板の表示画素領域における遮光膜部分との間で、
前記遮光膜部分が前記ソース線および/またはゲート線
の直線部分の領域内で対向することを特徴とするもので
ある。
晶表示装置は、ソース線とゲート線に接続されたスイッ
チング能動素子および前記スイッチング能動素子により
駆動される画素電極を備えたアレイ基板と、前記画素電
極の対向電極を有するカラーフィルタ基板とを互いに対
向させて貼り合わせ、その間隙部に液晶を封入してなる
液晶表示装置において、前記アレイ基板の表示画素領域
における少なくともソース線の直線部分および/または
ゲート線の直線部分と、これに対向する前記カラーフィ
ルタ基板の表示画素領域における遮光膜部分との間で、
前記遮光膜部分が前記ソース線および/またはゲート線
の直線部分の領域内で対向することを特徴とするもので
ある。
【0019】また、請求項2に記載の液晶表示装置は、
請求項1に記載の液晶表示装置において、カラーフィル
タ基板の表示画素領域における遮光膜を顔料分散の樹脂
ブラックで構成し、アレイ基板の表示画素領域における
少なくともソース線の直線部分の線幅に対し、それに対
向する遮光膜部分の線幅を細線としたものである。
請求項1に記載の液晶表示装置において、カラーフィル
タ基板の表示画素領域における遮光膜を顔料分散の樹脂
ブラックで構成し、アレイ基板の表示画素領域における
少なくともソース線の直線部分の線幅に対し、それに対
向する遮光膜部分の線幅を細線としたものである。
【0020】また、請求項3に記載の液晶表示装置は、
請求項1に記載の液晶表示装置において、カラーフィル
タ基板の表示画素領域における遮光膜を顔料分散の樹脂
ブラックで構成し、アレイ基板の表示画素領域における
少なくともソース線の直線部分の線幅に対し、それに対
向する遮光膜部分の線幅を略同じにしたものである。
請求項1に記載の液晶表示装置において、カラーフィル
タ基板の表示画素領域における遮光膜を顔料分散の樹脂
ブラックで構成し、アレイ基板の表示画素領域における
少なくともソース線の直線部分の線幅に対し、それに対
向する遮光膜部分の線幅を略同じにしたものである。
【0021】さらに、請求項4に記載の液晶表示装置
は、請求項1に記載の液晶表示装置において、アレイ基
板の表示画素領域における少なくともソース線の直線部
分および/またはゲート線の直線部分に対向するカラー
フィルタ基板の表示画素領域における遮光膜部分の線幅
を実質的に0にするものである。
は、請求項1に記載の液晶表示装置において、アレイ基
板の表示画素領域における少なくともソース線の直線部
分および/またはゲート線の直線部分に対向するカラー
フィルタ基板の表示画素領域における遮光膜部分の線幅
を実質的に0にするものである。
【0022】上記構成によれば、遮光膜のエッジ部分に
凹凸が生じても、またアライメントずれが生じた場合で
も、それらは遮光性のある金属膜からなるソース線やゲ
ート線の領域内でおこるので、表示むらの発生には至ら
ない。
凹凸が生じても、またアライメントずれが生じた場合で
も、それらは遮光性のある金属膜からなるソース線やゲ
ート線の領域内でおこるので、表示むらの発生には至ら
ない。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態につい
て、図面を参照しながら詳細に説明する。
て、図面を参照しながら詳細に説明する。
【0024】(実施の形態1)図1は、本発明の実施の
形態1におけるカラーフィルタ基板を用いた液晶表示装
置の断面模式図であり、図2はその平面図である。図
1,図2において、1はカラーフィルタ基板、15はア
レイ基板である。
形態1におけるカラーフィルタ基板を用いた液晶表示装
置の断面模式図であり、図2はその平面図である。図
1,図2において、1はカラーフィルタ基板、15はア
レイ基板である。
【0025】まず、カラーフィルタ基板1の形成方法を
説明する。基本的には図4の従来例と同じである。まず
図4(a)に示したように、ガラス基板2a上に黒色顔
料分散の樹脂ブラック4a膜を形成する。次に、フォト
マスク17aを用いて露光18、現像することにより、
図4(c)に示す所要パターン形状の樹脂ブラック4a
をパターニングする。ここで、樹脂ブラック4aの線幅
をX1とする。この後、図4(d)に示すように、この
上にR色顔料分散の樹脂膜を形成した後、フォトマスク
17bを用いて露光した後、現像することにより、図4
(e)に示すようなRパターン6Rが形成される。その
後、この工程を3色繰り返すことにより、図4(f)に
示すように、RGBの形成された所望のカラーフィルタ
基板が得られる。
説明する。基本的には図4の従来例と同じである。まず
図4(a)に示したように、ガラス基板2a上に黒色顔
料分散の樹脂ブラック4a膜を形成する。次に、フォト
マスク17aを用いて露光18、現像することにより、
図4(c)に示す所要パターン形状の樹脂ブラック4a
をパターニングする。ここで、樹脂ブラック4aの線幅
をX1とする。この後、図4(d)に示すように、この
上にR色顔料分散の樹脂膜を形成した後、フォトマスク
17bを用いて露光した後、現像することにより、図4
(e)に示すようなRパターン6Rが形成される。その
後、この工程を3色繰り返すことにより、図4(f)に
示すように、RGBの形成された所望のカラーフィルタ
基板が得られる。
【0026】一方、アレイ基板は、まず、一般的な半導
体薄膜の成膜と絶縁膜の成膜とフォトリソ法によるエッ
チングを繰り返して、基板2bの上に、ソース線10
s、ゲート線10gのアレイ配線を形成すると共に、能
動素子3を形成する。この時の直線部分11sにおける
ソース線の線幅をY1とする。次に、この上に、画素電
極8bと能動素子3をコンタクトホール7で導通させた
平坦化膜5を形成する。
体薄膜の成膜と絶縁膜の成膜とフォトリソ法によるエッ
チングを繰り返して、基板2bの上に、ソース線10
s、ゲート線10gのアレイ配線を形成すると共に、能
動素子3を形成する。この時の直線部分11sにおける
ソース線の線幅をY1とする。次に、この上に、画素電
極8bと能動素子3をコンタクトホール7で導通させた
平坦化膜5を形成する。
【0027】次に、上記のようにして得られたカラーフ
ィルタ基板1とアレイ基板15を組み合わせた液晶パネ
ルについて説明する。図1に示すように、液晶パネル
は、アレイ基板15とカラーフィルタ基板1とが球状の
スペーサ12を介してシール剤14にて貼り合わされ、
両基板の間に液晶13が封入された構成となっている
が、図2に示した液晶パネルの平面図からわかるよう
に、カラーフィルタ基板上の遮光膜4(図4における樹
脂ブラック4a)の線幅X1が、ソース線10sの直線
部分11sの線幅Y1より小さくなるように設計するこ
とにより、遮光膜4のエッジ形状が悪い状態であって
も、金属膜であり遮光効果のあるソース線10sにより
遮光され、液晶パネルとしての各画素のエッジ形状はシ
ャープなものとなって表示むらのない液晶パネルが得ら
れる。
ィルタ基板1とアレイ基板15を組み合わせた液晶パネ
ルについて説明する。図1に示すように、液晶パネル
は、アレイ基板15とカラーフィルタ基板1とが球状の
スペーサ12を介してシール剤14にて貼り合わされ、
両基板の間に液晶13が封入された構成となっている
が、図2に示した液晶パネルの平面図からわかるよう
に、カラーフィルタ基板上の遮光膜4(図4における樹
脂ブラック4a)の線幅X1が、ソース線10sの直線
部分11sの線幅Y1より小さくなるように設計するこ
とにより、遮光膜4のエッジ形状が悪い状態であって
も、金属膜であり遮光効果のあるソース線10sにより
遮光され、液晶パネルとしての各画素のエッジ形状はシ
ャープなものとなって表示むらのない液晶パネルが得ら
れる。
【0028】(実施の形態2)図3は、本発明の実施の
形態2におけるカラーフィルタ基板を用いた液晶表示素
子の断面模式図である。
形態2におけるカラーフィルタ基板を用いた液晶表示素
子の断面模式図である。
【0029】まず、カラーフィルタ基板1の形成方法を
説明する。基本的には図6の従来例と同じである。カラ
ーフィルタ基板の形成は、図6(a)に示すように、ガ
ラス基板2a上にR色顔料分散の樹脂膜6Rを形成す
る。次に、図6(b)に示すように、フォトマスク17
bを用いて露光18、現像することにより、図6(c)
のように所要のRパターンをパターニングする。この
後、このRパターンと同時に形成された図示しないアラ
イメントマークに合わせて、図6(d)に示すように、
Gパターン、Bパターンをそれぞれ形成する。さらに、
図6(e)に示すように、この上に樹脂ブラック4b膜
を形成した後、ガラス基板2aの裏面から露光した後、
現像することにより、図6(f)に示すような所望のカ
ラーフィルタが形成される。この時、裏面から露光する
際、パネルパターンの周辺部を露光させないように、裏
面露光用のマスク19を用いてパターニングを行う。さ
らに、着色膜6R、6G、6Bの中にも、光遮光剤を含
有させることにより、着色膜上の樹脂ブラック4bにも
光が当たらないため、現像することによりこの部分の樹
脂ブラックも除去でき、所望のパターン形状のカラーフ
ィルタが得られるものである。また場合によっては、こ
の上に平坦化膜を形成することにより、平坦性の優れた
カラーフィルタ基板が得られる。
説明する。基本的には図6の従来例と同じである。カラ
ーフィルタ基板の形成は、図6(a)に示すように、ガ
ラス基板2a上にR色顔料分散の樹脂膜6Rを形成す
る。次に、図6(b)に示すように、フォトマスク17
bを用いて露光18、現像することにより、図6(c)
のように所要のRパターンをパターニングする。この
後、このRパターンと同時に形成された図示しないアラ
イメントマークに合わせて、図6(d)に示すように、
Gパターン、Bパターンをそれぞれ形成する。さらに、
図6(e)に示すように、この上に樹脂ブラック4b膜
を形成した後、ガラス基板2aの裏面から露光した後、
現像することにより、図6(f)に示すような所望のカ
ラーフィルタが形成される。この時、裏面から露光する
際、パネルパターンの周辺部を露光させないように、裏
面露光用のマスク19を用いてパターニングを行う。さ
らに、着色膜6R、6G、6Bの中にも、光遮光剤を含
有させることにより、着色膜上の樹脂ブラック4bにも
光が当たらないため、現像することによりこの部分の樹
脂ブラックも除去でき、所望のパターン形状のカラーフ
ィルタが得られるものである。また場合によっては、こ
の上に平坦化膜を形成することにより、平坦性の優れた
カラーフィルタ基板が得られる。
【0030】但し、ここで得られたカラーフィルタ基板
のR、G、Bパターンは、それぞれのパターニング位置
が、露光機のパターニング精度により微妙にずれるた
め、この間隙部に形成された樹脂ブラック4bの形状が
色ごとに変動したものになる。すなわち、露光時のアラ
イメントずれにより、色ごとに、樹脂ブラック4bの線
幅X2がばらつくことになる。
のR、G、Bパターンは、それぞれのパターニング位置
が、露光機のパターニング精度により微妙にずれるた
め、この間隙部に形成された樹脂ブラック4bの形状が
色ごとに変動したものになる。すなわち、露光時のアラ
イメントずれにより、色ごとに、樹脂ブラック4bの線
幅X2がばらつくことになる。
【0031】次に、上記のようにして得られたカラーフ
ィルタ基板1とアレイ基板15を組み合わせた液晶パネ
ルについて説明する。図3に示すように、液晶パネル
は、アレイ基板15とカラーフィルタ基板1とが球状の
スペーサ12を介してシール剤14にて貼り合わされ、
両基板の間隙部に液晶13が封入された構成となってい
るが、実施の形態1と同様にカラーフィルタ基板1上の
遮光膜4(図6の樹脂ブラック4b)の線幅X2が、ソ
ース線10sの直線部分11sの線幅Y2より細い設計
にすることにより、遮光膜4の線幅にばらつきがあった
状態においても、金属膜であり遮光効果のあるソース線
10sにより遮光され、液晶パネルとしての各画素のエ
ッジ形状はシャープなものとなり、表示むらのない液晶
パネルが得られるものである。
ィルタ基板1とアレイ基板15を組み合わせた液晶パネ
ルについて説明する。図3に示すように、液晶パネル
は、アレイ基板15とカラーフィルタ基板1とが球状の
スペーサ12を介してシール剤14にて貼り合わされ、
両基板の間隙部に液晶13が封入された構成となってい
るが、実施の形態1と同様にカラーフィルタ基板1上の
遮光膜4(図6の樹脂ブラック4b)の線幅X2が、ソ
ース線10sの直線部分11sの線幅Y2より細い設計
にすることにより、遮光膜4の線幅にばらつきがあった
状態においても、金属膜であり遮光効果のあるソース線
10sにより遮光され、液晶パネルとしての各画素のエ
ッジ形状はシャープなものとなり、表示むらのない液晶
パネルが得られるものである。
【0032】なお、実施の形態1および2では、遮光膜
4の線幅をソース線10sの直線部分11sの線幅より
細くしたが、遮光膜4の線幅を実質的に0、すなわち、
この部分の遮光膜を形成しなくても、同様の効果が得ら
れる。
4の線幅をソース線10sの直線部分11sの線幅より
細くしたが、遮光膜4の線幅を実質的に0、すなわち、
この部分の遮光膜を形成しなくても、同様の効果が得ら
れる。
【0033】また、ソース線の直線部分とそれに対応す
る遮光膜について説明したが、ゲート線の直線部分とそ
れに対応する遮光膜においても同様の線幅を設定するこ
ともできる。
る遮光膜について説明したが、ゲート線の直線部分とそ
れに対応する遮光膜においても同様の線幅を設定するこ
ともできる。
【0034】(実施の形態3)本実施の形態3における
液晶表示素子の断面模式図は、図1と同様のものであ
る。また、カラーフィルタ形成法も図4を用いて説明す
る。
液晶表示素子の断面模式図は、図1と同様のものであ
る。また、カラーフィルタ形成法も図4を用いて説明す
る。
【0035】まず、図4(a)に示したように、ガラス
基板2a上に黒色顔料分散レジストをスピンナーにより
塗布する。次に、プロキシミティ露光法により露光、現
像することにより、図4(c)に示す所要パターン形状
の樹脂ブラックをパターニングする(この時の樹脂ブラ
ック4aの線幅は、X3とする)。この後、図4(d)
に示すように、この上にR色顔料分散の樹脂膜を形成し
た後、フォトマスク17bを用いて露光した後、現像す
ることにより、Rパターン6Rが形成される。同様にし
て、この工程を3色繰り返すことにより、RGBの形成
された所望のカラーフィルタ基板が得られる。また場合
によっては、この上に平坦化膜を形成することにより、
平坦性の優れたカラーフィルタ基板が得られる。
基板2a上に黒色顔料分散レジストをスピンナーにより
塗布する。次に、プロキシミティ露光法により露光、現
像することにより、図4(c)に示す所要パターン形状
の樹脂ブラックをパターニングする(この時の樹脂ブラ
ック4aの線幅は、X3とする)。この後、図4(d)
に示すように、この上にR色顔料分散の樹脂膜を形成し
た後、フォトマスク17bを用いて露光した後、現像す
ることにより、Rパターン6Rが形成される。同様にし
て、この工程を3色繰り返すことにより、RGBの形成
された所望のカラーフィルタ基板が得られる。また場合
によっては、この上に平坦化膜を形成することにより、
平坦性の優れたカラーフィルタ基板が得られる。
【0036】一方、アレイ基板は、まず、一般的な半導
体薄膜の成膜と絶縁膜の成膜とフォトリソ法によるエッ
チングを繰り返して、基板2bの上に、ソース線10
s、ゲート線10gのアレイ配線を形成すると共に、能
動素子3を形成する。なお、ここでソース線の直線部分
11sの線幅をY3とする。次に、この上に画素電極8
bと能動素子3をコンタクトホール7で導通させた平坦
化膜5を形成し、アレイ基板15が得られる。
体薄膜の成膜と絶縁膜の成膜とフォトリソ法によるエッ
チングを繰り返して、基板2bの上に、ソース線10
s、ゲート線10gのアレイ配線を形成すると共に、能
動素子3を形成する。なお、ここでソース線の直線部分
11sの線幅をY3とする。次に、この上に画素電極8
bと能動素子3をコンタクトホール7で導通させた平坦
化膜5を形成し、アレイ基板15が得られる。
【0037】ここで、カラーフィルタ基板上の樹脂ブラ
ック4aの線幅X3を、ソース線10sの直線部分11
sの線幅Y3と同じ線幅に設計にすることにより、現像
工程の現像ばらつき等による樹脂ブラック4aのエッジ
形状が悪化しても、金属膜であり遮光効果のあるソース
線10sにより遮光され、液晶パネルとしての各画素の
エッジ形状はシャープなものとなり、表示むらのない液
晶パネルが得られるものである。
ック4aの線幅X3を、ソース線10sの直線部分11
sの線幅Y3と同じ線幅に設計にすることにより、現像
工程の現像ばらつき等による樹脂ブラック4aのエッジ
形状が悪化しても、金属膜であり遮光効果のあるソース
線10sにより遮光され、液晶パネルとしての各画素の
エッジ形状はシャープなものとなり、表示むらのない液
晶パネルが得られるものである。
【0038】ソース線10sは金属膜であるため金属光
沢があるが、カラーフィルタの樹脂ブラックの線幅X3
がアレイ基板のソース線の直線部分11sの線幅Y3よ
り細い場合、ソース線の金属光沢が露出するため、液晶
パネルの表示特性が低下するが、樹脂ブラック線幅X3
とソース線幅Y3を同じにすることにより、金属光沢の
露出も防止できるものである。
沢があるが、カラーフィルタの樹脂ブラックの線幅X3
がアレイ基板のソース線の直線部分11sの線幅Y3よ
り細い場合、ソース線の金属光沢が露出するため、液晶
パネルの表示特性が低下するが、樹脂ブラック線幅X3
とソース線幅Y3を同じにすることにより、金属光沢の
露出も防止できるものである。
【0039】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カラーフィルタ基板の遮光膜のパターニング形状が悪
い場合、RGBパターニング後このパターンの間隙に
遮光膜を形成し、アライメントずれにより遮光膜の線幅
にバラツキが生じた場合、このいずれの場合において
も、従来の液晶パネルの構成では、表示むらが発生して
いたが、カラーフィルタの遮光膜を、対向するアレイ基
板のソース線あるいはゲート線の領域内で対向させるよ
うに設計することにより、液晶パネルでの表示むらの発
生を防止することができる。
カラーフィルタ基板の遮光膜のパターニング形状が悪
い場合、RGBパターニング後このパターンの間隙に
遮光膜を形成し、アライメントずれにより遮光膜の線幅
にバラツキが生じた場合、このいずれの場合において
も、従来の液晶パネルの構成では、表示むらが発生して
いたが、カラーフィルタの遮光膜を、対向するアレイ基
板のソース線あるいはゲート線の領域内で対向させるよ
うに設計することにより、液晶パネルでの表示むらの発
生を防止することができる。
【0040】さらに、液晶パネルの超高開口率化が実現
できるため、液晶表示装置として、高輝度化および低消
費電力化を実現することができる。
できるため、液晶表示装置として、高輝度化および低消
費電力化を実現することができる。
【図1】本発明の実施の形態1における液晶表示装置の
断面模式図
断面模式図
【図2】本発明の実施の形態1におけるアレイ基板のソ
ース線とカラーフィルタ基板の遮光膜との位置関係を示
す平面図
ース線とカラーフィルタ基板の遮光膜との位置関係を示
す平面図
【図3】本発明の実施の形態2における液晶表示装置の
断面模式図
断面模式図
【図4】従来の第1方式によるカラーフィルタ基板の製
造工程を示す断面図
造工程を示す断面図
【図5】従来の第1方式によるカラーフィルタ基板にお
ける樹脂ブラックのパターンエッジを示す平面図
ける樹脂ブラックのパターンエッジを示す平面図
【図6】従来の第2方式によるカラーフィルタ基板の製
造工程を示す断面図
造工程を示す断面図
【図7】従来の第2方式によるカラーフィルタ基板にお
ける樹脂ブラックのパターンエッジとアレイ基板におけ
るソース線との位置関係を示す平面図
ける樹脂ブラックのパターンエッジとアレイ基板におけ
るソース線との位置関係を示す平面図
【図8】従来例の液晶表示装置の断面模式図
【図9】従来例のカラーフィルタ基板における樹脂ブラ
ックのパターンエッジとアレイ基板におけるソース線と
の位置関係を示す平面図
ックのパターンエッジとアレイ基板におけるソース線と
の位置関係を示す平面図
1 カラーフィルタ基板 2a,2b ガラス基板 3 スイッチング能動素子 4 遮光膜 5 平坦化膜 6R,6G,6B RGB着色膜 7 コンタクトホール 8a 透明電極 8b 画素電極 9a,9b 配向膜 10s ソース線 10g ゲート線 11s ソース線の直線部分 12 スペーサ 13 液晶 15 アレイ基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松川 秀樹 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 廣瀬 貴司 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 2H091 FA35Y FB02 FC10 FC26 FC29 FD04 FD14 FD21 GA13 GA17 LA03 2H092 JA26 JA29 JA38 JA42 JB13 JB23 JB32 JB38 JB51 JB58 KB26 MA10 MA14 MA15 MA16 MA18 MA19 MA20 MA35 MA37 NA01 NA25 NA29 PA08 PA09 QA07 2H113 AA05 BB09 BB22 CA17 5G435 AA04 BB12 CC09 CC12 EE12 FF13 GG12 HH09 KK05
Claims (4)
- 【請求項1】 ソース線とゲート線に接続されたスイッ
チング能動素子および前記スイッチング能動素子により
駆動される画素電極を備えたアレイ基板と、前記画素電
極の対向電極を有するカラーフィルタ基板とを互いに対
向させて貼り合わせ、その間隙部に液晶を封入してなる
液晶表示装置において、 前記アレイ基板の表示画素領域における少なくともソー
ス線の直線部分および/またはゲート線の直線部分と、
これに対向する前記カラーフィルタ基板の表示画素領域
における遮光膜部分との間で、前記遮光膜部分が前記ソ
ース線および/またはゲート線の直線部分の領域内で対
向することを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項2】 カラーフィルタ基板の表示画素領域にお
ける遮光膜は、顔料分散の樹脂ブラックからなり、アレ
イ基板の表示画素領域における少なくともソース線の直
線部分の線幅に対し、それに対向する前記遮光膜部分の
線幅は細線であることを特徴とする請求項1記載の液晶
表示装置。 - 【請求項3】 カラーフィルタ基板の表示画素領域にお
ける遮光膜は、顔料分散の樹脂ブラックからなり、アレ
イ基板の表示画素領域における少なくともソース線の直
線部分の線幅に対し、それに対向する前記遮光膜部分の
線幅は略同じであることを特徴とする請求項1記載の液
晶表示装置。 - 【請求項4】 アレイ基板の表示画素領域における少な
くともソース線の直線部分および/またはゲート線の直
線部分に対向するカラーフィルタ基板の表示画素領域に
おける遮光膜部分の線幅は実質的に0であることを特徴
とする請求項1記載の液晶表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11107581A JP2000298287A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 液晶表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11107581A JP2000298287A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 液晶表示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000298287A true JP2000298287A (ja) | 2000-10-24 |
Family
ID=14462805
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11107581A Pending JP2000298287A (ja) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000298287A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100430804B1 (ko) * | 2001-11-15 | 2004-05-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 개구율 향상구조 액정표시장치 |
-
1999
- 1999-04-15 JP JP11107581A patent/JP2000298287A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100430804B1 (ko) * | 2001-11-15 | 2004-05-10 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 개구율 향상구조 액정표시장치 |
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