JP2000274373A - 小型ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 遮断性の向上したポンプを提供することを目
的とする。 【解決手段】 吐出側傘型弁（６０ａ）は、軸部（６１
ａ）と、軸部（６１ａ）の一端側に設けられ、傘状に開
いた傘部（６２ａ）とからなり、傘部（６２ａ）の厚み
（ｔａ）は、吸い込み側傘型弁（６０）の傘部（６２
ｂ）の厚み（ｔｂ）よりも厚く、且つ傘部（６２ａ）と
軸部（６１ａ）とのなす角度（α）が吸い込み側傘型弁
（６０ｂ）における傘部（６２ｂ）と軸部（６１ｂ）と
のなす角度（β）よりも小さいことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイヤフラム式の
小型ポンプに関し、特に、搬送流体の流量を大きく損な
うことなく高い吐出力を出し、遮断性を向上させた小型
ポンプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来のダイアフラム型の小型ポンプに
は、例えば、圧電素子からなる振動子（以下、「圧電振
動子」という）を用いたものがある。圧電振動子を用い
たポンプは、ケーシングの内周面に設けた固定用パッキ
ンを介して圧電振動子の外周部を密封支持し、この圧電
振動子に交流電圧を印加して上記圧電振動子を振動させ
ることにより、搬送流体を吸い込み口から吸い込み側逆
止弁を通して、ポンプ室に吸い込み、このポンプ室内に
吸い込んだ流体を吐出側逆止弁を通して吐出口から吐出
する構成になっていた。一般に圧電振動子を用いたダイ
ヤフラム式の小型ポンプでは、１回あたりの搬送流体の
吐出量が少量であり、例えば、直径２５ｍｍのバイモル
フ型圧電素子を駆動源として用い、交流１００Ｖで駆動
した場合には０．０１ｃｍ^３／Ｈｚ程度であり、１秒あ
たりで５０Ｈｚ時０．５ｃｍ^３／ｓｅｃを得ている。こ
のように、小型ポンプでは１回当たりの吐出量が極めて
小さいために、逆止弁は微少な圧力差で動作する構造と
する必要があった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
小型ポンプでは、逆止弁が微少な圧力差で開放される構
造となっているために、搬送流体を自然に流出させては
ならない自然流出防止機能（以下、ポンプの非動作時の
搬送流体の自然流出防止機能を、そのポンプの「遮断
性」という）が不十分であり、図６のように、搬送流体
を供給するタンク１４を小型ポンプ１５の吐出口よりも
上側に設置せざるを得ない場合には、液体重力差によっ
て吐出弁が開き易くなり、搬送流体が自然流出してしま
い、遮断性が良くないという問題があった。

【０００４】このために、タンク１４は小型ポンプ１５
の吐出口よりも下側に設けて液体重力差によって吐出弁
が開いてしまうのを防止していた。また、点滴で使用す
る場合等、やむを得ずタンク１４を小型ポンプ１５の吐
出口よりも上側に設置せざるを得ない場合には、電磁弁
等の閉止バルブ１６を別途設ける必要があり、コストが
かかるという問題点があった。

【０００５】そこで本発明は、搬送流体供給タンクとポ
ンプの吐出口の設置の高さ関係に関わらず、搬送流体の
流量と吐出圧を一定に確保し、大気圧差による搬送流体
の自然流出を防止した、即ち遮断性の向上したポンプを
提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のうち請求項１記載の小型ポンプは、ケーシ
ング（１）と、ケーシング（１）内に搬送流体を流入す
る吸い込み流路（２）と、ケーシング（１）内から搬送
流体を吐出する吐出流路（８）と、ケーシング（１）内
に吸入口及び吐出口を有する隔室として配設され、駆動
源により往復振動を行うダイヤフラムを内部に有して上
記搬送流体の吸入及び吐出を行うポンプ室（１３）と、
ポンプ室（１３）の吸込口に設けられ、吸い込み流路
（２）に連通し上記搬送流体の逆流を防止する吸い込み
側逆止弁（６）と、ポンプ室（１３）の吐出口に設けら
れ、吐出流路（８）に連通し上記搬送流体の逆流を防止
する吐出側逆止弁（１２）とを有してなる小型ポンプに
おいて、吸い込み側逆止弁（６）よりも吐出側逆止弁
（１２）の方が高い差圧で開く逆止弁であることを特徴
とする。

【０００７】このような構成では、吸い込み側逆止弁
（６）を低い差圧で開くようにしたので、搬送流体の吸
い込み時には、搬送流体の吸い込み作用が妨げられるこ
となく、吸い込み側流路（２）から吸い込み側逆止弁
（６）を介して、ポンプ室（１３）に搬送流体が流入
し、吐出側逆止弁（１２）を吸い込み側逆止弁（６）に
比べて高い差圧で開くようにしたので、液体重力差によ
り高い圧力で搬送流体が流入してきた場合にも、吐出側
逆止弁（１２）が通常より開き難くなっているために、
搬送流体が自然流出してしまうのを防止し、遮断性を向
上させることができる。

【０００８】本発明のうち請求項２記載の小型ポンプ
は、上記ダイヤフラムの往復運動は、圧電振動子（７）
により行い、圧電振動子（７）は、交流電源によって駆
動されることを特徴とする。

【０００９】このような構成では、請求項１記載の発明
の効果に加えて、交流電源のある場所ならどこでも簡易
に使用できる。更に、圧電振動子（７）の振動で粘度の
ある搬送流体であっても容易に吐出することができる。

【００１０】本発明のうち請求項３記載の小型ポンプ
は、吸い込み側逆止弁（６）又は吐出側逆止弁（１２）
が弾性材からなる傘型弁であることを特徴とする。

【００１１】このような構成では、傘型構造を有する逆
止弁を用いることによって、請求項１又は２記載の発明
の効果を簡単な構造で達成することができる。

【００１２】本発明のうち請求項４記載の小型ポンプ
は、吐出側傘型弁（６０ａ）が軸部（６１ａ）と、軸部
（６１ａ）の一端側に設けられ、傘状に開いた傘部（６
２ａ）とからなり、傘部（６２ａ）の厚み（ｔａ）は、
吸い込み側傘型弁（６０）の傘部（６２ｂ）の厚み（ｔ
ｂ）よりも厚く、且つ傘部（６２ａ）と軸部（６１ａ）
とのなす角度（α）が吸い込み側傘型弁（６０ｂ）にお
ける傘部（６２ｂ）と軸部（６１ｂ）とのなす角度
（β）よりも小さいことを特徴とする。

【００１３】このような構成では、請求項３記載の発明
の効果に加えて、吐出側傘型弁（６０ａ）が吸い込み側
傘型弁（６０ｂ）よりも剛性を高めることができるの
で、簡易な設計で、遮断性を向上させることができる。

【００１４】本発明のうち請求項５記載の小型ポンプ
は、吸い込み側逆止弁（６）又は吐出側逆止弁（１２）
は、リード弁（６４）であることを特徴とする。

【００１５】本発明のうち請求項６記載の小型ポンプ
は、吸い込み側逆止弁（６）又は吐出側逆止弁（１２）
は、バネ弁（６５）であることを特徴とする。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態の一例
を、図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施の
形態を示し、圧電振動子を用いたダイヤフラム式の小型
ポンプの縦断面図、図２は、本発明の小型ポンプの吐出
側逆止弁として使用する傘型弁を示し、図２（ａ）はそ
の縦半断面図、図２（ｂ）は図２（ａ）の傘型弁をポン
プ室の吐出口に装着した状態を示す縦半断面図、図３
は、本発明の小型ポンプの吸い込み側逆止弁として使用
する傘型弁を示し、図３（ａ）はその縦半断面図、図３
（ｂ）は、傘型弁をポンプ室の吸い込み口に装着した状
態を示す縦半断面図である。

【００１７】本発明の実施の形態の小型ポンプは、図１
に示すように、基本的には、ケーシング１と、ケーシン
グ１内に搬送流体を流入する吸い込み流路２と、ケーシ
ング１内から搬送流体を吐出する吐出流路８と、ケーシ
ング１内に吸入口及び吐出口を有する隔室として配設さ
れ、駆動源により往復振動を行うダイヤフラムを内部に
有して上記搬送流体の吸入及び吐出を行うポンプ室１３
と、ポンプ室１３の吸込口に設けられ、吸い込み流路２
に連通し上記搬送流体の逆流を防止する吸い込み側逆止
弁６と、ポンプ室１３の吐出口に設けられ、吐出流路８
に連通し上記搬送流体の逆流を防止する吐出側逆止弁１
２とを有して構成される。更に、所定容量の上記搬送流
体が貯溜可能な吸い込み側液溜室３が、ケーシング１内
の吸い込み側逆止弁６の上流側に設けられ、所定容量の
上記搬送流体が貯溜可能な吐出側液溜室９が、ケーシン
グ１内の吐出側逆止弁１２の下流側に設けられている。

【００１８】そして、吸い込み側逆止弁６に比べて吐出
側逆止弁１２の方が高い差圧で開くように組み合わせた
ことを特徴とするものである。吐出側の逆止弁１２は、
遮断性を高めるために、吸い込み側逆止弁６よりも開き
にくい構造が取られる。

【００１９】本発明の一実施の形態の小型ダイヤフラム
式ポンプでは、ダイヤフラムの往復運動は、圧電振動子
７により行う。圧電振動子７は圧電体の撓み変化を応用
するユニモルフ、バイモルフ等の素子が用いられ、交流
電源によって駆動される。

【００２０】このような構成とすることにより、搬送流
体は圧電振動子７が下方へ変形すると共に吸い込み側逆
止弁２から吸入され、圧電振動子７が上方へ変形すると
ともに吐出側逆止弁１２から吐出され、圧電振動子７の
繰り返し往復運動によって、連続的に搬送流体が吐出さ
れる。

【００２１】本発明の他の実施の形態では、吸い込み側
逆止弁６及び／又は吐出側逆止弁１２を弾性材からなる
図２，３に示すような傘型弁としている。例えばシリコ
ンゴム、ブチルゴム、フッソゴム等の柔軟なゴム材料か
らなる。傘部６２ａ，６２ｂの各直径は約１０ｍｍ、厚
さはほぼ１〜３ｍｍ程度である。吸い込み側の逆止弁
は、圧電振動子７の１回当たりの往復振動によるポンプ
室１３の容積変化が小さいことから、この際に生じる僅
かな圧力差で動作するように柔軟な構造が取られる。

【００２２】この実施の形態においては、吐出側傘型弁
６０ａは、図２（ａ）に示すように、軸部６１ａと、軸
部６１ａの一端側に設けられ、傘状に開いた傘部６２ａ
とからなり、傘部６２ａの厚みｔａは吸い込み側傘型弁
６０ｂの傘部６２ｂの厚みｔｂに比べて厚く、且つ軸部
６１ａと傘部６２ａとのなす角度αが吸い込み側傘型弁
６０ｂにおける軸部６１ｂと傘部６２ｂとのなす角度β
よりも小さく、傘がやや窄んだ形状となるように形成さ
れている。傘部６２ａの各直径は約１０ｍｍ、厚さはほ
ぼ２〜３ｍｍ程度である。ポンプ室１３への装着時は、
図２（ｂ）に示すように、傘部６２ａは、その先端部ｆ
の少なくとも一部が、傘部６２ａの軸部６１ａ側の表面
と軸部６１ａの表面とが交叉する位置から軸部６１ａに
垂直な線上にあり、仕切壁１１への装着前よりも傘部６
２ａと軸部６１ａとのなす角度αが大きく、できるだけ
９０゜に近くなるような状態で装着され、傘部６２ａの
先端部ｆ側が反り返った状態で装着されることとなる。
ポンプ室１３内の搬送流体による圧力がかかる場合に
は、傘部６２ａの中間部に配置される流出口１８を搬送
流体が下方から傘部６２ａを図２（ｂ）の矢印方向（流
路の下流方向）に押し上げ、搬送流体が所定圧力以上の
押し上げ力となると、傘部６２ａが持ち上がって傘型弁
６０ａが開く。

【００２３】一方、吸い込み側傘型弁６０ｂは、図３
（ａ）に示すように、吐出側傘型弁６０ｂと同様に、軸
部６１ｂと、軸部６１ｂの一端側に設けられ、傘状に開
いた傘部６２ｂとからなり、傘部６２ｂの厚みｔｂが吐
出側傘型弁６０ａの厚みｔａに比べ薄く、且つ軸部６１
ｂと傘部６２ｂとのなす角度βが吐出側傘型弁６０ａの
軸部６１ａと傘部６２ａとのなす角度αに比べて大きく
て、傘の窄みも小さい形状となるように形成されてい
る。傘部６２ｂの直径は約１０ｍｍ、厚さはほぼ１ｍｍ
から２ｍｍ程度である。ポンプ室１３の吸い込み口への
装着時は、図３（ｂ）に示すように、傘部６２ｂは、吐
出側傘型弁６０ａの場合と同様、その先端部ｆの少なく
とも一部が傘部６２ｂの軸部６１ｂ側の表面と軸部６１
ｂの表面とが交叉する位置から軸部６１ｂに垂直な線上
にあり、装着前よりも傘部６２ｂと軸部６１ｂとのなす
角度αが大きく、できるだけ９０゜に近くなるような状
態で装着され、傘部６２ｂの先端部ｆ側が反り返った状
態で装着されることとなるが、その反り返りの程度は吐
出側傘型弁６０ａの場合ほど顕著ではない。これは、傘
部の直径はほぼ同じであるにも関らず、吸い込み側逆止
弁６用及び吐出側逆止弁１２用の傘型弁６０ｂでは、傘
部６２ｂの厚みｔｂが遮断弁１５用の傘型弁６０ａにお
ける傘部６２ａの厚みｔａよりも薄く、且つ傘部６２ｂ
と軸部６１ｂとのなす角度βが傘型弁６０ａにおける傘
部６２ａと軸部６１ａとのなす角度αよりも大きいため
に、図３（ｂ）と図２（ｂ）との比較から明らかなよう
に、装着状態では、傘型弁６０ｂにおける傘部６２ｂの
先端部ｆの方が、傘型弁６０ａにおける傘部６２ａの先
端部ｆよりも反り返りの程度が小さくなるためである。
このように、吸い込み側傘型弁６０ｂも吐出側傘型弁６
０ａも、その傘部６２ａの直径はほぼ同等であるが、傘
部の厚みを、吸い込み側傘型弁６０ｂの傘部６２ｂの厚
みｔｂの方が、吐出側傘型弁６０ａの傘部６２ａの厚み
ｔａよりも小さいものとし、吸い込み側傘型弁６０ｂの
傘部６２ｂと軸部６１ｂとのなす角度βの方が吐出側傘
型弁６０ａの傘部６２ａと軸部６１ａとのなす角度より
も大きくすることにより、ポンプ室１３の吸い込み口に
装着された際、吐出側傘型弁６０ａの傘部６２ａの先端
部ｆ側の搬送流体による圧力がかかる場合、吐出口の場
合と同様に、傘部６２ｂの中間部に配置される流出口１
８を搬送流体が下方から傘部６２ｂを図３（ｂ）の矢印
方向（流路の下流方向）に押し上げ、傘型弁６０ａより
も小さい所定圧力以上の押し上げ力となると、傘部６２
ｂが持ち上がって傘型弁６０ｂが開く。

【００２４】このように構成することにより、吐出側傘
型弁６０ａの傘部６２ａの直径と吸い込み側傘型弁６０
ｂの傘部６２ｂの直径とはほとんど変わらず、吐出側傘
型弁６０ａは、傘部６２ａの厚みｔａが吸い込み側傘型
弁６０ｂの厚みｔｂに比べて厚く、傘部６２ａと軸部６
１ａとのなす角度αが吸い込み側傘型弁６０ｂにおける
傘部６２ｂと軸部６１ｂとのなす角度βよりも小さく、
傘部６２ａの窄みも傘部６２ｂよりも大きいことから、
吸い込み側傘型弁６０ｂに比べて搬送流体の流出する抵
抗も大きくなり、遮断性が大きくなる。

【００２５】吐出側逆止弁１２を吸い込み側逆止弁６よ
りも高い差圧で開くように組み合わせのできる逆止弁と
しては、傘型弁の他に、図４に示すリード弁６４、図５
に示すバネ弁６５がある。なお、本発明の課題を達成す
るためには、これらの弁に関らず、逆止弁６，１２の差
圧を変化できるような弁であれば、どのような形状のも
のであっても良い。

【００２６】図４に示すリード弁６４は、長板状の弾性
体からなるリード６４ｃの一端に、ポンプ室１３の吐出
口、吸い込み口に合わせてその下面側中央部が凸条に傾
斜しているシール座６４ａが設けられ、このリード６４
ｃはシール座６４ａ側と反対側が平面状から若干折り曲
がった傾斜部６４ｄとなっている。傾斜部６４ｄの端部
に設けられている取付穴６４ｅを介してネジ等の固定手
段によりポンプ室１３内に固定され、シール座６４ａに
よりポンプ室１３の吐出口、吸い込み口を遮断するよう
になっている。なお、６４ｂは、シール座６４ａをリー
ド６４ｃに固定するためのストッパであり、取付穴６４
ｅはケーシング１にリード弁６４を固定するための開口
部である。リード６４ｃ部分の折り曲げ角度、厚さ、剛
性を変化させることにより、差圧を変化させて遮断性を
変化させることができる。また、リード弁６４ｃが傾斜
部６４ｄにおいて屈曲していることから、シール座６４
ａの高さを変えると、遮断性を変化させることができ
る。

【００２７】また、図５に示すバネ弁６５は、その周縁
部分を図示していない押さえ環によりポンプ室１３の吐
出側バネ弁取り付け孔に取付られて、ポンプ動作時に
は、バネ弁６５の中央部分のみに搬送流体の圧力がかか
り、その中央部分が持ち上がり、空隙部分６５ａより、
搬送流体が吐出されるものである。バネ弁６５の場合に
は、厚さ及び剛性を大きくし、またこの他に３箇所に細
く伸びた空隙部分６５ａの幅を細くすることにより、遮
断性を大きくすることができる。

【００２８】

【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本発明の実施例では、圧電振動子７を用いたダイヤフラ
ム式の小型ポンプにおいて吸い込み側逆止弁６に通常の
図３に示した形状の傘型弁６０ｂ、吐出側逆止弁１２に
図２に示した形状の遮断性のある傘型弁６０ａを使用し
た。従来例として、吸い込み、吐出側逆止弁６，１２の
双方共に通常の傘型弁６０ｂを使用した小型ポンプを製
作し、更に比較例１として吸い込み、吐出側逆止弁６，
１２の双方共に図２の形状の遮断性のある傘型弁６０ａ
を用いた小型ポンプ、比較例２として吸い込み側逆止弁
６のみに遮断性のある傘型弁６０ａ、吐出側逆止弁１２
には通常の傘型弁６０ｂを用いた小型ポンプを製作し
た。各ポンプの「遮断性」の程度については、各ポンプ
を図６に示したように、搬送用流体を貯蔵したタンク１
４が各ポンプ１５の吐出側逆止弁の位置より高い位置に
くるような配置とし、ポンプが作動していない時に、各
ポンプの吐出側逆止弁からタンク１４からの搬送用流体
が自然流出する場合のタンク１４中の搬送流体液面から
ポンプの吐出口までの高さＨｓを測定し、各ポンプにつ
いてこのＨｓ値を比較することによって定量的に評価し
た。すなわち、このＨｓ値が大きい程、そのポンプの
「遮断性」が高いことを意味する。表１において、「通
常」は通常の形状の傘型弁６０ｂを、「遮断」は図２に
示した形状の遮断性のある傘型弁６０ａを示す。また、
「吐出圧」は吐出側逆止弁が開くときに生じる、搬送流
体が流れ出る圧力をいう。

【００２９】

【表１】

【００３０】（結果）表１に示すように実施例では従来
例に比べて、流量及び吐出圧に減少が見られるものの、
遮断性は５倍以上になった。吸い込み、吐出の両側の逆
止弁に遮断性の高い傘型弁６０ａを用いた比較例１では
遮断性は更に高くなるが、流量、吐出圧共に大幅に低下
する。また、吸い込み側のみに遮断性の高い傘型弁６０
ａを用いた比較例２では実施例と比べて遮断性は同等に
なるものの、搬送流体を吸い込めないために、流量は５
分の１に、吐出圧は２分の１以下に低下し、ポンプとし
て機能しないことがわかった。

【００３１】

【発明の効果】本発明は、吸い込み側逆止弁（６）を低
い差圧で開くようにしたので、搬送流体の吸い込み時に
は、吸い込み側流路（２）から吸い込み側逆止弁（６）
を介して、ポンプ室（１３）に搬送流体が流入し、吐出
側逆止弁（１２）を吸い込み側逆止弁（６）に比べて高
い差圧で開くようにしたので、液体重力差により高い圧
力で搬送流体が流入してきた場合にも、吐出側逆止弁
（１２）が通常より開き難くなっているために、搬送流
体が自然流出してしまうのを防止し、遮断性を向上させ
ることができる。これにより、搬送流体の吸い込み作用
が妨げられることなく、吐出側の吐出作用は高い圧力に
よってのみ行われるので、搬送流体を供給するタンクが
ポンプの吐出口より上にあっても搬送流体の重力によっ
て吐出側逆止弁が開いてしまうことがなく、高い遮断性
を確保することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の小型ポンプの一実施形態を示す縦断面
図である。

【図２】本発明の小型ポンプの吐出側逆止弁として使用
する傘型弁を示し、（ａ）はその縦半断面図である、
（ｂ）は、傘型弁を装着した状態を示す縦半断面図であ
る。

【図３】本発明の小型ポンプの吸い込み側逆止弁として
使用する傘型弁を示し、（ａ）はその縦半断面図であ
る、（ｂ）は、傘型弁を装着した状態を示す縦半断面図
である。

【図４】本発明の小型ポンプの吐出側逆止弁として使用
するリード弁を示し、（ａ）は、その平面図、（ｂ）
は、側面図を示す。

【図５】本発明の小型ポンプの吐出側逆止弁として使用
するバネ弁を示した平面図である。

【図６】遮断性を説明する概要図である。

【符号の説明】 ２ 吸い込み流路 ６ 吸い込み側逆止弁 ７ 圧電振動子 ８ 吐出流路 １１ 仕切壁 １２ 吐出側逆止弁 １３ ポンプ室 ６０ａ，ｂ 傘型弁 ６１ａ，ｂ 軸部 ６２ａ，ｂ 傘部 ６４ リード弁 ６５ バネ弁 ｆ 傘部の先端部

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ケーシング（１）と、ケーシング（１）
   内に搬送流体を流入する吸い込み流路（２）と、ケーシ
   ング（１）内から搬送流体を吐出する吐出流路（８）
   と、ケーシング（１）内に吸入口及び吐出口を有する隔
   室として配設され、駆動源により往復振動を行うダイヤ
   フラムを内部に有して上記搬送流体の吸入及び吐出を行
   うポンプ室（１３）と、ポンプ室（１３）の吸込口に設
   けられ、吸い込み流路（２）に連通し上記搬送流体の逆
   流を防止する吸い込み側逆止弁（６）と、ポンプ室（１
   ３）の吐出口に設けられ、吐出流路（８）に連通し上記
   搬送流体の逆流を防止する吐出側逆止弁（１２）とを有
   してなる小型ポンプにおいて、 吸い込み側逆止弁（６）よりも吐出側逆止弁（１２）の
   方が高い差圧で開く逆止弁であることを特徴とする小型
   ポンプ。
2. 【請求項２】 上記ダイヤフラムの往復運動は、圧電振
   動子（７）により行い、圧電振動子（７）は、交流電源
   によって駆動されることを特徴とする請求項１記載の小
   型ポンプ
3. 【請求項３】 吸い込み側逆止弁（６）又は吐出側逆止
   弁（１２）が弾性材からなる傘型弁であることを特徴と
   する請求項１又は２記載の小型ポンプ。
4. 【請求項４】 吐出側傘型弁（６０ａ）は、軸部（６１
   ａ）と、軸部（６１ａ）の一端側に設けられ、傘状に開
   いた傘部（６２ａ）とからなり、 傘部（６２ａ）の厚み（ｔａ）は、吸い込み側傘型弁
   （６０）の傘部（６２ｂ）の厚み（ｔｂ）よりも厚く、
   且つ傘部（６２ａ）と軸部（６１ａ）とのなす角度
   （α）が吸い込み側傘型弁（６０ｂ）における傘部（６
   ２ｂ）と軸部（６１ｂ）とのなす角度（β）よりも小さ
   いことを特徴とする請求項３記載の小型ポンプ。
5. 【請求項５】 吸い込み側逆止弁（６）又は吐出側逆止
   弁（１２）は、リード弁（６４）であることを特徴とす
   る請求項１又は２記載の小型ポンプ。
6. 【請求項６】 吸い込み側逆止弁（６）又は吐出側逆止
   弁（１２）は、バネ弁（６５）であることを特徴とする
   請求項１又は２記載の小型ポンプ。