JP2000266684A - 記録媒体用プラスチック基板の外観検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】固定磁気ディスク記憶装置に用いられる記録媒
体用プラスチック基板の簡便な外観検査方法を提供す
る。 【解決手段】プラスチック基板１はその中心部を保持さ
れ、その外周部から入射光２を基板内に導入する。基板
内に導入された光は、傷などの基板表面に存在する欠陥
箇所あるいは気泡などの基板内部に存在する欠陥箇所か
ら、基板外に散乱される。欠陥による散乱光は、垂直方
向の光のみを検出する検出器６，７をプラスチック基板
１の半径方向と一致させ、プラスチック基板１の２面に
対向して設置することで半径方向の位置を特定し、２面
のどちらに存在する欠陥かは、２面の散乱光の光量の強
い面に存在するので特定できる。欠陥の周方向の位置の
特定は、プラスチック基板１の基準位置からの回転角か
ら特定できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固定磁気ディスク
記憶装置などに用いられる記録媒体用プラスチック基板
の外観検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、コンピュータなどの情報処理装置
の外部記憶装置として、固定磁気ディスク記憶装置が多
く用いられている。この固定磁気ディスク記憶装置に用
いられている従来の磁気記憶媒体は、非磁性基体上に非
磁性の金属下地層を積層し、この金属下地層上に強磁性
合金体であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ（コバルト・クロム・白
金）などの磁性層を薄膜状に積層形成している。そし
て、この磁性層上にカーボン保護層を積層形成し、さら
にその上に液体潤滑剤からなる潤滑層を設けて、磁気記
録媒体を形成している。

【０００３】非磁性基体としては、研磨を施したアルミ
ニウム基板やガラス基板を用いた磁気記録媒体が供給さ
れている。これらの基板に対して、プラスチック基板を
用いることで、より安価な記録媒体を供給する試みがな
されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】近年、情報の多量化お
よび多様化が急激に進んだことにより、低価格な装置で
情報の大量処理を行う必要性から、固定磁気ディスク記
憶装置にも安価であることが強く要望されている。従っ
て、固定磁気ディスク記憶装置に用いられる磁気記録媒
体においても、コストダウンに対応するために従来基板
より価格を低下させたプラスチック基板媒体が必要とな
っている。

【０００５】しかしながら、近年のヘッド浮上量の低下
によりデータ領域の平滑化が求められており、プラスチ
ック基板を用いた媒体に関してもこの点は同じである。
プラスチック基板を適用する場合、従来の固定磁気ディ
スク記憶装置などに用いられる記録媒体の外観検査方法
である面に垂直方向からの光学的検査法では、プラスチ
ック基板は用いる光が透過するため検査が困難である。

【０００６】本発明は上記の問題点に鑑みなされたもの
で、その目的とするところは、固定磁気ディスク記憶装
置に用いられる記録媒体用プラスチック基板の簡便な外
観検査方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、ディスク状記録媒体用プラスチ
ック基板の外観検査方法において、前記プラスチック基
板の外周部より前記プラスチック基板内に光を導入し、
傷などの異常部を、該異常部からの散乱による前記プラ
スチック基板の表面における光量の増加により検出する
こととした。

【０００８】また、上記において、検出した異常部の位
置を前記プラスチック基板の回転角と半径方向の位置と
から特定することとした。また、上記において、異常部
からの散乱による光量の増加を前記プラスチック基板の
両面から同時測定し、前記光量の増加の大きい面に異常
部が存在すると判定することとした。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の実施例を示す概
念図である。図１において、１はプラスチック基板、２
は入射光、３は散乱光、４，５はスリット、６，７は検
出器である。プラスチック基板１としてはポリカーボネ
ート樹脂を使用しているが、光透過性樹脂であれば全て
に適用可能である。プラスチック基板１はその中心部を
保持され、その外周部から図示しないハロゲンランプを
光源とする入射光２をプラスチック基板１内に導入す
る。入射光２に関しては、使用するプラスチック基板１
中を透過するものであればレーザー光でも適用可能であ
る。プラスチック基板１内に導入された光は、傷などの
基板表面に存在する欠陥箇所あるいは気泡などの基板内
部に存在する欠陥箇所から、基板外に散乱される。

【００１０】欠陥による散乱光３は、スリット４，５を
介して垂直方向の光のみを検出する光検出器６，７をプ
ラスチック基板１の半径方向と一致させ、プラスチック
基板１の２面に対向して設置することで半径方向の位置
を特定し、２面のどちらに存在する欠陥かは、２面の散
乱光の光量の強い面に存在するので特定できる。

【００１１】欠陥の周方向の位置の特定は、プラスチッ
ク基板１の基準位置からの回転角から特定でき、半径方
向および面の特定と合わせて欠陥部の正確な位置を決定
することができる。上記方法で特定した欠陥の位置を、
原子間力顕微鏡を用いて観察したところ、凹形状の基板
の傷を確認することができた。

【００１２】従来方法との比較を行うために、上記プラ
スチック基板１を用いて、従来通りレーザースポット光
を基板表面に照射し、レーザースポットを走査し、基板
からの反射および散乱を光検出器で測定後、走査情報か
ら基板上の欠陥位置を特定する手法で評価したが、本発
明により検出された欠陥は検出されなかった。

【００１３】また、プラスチック基板１の基板材質を非
結晶ポリオレフィン系プラスチック基板として、本発明
による方法で外観検査を行い、特定した欠陥の位置を原
子間力顕微鏡を用いて観察したところ、凹形状の基板の
傷を確認することができた。この基板を用いて、上記し
た従来方法で同様に評価したが、本発明により検出され
た欠陥は検出されなかった。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、高度な外観検査装置は
不要となり、２面同時に検査することで検査工程の短縮
も可能で、従来手法では困難であったプラスチック基板
の検査が簡便な手法で実現でき、これにより欠陥のある
基板を選別し、歩留りの向上が実現でき、安価な磁気記
録媒体を供給することができる。

【００１５】また、欠陥の低減により磁気ヘッドの浮上
高さを低減でき、高記録密度化が達成され、プラスチッ
ク基板を用いた磁気記録媒体においても大容量記憶装置
を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施例を示す概念図

【符号の説明】

１…プラスチック基板、２…入射光、３…散乱光、４，
５…スリット、６，７…検出器。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ディスク状記録媒体用プラスチック基板の
   外観検査方法において、前記プラスチック基板の外周部
   より前記プラスチック基板内に光を導入し、傷などの異
   常部を、該異常部からの散乱による前記プラスチック基
   板の表面における光量の増加により検出することを特徴
   とする記録媒体用プラスチック基板の外観検査方法。
2. 【請求項２】請求項１に記載の記録媒体用プラスチック
   基板の外観検査方法において、検出した異常部の位置を
   前記プラスチック基板の回転角と半径方向の位置とから
   特定することを特徴とする記録媒体用プラスチック基板
   の外観検査方法。
3. 【請求項３】請求項１または２に記載の記録媒体用プラ
   スチック基板の外観検査方法において、異常部からの散
   乱による光量の増加を前記プラスチック基板の両面から
   同時測定し、前記光量の増加の大きい面に異常部が存在
   すると判定することを特徴とする記録媒体用プラスチッ
   ク基板の外観検査方法。