JP2000277493A5 - - Google Patents
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8408899A JP2000277493A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 半導体基板のプラズマエッチング方法および半導体エッチング基板 |
Applications Claiming Priority (1)
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| JP8408899A JP2000277493A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 半導体基板のプラズマエッチング方法および半導体エッチング基板 |
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| JP2000277493A JP2000277493A (ja) | 2000-10-06 |
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Family
ID=13820760
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8408899A Pending JP2000277493A (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 半導体基板のプラズマエッチング方法および半導体エッチング基板 |
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| JP (1) | JP2000277493A (https=) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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1999
- 1999-03-26 JP JP8408899A patent/JP2000277493A/ja active Pending
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