JP2000275552A - 液体移動型光スイッチ - Google Patents
液体移動型光スイッチInfo
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- JP2000275552A JP2000275552A JP8008899A JP8008899A JP2000275552A JP 2000275552 A JP2000275552 A JP 2000275552A JP 8008899 A JP8008899 A JP 8008899A JP 8008899 A JP8008899 A JP 8008899A JP 2000275552 A JP2000275552 A JP 2000275552A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 信頼性が高く、小形化が容易な液体移動型光
スイッチを提供する。 【解決手段】 注入用溝２３が蓋２１側に設けられてい
るので、屈折率整合液を光路切換用溝６内に注入した後
に屈折率整合液を封止するための樹脂材料が蓋２１と光
導波路基板２０との間で接触しやすくなり、完全な封止
を行うことができる。このため、外部環境が厳しい条件
下、特に高温高湿度やヒートサイクルが加わる環境条件
下であっても、内部の屈折率整合液が漏れ出ることがな
く正常な光の切換動作を行うことができる。また、蓋２
１の材質として光導波路基板２０との熱膨張率の差が１
０-5以下である多成分ガラスを用いることにより、ヒー
タ膜８ａ、８ｂによる熱の影響が減少する。
スイッチを提供する。 【解決手段】 注入用溝２３が蓋２１側に設けられてい
るので、屈折率整合液を光路切換用溝６内に注入した後
に屈折率整合液を封止するための樹脂材料が蓋２１と光
導波路基板２０との間で接触しやすくなり、完全な封止
を行うことができる。このため、外部環境が厳しい条件
下、特に高温高湿度やヒートサイクルが加わる環境条件
下であっても、内部の屈折率整合液が漏れ出ることがな
く正常な光の切換動作を行うことができる。また、蓋２
１の材質として光導波路基板２０との熱膨張率の差が１
０-5以下である多成分ガラスを用いることにより、ヒー
タ膜８ａ、８ｂによる熱の影響が減少する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ通信用
の光スイッチに関し、特に熱毛細管力を利用した液体移
動型光スイッチに関する。
の光スイッチに関し、特に熱毛細管力を利用した液体移
動型光スイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、交差する光導波路の交差部
に、光導波路と所定の角度をなす溝を形成し、光を反射
或いは透過させる方法が提案されている（例えば、Bist
atable optical switching using electrochemically g
enerated bubbles,Optics letters/Vol 15,No 24/Decem
ber 15,1990 ）。
に、光導波路と所定の角度をなす溝を形成し、光を反射
或いは透過させる方法が提案されている（例えば、Bist
atable optical switching using electrochemically g
enerated bubbles,Optics letters/Vol 15,No 24/Decem
ber 15,1990 ）。
【０００３】また、光導波路の交差部に形成された溝内
の液体（屈折率整合液）を液体の熱毛細管力によって移
動させ、光を反射或いは透過させる「光スイッチ」が提
案されている（特開平９−１３３９３２号公報）。
の液体（屈折率整合液）を液体の熱毛細管力によって移
動させ、光を反射或いは透過させる「光スイッチ」が提
案されている（特開平９−１３３９３２号公報）。
【０００４】図４は従来の液体移動型光スイッチの外観
斜視図であり、図５は図４の透視図であり、図６は図５
に示した液体移動型光スイッチから蓋を除去した図であ
る。
斜視図であり、図５は図４の透視図であり、図６は図５
に示した液体移動型光スイッチから蓋を除去した図であ
る。
【０００５】図５において、図示しない基板上に下部ク
ラッド１が成膜され、その下部クラッド１上に形成され
たコア２ａ、２ｂとコア３ａ、３ｂとが互いに交差して
いる。両コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び下部クラッド
１は上部クラッド４で覆われている。両コア２ａ、２
ｂ、３ａ、３ｂの交差部５には両コア２ａ、２ｂ、３
ａ、３ｂと交差するように光路切換用溝６が形成されて
いる。光路切換用溝６の途中から分岐して注入溝７が形
成されている。光路切換用溝６の深さは下部クラッド１
に到達する深さになっている。
ラッド１が成膜され、その下部クラッド１上に形成され
たコア２ａ、２ｂとコア３ａ、３ｂとが互いに交差して
いる。両コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び下部クラッド
１は上部クラッド４で覆われている。両コア２ａ、２
ｂ、３ａ、３ｂの交差部５には両コア２ａ、２ｂ、３
ａ、３ｂと交差するように光路切換用溝６が形成されて
いる。光路切換用溝６の途中から分岐して注入溝７が形
成されている。光路切換用溝６の深さは下部クラッド１
に到達する深さになっている。
【０００６】光路切換用溝６の近傍には一対のヒータ膜
８ａ、８ｂが形成されており、両ヒータ膜８ａ、８ｂの
一端（図では右上端）には配線用電極膜９ａ、９ｂが接
続され、両ヒータ膜８ａ、８ｂの他端（図では左下端）
には共通電極膜９ｃが接続されている。ヒータ膜８ａ、
８ｂ、電極膜９ａ、９ｂ、９ｃ及び上部クラッド４は絶
縁膜１０で覆われている。
８ａ、８ｂが形成されており、両ヒータ膜８ａ、８ｂの
一端（図では右上端）には配線用電極膜９ａ、９ｂが接
続され、両ヒータ膜８ａ、８ｂの他端（図では左下端）
には共通電極膜９ｃが接続されている。ヒータ膜８ａ、
８ｂ、電極膜９ａ、９ｂ、９ｃ及び上部クラッド４は絶
縁膜１０で覆われている。
【０００７】これら基板、下部クラッド１、コア２ａ、
２ｂ、３ａ、３ｂ、光路切換用溝６、上部クラッド４、
絶縁膜１０、ヒータ膜８ａ、８ｂ及び電極膜９ａ、９
ｂ、９ｃで光導波路基板１１が構成されている。
２ｂ、３ａ、３ｂ、光路切換用溝６、上部クラッド４、
絶縁膜１０、ヒータ膜８ａ、８ｂ及び電極膜９ａ、９
ｂ、９ｃで光導波路基板１１が構成されている。
【０００８】光路切換用溝６と注入溝７とは同一の工程
で形成される。このため、光路切換用溝６の深さと注入
溝７の深さとは等しくなっている。
で形成される。このため、光路切換用溝６の深さと注入
溝７の深さとは等しくなっている。
【０００９】光導波路基板１１とは別部品である蓋１２
が絶縁膜１０に接合されている。蓋１２には略Ｕ字形状
の迂回路１３が形成されており、その迂回路１３の両端
が光路切換用溝６の両端に接続されている。注入溝７よ
り図示しない屈折率整合液が光路切換用溝６に所定量注
入されており、図示しない樹脂材料によって注入溝７に
栓がされている。
が絶縁膜１０に接合されている。蓋１２には略Ｕ字形状
の迂回路１３が形成されており、その迂回路１３の両端
が光路切換用溝６の両端に接続されている。注入溝７よ
り図示しない屈折率整合液が光路切換用溝６に所定量注
入されており、図示しない樹脂材料によって注入溝７に
栓がされている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４〜
図６に示した従来の液体移動型光スイッチには以下のよ
うな問題点があった。
図６に示した従来の液体移動型光スイッチには以下のよ
うな問題点があった。
【００１１】(1) コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び両ク
ラッド１、４からなる光導波路上に形成された注入溝７
が深く、封止用の樹脂材料が注入溝７の底まで届かない
ため、完全な封止ができない場合が多い。注入溝７が完
全に封止されていないと、外部環境が厳しい条件下、特
に高温高湿度やヒートサイクルが加わる環境条件下で
は、光路切換用溝６内の屈折率整合液が漏れ出て正常な
光の切換動作が不可能となってしまう。
ラッド１、４からなる光導波路上に形成された注入溝７
が深く、封止用の樹脂材料が注入溝７の底まで届かない
ため、完全な封止ができない場合が多い。注入溝７が完
全に封止されていないと、外部環境が厳しい条件下、特
に高温高湿度やヒートサイクルが加わる環境条件下で
は、光路切換用溝６内の屈折率整合液が漏れ出て正常な
光の切換動作が不可能となってしまう。
【００１２】(2) 図５に示す構造の液体移動型光スイッ
チを多数個集積化してｍ×ｎ（ｍ≧１、ｎ≧１）のマト
リックス構造スイッチで、ｍ×ｎのスイッチを一括して
一つの蓋により屈折率整合液を注入・封止しようとした
場合、注入溝７がコア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂを横切る
構造とならざるを得ない。注入溝７がコア２ａ、２ｂ、
３ａ、３ｂを横切ると、光路を遮ることになって、スイ
ッチを透過する光信号の光量が減衰してしまう。
チを多数個集積化してｍ×ｎ（ｍ≧１、ｎ≧１）のマト
リックス構造スイッチで、ｍ×ｎのスイッチを一括して
一つの蓋により屈折率整合液を注入・封止しようとした
場合、注入溝７がコア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂを横切る
構造とならざるを得ない。注入溝７がコア２ａ、２ｂ、
３ａ、３ｂを横切ると、光路を遮ることになって、スイ
ッチを透過する光信号の光量が減衰してしまう。
【００１３】(3) １×ｎのスイッチアレイにおいても、
注入溝７がコア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂを横切らないよ
うに配置するという設計制約が小形化への障害となる場
合があった。
注入溝７がコア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂを横切らないよ
うに配置するという設計制約が小形化への障害となる場
合があった。
【００１４】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、信頼性が高く、小形化が容易な液体移動型光スイッ
チを提供することにある。
し、信頼性が高く、小形化が容易な液体移動型光スイッ
チを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の液体移動型光スイッチは、互いに交差しない
ｍ本の光導波路及び互いに交差しないｎ本の光導波路が
互いに交差する光導波路基板と、光導波路の各交差部に
形成され、光導波路の光軸と所定の角度をなす壁面を有
する光路切換用溝と、光路切換用溝内に一定の量だけ注
入され光導波路の屈折率に略等しい屈折率を有する屈折
率整合液と、光路切換用溝の近傍に配置された発熱手段
と、光導波路基板上に接合され光路切換用溝に注入され
た屈折率整合液を封止するための蓋とを備えた液体移動
型光スイッチにおいて、屈折率整合液を注入するための
注入用溝を蓋側に形成する構造として、注入溝を長くす
る設計を可能とし、液体の注入を容易としたものであ
る。
に本発明の液体移動型光スイッチは、互いに交差しない
ｍ本の光導波路及び互いに交差しないｎ本の光導波路が
互いに交差する光導波路基板と、光導波路の各交差部に
形成され、光導波路の光軸と所定の角度をなす壁面を有
する光路切換用溝と、光路切換用溝内に一定の量だけ注
入され光導波路の屈折率に略等しい屈折率を有する屈折
率整合液と、光路切換用溝の近傍に配置された発熱手段
と、光導波路基板上に接合され光路切換用溝に注入され
た屈折率整合液を封止するための蓋とを備えた液体移動
型光スイッチにおいて、屈折率整合液を注入するための
注入用溝を蓋側に形成する構造として、注入溝を長くす
る設計を可能とし、液体の注入を容易としたものであ
る。
【００１６】上記構成に加え本発明の液体移動型光スイ
ッチの注入用溝は、光路切換溝に重なるように位置する
と共に蓋の端面に注入口を有し、幅或いは深さが光路切
換溝の幅より小さいのが好ましい。
ッチの注入用溝は、光路切換溝に重なるように位置する
と共に蓋の端面に注入口を有し、幅或いは深さが光路切
換溝の幅より小さいのが好ましい。
【００１７】本発明によれば、注入用溝が蓋側に設けら
れているので、屈折率整合液を光路切換溝内に注入した
後に屈折率整合液を封止するための樹脂材料が、蓋と光
導波路基板との隙間が小さい場合には屈折率整合液によ
り上蓋の注入口が完全に満たされるため樹脂材料によっ
て上蓋の注入口を覆うことができ、結果的に液体が注入
された導波路基板と上蓋とを完全に封止することが可能
となる。このため、外部環境が厳しい条件下、特に高温
高湿やヒートサイクルが加わる環境条件下であっても、
内部の屈折率整合液が漏れ出ることがなく正常な光の切
換動作を行うことができる。
れているので、屈折率整合液を光路切換溝内に注入した
後に屈折率整合液を封止するための樹脂材料が、蓋と光
導波路基板との隙間が小さい場合には屈折率整合液によ
り上蓋の注入口が完全に満たされるため樹脂材料によっ
て上蓋の注入口を覆うことができ、結果的に液体が注入
された導波路基板と上蓋とを完全に封止することが可能
となる。このため、外部環境が厳しい条件下、特に高温
高湿やヒートサイクルが加わる環境条件下であっても、
内部の屈折率整合液が漏れ出ることがなく正常な光の切
換動作を行うことができる。
【００１８】また、蓋の材質として光導波路基板との熱
膨張率の差が１０-5以下である多成分ガラスを用いるこ
とにより、さらに注入導波路基板と上蓋の熱膨張係数が
近いために、発熱手段による熱の発生が生じても熱歪み
の影響を受けにくく、結果的に基板間での剥離等の問題
が回避される。
膨張率の差が１０-5以下である多成分ガラスを用いるこ
とにより、さらに注入導波路基板と上蓋の熱膨張係数が
近いために、発熱手段による熱の発生が生じても熱歪み
の影響を受けにくく、結果的に基板間での剥離等の問題
が回避される。
【００１９】また、注入用溝が、光路切換溝に重なるよ
うに位置すると共に蓋の端面に注入口を有し、幅或いは
深さが光路切換溝の幅より小さい場合には、屈折率整合
液により上蓋の注入口が完全に満たされるため、樹脂材
料によって、上蓋の注入口を覆うことができ、結果的に
液体が注入された導波路基板と上蓋とを完全に封止する
ことが可能となる。
うに位置すると共に蓋の端面に注入口を有し、幅或いは
深さが光路切換溝の幅より小さい場合には、屈折率整合
液により上蓋の注入口が完全に満たされるため、樹脂材
料によって、上蓋の注入口を覆うことができ、結果的に
液体が注入された導波路基板と上蓋とを完全に封止する
ことが可能となる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００２１】図１は本発明の液体移動型光スイッチの一
実施の形態を示す透視図である。図２は図１に示した液
体移動型光スイッチの蓋を除去した状態を示す図であ
る。図３は図１に示した液体移動型光スイッチに用いら
れる蓋の透視図である。尚、図５に示した従来例と同様
の部材には共通の符号を用いた。
実施の形態を示す透視図である。図２は図１に示した液
体移動型光スイッチの蓋を除去した状態を示す図であ
る。図３は図１に示した液体移動型光スイッチに用いら
れる蓋の透視図である。尚、図５に示した従来例と同様
の部材には共通の符号を用いた。
【００２２】本発明の液体移動型光スイッチの特徴は、
従来光導波路側に形成されていた注入溝を蓋側に形成し
た点である。
従来光導波路側に形成されていた注入溝を蓋側に形成し
た点である。
【００２３】図１及び図２において、図示しない基板の
上に下部クラッド１が成膜され、その下部クラッド１の
上に形成されたコア２ａ、２ｂとコア３ａ、３ｂとが互
いに交差している。両コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び
下部クラッド１は上部クラッド４で覆われている。両コ
ア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂの交差部５には両コア２ａ、
２ｂ、３ａ、３ｂと交差するように光路切換用溝６が形
成されている。光路切換用溝６の深さは下部クラッド１
に到達する深さである。光路切換用溝６の近傍には一対
のヒータ膜８ａ、８ｂが形成されている。両ヒータ膜８
ａ、８ｂの一端（図では右上端）には配線用電極膜９
ａ、９ｂが接続され、両ヒータ膜８ａ、８ｂの他端（図
では左下端）には共通電極膜９ｃが接続されている。ヒ
ータ膜８ａ、８ｂ、配線用電極膜９ａ、９ｂ及び上部ク
ラッド４は絶縁膜１０で覆われている。基板、下部クラ
ッド１、コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、光路切換用溝
６、上部クラッド４、絶縁膜１０、ヒータ膜８ａ、８ｂ
及び電極膜９ａ、９ｂ、９ｃで光導波路基板２０が構成
されている。絶縁膜１０の上には、光路切換用溝６及び
ヒータ膜８ａ、８ｂを覆うように蓋２１が陽極接合され
ている。
上に下部クラッド１が成膜され、その下部クラッド１の
上に形成されたコア２ａ、２ｂとコア３ａ、３ｂとが互
いに交差している。両コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ及び
下部クラッド１は上部クラッド４で覆われている。両コ
ア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂの交差部５には両コア２ａ、
２ｂ、３ａ、３ｂと交差するように光路切換用溝６が形
成されている。光路切換用溝６の深さは下部クラッド１
に到達する深さである。光路切換用溝６の近傍には一対
のヒータ膜８ａ、８ｂが形成されている。両ヒータ膜８
ａ、８ｂの一端（図では右上端）には配線用電極膜９
ａ、９ｂが接続され、両ヒータ膜８ａ、８ｂの他端（図
では左下端）には共通電極膜９ｃが接続されている。ヒ
ータ膜８ａ、８ｂ、配線用電極膜９ａ、９ｂ及び上部ク
ラッド４は絶縁膜１０で覆われている。基板、下部クラ
ッド１、コア２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ、光路切換用溝
６、上部クラッド４、絶縁膜１０、ヒータ膜８ａ、８ｂ
及び電極膜９ａ、９ｂ、９ｃで光導波路基板２０が構成
されている。絶縁膜１０の上には、光路切換用溝６及び
ヒータ膜８ａ、８ｂを覆うように蓋２１が陽極接合され
ている。
【００２４】図３に示す蓋２１の内側中央には略Ｕ字形
状の迂回路２２が形成され、蓋２１の端面から中央に向
かって直線状の注入用溝２３が形成されている。迂回路
２２の両端は光路切換用溝６の両端に位置するように形
成され、注入用溝２３の中央側の端部は光路切換用溝６
に連通するように形成されている。蓋２１の材質として
は光導波路基板２０との熱膨張率の差が１０-5以下であ
る多成分ガラスが用いられている。注入用溝２３は、光
路切換用溝６に重なるように位置すると共に蓋２１の端
面に注入口２４を有し、幅或いは深さが光路切換用溝６
の幅より小さいのが好ましい。迂回路２２と注入用溝２
３とはそれぞれ独立したものとなるため、従来のように
同一工程である必要がなく、これら迂回路２２と注入用
溝２３の深さはそれぞれ独立に設定することができる。
蓋２１は、注入用溝２３と光路切換用溝６とが互いに重
なって管路を形成し、蓋２１の外部から図示しない屈折
率整合液が光路切換用溝６に所定量注入され、図示しな
い樹脂材料によって栓がされる。
状の迂回路２２が形成され、蓋２１の端面から中央に向
かって直線状の注入用溝２３が形成されている。迂回路
２２の両端は光路切換用溝６の両端に位置するように形
成され、注入用溝２３の中央側の端部は光路切換用溝６
に連通するように形成されている。蓋２１の材質として
は光導波路基板２０との熱膨張率の差が１０-5以下であ
る多成分ガラスが用いられている。注入用溝２３は、光
路切換用溝６に重なるように位置すると共に蓋２１の端
面に注入口２４を有し、幅或いは深さが光路切換用溝６
の幅より小さいのが好ましい。迂回路２２と注入用溝２
３とはそれぞれ独立したものとなるため、従来のように
同一工程である必要がなく、これら迂回路２２と注入用
溝２３の深さはそれぞれ独立に設定することができる。
蓋２１は、注入用溝２３と光路切換用溝６とが互いに重
なって管路を形成し、蓋２１の外部から図示しない屈折
率整合液が光路切換用溝６に所定量注入され、図示しな
い樹脂材料によって栓がされる。
【００２５】このような液体移動型光スイッチは、注入
用溝２３が蓋２１側に設けられているので、屈折率整合
液を光路切換用溝６内に注入した後に屈折率整合液を封
止するための樹脂材料が蓋２１と光導波路基板２０との
間で接触しやすくなる。また、蓋２１の材質として光導
波路基板２０との熱膨張率の差が１０-5以下である多成
分ガラスを用いることにより、発熱手段による熱の影響
が減少する。さらに注入用溝２３が、光路切換用溝６に
重なるように位置すると共に蓋２１の端面に注入口２４
を有し、幅或いは深さが光路切換溝の幅より小さい場合
には、屈折率整合液を封止するための樹脂材料が蓋２１
と光導波路基板２０との間で接触しやすくなる。
用溝２３が蓋２１側に設けられているので、屈折率整合
液を光路切換用溝６内に注入した後に屈折率整合液を封
止するための樹脂材料が蓋２１と光導波路基板２０との
間で接触しやすくなる。また、蓋２１の材質として光導
波路基板２０との熱膨張率の差が１０-5以下である多成
分ガラスを用いることにより、発熱手段による熱の影響
が減少する。さらに注入用溝２３が、光路切換用溝６に
重なるように位置すると共に蓋２１の端面に注入口２４
を有し、幅或いは深さが光路切換溝の幅より小さい場合
には、屈折率整合液を封止するための樹脂材料が蓋２１
と光導波路基板２０との間で接触しやすくなる。
【００２６】尚、本実施の形態では２本の光導波路の交
差部に液体移動型光スイッチを形成した場合で説明した
が、互いに交差しないｍ（ｍ≧１）本の光導波路及び互
いに交差しないｎ（ｎ≧１）本の光導波路の交差部に液
体移動型光スイッチを形成してｍ×ｎのマトリックス構
造スイッチを構成してもよい。
差部に液体移動型光スイッチを形成した場合で説明した
が、互いに交差しないｍ（ｍ≧１）本の光導波路及び互
いに交差しないｎ（ｎ≧１）本の光導波路の交差部に液
体移動型光スイッチを形成してｍ×ｎのマトリックス構
造スイッチを構成してもよい。
【００２７】ここで、本発明の液体移動型光スイッチで
は、陽極接合により蓋２１を光導波路基板２０に接合す
るが、この陽極接合作業は高温下（２００℃以上）で行
う必要がある。光導波路基板２０の材料と蓋２１の材料
との間に熱膨張率の差があると、接合後常温に戻したと
きに内部応力が残留し、光導波路基板２０や蓋２１に破
損を生じる場合がある。
は、陽極接合により蓋２１を光導波路基板２０に接合す
るが、この陽極接合作業は高温下（２００℃以上）で行
う必要がある。光導波路基板２０の材料と蓋２１の材料
との間に熱膨張率の差があると、接合後常温に戻したと
きに内部応力が残留し、光導波路基板２０や蓋２１に破
損を生じる場合がある。
【００２８】また、注入用溝２３から光路切換用溝６に
屈折率整合液を注入するためには、注入用溝２３と光路
切換用溝６とが重なって一つの管路を形成する必要があ
る。
屈折率整合液を注入するためには、注入用溝２３と光路
切換用溝６とが重なって一つの管路を形成する必要があ
る。
【００２９】注入用溝２３の幅或いは深さが光路切換用
溝６の幅よりも大きいと、管路内を屈折率整合液によっ
て満たすことができなくなり、ｍ×ｎ、１×ｎの集積化
された光スイッチでそれぞれの光路切換用溝への注入量
がばらついて、所定量に収めることが不可能となり、ヒ
ータ膜８ａ、８ｂによって発生した熱毛細管力によって
屈折率整合液を移動させることが不可能となる場合があ
る。
溝６の幅よりも大きいと、管路内を屈折率整合液によっ
て満たすことができなくなり、ｍ×ｎ、１×ｎの集積化
された光スイッチでそれぞれの光路切換用溝への注入量
がばらついて、所定量に収めることが不可能となり、ヒ
ータ膜８ａ、８ｂによって発生した熱毛細管力によって
屈折率整合液を移動させることが不可能となる場合があ
る。
【００３０】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００３１】信頼性が高く、小形化が容易な液体移動
型光スイッチの提供を実現することができる。
型光スイッチの提供を実現することができる。
【００３２】ヒータ配線や光回路（コア）の形状に制
約を受けずに注入溝形状を設計することが可能となり、
信頼性の高い密閉構造を実現することができる。
約を受けずに注入溝形状を設計することが可能となり、
信頼性の高い密閉構造を実現することができる。
【００３３】また上記の設計制約がないので、注入溝
を長く設計することができる。これにより、注入のとき
の液と溝との抵抗とが大きくなって、注入作業が容易と
なる。
を長く設計することができる。これにより、注入のとき
の液と溝との抵抗とが大きくなって、注入作業が容易と
なる。
【図１】本発明の液体移動型光スイッチの一実施の形態
を示す透視図である。
を示す透視図である。
【図２】図１に示した液体移動型光スイッチの蓋を除去
した状態を示す図である。
した状態を示す図である。
【図３】図１に示した液体移動型光スイッチに用いられ
る蓋の透視図である。
る蓋の透視図である。
【図４】従来の液体移動型光スイッチの外観斜視図であ
る。
る。
【図５】図４の透視図である。
【図６】図５に示した液体移動型光スイッチから蓋を除
去した図である。
去した図である。
１ 下部クラッド ２ａ、２ｂ、３ａ、３ｂ コア ４ 上部クラッド ６ 光路切換用溝 ８ａ、８ｂ ヒータ膜 ２０ 光導波路基板 ２１ 蓋 ２２ 迂回路 ２３ 注入用溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 堀江 誠 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 小林 大 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 岡野 広明 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 佐藤 誠 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 下川 房男 東京都新宿区西新宿三丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 堀口 正治 東京都渋谷区桜丘町20番１号 エヌティテ ィエレクトロニクス株式会社内 Ｆターム(参考） 2H041 AA16 AB32 AB40 AC07 AZ01
Claims (2)
- 【請求項１】 互いに交差しないｍ本の光導波路及び互
いに交差しないｎ本の光導波路が互いに交差する光導波
路基板と、上記光導波路の各交差部に形成され、上記光
導波路の光軸と所定の角度をなす壁面を有する光路切換
用溝と、該光路切換用溝内に一定の量だけ注入され上記
光導波路の屈折率に略等しい屈折率を有する屈折率整合
液と、上記光路切換用溝の近傍に配置された発熱手段
と、上記光導波路基板上に接合され上記光路切換用溝に
注入された屈折率整合液を封止するための蓋とを備えた
液体移動型光スイッチにおいて、上記屈折率整合液を注
入するための注入用溝を上記蓋側に形成する構造とし
て、注入溝を長くする設計を可能とし、上記液体の注入
を容易としたことを特徴とする液体移動型光スイッチ。 - 【請求項２】 上記注入用溝は、上記光路切換溝に重な
るように位置すると共に上記蓋の端面に注入口を有し、
幅或いは深さが上記光路切換溝の幅より小さい請求項１
に記載の液体移動型光スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8008899A JP2000275552A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 液体移動型光スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8008899A JP2000275552A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 液体移動型光スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000275552A true JP2000275552A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13708455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8008899A Pending JP2000275552A (ja) | 1999-03-24 | 1999-03-24 | 液体移動型光スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000275552A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6895139B2 (en) | 2003-04-15 | 2005-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Bistable thermopneumatic optical switch |
| CN100345026C (zh) * | 2004-12-29 | 2007-10-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 冻融型光网络开关 |
| CN104808337A (zh) * | 2015-04-03 | 2015-07-29 | 成都锦盛新材科技有限公司 | 节能调光玻璃 |
| CN109283768A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光通信开关、光控制方法、阵列基板以及显示装置 |
-
1999
- 1999-03-24 JP JP8008899A patent/JP2000275552A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6895139B2 (en) | 2003-04-15 | 2005-05-17 | Agilent Technologies, Inc. | Bistable thermopneumatic optical switch |
| CN100345026C (zh) * | 2004-12-29 | 2007-10-24 | 中国科学院理化技术研究所 | 冻融型光网络开关 |
| CN104808337A (zh) * | 2015-04-03 | 2015-07-29 | 成都锦盛新材科技有限公司 | 节能调光玻璃 |
| CN109283768A (zh) * | 2018-09-26 | 2019-01-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 光通信开关、光控制方法、阵列基板以及显示装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040120 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040319 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040511 |