JP2000237941A5 - - Google Patents
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Description
【００１３】
本発明の両頭平面研削方法においては、砥石車を切込み送りして行うインフィード研削と、キャリアの送り動作により通し送りして行うスルー研削を順次連続して複合的に行うことにより、両砥石車の傾斜角度を、ワークの取代の大きさの如何にかかわらず、ワークの仕上面に要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定することが可能となる。
本発明の両頭平面研削方法においては、砥石車を切込み送りして行うインフィード研削と、キャリアの送り動作により通し送りして行うスルー研削を順次連続して複合的に行うことにより、両砥石車の傾斜角度を、ワークの取代の大きさの如何にかかわらず、ワークの仕上面に要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定することが可能となる。
【００１８】
具体的には、両研削砥石面１ａ，２ａは、図３に示すように、後述するワーク入口Ａ側で広く、ワークＢ出口側で狭くなるように互いに所定の傾斜角度θをもって傾斜して配置されている。この傾斜角度θは、スルー研削のためのもので、ワークＷの仕上面Ｗａ，Ｗｂに要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定される。これにより、後述するように、両砥石車１，２間に送り込まれるワークＷは、ワーク入口側Ａから出口側Ｂへ通過する間に順次所定量ずつ研削されることとなる。
具体的には、両研削砥石面１ａ，２ａは、図３に示すように、後述するワーク入口Ａ側で広く、ワークＢ出口側で狭くなるように互いに所定の傾斜角度θをもって傾斜して配置されている。この傾斜角度θは、スルー研削のためのもので、ワークＷの仕上面Ｗａ，Ｗｂに要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定される。これにより、後述するように、両砥石車１，２間に送り込まれるワークＷは、ワーク入口側Ａから出口側Ｂへ通過する間に順次所定量ずつ研削されることとなる。
【００４１】
しかして、以上のように、上側の砥石車１を切込み送りして行うインフィード研削と、キャリア１２の送り動作により通し送りして行うスルー研削を順次連続して複合的に行うことにより、両砥石車１，２の傾斜角度θを、ワークＷの取代の大きさの如何にかかわらず、ワークＷの仕上面に要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定することができる。特に、両砥石車１，２の傾斜角度θを小さくすることにより、ワークＷの両面に対してスパークアウト的な作用が働き、この部位の平行度および平坦度が向上する。
しかして、以上のように、上側の砥石車１を切込み送りして行うインフィード研削と、キャリア１２の送り動作により通し送りして行うスルー研削を順次連続して複合的に行うことにより、両砥石車１，２の傾斜角度θを、ワークＷの取代の大きさの如何にかかわらず、ワークＷの仕上面に要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定することができる。特に、両砥石車１，２の傾斜角度θを小さくすることにより、ワークＷの両面に対してスパークアウト的な作用が働き、この部位の平行度および平坦度が向上する。
【００５８】
また、これに関連して、図示しないが、キャリア２２の下側には、キャリア２２の下面を摺動案内するガイド部が設けられている。このガイド部は、実施形態１および２と同様、上下砥石車１，２のワーク入口Ａとワーク出口Ｂの外側において、ワーク供給部Ｉからワーク入口Ａまでの部位とワーク出口Ｂからワーク回収部Ｏの手前までの部位に配されている。
また、これに関連して、図示しないが、キャリア２２の下側には、キャリア２２の下面を摺動案内するガイド部が設けられている。このガイド部は、実施形態１および２と同様、上下砥石車１，２のワーク入口Ａとワーク出口Ｂの外側において、ワーク供給部Ｉからワーク入口Ａまでの部位とワーク出口Ｂからワーク回収部Ｏの手前までの部位に配されている。
【００６５】
(3) 図示の実施形態においては、両砥石車１，２の回転主軸１０，１１が垂直に配置されてなる立軸型であるが、本発明は、回転主軸１０，１１が水平に配置されてなる横軸型の平面研削盤にも採用可能であることはもちろんである。
(3) 図示の実施形態においては、両砥石車１，２の回転主軸１０，１１が垂直に配置されてなる立軸型であるが、本発明は、回転主軸１０，１１が水平に配置されてなる横軸型の平面研削盤にも採用可能であることはもちろんである。
【００６７】
すなわち、本発明においては、砥石車を切込み送りして行うインフィード研削と、キャリアの送り動作により通し送りして行うスルー研削を順次連続して複合的に行うように構成されているから、上下両砥石車の傾斜角度を、ワークの取代の大きさの如何にかかわらず、ワークの仕上面に要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定することができる。
すなわち、本発明においては、砥石車を切込み送りして行うインフィード研削と、キャリアの送り動作により通し送りして行うスルー研削を順次連続して複合的に行うように構成されているから、上下両砥石車の傾斜角度を、ワークの取代の大きさの如何にかかわらず、ワークの仕上面に要求される平行度、平坦度あるいは研削効率等を考慮して最適値に設定することができる。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03982999A JP3856975B2 (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 複合両頭平面研削方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03982999A JP3856975B2 (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 複合両頭平面研削方法および装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000237941A JP2000237941A (ja) | 2000-09-05 |
| JP2000237941A5 true JP2000237941A5 (ja) | 2004-12-09 |
| JP3856975B2 JP3856975B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=12563872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03982999A Expired - Fee Related JP3856975B2 (ja) | 1999-02-18 | 1999-02-18 | 複合両頭平面研削方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3856975B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4780142B2 (ja) | 2008-05-22 | 2011-09-28 | 信越半導体株式会社 | ウェーハの製造方法 |
| JP2010234496A (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-21 | Hitachi Metals Ltd | 両頭平面加工装置 |
| JP5425748B2 (ja) * | 2010-11-16 | 2014-02-26 | 光洋機械工業株式会社 | 片面研削方法および装置 |
-
1999
- 1999-02-18 JP JP03982999A patent/JP3856975B2/ja not_active Expired - Fee Related
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