JP2000283934A - 試料分析装置 - Google Patents
試料分析装置Info
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- JP2000283934A JP2000283934A JP11087651A JP8765199A JP2000283934A JP 2000283934 A JP2000283934 A JP 2000283934A JP 11087651 A JP11087651 A JP 11087651A JP 8765199 A JP8765199 A JP 8765199A JP 2000283934 A JP2000283934 A JP 2000283934A
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- analysis
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置の前から離れていても、分析の終了や装
置の異常等を知ることができる試料分析装置を提供する
こと。 【解決手段】 ＥＰＭＡ本体の状況を常に監視している
分析制御手段３は、ＥＰＭＡ本体側で異常が発生する
と、それを知り、ＥＰＭＡ本体１の動作を停止させる。
さらに分析制御手段３は、分析が異常終了したことと、
異常終了の原因を表す情報をメール送信部５に送る。電
子メール作成手段５ａは、分析が異常終了したことを表
すテキストデータと、異常終了の原因を表すテキストデ
ータを作成して電子メールを作成し、作成した電子メー
ルを電子メール送信手段５ｂに送る。電子メール送信手
段５ｂは、電子メール作成手段５ａから送られてきた電
子メールを、記憶手段５ｃに記憶された送信先アドレス
に送信するように動作する。電子メールは、メールサー
バ９を介して送信先アドレスの端末に送られる。
置の異常等を知ることができる試料分析装置を提供する
こと。 【解決手段】 ＥＰＭＡ本体の状況を常に監視している
分析制御手段３は、ＥＰＭＡ本体側で異常が発生する
と、それを知り、ＥＰＭＡ本体１の動作を停止させる。
さらに分析制御手段３は、分析が異常終了したことと、
異常終了の原因を表す情報をメール送信部５に送る。電
子メール作成手段５ａは、分析が異常終了したことを表
すテキストデータと、異常終了の原因を表すテキストデ
ータを作成して電子メールを作成し、作成した電子メー
ルを電子メール送信手段５ｂに送る。電子メール送信手
段５ｂは、電子メール作成手段５ａから送られてきた電
子メールを、記憶手段５ｃに記憶された送信先アドレス
に送信するように動作する。電子メールは、メールサー
バ９を介して送信先アドレスの端末に送られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、電子プローブマ
イクロアナライザ（ＥＰＭＡ）等の試料分析装置に関す
る。
イクロアナライザ（ＥＰＭＡ）等の試料分析装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】 ＥＰＭＡは、試料に電子線を照射し、
その照射により試料から発生した特性Ｘ線を検出して、
試料の定性および定量分析を行う装置である。
その照射により試料から発生した特性Ｘ線を検出して、
試料の定性および定量分析を行う装置である。
【０００３】このようなＥＰＭＡにおける分析方法とし
て、広域の面分析や、分析点を事前に多数指定しておい
て行う多点の定性や定量分析や、異なる分析方法を複数
指定しておいて行う連続自動分析等があり、このような
分析には時間がかなりかかる。
て、広域の面分析や、分析点を事前に多数指定しておい
て行う多点の定性や定量分析や、異なる分析方法を複数
指定しておいて行う連続自動分析等があり、このような
分析には時間がかなりかかる。
【０００４】そこで、このような時間のかかる分析を行
うような場合、一般にオペレータは、分析のための条件
設定を行った後は装置の前を離れて他の作業を行ってい
る。
うような場合、一般にオペレータは、分析のための条件
設定を行った後は装置の前を離れて他の作業を行ってい
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】 しかし、オペレータ
は、このように装置の前を離れていると、分析が終わっ
た時にそれを知ることができない。
は、このように装置の前を離れていると、分析が終わっ
た時にそれを知ることができない。
【０００６】また、分析の途中で何か装置に異常があっ
た時にもそれを知ることができない。
た時にもそれを知ることができない。
【０００７】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、装置の前から離れていても、分析の
終了や装置の異常等を知ることができる試料分析装置を
提供することにある。
ので、その目的は、装置の前から離れていても、分析の
終了や装置の異常等を知ることができる試料分析装置を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の試料分析装置は、電子メール作成手段と、電子メ
ール送信手段と、送信先アドレスを記憶する記憶手段と
を有し、前記電子メール作成手段により測定状態を表す
データを包含する電子メールを作成し、該作成されたメ
ールを、前記電子メール送信手段により、前記記憶手段
に記憶された送信先アドレスへ送信するようにしたこと
を特徴とする。
発明の試料分析装置は、電子メール作成手段と、電子メ
ール送信手段と、送信先アドレスを記憶する記憶手段と
を有し、前記電子メール作成手段により測定状態を表す
データを包含する電子メールを作成し、該作成されたメ
ールを、前記電子メール送信手段により、前記記憶手段
に記憶された送信先アドレスへ送信するようにしたこと
を特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。
の形態について説明する。
【００１０】図１は、本発明の試料分析装置の一例を示
した図であり、本発明をＥＰＭＡに適用した例を示した
図である。
した図であり、本発明をＥＰＭＡに適用した例を示した
図である。
【００１１】図１において、１はＥＰＭＡ本体であり、
ＥＰＭＡ本体１は、電子銃や電子レンズや光学顕微鏡や
Ｘ線検出装置等を備えている。
ＥＰＭＡ本体１は、電子銃や電子レンズや光学顕微鏡や
Ｘ線検出装置等を備えている。
【００１２】２はＣＰＵで、ＣＰＵ２はＥＰＭＡ１に接
続されている。このＣＰＵ２は、ＥＰＭＡ本体１を制御
する分析制御手段３と、分析結果等を記憶する記憶部４
と、メール送信部５を備えている。メール送信部５は、
電子メール作成手段５ａと、電子メール送信手段５ｂ
と、送信先アドレスを記憶する記憶手段５ｃを備えてい
る。
続されている。このＣＰＵ２は、ＥＰＭＡ本体１を制御
する分析制御手段３と、分析結果等を記憶する記憶部４
と、メール送信部５を備えている。メール送信部５は、
電子メール作成手段５ａと、電子メール送信手段５ｂ
と、送信先アドレスを記憶する記憶手段５ｃを備えてい
る。
【００１３】また、ＣＰＵ２は、入力手段６、分析結果
等を表示する表示装置７に接続されている。さらにＣＰ
Ｕ２は、ＬＡＮ８を介してメールサーバ９、メールアド
レスＡを有する端末１０、およびメールアドレスＢを有
する端末１１に接続されている。
等を表示する表示装置７に接続されている。さらにＣＰ
Ｕ２は、ＬＡＮ８を介してメールサーバ９、メールアド
レスＡを有する端末１０、およびメールアドレスＢを有
する端末１１に接続されている。
【００１４】このような構成において、オペレータはま
ず、入力手段６により必要な電子メール送信先アドレス
の入力を行う。この送信先アドレスはメール送信手段５
の記憶手段５ｃに記憶される。なお、入力の方法として
は、キーボード等によりタイプ入力を行ってもよいし、
予め用意されたいくつかのアドレスの中から適当なアド
レスを選択してもよい。
ず、入力手段６により必要な電子メール送信先アドレス
の入力を行う。この送信先アドレスはメール送信手段５
の記憶手段５ｃに記憶される。なお、入力の方法として
は、キーボード等によりタイプ入力を行ってもよいし、
予め用意されたいくつかのアドレスの中から適当なアド
レスを選択してもよい。
【００１５】このような送信先アドレスの入力が終わる
と、オペレータは、入力手段６により必要な分析条件の
設定を行う。例えば、オペレータは、異なる分析方法を
組み合わせた、複数の分析から成る連続自動分析を設定
する。そして、オペレータは、分析の実行を指示する。
と、オペレータは、入力手段６により必要な分析条件の
設定を行う。例えば、オペレータは、異なる分析方法を
組み合わせた、複数の分析から成る連続自動分析を設定
する。そして、オペレータは、分析の実行を指示する。
【００１６】さて、分析の実行が指示されると、分析制
御手段３は、設定された分析条件に従ってＥＰＭＡ本体
１を制御する。この制御によりＥＰＭＡ本体１は動作
し、その動作状態および分析結果の情報は分析制御手段
３に送られ、測定状態を表すデータは記憶部４に記憶さ
れる。
御手段３は、設定された分析条件に従ってＥＰＭＡ本体
１を制御する。この制御によりＥＰＭＡ本体１は動作
し、その動作状態および分析結果の情報は分析制御手段
３に送られ、測定状態を表すデータは記憶部４に記憶さ
れる。
【００１７】このようにＥＰＭＡ本体の状況を常に監視
している分析制御手段３は、試料分析中にＥＰＭＡ本体
側で異常が発生すると、それを知り、ＥＰＭＡ本体１の
動作を停止させる。このため、試料分析は途中で終了す
る。
している分析制御手段３は、試料分析中にＥＰＭＡ本体
側で異常が発生すると、それを知り、ＥＰＭＡ本体１の
動作を停止させる。このため、試料分析は途中で終了す
る。
【００１８】さらに分析制御手段３は、分析が異常終了
したことと、異常終了の原因を表す情報をメール送信部
５に送る。すると、メール送信部５の電子メール作成手
段５ａは、分析が異常終了したことを表すテキストデー
タと、異常終了の原因を表すテキストデータを作成して
電子メールを作成し、作成した電子メールを電子メール
送信手段５ｂに送る。
したことと、異常終了の原因を表す情報をメール送信部
５に送る。すると、メール送信部５の電子メール作成手
段５ａは、分析が異常終了したことを表すテキストデー
タと、異常終了の原因を表すテキストデータを作成して
電子メールを作成し、作成した電子メールを電子メール
送信手段５ｂに送る。
【００１９】なお、試料分析の異常終了の原因には例え
ば次のようなものがある。 1)分光器や試料ステージ等の機械的な可動部分の、動作
範囲の限界への到達 2)電子銃のフィラメント切れ 3)ロータリーポンプのベルト切れ 4)冷却水の流れが止まることによる、冷却系の温度の異
常上昇 5)空圧系の圧力低下 6)ＥＤＳ冷却のための液体窒素切れ 電子メール送信手段５ｂは、電子メール作成手段５ａか
ら送られてきた電子メールを、記憶手段５ｃに記憶され
た送信先アドレスに送信するように動作する。この結
果、電子メールは、メールサーバ９を介して前記送信先
アドレスの端末に送られる。この送信先アドレスは、例
えばＥＰＭＡ本体が置かれている部屋とは別の部屋に置
かれた端末１０のメールアドレスであり、オペレータ
は、その別の部屋で作業している場合でも、端末１０で
作業の合間等に電子メールを確認すれば、試料分析が異
常終了したこと、および異常終了の原因を知る事ができ
る。
ば次のようなものがある。 1)分光器や試料ステージ等の機械的な可動部分の、動作
範囲の限界への到達 2)電子銃のフィラメント切れ 3)ロータリーポンプのベルト切れ 4)冷却水の流れが止まることによる、冷却系の温度の異
常上昇 5)空圧系の圧力低下 6)ＥＤＳ冷却のための液体窒素切れ 電子メール送信手段５ｂは、電子メール作成手段５ａか
ら送られてきた電子メールを、記憶手段５ｃに記憶され
た送信先アドレスに送信するように動作する。この結
果、電子メールは、メールサーバ９を介して前記送信先
アドレスの端末に送られる。この送信先アドレスは、例
えばＥＰＭＡ本体が置かれている部屋とは別の部屋に置
かれた端末１０のメールアドレスであり、オペレータ
は、その別の部屋で作業している場合でも、端末１０で
作業の合間等に電子メールを確認すれば、試料分析が異
常終了したこと、および異常終了の原因を知る事ができ
る。
【００２０】以上は、分析が異常終了した時の場合であ
るが、異常なく上述した複数の分析のうちの１つの分析
が終了すると、分析制御手段３は、その分析が正常終了
したことを表す情報と、記憶部４に記憶された測定状態
を表すデータをメール送信部５に送る。すると、メール
送信部５の電子メール作成手段５ａは、分析が正常終了
したことを表すテキストデータと、分析データを表すテ
キストデータと、測定結果に付随する装置の状態を表す
テキストデータを作成して電子メールを作成し、作成し
た電子メールを電子メール送信手段５ｂに送る。
るが、異常なく上述した複数の分析のうちの１つの分析
が終了すると、分析制御手段３は、その分析が正常終了
したことを表す情報と、記憶部４に記憶された測定状態
を表すデータをメール送信部５に送る。すると、メール
送信部５の電子メール作成手段５ａは、分析が正常終了
したことを表すテキストデータと、分析データを表すテ
キストデータと、測定結果に付随する装置の状態を表す
テキストデータを作成して電子メールを作成し、作成し
た電子メールを電子メール送信手段５ｂに送る。
【００２１】なお、分析データには例えば次のようなも
のがある。 1)定性分析結果（プロファイル、元素同定結果、半定量
分析結果） 2)定量分析結果（各元素に対するＸ線強度、元素濃度） 3)線分析結果（線分析強度データ、濃度データ） 4)面分析結果（面分析強度データ、濃度データ） また、測定結果に付随する装置の状態を表す項目には例
えば次の様なものがある。 1)照射電流値、吸収電流値 2)測定開始時刻、測定終了時刻 3)ＯＭＴＶ像キャプチャー結果 4)ＯＭオートフォーカスの合焦の成否 5)装置の真空度 電子メール送信手段５ｂは、電子メール作成手段５ａか
ら送られてきた電子メールを、記憶手段５ｃに記憶され
た送信先アドレスに送信するように動作する。この結
果、オペレータは、ＥＰＭＡ本体が置かれている場所と
は別の場所で作業していても、端末１０で電子メールを
確認すれば、試料分析が正常終了したこと、分析結果、
および測定結果に付随する装置状態を知ることができ
る。
のがある。 1)定性分析結果（プロファイル、元素同定結果、半定量
分析結果） 2)定量分析結果（各元素に対するＸ線強度、元素濃度） 3)線分析結果（線分析強度データ、濃度データ） 4)面分析結果（面分析強度データ、濃度データ） また、測定結果に付随する装置の状態を表す項目には例
えば次の様なものがある。 1)照射電流値、吸収電流値 2)測定開始時刻、測定終了時刻 3)ＯＭＴＶ像キャプチャー結果 4)ＯＭオートフォーカスの合焦の成否 5)装置の真空度 電子メール送信手段５ｂは、電子メール作成手段５ａか
ら送られてきた電子メールを、記憶手段５ｃに記憶され
た送信先アドレスに送信するように動作する。この結
果、オペレータは、ＥＰＭＡ本体が置かれている場所と
は別の場所で作業していても、端末１０で電子メールを
確認すれば、試料分析が正常終了したこと、分析結果、
および測定結果に付随する装置状態を知ることができ
る。
【００２２】以後、残りの分析が順次行われ、分析状況
に応じた内容の電子メールが送信先アドレスに送信され
る。
に応じた内容の電子メールが送信先アドレスに送信され
る。
【００２３】以上、図１の装置を用いて本発明を説明し
たが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、前記端末１０として、随時メールを受け取ることが
できるポケットベル等の携帯端末を用いてもよい。
たが、本発明はこれに限定されるものではない。例え
ば、前記端末１０として、随時メールを受け取ることが
できるポケットベル等の携帯端末を用いてもよい。
【００２４】また、送付アドレスを予め複数設定し、同
報機能を利用して電子メールを同時にその複数のアドレ
スに送信するようにすれば、例えば１台のＥＰＭＡをあ
るグループで共同で使用するような場合に、実際にある
時点で装置を使用しているオペレータ以外でも測定の進
行状況を把握することができるので、装置の効率的な運
用が可能になる。なお、必要に応じて送る内容をアドレ
スごとに変えるようにしてもよい。すなわち、電子メー
ル送信手段５ｂに、アドレスに応じて送る内容を記憶さ
せておき、あるアドレスには分析が正常終了したか異常
終了したかを表す内容を、また、別のアドレスにはそれ
に加えて測定結果も送るようにしてもよい。
報機能を利用して電子メールを同時にその複数のアドレ
スに送信するようにすれば、例えば１台のＥＰＭＡをあ
るグループで共同で使用するような場合に、実際にある
時点で装置を使用しているオペレータ以外でも測定の進
行状況を把握することができるので、装置の効率的な運
用が可能になる。なお、必要に応じて送る内容をアドレ
スごとに変えるようにしてもよい。すなわち、電子メー
ル送信手段５ｂに、アドレスに応じて送る内容を記憶さ
せておき、あるアドレスには分析が正常終了したか異常
終了したかを表す内容を、また、別のアドレスにはそれ
に加えて測定結果も送るようにしてもよい。
【００２５】また、上記例では、測定の終了時点で電子
メールを送るようにしたが、測定終了までに一定時間間
隔であるいは測定中の適当なタイミングでそれまでの測
定状況を送付するようにしてもよい。これにより、測定
条件の設定で何か失敗したようなときに、その結果を途
中でオペレータが知ることができ、意味のない測定で装
置の使用時間を浪費するようなことが避けられる。ま
た、逐次送付される測定結果を蓄積しておくだけでもよ
い。これにより、時間軸に沿った測定結果の管理が可能
になる。
メールを送るようにしたが、測定終了までに一定時間間
隔であるいは測定中の適当なタイミングでそれまでの測
定状況を送付するようにしてもよい。これにより、測定
条件の設定で何か失敗したようなときに、その結果を途
中でオペレータが知ることができ、意味のない測定で装
置の使用時間を浪費するようなことが避けられる。ま
た、逐次送付される測定結果を蓄積しておくだけでもよ
い。これにより、時間軸に沿った測定結果の管理が可能
になる。
【００２６】また、上記例では、測定の終了時点で電子
メールを送るようにしたが、測定をしていない時に、一
定時間経過するごとに装置の状態に関する電子メールを
送るようにしてもよい。これにより装置起動時の状態把
握等が可能になる。
メールを送るようにしたが、測定をしていない時に、一
定時間経過するごとに装置の状態に関する電子メールを
送るようにしてもよい。これにより装置起動時の状態把
握等が可能になる。
【００２７】また、測定状態を表すデータをファイル化
し、そのファイルを電子メールに添付して送信するよう
にしても良い。
し、そのファイルを電子メールに添付して送信するよう
にしても良い。
【図１】 本発明の試料分析装置の一例を示した図であ
る。
る。
１…ＥＰＭＡ本体、２…ＣＰＵ、３…分析制御手段、４
…記憶部、５…メール送信部、５ａ…電子メール作成手
段、５ｂ…電子メール送信手段、５ｃ…記憶手段、６…
入力手段、７…表示装置、８…ＬＡＮ、９…メールサー
バ、１０、１１…端末
…記憶部、５…メール送信部、５ａ…電子メール作成手
段、５ｂ…電子メール送信手段、５ｃ…記憶手段、６…
入力手段、７…表示装置、８…ＬＡＮ、９…メールサー
バ、１０、１１…端末
Claims (7)
- 【請求項１】 電子メール作成手段と、電子メール送信
手段と、送信先アドレスを記憶する記憶手段とを有し、
前記電子メール作成手段により測定状態を表すデータを
包含する電子メールを作成し、該作成されたメールを、
前記電子メール送信手段により、前記記憶手段に記憶さ
れた送信先アドレスへ送信するようにしたことを特徴と
する試料分析装置。 - 【請求項２】 測定状態を表すデータは、試料分析が終
了したことを表すデータであることを特徴とする請求項
１記載の試料分析装置。 - 【請求項３】 試料分析が終了したことを表すデータ
は、分析が正常終了したことを表すデータであることを
特徴とする請求項２記載の試料分析装置。 - 【請求項４】 電子メールは、さらに分析結果を表すデ
ータを包含することを特徴とする請求項３記載の試料分
析装置。 - 【請求項５】 電子メールは、さらに分析結果に付随す
る装置の状態を表すデータを包含することを特徴とする
請求項４記載の試料分析装置。 - 【請求項６】 試料分析が終了したことを表すデータ
は、分析が異常終了したことを表すデータであることを
特徴とする請求項２記載の試料分析装置。 - 【請求項７】 電子メールは、さらに異常終了の原因を
表すデータを包含することを特徴とする請求項６記載の
試料分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11087651A JP2000283934A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 試料分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11087651A JP2000283934A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 試料分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000283934A true JP2000283934A (ja) | 2000-10-13 |
Family
ID=13920878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11087651A Pending JP2000283934A (ja) | 1999-03-30 | 1999-03-30 | 試料分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000283934A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008026043A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 物品検査装置 |
| US10591861B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-03-17 | Kyocera Document Solutions Inc. | Image forming apparatus that reduces conveyance failure of sheet based on motor torque variation |
-
1999
- 1999-03-30 JP JP11087651A patent/JP2000283934A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008026043A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Anritsu Sanki System Co Ltd | 物品検査装置 |
| JP4712628B2 (ja) * | 2006-07-19 | 2011-06-29 | アンリツ産機システム株式会社 | 物品検査装置 |
| US10591861B2 (en) | 2016-12-28 | 2020-03-17 | Kyocera Document Solutions Inc. | Image forming apparatus that reduces conveyance failure of sheet based on motor torque variation |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040524 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040615 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040812 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050301 |