JP2000270533A - リニアアクチュエータおよびその製造方法 - Google Patents
リニアアクチュエータおよびその製造方法Info
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Abstract
れる電流に対する応答時間が短縮されたリニアアクチュ
エータおよびその製造方法を提供することにある。 【解決手段】リニアアクチュエータ10は、アクチュエ
ータボディ16に装着される複数の磁気プレート12お
よび導電性のカバーを有するフェライト磁心14を備え
て永久磁界を生成する。リニアアクチュエータ10はさ
らに、外側表面と、内側表面を画成する開口部とを有す
る金属製のボビン24を備える。さらに、ボビン24は
その長さ方向の幅の端から端まで延在し、ボビン24の
内側から外側の表面に横断する間隙を有するように形成
される。絶縁インサート部材が間隙に配置される。巻線
22はボビン24の外側表面に巻回されて電磁コイル2
0を形成し、ボビン24上の電磁コイル20は摺動可能
にリニアアクチュエータ10に装着されてボビン24の
開口部を通るフェライト磁心14を受け入れる。
Description
エータおよびその製造方法に関する。より詳細には、本
発明は、リニアアクチュエータ内部で電流を選択的に電
磁コイルに通電することにより該コイルを往復動作させ
るリニアアクチュエータおよびその製造方法に関する。
本発明は、限定されるものではないが、特に、コイルに
通電される電流に対する応答時間を短縮させ、所望の往
復動作を妨げる制動力として作用するコイル内の誘導電
流を最小限にすることによってコイルの高速な往復動作
を達成するリニアアクチュエータおよびその製造方法と
して有用である。
してリニアアクチュエータの他の部分に対して該コイル
の往復動作を起こさせるリニアアクチュエータが従来の
技術において良く知られている。また、このタイプのリ
ニアアクチュエータに関して或る種の固有の問題が存在
することについても良く知られている。これらの幾つか
には、電流がコイルに通電された時点と電流が実際にコ
イルに作用して該コイルを動作させる時点との間の好ま
しくない遅延や、電流立ち上がり特性(current onset r
esponse)の問題が含まれる。さらに、コイルが動作中で
ある場合に、コイルの金属部分が電磁コイルの所望の往
復動作を妨げる制動力として作用する誘導電流が生成さ
れる。
NΦ/IRの関係式で表されるということが確立されて
いる。この関係において、τは、コイルの過渡時定数で
あり、Nはコイルの周りの導電性の巻線の巻数であり、
Φは、コイルの磁束であり、Iは、コイルに通電される
電流であり、さらに、Rはコイルの電気抵抗である。上
述の関係において要求されているように、時定数τは、
コイルの磁束Φに比例している。従って、コイルの磁束
Φが減少すると、電気的過渡時定数τがそれに応じて減
少し、電磁コイルの電流立ち上がり時間が短縮すること
になる。重要なことは、電流立ち上がり時間の短縮によ
り、通電される電流に対してコイルがより迅速に応答す
るということである。従って、コイルの磁束の減少によ
り、選択的に通電される電流に応答したより正確な往復
動作が得られることになる。
上がり条件の他に、コイルが動作中である場合に、電磁
コイルの金属部分によって制動力として作用する誘導電
流が生成される。このような制動力は、勿論、コイルの
動作の妨げとなるため、最小限にされるべきものであ
る。考えられる一つの解決法は、コイルに非金属部品を
用いて誘導電流の影響を最小限にすることである。しか
しながら、非金属部品を用いた際には、コイルはアクチ
ュエータの高速動作によって発生しやすい過度の熱に耐
えることができないであろう。さらに、コイルが過度の
熱に耐えることができないのであれば、アクチュエータ
は、最終的には故障することになる。従って、コイルの
製造には、金属製材料を用いることが好ましい。
より正確な往復動作のために、選択的に通電される電流
に対する応答時間が短縮されたリニアアクチュエータお
よびその製造方法を提供することにある。
タの高速動作中の極端な温度(extreme temperatures)に
耐えることができ、誘導電流の発生を最小限にとどめる
電磁コイルを備えるリニアアクチュエータおよびその製
造方法を提供することにある。
形状を実質的に維持する電磁コイルを備えるリニアアク
チュエータおよびその製造方法を提供することにある。
のために軽量の金属ボビンを用いたより耐久性を有する
リニアアクチュエータおよびその製造方法を提供するこ
とにある。
上使用が容易であり、相対的に製造が簡易であり、比較
的にコスト効率に優れたリニアアクチュエータおよびそ
の製造方法を提供することにある。
めに、本発明のリニアアクチュエータは、ボディと、前
記ボディに装着され、フェライト磁心を備えて永久磁界
を生成する磁気部材と、外側表面および長さ方向の幅を
有し、長さ方向の軸を規定するボビンと、前記ボビンの
前記外側表面の周りに巻回されて電流を受け入れる導電
性の巻線と、前記巻線に接続されて前記電流を前記巻線
に通電させることによって、前記永久磁界と相互作用す
る磁界を生成して前記ボビンを移動させる電気的手段と
を備え、前記ボビンが前記ボディに摺動可能に装着さ
れ、前記軸に沿って前記ボビンを貫通する開口部を有す
るように形成されて前記フェライト磁心を受け入れ、前
記開口部が前記ボビンの内側表面を形成し、前記ボビン
が前記長さ方向の幅の端から端まで前記軸と実質的に平
行に延在して前記ボビンの前記外側表面から前記内側表
面に横断する間隙を有するように形成されることを特徴
とする。
作用下に、ボビンの周方向に沿って流れる電流(誘導電
流)の流路が遮断されてボビンの往復動作を妨げる制動
力が抑制されるために、従来技術と比較して前記ボビン
のより高速な往復動作が可能となる。
は、ボディと、前記ボディに装着され、導電性のカバー
で積層されたフェライト磁心を備えて永久磁界を生成す
る磁気部材と、外側表面および長さ方向の幅を有し、長
さ方向の軸を規定するボビンと、前記ボビンの前記外側
表面の周りに巻回されて電流を受け入れる導電性の巻線
と、前記巻線に接続されて前記電流を前記巻線に通電さ
せることによって、前記永久磁界と相互作用する磁界を
生成して前記ボビンを移動させる電気的手段とを備え、
前記ボビンが前記ボディに摺動可能に装着され、前記軸
に沿って前記ボビンを貫通する開口部を有するように形
成されて前記フェライト磁心を受け入れ、前記開口部が
前記ボビンの内側表面を形成することを特徴とする。
に積層された導電性のカバーによって導電性の巻線によ
る磁束の発生が減少し、従来技術と比較して前記巻線に
通電された電流の立ち上がり特性が改善され、応答時間
を減少させることができる。
製造方法は、ボディを設けるステップと、前記ボディに
フェライト磁心を含む磁気部材を装着して前記アクチュ
エータ内の永久磁界を生成するステップと、前記ボディ
に長尺なボビンを摺動可能に装着するステップと、前記
ボビンに間隙を設けるステップと、前記ボディの外側表
面に巻線を巻回するステップと、前記巻線を選択的に通
電して前記永久磁界と相互作用する磁界を生成し、前記
ボビンを移動させるステップ、とからなるリニアアクチ
ュエータの製造方法であって、前記ボビンが長さ方向の
幅および外側表面を有し、長さ方向の軸を規定し、前記
軸に沿って前記ボビンを貫通する開口部を有するように
形成されて前記フェライト磁心を受け入れ、前記開口部
が前記ボビンの内側表面を形成し、前記間隙が前記長さ
方向の幅の端から端まで前記軸と実質的に平行に延在し
て前記ボビンの前記外側表面から前記内側表面に横断す
ることを特徴とする。
まで長さ方向の軸と実質的に平行に延在し、且つ、ボビ
ンの外側表面から内側表面に横断する間隙をボビンに形
成し、このような簡単な構造からなるリニアアクチュエ
ータを製造することにより、ボビンの変位速度をより一
層高速化することができる。
および動作の両者に関して、以下の説明とともに同一の
部品に同一の参照符号を付した添付の図面を参照するこ
とにより、最も良く理解できるであろう。
アクチュエータは、アクチュエータボディの内部で永久
磁界を生成する磁気部材を備える。磁気部材は、磁界の
生成のためにフェライト磁心およびボディの上に装着さ
れて該磁心を囲繞する複数の磁気プレートを備える。本
発明の好ましい実施の形態においては、フェライト磁心
に銅製の導電性のカバーがラミネート、すなわち、積層
されている。
エータは、さらに開口部を有するように形成されたボビ
ンを備える。詳細には、この開口部は、ボビンを通って
ボビンの長手軸に沿って延在してボビンの開口部を囲繞
する内側表面を形成している。さらに、ボビンは、その
長さ方向の幅の端から端まで、且つ、ボビンの長さ方向
の軸と実質的に平行に間隙が設けられるように形成され
ている。本発明の好ましい実施の形態において、この間
隙は、ボビンの内側表面および外側表面の間でボビンを
横断しており、通常はプラスチックである誘電性の材料
で構成された絶縁インサート部材によってこの間隙が塞
がれる。さらに、導電性の巻線がボビンの外側表面に巻
回されることにより電磁コイルが形成され、コイルは摺
動可能にアクチュエータボディに装着されて、その中を
通過するフェライト磁心を受け入れる。最後に、電源が
巻線に接続される。
ータの動作においては、電流が選択的に電磁コイルの巻
線に通電されてコイルの周囲に磁界が生成される。コイ
ルの周囲に生成されたこの磁界は、磁気部材によって生
成されたアクチュエータ内部の永久磁界と相互作用す
る。結果として、コイルを動かす力が生成され、この生
成された力の大きさおよび方向は、電流を選択的に通電
させることにより操作される。この方法によって、アク
チュエータの往復動作が、稼動付属部品、好ましくは、
コイルに取付けられたロッドに与えられ、対象物に対し
て所望の効果を与えることが達成される。
によってコイルの磁束が減少され、通電された電流に対
するコイルの応答時間が減少する。そこで、コイルが動
作中である場合に、ボビンの間隙および該間隙を塞ぐ絶
縁インサート部材によってボビンの周りの電流の通路が
遮断されることにより、ボビン上の誘導電流の生成が概
ね防止される。結果として、電磁コイルの往復動作を妨
げかねない誘導電流によるアクチュエータ内部の制動力
がかなり減少される。応答時間の改善および制動力の減
少により、本発明の実施形態に係るリニアアクチュエー
タの正確且つ高速な動作が達成される。
の形態に係るリニアアクチュエータが参照符号10によ
って概ね示されている。概略的には、磁気プレート12
aおよび磁気プレート12bが代表的に示されている複
数の磁気プレート12は、フェライト磁心14を囲繞し
ている。磁気プレート12およびフェライト磁心14は
アクチュエータボディ16に装着されている。電磁コイ
ル20はボビン24の周りに巻回される巻線22を含ん
でいる。本発明の実施の形態においては、この電磁コイ
ル20はフェライト磁心14の周りに設けられ、磁気プ
レート12およびフェライト磁心14の間に位置してい
る。さらに、ボビン24が変位ユニット26の上に装着
ねじ28によって装着されている。この変位ユニット2
6は、図1に示されているように、リニアガイド32に
沿って摺動するベアリング30を備えている。この構成
によって、電磁コイル20が前記リニアアクチュエータ
10の往復動作のために装着される。
ン24がより詳細に示されている。ボビン24は、該ボ
ビン24の内側表面38を形成する長さ方向の軸36に
沿って延在する開口部34を備えるように形成されてい
る。さらに、ボビン24は、該ボビン24の長さ方向の
幅44の端から端まで延在し、長さ方向の軸36に実質
的に平行な間隙42を有するように形成されている。こ
の間隙42は、ボビン24の内側表面38および外側表
面40のそれぞれを横断してリニアアクチュエータ10
の動作中にボビン24の外側表面40の周りの誘導電流
の流れを防止する。このことを行うために、間隙42は
矢印48で示される方向の誘導電流の流れを遮断する。
図2に示されているように、絶縁インサート部材50が
間隙42を塞ぎ、ボビン24の外側表面40の周りの誘
導電流の流れをさらに防いでいる。本発明の好ましい実
施の形態においては、ボビン24はアルミニウムや、チ
タンのような軽量の金属から作られ、絶縁インサート部
材50は、誘電性の材料から作られる。
アアクチュエータ10の磁気プレート12、フェライト
磁心14、および電磁コイル20の配置がより詳細に示
されている。図3に示されているように、導電性のカバ
ー52がフェライト磁心14の表面に積層されている。
この導電性のカバー52は、好ましくは銅のような導電
性の材料から作られる。この構成により、リニアアクチ
ュエータ10の動作中に電磁コイル20の通電された電
流に対する応答時間が短縮される。 [動作の説明]本発明の形態に係るリニアアクチュエー
タ10の動作に関し、図1を再び参照すると、電源56
から導線58を介して巻線22が選択的に通電されてい
る。これらの導線58は、アクチュエータボディ16お
よび磁気プレート12の間の開口部60を通り、電源5
6を巻線22と接続する。通電がなされると、この電流
は、巻線22の周りに矢印62で示される方向に磁界を
生成する。通電によって生成されたこの磁界は、磁気プ
レート12およびフェライト磁心14によって生成され
たリニアアクチュエータ10内の矢印64で示された永
久磁界と相互作用する。永久磁界と通電による磁界のこ
の相互作用により、電磁コイル20に作用する力が生成
される。
ル20を矢印66で示された方向に動作するように付勢
する。電源56からの電流が巻線22に通電された電流
の方向を逆転させるように切り替えられた場合には、生
成された力も逆転され、電磁コイル20を矢印66で示
された反対の方向に付勢する。従って、電磁コイル20
の往復動作は、リニアアクチュエータ10の電磁コイル
20に選択的な電流の通電を行うことによって達成され
る。往復動作から有用な仕事を得るために、好ましくは
ロッド67のようなワーキングアタッチメントが図1に
示されるように電磁コイル20の変位ユニット26に取
り付けられる。
動作の際には、電磁コイル20に電流が通電される時点
と、電流が実際に電磁コイル20を動かす時点との間に
時間遅延が存在する。この時間遅延は、電流の立ち上が
り特性の関数である。図3を概略的に参照すると、導電
性のカバー52がフェライト磁心14に積層されている
際には、矢印68で示された電流が電磁コイル20に通
電されると、矢印72で示された渦電流が導電性のカバ
ー52の表面55上に形成される。導電性のカバー52
の表面55上のこれらの渦電流は、当初、電磁コイル2
0の磁束を減少させる。なぜならば、電磁コイル20の
磁束は電流の立ち上がり特性に比例しており、電磁コイ
ル20の磁束の減少により、電流の立ち上がり特性が減
少するからである。このように、電磁コイル20が通電
された電流に対してより迅速に応答し、リニアアクチュ
エータ10の正確、且つ、高速な往復動作が達成され
る。
ュエータ10が動作中である場合に、他の方法ではボビ
ン24の外側表面40の周りに流れる誘導電流が生成さ
れていない。誘導電流が生成されないのは間隔42およ
び絶縁インサート部材50がボビン24の外側表面40
の周囲の電流の流路を遮断するからである。電磁コイル
20に誘導電流が生成されないため、電磁コイル20の
動作を妨げる誘導電流によって生成される制動力が最小
限になる。この方法によって、リニアアクチュエータ1
0の正確で高速な動作が達成される。
アクチュエータ10の性能に付与される積層された導電
性のカバー52、間隙42および絶縁インサート部材5
0のそれぞれの効果を示している。詳細には、図4は、
時間(軸74)および変位量(軸76)を関数とした通
電される電流に対するリニアアクチュエータ10の応答
に関するグラフである。さらに、図4は、様々な構成の
リニアアクチュエータ10のステップ状直流電圧入力
(図示せず)に一定電圧48ボルト(48V)を印加し
た際のアクチュエータ10の応答を示している。より詳
細には、性能曲線78は、ボビン24の間隙42と、フ
ェライト磁心14上の導電性のカバー52とのいずれも
有さないリニアアクチュエータ10の応答を描いてい
る。同様に、性能曲線80は、間隙42および絶縁イン
サート部材50を有するが、導電性のカバー52を備え
ていないリニアアクチュエータ10の応答を描いてい
る。最後に、性能曲線82は、間隙42および絶縁イン
サート部材50を有するボビン24と、導電性のカバー
52を有するフェライト磁心14との両方を備えたリニ
アアクチュエータ10の応答を示している。
8、80および82は、電磁コイル20が他の部分から
10mm変位するために要する時間を示している。間隙
42と導電性のカバー52とのいずれも有さないリニア
アクチュエータ10において、性能曲線78に示されて
いるように、10mmの変位に要する時間は17.4m
sである。性能曲線80に示されているように、電磁コ
イル20のボビン24に間隙42を形成し、該間隙42
を絶縁インサート部材50で塞いだ場合には、電磁コイ
ル20の変位に要する時間は、15.8msにまで短縮
される。性能曲線82に示されているように、本発明の
好ましい実施の形態においては、間隙42および絶縁イ
ンサート部材50を有するボビン24と、導電性のカバ
ー52を有するフェライト磁心14とを備えるリニアア
クチュエータ10では、10mmの変位に要する時間
は、14.7msになる。従って、本発明の実施の形態
おいては、同じ電流入力の条件で、電磁コイル20の所
定の距離の変位に要する時間は、かなり短縮されてい
る。換言すれば、本発明の実施の形態に係るリニアアク
チュエータ10は、間隙42を有するボビン24と導電
性のカバー52のフェライト磁心14のいずれも備えて
いないアクチュエータ10に対して高速動作が可能であ
り、より優れた加速度を有している。従って、リニアア
クチュエータ10の正確且つ高速な往復動作が達成され
る。
リニアアクチュエータおよびその製造方法によれば、前
述の目的および効果を達成するのに十分であるが、それ
は、本発明の現時点での好ましい実施の形態が例示され
ているに過ぎず、付随する請求項の記載以外には構成も
しくは設計の詳細に如何なる限定をも加えるように意図
されているものではないことを理解されたい。
チュエータの斜視図である。
る。
ートおよびフェライト磁心の分解斜視図である。
グラフであり、間隙および絶縁インサート部材を有する
ボビンと導電カバーを有するフェライト磁心との双方を
備えたリニアアクチュエータと、間隙および絶縁インサ
ート部材を有するボビンを備えるが導電カバーを備えて
いないリニアアクチュエータと、間隙および絶縁インサ
ート部材を有するボビンと導電カバーとのいずれも備え
ていないアクチュエータとの性能データ曲線が描かれて
いる。
…磁気プレート 14…フェライト磁心 16…アクチュエータ
ボディ 20…電磁コイル 22…巻線 24…ボビン 26…変位ユニット 28…装着ねじ 30…ベアリング 32…リニアガイド 34、60…開口部 36…長さ方向の軸 38…内側表面 40…外側表面 42…間隙 44…長さ方向の幅 48、62、64、66、68、72…矢印 50…絶縁インサート部材 52…導電性のカバー 54、55…表面 56…電源 58…導線 67…ロッド 74、76…軸 78、80、82…性
能曲線
Claims (20)
- 【請求項1】ボディと、 前記ボディに装着され、フェライト磁心を備えて永久磁
界を生成する磁気部材と、 外側表面および長さ方向の幅を有し、長さ方向の軸を規
定するボビンと、 前記ボビンの前記外側表面の周りに巻回されて電流を受
け入れる導電性の巻線と、 前記巻線に接続されて前記電流を前記巻線に通電させる
ことによって、前記永久磁界と相互作用する磁界を生成
して前記ボビンを移動させる電気的手段とを備え、 前記ボビンが前記ボディに摺動可能に装着され、前記軸
に沿って前記ボビンを貫通する開口部を有するように形
成されて前記フェライト磁心を受け入れ、前記開口部が
前記ボビンの内側表面を形成し、前記ボビンが前記長さ
方向の幅の端から端まで前記軸と実質的に平行に延在し
て前記ボビンの前記外側表面から前記内側表面に横断す
る間隙を有するように形成されることを特徴とするリニ
アアクチュエータ。 - 【請求項2】請求項1記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記フェライト磁心に積層された導電性のカバーをさら
に備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項3】請求項2記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記導電性のカバーが銅で作られていることを特徴とす
るリニアアクチュエータ。 - 【請求項4】請求項1記載のリニアアクチュエータにお
いて、 前記間隙の中に前記間隙を塞ぐように配置されて前記間
隙に渡る電気の通電を遮断する絶縁インサート部材をさ
らに備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項5】請求項4記載のリニアアクチュエータにお
いて、前記絶縁インサート部材が誘電材料で作られてい
ることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項6】請求項1記載のリニアアクチュエータにお
いて、前記ボビンがアルミニウムで作られていることを
特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項7】請求項1記載のリニアアクチュエータにお
いて、前記ボビンに装着されて動作するワーキングアタ
ッチメントをさらに備えることを特徴とするリニアアク
チュエータ。 - 【請求項8】請求項7記載のリニアアクチュエータにお
いて、前記ワーキングアタッチメントがロッドであるこ
とを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項9】ボディと、 前記ボディに装着され、導電性のカバーで積層されたフ
ェライト磁心を備えて永久磁界を生成する磁気部材と、 外側表面および長さ方向の幅を有し、長さ方向の軸を規
定するボビンと、 前記ボビンの前記外側表面の周りに巻回されて電流を受
け入れる導電性の巻線と、 前記巻線に接続されて前記電流を前記巻線に通電させる
ことによって、前記永久磁界と相互作用する磁界を生成
して前記ボビンを移動させる電気的手段とを備え、 前記ボビンが前記ボディに摺動可能に装着され、前記軸
に沿って前記ボビンを貫通する開口部を有するように形
成されて前記フェライト磁心を受け入れ、前記開口部が
前記ボビンの内側表面を形成することを特徴とするリニ
アアクチュエータ。 - 【請求項10】請求項9記載のリニアアクチュエータに
おいて、前記導電性のカバーが銅で作られていることを
特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項11】請求項9記載のリニアアクチュエータに
おいて、 前記ボビンが前記長さ方向の幅の端から端まで前記軸と
実質的に平行に延在して前記ボビンの前記外側表面から
前記内側表面に横断する間隙を有するように形成される
ことを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項12】請求項9記載のリニアアクチュエータに
おいて、 前記間隙の中に前記間隙を塞ぐように配置されて前記間
隙に渡る電気の通電を遮断する絶縁インサート部材をさ
らに備えることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項13】請求項12記載のリニアアクチュエータ
において、前記絶縁インサート部材が誘電材料で作られ
ていることを特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項14】請求項9記載のリニアアクチュエータに
おいて、前記ボビンがアルミニウムで作られていること
を特徴とするリニアアクチュエータ。 - 【請求項15】請求項9記載のリニアアクチュエータに
おいて、前記ボビンに装着されて動作するワーキングア
タッチメントをさらに備えることを特徴とするリニアア
クチュエータ。 - 【請求項16】ボディを設けるステップと、 前記ボディにフェライト磁心を含む磁気部材を装着して
前記アクチュエータ内の永久磁界を生成するステップ
と、 前記ボディに長尺なボビンを摺動可能に装着するステッ
プと、 前記ボビンに間隙を設けるステップと、 前記ボディの外側表面に巻線を巻回するステップと、 前記巻線を選択的に通電して前記永久磁界と相互作用す
る磁界を生成し、前記ボビンを移動させるステップと、 からなるリニアアクチュエータの製造方法であって、 前記ボビンが長さ方向の幅および外側表面を有し、長さ
方向の軸を規定し、前記軸に沿って前記ボビンを貫通す
る開口部を有するように形成されて前記フェライト磁心
を受け入れ、前記開口部が前記ボビンの内側表面を形成
し、前記間隙が前記長さ方向の幅の端から端まで前記軸
と実質的に平行に延在して前記ボビンの前記外側表面か
ら前記内側表面に横断することを特徴とするリニアアク
チュエータの製造方法。 - 【請求項17】請求項16記載の方法において、 前記フェライト磁心に導電性のカバーを積層するステッ
プをさらに含むことを特徴とするリニアアクチュエータ
の製造方法。 - 【請求項18】請求項17記載の方法において、 前記導電性のカバーが銅で作られていることを特徴とす
るリニアアクチュエータの製造方法。 - 【請求項19】請求項17記載の方法において、 前記間隙内に絶縁インサート部材を配置するステップを
さらに含むことを特徴とするリニアアクチュエータの製
造方法。 - 【請求項20】請求項19記載の方法において、 前記絶縁インサート部材が誘電性の材料で作られている
ことを特徴とするリニアアクチュエータの製造方法。
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