JP2000258855A - 露光装置 - Google Patents
露光装置Info
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- JP2000258855A JP2000258855A JP11064707A JP6470799A JP2000258855A JP 2000258855 A JP2000258855 A JP 2000258855A JP 11064707 A JP11064707 A JP 11064707A JP 6470799 A JP6470799 A JP 6470799A JP 2000258855 A JP2000258855 A JP 2000258855A
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Abstract
ニットのハウジング内の冷却を効率よく行える露光装置
を提供することを目的とする。 【解決手段】光源ユニットをハウジング内に収納し、該
ハウジングに吸気口と排気口とを設け、排気口近くにハ
ウジング内の空気を排出する冷却ファンを取付ける一
方、光源ユニットを構成するランプが、フィラメントを
収納した管壁部と、管壁部内部を外部に対し遮断する封
止部と、該封止部から突出する口金とを有する露光装置
において、ランプの封止部に、放熱用フィンを形成し
て、該放熱用フィンを吸気口と排気口とを結ぶエア通路
上に位置させる構成にした。
Description
ウジング内に収納し、該ハウジングに吸気口と排気口と
を設け、排気口近くにハウジング内の空気を排出する冷
却ファンを取付ける一方、光源ユニットを構成するラン
プが、フィラメントを収納した管壁部と、管壁部内部を
外部に対し遮断する封止部と、該封止部から突出する口
金とを有する露光装置に関する。
は、図6に示すように、ハロゲンランプB、リフレクタ
ーC、調光フィルターDなどから構成される光源ユニッ
トAを備えており、これらハロゲンランプB、調光フィ
ルターD等は、ハウジングE内に収納されている。
が多いので、ハロゲンランプBを点灯させると、ハウジ
ングE内の温度が上昇していく。従って、ハウジングE
内の各部品の安全性を確保し、かつ、品質を保証するた
めに、各部品を許容温度内に収まるように冷却する必要
がある。
に、吸気口Fと排気口Gとを設け、排気口G近くにハウ
ジングE内の空気を排出する冷却用ファンHを取付けて
いる。
ンプBは、図7及び図8に示すように、フィラメントJ
を収納した管壁部Kと、管壁部K内部を外部に対し遮断
する封止部Lと、該封止部Lから突出する口金M,Mと
を有する構造となっている。この封止部Lは、2本の口
金M,Mが固定された陶器部Pと、該陶器部Pに設けら
れた凹部に流し込まれてフィラメントJおよび管壁部K
の根元部を固定するセメント部Nとから構成されてい
る。
に設ける凹部内に突出されており、フィラメントJの端
部と口金M,Mの端部とが接続された状態で、この凹部
にセメントが流し込まれる。
写真焼付装置の光源ユニットAにおいては、ハロゲンラ
ンプBの各部の中でも封止部Lの冷却効率が非常に悪か
った。その結果、ハウジングE内の各部品の冷却を行う
際、ハロゲンランプBの容量が大きくなればなるほど、
大容量の冷却用ファンHが必要となっている。
や埃をハウジングE内に吸い込んでしまう虞があり、こ
の塵や埃によってハウジングE内に配置された調光フィ
ルターDに支障を来してしまうので、これを防止するた
めに、ハウジングEの吸気口F近くに防塵フィルターQ
を設けている。
ると、防塵フィルターQを介して吸気を行っても、塵埃
を吸い込んでしまい、その結果、メンテナンスの頻度が
多くなるという不具合が生じている。
と、それだけ全体の形状が大きくなるので、騒音が大き
くなるし、さらに、冷却用ファンHの取付スペースも大
きくとらなければならないという不具合も生じる。
のであって、冷却用ファンの容量を小さくしながら、光
源ユニットのハウジング内の冷却を効率よく行える露光
装置を提供することを目的とする。
め、本発明は、光源ユニットをハウジング内に収納し、
該ハウジングに吸気口と排気口とを設け、排気口近くに
ハウジング内の空気を排出する冷却ファンを取付ける一
方、光源ユニットを構成するランプが、フィラメントを
収納した管壁部と、管壁部内部を外部に対し遮断する封
止部と、該封止部から突出する口金とを有する露光装置
において、ランプの封止部に放熱用フィンを形成して、
該放熱用フィンを、吸気口と排気口とを結ぶエア通路上
に位置させる構成にした。
に基づいて説明する。図1及び図2は、写真焼付装置に
設ける露光装置の光源ユニット1を示す概略図である。
すように、光源としてのハロゲンランプ3、リフレクタ
ー4、熱線吸収フィルター5、調光フィルター6、セッ
トアップフィルター7を備えており、これらの機器をハ
ウジング2内に搭載している。
収納した管壁部32と、管壁部32内部を外部に対し遮
断する封止部33と、該封止部33から突出する口金3
4,34とを有する構造となっている。
なる放熱用フィン35と、該放熱用フィン35に設ける
穴部36内に挿入される陶器部37と、放熱用フィン3
5の穴部36内にセメントが流し込まれて形成されるセ
メント部38とから構成されている。
4の両端部が突出された状態で固定されており、該陶器
部37は、各口金34,34の一端部が放熱用フィン3
5から突出するように該放熱用フィン35に設ける穴部
36内に挿入されている。
熱用フィン35の穴部36内に流し込む前に、該穴部3
6内に陶器部37を挿入しておき、穴部36内でこの陶
器部37に固定されている口金34,34の他端部とフ
ィラメント31の端部とを接続させておいて、穴部36
にセメントを流し込むことにより、陶器部37と、フィ
ラメント31および管壁部32の根元部とを放熱用フィ
ン35に対し固定した状態となるように形成されてい
る。
また、他側部には排気口22がそれぞれ形成されてお
り、吸気口21近くには、エアフィルター23が取り付
けられ、排気口22近くには、冷却用ファン24が取り
付けられている。
4を固定するための固定枠8が固定されている。この固
定枠8は、図1に示すように、左側に吸気口21に対向
するエア取り入れ口83を、右側に排気口22にほぼ対
向するエア排出口84を備えた角筒状に形成され、上壁
部には、リフレクター4を嵌め込んで固定する上部開口
部81を、底壁部には、ハロゲンランプ3を挿通させる
下部開口部82が設けられている。
るに際しては、まず、ハロゲンランプ3の口金34,3
4を、ハウジング2に設けたランプ用ソケット25に差
込み、リフレクター4を固定枠8の上部開口部81に固
定させておいて、固定枠8の下部開口部82にハロゲン
ランプ3を挿通させ、該ハロゲンランプ3の管壁部32
の一部をリフレクター4内に位置させて、固定枠8の両
側の開放部83,84を吸気口21および排気口22に
対向させた状態で、固定枠8をハウジング2に固定する
のである。
ンランプ3の露光光の通路となる露光口26が設けられ
ており、また、露光口26の下方には、セットアップフ
ィルター7が配設され、リフレクター4の開口部近くに
は、該開口部を覆うように熱線吸収フィルター5が配設
されている。
ィルター5とセットアップフィルター7との間に配設さ
れており、駆動装置(図示せず)により、ハロゲンラン
プ3の光路内に進入または後退させるようにしている。
させることにより、吸気口21と排気口22とを結ぶエ
ア通路が形成されるのであって、ハウジング2の吸気口
21から外部の空気が吸引され、この吸気口21からエ
アフィルター23を介してハウジング2内に吸入された
エアは排気口22から排気される。
に吸入されたエアは、エア通路に位置される調光フィル
ター6などのハウジング2内に配設する各機器を冷却し
ながら、排気口22から排気されるのである。
3を吸気口21に、エア排出口84エアを排気口22に
それぞれ対向させてハウジング2内に配設しているの
で、この固定枠8内にも吸気口21と排気口22を結ぶ
エア通路が形成される。その結果、固定枠8のエアフィ
ルター23側の開放部83からエアが流入し、固定枠8
内を通過しながらリフレクター4及びハロゲンランプ3
を冷却して、固定枠8の排気口22側の開口部84から
エアが流出する。
では、ハロゲンランプ3の封止部33の冷却効率を上げ
るために、該封止部33の放熱用フィン35を、固定枠
8内に形成されるエア通路上に位置させるようにしたの
である。
ニウム合金で射出成形されており、図3乃至図5に示す
ような複数枚のフィン部39を備えている。
に、陶器部37を挿入した穴部36近くから同方向に平
行させて延設しており、中央部のフィン部39が最も長
さが長く、中央から両側に向かって徐々に長さが短くな
っていくように形成して、エア通路を流れるエアが各フ
ィン部39の全体に接触しやすくなるようにしている。
内に固定する際、封止部33の放熱用フィン35の各フ
ィン部39がエア通路におけるエアの流れ方向に対し直
交する方向に延びるように位置させて、ハロゲンランプ
3を固定するのである。
部39からなる放熱用フィン35を形成しているので、
封止部33のエアと接触する接触面積が大きくとれるこ
ととなり、封止部33のエアによる冷却を効率良く行え
る。
あるセメント部38および陶器部37で生じる熱の放熱
を放熱用フィン35を介して効率よく行え、従来に比べ
て封止部33全体の冷却効率を向上させられるのであ
る。
きいアルミニウム合金で形成しているので、より冷却効
率を向上できる。
内に固定する際、封止部33の放熱用フィン35の各フ
ィン部39をエア通路のエアの流れ方向に対し直交する
方向に延びるように位置させているので、エア通路を流
れるエアを放熱用フィン35の各フィン部39へ効率よ
く接触させられ、冷却効率を上げられるのである。
3に放熱用フィン35を形成して、この放熱用フィン3
5をエア通路上に位置させるようにしているので、封止
部33の冷却効率を向上できる。
同様の許容温度以内に冷却を行う場合には、従来の冷却
用ファンと比較して約半分の容量で冷却が行えるように
なる。従って、電気コストを低減できるし、エアの流量
も少なくできるので、吸気口21からエアと共に吸入さ
れる塵埃の量も低減できるのである。
比べて少なくできるので、冷気用ファンそのものの大き
さを小さくでき、製造コストの低廉化が図れ、取付スペ
ースも小さくでき、騒音も小さくできる。
を固定する固定枠8を利用して、該固定枠8を筒状に形
成すると共に、エア取り入れ口83を吸気口21に、エ
ア排出口84エアを排気口22にそれぞれ対向させて、
内部に、ハロゲンランプ3およびリフレクター4を冷却
するエア通路を積極的に形成するようにしたので、ハロ
ゲンランプ3の冷却をより効率良く行えるのである。
ング内に収納し、該ハウジングに吸気口と排気口とを設
け、排気口近くにハウジング内の空気を排出する冷却フ
ァンを取付ける一方、光源ユニットを構成するランプ
が、フィラメントを収納した管壁部と、管壁部内部を外
部に対し遮断する封止部と、該封止部から突出する口金
とを有する露光装置において、ランプの封止部に、放熱
用フィンを形成して、該放熱用フィンを吸気口と排気口
とを結ぶエア通路上に位置させる構成としたから、放熱
用フィンによって、封止部のエアと接触する接触面積が
大きくとれることとなり、封止部のエアによる冷却を効
率良く行える。
熱用フィンを介して効率よく行え、従来に比べて封止部
全体の冷却効率を向上させられるのである。
様の許容温度以内となるように冷却を行う場合には、従
来の冷却用ファンと比較して約半分の容量で冷却が行え
るようになり、電気コストを低減できるし、エアの流量
も少なくできるので、吸気口からエアと共に吸入される
塵埃の量も低減できるのである。
て少なくできるので、冷気用ファンそのものの大きさを
小さくでき、製造コストの低廉化が図れ、取付スペース
も小さくでき、騒音も小さくできる。
ットの概略断面構成図である。
た概略断面図である。
る。
略断面構成図である。
Claims (1)
- 【請求項1】光源ユニットをハウジング内に収納し、該
ハウジングに吸気口と排気口とを設け、排気口近くにハ
ウジング内の空気を排出する冷却ファンを取付ける一
方、光源ユニットを構成するランプが、フィラメントを
収納した管壁部と、管壁部内部を外部に対し遮断する封
止部と、該封止部から突出する口金とを有する露光装置
において、ランプの封止部に放熱用フィンを形成して、
該放熱用フィンを、吸気口と排気口とを結ぶエア通路上
に位置させていることを特徴とする露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06470799A JP3633347B2 (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP06470799A JP3633347B2 (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | 露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000258855A true JP2000258855A (ja) | 2000-09-22 |
JP3633347B2 JP3633347B2 (ja) | 2005-03-30 |
Family
ID=13265901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP06470799A Expired - Fee Related JP3633347B2 (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | 露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3633347B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109760421A (zh) * | 2019-02-21 | 2019-05-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 喷墨打印溶剂防溢结构 |
-
1999
- 1999-03-11 JP JP06470799A patent/JP3633347B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109760421A (zh) * | 2019-02-21 | 2019-05-17 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 喷墨打印溶剂防溢结构 |
Also Published As
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---|---|
JP3633347B2 (ja) | 2005-03-30 |
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