JP2000248091A - 支持体の表面処理方法及びその装置並びに表面処理した支持体 - Google Patents
支持体の表面処理方法及びその装置並びに表面処理した支持体Info
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Abstract
接着性を向上させ、支持体への極性官能基の付与効率が
高く、効率的な且つ均一な表面処理ができる支持体の表
面処理方法及びその装置並びに表面処理した支持体を提
供すること。 【解決手段】連続搬送される長尺状の支持体1を大気圧
もしくはその近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理する
処理部2を有する支持体1の表面処理方法において、該
処理部2が前記支持体1の入口と出口を有する処理室で
あり、該処理室内の支持体1にパルス化された電界を印
加して表面処理する際に、該処理室に封入する処理ガス
中の反応ガスの割合が30%以上であり、該処理室内の
気圧が外圧より高いことを特徴とする支持体の表面処理
方法及び装置並びに前記方法及び装置で表面処理した支
持体である。
Description
感光材料、磁気記録媒体や画像表示装置用材料等に有用
なシート状の支持体を大気圧もしくはその近傍の圧力下
でパルス化された電界を用いて放電プラズマ処理を施す
支持体の表面処理方法及びその装置並びに表面処理した
支持体に関する。
させ得る技術として、真空グロー放電処理や火炎処理等
が提案されて来た。しかし火炎処理は支持体に与えるダ
メージ、炎の揺らぎによる処理面の不均一さ、処理の強
弱のコントロールの難しさ、危険性などがあり、課題も
多い。真空グロー放電処理は処理する設備自体を真空に
することにより容量に自ずと限界があり、生産性とコス
トの面から好ましい方法ではない。
近傍の圧力下でヘリウムガスを使用して放電し処理する
方法が特開平3−143930号、同4−74525
号、特公平2−48626号、同6−72308号、同
7−48480号公報等により提案された。
載されている表面処理方法においては、処理する電極間
に供給するガスのヘリウムガスが非常に高価なため、工
業生産には適し難い。このため支持体を連続搬送しなが
ら処理が出来て、ハロゲン化銀写真感光材料の構成層等
の如き非接着物質の支持体への接着性を助長し得る、し
かもコストが安く、生産性に優れた処理方法が求められ
ていた。
が3m/minを越えると、外部空気の巻き込みにより、放
電プラズマ中に空気が混入し、表面処理性能に悪影響を
及ぼす欠点があった。これを解決すべく、特開平10−
130851号公報に記載の技術では、走行速度を上げ
ても支持体の表面処理を可能にするために、支持体の搬
送方向とは逆の方向から連続的に処理ガスを接触させ、
パルス化された電界を印加する処理方法を開示してい
る。しかし、支持体の搬送方向とは逆の方向から連続的
に処理ガスを接触させるという方法では、支持体の搬入
及び搬出時に空気の持ち込みがさけられず、特に処理室
と外部との圧バランスが逆転した場合には、外部空気の
量が多くなるか、あるいは処理ガスの外部放出につなが
る。外部空気の進入が多くなれば、支持体の表面処理へ
の極性官能基(例えばアミノ基、カルボキシル基、水酸
基、カルボニル基等)の付与効率が悪くなり、効率的な
且つ均一な処理ができなくなり、特に支持体表面に構成
層との強固な接着性を必要とするハロゲン化銀写真感光
材料、画像表示装置用材料や磁気記録媒体等に対して品
質上重大な欠陥となっており、それが超高速搬送になれ
ばなるほど、目立つようになった。また処理ガスの外部
放出は無駄にコストを浪費することになる。
に記載の技術では、高速搬送と称しているが、実施例を
見てもせいぜい30m/min程度である。近年では、設備
の効率化から数百m/minというような超高速の搬送速度
が要求されるように成ってきているが、かかる要請を満
足するまでには至っていない。
ストが安く、生産性に優れた処理技術を開発すべく、鋭
意検討の結果、大気中の放電であっても、パルス電界を
印加するプラズマ処理によって、支持体表面の接着性の
向上や極性官能基の付与効率が高いことを見出し、本発
明に至ったものである。
速搬送においても、支持体表面の接着性を向上させ、極
性官能基の付与効率が高く、効率的な且つ均一な表面処
理ができる技術を開発すべく、鋭意検討を行った結果、
処理室内の支持体にパルス化された電界を印加して表面
処理する際に、該処理部に封入する処理ガス中の反応ガ
スの割合が30%以上であり、該処理室内の気圧が外圧
より高いことにより、課題を解決できることを見出し、
本発明に至ったものである。
く、生産性に優れた支持体の表面処理方法及びその装置
並びに表面処理した支持体を提供することにある。
速搬送においても、支持体表面の接着性を向上させ、支
持体への極性官能基の付与効率が高く、効率的な且つ均
一な表面処理ができる支持体の表面処理方法及びその装
置並びに表面処理した支持体を提供することにある。
明らかになる。
は、連続搬送される長尺状の支持体を大気圧もしくはそ
の近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理する方法におい
て、パルス化された電界を用いて空気中で処理すること
を特徴とする支持体の表面処理方法(以下、この方法を
第1の方法という)によって達成される。好ましい態様
は、空気中の雰囲気が絶対湿度0.005[kg-水蒸気/
kg-乾きガス]以上であることであり、また表面処理前
に、予め支持体表面の除電処理を行い、更にゴミ除去を
行うことである。
法により表面処理したことを特徴とする表面処理した支
持体によって達成される。好ましい態様は、支持体がポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
ト、ポリエチレン及びポリプロピレンから選ばれるフィ
ルム、トリアセチルセルロースまたは樹脂被覆印画紙支
持体であることであり、また写真感光材料用支持体であ
ることである。
される長尺状の支持体を大気圧もしくはその近傍の圧力
下、連続的にプラズマ処理する処理部を有する支持体の
表面処理装置において、該処理部を通過する支持体にパ
ルス化された電界を印加する電極を有し、該処理部が大
気開放されていることを特徴とする支持体の表面処理装
置(以下、この装置を第1の装置という)によって達成
される。
部の絶対湿度が0.005[kg-水蒸気/kg-乾きガス]以
上であることである。
面処理装置を用いて表面処理したことを特徴とする表面
処理した支持体によって達成される。好ましい態様は、
支持体がポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナ
フタレート、ポリエチレン及びポリプロピレンから選ば
れるフィルム、トリアセチルセルロース又は樹脂被覆印
画紙支持体であることであり、また写真感光材料用支持
体であることである。更に本発明の上記第2課題は、連
続搬送される長尺状の支持体を大気圧もしくはその近傍
の圧力下、連続的にプラズマ処理する処理部を有する支
持体の表面処理方法において、該処理部が前記支持体の
入口と出口を有する処理室であり、該処理室内の支持体
にパルス化された電界を印加して表面処理する際に、該
処理室に封入する処理ガス中の反応ガスの割合が30%
以上であり、該処理室内の気圧が外圧より高いことを特
徴とする支持体の表面処理方法(以下、この方法を第2
の方法という)によって達成される。
0.03mmAq以上高いこと、処理室内の酸素濃度を
600ppm以下に調整すること、表面処理前に、予め
支持体表面の除電処理を行い、更にゴミ除去を行うこと
である。
処理方法により表面処理したことを特徴とする表面処理
した支持体によって達成される。好ましい態様は、支持
体が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート、ポリエチレン及びポリプロピレンから選ばれ
るフィルム、トリアセチルセルロースまたは樹脂被覆印
画紙支持体であることであり、また写真感光材料用支持
体であることである。更に本発明の上記第2課題は、連
続搬送される長尺状の支持体を大気圧もしくはその近傍
の圧力下、連続的にプラズマ処理する処理部を有する支
持体の表面処理装置において、該処理部が前記支持体の
入口と出口を有する処理室であり、該処理室内の支持体
にパルス化された電界を印加する電極を有し、該処理室
に封入する処理ガス中の反応ガスの割合を30%以上に
調整する手段を有すると共に該処理室内の気圧を外圧よ
り高く調整する構成を有することを特徴とする支持体の
表面処理装置(以下、この装置を第2の装置という)に
よって達成される。
して処理ガスの少なくとも1成分を有している予備室を
具有しており、該予備室は支持体の入口側に一つ、また
は出入口両側に一つづつ有し、該処理室の気圧が、該処
理室と隣接する予備室の気圧より0.03mmAq以上
高いことであり、また(2)前記処理室に隣接して予備
室を具有しており、該予備室は該処理室の支持体の入口
側に二つ以上、または出入口の両側にそれぞれ二つ以上
有し、少なくとも1つの予備室の気圧が、隣り合い且つ
処理室より遠い位置の次の予備室の気圧より0.03m
mAq以上高いことであり、さらに好ましくは予備室の
少なくとも一つが、処理ガスの少なくとも一成分を有す
ることである。
少なくとも1つが、減圧手段を有することであり、
(4)隣接する室間の間仕切り手段が、支持体に対して
所定の間隙を保ち、且つ非接触であるか、または隣接す
る室間の間仕切り手段が、支持体に対して接触する少な
くとも1対のロールであることであり、より好ましくは
前記ロールのうち少なくとも一つがゴムロールであるこ
とである。
の酸素濃度を600ppm以下に調整することであり、
(6)電極が、円筒型電極であるか、ロール型電極であ
るか、又はガスフロー型曲面電極であることである。
処理装置を用いて表面処理したことを特徴とする表面処
理した支持体によって達成される。好ましい態様は、支
持体が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナ
フタレート、ポリエチレン及びポリプロピレンから選ば
れるフィルム、トリアセチルセルロース又は樹脂被覆印
画紙支持体であることであり、また写真感光材料用支持
体であることである。
て説明する。
するための概略構成図である。
の支持体であり、2は大気圧もしくはその近傍の圧力
下、連続的にプラズマ処理する処理部であり、3、4は
一対の電極である。
気開放状態になっており、処理室を構成しておらず、一
対の電極3,4の間に形成される間隙が処理部を構成す
る。処理部2には大気圧もしくはその近傍の圧力下に自
然に存在する空気があればよいが、空気の流れを付けた
り、あるいはその流れを規制したり、整流するための遮
蔽板やニップロールを付加することもできる。また発生
した副産物(例えばガス等)を排出、廃棄するための廃
棄ダクトを設けることもできる。
体表面への塗布性及び塗膜の膜付き性が向上し、官能基
の付与性が向上し、更に光学的、電気的、機械的等の機
能を有する表面が形成され、塗布性の向上という点でみ
れば、かかる表面処理後はすぐに塗布することが、処理
面の経時劣化を防ぐ点で好ましい。
3A,4Aと固体誘電体3B、4Bで構成され、金属電極
3A,4Aは銀、金、銅、ステンレス、アルミニウム、
等の通電可能な材料を固体誘電体3B、4Bに貼り付ける
のが一般的であるが、固体誘電体3B、4Bにメッキ、蒸
着、コーティング、溶射等で付けることもできる。
い高耐熱性のセラミックを焼結した焼結型セラミックス
を用いることも好ましい。焼結型セラミックスの材質と
しては例えばアルミナ系、ジルコニア系、窒化珪素系、
炭化珪素系のセラミックスである。焼結型セラミックス
の厚みは0.5mm以上5mm以下が好ましい。また、
体積固有抵抗は108Ω・cm以上が好ましい。
結型セラミックスを用いる場合、純度99.6%以上の
アルミナ系焼結型セラミックスを用いることが、電極の
耐久性を上げる点で好ましい。純度99.6%以上のア
ルミナ系焼結型セラミックスに関しては、本出願人が先
に提案した発明(特願平9−367413号)を参考に
できる。
造方法は耐熱性の高いセラミックスを焼結させて、焼結
型セラミックスを作り、その焼結型セラミックスにメッ
キ、蒸着、溶射またはコーティング等して金属電極を付
着させる。
10−300984号に記載の低温ガラスライニングを
用いることもできる。
よって全部が被覆されていてもよいし、一部が被覆され
るだけでもよい。
と4Bの表面間の距離で、0.3〜10mmの範囲が好
ましく、より好ましくは3〜7mmの範囲である。
板電極を用いてあるが、一方もしくは双方の電極を円筒
電極、ロール状電極としてもよく、あるいはガスフロー
型の曲面電極を用いてもよい。かかる電極の詳細は第2
の方法及び装置の説明で詳述する。
に高周波電源5が接続され、他方の電極4はアース6に
より接地されており、一対の電極3、4間にパルス化さ
れた電界を印加できるように構成されている。
支持体表面の除電処理を行い、更にゴミ除去を行うこと
は、表面処理の均一性が更に向上するので好ましい。除
電手段としては、通常のブロアー式、接触式以外に、複
数の正負イオン生成用除電電極と支持体を挟むようにイ
オン吸引電極を対向させた除電装置と、その後正負の直
流式除電装置を設けた高密度除電システム(特開平7−
263173号)を用いることも好ましい。またこのと
きの支持体帯電量は±500V以下が好ましい。また除
電処理後のゴミ除去手段としては、非接触式のジェット
風式減圧型ゴミ除去装置(特開平7−60211号)等
が好ましいが、これに限定される訳ではない。
気圧近傍の圧力下とは、100〜800Torrの圧力下で
あり、好ましくは700〜780Torrの範囲である。
ス化された電界を印加することにより、放電プラズマを
発生させるが、パルス波形は例えば図2に示す例が挙げ
られるが、これに限定されず、特開平10−13085
1号公報の図1の(a)〜(d)のパルス波形であっても
よい。図2において、縦軸はパルス電圧、横軸は時間で
ある。
により発生した放電プラズマを表面処理に用いると、空
気中であっても十分表面処理機能があることを見出し、
本発明に至ったものである。
の範囲が好ましい。
s〜1000μsであることが好ましい。一つのパルス電
界が印加される時間というのは、図2における一つのパ
ルス波形のパルスが印加される時間である。
限定されないが、電極に印加した時の電界強度が1〜1
00kV/cmとなる範囲になるようにすることが好まし
い。
スの割合が多くなると、電源の出力低下、放電不安定化
をきたす問題みられる。しかし、本発明のようにパルス
化された電界を用いてプラズマ処理することにより、意
外にも空気中のH2Oガスの割合が多くても安定した放
電が可能であり、従来見られた問題は生じないことが分
かった。さらに、H2OはCO2やO2に比べて副産物の
オゾンが少なく、改質効果が高くなる効果があることが
見出された。
H2Oを反応ガスとして使用するためには、空気中の処
理部2の絶対湿度を0.005[kg-水蒸気/kg-乾きガ
ス]以上に調湿することが好ましい。このように絶対湿
度を規定することにより、副産物のオゾンの発生が少な
く、支持体の表面処理の改質効果が高いという上記効果
を十分発揮できるようになる。副産物のオゾンの発生が
少なくなる原因はH2O濃度を高くし、相対的にO2や原
子酸素濃度が低くなり、オゾンの発生源が少なくなるこ
とによるものと思われる。
気/kg-乾きガス]以上に調湿することがより好ましく、
更に好ましくは0.012[kg-水蒸気/kg-乾きガス]以
上に調湿することである。
ガス]以上とは、例えば温度20℃の時は、相対湿度3
5パーセント以上であり、温度25℃の時は相対湿度2
5パーセント以上であり、また温度30℃の時は、相対
湿度19パーセント以上であることを示す。
/kg-乾きガス]以上にする方法は特に限定されず、たと
えば(1)処理部2内の空気を調湿する方法、(2)処
理部2を含む処理部2周辺を調湿する方法が挙げられ
る。
調湿する方法としては、電極3、4間に形成される間隙
により構成される処理部2に水蒸気雰囲気の空気を強制
的に送る手段等が挙げられる。
気を処理部2に強制的に送る際には、改質効果が支持体
表面で不均一になることを防止するため、処理部2内の
H2O濃度のバラツキをなくすように考慮することが必
要である。そのためには、例えば図2に示すように、処
理部2近傍に水蒸気供給手段103、103を配設し、
該水蒸気供給手段103、103から支持体1の上下両
面にそれぞれ独立して水蒸気雰囲気空気を供給し得るよ
うにすることが好ましい。また、図示しないが、更に水
蒸気雰囲気空気を支持体1の上下面に強制的に送り込む
ために、ファン等の送風手段を付加するようにしてもよ
い。なお、同図において、支持体1の搬送方向は図示面
に対して垂直方向である。
3から送り込まれる空気をより厳密に調湿するには、同
図に示すように、処理部2内の支持体1の上下の空間に
臨むように湿度センサー101、101を配設し、該湿
度センサー101、101による検出信号を制御部10
2に取込み、該制御部102において必要な水蒸気量を
演算処理して水蒸気供給手段103、103により必要
量の水蒸気を含んだ空気を処理部2に向けて供給するよ
うにすることが考えられる。また、水蒸気供給手段10
3の作動をタイマー制御して、水蒸気雰囲気空気を予め
決められた間隔で処理部2に向けて間欠的に供給するよ
うにしてもよい。このように湿度制御をすることでプラ
ズマに反応した水分を適度に補い処理湿度を一定にする
ことができ、ひいては改質効果を支持体表面で均一に保
つことができる。
囲気空気を強制的に送り込み、調湿を行うようにすれ
ば、支持体1の表裏面でも改質効果に差がなくなるため
に好ましい。
るためは、水蒸気供給手段103の噴出口を処理部2に
向けて所定の間隔で複数配置させる方法が一般的である
が、噴出口の大きさを処理部2全体に亘る大きさに形成
するようにしてもよい。
4に示すように、所定温度に保温された保温水を満たし
た恒温槽201に、純水を収容した容器204を保温水
に浸るように設け、空気導入パイプ203を介して容器
204内の純水中に外部からバブリングを行って空気を
供給し、純水と空気とを十分に接触させることで水蒸気
雰囲気空気を作り出し、こうして容器204内に満たさ
れた水蒸気雰囲気空気を容器204に挿入された水蒸気
雰囲気空気送出パイプ205によって処理部2へ供給す
るバブリング法による供給手段が挙げられる。
くは降温するためのヒーター及びクーラーであり、処理
部2内の支持体1の上下に臨むように配設された湿度セ
ンサー101、101の検出信号に基づいて制御部10
2(図3参照)によって温度制御され、保温水を介して
容器204内の純水を所定温度に保温するようになって
いる。このとき、水蒸気供給手段103から送出される
空気の湿度は容器204の圧力と純水の温度により決定
するので、実際には純水と熱的に接触した保温水の温度
を調節することにより水蒸気供給手段103から送出さ
れる空気を調湿することができる。
上記バブリング法に代えて、図示しないが、純水をヒー
ター等の加熱手段によって直接加熱したり、また、加熱
手段に代えて電磁波を使う等の手段によって水蒸気雰囲
気空気を発生させるようにしてもよく、それにより発生
した水蒸気雰囲気空気を処理部2へ供給させるようにす
ることもできる。
は、プローブ状、棒状、板状、円盤状、球状等のいずれ
でもよい。湿度検出方式としては、制御部102に電気
的に取り込むことができるように、湿度を電気的信号と
して認識して出力できる方式が好ましく、電気容量式、
電気抵抗式等の方式が挙げられる。
む処理部2周辺を調湿する手段においては、空気を調湿
する手段としては、処理部2周辺に水蒸気雰囲気の空気
を強制的に送る手段、当該処理部2周辺に水蒸気雰囲気
の空気を強制的に送らずに該処理部2周辺を水蒸気雰囲
気にする手段等が挙げられる。
囲気の空気を強制的に送る手段としては、例えば図5に
示すように、処理部2を含む処理部2周辺に水蒸気雰囲
気空気を供給できるように、該処理部2を内部に含むよ
うに部屋等を形成し、該部屋等内に向けて水蒸気雰囲気
空気を供給する水蒸気供給手段103、103を配設す
ることが考えられる。但し、この部屋等は、処理部2を
大気開放下におくために、外界から隔絶された空間を形
成するものではなく、処理部2を含み、該処理部2周辺
を水蒸気雰囲気とすることができる程度に外界と連通し
たスペースを形成し得るものであればよく、処理部2近
傍の側方又は上方を部分的に覆う程度の壁板105によ
り形成すればよい。なお、同図においても、支持体1の
搬送方向は図示面に対して垂直方向である。
103、103によって送り込まれた水蒸気雰囲気空気
は、支持体1の改質効果のバラツキを抑えるためにも、
その処理部2周辺に均一に存在することが好ましく、図
示するように、壁板105により形成された部屋等内に
ファン104を設け、水蒸気供給手段103、103か
ら部屋等内に向けて供給された水蒸気雰囲気空気を該フ
ァン104によって攪拌し、処理部2周辺が一様に水蒸
気雰囲気空気で満たされるようにすることが好ましい。
03から送り込まれる空気をより厳密に調湿を行う場合
には、前記(1)の態様で説明したように、処理部2近
傍に湿度センサー101、101を設け、該湿度センサ
ー101、101による検出信号を制御部102に取込
み、該制御部102において必要な水蒸気量を演算処理
して水蒸気供給手段103、103により必要量の水蒸
気を含んだ空気を部屋等内に向けて供給するようにする
ことが考えられる。また、水蒸気供給手段103の作動
をタイマー制御して、水蒸気を予め決められた間隔で処
理部2に向けて間欠的に供給するようにしてもよい。
キをなくすため、水蒸気雰囲気空気供給手段103を用
いる方法に代えて、図示しないが、部屋等の下方全体に
張った水をヒーター等の加熱手段によって加熱蒸発させ
て水蒸気を発生させ、部屋等内の全体に水蒸気が行き渡
るようにしてもよい。この場合も、湿度センサー104
により検出した湿度に応じて加熱手段を制御するように
してもよい。
処理部2近傍がある程度の温度に保たれている時には、
処理部2を含む部屋等の全体を水蒸気雰囲気にする手段
として、部屋等に水を貯めた水槽等を設置しておき、絶
対湿度の値を0.005[kg-水蒸気/kg-乾きガス]以上
に保つことが考えられる。
説明する。
施の形態を示す概略構成図である。同図に示すように、
連続搬送される長尺状の支持体1を大気圧もしくはその
近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理するための処理部
2が前記支持体1の入口2Bと出口2Bを有する間仕切
りされた処理室によって構成されている。以下、処理部
を処理室として説明する。
けられている。この平板電極の構成は第1の方法及び装
置で使用したものと同一でよい。
の入口側に予備室10が設けられ、その予備室10に隣
接して予備室11が設けられている。支持体の出口側に
も処理室2に隣接して予備室12が設けられている。
体1の入口側に二つ、出口側に一つを設ける態様であっ
てもよいが、これに限定されず、支持体1の出入口側に
一つづつ設ける態様、入口側に二つ設け、出口側に設け
ない態様、あるいは入口側に二つ以上、出口側に二つ以
上設ける態様でもよい。
が、該処理室と隣接する予備室の気圧より高いことが必
要であり、好ましくは0.03mmAq以上高いことで
ある。このように処理室と予備室の間でも圧力差を設け
ることによって、外部空気の混入を防止し、反応ガスの
有効使用が可能となり、表面処理効果も更に向上する。
出口側に二つ以上予備室を設けた場合、その予備室と隣
り合う予備室の間の気圧は、処理室に近い側の予備室の
気圧が高く設定されることが好ましく、0.03mmA
q以上高く設定されることが好ましい。このように複数
の予備室同士の間でも圧力差を設けることによって、外
部空気の混入をより効果的に防止し、反応ガスの有効使
用がより可能となり、表面処理効果も更に向上する。
を有していることが反応ガスの効率的な使用と表面処理
効果の向上の観点から好ましい。
は、減圧手段15を設けることが好ましい。この減圧手
段としては吸引ファンあるいは真空ポンプ等が挙げられ
る。処理室と予備室、予備室同士の部屋には間仕切りさ
れていることが必要であり、かかる間仕切り手段として
は、図示のように、入口側にニップロール7,7、出口
側にニップロール8,8を設ける態様も好ましい。
触しながら閉鎖ないし間仕切りする機能を有するが、部
屋同士を完全に間仕切りできないので、本発明の様な圧
力差を設ける手段が有効に機能するのである。
て所定の間隙を保ち、且つ非接触である態様であっても
よい。かかる態様としては図示しないエアーカーテン方
式等を採用できる。また後述する図13及び図14に示
す装置を用いることも好ましい。なお予備室を設けない
場合には、処理室と外部の間に間仕切りがされればよ
い。
同一の構成であるので、その説明を省略する。図6に示
す装置を用いて処理するには、先ず搬送される支持体1
が処理室2内に入り、その処理室2内でパルス化された
電界が印加される。かかる印加によって支持体の表面が
プラズマ処理され、表面処理される。
理室2に封入する処理ガス中の反応ガスの割合が30%
以上であること、及び処理室2内の気圧が外圧より高い
ことを特徴とするものである。
によって、外部からの気体が処理室2内に進入しないた
め、必要に応じ、特定の処理したい(支持体に導入させ
たい)元素を持つガスのみを該処理室内に高純度で封入
させることができ、より効率的な処理ができる。また、
処理ガス中の反応ガスの割合が30%以上であることに
よって、不活性ガスの量を減らし、低コストで効率的な
処理を行うことができる。
0.03mmAq以上高い態様によって、更に最低限の
気密性で最大限の効果を上げることができる。
処理を行い、更にゴミ除去を行うことによって、表面処
理の均一性が更に向上するので好ましい。除電手段及び
除電処理後のゴミ除去手段としては、前述の第1の方法
のところで説明した手段と同様の手段を採用できる。
の割合は30%以上であるが、かかる反応ガスとして
は、窒素(N2)ガス、水素(H2)ガス、アンモニア
(NH3)ガス、フッ素ガス、水蒸気(H2O)等があ
り、例えばアミノ基、カルボキシル基、水酸基、カルボ
ニル基等の極性官能基ないし化学的活性基を付与できる
ガスであればよい。また反応ガスとしては、酸素元素含
有化合物(酸素、オゾン、水、一酸化炭素、二酸化炭素
の他、メタノール等のアルコール、アセトン等のケト
ン、アルデヒド類等)、窒素元素含有化合物(窒素、ア
ンモニア、一酸化窒素、二酸化窒素等の窒素含有無機
物、アミン系化合物、その他窒素含有有機物等)、フッ
素含有化合物(フッ素、有機フルオロ化合物など)等を
用いることもできる。
を用いてもよいし、2種以上を組み合わせることができ
る。
特に水蒸気(H2O)量を0.7パーセント以上導入す
ることが好ましく、より好ましくは1.4%以上、更に
好ましくは1.7%以上である。
不活性ガスを用いることができる。不活性ガスとして
は、アルゴン(Ar)ガス、ネオン(Ne)ガス、ヘリ
ウム(He)ガス、クリプトン(Kr)ガス、キセノン
(Xe)ガスなどがある。
先立ち、予め不活性ガスと反応性ガスとを混合した処理
ガスを使用することが好ましいが、各ガスを独立して導
入しても、処理室2内の電極3と4の間の雰囲気が、上
述した反応ガスの割合になっていればよい。
が同伴して来る空気を遮断し、処理室内の酸素濃度を6
00ppm以下に調整することで本発明の表面処理を支
持体表面に効果的に行うことができる。処理室内の酸素
濃度を更には200ppm以下とすることが好ましい。
であるが、これに代えて電極を円筒型電極、ロール型電
極、又はガスフロー型曲面電極とすることも好ましい。
る。
示す概略構成図であり、同図に示す形態は、図6に示す
形態で用いた平板電極に代えて、円筒型電極を用いた例
である。
符号と同一の部位は同一の構成であるので、その説明を
省略する。
支持体1の両面側に併設している。併設の方法は図示の
ようにチドリ状に配置してもよいが、対向させて配置す
ることもできる。電極間間隙Lは支持体1の上側の電極
の最下端と下側の電極の最上端との距離で表される。電
極間の間隔は均等でもよいし、そうでなくてもよい。円
筒電極は内部に導電性金属が配置され、外部に誘電体が
配置された二重管構造であり、導電性金属と誘電体の構
成は前述の構成を採用できるし、また、セラミックパイ
プの中に金属管や棒を挿入することもできる。
る。
間にガスを導入し易くなることによって、反応ガスと電
極との接触効率が上昇し、その結果、表面処理効果も向
上する。また構造的にも簡便で、互換性に優れ、低コス
トでの処理が可能となる。また支持体の高速搬送におい
ても優れた効果を発揮する。
い形態を示す概略構成図であり、同図に示す形態は図6
に示す形態で用いた平板電極に代えて、ロール型電極を
用いた例である。
6に示す符号と同一の部位は同一の構成であるので、そ
の説明を省略する。
3は円筒状のロール型電極であり、自ら回転し、支持体
1がその表面に接触しながら搬送される。この電極はロ
ール状の導電性金属の表面に誘電体が設けられている。
な曲面を有する曲面電極である。
面電極4側から、図示しない供給口から供給されたガス
を矢符で示すように図示しない複数の孔から噴出する。
にロールの半径方向でもよいが、図8(b)に示すように
ロールの接線方向でもよい。またガスの噴出孔は丸孔で
もスリットでもよい。
スによって搬送されている支持体1の表面に十分行き渡
り、安定した放電を可能にする。また一方のロール電極
で支持体を接触支持しているので、曲面電極は支持体に
より近接でき、表面処理が安定し、処理効果が向上す
る。またロール電極は回転しているので、支持体の搬送
の際に傷をつけることがない。図6に示す形態と比較す
るとニップロールの数を減少できる効果もある。またこ
の形態は、支持体の高速搬送においても優れた効果を発
揮する。
曲面電極の組合せで、処理室を形成した例であり、実際
的な装置を提供するものである。またこの形態は支持体
の高速搬送においても優れた効果を発揮する。
の円筒型電極の組み合わせた例であり、図11に示す例
は図10に示す形態の装置を複数設けて実用的な装置を
構成した例である。なお、図10、図11に示す符号の
うち、図6に示す符号と同一の部位は同一の構成である
ので、その説明を省略する。またこれらの形態は支持体
の高速搬送においても優れた効果を発揮する。
明する。
を示す概略構成図であり、同図に示す形態は図6に示す
形態で用いた平板電極に代えて、曲面電極を用いた例で
ある。
す符号と同一の部位は同一の構成であるので、その説明
を省略する。
面と平行であり、支持体1の搬送方向と直行する方向か
ら見たときに、対向する面の断面形状が、曲面となって
いる曲面電極である。
は、3つ)搬送方向に並べることにより、搬送されてい
る支持体1が蛇行するように構成されている。従って、
図示しない供給口から供給されたガスを矢符で示すよう
に図示しない複数の孔から噴出される。噴出は均等に成
されるようにすることが好ましい。ガスの噴出孔は丸孔
でもスリットでもよい。
スによって搬送されている支持体1はその間隙が約10
mm以下に設定された一対の電極3,4に非接触で搬送
される。かかる態様は一対の電極間に直接ガスを噴出す
るのでガスの拡散を促進し、安定した放電を可能にす
る。また支持体1の両面を同時に処理することができ、
処理効率に優れる。
により、直線的な搬送(図6に示す搬送)に比較し、安
定した搬送ができ、そのため電極間隙をさらに狭めるこ
とが可能で、放電効果も増加する。またこの形態は支持
体の高速搬送においても優れた効果を発揮する。
が、非接触搬送が可能な形態であれば、更に種々の改良
形態を採り得る。
して来る空気を遮断する効果を更に向上させるために図
13及び図14に示す装置を用いることも好ましいこと
である。
る。ガス流ブレード装置は搬送ロール30の上を搬送し
ている支持体1の表面とスリット部31との間隙dを微
調整出来るようになっており、ガス流ブレード装置の内
部(図では右側)から放出ガス32が加圧された状態で
スリット31から支持体表面に、放出角度を支持体1の
搬送方向と逆方向に取って放出するが、好ましくはその
角度は60〜90゜が好ましい。ガスはスリットからの
放出のみでもよいが、放出されたガスが支持体1の搬送
方向と逆方向に減圧吸引しガスの流れ33とする方が一
層効果的に処理が出来る。スリット31の幅は小さい方
がよく、2.0mm以下が好ましい。この態様は図1の
装置にも適用できる。処理室と予備室、予備室と他の予
備室の間仕切りに適用できる。
レードを設置した装置の一部の拡大図である。支持体1
の通過する間隙以外の隙間の機密性を、フィルム状のブ
レード43を、間仕切りにロールを使用している箇所、
例えば搬送ロール41、フリーロール42の背側に擦ら
せてタッチさせることによって高められる。41と42
が対になってニップロールであってもよく、また支持体
1の上側にロールがない場合には搬送ロール41だけで
もよい。
上記の全ての方法及び装置によって処理された支持体を
含むものである。
は、Optical Emission Spectr
oscopy法(略してOES)、あるいはPhoto
electoron Spectroscopy法(光
電子分光法)(略してPES)の測定により知ることが
出来る。 本発明の放電プラズマ処理によりプラスティ
ック支持体表面に発現する活性基については光電子分光
法(ESCA)により知ることが出来る。例えばVG社
製ESCALAB−200Rが使用できる。
説明する。
レート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン及び
ポリプロピレンから選ばれるフィルム、トリアセチルセ
ルロースまたは樹脂被覆印画紙支持体であることが好ま
しく、また写真感光材料用支持体であることがより好ま
しいことである。
て、白色顔料を混合させてもよい。この用途は印画紙支
持体であり、反射画像として見るために支持体面が白色
となっている。白色顔料としては、硫酸バリウム、酸化
チタン、炭酸マグネシウム、酸化亜鉛等が好ましく、こ
れらの内、酸化チタンが特に好ましい。酸化チタンはル
チル型とアナターゼ型の2種がよく用いられるが、その
中でも白さの安定性からアナターゼ型が好ましい。
体には下引層はもとより、ゼラチン層、ハロゲン化銀写
真感光材料の構成層、磁気記録媒体の構成層、またその
他の樹脂層等を接着することが出来る。
バインダーとしては、塩化ビニル、塩化ビニリデン、メ
タクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、無水マレイン
酸、ジオレフィン等の共重合体、ゼラチン、セルロース
ナイトレート等を挙げることが出来る。
カリ処理ゼラチンの他ゼラチンの製造過程で酵素処理を
する酵素処理ゼラチン、及び、ゼラチン誘導体、即ち、
分子中に官能基としてのアミノ基、イミノ基、ヒドロキ
シ基、カルボキシ基を持ち、それらと反応し得る基を持
った試薬で処理し改質したものでもよい。ゼラチンの製
法に関しては、例えば、T.H.James:The
Theory ofthe Photographic
Process 4th.ed.1977(Macm
illan)55頁、科学写真便覧(上)72〜75頁
(丸善)、写真工学の基礎−銀塩写真編119〜124
(コロナ社)等の記載を参考にすることが出来る。
含有量は塗布液の安定性付与のため、乾燥ゼラチンに対
して2500ppm以下がよく、1000ppm以下が
より好ましく、更にこのましくは500ppm以下であ
る。ゼラチン中のカルシウムイオンを2500ppm以
下にするには、ゼラチンを水に溶解した後、脂肪不純物
を除去し、続いてゼラチン水溶液をカチオン交換樹脂の
カラムに通すか、またバッチ処理によりカチオン交換樹
脂と接触させることにより得ることが出来る。本発明に
用いられるゼラチンは、動物の骨や皮の主成分であるコ
ラーゲンまたはオセインから製造工程で塩酸等による処
理を伴って製造された酸処理ゼラチン、石灰などによる
処理を伴って製造された石灰処理ゼラチン、官能基を置
換したゼラチン誘導体及び変性ゼラチン、酵素処理ゼラ
チンである。これらの製法、性質の詳細はアーサー・ヴ
ァイス(Arther Veis)著、ザ・マクロモレ
キュラー・ケミストリー・オブ・ゼラチン(The M
acromolecular Chemistry o
f Gelatin)、(アカデミック・プレス、Ac
ademic Press)、1964年、の187〜
217頁に記載されている。更に、ゼラチン下引層塗布
液の凝集防止や下引層塗布性のために、ノニオン性界面
活性剤を含有させることが好ましい。好ましいノニオン
性界面活性剤としては、特公平3−27099号公報記
載の化合物I−5、化合物I−6、化合物I−12、化
合物I−13、化合物I−23、化合物I−31等が挙
げられる。
ては、ゼラチンと反応して硬膜する硬膜剤であれば制限
なく使用できるが、それら代表的な硬膜剤としては、ア
ルデヒド系、アジリジン系(例えば、PBレポート、1
9921、米国特許第2,950,197号、同2,9
64,404号、同2,983,611号及び同3,2
71,175号の各明細書、特公昭46−40898号
及び特開昭50−91315号の各公報に記載のも
の)、イソオキサゾール系(例えば、米国特許第3,3
31,609号明細書に記載あるもの)、エポキシ系
(例えば、米国特許第3,047,394号、西独特許
第1,085,663号及び英国特許第1,033,5
18号の各明細書、更に特公昭48−35495号公報
に記載のもの)、ビニルスルホン系(例えば、PBレポ
ート19,920、西独特許第1,100,942号、
同2,337,412号、同2,545,722号、同
2,635,518号、同2,742,308号、同
2,749,260号及び英国特許第1,251,09
1号の各明細書、また特公昭49−13563号及び同
48−110996号、更に、米国特許第3,539,
644号及び同3,491,911号の各明細書に記載
のもの)、アクリロイル系(例えば、特公昭53−77
8号公報及び米国特許第3,640,720号明細書に
記載のもの)、カルボジイミド系(例えば、米国特許第
2,938,892号、同4,043,818号及び同
4,061,499号各明細書に記載のもの)、トリア
ジン系(例えば、西独特許第2,410,973号、同
2,553,915号及び米国特許第3,325,28
7号の各明細書、更に特開昭52−12722号公報に
記載のもの)、オキサゾリン系(例えば、特開平5−2
95275号公報に記載のもの)、高分子型(例えば、
英国特許第822,061号、米国特許第3,623,
878号、同3,396,029号及び同3,226,
234号の各明細書)、特公昭47−18578号、同
47−18579号及び同47−48896号の各公報
に記載のもの)、イソシアネート系、ポリアミド−エピ
クロルヒドリン樹脂(例えば、特開昭51−3619号
記載のもの)、反応性のハロゲンを有する化合物、その
他マレイミド系、アセチレン系、メタンスルホン酸エス
テル系、N−メチロール系の硬膜剤を挙げることが出来
る。
布し得るポリマーバインダー層の疎水性ポリマーとして
は、熱可塑性ポリマー、放射線硬化性ポリマー、熱硬化
性ポリマー、その他の反応性ポリマーなどを挙げること
が出来る。熱可塑性ポリマーとしては、塩化ビニル−酢
酸ビニルコポリマー、塩化ビニルポリマー、酢酸ビニル
ービニルアルコールコポリマー、塩化ビニル−塩化ビニ
リデンコポリマー、塩化ビニル−アクリロニトリルコポ
リマー、エチレンービニルアルコールコポリマー、塩素
化ポリ塩化ビニル、エチレン−塩化ビニルコポリマー、
エチレン−酢酸ビニルコポリマー、エチレン−酢酸ビニ
ル−ビニルアルコールターポリマー体等のビニル系ポリ
マーあるいはコポリマー、セルロースナイトレート、セ
ルローストリアセテート、セルロースジアセテート、セ
ルロースアセテートブチレート、セルロースアセテート
プロピオネートなどのセルロース誘導体、、アクリロニ
トリル−スチレンコポリマー、塩素化ポリエチレン、ア
クリロニトリル−塩素化ポリエチレン−スチレンターポ
リマー、メチルメタクリレート−ブタジエン−スチレン
ターポリマー、ポリアクリルエステル、ポリビニルアセ
タール、ポリビニルブチラール、ポリエステルポリウレ
タンコポリマー、ポリエーテルポリウレタンコポリマ
ー、ポリカーボネートポリウレタンコポリマー、ポリエ
ステル、ポリエーテル、ポリアミド、スチレンーブタジ
エンコポリマー、ブタジエンーアクリロニトリルコポリ
マーやシリコーン系ポリマー、フッ素系ポリマー等を挙
げることができる。これらは単独または2種類以上併用
して使用することが出来る。熱可塑性ポリマーのTg
(絶対温度)は170〜420゜Kの範囲のものが好ま
しく、210〜400゜Kの範囲のものがより好まし
い。
外線などの放射線によって硬化するポリマーで、アクリ
ル型、無水マレイン酸型、ウレタンアクリル型、エーテ
ルアクリル型、エポキシアクリル型、エポキシ型等を挙
げることが出来る。
リマーとしては、フェノールポリマー、アミノポリマ
ー、エポキシポリマー、ポリウレタン系硬化型ポリマ
ー、イソシアネート系硬化型ポリマー、メラミンポリマ
ー、尿素ポリマー、アルキッドポリマー、シリコーン系
硬化型ポリマー、オキサゾリン系硬化型ポリマーなどが
挙げられる。これら単独または2種類以上併用して使用
することが出来る。
布し得るポリマーバインダー層の親水性ポリマーとして
は、本発明に使用できる親水性ポリマーとしては、例え
ば、リサーチ・ディスクロージャー(以降RDと略す)
No.17643(以降No.を略す)、26頁、およ
び同18716、651頁に記載されている水溶性ポリ
マーやラテックスポリマーを挙げることができる。
カゼイン、寒天、アルギン酸ソーダ、澱粉等の天然加工
物、ポリビニールアルコール、アクリル酸系コポリマ
ー、無水マレイン酸コポリマー等付加重合ポリマー類、
金属スルホ置換ジカルボン酸を含むジカルボン酸とエチ
レングリコールのようなジオールとの水溶性ポリエステ
ル類等を挙げることが出来る。また、ゼラチンの一部を
コロイド状アルブミン、カゼイン、カルボキシメチルセ
ルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプ
ロピルセルロース、カルボキシメチルセルロース等のセ
ルロースエーテル類などのセルロース誘導体、寒天、ア
ルギン酸ソーダ、デンプン誘導体、デキストランなどの
糖誘導体、合成親水性コロイド、例えば、ポリビニルア
ルコール、ポリN−ビニルピロリドン、アクリル酸系コ
ポリマー体、ポリアクリルアミドまたはこれらの誘導
体、部分加水分解物、ゼラチン誘導体などで置き換えた
ものでもよい。水溶性ポリエステルも有用である。水溶
性ポリエステルは、ジカルボン酸成分としてテレフタル
酸、ナフタレジカルボン酸、フタル酸等と、ジオール成
分としてはエチレングリコール、1,4−シクロヘキサ
ンジメタノール、1,4−シクロヘキサンジーオール等
との組み合わせによるポリエステルに水溶性成分とし
て、金属スルホフタル酸、ポリエチレングリコールを共
重合成分として組み込んだものが好ましい。
ル、塩化ビニリデン、アクリル酸エステル、酢酸ビニ
ル、ブタジエン、スチレンまたはスチレン誘導体等のモ
ノマーを適宜組み合わせて乳化重合したラテックスポリ
マーが挙げられる。
リマーは、その分子中に極性基を有していてもよい。極
性基としては、エポキシ基、−COOM、−OH、−N
R2、−NR3X、−SO3M、−OSO3M、−PO
3M3、−OPO3M(Mは各々、水素原子、アルカリ金
属又はアンモニウムを、Xはアミン塩を形成する酸を、
Rは各々、水素原子、アルキル基を表す)等が挙げら
れ、これにより該ポリマーバインダー層内の架橋を促進
したり、種々の添加剤の混合状態を安定化したり、また
上の層とのアフィニティーを増したりすることが出来
る。
が、これに限定されるものではない。
て処理を行いながら、続いてスライドビード塗布方式で
ゼラチン水溶液を塗布し、乾燥後、サンプリングし、接
着試験を行った。
度0.010[kg-水蒸気/kg-乾きガス]) 放電面積:幅250mm、長さ500mm 誘電体:厚み1mmのパイレックガラス 電極間ギャップ:5mm 電源:インパルス式高周波高圧電源PHF-6K(ハイデン研
究所製) 周波数:10kHz 出力:1kw 支持体:幅200mm、厚み100μmのPEN(ポリエ
チレンナフタレート) 支持体搬送速度:10m/min <塗布条件> ゼラチン水溶液:5%(w/vol) 塗布膜厚:60μm 比較例1 図16に示す放電装置に、ヘリウムガス10リットル/m
in、窒素ガス0.5リットル/minを混合して処理ガスを
導入しながら、従来のサイン波高周波電源(神鋼電機社
製、周波数:10kHz、出力:1kw)により印加し、プ
ラズマ処理を実施し、実施例1と同様にして試験を行っ
た。
(春日電機社製、周波数:40kHz、出力:1kw)を用
いて実施例1と同様にして試験を行った。
5゜及び90゜の角度で入刀した後、ニチバン製セロテ
ープ(幅25mm)を張り付け、ピール試験法により、塗
膜の残り状況を確認し、接着性を評価し、その結果を表
1に示した。
評価した。
えても実施例1と同様の効果であった。
ても実施例1と同様の効果であった。
ても実施例1と同様の効果であった。
えても実施例1と同様の効果であった。
黒乳剤に代えた以外は、同様にして塗膜を形成し、以下
の試験方法によって評価を行った。
乳剤に下記ジクロロ・S−トリアジン型架橋剤をゼラチ
ンに対して6%添加した塗布液を用い、付き量が3g/m2
になるように塗膜を形成した。
に塗膜を形成した。
に塗膜を形成した。
作成した塗膜を40℃、80%RHの環境下で、1週間
架橋反応を促進させた後、pH12で温度42℃の現像
液に10min間浸漬させた後、2mm間隔で、格子状に
切り込みを入れて、ゴム手袋を装着して手で強固に擦り
剥がす操作を実施し、剥離状況を観察した。
に示す。
評価した。
て処理を行いながら、続いて実施例1と同様の塗布方式
でゼラチン水溶液を塗布し、乾燥後、サンプリングし、
接着試験を行った。ここで不活性ガスとしてはアルゴン
ガスを、反応ガスとしては窒素ガスを用い、表3に示す
混合比で放電試験を行った。
究所製) 周波数:10kHz 出力:1.5kw 支持体:幅200mm、厚み100μmのPEN(ポリエ
チレンナフタレート) 支持体搬送速度:30m/min <塗布条件> ゼラチン水溶液:5%(w/vol) 塗布膜厚:60μm <処理室の内圧と外圧> 処理室の内圧と外圧の差:0.05mmAq 比較例5 実施例7において、印加する電源を従来のサイン波高周
波電源(神鋼電機社製)に代え、下記条件でプラズマ処
理を実施し、実施例7と同様にして試験を行った。
゜の角度で入刀した時の結果の接着性を評価し、その結
果を表3に示した。評価基準は実施例1と同じにした。
えても実施例7と同様の効果であった。
ても実施例7と同様の効果であった。
ても実施例7と同様の効果であった。
えても実施例7と同様の効果であった。
黒乳剤に代えた以外は同様にして塗膜を形成し、実施例
6と同様に接着性試験を行い評価した。その結果を表4
に示す。
様に塗膜を形成した。
の処理試験を行い、同様の評価を行った。
処理室内部と外部の差圧を表5に示すように設定した。
を1つ儲けて、処理室内部と外部の差圧を表5に示すよ
うに設定した。
を2つ設けて、処理室内部と外部の差圧を表5に示すよ
うに設定した。
いて試験した。
について評価した。
試験し、各々の場合の濃度を測定し、表5に示した。
80m/minと300m/minの分けて試験し、各々の場合の
結果を表5に示した。
変更し、効果の確認を行った。
究所製) 周波数:10kHz 出力:1.5kw装置2 ロール電極型プラズマ装置(図8に示す装置) パイプ電極:装置1と同じ ロール電極:1.5mφ,幅250mm(アルミナセラミ
ックスを1mm溶射) 放電面積:250mm×500mm 電源:インパルス式高周波高圧電源PHF−6K(ハイ
デン研究所製) 周波数:10kHz 出力:1.5kw装置3 ガスフロー型曲面電極(図12に示す装置) 電極:曲率1m,幅500mm,長さ500mm(パンチ
板) 穴に内径5mmφ、外径8mmφのセラミックパイプを埋め
込み後、アルミナセラミックスを1mm溶射 放電面積:500mm×500mm×2 電源:インパルス式高周波高圧電源PHF-6K(ハイデン研
究所製) 周波数:10kHz 出力:3kw <支持体> 装置1及び2:幅200mm,厚さ100μmのPET 装置3:幅400mm,厚さ100μmのPET <塗布条件> ゼラチン水溶液:5%(w/vol) 塗布膜厚:60μm (接着性試験)実施例1と同様の試験方法に従い、45゜
の角度で入刀した時の接着力を確保できる限界処理速度
を評価し、その結果を表6に示した。
うに変化させて同様の評価を行った。
に優れた支持体の表面処理方法及びその装置並びに表面
処理した支持体を提供すること及び、支持体の超高速搬
送においても、支持体表面の接着性を向上させ、支持体
への極性官能基の付与効率が高く、効率的な且つ均一な
表面処理ができる支持体の表面処理方法及びその装置並
びに表面処理した支持体を提供することができる。
略構成図
成図
略構成図
略構成図
略構成図
図
構成図
Claims (33)
- 【請求項1】連続搬送される長尺状の支持体を大気圧も
しくはその近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理する方
法において、パルス化された電界を用いて空気中で処理
することを特徴とする支持体の表面処理方法。 - 【請求項2】パルス化された電界を用いて空気中で処理
する処理部の絶対湿度が0.005[kg-水蒸気/kg-乾
きガス]以上であることを特徴とする請求項1記載の支
持体の表面処理方法。 - 【請求項3】表面処理前に、予め支持体表面の除電処理
を行い、更にゴミ除去を行うことを特徴とする請求項1
又は2記載の支持体の表面処理方法。 - 【請求項4】請求項1、2又は3に記載の方法により表
面処理したことを特徴とする表面処理した支持体。 - 【請求項5】支持体が、ポリエチレンテレフタレート、
ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン及びポリプロ
ピレンから選ばれるフィルム、トリアセチルセルロース
または樹脂被覆印画紙支持体であることを特徴とする請
求項4に記載の表面処理した支持体。 - 【請求項6】支持体が、写真感光材料用支持体であるこ
とを特徴とする請求項5に記載の表面処理した支持体。 - 【請求項7】連続搬送される長尺状の支持体を大気圧も
しくはその近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理する処
理部を有する支持体の表面処理装置において、該処理部
を通過する支持体にパルス化された電界を印加する電極
を有し、該処理部が大気開放されていることを特徴とす
る支持体の表面処理装置。 - 【請求項8】前記処理部の絶対湿度が0.005[kg-水
蒸気/kg-乾きガス]以上であることを特徴とする請求項
7記載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項9】請求項7又は8に記載の表面処理装置を用
いて表面処理したことを特徴とする表面処理した支持
体。 - 【請求項10】支持体が、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン及びポリ
プロピレンから選ばれるフィルム、トリアセチルセルロ
ースまたは樹脂被覆印画紙支持体であることを特徴とす
る請求項9に記載の表面処理した支持体。 - 【請求項11】支持体が、写真感光材料用支持体である
ことを特徴とする請求項10に記載の表面処理した支持
体。 - 【請求項12】連続搬送される長尺状の支持体を大気圧
もしくはその近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理する
処理部を有する支持体の表面処理方法において、該処理
部が前記支持体の入口と出口を有する処理室であり、該
処理室内の支持体にパルス化された電界を印加して表面
処理する際に、該処理室に封入する処理ガス中の反応ガ
スの割合が30%以上であり、該処理室内の気圧が外圧
より高いことを特徴とする支持体の表面処理方法。 - 【請求項13】処理室の気圧が外圧より0.03mmA
q以上高いことを特徴とする請求項12に記載の支持体
の表面処理方法。 - 【請求項14】処理室内の酸素濃度を600ppm以下
に調整することを特徴とする請求項12又は13に記載
の支持体の表面処理方法。 - 【請求項15】表面処理前に、予め支持体表面の除電処
理を行い、更にゴミ除去を行うことを特徴とする請求項
12、13又は14に記載の支持体の表面処理方法。 - 【請求項16】請求項12〜15の何れかに記載の表面
処理方法により表面処理したことを特徴とする表面処理
した支持体。 - 【請求項17】支持体が、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン及びポリ
プロピレンから選ばれるフィルム、トリアセチルセルロ
ースまたは樹脂被覆印画紙支持体であることを特徴とす
る請求項16に記載の表面処理した支持体。 - 【請求項18】支持体が、写真感光材料用支持体である
ことを特徴とする請求項17に記載の表面処理した支持
体。 - 【請求項19】連続搬送される長尺状の支持体を大気圧
もしくはその近傍の圧力下、連続的にプラズマ処理する
処理部を有する支持体の表面処理装置において、該処理
部が前記支持体の入口と出口を有する処理室であり、該
処理室内の支持体にパルス化された電界を印加する電極
を有し、該処理室に封入する処理ガス中の反応ガスの割
合を30%以上に調整する手段を有すると共に該処理室
内の気圧を外圧より高く調整する構成を有することを特
徴とする支持体の表面処理装置。 - 【請求項20】前記処理室に隣接して処理ガスの少なく
とも1成分を有している予備室を具有しており、該予備
室は支持体の入口側に一つ、または出入口両側に一つづ
つ有し、該処理室の気圧が、該処理室と隣接する予備室
の気圧より0.03mmAq以上高いことを特徴とする
請求項19に記載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項21】前記処理室に隣接して予備室を具有して
おり、該予備室は該処理室の支持体の入口側に二つ以
上、または出入口の両側にそれぞれ二つ以上有し、少な
くとも1つの予備室の気圧が、隣り合い且つ処理室より
遠い位置の次の予備室の気圧より0.03mmAq以上
高いことを特徴とする請求項19に記載の支持体の表面
処理装置。 - 【請求項22】予備室の少なくとも一つが、処理ガスの
少なくとも一成分を有することを特徴とする請求項21
に記載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項23】予備室の少なくとも1つが、減圧手段を
有することを特徴とする請求項20、21又は22に記
載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項24】処理室と外部又は隣接する室間の間仕切
り手段が、支持体に対して所定の間隙を保ち、且つ非接
触であることを特徴とする請求項19〜23の何れかに
記載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項25】処理室と外部又は隣接する室間の間仕切
り手段が、支持体に対して接触する少なくとも1対のロ
ールであることを特徴とする請求項19〜23の何れか
に記載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項26】前記ロールのうち少なくとも一つがゴム
ロールであることを特徴とする請求項25に記載の支持
体の表面処理装置。 - 【請求項27】処理室内の酸素濃度を600ppm以下
に調整することを特徴とする請求項19〜26の何れか
に記載の支持体の表面処理装置。 - 【請求項28】電極が、円筒型電極であることを特徴と
する請求項19〜27の何れかに記載の支持体の表面処
理装置。 - 【請求項29】電極が、ロール型電極であることを特徴
とする請求項19〜27の何れかに記載の支持体の表面
処理装置。 - 【請求項30】電極が、ガスフロー型曲面電極であるこ
とを特徴とする請求項19〜27の何れかに記載の支持
体の表面処理装置。 - 【請求項31】請求項19〜30の何れかに記載の表面
処理装置を用いて表面処理したことを特徴とする表面処
理した支持体。 - 【請求項32】支持体が、ポリエチレンテレフタレー
ト、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン及びポリ
プロピレンから選ばれるフィルム、トリアセチルセルロ
ースまたは樹脂被覆印画紙支持体であることを特徴とす
る請求項31に記載の表面処理した支持体。 - 【請求項33】支持体が、写真感光材料用支持体である
ことを特徴とする請求項32に記載の表面処理した支持
体。
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JP2008214491A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Ulvac Japan Ltd | 表面処理方法 |
KR101328352B1 (ko) * | 2008-12-25 | 2013-11-11 | 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 | 필름의 표면 처리 방법 및 장치, 및 편광판의 제조 방법 |
JP2015124343A (ja) * | 2013-12-27 | 2015-07-06 | 株式会社ニューネイチャー | 親水化処理装置およびフィルムの製造方法 |
-
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