JP2000249617A - ピラニ真空計 - Google Patents
ピラニ真空計Info
- Publication number
- JP2000249617A JP2000249617A JP11053815A JP5381599A JP2000249617A JP 2000249617 A JP2000249617 A JP 2000249617A JP 11053815 A JP11053815 A JP 11053815A JP 5381599 A JP5381599 A JP 5381599A JP 2000249617 A JP2000249617 A JP 2000249617A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- vacuum gauge
- envelope
- mounting plate
- pirani vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
び製作が容易でフィラメントの耐久性が良く個体差の少
ないピラニ真空計を提供すること。 【解決手段】ピラニ真空計のエンベロープ1内に設けら
れるフィラメント8を3本以上のフィラメント部材7で
構成し、各フィラメント部材を電気的に直列に接続し
た。エンベロープの一端を閉鎖する端子2に、4本以上
の電気接続ピン5を埋設し、各フィラメント部材の端部
を2本の電気接続ピンに溶接により張設する。該端子
に、2本の電気接続ピンと1本の金属軸9を埋設し、該
金属軸に該エンベロープの内部へ延びる取付板10を設
けると共に該取付板の板面に電気絶縁された導電端子板
を設け、各フィラメント部材が両電気接続ピン間で電気
的に直列に接続されるように各導電端子板に各フィラメ
ント部材の端部を溶接した。
Description
るピラニ真空計に関する。
フィラメントの電気抵抗が温度によって変化することを
利用した熱伝導型の真空計として知られており、例えば
図1に示したような、1本のフィラメントgを収めた真
空と大気を遮断する金属筒などのエンベロープaの一端
を、気密に該エンベロープaに溶接された外周の金属製
の円筒bとその内部のセラミックス又はガラス等の電気
絶縁部材cとからなる端子dで塞ぎ、該電気絶縁部材c
を挿通して3本の電気接続ピンeをロー付けで埋設し、
そのうちの2本の電気接続ピンe、eにエンベロープa
の内部へ延びるU字型の金属棒fを溶接した構成のもの
が知られている。該フィラメントgは、その両端を該ピ
ンeの1本と該U字型の金属棒fに溶接して張設されて
いる。hはエンベロープaに気密に溶接したフランジ
で、図示してない真空装置に取り付けられ、該フィラメ
ントgにつながる2本のピンeを、図示してないコネク
ターによってピラニ真空計のコントローラに接続するこ
とによって該真空装置の圧力が測定される。
空計も知られており、これらの図では、エンベロープ及
びフランジの記載が省略した。図2及び図3のもので
は、4本の電気接続ピンeが気密にロー付けされてお
り、そのうちの2本にはU字型の金属棒fが溶接され、
他の2本のピンe、eと該金属棒fの間に2本のフィラ
メント部材g’、g’からなるフィラメントgが張られ
ており、4点でフィラメントgが溶接固定される。
接続ピンeがロー付けされており、そのうちの1本のピ
ンの先端に金属製の円盤iが溶接され、他の2本のピン
eと該円盤iとの間に2本のフィラメント部材g’、
g’からなるフィラメントgが張り渡されたもので、こ
の場合も4点でフィラメントが固定される。
ラメントgが1往復しており、往復させることにより真
空計の長さを短縮でき真空計を小型化する上で効果があ
る。2往復以上にすればより小型化できるが、その小型
化の効果が僅かであるし、2往復以上したものは、フィ
ラメントの全長の固体間のバラツキを小さく押さえるこ
とが困難になるため、実施されていない。
うに、金属棒f或いはピンeに点溶接により溶接するの
が一般であり、金属棒f等は下側の電極jの上に載せ、
更にその上にフィラメントgを載せ、上側の電極kを下
降させて金属棒fとフィラメントgを挟み込み、通電し
てこれら金属棒fとフィラメントgを溶接する。あるい
は、図8、図9のような形状の電極j、kを使用してい
る。点溶接の場合、溶接を容易にするため、金属棒f等
とフィラメントgの間に白金の薄膜等を挟んで溶接する
こともある。
されたフィラメントgの間の熱伝達を利用した真空計
で、該フィラメントgは、通常、室温より100℃以上
の温度に加熱される。フィラメントgが失う熱は、真
空中の気体分子が衝突して奪われる熱、フィラメント
の熱輻射によりエンベロープに奪われる熱、フィラメ
ントの終端から熱伝導によりフィラメントサポート電極
に奪われる熱、の3種がある。圧力が変化して気体分子
と加熱されたフィラメントの間の熱伝達量が変化しても
フィラメントの温度が一定になるように制御してやれ
ば、前記の熱輻射、熱伝達の量は一定になる。しか
るに、圧力が変化して気体分子と加熱されたフィラメン
トgの間の熱伝達量が変化したときにフィラメント温度
が一定になるように制御すると、フィラメントgに加え
る電力(或いは電圧)が変化することになる。例えば、
圧力が高くなると、気体分子と加熱されたフィラメント
の間の熱伝達量が増えて、フィラメントgに加える電力
(或いは電圧)が増える。逆に圧力が低くなると、気体
分子と加熱されたフィラメントの間の熱伝達量が減っ
て、フィラメントに加える電力(或いは電圧)が減る。
この増減する電力(或いは電圧)を圧力に換算すること
により、圧力を計測することができる。
立ち上がり及び立ち下がりの応答特性は、図23、図2
4の曲線A、Bの如くであり、隔膜真空計の応答特性を
曲線C、Dで併記した。これらの応答性は、環境温度2
5℃、窒素を試験ガスとして、1.3×10-3〜26.
7Paの範囲で調べたもので、ガスの導入及び排気には
バタフライバルブを用いてその開閉によって真空計が取
り付けられた空間の圧力を急激に変え、真空計の出力信
号の応答を調べた。出力が95%まで変化したときの経
過時間を応答時間とすれば、真空計の応答は立ち上がり
時間で約0.6秒、立ち下がりで約2.5秒となる。
計の圧力をモニターしてプロセスガスの導入バルブなど
プロセス制御を行っているが、隔膜真空計に比べて経時
劣化が発生せず100℃以上の高温に耐えられ測定範囲
の広いという利点のあるピラニ真空計が使用され難いの
は、応答性が遅いことが原因の一つである。例えば、半
導体装置にガスを導入しつつ排気するとき、装置内の圧
力を一定に保つように真空計出力の応答が遅れれば、バ
ルブの開閉度の制御が遅れて、装置内の圧力を一定に保
てず、変動が起こるので好ましくない。
ロン程度であるから、切れ易く取り扱いが難しい。ま
た、フィラメントgを複数本のフィラメント部材g’で
構成した場合は、その全長(合計長さ)の個体差をなく
さなければ、各ピラニ真空計の測定にバラツキが生じ
る。該ピンeは端子を構成するセラミックスやガラスの
絶縁物中に固定されるので取付位置に誤差が生じやす
く、ピンeの製作精度も良くないので金属棒の取付精度
を期待することができず、フィラメントgの全長にバラ
ツキのない正確な組立は困難である。フィラメントの溶
接は、端子dを手で持ち或いは機械に固定して点溶接機
の電極間にセットして行われるが、端子dを3次元に移
動させたり旋回させる複雑な作動を伴うので、溶接作業
が難しく、フィラメント部材の数が増えると更に困難に
なる。点溶接作業が難しいために溶接が不確実になりや
すく、金属棒fが細く振動しやすいこともあって、ピラ
ニ真空計に振動が加わったときフィラメントに過剰な力
が加わって断線しやすい欠点がある。
供すること、及び製作が容易でフィラメントの耐久性が
良く個体差の少ないピラニ真空計を提供することを目的
とするものである。
計のエンベロープ内に設けられるフィラメントを3本以
上のフィラメント部材で構成し、各フィラメント部材を
電気的に直列に接続することにより、応答性の迅速なピ
ラニ真空計が得られるようにした。該エンベロープの一
端を閉鎖する端子に、4本以上の電気接続ピンを埋設
し、各フィラメント部材の端部を2本の電気接続ピンに
溶接により張設して各フィラメントを直列に電気接続す
ることにより、応答性が迅速なピラニ真空計を容易に製
作でき、フィラメントの耐久性が良く個体差を少なくす
ることができる。
ンベロープ内に設けられるフィラメントを複数本のフィ
ラメント部材で構成したものに於いて、該エンベロープ
の一端を閉鎖する端子に、2本の電気接続ピンと1本の
金属軸を埋設し、該金属軸に該エンベロープの内部へ延
びる取付板を設けると共に該取付板の板面に電気絶縁さ
れた導電端子板を設け、各フィラメント部材が両電気接
続ピン間で電気的に直列に接続されるように各導電端子
板に各フィラメント部材の端部を溶接した構成によって
も達成でき、該取付板を金属板で形成し、該導電端子板
を電気絶縁材を介して該取付板に固定し、各フィラメン
ト部材をほぼ同一平面上に配置するようにしてもよい。
き説明すると、図10乃至図12に於いて、符号1はピ
ラニ真空計の金属円筒製のエンベロープ、2は該エンベ
ロープ1の一端を閉鎖する端子を示し、該端子2を外周
の金属筒3とセラミックスの電気絶縁部材4及び該絶縁
部材4に埋設して気密にロー付けした5本の電気接続ピ
ン5で構成した。該ピン5のうちの2本にはL字型の金
属棒6が溶接されて長い電気接続ピンに構成されてお
り、該金属棒6と残りの3本の短いピン5との間に4本
の白金のフィラメント部材7で構成されたフィラメント
8が張られている。
その夫々を電気的に直列接続になるようにピン5と金属
棒6に溶接し、その合計で一般的な全長100mmのフ
ィラメント8が構成されるようにした。この場合のフィ
ラメント8は、8箇所で溶接固定されるが、長短のピン
5の本数を調整してフィラメント部材7を3本とし、6
箇所の溶接としてもよく、5本以上として10箇所を溶
接してもよい。
又は2本のフィラメント部材で構成するよりも、3本以
上の直列接続で構成して溶接固定箇所を多くすることに
より、フィラメントの長さ方向の温度勾配が増え、フィ
ラメント部材7とピン5や金属棒6の間の熱の伝達が速
やかになるため、圧力を急激に変化させたときのフィラ
メント温度が定常に達するまでの過渡的な時間が短くな
り、急激な圧力変化があったときの応答速度が速くなる
という知見に基づくもので、図10乃至図12の実施例
の場合、図25及び図26の曲線E、Fに示すような応
答特性が得られ、この応答性は同測定条件の図23、図
24の従来例よりも大幅に改善されている。この場合、
出力が95%まで変化したときの経過時間を応答時間と
すれば、立ち上がりで約0.3秒、立ち下がりで約0.
5である。尚、曲線C、Dは隔膜真空計の応答特性であ
る。
の金属細線であり、溶接の不具合や振動で断線しやすい
が、図16乃至図22の実施例のように、端子2に電気
接続ピン5の他にねじを備えた金属軸9を埋設し、L字
型の取付板10をナット11でエンベロープの内部へ延
びるように該金属軸9に止め付け、該取付板10の板面
に設けた電気絶縁された導電端子板12にフィラメント
部材7の各端部を溶接することによりその断線を防止し
た。導電端子板12は取付板10の板面に沿っているか
ら導電端子板12間の距離を正確に決めやすく、そのた
めフィラメントの全長の個体差が少なくなり、ピラニ真
空計の感度の個体差をなくせる。該金属軸9は直径3m
m、取付板10には厚さ2.5mmの金属板若しくは電
気絶縁板が使用される。
は金属製で、図18に示した外周の金属製リング13と
その内部のガラス14で絶縁された金属柱15とから成
るハーメチックシール16を3個設け、各柱15に導電
端子板12を夫々取り付けると共に2本の柱をリード線
17によりピン5へ接続した。図21及び図22の例で
は、取付板10にセラミックス製等の絶縁板18をロー
付けなどで固定し、これに導電端子板12をロー付けな
どで取り付けした。取付板10としてセラミック等の絶
縁性のものを使用したときは、導電端子板12を直接ロ
ー付けすればよい。
接方法の説明図で、XYZテーブルに載せられ且つ点溶
接の電極ケーブル20が接続された銅製の点溶接治具1
9の上に、導電端子板12及び取付板10を載せ、該導
電端子板12と上側の電極21の間にフィラメント部材
7を挟み込み、通電により該フィラメント部材7と導電
端子板12を溶かして溶接し、XYZテーブルの移動で
8箇所を点溶接する。点溶接する箇所は、取付板10に
沿った同一平面上にあるので、溶接作業が容易になり正
確で確実な溶接を行える。
ラメント部材7を取り付けておくことで、ピラニ真空計
としたとき衝撃を受けて該取付板10が振動してもフィ
ラメント部材7に力が加わり難く、その断線が防止され
る。
のフィラメントを3本以上のフィラメント部材で構成し
たので、急激な圧力変化に対する応答特性が向上し、隔
膜真空計に近い応答特性が得られ、エンベロープの一端
を閉鎖する端子に金属軸を埋設し、該金属軸に取り付け
た取付板の板面に電気絶縁された導電端子板を設け、各
フィラメント部材が両電気接続ピン間で電気的に直列に
接続されるように各導電端子板に各フィラメント部材の
端部を溶接したので、応答特性が良く製作が容易で振動
によってもフィラメントが断線しにくいピラニ真空計が
得られ、真空プロセス制御に好都合に適用できる等の効
果がある。
図
線図
線図
の立ち上がり応答特性の線図
の立ち下がり応答特性の線図
金属棒、7 フィラメント部材、8 フィラメント、9
金属軸、10 取付板、12 導電端子板、
Claims (5)
- 【請求項1】ピラニ真空計のエンベロープ内に設けられ
るフィラメントを3本以上のフィラメント部材で構成
し、各フィラメント部材を電気的に直列に接続したこと
を特徴とするピラニ真空計。 - 【請求項2】ピラニ真空計のエンベロープ内に設けられ
るフィラメントを3本以上のフィラメント部材で構成
し、該エンベロープの一端を閉鎖する絶縁端子に、4本
以上の電気接続ピンを埋設し、各フィラメント部材の端
部を2本の電気接続ピンに溶接により張設して各フィラ
メントを直列に電気接続したことを特徴とする請求項1
に記載のピラニ真空計。 - 【請求項3】ピラニ真空計のエンベロープ内に設けられ
るフィラメントを複数本のフィラメント部材で構成した
ものに於いて、該エンベロープの一端を閉鎖する端子
に、2本の電気接続ピンと1本の金属軸を埋設し、該金
属軸に該エンベロープの内部へ延びる取付板を設けると
共に該取付板の板面に電気絶縁された導電端子板を設
け、各フィラメント部材が両電気接続ピン間で電気的に
直列に接続されるように各導電端子板に各フィラメント
部材の端部を溶接したことを特徴とするピラニ真空計。 - 【請求項4】上記取付板を金属板で形成し、上記導電端
子板を電気絶縁材を介して該取付板に固定したことを特
徴とする請求項3に記載のピラニ真空計。 - 【請求項5】上記各フィラメント部材を同一平面上に配
置したことを特徴とする請求項3に記載のピラニ真空
計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05381599A JP4264156B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | ピラニ真空計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05381599A JP4264156B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | ピラニ真空計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000249617A true JP2000249617A (ja) | 2000-09-14 |
JP4264156B2 JP4264156B2 (ja) | 2009-05-13 |
Family
ID=12953303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05381599A Expired - Fee Related JP4264156B2 (ja) | 1999-03-02 | 1999-03-02 | ピラニ真空計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4264156B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100549648C (zh) * | 2004-11-24 | 2009-10-14 | 株式会社爱发科 | 皮拉尼真空计 |
WO2009138072A1 (de) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Vakuum-druckmessvorrichtung für einen rtp-vakuumofen |
JP2016218050A (ja) * | 2015-05-15 | 2016-12-22 | 株式会社アルバック | ピラニ真空計 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106153246B (zh) * | 2015-05-15 | 2019-08-30 | 株式会社爱发科 | 皮拉尼真空计 |
-
1999
- 1999-03-02 JP JP05381599A patent/JP4264156B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100549648C (zh) * | 2004-11-24 | 2009-10-14 | 株式会社爱发科 | 皮拉尼真空计 |
WO2009138072A1 (de) * | 2008-05-14 | 2009-11-19 | Helmholtz-Zentrum Berlin Für Materialien Und Energie Gmbh | Vakuum-druckmessvorrichtung für einen rtp-vakuumofen |
JP2016218050A (ja) * | 2015-05-15 | 2016-12-22 | 株式会社アルバック | ピラニ真空計 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4264156B2 (ja) | 2009-05-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105209872B (zh) | 热电堆差示扫描量热仪传感器 | |
JPH0749277A (ja) | 圧力センサ及び圧力センサの製法 | |
JP2004502935A (ja) | ヘリウムまたは水素のためのセンサ | |
US20010006526A1 (en) | Semiconductor laser devices | |
JP2009250843A (ja) | 圧電振動子、温度センサ、及び、温度測定方法 | |
JP4264156B2 (ja) | ピラニ真空計 | |
US3105139A (en) | Strain gages and installation of the same | |
JP3137252U (ja) | 密封容器用圧力センサ及び密封容器 | |
US4596975A (en) | Thermally insulative mounting with solid state device | |
JPH10117063A (ja) | 少なくとも一つの金属層を有する回路板の製造方法および回路板ならびにその使用方法 | |
KR930004082B1 (ko) | 감열식 유량 감지기 | |
JP3810395B2 (ja) | 荷電粒子放射源 | |
US20240151601A1 (en) | Atmospheric-pressure detecting sensor, atmospheric-pressure detecting device, and method for manufacturing atmospheric-pressure detecting device | |
JP3045559B2 (ja) | ピラニ真空計 | |
JPH01262402A (ja) | クリップ型容量ひずみゲージ | |
JPH06337229A (ja) | 温度検出素子及びその応用素子 | |
JP2008507708A (ja) | ピラニ圧力計 | |
JP2008507708A6 (ja) | ピラニ圧力計 | |
US20090056464A1 (en) | Pirani pressure gauge | |
JP2946254B2 (ja) | 温度センサおよびその製造方法 | |
JP3066178B2 (ja) | 電気化学測定用電極およびその製作方法 | |
US3371411A (en) | Method of altering the temperature sensitivity of strain gages | |
JPS5836999Y2 (ja) | 同軸真空端子付きピラニ真空ゲ−ジ | |
JP4526099B2 (ja) | 試料支持台の製造方法及び試料高温装置 | |
JPH05206536A (ja) | 圧電アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051007 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070518 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070518 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080701 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080808 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081216 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090203 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090216 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120220 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4264156 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130220 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150220 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |