JP2000238034A - Ceramic board and separating method therefor - Google Patents

Ceramic board and separating method therefor

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JP2000238034A
JP2000238034A JP11040635A JP4063599A JP2000238034A JP 2000238034 A JP2000238034 A JP 2000238034A JP 11040635 A JP11040635 A JP 11040635A JP 4063599 A JP4063599 A JP 4063599A JP 2000238034 A JP2000238034 A JP 2000238034A
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break groove
primary
grooves
ceramic substrate
green sheet
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Hidemi Kubo
秀巳 久保
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Rohm Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic board, the warpage developing in which is small and, at the same time, in which the occurrence of defective separation is small, and its separating method. SOLUTION: Primary breaking grooves 1 are engraved on one side of a ceramic green sheet and secondary breaking grooves 2 are engraved normal to the primary breaking grooves 1 on the opposite side of the sheet so as to fire the sheet in order to obtain a ceramic board A. In addition, at the engraving of the primary breaking grooves 1 on the ceramic green sheet, positioning through holes are bored simultaneously. Further, at the separation of the ceramic board A by being pinched between a small diametral roller and a large diametral roller, the large diametral roller is abutted against the disposed surface of the primary grooves 1 at the separating process of the primary breaking grooves 1 and the disposed surface of the secondary grooves 2 at the separating process of the secondary breaking grooves 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、チップ型電子部品
の製造に使用されるセラミックス基板、及び、同セラミ
ックス基板の分割方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic substrate used for manufacturing a chip-type electronic component, and a method for dividing the ceramic substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、セラミックスを基板としたチップ
型抵抗器やチップ型コンデンサなどの電子部品は、図4
(a)に示すように、複数の一次ブレーク溝10と二次
ブレーク溝20とを互いに直交させて配設したセラミッ
クスグリーンシートbを焼成し(図4(b))、大判の
セラミックス基板Bの形態として製造されている。図4
(b)において、Cは焼成炉を示している。
2. Description of the Related Art Conventionally, electronic components such as a chip-type resistor and a chip-type capacitor using a ceramic substrate as a substrate are shown in FIG.
As shown in FIG. 4A, a ceramic green sheet b in which a plurality of primary break grooves 10 and secondary break grooves 20 are arranged orthogonal to each other is fired (FIG. 4B), and a large ceramic substrate B is formed. Manufactured as a form. FIG.
In (b), C indicates a firing furnace.

【0003】一次ブレーク溝10及び二次ブレーク溝2
0の溝の深さは、二次ブレーク溝20の方を一次ブレー
ク溝10よりも浅めに形成しておくことにより、一次ブ
レーク溝10の方が分割されやすく構成されていること
が多い。
[0003] Primary break groove 10 and secondary break groove 2
When the secondary break groove 20 is formed so as to be shallower than the primary break groove 10, the primary break groove 10 is often configured to be more easily divided.

【0004】以下において、例として、チップ型抵抗器
の製造工程を簡単に説明すると、焼成されたセラミック
ス基板Bの一次ブレーク溝10に跨って上部電極11を
印刷・乾燥し、また、裏面の同位置にも下部電極(図示
せず)を印刷・乾燥する。
In the following, as an example, the manufacturing process of the chip type resistor will be briefly described. The upper electrode 11 is printed and dried over the primary break groove 10 of the fired ceramic substrate B, and the same is applied to the back surface. The lower electrode (not shown) is also printed and dried at the position.

【0005】次いで、上部電極11間に抵抗体12及び
同抵抗体12の第1保護ガラス層13を印刷・乾燥・焼
結させ、抵抗値調整のトリミング14を行い、第2保護
ガラス層15の印刷・乾燥・焼結を行った後、一次ブレ
ーク溝10に沿って分割し、バー状基板B' とする。
Next, the resistor 12 and the first protective glass layer 13 of the resistor 12 are printed, dried, and sintered between the upper electrodes 11, and trimming 14 for adjusting the resistance value is performed. After printing, drying and sintering, the substrate is divided along the primary break groove 10 to obtain a bar-shaped substrate B ′.

【0006】図4(e)に示すように、セラミックス基
板Bの分割装置70の分割部は、大径ローラ50と小径
ローラ60とによって構成され、同大径ローラ50と小
径ローラ60の間にセラミックス基板Bを挿入し、各ロ
ーラ50,60の曲率の差を利用して分割している。
As shown in FIG. 4E, the dividing portion of the dividing device 70 for the ceramic substrate B is constituted by a large-diameter roller 50 and a small-diameter roller 60, and is provided between the large-diameter roller 50 and the small-diameter roller 60. The ceramic substrate B is inserted and divided by utilizing the difference in curvature between the rollers 50 and 60.

【0007】バー状基板B' への分割後、上部電極11
と下部電極とを繋ぐ側面電極を塗布・乾燥させ、二次ブ
レーク溝20に沿って分割することにより単体のチップ
型抵抗器としている。
After the division into the bar-shaped substrate B ', the upper electrode 11
A side electrode connecting the electrode and the lower electrode is applied and dried, and divided along the secondary break groove 20 to form a single chip resistor.

【0008】二次ブレーク溝20の分割においても、一
次ブレーク溝10の分割と同様に、大径ローラ50と小
径ローラ60とからなる分割部を有する分割装置70に
よって分割している。
In the division of the secondary break groove 20, similarly to the division of the primary break groove 10, the division is performed by a division device 70 having a division portion composed of a large-diameter roller 50 and a small-diameter roller 60.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかし、電子部品の小
型化が進むとともに、セラミックス基板の厚みが薄くな
り、一次ブレーク溝と二次ブレーク溝の溝の深さをそれ
ぞれ異ならせてセラミックスグリーンシートに刻設する
ことが困難となった。
However, as the size of electronic components has been reduced, the thickness of the ceramic substrate has been reduced, and the depth of the primary break groove and the secondary break groove have been made different from each other to form a ceramic green sheet. It became difficult to engrave.

【0010】従って、一次ブレーク溝及び二次ブレーク
溝の深さの差が少なく、あるいは、ほぼ等しくなること
によって、図5に示すように、セラミックス基板Bをバ
ー状基板B' に分割する際、一次ブレーク溝10に沿っ
た分割だけでなく、二次ブレーク溝20に沿っても分割
が生じるようになった。
Therefore, when the difference between the depths of the primary break groove and the secondary break groove is small or almost equal, when the ceramic substrate B is divided into the bar-shaped substrates B 'as shown in FIG. In addition to the division along the primary break groove 10, the division also occurs along the secondary break groove 20.

【0011】バー状基板への分割後に行われる側面電極
の塗布作業は、完全なバー状基板の寸法に合わせて行わ
れるため、二次ブレーク溝に沿って折れて短くなったバ
ー状基板は全て不良品として扱われ、歩留まりを大きく
低下させる原因となっていた。
Since the application of the side electrodes performed after the division into the bar-shaped substrates is performed in accordance with the dimensions of the complete bar-shaped substrate, all the bar-shaped substrates that have been broken along the secondary break grooves have been shortened. It was treated as a defective product, causing a great decrease in yield.

【0012】また、セラミックスグリーンシートには、
片面にのみ一次ブレーク溝と二次ブレーク溝とを刻設し
ているため、焼成時にセラミックスグリーンシートのお
もて面とうら面との収縮率の差によって、セラミックス
基板に反りが生じやすく、セラミックス基板の歩留まり
を低下させるという問題もあった。
Further, ceramic green sheets include:
Since the primary and secondary break grooves are engraved on only one side, the ceramic substrate tends to warp due to the difference in shrinkage between the front and back surfaces of the ceramic green sheet during firing. There is also a problem that the yield of the substrate is reduced.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項1記載の本発明では、セラミックスグリー
ンシートの片面に一次ブレーク溝を刻設し、反対面に一
次ブレーク溝と直交する方向に二次ブレーク溝を刻設
し、焼成したことを特徴とするセラミックス基板を提供
せんとするものである。
According to the first aspect of the present invention, a primary break groove is formed on one side of a ceramic green sheet, and the primary break groove is orthogonal to the primary break groove on the opposite side. A ceramic substrate characterized in that secondary break grooves are cut in the direction and fired.

【0014】また、請求項2記載の本発明では、前記セ
ラミックスグリーンシートに一次ブレーク溝を刻設する
ととともに、位置決め用貫通孔を同時に穿設したことを
特徴とするセラミックス基板を提供せんとするものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a ceramic substrate characterized in that a primary break groove is formed in the ceramic green sheet and a positioning through-hole is formed at the same time. It is.

【0015】さらに、請求項3記載の本発明では、前記
セラミックス基板を小径ローラと大径ローラとで挟持す
ることにより、一次ブレーク溝及び二次ブレーク溝にお
ける分割を行う分割方法であって、一次ブレーク溝の分
割工程では一次ブレーク溝の配設面を、二次ブレーク溝
の分割工程では二次ブレーク溝の配設面を、大径ローラ
に当接させながら分割することを特徴とするセラミック
ス基板の分割方法を提供せんとするものである。
Further, according to the present invention, there is provided a dividing method in which the ceramic substrate is sandwiched between a small-diameter roller and a large-diameter roller to divide the primary break groove and the secondary break groove. The ceramic substrate is characterized in that, in the step of dividing the break groove, the surface on which the primary break groove is arranged is divided, and in the step of dividing the secondary break groove, the surface where the secondary break groove is arranged is divided while contacting the large diameter roller. Is not provided.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】本発明のセラミックス基板は、セ
ラミックスグリーンシートの片面に一次ブレーク溝を刻
設し、反対面に一次ブレーク溝と直交する方向に二次ブ
レーク溝を刻設し、焼成して得られるセラミックス基板
である。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The ceramic substrate of the present invention has a primary break groove formed on one side of a ceramic green sheet, and a secondary break groove formed in a direction orthogonal to the primary break groove on the opposite side, and is fired. It is a ceramic substrate obtained by:

【0017】一次ブレーク溝及び二次ブレーク溝の形成
は、一次ブレーク溝又は二次ブレーク溝の形状に合わせ
た突条刃を配設した金型で、セラミックスグリーンシー
トを押圧することにより形成される。
The primary break groove and the secondary break groove are formed by pressing a ceramic green sheet with a mold provided with a ridge blade adapted to the shape of the primary break groove or the secondary break groove. .

【0018】特に、一次ブレーク溝を形成する際には、
一次ブレーク溝の形状に合わせた突条刃を配設した金型
に、位置決め用貫通孔を穿設するための打抜ピンを配設
しておき、一次ブレーク溝と位置決め用貫通孔とを同時
に形成する。
In particular, when forming a primary break groove,
A punching pin for piercing the positioning through-hole is provided in the mold in which the ridge blade is arranged according to the shape of the primary break groove, and the primary break groove and the positioning through-hole are simultaneously formed. Form.

【0019】従って、セラミックスグリーンシートの加
工工程数を削減し、製造効率を向上させることができる
とともに、位置決め用貫通孔を利用して、二次ブレーク
溝を一次ブレーク溝に対してずれることなく形成するこ
とができる。
Therefore, it is possible to reduce the number of processing steps of the ceramic green sheet and to improve the production efficiency, and to form the secondary break grooves without using the positioning through holes without shifting from the primary break grooves. can do.

【0020】両面にブレーク溝の形成されたセラミック
ス基板を、ブレーク溝に沿って分割する際にも、従来技
術の分割方法と同様に、小径ローラと大径ローラとで挟
持することにより、各ローラの曲率の違いを利用して分
割を行う。
When the ceramic substrate having the break grooves formed on both surfaces is divided along the break grooves, each roller is held between a small-diameter roller and a large-diameter roller in the same manner as in the conventional dividing method. Is divided using the difference in the curvatures of.

【0021】ただし、セラミックス基板は小径ローラ側
に折れ曲がるように折曲されるため、一次ブレーク溝の
分割工程では一次ブレーク溝の配設面を、二次ブレーク
溝の分割工程では二次ブレーク溝の配設面を、大径ロー
ラに当接させて分割することによって、分割不良を生起
しにくく、確実な分割を行うべく構成している。
However, since the ceramic substrate is bent so as to bend toward the small-diameter roller, the surface on which the primary break groove is provided is divided in the step of dividing the primary break groove, and the surface of the secondary break groove is divided in the step of dividing the secondary break groove. The arrangement surface is divided into contact with the large-diameter roller so that a division failure is less likely to occur, and the division is performed reliably.

【0022】[0022]

【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて詳説する。
図1は本発明のセラミックス基板Aであり、同セラミッ
ク基板Aには、おもて面に一次ブレーク溝1を刻設して
おり、うら面に二次ブレーク溝2を刻設している。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
FIG. 1 shows a ceramic substrate A of the present invention, in which a primary break groove 1 is formed on the front surface and a secondary break groove 2 is formed on the back surface.

【0023】一次ブレーク溝1及び二次ブレーク溝2の
刻設は、焼成前のセラミックスグリーンシートaの段階
で行われ、図2に示すように、略矩形のシート状となっ
ているセラミックスグリーンシートaを、一次ブレーク
溝1又は二次ブレーク溝2の形状に合わせて配設した突
条刃を有する金型(図示せず)で押圧することにより刻
設している。
The cutting of the primary break groove 1 and the secondary break groove 2 is performed at the stage of the ceramic green sheet a before firing, and as shown in FIG. 2, the ceramic green sheet has a substantially rectangular sheet shape. a is engraved by pressing with a mold (not shown) having a ridged blade arranged in accordance with the shape of the primary break groove 1 or the secondary break groove 2.

【0024】図2において、二次ブレーク溝2と直交状
態となっている破線で示した一次ブレーク溝1は、セラ
ミックスグリーンシートaのうら面に配設されているこ
とを示している。
In FIG. 2, the primary break grooves 1 indicated by broken lines, which are orthogonal to the secondary break grooves 2, indicate that they are arranged on the back surface of the ceramic green sheet a.

【0025】さらに、一次ブレーク溝1を刻設する際
に、金型に突条刃だけでなく、所用の位置に位置決め用
貫通孔4を穿設するための貫通ピン(図示せず)を複数
配設しておき、セラミックスグリーンシートaに位置決
め用貫通孔4を同時に穿設可能に構成している。
Further, when the primary break groove 1 is carved, not only the ridge blade but also a plurality of through pins (not shown) for forming the positioning through holes 4 at required positions in the mold. The positioning through-holes 4 can be simultaneously formed in the ceramic green sheet a.

【0026】また、多連電子部品やチップ型コンデンサ
などのように、セラミック基板Aにあらかじめ貫通孔を
配設しておく電子部品を製造する場合には、同貫通孔
を、一次ブレーク溝1及び位置決め用貫通孔4と同時に
配設すべく構成してもよい。
When manufacturing an electronic component such as a multiple electronic component or a chip capacitor in which a through-hole is previously provided in the ceramic substrate A, the through-hole is formed by the primary break groove 1 and the You may comprise so that it may arrange | position simultaneously with the through-hole 4 for positioning.

【0027】本実施例では、一次ブレーク溝1を先に刻
設しているために、一次ブレーク溝1と位置決め用貫通
孔4とを同時に配設すべく構成しているが、二次ブレー
ク溝2を先に刻設する場合には、二次ブレーク溝2と位
置決め用貫通孔4とを同時に配設すべく構成してもよ
い。
In this embodiment, since the primary break groove 1 is formed first, the primary break groove 1 and the positioning through hole 4 are arranged at the same time. In the case of engraving 2 first, the secondary break groove 2 and the positioning through hole 4 may be arranged at the same time.

【0028】セラミックスグリーンシートaに、一次ブ
レーク溝1を刻設するとともに位置決め用貫通孔4を穿
設することによって、セラミックスグリーンシートaの
加工工程を削減することができるとともに、セラミック
スグリーンシートaのうら面に刻設される二次ブレーク
溝2の刻設時、一次ブレーク溝1に対してずれを生じる
ことがなく、歩留まりよく一次ブレーク溝1及び二次ブ
レーク溝2を刻設することができる。
By forming the primary break grooves 1 and forming the positioning through holes 4 in the ceramic green sheet a, the number of processing steps for the ceramic green sheet a can be reduced, and the ceramic green sheet a When the secondary break grooves 2 are formed on the back surface, the primary break grooves 1 and the secondary break grooves 2 can be formed with a high yield without causing a shift with respect to the primary break grooves 1. .

【0029】また、セラミックスグリーンシートaに刻
設される一次ブレーク溝1及び二次ブレーク溝2の溝の
深さは、互いに同じ深さとしてもよく、又は、従来技術
と同様に、二次ブレーク溝2の方を一次ブレーク溝1よ
り浅く刻設し、一次ブレーク溝1の分割時に、誤って二
次ブレーク溝2に沿って分割が生じる可能性をさらに低
くすべく構成してもよい。
The primary break groove 1 and the secondary break groove 2 engraved on the ceramic green sheet a may have the same depth as each other, or may have a secondary break groove as in the prior art. The groove 2 may be formed shallower than the primary break groove 1 so as to further reduce the possibility that the primary break groove 1 is divided along the secondary break groove 2 by mistake.

【0030】一次ブレーク溝1及び二次ブレーク溝2の
刻設されたセラミックスグリーンシートaは、所用の大
きさに切り出され、焼成されることによってセラミック
ス基板Aとなる。
The ceramic green sheet a in which the primary break grooves 1 and the secondary break grooves 2 are engraved is cut into a required size and fired to form a ceramic substrate A.

【0031】本実施例では、1枚のセラミックスグリー
ンシートaから、1枚のセラミックス基板Aとなるセラ
ミックスグリーンシートaを取り出す例を示している
が、複数枚のセラミックス基板Aがとれるようにしても
よい。
In this embodiment, an example is shown in which a ceramic green sheet a serving as one ceramic substrate A is taken out from one ceramic green sheet a, but a plurality of ceramic substrates A can be taken. Good.

【0032】セラミックスグリーンシートaには、両面
にそれぞれ一次ブレーク1溝又は二次ブレーク溝2によ
る切れ込みが形成されていることにより、焼成時に生じ
るおもて面とうら面との収縮率の差を小さくでき、セラ
ミック基板Aの反りによる不良の発生を低減させること
ができる。
The ceramic green sheet a has cuts formed by the primary break 1 groove and the secondary break groove 2 on both surfaces, so that the difference in shrinkage between the front surface and the back surface generated during firing is reduced. The size of the substrate can be reduced, and the occurrence of defects due to the warpage of the ceramic substrate A can be reduced.

【0033】その後、セラミックス基板Aに、従来技術
のところで説明したように、電極部、抵抗体、あるい
は、チップ型コンデンサの場合には誘電体ガラスを配設
し、一次ブレーク溝1に沿って分割してバー状基板A'
とする。
After that, as described in the prior art, an electrode portion, a resistor, or a dielectric glass in the case of a chip type capacitor is provided on the ceramic substrate A, and divided along the primary break groove 1. Bar-shaped substrate A '
And

【0034】一次ブレーク溝1における分割は、図3
(a)に示すように、従来技術と同様の大径ローラ5と
小径ローラ6による分割装置7によって行われる。ここ
で、セラミックス基板Aの一次ブレーク溝1の配設され
た面が、大径ローラ5と当接するように、セラミックス
基板Aは送給される。図3(a)において、8はセラミ
ックス基板Aを送給するための送給用ベルトコンベアで
ある。
The division in the primary break groove 1 is shown in FIG.
As shown in (a), the separation is performed by a dividing device 7 using a large-diameter roller 5 and a small-diameter roller 6 as in the prior art. Here, the ceramic substrate A is fed so that the surface of the ceramic substrate A where the primary break grooves 1 are provided contacts the large-diameter roller 5. In FIG. 3A, reference numeral 8 denotes a feeding belt conveyor for feeding the ceramic substrate A.

【0035】分割装置7において、大径ローラ5と小径
ローラ6とでセラミックス基板Aを挟持した際、各ロー
ラ5,6の曲率の差により、セラミックス基板Aには小
径ローラ6側に折れ曲がろうとする力が作用する。
When the ceramic substrate A is sandwiched between the large-diameter roller 5 and the small-diameter roller 6 in the dividing device 7, the ceramic substrate A is bent toward the small-diameter roller 6 due to the difference in curvature between the rollers 5 and 6. Attempting force acts.

【0036】この折れ曲がりの力によって生じる応力
は、一次ブレーク溝1を押し広げるべく作用することに
よって、セラミックス基板Aの一次ブレーク溝1に集中
的に作用し、従って、一次ブレーク溝1に沿って亀裂が
走り、バー状基板A' に分割することができる。
The stress generated by the bending force acts on the primary break groove 1 so as to expand the primary break groove 1, thereby acting intensively on the primary break groove 1, and therefore, the cracks along the primary break groove 1. , And can be divided into bar-shaped substrates A ′.

【0037】逆に、セラミックス基板Aの一次ブレーク
溝1の配設された面と小径ローラ6とが当接するよう
に、セラミックス基板Aを分割装置7に送給した場合に
は、大径ローラ5と小径ローラ6との曲率の差によって
生じる応力が、分散して作用しやすいため、一次ブレー
ク溝1に沿っての亀裂が生起されにくく、分割不良を生
起しやすい。
Conversely, when the ceramic substrate A is fed to the dividing device 7 such that the surface on which the primary break groove 1 of the ceramic substrate A is disposed and the small-diameter roller 6 contact each other, the large-diameter roller 5 The stress generated due to the difference in curvature between the roller and the small-diameter roller 6 is apt to act in a dispersed manner, so that a crack along the primary break groove 1 is unlikely to occur, and defective division is likely to occur.

【0038】バー状基板A' への分割後、同バー状基板
A' に側面電極加工を施し、次いで、二次ブレーク溝2
に沿って分割を行い、単体電子部品A" とする。
After division into the bar-shaped substrate A ', the bar-shaped substrate A' is subjected to side electrode processing.
Are divided along the line to obtain a single electronic component A ″.

【0039】二次ブレーク溝2に沿って分割する際に
も、大径ローラ5と小径ローラ6による分割装置7を用
いるが、上述した理由により、二次ブレーク溝2の配設
された面を大径ローラ5に当接させる必要がある。
When dividing along the secondary break groove 2, the dividing device 7 using the large-diameter roller 5 and the small-diameter roller 6 is used. It is necessary to contact the large diameter roller 5.

【0040】本実施例では、バー状基板A' の側面電極
加工の際に、側面電極を塗布するための塗布装置(図示
せず)に送給されたバー状基板A' を、送給状態に対し
て裏返した状態で搬出すべく塗布装置を構成している。
In this embodiment, the bar-shaped substrate A ', which has been fed to a coating device (not shown) for applying the side-surface electrodes, is processed in the feeding state when the side-surface electrodes of the bar-shaped substrate A' are processed. The coating device is configured to carry out the product in a state in which it is turned over.

【0041】具体的には、塗布装置では、一度、バー状
基板A' を塗布用治具(図示せず)によってクランプ状
態としているため、そのクランプ状態からの解放時に、
側面電極を塗布されたバー状基板A' を裏返しながら解
放をすべく構成している。
Specifically, in the coating apparatus, the bar-shaped substrate A 'is once clamped by a coating jig (not shown).
The bar-shaped substrate A 'on which the side electrodes are applied is turned upside down and released.

【0042】また、他の実施例として、側面電極の焼き
付け後、二次ブレーク溝2の分割前に、バー状基板A'
の裏返し工程を追加することによりバー状基板A' を裏
返して分割装置7に送給してもよい。
In another embodiment, the bar-shaped substrate A ′ is formed after the side electrode is baked and before the secondary break groove 2 is divided.
The bar-shaped substrate A ′ may be turned upside down and fed to the splitting device 7 by adding an upside down process.

【0043】さらに、他の実施例として、側面電極加工
工程は従来のままとし、図3(b)に示すように、二次
ブレーク溝2の分割に使用される分割装置7' の大径ロ
ーラ5と小径ローラ6の配設位置を逆転させることによ
って、分割を行うべく構成してもよい。図3(b)にお
いて、8' はバー状基板A' を送給するための送給用ベ
ルトコンベア、9は送給補助ローラである。
Further, as another embodiment, the side electrode processing step is the same as the conventional one, and as shown in FIG. 3B, the large-diameter roller of the dividing device 7 'used for dividing the secondary break groove 2 is used. It may be configured to perform the division by reversing the arrangement position of the roller 5 and the small-diameter roller 6. In FIG. 3B, reference numeral 8 'denotes a feeding belt conveyor for feeding the bar-shaped substrate A', and 9 denotes a feeding auxiliary roller.

【0044】本実施例では、チップ型電子部品の製造に
使用するセラミックス基板Aについて説明したが、本発
明はセラミックスを用いた半導体パッケージの製造にも
使用することができ、セラミックス基板Aにブレーク溝
を配設し、多数個取りの形態で製造する全てのものに対
して本発明を適用することができる。
In this embodiment, the ceramic substrate A used for manufacturing the chip-type electronic component has been described. However, the present invention can also be used for manufacturing a semiconductor package using ceramics. And the present invention can be applied to all products manufactured in a multi-cavity form.

【0045】[0045]

【発明の効果】請求項1記載の本発明によれば、セラミ
ックスグリーンシートの片面に一次ブレーク溝を形成
し、反対面に一次ブレーク溝と直交する方向に二次ブレ
ーク溝を形成し、焼成したことによって、一次ブレーク
溝の分割の際に二次ブレーク溝にそって分割が生じるこ
とがなく、バー状基板に確実に分割することができるの
で、製造歩留まりを向上させることができる。
According to the present invention, a primary break groove is formed on one surface of a ceramic green sheet, and a secondary break groove is formed on the opposite surface in a direction perpendicular to the primary break groove, and then fired. Thus, the primary break groove is not divided along the secondary break groove when the primary break groove is divided, and the primary break groove can be surely divided into the bar-shaped substrates, so that the production yield can be improved.

【0046】さらに、セラミックスグリーンシートの両
面に、一次ブレーク溝又は二次ブレーク溝による切れ込
みが形成されていることによって、同セラミックスグリ
ーンシートの焼成時に、おもて面とうら面とにおいて、
焼成による収縮の差を小さくすることができ、セラミッ
クス基板の反りの生起を防止することができる。
Further, since the cuts formed by the primary break grooves or the secondary break grooves are formed on both sides of the ceramic green sheet, the front and back surfaces of the ceramic green sheet during firing are reduced.
The difference in shrinkage due to firing can be reduced, and warpage of the ceramic substrate can be prevented.

【0047】請求項2記載の本発明によれば、セラミッ
クスグリーンシートに一次ブレーク溝を形成するととと
もに、位置決め用貫通孔を同時に穿設したことによっ
て、セラミックスグリーンシートの加工工程を削減する
ことができ、作業性を向上させることができる。
According to the second aspect of the present invention, since the primary break grooves are formed in the ceramic green sheet and the positioning through holes are simultaneously formed, the number of processing steps for the ceramic green sheet can be reduced. , Workability can be improved.

【0048】さらに、同位置決め用貫通孔を利用して二
次ブレーク溝の位置決めをすることによって、一次ブレ
ーク溝に対して二次ブレーク溝がずれることがなく、歩
留まりよくセラミックス基板を製造することができる。
Further, by positioning the secondary break grooves using the positioning through holes, the secondary break grooves do not shift with respect to the primary break grooves, so that a ceramic substrate can be manufactured with high yield. it can.

【0049】請求項3記載の本発明によれば、一次ブレ
ーク溝の分割工程では一次ブレーク溝の配設面を、二次
ブレーク溝の分割工程では二次ブレーク溝の配設面を、
大径ローラに当接させながら分割することによって、分
割不良を生起することなく、セラミックス基板を確実に
分割することができる。
According to the third aspect of the present invention, in the step of dividing the primary break groove, the surface of the primary break groove is arranged, and in the step of dividing the secondary break groove, the surface of the secondary break groove is arranged.
By dividing while contacting the large-diameter roller, the ceramic substrate can be surely divided without causing division failure.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係るセラミックス基板の斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view of a ceramic substrate according to the present invention.

【図2】セラミックスグリーンシートの状態を示す平面
図である。
FIG. 2 is a plan view showing a state of a ceramic green sheet.

【図3】セラミックス基板の分割装置の概略図である。FIG. 3 is a schematic view of an apparatus for dividing a ceramic substrate.

【図4】従来のチップ型抵抗器の製造工程説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory view of a manufacturing process of a conventional chip resistor.

【図5】従来のセラミックス基板の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of a conventional ceramic substrate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A セラミック基板 A' バー状基板 A" 単体電子部品 a セラミックスグリーンシート 1 一次ブレーク溝 2 二次ブレーク溝 A Ceramic substrate A 'Bar-shaped substrate A "Single electronic component a Ceramic green sheet 1 Primary break groove 2 Secondary break groove

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 セラミックスグリーンシートの片面に一
次ブレーク溝を刻設し、反対面に一次ブレーク溝と直交
する方向に二次ブレーク溝を刻設し、焼成したことを特
徴とするセラミックス基板。
1. A ceramic substrate characterized in that a primary break groove is engraved on one surface of a ceramic green sheet, and a secondary break groove is engraved on the opposite surface in a direction orthogonal to the primary break groove, and is fired.
【請求項2】 前記セラミックスグリーンシートに一次
ブレーク溝を刻設するととともに、位置決め用貫通孔を
同時に穿設したことを特徴とする請求項1記載のセラミ
ックス基板。
2. The ceramic substrate according to claim 1, wherein a primary break groove is formed in the ceramic green sheet, and a positioning through hole is formed at the same time.
【請求項3】 前記セラミックス基板を小径ローラと大
径ローラとで挟持することにより、一次ブレーク溝及び
二次ブレーク溝における分割を行う分割方法であって、
一次ブレーク溝の分割工程では一次ブレーク溝の配設面
を、二次ブレーク溝の分割工程では二次ブレーク溝の配
設面を、大径ローラに当接させながら分割することを特
徴とする請求項1又は請求項2記載のセラミックス基板
の分割方法。
3. A dividing method for dividing a ceramic substrate into a primary break groove and a secondary break groove by sandwiching the ceramic substrate between a small-diameter roller and a large-diameter roller,
In the step of dividing the primary break groove, the surface of the primary break groove is divided while the surface of the secondary break groove is divided in the step of dividing the secondary break groove while contacting the large-diameter roller. 3. The method for dividing a ceramic substrate according to claim 1 or 2.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008235670A (en) * 2007-03-22 2008-10-02 Rohm Co Ltd Manufacturing method of chip resistor
CN105382946A (en) * 2015-12-17 2016-03-09 哈尔滨新力光电技术有限公司 Automatic efficient splintering machine and method for sapphire LED bar

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