JP2000260839A - 低温試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 試料ステージの下面から試料に光を照射する
ことができる低温試験装置を提供する。 【解決手段】 真空中かつ低温状態で試料の試験を行う
低温試験装置において、上記試料１が載置される試料ス
テージ２の少なくとも試料が載置される部分を透光性材
料で形成し、上記試料に上記試料ステージ側から光１０
を照射するように構成した。また、試料ステージは中空
状に形成され、その中空部に冷却用流体３が流通するよ
うに構成された。また、試料ステージに冷却用のガスを
吹き付ける手段を備えた。また、試料ステージには、複
数の貫通孔を有する多孔性伝熱層が埋め込まれている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばシリコンウ
エハ等の試料に形成された半導体素子、より具体的には
赤外線撮像素子に代表される素子の電気的特性試験等を
真空中かつ低温状態で行う低温試験装置に関し、特に試
料を載置する試料ステージ側から試料に光を照射するこ
とのできる低温試験装置に関するものである

【０００２】

【従来の技術】図６は例えば特開平５−２４５３９５号
公報に示された従来のこの種の装置を示す断面図であ
り、図において、素子冷却試験装置１１０における極低
温冷凍機（例えば逆スターリングサイクル・ＧＭサイク
ル冷凍機等）１１１のコールドヘッド１１２は真空容器
１１３内に配設されている。なお、コールドヘッド１１
２と極低温冷凍機１１１のシリンダ１１４は連続してお
り、コールドヘッド１１２上には試料ステージ１１５が
形成されている。また、極低温冷凍機１１１の一部と真
空容器１１３の下端はフランジ１１６を介して図示しな
い架台に固設されている。真空容器１１３の上端にはＯ
リング等の真空シール材を介して上蓋１１７が配設され
ると共に、上蓋１１７にはのぞき窓１１８が形成されて
いる。

【０００３】シリンダ１１４の外周上において、シリン
ダ１１４を挟持するような形でステージ固定部材１１９
が上下方向、回転方向に移動可能に配設されている。こ
のステージ固定部材には一体にプローバステージ１２１
が配設されており、更にプローバステージ１２１上の任
意の位置にはマニピュレータ１２２が例えばマグネット
等により固定される。

【０００４】マニュピレータ１２２は支持部材１２３に
より支持されたプローバ針１２４を有し、つまみ１２
５、１２６、１２７によりプローバ針１２４の位置を
Ｘ、Ｙ、Ｚ方向に任意に移動させることができ、試料ス
テージ１１５上の試料１２８を検出できる。例えば、コ
ールドヘッド１１２の冷凍出力により冷却された試料１
２８の電気発生変化（微小電流）等を、試料１２８にコ
ンタクトさせたプローバ針１２４により検出する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の低温試験装置は
以上のように構成されているので、試料下面から光を照
射することができず、例えば赤外線撮像素子のように赤
外光に対する素子の電気的特性を真空中かつ低温下とい
う素子動作環境下において試験する必要がある試験対象
においては、試料内に形成されている素子における下面
から照射される光に対する電気的特性を測定することが
できないという問題点があった。

【０００６】この発明は、上記のような従来のものの問
題点を解決するためになされたものであり、試料ステー
ジの下面から試料に光を照射することができる低温試験
装置を提供することを目的としている

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の構成に係
る低温試験装置は、真空中かつ低温状態で試料の試験を
行う低温試験装置において、上記試料が載置される試料
ステージの少なくとも試料が載置される部分を光透過性
材料で形成し、上記試料に上記試料ステージ側から光を
照射するように構成したものである。

【０００８】本発明の第２の構成に係る低温試験装置
は、上記第１の構成に加えて、試料ステージは中空状に
形成され、その中空部に冷却用流体が流通するように構
成されたものである。

【０００９】本発明の第３の構成に係る低温試験装置
は、上記第２の構成に加えて、中空部は円柱形状であ
り、冷却用流体の供給口と排出口を近接して配置すると
ともに、冷却用流体を上記円柱形状中空部外周の接線方
向から供給して接線方向へ排出するように構成したもの
である。

【００１０】本発明の第４の構成に係る低温試験装置
は、上記第２または第３の構成に加えて、中空状試料ス
テージと試料との間に、上記試料側の平面度が上記中空
状試料ステージの平面度よりも高い光透過性平板を配置
したものである。

【００１１】本発明の第５の構成に係る低温試験装置
は、上記第１の構成に加えて、試料ステージに冷却用の
ガスを吹き付ける手段を備えたものである。

【００１２】本発明の第６の構成に係る低温試験装置
は、上記第１の構成に加えて、低温に冷却された保冷物
体を試料ステージに載置した後、除去するように構成し
たものである。

【００１３】本発明の第７の構成に係る低温試験装置
は、上記第１ないし第６のいずれかの構成に加えて、試
料ステージは、可撓性伝熱部材を介して低温源と熱的に
接続されているものである。

【００１４】本発明の第８の構成に係る低温試験装置
は、上記第１および第５ないし第７のうちのいずれかの
構成に加えて、試料ステージには、複数の貫通孔を有す
る多孔性伝熱層が埋め込まれているものである。

【００１５】本発明の第９の構成に係る低温試験装置
は、上記第８の構成に加えて、多孔性伝熱層の端部は試
料ステージから突出しており、低温源と熱的に接続され
ているものである。

【００１６】本発明の第１０の構成に係る低温試験装置
は、上記第１ないし第７のいずれかの構成に加えて、試
料ステージの試料載置面に、試料の光照射部に対応する
部分が開口した伝熱層が形成されているものである。

【００１７】

【発明の実施の形態】実施の形態１．以下、本発明の一
実施の形態を図について説明する。図１は本発明の実施
の形態１による低温試験装置の構成を示す断面図であ
る。図において、１は試料、例えば赤外線撮像素子等の
半導体素子が形成されたウェハ、である。２は試料ステ
ージであり、上記素子の光に対する応答を試験するため
に用いられる波長の光を効率よく透過する材料で形成さ
れており、赤外線撮像素子を対象にする場合には赤外線
に対する透過特性の良好な石英やサファイアやゲルマニ
ウム等を用いる。また、試料ステージ２は中空構造であ
り、当該中空部分にヘリウム冷凍機等（図示せず）によ
り所望の温度に冷却された冷却流体例えば極低温ヘリウ
ムが配管３を介して供給、排出される。４は試料１の電
気的な特性を検査するためのプローバ針であり、プロー
バ針保持部材４１により保持されており上下動する機構
を備えている。５はプローバ針に対する試料１の相対的
な位置を変化させるための駆動テーブルであり、真空容
器１１に固定されている。当該駆動テーブル５の上に試
料ステージ２や試料１が設置されて、プローバ針４によ
り試料１に形成された複数の素子を検査できるようにし
ている。６はヘリウム冷凍機等（図示せず）により所望
の温度に冷却されたコールドヘッド、７は試料ステージ
２を支持するとともに冷却する冷却ブロック、８は試料
１の端部を押さえることにより試料１を試料ステージ２
に密着，固定させるための試料チャックであり、これら
はいずれも銅に代表される熱伝導の良好な実用構造材料
により構成されている。９は例えば銅線を密に編むこと
により優れた可撓性と熱伝導性を備えた可撓性伝熱部材
であり、冷却ブロック７および試料チャック８とコール
ドヘッド６とを熱的に接続している。１０は光源であ
り、本実施の形態では赤外線を放出する。１１は上記構
成部材全体を覆う真空容器である。なお、図には示して
いないが、真空容器１１には試料１を外部から出し入れ
するためのロードロック機構等が構成されることもあ
る。

【００１８】試料１の裏面に低温状態で光を当てた場合
の電気特性をプローバ針４により測定することが試験の
目的になるが、試料ステージ２が試験に用いられる波長
の光を透過する材料、具体的には石英やサファイヤ、ゲ
ルマニウム等で製作されているため光源１０の発する光
を試料１の裏面で受けることができ試験目的を達成する
ことができる。ただし、試料１の温度が試験の設定温度
からかけ離れていたり試料１内に温度分布が存在する
と、計測される電気特性の誤差が増えることになる。な
お、単に試料ステージ２の材料に石英等を使用した場合
は、試料ステージ２の中央部に光を透過させるため試料
ステージ２の外周から冷却することにならざるを得ない
が、上記した光を透過する材料は一般的に熱伝導率が小
さい物性を有することと、試料ステージ２は試料１から
の伝導熱に加えて容器全体からの輻射熱を受けることに
起因して、試料ステージ２の端部と中央部とで大きな温
度分布ができてしまうことになる。その結果、試験対象
である試料１にも温度分布を生じ、試料１内に複数配設
された素子間で測定誤差を発生させてしまうという問題
がある。これに対して、本実施の形態では試料ステージ
２内部に温度制御された極低温ヘリウムガスを直接流し
ており、試料ステージ２全体を所定の温度に、しかも均
一に冷却することができる。当然、ヘリウムガスは試験
に用いる光を吸収あるいは散乱しないため試験に悪影響
を及ぼすことはない。

【００１９】また、本実施の形態においては、試料チャ
ック８など試料１に温度変化を与える可能性のある部材
はコールドヘッド６と例えば編み線銅条のような熱伝導
性に優れた材料よりなる伝熱部材９により連結すること
により、試料１の温度均一性を高めている。また、試料
ステージ２や試料チャック８は駆動テーブル５によりプ
ローバ針４に対して相対的に位置を移動することになる
が、伝熱部材９が可撓性に優れており自由に屈曲できる
ため試料ステージ２の位置決め精度には支障をきたさな
い。また、コールドヘッド６は冷凍機の振動を伴うが伝
熱部材９の可撓性により試料ステージ２に振動が伝わる
ことが無く、プローバ針４の素子への接触を信頼性高く
実現でき、ひいては安定した電気特性試験を実施でき
る。なお、上記実施の形態においては、試料１を駆動さ
せて複数箇所の素子を試験できるように構成したが、駆
動機能をプローバ針保持部材４１に具備させてもよい。

【００２０】実施の形態２．図２は本発明の実施の形態
２に係る試料ステージの構成を拡大して示し、（ａ）は
平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。図に
おいて、１４は光透過性平板すなわち試料１の平面度と
同等もしくはそれより高度の平面度が試料１側に確保さ
れた石英平板、１２は冷却用流体である低温ヘリウムガ
スの供給口、１３は排出口である。

【００２１】供給口１２および排出口１３は試料ステー
ジ２の中空流路外周の接線方向に冷却用流体を供給・排
出できるように設置されており、結果的に冷却用流体は
試料ステージ２内部で淀みを発生することなく安定に流
れることになる。したがって、試料ステージ２全体を所
定の温度に、しかも均一に維持することができる。な
お、一般的に石英のような難加工性材料に供給口１２お
よび排出口１３を取り付けるようとすると試料１と接触
する面に対して加工による変質や変形という悪影響をも
たらすことになり、試料１と接触する面の平面度を確保
することが困難となるが、別途、平面度の確保された石
英平板１４を用意しておき、低温接着剤等を用いて上記
中空状の試料ステージ２の上面に張り合わせることによ
り平面度を確保した上に温度を一定にできる効果を得る
ことができる。なお、試料ステージ２および光透過性平
板１４の材質は石英に限るものではなく、試験に用いら
れる波長の光を透過するものが選ばれ、例えば、サファ
イアやゲルマニウム等であってもよい。

【００２２】実施の形態３．実施の形態１では試料ステ
ージ２の内部に低温の流体を流して温度の均一性を高め
る場合について説明したが、試料ステージ２に冷却用流
体例えば低温ヘリウムガスを直接吹き付けて試料ステー
ジ２を所定温度に冷却した後に試料１を載置して試験を
行ってもよく、さらに、光源１０から照射される光の障
害にならない位置から試料ステージ２の下面に低温の流
体を直接吹き付けながら試験を行ってもよい。本実施の
形態によれば上記実施の形態１におけるように試料ステ
ージ２として中空状のものを加工しさらに冷却用流体を
循環させるのに比べて簡単な試料ステージ２の構造で試
料ステージ２を低温に温度制御することができる。

【００２３】実施の形態４．実施の形態１では試料ステ
ージ２の内部に低温の流体を流す場合について説明した
が、試料１を試料ステージ２の上に載置する前の段階
で、別の場所で予め所定の温度に冷却された熱容量の大
きな、例えば厚手の銅板等の保冷物体、を試料ステージ
２上に載置することにより試料ステージ２を急速に冷却
し温度制御することができる。この方法により試料ステ
ージ２を一旦冷却すると、試料ステージ２自体の熱容量
によって決まる所定の時間内は素子の電気特性試験にお
いて許容される範囲の温度の均一性を維持することがで
き、実用的に試験を実施することができる。本実施の形
態によっても実施の形態３の場合と同様に、実施の形態
１に比べて簡単な試料ステージ２の構造で試料ステージ
２を低温に温度制御することができる。

【００２４】実施の形態５．実施の形態１では試料ステ
ージ２の内部に流路を持った構造について示したが、内
部に流路の無い構造であっても、複数の貫通孔を有する
多孔性の伝熱層を試料ステージ２内部に埋設した構造を
とれば試料ステージ２を均一に冷却することができる。
図３はこのような構造を有する本発明の実施の形態５に
係る試料ステージを拡大して示し、（ａ）は平面図、
（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図に示すよう
に、石英等の光透過性材料よりなる試料ステージ２の内
部に、多数の貫通孔を有し銅等の高熱伝導性材料の薄板
よりなる多孔性伝熱板１５すなわち多孔性伝熱層が埋設
されている。この多孔性伝熱板１５は、例えば銅の薄板
にプレス加工で多数の孔を効率よく形成した、いわゆる
パンチングメタルを用いることにより経済的に実現でき
る。また、多孔性伝熱板１５の端部は試料ステージ２の
側面から突出しており、その突出部は可撓性伝熱部材９
を介して低温源である例えばヘリウム冷凍機等（図示せ
ず）により所望の温度に冷却されたコールドヘッド（図
示せず）と熱的に接続されている。

【００２５】石英の熱伝導率は１．０Ｗ／ｍ・Ｋ程度で
あるが、銅は極低温領域で５００Ｗ／ｍ・Ｋ程度の高い
熱伝導率を有するため、低温において試料ステージ２の
中央部においても効率よく伝熱することができ、試料ス
テージ２全体の温度を均一化し易くなる。このように、
多孔性伝熱板１５を試料ステージ２の内部に埋設するこ
とにより試料ステージ２内の均熱効率が飛躍的に改善さ
れる。

【００２６】なお、多孔性伝熱板１５の貫通孔は試料１
の光照射部に対応しているのが望ましいが、無作為に配
置されていてもよい。このように無作為に配置した場合
には多孔性伝熱板１５による光の反射や散乱による障害
が懸念されるが、多孔性伝熱板１５と試料１の間に介在
する石英内で光の回折が起こり、実用に供しうる均一な
光量分布を達成できる。また、多孔性伝熱板１５を低温
源と熱的に接続することにより、試料ステージ２をより
確実に所定の温度に維持することが可能となるが、この
構成は必ずしもなくてもよく、実施の形態１で説明した
冷却ブロック７で冷却する構成や、実施の形態３や４に
よる構成と併用されてもよいのは言うまでもない。

【００２７】実施の形態６．また、上記試料ステージ２
に埋め込まれた多孔性伝熱層は、図４（ｂ）に示すよう
に、試料１に形成された素子とほぼ同じ寸法形状の主平
面を有する石英直方体２１に対して、それを構成する４
つの側面に金や銅等の高熱伝導性を有する材料からなる
伝熱層１６を帯状に形成しておき、それらの複数の石英
直方体２１を接着もしくは融着することにより図４
（ａ）に示すような試料ステージ２を構成することによ
っても実現できる。

【００２８】実施の形態７．図５は本発明の実施の形態
７に係る試料ステージを示し、（ａ）は平面図、（ｂ）
は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。図において、１６は
伝熱層、１７は開口部である。試料１に形成された素子
の個数が少なかったり、素子の密度が比較的粗い場合に
は、試料ステージ２の試料載置面に試料１の光照射部分
に対応する部分が開口１７した伝熱層１６を形成しても
素子と伝熱層１６の位置決め精度を実用的に確保するこ
とが可能になり、上記実施の形態５で説明したような回
折による効果を期待する必要が無くなるため、このよう
に構成することによって、試料ステージ２内の伝熱効率
と試料ステージ２から試料１への伝熱効率とを同時に飛
躍的に向上させることができる。

【００２９】図５において、試料ステージ２自体は単な
る中実の石英板であるが、試料１に配設された素子形状
に応じたパターンを有し、かつ銅等の高熱伝導物質より
なる伝熱層１６が試料ステージ２の試料載置面に形成さ
れている。この場合の伝熱層１６は石英板２の片面に銅
や金の金属膜を蒸着等により形成したのち写真製版等に
より開口部１７をパターニングすることにより工業的に
容易に得ることができる。

【００３０】石英板の熱伝導率は１．０Ｗ／ｍ・Ｋ程度
であるが、銅は極低温領域で５００Ｗ／ｍ・Ｋ程度の高
い熱伝導率を有するため、低温において試料ステージ２
から試料１への伝熱抵抗を小さくすることができるうえ
に試料ステージ２の中央部においても効率よく伝熱する
ことができ、試料ステージ２全体の温度を均一化し易く
なる。

【００３１】なお、上記各実施の形態では、具体例とし
て赤外線撮像素子に代表される素子の電気的特性試験を
真空中かつ低温状態で行う場合について説明したが、本
発明はこのような電気的特性試験に限るものではなく、
例えば宇宙環境用光学素子等の低温特性試験など他の低
温試験にも適用できるのは言うまでもない。

【００３２】

【発明の効果】以上のように、本発明の第１の構成によ
れば、真空中かつ低温状態で試料の試験を行う低温試験
装置において、上記試料が載置される試料ステージの少
なくとも試料が載置される部分を光透過性材料で形成
し、上記試料に上記試料ステージ側から光を照射するよ
うに構成したので、試料ステージの下面から試料に光を
照射して低温試験を実施することができる低温試験装置
が得られる。

【００３３】本発明の第２の構成によれば、上記第１の
構成に加えて、試料ステージは中空状に形成され、その
中空部に冷却用流体が流通するように構成されたので、
試料ステージ全体を均一に所定温度に維持することがで
きる。

【００３４】本発明の第３の構成によれば、上記第２の
構成に加えて、中空部は円柱形状であり、冷却用流体の
供給口と排出口を近接して配置するとともに、冷却用流
体を上記円柱形状中空部外周の接線方向から供給して接
線方向へ排出するように構成したので、冷却用流体を試
料ステージ内部で淀みを発生することなく安定に流すこ
とができ、試料ステージの温度均一性をさらに向上させ
ることができる。

【００３５】本発明の第４の構成によれば、上記第２ま
たは第３の構成に加えて、中空状試料ステージと試料と
の間に、上記試料側の平面度が上記中空状試料ステージ
の平面度よりも高い光透過性平板を配置したので、試料
と接触する面の平面度を容易に確保することができる。

【００３６】本発明の第５の構成によれば、上記第１の
構成に加えて、試料ステージに冷却用のガスを吹き付け
る手段を備えたので、試料ステージの冷却を簡便に行う
ことができる。

【００３７】本発明の第６の構成によれば、上記第１の
構成に加えて、低温に冷却された保冷物体を試料ステー
ジに載置した後、除去するように構成したので、試料ス
テージの冷却を簡便に行うことができる。

【００３８】本発明の第７の構成によれば、上記第１な
いし第６のいずれかの構成に加えて、試料ステージは、
可撓性伝熱部材を介して低温源と熱的に接続されている
ので、例えば低温源が振動するような場合にも試料ステ
ージに振動の影響を及ぼすことなく試料ステージを冷却
できる。

【００３９】本発明の第８の構成によれば、上記第１お
よび第５ないし第７のうちのいずれかの構成に加えて、
試料ステージには、複数の貫通孔を有する多孔性伝熱層
が埋め込まれているので、試料ステージの光透過性を損
なうことなく温度均一性を向上させることができる。

【００４０】本発明の第９の構成によれば、上記第８の
構成に加えて、多孔性伝熱層の端部は試料ステージから
突出しており、低温源と熱的に接続されているので、試
料ステージをより確実に所定の温度に維持することがで
きる。

【００４１】本発明の第１０の構成によれば、上記第１
ないし第７のいずれかの構成に加えて、試料ステージの
試料載置面に、試料の光照射部に対応する部分が開口し
た伝熱層が形成されているので、試料ステージの光透過
性を損なうことなく温度均一性を向上させることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態１による低温試験装置の
構成を示す断面図である。

【図２】 本発明の実施の形態２に係る試料ステージを
拡大して示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−
Ａ線断面図である。

【図３】 本発明の実施の形態５に係る試料ステージを
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面
図である。

【図４】 本発明の実施の形態６に係る試料ステージを
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）で用いられる石
英直方体を拡大して示す斜視図である。

【図５】 本発明の実施の形態７に係る試料ステージを
示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面
図である。

【図６】 従来の低温試験装置を示す断面図 である。

【符号の説明】

１ 試料、２ 試料ステージ、３ 配管、４ プローバ
針、４１ プローバ針保持部材、５ 駆動テーブル、６
コールドヘッド、７ 冷却ブロック、８ 試料チャッ
ク、９ 可撓性伝熱部材、１０ 光源、１１ 真空容
器、１２ 冷却用流体の供給口、１３ 冷却用流体の排
出口、１４ 光透過性平板、１５ 多孔性伝熱板、１６
伝熱層、１７ 開口部、２１ 石英直方体、１１１
極低温冷凍機、１１２ コールドヘッド、１１３ 真空
容器、１１５ 試料ステージ、１２４ プローバ針、１
２８ 試料。

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｇ０１Ｒ 31/26 Ｈ ５Ｃ００１ Ｈ０１Ｊ 37/20 Ｈ０１Ｊ 37/20 Ｅ // Ｈ０１Ｌ 27/14 Ｈ０１Ｌ 27/14 Ｚ (72)発明者 福島 一彦 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 星之内 進 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2G003 AA06 AA10 AC03 AD03 2G040 AB08 BA02 BA18 BA27 CA05 CA12 CA23 CB03 CB14 EA08 EA11 EB02 GC07 ZA01 4G057 AD07 4M106 AA01 BA01 BA08 CA31 CA62 CA70 DH01 DH45 DJ02 DJ04 DJ32 4M118 AA09 AB01 GA10 HA36 5C001 AA01 BB02

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空中かつ低温状態で試料の試験を行う
   低温試験装置において、上記試料が載置される試料ステ
   ージの少なくとも試料が載置される部分を光透過性材料
   で形成し、上記試料に上記試料ステージ側から光を照射
   するように構成したことを特徴とする低温試験装置。
2. 【請求項２】 試料ステージは中空状に形成され、その
   中空部に冷却用流体が流通するように構成されたことを
   特徴とする請求項１に記載の低温試験装置。
3. 【請求項３】 中空部は円柱形状であり、冷却用流体の
   供給口と排出口を近接して配置するとともに、冷却用流
   体を上記円柱形状中空部外周の接線方向から供給して接
   線方向へ排出するように構成したことを特徴とする請求
   項２に記載の低温試験装置。
4. 【請求項４】 中空状試料ステージと試料との間に、上
   記試料側の平面度が上記中空状試料ステージの平面度よ
   りも高い光透過性平板を配置したことを特徴とする請求
   項２または３に記載の低温試験装置。
5. 【請求項５】 試料ステージに冷却用のガスを吹き付け
   る手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の低温
   試験装置。
6. 【請求項６】 低温に冷却された保冷物体を試料ステー
   ジに載置した後、除去するように構成した請求項１に記
   載の低温試験装置。
7. 【請求項７】 試料ステージは、可撓性伝熱部材を介し
   て低温源と熱的に接続されていることを特徴とする請求
   項１ないし６のいずれかに記載の低温試験装置。
8. 【請求項８】 試料ステージには、複数の貫通孔を有す
   る多孔性伝熱層が埋め込まれていることを特徴とする請
   求項１および５ないし７のうちのいずれかに記載の低温
   試験装置。
9. 【請求項９】 多孔性伝熱層の端部は試料ステージから
   突出しており、低温源と熱的に接続されていることを特
   徴とする請求項８に記載の低温試験装置。
10. 【請求項１０】 試料ステージの試料載置面に、試料の
    光照射部に対応する部分が開口した伝熱層が形成されて
    いることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記
    載の低温試験装置。