JP2000285505A - 光記録媒体 - Google Patents
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Abstract
は)消去を行うことができる光記録媒体であって、近接
場光による情報の記録、再生及び(又は)消去を行う情
報記録装置において近接場光発生装置を利用したトラッ
キング動作におけるトラッキング位置検出、近接場光発
生装置と光記録媒体との間の距離検出等のうち少なくと
も一つを精度よく行うことができ、ひいてはそれだけ光
記録媒体と近接場光発生装置との相対位置関係を精度よ
く決定することができる光記録媒体を提供する。 【解決手段】 近接場光Lによる情報の近接場光記録、
再生及び(又は)消去を行うことができる光記録媒体5
であり、情報記録層52を有し、記録層52の表面に薄
い金属からなる層53が設けられている。
Description
の近接場光記録、再生及び(又は)消去を行うことがで
きる光記録媒体に関する。
媒体への情報の記録、該媒体からの情報の再生(読み出
し)、及び該媒体の情報の消去が行われる。この光によ
る情報の記録、再生及び消去は、例えば、情報の記録、
再生及び(又は)消去を行う装置(以下、単に情報記録
装置という)にて行われる。
(又は)消去のために光記録媒体に光を照射する光ヘッ
ドが搭載されている。そして、光ヘッドと光記録媒体と
の相対位置関係が制御される。すなわち、この光ヘッド
から射出される光を光記録媒体の目的とする部位に適切
に照射するために光ヘッドと光記録媒体との間隔距離が
制御されるとともに、光ヘッド位置をその目的とする部
位に対応させるためのトラッキング制御がなされる。
てはシェアフォース法、トンネル電流法、原子間力法等
の手法で間隔制御を検出し、その検出値に基づいて、光
ヘッドを光記録媒体に対し近接、離反させることで行わ
れている。また、トラッキング制御については、光記録
媒体に段差を有するトラッキング溝(例えば、断面V字
形状の溝、円形状のトラッキング用ピットなど)をトラ
ッキングパターンとして設け、このパターンに光ヘッド
から光照射することで、該ヘッドを該パターンに追随さ
せてトラッキング制御する。
び消去に近接場光を用いる光記録媒体が注目されてい
る。近接場光を用いた情報の記録、再生及び消去は、
「光の回折限界」の制約を受けない近接場光を用いるた
め、光の波長サイズよりも小さな単位で情報の記録、再
生及び消去を行うことができる。例えば、Applied Phys
ics Letters :61,142,1992 (American Institute of
Physics 出版)では近接場光を用いた光磁気記録媒体へ
の情報の記録について記載されている。
近接場光発生装置が搭載されており、該近接場光発生装
置からの近接場光を光記録媒体に照射することで、該光
記録媒体に情報の近接場光記録、再生及び消去が行われ
る。
場光は、近接場光発生装置のごく近傍にしか存在せず、
且つ、その近接場光強度は該近接場光発生装置からの距
離に大きく依存する」という特徴を持つ。このため、近
接場光による情報記録装置では、情報の近接場光記録、
再生及び消去時に、光記録媒体の表面と近接場光発生装
置との間隔距離を近接場光発生装置の近傍領域内で一定
距離に維持するように制御する必要がある。
記録等を行う光記録媒体ではトラッキング制御の上で次
の問題がある。すなわち、トラッキング制御のために光
記録媒体に前記のような段差を有するトラック溝を設
け、近接場光発生装置を用いてトラッキング位置検出を
行う場合には、既述のとおり近接場光発生装置と媒体と
の間隔を厳しく制御する必要があるため、トラック溝に
よる段差を有する記録面と近接場光発生装置の近接場光
射出部との間隔保持技術が複雑なものになる。
報が記録される記録スポットが微細になるため、それに
伴い、当然その記録媒体におけるトラック溝に要求され
るトラック幅・トラック間隔(ピッチ)も小さくなる。
このように小さなトラック幅・トラック間隔(ピッチ)
のトラック溝を有する光記録媒体を従来のスタンパ法に
より製作することは困難である。
ら離れた深部にトラッキング層を設ける構成も提案され
ているが、かかる構成では、トラッキング層が近接場光
が存在する領域、いわゆる”近接場領域”から離れてし
まうので、該トラッキング層を近接場光によるトラッキ
ングに用いることは困難である。そこで本発明は、近接
場光による情報の記録、再生及び(又は)消去を行うこ
とができる光記録媒体であって、近接場光による情報の
記録、再生及び(又は)消去を行う情報記録装置におい
て近接場光発生装置を利用したトラッキング動作におけ
るトラッキング位置検出、近接場光発生装置と光記録媒
体との間の距離検出等のうち少なくとも一つを精度よく
行うことができ、ひいてはそれだけ光記録媒体と近接場
光発生装置との相対位置関係を精度よく決定することが
できる光記録媒体を提供することを課題とする。
するため、次の第1及び第2の光記録媒体を提供する。 (1)第1の光記録媒体 近接場光による情報の近接場光記録、再生及び(又は)
消去を行うことができる光記録媒体であり、情報記録層
を有し、該記録層の表面に薄い金属からなる層が設けら
れていることを特徴とする光記録媒体。 (2)第2の光記録媒体 近接場光による情報の近接場光記録、再生及び(又は)
消去を行うことができる光記録媒体であり、金属からな
る層を有し、該金属からなる層の表面に薄い情報記録層
が設けられていることを特徴とする光記録媒体。本発明
の第1の光記録媒体では、情報記録層を有し、該記録層
の表面に薄い金属からなる層が設けられている。また、
本発明の第2の光記録媒体では、金属からなる層を有
し、該金属からなる層の表面に情報記録層が設けられて
いる。
「情報記録層」は、これから情報を記録する層、既に情
報を記録した層のいずれでもよい。また、前記「情報の
近接場光記録、再生及び(又は)消去を行うことができ
る光記録媒体」には、情報の近接場光記録、再生及び消
去のいずれも行える光記録媒体、既に情報が近接場光記
録されており、その情報の近接場光再生を行える光記録
媒体等がいずれも含まれる。
は、例えば、近接場光による情報の記録、再生及び(又
は)消去を行う装置(以下、単に情報記録装置という)
に収容され、該装置に搭載されているヘッド(近接場光
発生装置)から近接場光が照射されることで、情報の近
接場光記録、再生及び(又は)消去を行うことができ
る。
と、例えば、近接場光による情報記録装置において、情
報が記録、再生、消去されるにあたり、該媒体表面に近
接場光発生装置(より正確にはその近接場光射出部)が
近接配置され、該近接場光発生装置との相対位置関係が
決定される。すなわち、該近接場光発生装置との媒体表
面に沿う方向と平行方向及び垂直方向における相対位置
が決定される。
生装置との相対位置関係を知るためには、光記録媒体と
近接場光発生装置との相対位置に依存して変化する物性
値を検出する必要がある。光記録媒体表面に沿う方向と
光記録媒体に対し垂直な方向における光記録媒体と近接
場光発生装置との相対位置検出のうち垂直方向の相対位
置、換言すれば光記録媒体と近接場光発生装置との間隔
距離の検出としては、近接場光発生装置の振動振幅の減
少或いは励振信号に対する位相変化を検出する、いわゆ
る、シェアフォース法による検出、記録媒体と近接場光
発生装置との間のトンネル電流を検出する、いわゆる、
トンネル電流法による検出、記録媒体と近接場光発生装
置と間の静電容量の検出などが知られている。そうした
物性値の中で、例えばトンネル電流、静電容量を検出す
るためには、「光記録媒体側が導電性部分を有するこ
と」という制約がある。特にトンネル電流の検出の場合
では、導電性部分は光記録媒体表面になければならな
い。
記録層の表面に前記薄い金属からなる層が設けられてお
り、本発明に係る第2の光記録媒体では、前記金属から
なる層の表面に前記薄い記録層が設けられているので、
いずれにしても、この金属からなる層を近接場光発生装
置との間隔距離の検出に利用することで、前記のような
「光記録媒体に対する制約」、すなわち「光記録媒体側
が導電性部分を有する」という制約のある物性値検出も
行うことができる。
明の第1の光記録媒体によると、前記記録層表面に設け
られた前記薄い金属からなる層が、本発明の第2の光記
録媒体によると、表面に前記薄い記録層を設けた前記金
属からなる層が、該検出に利用され、この検出によって
得られる検出値のSN比を向上させることができる。ひ
いては、この検出に基づいて近接場光発生装置の該媒体
表面に垂直な方向における相対位置関係を精度よく決定
することができる。
該媒体表面に平行な方向における相対位置に依存して変
化する物性値の検出としては、光記録媒体における、光
学的特性(例えば、光反射率又は光透過率)や非光学的
特性(例えば、光記録媒体と近接場光発生装置との間の
静電容量)の違いによる検出などが知られている。そこ
で、本発明の第1の光記録媒体においては、前記薄い金
属からなる層を、本発明の第2の光記録媒体において
は、前記薄い記録層を、予め所定形状のパターンに形成
しておくことができる。
光記録媒体では、表面に金属からなる層のある部分と金
属からなる層のない部分(すなわち前記記録層が媒体表
面に表れている部分)とを設けることができる。この媒
体表面に光を照射して、該表面からの反射光、散乱光を
モニターすると、モニター値は金属からなる層のある部
分に該光が照射される場合は大きく、金属からなる層の
ない部分(すなわち前記記録層が媒体表面に表れている
部分)に該光が照射される場合は小さくなる。また、本
発明の第2の光記録媒体では、表面に記録層のある部分
と記録層のない部分(すなわち前記金属からなる層が媒
体表面に表れている部分)とを設けることができる。こ
の媒体表面に光を照射して、該表面からの反射光、散乱
光をモニターすると、モニター値は記録層のある部分に
該光が照射される場合は小さく、記録層のない部分(す
なわち前記金属からなる層が媒体表面に表れている部
分)に該光が照射される場合は大きくなる。なお、本発
明の第2の光記録媒体では、該媒体表面における記録層
のある部分に情報の記録、再生、消去を行う。
体によると、近接場光発生装置と該媒体との該媒体表面
に平行な方向の相対的な移動に伴って変化する前記モニ
ター値を検出して該方向における相対位置を制御するこ
とで、本発明の第1の光記録媒体については前記薄い金
属からなる層のパターンに基づいて、本発明の第2の光
記録媒体については前記薄い記録層のパターンに基づい
て、該近接場光発生装置を該媒体の該方向における所望
の位置に移動させることができる。
は、前記記録層表面に設けられた前記薄い金属からなる
層を、本発明の第2の光記録媒体では、表面に前記薄い
記録層を設けた前記金属からなる層を、該媒体と近接場
光発生装置との該媒体表面に平行な方向における相対位
置の検出に利用することができる。ひいては、この検出
に基づいて近接場光発生装置の該媒体表面に平行な方向
における相対位置関係を精度よく決定することができ
る。
る金属からなる層の、近接場光発生装置の該媒体表面に
平行な方向における相対位置検出の利用例としては、該
光記録媒体について情報の記録、再生及び(又は)消去
を行うための近接場光発生装置による該光記録媒体に対
するトラッキング動作時のトラッキング位置検出を挙げ
ることができる。
録媒体によると、近接場光発生装置の該媒体表面に平行
な方向及び垂直な方向における相対位置関係を3次元的
に精度よく決定することができる。本発明に係る第1の
光記録媒体では、前記薄い金属からなる層は、媒体表面
に形成されているので、該金属からなる層を近接場光発
生装置の該媒体表面に平行な方向における相対位置の光
学的特性の違いによる検出、例えば、光学的特性の違い
によるトラッキング位置検出に利用する場合、該金属か
らなる層に照射される光として、通常光は勿論のこと、
近接場光も用いることができる。従って、前記薄い金属
からなる層を光学的特性の違いによるトラッキング位置
検出に利用する場合、通常光は勿論のこと、近接場光に
よるトラッキングも行うことができる。
前記記録層が情報の記録、再生、消去にあたりいわゆる
近接場領域から離れない程度の層厚にすることができ、
それには限定されないが、1nmから200nmを例示
できる。これにより、近接場光による情報の記録、再生
及び(又は)消去を行うことができる。また、前記薄い
金属からなる層は、前記記録層表面を保護できるという
利点もある。前記薄い金属からなる層は、前記記録層表
面全体を覆っていてもよいし、一部を覆っていてもよ
い。
に用いることができる金属材料としては、それには限定
されないが、アルミニウムを例示できる。また、前記記
録層に用いることができる材料としては、フォトクロミ
ック材料であるジアリールエテン化合物を例示でき、そ
の層厚としては、1nmから200nmを例示できる
が、それに限定されるものではない。
ンコート法などを例示できる。また、前記薄い金属から
なる層を形成する方法としては、真空蒸着法、スパッタ
法などを例示できる。前記薄い金属からなる層を予め所
定形状のパターンに形成しておく場合、そのパターン形
状としては、同じ径の微小円が所定間隔をおいて規則的
に並べられたパターンや同心円状又は螺旋状のパターン
を例示できる。例えば、真空蒸着法によりかかるパター
ンを形成する場合、微細加工されたパターン形成用マス
クを介して前記記録層表面に真空蒸着することができ
る。
った金属からなる層を作製する場合は、特に真空蒸着法
によるパターン形成に限定されるものではないが、真空
蒸着法によるパターン形成はマスクパターンを忠実に反
映した層を作製でき、また層厚も精度よくコントロール
できる点で適している。また、スパッタ法によるパター
ン形成も真空蒸着法によるパターン形成と同様の特徴を
有するが、記録層に有機材料を用いる場合には、プラズ
マ雰囲気による有機材料の劣化が生じないように、スパ
ッタ条件の設定に注意が必要である。
らなる層は、所定形状のパターンにに形成することがで
きるので、該金属からなる層をトラッキング位置検出に
利用する場合、近接場光記録に要求されるトラック幅、
トラック間隔(ピッチ)のトラッキングパターンに形成
することもできる。このトラック幅としては、5nmか
ら500nmを例示でき、トラック間隔としては、5n
mから500nmを例示できるが、それに限定されるも
のではない。
薄い記録層は、媒体表面に形成されているので、近接場
光による情報の記録、再生及び(又は)消去を行うこと
ができる。前記薄い記録層の層厚としては、前記金属か
らなる層が情報の記録、再生、消去にあたりいわゆる近
接場領域から離れない程度の層厚にすることができ、そ
れには限定されないが、1nmから200nmを例示で
きる。これにより、前記金属からなる層を近接場光発生
装置の該媒体表面に平行な方向における相対位置の光学
的特性の違いによる検出、例えば、光学的特性の違いに
よるトラッキング位置検出に利用する場合、前記金属か
らなる層に照射される光として、通常光は勿論のこと、
近接場光も用いることができる。従って、前記金属から
なる層を光学的特性の違いによるトラッキング位置検出
に利用する場合、通常光は勿論のこと、近接場光による
トラッキングも行うことができる。
る層表面全体を覆っていてもよいし、一部を覆っていて
もよい。いずれにしても、前記薄い記録層に用いること
ができる材料としては、それには限定されないが、フォ
トクロミック材料であるジアリールエテン化合物を例示
できる。
できる金属材料としては、アルミニウムを例示でき、そ
の層厚としては、1nmから200nmを例示できる
が、それに限定されるものではない。前記金属からなる
層を形成する方法としては、真空蒸着法などを例示でき
る。また、前記薄い記録層を形成する方法としては、真
空蒸着法、スパッタ法などを例示できる。
に形成しておく場合、そのパターン形状としては、同じ
径の微小円が所定間隔をおいて規則的に並べられたパタ
ーンや同心円状又は螺旋状のパターンを例示できる。例
えば、真空蒸着法によりかかるパターンを形成する場
合、微細加工されたパターン形成用マスクを介して前記
金属からなる層表面に真空蒸着することができる。
った記録層を作製する場合は、特に真空蒸着法によるパ
ターン形成に限定されるものではないが、真空蒸着法に
よるパターン形成はマスクパターンを忠実に反映した層
を作製でき、また層厚も精度よくコントロールできる点
で適している。また、スパッタ法によるパターン形成も
真空蒸着法によるパターン形成と同様の特徴を有する
が、スパッタ源に有機材料を用いる場合には、ほとんど
の場合において有機材料の分解が生じてしまい、成膜条
件、有機材料種の限定といった制約を大きく受けること
になると思われるので、それだけプラズマ雰囲気による
有機材料の劣化(分解)が生じないように、スパッタ条
件の設定に注意が必要である。
タ法により金属からなる層を形成する場合、金属からな
る層上に有機材料からなる記録層をスパッタ法により形
成する場合、いずれにしても、プラズマにより有機材料
が損傷を受けないように注意が必要である。このような
形成方法により前記薄い記録層は、所定形状のパターン
に形成することができるので、前記金属からなる層をト
ラッキング位置検出に利用する場合、前記薄い記録層を
近接場光記録に要求されるトラック幅、トラック間隔
(ピッチ)のトラッキングパターンに形成することもで
きる。このトラック幅としては、5nmから500nm
を例示でき、トラック間隔としては、5nmから500
nmを例示できるが、それに限定されるものではない。
を参照して説明する。図1は本発明に係る光記録媒体の
1例を収容する情報記録装置の概略構成を示す図であ
る。図1に示す情報記録装置は、ヘッド100、光記録
媒体収容部200、距離検出装置300、近接場光発生
装置駆動部400、位置検出装置500a、再生情報検
出装置500b、制御部CONTなどを含んでおり、光
記録媒体収容部200に収容される光記録媒体5に対し
て近接場光Lによる情報の近接場光記録、再生及び消去
のいずれも行うことができる。すなわち、情報記録又は
消去時には制御部CONTからの記録情報に基づく情報
記録用の近接場光Lを、又は情報消去用の近接場光Lを
ヘッド100の近接場光射出部4’から光記録媒体5の
表面5aに照射し、記録媒体5に情報の記録又は消去を
行う。また、情報再生時には制御部CONTからの指示
信号により情報再生用の近接場光Lをヘッド100の近
接場光射出部4’から光記録媒体5の表面5aに照射
し、光記録媒体5を透過した透過光6を再生情報検出装
置500bにて検出し、情報の再生を行う。なお、情報
の記録、再生及び消去のいずれの場合も距離検出装置3
00による検出値に基づいて、制御部CONTにより光
記録媒体5と後述する近接場光発生装置4の光射出部
4’との媒体表面5aに垂直な方向における相対位置、
すなわち、近接場光発生装置4の光射出部4’と光記録
媒体5との間隔距離が制御され、位置検出装置500a
による検出値に基づいて、制御部CONTにより光記録
媒体5と近接場光発生装置4の光射出部4’との媒体表
面5aに平行な方向における相対位置が制御される。
向は、いずれも光記録媒体5の表面5aに平行な方向で
あり、互いに直交関係にある。また、矢印z方向は、光
記録媒体5の表面5aに垂直な方向である。ヘッド10
0は、Arイオンレーザ光源1、光学結合装置3及び近
接場光発生装置4を含んでいる。レーザ光源1は制御部
CONTに接続されており、制御部CONTの指示の
下、レーザ光2(本例では、波長514nm、出力電力
10mWのレーザ光)を光学結合装置3に向けて出射で
きる。光学結合装置3はレーザ光源1からのレーザ光2
を近接場光発生装置4に照射できる。近接場光発生装置
4は光学結合装置3からのレーザ光2を近接場光Lに変
換できる。
す。近接場光発生装置4は、本例ではコア部41とクラ
ッド部42を有する光ファイバ4aからなっている。図
2に示すように、光ファイバ4aは、その先端部4bが
化学エッチングにより先鋭化されたあと、その周辺部に
アルミニウムが蒸着されることによりコート膜4cが施
されている。そしてその先鋭化部分の先端部のアルミニ
ウムのみが化学エッチングにより除去されることによっ
て、本例では、開口径約100nmの開口部4dが形成
されている。これにより、近接場光発生装置4は光学結
合装置3からのレーザ光2が光ファイバ4aの先鋭化さ
れていない側4eに入射されることで先鋭化されている
側、すなわち、近接場光射出部4’の開口部4dより近
接場光Lを出射できる。
は、レーザ光源1とは異なる距離検出用レーザ光源1
2、2分割フォトダイオード17、集束レンズ14、集
光レンズ16を含んでいる。レーザ光源12は制御部C
ONTに接続されており、制御部CONTの指示の下、
距離検出用レーザ光13(本例では、波長780nm、
出力電力1mW)を射出でき、該光をレンズ14を介し
て近接場光発生装置4における近接場光射出部4’に照
射できる。この場合、光照射部における光のスポット径
の方が、近接場光射出部4’の該レーザ光13が照射さ
れる部分の幅に比べて大きくされる。
オード17a、17bを含んでおり、制御部CONTに
接続されている。フォトダイオード17a、17bに
は、近接場光射出部4’に照射された後の近接場光射出
部4’の影を有する光15がレンズ16を介して入射さ
れ、各フォトダイオードへの入射光はそれぞれその光量
に応じて電気信号に変換(光電変換)される。この信号
は電気回路17a’、17b’によって光量として検出
され、それぞれ制御部CONTに送られる。制御部CO
NTは、フォトダイオード17a、17bを介して検出
される光量を比較することで、照射ビーム位置との相対
値という形で近接場光発生装置4の所定方向(図1中x
方向)における位置を検出することができる位置検出手
段を含んでいる。
方向の駆動素子(駆動部)18及び近接場光発生装置昇
降方向(図1中z方向)駆動素子(駆動部)19を含ん
でいる。駆動素子18は制御部CONTに接続されてお
り、制御部CONTの指示の下、近接場光発生装置4に
x方向の振動を付与することができる。なお、本例で
は、近接場光発生装置4に付与する振動周波数は、近接
場光発生装置4の共振周波数にほぼ等しく10kHz、
振幅は50nmである。駆動素子19は制御部CONT
に接続されており、制御部CONTの指示の下、駆動素
子18により振動する近接場光発生装置4を媒体5の方
に近づけたり、媒体5から遠ざけたりできる。
装置4を媒体5に近づける場合、両者の距離がある距離
以内に近づくと、近接場光発生装置4の振動の振幅及び
位相が変化する。この原因は媒体表面5aの吸着水の影
響と考えられ、この影響を受けて振幅は次第に小さくな
り、また位相は初期(両者の距離が遠い場合)に比べて
ずれていく。このことを利用して、振幅変化、或いは位
相のずれを前記の2分割フォトダイオード17を介して
検出することにより、両者の間の相対的な距離がわか
る。すなわち、制御部CONTでは、2分割フォトダイ
オード17にて検出されたx方向の相対距離変動に基づ
いて、図1中z方向に駆動する駆動素子19にフィード
バックをかける。これにより、駆動素子19を制御し
て、装置4と媒体5との距離を目標値(本例では30n
m)に合わせることができる。
20、図1中x方向の駆動素子(駆動部)21及び図1
中y方向の駆動素子(駆動部)22を備えており、光記
録媒体5を収納できる。駆動素子21は、制御部CON
Tに接続されており、制御部CONTの指示の下、光記
録媒体保持部材20を図中x方向の移動させることがで
きる。駆動素子22は、制御部CONTに接続されてお
り、制御部CONTの指示の下、光記録媒体保持部材2
0を図中y方向の移動させることができる。光記録媒体
保持部材20は、駆動素子21及び駆動素子22の図示
を省略した可動部にそれぞれ接続されており、光記録媒
体5を保持することができる。これにより、光記録媒体
5は、駆動素子21により図中x方向に、駆動素子22
により図中y方向に保持部材20を介して移動される。
方に設けられており、集光レンズ10、反射光量検出用
フォトダイオード11を含んでいる。集光レンズ10は
光記録媒体5からの反射光、散乱光9をフォトダイオー
ド11に集光できる。フォトダイオード11は制御部C
ONTに接続されており、レンズ10からの入射光を電
気信号に変換(光電変換)できる。この信号は電気回路
11’によって光量として検出され、制御部CONTに
送られる。
の下方に設けられており、集光レンズ7、透過光量検出
用フォトダイオード8を含んでいる。集光レンズ7は光
記録媒体5からの透過光6をフォトダイオード8に集光
できる。フォトダイオード8は制御部CONTに接続さ
れており、レンズ7からの入射光を電気信号に変換(光
電変換)できる。この信号は電気回路8’によって光量
として検出され、制御部CONTに送られる。
成されており、情報記録装置全体を制御する。制御部C
ONTは既述のとおり、レーザ光源1、距離検出装置3
00、近接場光発生装置駆動部400、駆動素子21、
22、位置検出装置500a及び再生情報検出装置50
0bに接続されている。制御部CONTは、レーザ光源
1のレーザ光2の射出タイミングの制御を行ったり、或
いは距離検出装置300の検出値に基づいて、駆動部4
00による光記録媒体5と近接場光発生装置4との間の
距離制御、位置検出装置500aの検出値に基づいて、
光記録媒体5と接場光射出部4’との媒体表面5aに平
行な方向における相対位置制御及び再生情報検出装置5
00bによる検出値に基づいて情報の再生などを行う。
大断面図を示す。光記録媒体5は、図3に示すように、
ガラスからなる基板51、フォトクロミック記録層5
2、薄い金属からなる層53から構成されている。さら
に言うと、光記録媒体5は、ガラス基板51上にフォト
クロミック材料であるジアリールエテン化合物をポリス
チレン樹脂に混合した記録層52をスピンコート法によ
り形成し、さらにその上に薄い金属からなる層53、本
例ではアルミニウムからなる層を真空蒸着法により形成
したものである。
されないが、1nmから200nmを例示でき、ここで
は約50nm(図3中d1)である。薄い金属からなる
層53の層厚としては、記録層52が情報の記録、再
生、消去にあたりいわゆる近接場領域から離れない程度
の層厚にすることができ、それには限定されないが、1
nmから200nmを例示できる。ここでは約20nm
(図3中d2)である。これにより、近接場光による情
報の記録、再生及び消去を行うことができる。
3側に近接場光発生装置4が近接配置される。なお、本
例では、薄い金属からなる層53は記録層52表面の一
部を覆っているが、記録層52表面の全体を覆っていて
もよい。光記録媒体5では、真空蒸着法によるアルミニ
ウムからなる層53の形成にあたり、媒体5における記
録層52表面に所定形状のパターンが微細加工されたマ
スクを載置し、そのマスクを介してアルミニウムの真空
蒸着を行っている。従って、記録層52表面にはマスク
における孔のパターンが転写された形でアルミニウム層
53が形成される。なお、マスクの概略構成図を図4に
示す。ここで用いたマスクは径100nm(図4中A)
の円形の孔が200nm(図4中B)おきに作製されて
おり、このマスクの厚みは1mmである。
った金属からなる層(アルミニウム層)53を作製する
場合は、特に真空蒸着法によるパターン形成に限定され
るものではないが、真空蒸着法によるパターン形成はマ
スクパターンを忠実に反映した層を作製でき、また層厚
も精度よくコントロールできる点で適している。また、
スパッタ法によるパターン形成も真空蒸着法によるパタ
ーン形成と同様の特徴を有するが、例えば、記録層52
に有機材料を用いる場合には、プラズマ雰囲気による有
機材料の劣化が生じないように、スパッタ条件の設定に
注意が必要である。
ールエテン化合物の構造式を示す。ここで簡単にフォト
クロミック材料について触れておく。フォトクロミック
材料が示すフォトクロミック反応とは、Aの状態(例え
ば、図5のジアリールエテン化合物では左側の状態)に
あるフォトクロミック材料に、Aの状態が吸収を有する
波長λ1の光を照射することにより、異なる波長光の吸
収を有するBの状態(例えば、図5のジアリールエテン
化合物では右側の状態)が生成し、また、Bの状態にあ
るフォトクロミック材料に、Bの状態が吸収を有する波
長λ2の光を照射することにより、元のAの状態に戻る
可逆反応のことである。従って、フォトクロミック媒体
である光記録媒体5は、このAの状態、Bの状態を情報
未記録状態、情報記録状態に又は情報記録状態、情報未
記録状態にそれぞれ対応させることにより、情報の書き
換えが可能な光記録媒体となる。
録媒体5に対して情報の記録、再生、消去を行うにあた
り、光記録媒体5と近接場光発生装置4との該媒体表面
5aに垂直な方向及び平行な方向における相対位置の検
出、制御が行われる。先ず、光記録媒体5と近接場光発
生装置4との該媒体表面5aと垂直な方向における相対
位置、すなわち近接場光発生装置4と光記録媒体5との
間隔距離の検出、制御について説明する。なお、本例に
適用される近接場光発生装置4と媒体5との距離検出方
法は、いわゆるシェアフォース法として知られているも
のである。
光発生装置4に装着されている駆動素子18により近接
場光発生装置4に図1中x方向の振動を付与する。駆動
素子18によりx方向に振動させられた近接場光発生装
置4は、駆動素子19により媒体表面5aの方に近づけ
られる。距離検出装置300では、距離検出用レーザ光
源12から発せられた距離検出用レーザ光13が近接場
光発生装置4における近接場光射出部4’に照射され
る。このとき、照射部において、近接場光射出部4’の
レーザ光照射部分の幅に比べて光のスポット径のほうが
大きくなっている。近接場光射出部4’に照射された後
の光15は、近接場光射出部4’の影を有している。こ
の光は2分割フォトダイオード17によって光電変換さ
れ、光量が検出されたあと、その検出信号が制御部CO
NTに送られる。制御部CONTでは、フォトダイオー
ド17a、17bにて検出される光量を比較すること
で、近接場光発生装置4の振動の振幅(又は位相)の変
化、さらにはそれから装置4と媒体表面5aとの間の距
離を求める。そして近接場光発生装置4と媒体5との間
の検出相対距離に基づいて、駆動素子19にフィードバ
ックをかける。これにより、両者の距離が目標値(本例
では30nm)に合わせられる。
との該媒体表面5aに平行な方向における相対位置、こ
こではトラッキング位置の検出、制御について図1及び
図6を参照しながら説明する。図6は光記録媒体5と近
接場光発生装置4との媒体表面5aに平行な方向におけ
る相対位置の検出、制御を説明するための図であり、光
記録媒体5の光記録媒体収容部200における収容状態
の一部を拡大した図である。なお、図6において、矢印
x方向及びy方向は、いずれも光記録媒体5の表面5a
に平行な方向であり、互いに直交関係にある。
る近接場光射出部4’は近接場光発生装置初期位置iに
配置されている。光記録媒体5をx方向駆動素子21に
より図1及び図6中x方向(図中左方向)に移動させ
る。媒体5の移動時、近接場光射出部4’から近接場光
Lが媒体5の表面5aに照射され続けている。媒体5か
ら反射された反射光、散乱光9はフォトダイオード11
にて検出され、ここで反射光、散乱光9がモニターされ
る。フォトダイオード11により検出されたモニター値
は、制御部CONTに送られる。このモニター値は、ア
ルミニウム層53に照射される場合は大きく、アルミニ
ウム層53ではなく記録層52に照射される場合は小さ
くなる。制御部CONTでは、このモニター値に基づい
てx方向駆動素子21及びy方向駆動素子22を制御す
る。すなわち、媒体5を図中x方向に移動させるとき、
フォトダイオード11により検出されるモニター値は、
媒体5の移動につれて大小パターンを繰り返すことにな
る。この繰り返しのピークを数えることによって、近接
場光射出部4’を図6中*印の位置(第1位置決め位置
f)に配置する。次に、光記録媒体5をy方向駆動素子
22により図中y方向(図6中下方向)に移動させ、x
方向の位置決めと同様にして、近接場光射出部4’を所
望の図6中×印の位置(最終位置決め位置e)に配置す
る。
記録媒体5との該媒体表面5aに平行な方向における相
対位置関係が決定される。なお、x方向駆動素子21及
びy方向駆動素子22による光記録媒体5のxy座標の
駆動方向と、光記録媒体5における金属からなる層53
のパターン(微小円の配列パターン)のxy座標の配列
方向とは、完全に一致しておらず、xy方向のずれを含
んでいるので、例えば光記録媒体5をx方向に移動させ
る場合もx方向駆動素子21だけでなく、y方向駆動素
子22を用いて、そのずれを逐次y方向に補正しながら
移動させる。
オード11によるモニター出力がピーク(極大)となる
位置ごとに、前記のシェアフォース法による距離検出に
より近接場光射出部4’と光記録媒体5との間隔距離を
検出し、その検出値を近接場光発生装置昇降方向(図1
中z方向)駆動素子19にフィードバックして近接場光
射出部4’と光記録媒体5(アルミニウムからなる層5
3最表面)との間隔が30nmとなるように位置決めし
ている。
2表面に設けられた薄い金属からなる層53を、媒体5
と近接場光発生装置4との媒体表面5aに平行な方向に
おける相対位置の検出に利用することができる。ひいて
は、この検出に基づいて近接場光発生装置4の媒体表面
5aに平行な方向における相対位置関係を精度よく決定
することができる。また、薄い金属からなる層53は、
媒体表面5aに形成されており、該層53を近接場光発
生装置4の媒体表面5aに平行な方向における相対位置
の光学的特性の違いによる検出、本例では、光学的特性
の違いによるトラッキング位置検出に利用するので、金
属からなる層53に照射される光として、通常光は勿論
のこと、近接場光Lも用いることができる。従って、本
例では薄い金属からなる層53をトラッキング位置検出
に利用するので、通常光は勿論のこと、近接場光Lによ
るトラッキングも行うことができる。また、薄い金属か
らなる層53は、記録層52表面を保護できるという利
点もある。
着法により所定形状のパターンに形成することができる
ので、該層53をトラッキング位置検出に利用する場
合、近接場光記録に要求されるトラック幅、トラック間
隔(ピッチ)のトラッキングパターンに形成することも
できる。このトラック幅としては、5nmから500n
mを例示でき、トラック間隔としては、5nmから50
0nmを例示でき、本例では、それぞれ100nm、2
00nmである。
5’の一部の拡大断面図を示す。光記録媒体5’は、図
7に示すように、ガラスからなる基板51’、金属から
なる層52’、薄いフォトクロミック記録層53’から
構成されている。さらに言うと、光記録媒体5’は、ガ
ラス基板51’上に金属からなる層52’、本例ではア
ルミニウムからなる層を真空蒸着法により形成し、さら
にその上にフォトクロミック材料であるジアリールエテ
ン化合物をポリスチレン樹脂に混合した薄い記録層5
3’を同じく真空蒸着法により形成したものである。
れには限定されないが、1nmから200nmを例示で
き、ここでは約100nm(図7中d1’)である。薄
い記録層53’の層厚としては、金属からなる層52’
が情報の記録、再生、消去にあたりいわゆる近接場領域
から離れない程度の層厚にすることができ、それには限
定されないが、1nmから200nmを例示できる。こ
こでは約50nm(図7中d2’)である。
近接場光発生装置4が近接配置される。なお、本例で
は、薄い記録層53’は金属からなる層52’表面の一
部を覆っているが、金属からなる層52’表面の全体を
覆っていてもよい。光記録媒体5’では、真空蒸着法に
よる薄い記録層53’の形成にあたり、媒体5’におけ
る金属からなる層52’表面に、図1及び図3に示す光
記録媒体5作製時に用いたものと同様のマスク(図4参
照)を載置し、そのマスクを介してフォトクロミック材
料の真空蒸着を行っている。従って、金属からなる層5
2’表面にはマスクにおける孔のパターンが転写された
形でフォトクロミック記録層53’が形成される。
った記録層(フォトクロミック記録層)53’を作製す
る場合は、特に真空蒸着法によるパターン形成に限定さ
れるものではないが、真空蒸着法によるパターン形成は
マスクパターンを忠実に反映した層を作製でき、また層
厚も精度よくコントロールできる点で適している。ま
た、スパッタ法によるパターン形成も真空蒸着法による
パターン形成と同様の特徴を有するが、例えば、スパッ
タ源に有機材料を用いる場合には、プラズマ雰囲気によ
る有機材料の劣化が生じないように、スパッタ条件の設
定に注意が必要である。
媒体5’も、光記録媒体5と同様、フォトクロミック反
応によって得られるAの状態、Bの状態を情報未記録状
態、情報記録状態に又は情報記録状態、情報未記録状態
にそれぞれ対応させることにより、情報の書き換えが可
能な光記録媒体となる。この光記録媒体5’も図1に示
す情報記録装置に収容でき、情報の記録、再生及び消去
を行うことができる。
収容した場合の媒体5’と近接場光発生装置4との該媒
体表面5a’に平行な方向における相対位置、ここでは
トラッキング位置の検出、制御について図1及び図8を
参照しながら説明する。図8は光記録媒体5’と近接場
光発生装置4との媒体表面5a’に平行な方向における
相対位置の検出、制御を説明するための図であり、光記
録媒体5’の光記録媒体収容部200における収容状態
の一部を拡大した図である。なお、図8において、矢印
x方向及びy方向は、いずれも光記録媒体5’の表面5
a’に平行な方向であり、互いに直交関係にある。
る近接場光射出部4’は近接場光発生装置初期位置iに
配置されている。光記録媒体5’をx方向駆動素子21
により図1及び図8中x方向(図中左方向)に移動させ
る。媒体5’の移動時、近接場光射出部4’から近接場
光Lが媒体5’の表面5a’に照射され続けている。媒
体5’から反射された反射光、散乱光9はフォトダイオ
ード11にて検出され、ここで反射光、散乱光9がモニ
ターされる。フォトダイオード11により検出されたモ
ニター値は、制御部CONTに送られる。このモニター
値は、アルミニウム層52’に照射される場合は大き
く、アルミニウム層52’ではなく記録層53’に照射
される場合は小さくなる。制御部CONTでは、このモ
ニター値に基づいてx方向駆動素子21及びy方向駆動
素子22を制御する。すなわち、媒体5’を図中x方向
に移動させるとき、フォトダイオード11により検出さ
れるモニター値は、媒体5’の移動につれて大小パター
ンを繰り返すことになる。この繰り返しのピークを数え
ることによって、近接場光射出部4’を図8中*印の位
置(第1位置決め位置f’)に配置する。次に、光記録
媒体5’をy方向駆動素子22により図中y方向(図8
中下方向)に移動させ、x方向の位置決めと同様にし
て、近接場光射出部4’を所望の図8中×印の位置(最
終位置決め位置e’)に配置する。なお、光記録媒体
5’では、媒体表面5a’における記録層53’のある
部分に情報の記録、再生及び消去を行う。
記録媒体5’との該媒体表面5a’に平行な方向におけ
る相対位置関係が決定される。なお、x方向駆動素子2
1及びy方向駆動素子22による光記録媒体5’のxy
座標の駆動方向と、光記録媒体5’における記録層5
3’のパターン(微小円の配列パターン)のxy座標の
配列方向とは、完全に一致しておらず、xy方向のずれ
を含んでいるので、例えば光記録媒体5’をx方向に移
動させる場合もx方向駆動素子21だけでなく、y方向
駆動素子22を用いて、そのずれを逐次y方向に補正し
ながら移動させる。
オード11によるモニター出力が極小となる位置ごと
に、前記のシェアフォース法による距離検出により近接
場光射出部4’と光記録媒体5’との間隔距離を検出
し、その検出値を近接場光発生装置昇降方向(図1中z
方向)駆動素子19にフィードバックして近接場光射出
部4’と光記録媒体5’(記録層53’最表面)との間
隔が30nmとなるように位置決めしている。
薄い記録層53’を設けた金属からなる層52’を、媒
体5’と近接場光発生装置4との媒体表面5a’に平行
な方向における相対位置の検出に利用することができ
る。ひいては、この検出に基づいて近接場光発生装置4
の媒体表面5a’に平行な方向における相対位置関係を
精度よく決定することができる。
層52’が情報の記録、再生、消去にあたりいわゆる近
接場領域から離れない程度の層厚にされており、金属か
らなる層52’を近接場光発生装置4の媒体表面5a’
に平行な方向における相対位置の光学的特性の違いによ
る検出、本例では、光学的特性の違いによるトラッキン
グ位置検出に利用するので、金属からなる層52’に照
射される光として、通常光は勿論のこと、近接場光も用
いることができる。従って、本例では金属からなる層5
2’をトラッキング位置検出に利用するので、通常光は
勿論のこと、近接場光によるトラッキングも行うことが
できる。
より所定形状のパターンに形成することができるので、
金属からなる層52’をトラッキング位置検出に利用す
る場合、近接場光記録に要求されるトラック幅、トラッ
ク間隔(ピッチ)のトラッキングパターンに形成するこ
ともできる。このトラック幅としては、5nmから50
0nmを例示でき、トラック間隔としては、5nmから
500nmを例示でき、本例では、それぞれ100n
m、200nmである。
近接場光L照射時の光記録媒体5、5’からの反射光、
散乱光9を用いるが、既述のとおり通用光を用いてトラ
ッキング位置の検出を行ってもよい。また、光記録媒体
5、5’と近接場光発生装置4との間の距離を静電容量
などの非光学的特性の違いにより検出してもよい。ま
た、本例では図1、図6及び図8においてxy方向には
光記録媒体5、5aを、z方向には近接場光発生装置4
を移動させたが、勿論これに限るものではない。
2’をトラッキング位置検出のみに利用するが、いわゆ
るトンネル電流法による検出により、光記録媒体5、
5’と近接場光発生装置4との間隔距離の制御に利用し
てもよい。次に、図1に示す装置をトンネル電流法によ
る検出ができるように変更して、該装置に光記録媒体
5、5’を収容した場合の媒体5、5’と近接場光発生
装置4との間隔距離のトンネル電流法による検出につい
て説明する。
装置4とのトンネル電流法による検出状態を示し、図9
(B)に光記録媒体5’と近接場光発生装置4とのトン
ネル電流法による検出状態を示す。図9(A)、(B)
に示すように、近接場光発生装置4と記録媒体表面5
a、5a’の間の距離は、近接場光射出部4’の先端部
4bにおける開口部4d付近のアルミニウムコート膜4
cの最先端部4c’と、媒体表面5a、5a’における
金属からなる層53、52’との間でバイアス電圧によ
って生じるトンネル電流Tが一定になるように制御され
る。
設けられた薄い金属からなる層53が、光記録媒体5’
によると、表面に薄い記録層53’を設けた金属からな
る層52’が、トンネル電流法による検出に利用され、
この検出によって得られる検出値のSN比を向上させる
ことができる。ひいては、この検出に基づいて近接場光
発生装置4の媒体表面5a、5a’に垂直な方向におけ
る相対位置関係を精度よく決定することができる。
によると、近接場光発生装置4の媒体表面5a、5a’
に平行な方向及び垂直な方向における相対位置関係を3
次元的に精度よく決定することができる。
記録、再生及び(又は)消去を行うことができる光記録
媒体であって、近接場光による情報の記録、再生及び
(又は)消去を行う情報記録装置において近接場光発生
装置を利用したトラッキング動作におけるトラッキング
位置検出、近接場光発生装置と光記録媒体との間の距離
検出等のうち少なくとも一つを精度よく行うことがで
き、ひいてはそれだけ光記録媒体と近接場光発生装置と
の相対位置関係を精度よく決定することができる光記録
媒体を提供することができる。
記録装置の概略構成を示す図である。
る。
概略構成図である。
化合物の構造式である。
装置との該媒体表面に平行な方向における相対位置の検
出、制御を説明するための図であり、該光記録媒体の光
記録媒体収容部における収容状態の一部を拡大した図で
ある。
断面図である。
該媒体表面に平行な方向における相対位置の検出、制御
を説明するための図であり、該光記録媒体の光記録媒体
収容部における収容状態の一部を拡大した図である。
トンネル電流法による検出について説明するための図で
あり、図(A)は図1及び図3に示す光記録媒体と近接
場光発生装置との検出状態を示すものであり、図(B)
は図7に示す光記録媒体と近接場光発生装置との検出状
態を示すものである。
の電気回路 18 x方向駆動素子(駆動部) 19 近接場光発生装置昇降方向(z方向)駆動素子
(駆動部) 20 光記録媒体保持部材 21 x方向駆動素子(駆動部) 22 y方向駆動素子(駆動部) 100 ヘッド 200 光記録媒体収容部 300 距離検出装置 400 近接場光発生装置駆動部 500a 位置検出装置 500b 再生情報検出装置 CONT 制御部 A マスクにおける円形の孔の径(トラック幅) B マスクにおける円形の孔の間隔(トラック間隔) d1 記録層52の層厚 d2 金属からなる層53の層厚 d1’ 金属からなる層52’の層厚 d2’ 記録層53’の層厚 e、e’ 最終位置決め位置 f、f’ 第1位置決め位置 i 近接場光発生装置初期位置 L 近接場光 T トンネル電流
Claims (6)
- 【請求項1】近接場光による情報の近接場光記録、再生
及び(又は)消去を行うことができる光記録媒体であ
り、情報記録層を有し、該記録層の表面に薄い金属から
なる層が設けられていることを特徴とする光記録媒体。 - 【請求項2】前記金属からなる層は前記記録層表面の一
部を覆っている請求項1記載の光記録媒体。 - 【請求項3】前記金属からなる層は、それを設けた光記
録媒体について情報の記録、再生及び(又は)消去を行
うための近接場光発生装置による該光記録媒体に対する
トラッキング動作時のトラッキング位置検出及び該近接
場光発生装置の近接場光射出部と該光記録媒体との間隔
距離検出のうち少なくとも一方に利用される層である請
求項1又は2記載の光記録媒体。 - 【請求項4】近接場光による情報の近接場光記録、再生
及び(又は)消去を行うことができる光記録媒体であ
り、金属からなる層を有し、該金属からなる層の表面に
薄い情報記録層が設けられていることを特徴とする光記
録媒体。 - 【請求項5】前記記録層は前記金属からなる層表面の一
部を覆っている請求項4記載の光記録媒体。 - 【請求項6】前記金属からなる層は、それを設けた光記
録媒体について情報の記録、再生及び(又は)消去を行
うための近接場光発生装置による該光記録媒体に対する
トラッキング動作時のトラッキング位置検出及び該近接
場光発生装置の近接場光射出部と該光記録媒体との間隔
距離検出のうち少なくとも一方に利用される層である請
求項4又は5記載の光記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11088093A JP2000285505A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 光記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11088093A JP2000285505A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 光記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000285505A true JP2000285505A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=13933266
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11088093A Pending JP2000285505A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 光記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000285505A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8163395B2 (en) * | 2004-12-20 | 2012-04-24 | Basf Se | Method for coating metals |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP11088093A patent/JP2000285505A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8163395B2 (en) * | 2004-12-20 | 2012-04-24 | Basf Se | Method for coating metals |
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