JP2000241648A - 光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品 - Google Patents
光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品Info
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- JP2000241648A JP2000241648A JP11038967A JP3896799A JP2000241648A JP 2000241648 A JP2000241648 A JP 2000241648A JP 11038967 A JP11038967 A JP 11038967A JP 3896799 A JP3896799 A JP 3896799A JP 2000241648 A JP2000241648 A JP 2000241648A
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 生産性を向上させた光導波路などの光学部品
の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品を提供
する。 【解決手段】 光学部品製造装置１は、感光性を有する
例えばポリカーボネートなどの高分子フィルムの被処理
体２を巻着する送りロール３と、被処理体２を巻き取る
巻き取りロール４と、被処理体２に光を照射する光源５
と、被処理体２と光源５との間に配設されるマスク６
と、マスク６を被処理体２の走行と同期して駆動する不
図示の駆動手段とを有する。また、送りロール３と巻き
取りロール４との間には、例えば被処理体２を走行する
ために配設されるガイドロール７ａ、７ｂを有し、巻き
取りロール４は、不図示の回転駆動装置により回転駆動
される。
の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品を提供
する。 【解決手段】 光学部品製造装置１は、感光性を有する
例えばポリカーボネートなどの高分子フィルムの被処理
体２を巻着する送りロール３と、被処理体２を巻き取る
巻き取りロール４と、被処理体２に光を照射する光源５
と、被処理体２と光源５との間に配設されるマスク６
と、マスク６を被処理体２の走行と同期して駆動する不
図示の駆動手段とを有する。また、送りロール３と巻き
取りロール４との間には、例えば被処理体２を走行する
ために配設されるガイドロール７ａ、７ｂを有し、巻き
取りロール４は、不図示の回転駆動装置により回転駆動
される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光学部品の製造装置
およびその製造方法ならびに光学部品に関し、さらに詳
しくは、フィルム状の被処理体に形成した光導波路など
の光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学
部品に関する。
およびその製造方法ならびに光学部品に関し、さらに詳
しくは、フィルム状の被処理体に形成した光導波路など
の光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学
部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】光導波路などの光学部品の製造におい
て、通常、被処理体上に真空中で成膜を行ったり、ある
いは、配線材料を塗布するなどにより配線パターンの形
成を行うので、多くの工数を要する問題点がある。ま
た、一般に使用される被処理体は硬質の材料であり、フ
レキシブル性がないため、連続的な生産が困難でスルー
プットが小となるなどの問題点があった。
て、通常、被処理体上に真空中で成膜を行ったり、ある
いは、配線材料を塗布するなどにより配線パターンの形
成を行うので、多くの工数を要する問題点がある。ま
た、一般に使用される被処理体は硬質の材料であり、フ
レキシブル性がないため、連続的な生産が困難でスルー
プットが小となるなどの問題点があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、係る問題点
に鑑み、多くの工数を必要とせずスループットを向上さ
せた光導波路などの光学部品の製造装置およびその製造
方法ならびに光学部品を提供することが課題である。
に鑑み、多くの工数を必要とせずスループットを向上さ
せた光導波路などの光学部品の製造装置およびその製造
方法ならびに光学部品を提供することが課題である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の光学部品の製造
装置は、感光性を有する被処理体を巻着する送りロール
と、被処理体を巻き取る巻き取りロールと、被処理体に
光を照射する光源と、被処理体と光源との間に配設され
るマスクと、マスクを駆動する手段とを有し、被処理体
の走行に同期してマスクを移動しつつ、被処理体に光源
からの光を照射してマスクのパターン情報を用いてパタ
ーンを順次形成することを特徴とする。
装置は、感光性を有する被処理体を巻着する送りロール
と、被処理体を巻き取る巻き取りロールと、被処理体に
光を照射する光源と、被処理体と光源との間に配設され
るマスクと、マスクを駆動する手段とを有し、被処理体
の走行に同期してマスクを移動しつつ、被処理体に光源
からの光を照射してマスクのパターン情報を用いてパタ
ーンを順次形成することを特徴とする。
【０００５】送りロールと巻き取りロールとの間の被処
理体に密着して被処理体を冷却するキャンロールを具備
することが望ましい。
理体に密着して被処理体を冷却するキャンロールを具備
することが望ましい。
【０００６】マスクを駆動する手段は、マスクを支持す
るとともに、マスクを被処理体の走行方向へ周回移動さ
せる複数のガイドロールを有することが望ましく、また
は、マスクを巻着するマスク送りロールと、マスク送り
ロールから引き出されるマスクを巻き取るマスク巻き取
りロールとを有することが望ましい。
るとともに、マスクを被処理体の走行方向へ周回移動さ
せる複数のガイドロールを有することが望ましく、また
は、マスクを巻着するマスク送りロールと、マスク送り
ロールから引き出されるマスクを巻き取るマスク巻き取
りロールとを有することが望ましい。
【０００７】被処理体は、光源からの照射光により屈折
率が変化する高分子フィルムであることが望ましく、光
源は、紫外線光源またはレーザ光源であることが望まし
い。
率が変化する高分子フィルムであることが望ましく、光
源は、紫外線光源またはレーザ光源であることが望まし
い。
【０００８】本発明の光学部品の製造方法は、感光性を
有する被処理体を巻着した送りロールから被処理体を引
き出すとともに、被処理体を巻き取りロールにより巻き
取る工程と、被処理体にマスクを介して光を照射する工
程とを有し、被処理体の走行に同期してマスクを移動し
つつ、被処理体に光源からの光を照射してマスクのパタ
ーン情報を用いてパターンを順次形成することを特徴と
する。
有する被処理体を巻着した送りロールから被処理体を引
き出すとともに、被処理体を巻き取りロールにより巻き
取る工程と、被処理体にマスクを介して光を照射する工
程とを有し、被処理体の走行に同期してマスクを移動し
つつ、被処理体に光源からの光を照射してマスクのパタ
ーン情報を用いてパターンを順次形成することを特徴と
する。
【０００９】キャンロールが送りロールと巻き取りロー
ルとの間の被処理体に密着して被処理体を冷却する工程
を有することが望ましい。
ルとの間の被処理体に密着して被処理体を冷却する工程
を有することが望ましい。
【００１０】マスクは、複数のガイドロールに架け渡さ
れるとともに、被処理体の走行方向へ周回走行すること
が望ましく、または、マスク送りロールにより巻着され
るとともに、マスク送りロールにより引き出され、マス
ク巻き取りロールにより巻き取られつつ走行することが
望ましい。
れるとともに、被処理体の走行方向へ周回走行すること
が望ましく、または、マスク送りロールにより巻着され
るとともに、マスク送りロールにより引き出され、マス
ク巻き取りロールにより巻き取られつつ走行することが
望ましい。
【００１１】被処理体は、光により屈折率が変化する高
分子フィルムであることが望ましく、光は、紫外線およ
びレーザ光のいずれか一方であることが望ましい。
分子フィルムであることが望ましく、光は、紫外線およ
びレーザ光のいずれか一方であることが望ましい。
【００１２】本発明の光学部品は、請求項７に記載の光
学部品の製造方法を用いて作製されたことを特徴とす
る。光学部品は、光導波路であることが望ましい。
学部品の製造方法を用いて作製されたことを特徴とす
る。光学部品は、光導波路であることが望ましい。
【００１３】本発明の光学部品の製造装置および光学部
品の製造方法によれば、光導波路などの光学部品の光学
パターンをフレキシブルな被処理体に形成し、フィルム
状の被処理体とマスクの移動を同期することにより、多
くの工数を必要とせず、スループットを大としつつ、連
続的に容易に作製できる。本発明の光学部品によれば、
電子装置などのフレキシブルな実装が可能となり、高密
度に実装する光配線に適用できる。
品の製造方法によれば、光導波路などの光学部品の光学
パターンをフレキシブルな被処理体に形成し、フィルム
状の被処理体とマスクの移動を同期することにより、多
くの工数を必要とせず、スループットを大としつつ、連
続的に容易に作製できる。本発明の光学部品によれば、
電子装置などのフレキシブルな実装が可能となり、高密
度に実装する光配線に適用できる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例につ
いて図を参照して説明する。図１は、フィルム状の被処
理体を用いた光学部品の製造装置の一例を示す概略断面
図であり、図２は光学パターンを形成するためのマスク
の一例を示す概略平面図、図３は、光学部品の一例を示
し、支持体に光学パターンを形成後、コネクタを取り付
けた光導波路の概略斜視図、図４はフィルム状の被処理
体を用いた他の光学部品の製造装置の概略断面図、およ
び図５はフィルム状の被処理体を用いたさらに他の光学
部品の製造装置の概略断面図である。
いて図を参照して説明する。図１は、フィルム状の被処
理体を用いた光学部品の製造装置の一例を示す概略断面
図であり、図２は光学パターンを形成するためのマスク
の一例を示す概略平面図、図３は、光学部品の一例を示
し、支持体に光学パターンを形成後、コネクタを取り付
けた光導波路の概略斜視図、図４はフィルム状の被処理
体を用いた他の光学部品の製造装置の概略断面図、およ
び図５はフィルム状の被処理体を用いたさらに他の光学
部品の製造装置の概略断面図である。
【００１５】実施の形態例１ 光学部品の製造装置の一例を説明する。図１のように、
光学部品製造装置１は、感光性を有する例えばポリカー
ボネートなどの高分子フィルムの被処理体２を巻着する
送りロール３と、被処理体２を巻き取る巻き取りロール
４と、被処理体２に光を照射する光源５と、被処理体２
と光源５との間に配設されるマスク６と、マスク６を駆
動する手段とを有する。また、送りロール３と巻き取り
ロール４との間には、例えば被処理体２を走行するため
に配設されるガイドロール７ａ、７ｂを有し、巻き取り
ロール４は、不図示の回転駆動装置により回転駆動され
る。マスク６は、図２のように、例えば薄い鋼板上に形
成された輪状マスクからなる。マスク６は、例えば複数
の光導波路を形成するネガ型パターンなどのパターン情
報８を有する。
光学部品製造装置１は、感光性を有する例えばポリカー
ボネートなどの高分子フィルムの被処理体２を巻着する
送りロール３と、被処理体２を巻き取る巻き取りロール
４と、被処理体２に光を照射する光源５と、被処理体２
と光源５との間に配設されるマスク６と、マスク６を駆
動する手段とを有する。また、送りロール３と巻き取り
ロール４との間には、例えば被処理体２を走行するため
に配設されるガイドロール７ａ、７ｂを有し、巻き取り
ロール４は、不図示の回転駆動装置により回転駆動され
る。マスク６は、図２のように、例えば薄い鋼板上に形
成された輪状マスクからなる。マスク６は、例えば複数
の光導波路を形成するネガ型パターンなどのパターン情
報８を有する。
【００１６】次に、上記の光学部品製造装置１を用いた
光学部品の製造方法を説明する。上記の光学部品製造装
置１を用いて、感光性を有する例えばポリカーボネート
などの高分子フィルムの被処理体２を巻着した送りロー
ル３から被処理体２を引き出すとともに、被処理体２を
巻き取りロール４により巻き取る工程と、被処理体２に
マスク６を介して光源５からの光を照射する工程とを有
し、被処理体２の走行に同期してマスク６を不図示の駆
動手段により移動しつつ、被処理体２に光を照射してマ
スク６のパターン情報８を用いてパターンを順次形成す
る。
光学部品の製造方法を説明する。上記の光学部品製造装
置１を用いて、感光性を有する例えばポリカーボネート
などの高分子フィルムの被処理体２を巻着した送りロー
ル３から被処理体２を引き出すとともに、被処理体２を
巻き取りロール４により巻き取る工程と、被処理体２に
マスク６を介して光源５からの光を照射する工程とを有
し、被処理体２の走行に同期してマスク６を不図示の駆
動手段により移動しつつ、被処理体２に光を照射してマ
スク６のパターン情報８を用いてパターンを順次形成す
る。
【００１７】マスク６は、例えば複数のガイドロール７
ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆに架け渡されるとともに、不図示
の駆動手段である回転駆動装置により、被処理体２の走
行方向へ、被処理体の走行と同期して周回走行すること
ができる。
ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆに架け渡されるとともに、不図示
の駆動手段である回転駆動装置により、被処理体２の走
行方向へ、被処理体の走行と同期して周回走行すること
ができる。
【００１８】上記の工程により、被処理体２は、光源５
により紫外線やレーザ光が照射されるが、マスク６によ
り、遮蔽されていない領域では、光が照射されるために
屈折率の変化が生じパターンが連続的に形成される。
により紫外線やレーザ光が照射されるが、マスク６によ
り、遮蔽されていない領域では、光が照射されるために
屈折率の変化が生じパターンが連続的に形成される。
【００１９】上記の光学部品の製造方法を用いることに
より、例えば図３に示すようなフレキシブルな被処理体
に形成された光導波路などの光学部品を作製することが
できる。図３のように、光導波路などの光学部品９は、
ポリカーボネートなどの高分子フィルムの被処理体２に
パターン１０が形成され、被処理体２の両端にコネクタ
１１ａ、１１ｂが接続されて構成される。このようなフ
レキシブルな光学部品９を用いれば、電子装置などの直
線上では接続が不可能な部分での光配線などに適用する
ことができる。このような、フレキシブルな光導波路な
どの光学部品９は電子装置などの高密度実装に有効な手
段となる。
より、例えば図３に示すようなフレキシブルな被処理体
に形成された光導波路などの光学部品を作製することが
できる。図３のように、光導波路などの光学部品９は、
ポリカーボネートなどの高分子フィルムの被処理体２に
パターン１０が形成され、被処理体２の両端にコネクタ
１１ａ、１１ｂが接続されて構成される。このようなフ
レキシブルな光学部品９を用いれば、電子装置などの直
線上では接続が不可能な部分での光配線などに適用する
ことができる。このような、フレキシブルな光導波路な
どの光学部品９は電子装置などの高密度実装に有効な手
段となる。
【００２０】実施の形態例２ 光学部品製造装置の他の一例を説明する。図４のよう
に、光学部品製造装置１は、例えば送りロール３と巻き
取りロール４との間に被処理体２を走行するために配設
されるガイドロール７ａ、７ｂ、キャンロール１２を有
し、その他の構成は実施の形態例１と同様であるので詳
細な説明は省略する。
に、光学部品製造装置１は、例えば送りロール３と巻き
取りロール４との間に被処理体２を走行するために配設
されるガイドロール７ａ、７ｂ、キャンロール１２を有
し、その他の構成は実施の形態例１と同様であるので詳
細な説明は省略する。
【００２１】この場合、キャンロール１２は例えば金属
製のキャン状ロールであって、図示を省略するが、光照
射時に被処理体２の温度上昇を抑制するために被処理体
２が冷却される構造になっている。そして、例えばガイ
ドロール７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆに架け渡されたマスク
６がキャンロール１２に密着して被処理体２の走行方向
に周回移動するような走行装置を具備する。
製のキャン状ロールであって、図示を省略するが、光照
射時に被処理体２の温度上昇を抑制するために被処理体
２が冷却される構造になっている。そして、例えばガイ
ドロール７ｃ、７ｄ、７ｅ、７ｆに架け渡されたマスク
６がキャンロール１２に密着して被処理体２の走行方向
に周回移動するような走行装置を具備する。
【００２２】この場合の光学部品の製造方法において、
被処理体２がキャンロール１２に密着して冷却されつつ
走行する。また、マスク６は、高精度なパターンが形成
されるように、キャンロール１２に密着しつつ、走行す
るように構成される。その他の工程は、実施の形態例１
と同様である。
被処理体２がキャンロール１２に密着して冷却されつつ
走行する。また、マスク６は、高精度なパターンが形成
されるように、キャンロール１２に密着しつつ、走行す
るように構成される。その他の工程は、実施の形態例１
と同様である。
【００２３】実施の形態例３ 図５は、実施の形態例２の光学部品の製造装置の変形例
であり、この装置を用いても、同様に光導波路などの光
学部品を形成できる。すなわち、光学部品製造装置１に
おいて、フィルム状のマスク６が巻着されたマスク送り
ロール１３と、マスク６を引き出すとともに巻き取るマ
スク巻き取りロール１４とを用いた走行装置により走行
する他は実施の形態例２と同様である。
であり、この装置を用いても、同様に光導波路などの光
学部品を形成できる。すなわち、光学部品製造装置１に
おいて、フィルム状のマスク６が巻着されたマスク送り
ロール１３と、マスク６を引き出すとともに巻き取るマ
スク巻き取りロール１４とを用いた走行装置により走行
する他は実施の形態例２と同様である。
【００２４】
【発明の効果】本発明の光学部品の製造装置およびこれ
を用いた光学部品の製造方法によればフレキシブルな光
導波路などの光学部品を、多くの工数を必要とせず、ス
ループットを大としつつ、連続的に容易に作製できる。
本発明の光学部品によれば、電子装置などにおいて高密
度に実装される光配線に適用できる。
を用いた光学部品の製造方法によればフレキシブルな光
導波路などの光学部品を、多くの工数を必要とせず、ス
ループットを大としつつ、連続的に容易に作製できる。
本発明の光学部品によれば、電子装置などにおいて高密
度に実装される光配線に適用できる。
【図１】 本発明に係わる光学部品製造装置の一例を示
す概略断面図である。
す概略断面図である。
【図２】 本発明に係わるパターンを形成するためのマ
スクの一例を示す概略平面図である。
スクの一例を示す概略平面図である。
【図３】 本発明に係わる光学部品の一例を示す光導波
路の概略斜視図である。
路の概略斜視図である。
【図４】 本発明に係わる光学部品の製造装置の他の例
を示す概略断面図である。
を示す概略断面図である。
【図５】 本発明に係わる光学部品の製造装置のさらに
他の例を示す概略断面図である。
他の例を示す概略断面図である。
１…光学部品製造装置、２…被処理体、３…送りロー
ル、４…巻き取りロール、５…光源、６…マスク、７
ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆ…ガイドロール、８
…パターン情報、９…光学部品、１０…パターン、１１
ａ，１１ｂ…コネクタ、１２…キャンロール、１３…マ
スク送りロール、１４…マスク巻き取りロール
ル、４…巻き取りロール、５…光源、６…マスク、７
ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ，７ｅ，７ｆ…ガイドロール、８
…パターン情報、９…光学部品、１０…パターン、１１
ａ，１１ｂ…コネクタ、１２…キャンロール、１３…マ
スク送りロール、１４…マスク巻き取りロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H047 PA11 PA28 TA41 2H097 BA02 CA12 CA17 FA09 GA43 LA09 LA17
Claims (14)
- 【請求項１】 感光性を有する被処理体を巻着する送り
ロールと、 前記被処理体を巻き取る巻き取りロールと、 前記被処理体に光を照射する光源と、 前記被処理体と前記光源との間に配設されるマスクと、 前記マスクを駆動する手段とを有し、 前記被処理体の走行に同期して前記マスクを移動しつ
つ、前記被処理体に前記光源からの光を照射して前記マ
スクのパターン情報を用いてパターンを順次形成するこ
とを特徴とする光学部品の製造装置。 - 【請求項２】 前記送りロールと前記巻き取りロールと
の間の前記被処理体に密着して前記被処理体を冷却する
キャンロールを具備することを特徴とする請求項１に記
載の光学部品の製造装置。 - 【請求項３】 前記マスクを駆動する手段は、前記マス
クを支持するとともに、前記マスクを前記被処理体の走
行方向へ周回移動させる複数のガイドロールを有するこ
とを特徴とする請求項１に記載の光学部品の製造装置。 - 【請求項４】 前記マスクを駆動する手段は、前記マス
クを巻着するマスク送りロールと、前記マスク送りロー
ルから引き出される前記マスクを巻き取るマスク巻き取
りロールとを有することを特徴とする請求項１に記載の
光学部品の製造装置。 - 【請求項５】 前記被処理体は、前記光源からの照射光
により屈折率が変化する高分子フィルムであることを特
徴とする請求項１に記載の光学部品の製造装置。 - 【請求項６】 前記光源は、紫外線光源およびレーザ光
源のいずれか一方であることを特徴とする請求項１に記
載の光学部品の製造装置。 - 【請求項７】 感光性を有する被処理体を巻着した送り
ロールから前記被処理体を引き出すとともに、前記被処
理体を巻き取りロールにより巻き取る工程と、 前記被処理体にマスクを介して光を照射する工程とを有
し、 前記被処理体の走行に同期して前記マスクを移動しつ
つ、前記被処理体に前記光を照射して前記マスクのパタ
ーン情報を用いてパターンを順次形成することを特徴と
する光学部品の製造方法。 - 【請求項８】 キャンロールが前記送りロールと前記巻
き取りロールとの間の前記被処理体に密着して前記被処
理体を冷却する工程を有することを特徴とする請求項７
に記載の光学部品の製造方法。 - 【請求項９】 前記マスクは、複数のガイドロールに架
け渡されるとともに、前記被処理体の走行方向へ周回走
行することを特徴とする請求項７に記載の光学部品の製
造方法。 - 【請求項１０】 前記マスクは、マスク送りロールによ
り巻着されるとともに、前記マスク送りロールにより引
き出され、マスク巻き取りロールにより巻き取られつつ
走行することを特徴とする請求項７に記載の光学部品の
製造方法。 - 【請求項１１】 前記被処理体は、前記光により屈折率
が変化する高分子フィルムであることを特徴とする請求
項７に記載の光学部品の製造方法。 - 【請求項１２】 前記光は、紫外線およびレーザ光のい
ずれか一方であることを特徴とする請求項７に記載の光
学部品の製造方法。 - 【請求項１３】 請求項７に記載の光学部品の製造方法
を用いて作製されたことを特徴とする光学部品。 - 【請求項１４】 前記光学部品が光導波路であることを
特徴とする請求項１３に記載の光学部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11038967A JP2000241648A (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | 光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11038967A JP2000241648A (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | 光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000241648A true JP2000241648A (ja) | 2000-09-08 |
Family
ID=12539942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11038967A Pending JP2000241648A (ja) | 1999-02-17 | 1999-02-17 | 光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000241648A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2005182007A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Lg Electron Inc | パターニング装置及びこれを用いた連続パターニング方法 |
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1999
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