JP2000230921A

JP2000230921A - マルチキャピラリイオン化質量分析装置

Info

Publication number: JP2000230921A
Application number: JP11032332A
Authority: JP
Inventors: Tsudoi Hirabayashi; 集平林; Yukiko Hirabayashi; 由紀子平林; Satoshi Ko; 敏黄; Hideaki Koizumi; 英明小泉
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1999-02-10
Filing date: 1999-02-10
Publication date: 2000-08-22
Anticipated expiration: 2019-02-10
Also published as: JP3982094B2

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の噴霧イオン化では、試料液体の流量を増
加させても、生成されるイオン量はある程度以上増加せ
ず、感度が向上しないという問題があった。【解決手段】試料液体の供給部に分岐を設け、複数のキ
ャピラリに試料溶液を供給し、噴霧させる手段を設け
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は試料液体を高感度分
析する質量分析装置に係り、特に試料液体中に微量に存
在する有機物質や有機物質を高感度で分離分析する液体
クロマトグラフ／質量分析装置（以下ＬＣ／ＭＳとい
う）やキャピラリ電気泳動／質量分析装置（以下ＣＥ／
ＭＳという）に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣ／ＭＳやＣＥ／ＭＳのインターフェ
ースでは、ＬＣやＣＥで分離された試料液体から気体状
イオンが生成され、質量分析部へ導入される。インター
フェースにおけるイオン化法としては、エレクトロスプ
レーイオン化法（ＥＳＩ）や大気圧化学イオン化法（Ａ
ＰＣＩ）、ソニックスプレーイオン化法（ＳＳＩ）など
の噴霧イオン化法が広く用いられている。ところで、こ
れまで噴霧に用いられるキャピラリは１本であった。

【０００３】ＥＳＩでは、キャピラリ末端部の試料液体
と対向電極（質量分析装置入り口）との間に高電圧を印
加し、静電噴霧現象により帯電液滴を生成する。生成さ
れる帯電液滴は蒸発し、気体状イオンが生成される。最
初に生成される帯電液滴のサイズが小さく電荷量が高い
程、気体状イオンの生成効率は高くなる。また、最初に
生成される帯電液滴のサイズは液体の流量が少ない程小
さくなる傾向にあり、それはキャピラリの直径を小さく
することにより実現可能となる。

【０００４】従来のＥＳＩキャピラリは内径が０．１ｍ
ｍ程度だが、より微細化されたキャピラリを利用するこ
とも可能となった。噴霧キャピラリ内径が１〜２μｍで
あるミニチュア化されたＥＳＩに関する記述がアナリテ
ィカル・ケミストリー誌（Analytical Chemistry）、第
６８巻（１９９６年）第１頁から第８頁に見られる。こ
のような微細化されたキャピラリを用いると、液体流量
が２０ｎＬ（ナノリットル）／分程度に低減するため、
μＬ（マイクロリットル）程度の体積の試料液体を１時
間程度噴霧し続けることができる。そのため、質量分析
装置の様々なパラメーターを変更し、生体分子の構造解
析を行うことができる。

【０００５】また、アナリティカル・ケミストリー誌（A
nalytical Chemistry）、第６９巻（１９９７年）第４
２６頁から第４３０頁には、複数個の微細キャピラリが
並んだチップを利用したＥＳＩ質量分析装置に関する記
述がある。そこでは、試料液体がチップ内のキャピラリ
に導入され、キャピラリの試料液体導入部には電極が設
置される。チップ内のキャピラリ末端は質量分析装置の
イオン導入口に対向して設置され、試料液体導入部と質
量分析装置イオン導入口との間には高電圧が印加され
る。この高電圧により、チップ内のキャピラリ末端と質
量分析装置のイオン導入口との間に試料液体のエレクト
ロスプレーが発生する。

【０００６】上記従来例では、チップ内の１本の微細キ
ャピラリ（６０μｍ×２５μｍ）に導入される分離液体
を流量１００〜２００ｎＬ／分でＥＳＩによりイオン化
し、質量分析する。次に、質量分析装置のイオン導入口
に対しチップをスライドし電圧印加部位を変更すること
により、隣接するキャピラリ内の試料液体を分析するこ
とができる。その結果、高スループットのＣＥ／ＭＳが
実現される。

【０００７】ＡＰＣＩでは、キャピラリに導入される試
料液体を噴霧し、生成されたガスをコロナ放電などを利
用して気相イオン分子反応によりイオン化する。３００
℃程度に加熱した金属製の噴霧キャピラリを利用する場
合が多いが、一般的に加熱による液体の噴霧では完全に
試料液体がガス化せず、ミクロン程度の液滴も生成す
る。液滴の生成が多い場合には、分析物質由来のイオン
の量が低減するため感度が低減する。さらに、液滴が真
空装置に導入されると、汚染により質量分析計の感度が
低減する。

【０００８】このような問題を解決するために、噴霧ガ
スを攪拌して液滴を加熱された金属に衝突させてからコ
ロナ放電部へ導入する記述が特開平７−１５９３７７に
見られる。加熱された１本の金属製キャピラリにより試
料液体は噴霧される。ＡＰＣＩインターフェースはＬＣ
／ＭＳやセミミクロＬＣ／ＭＳに利用され、設定される
液体流量は０．１〜１ｍＬ（ミリリットル）／分程度で
ある。

【０００９】ＳＳＩでは、キャピラリに導入される試料
液体を音速程度の高速ガス流で噴霧することにより、気
体状イオンが生成される。生成されるイオン量は主にガ
ス流速に依存し、音速の場合に最大となる。アナリティ
カル・ケミストリー誌（Analytical Chemistry）、第７
０巻（１９９８年）第１８８２頁から第１８８４頁に
は、ＬＣ／ＭＳやセミミクロＬＣ／ＭＳのＳＳＩインタ
ーフェースに関する記述が見られる。噴霧キャピラリは
１本である。液体流量は自由に設定できるが、１０μＬ
／分〜１ｍＬ／分程度で使用されている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ＥＳＩでは、試料液体
の流量を増大させると、イオン生成効率は低減する関係
がある。そのため、イオン生成効率を増大させるために
は、噴霧キャピラリ内径を小さくする必要がある。そう
しないと、試料液体の流量を低減させることができない
からである。そのため、ミニチュア化されたＥＳＩで
は、感度を顕著に低減させないで、試料液体の流量を低
減することができる。ところが、本質的に高感度化に対
応できないという問題点がある。大抵のＥＳＩでは噴霧
キャピラリの本数は１本だが、先述のようにＥＳＩチッ
プでは複数の微細な噴霧キャピラリが利用できる。しか
し、複数の噴霧キャピラリから同時に噴霧することはな
く、本質的に高感度化には対応できないという問題があ
る。

【００１１】ＡＰＣＩでは、試料溶液の流量が増加する
に従い、感度が低下する傾向がある。このことは噴霧に
よる試料液体の気化効率が流量の増大に従って低減する
ためと説明される。この気化効率低減は液滴の生成量増
加となり、噴霧ガスを攪拌するなどの工夫が必要とな
る。加熱された金属による液滴の気化は原理的に有効だ
が、生体関連物質は熱分解されるため、結果的に分析感
度は低減するという問題がある。また１００μＬ／分以
下の流量では安定に試料液体を噴霧することが困難であ
るという問題がある。

【００１２】ＳＳＩでも、試料液体の流量が増大する
と、イオン生成効率は低減する。実際には、流量が２０
０μＬ／分以上では、分析感度は殆ど増加しない。

【００１３】これまで述べたように、従来の噴霧イオン
化法では、試料液体の流量を増加させても、生成される
イオン量はある程度以上増加せず、感度が向上しないと
いう問題を有する。また、ＡＰＣＩでは試料液体の流量
範囲に制限があるうえ、熱分解し易い物質のイオン化が
困難であるという問題を有する。

【００１４】

【課題を解決するための手段】試料液体の流量を変化さ
せても生成されるイオン量が増加しない問題を解決する
ために、本発明においてはイオン化部に複数のキャピラ
リを有する質量分析装置が提供される。

【００１５】また、ＡＰＣＩにおける試料液体の流量範
囲や熱分解の問題を解決するために、イオン化部に複数
のキャピラリを有する質量分析装置が提供される。

【００１６】

【発明の実施の形態】図１に、本発明の一実施例に基づ
くソニックスプレーイオン化法（ＳＳＩ）を利用した質
量分析装置の断面図を示す。試料液体はポンプ等で輸送
管１に導入された後、分岐部２において２本以上のキャ
ピラリ３に導入される。キャピラリ３の断面サイズは同
一であり、キャピラリ３の末端が挿入されるオリフィス
４の内径も一定である。試料液体の電位は金属製ジョイ
ント５により接地電位に設定される。

【００１７】ガス導入口６から導入される窒素ガスの高
速ガス流がオリフィス４から形成される。このガス流に
より試料液体は噴霧され、瞬間的に微細液滴に変換さ
れ、微細液滴から気体状イオンが生成される。生成され
るイオンの量はガス流速に依存し、音速の場合に最大と
なる。ガス流速はガス流量あるいはガス導入口に導入さ
れるガス圧力により制御することができる。大気中に生
成される気体状イオンはサンプリングオリフィス７から
真空部８に導入され、質量分析計９により質量分離さ
れ、検出器１０で検出される。

【００１８】気体状イオンは複数のキャピラリ３から生
成されるが、サンプリングオリフィス（内径０．２ｍｍ
程度）７は一個である。大気中に生成される気体状イオ
ンを含んだガス流から効率的に気体状イオンをサンプリ
ングオリフィス７へ導入するため、キャピラリ３の数だ
け直径１ｍｍ程度の穴が空いた板１１がサンプリングオ
リフィス７の前に設置される。

【００１９】図２に、本発明の別の一実施例に基づくソ
ニックスプレーイオン化法（ＳＳＩ）を利用したイオン
化部の断面図を示す。金属製のオリフィス板１２（厚さ
０．２ｍｍ程度）にあるオリフィス４（内径約１５０μ
ｍ）へ絶縁性の高い石英製キャピラリ３（外径約１００
μｍ、内径約４０μｍ）の末端が挿入される。キャピラ
リ３がオリフィス４と接触をさけてほぼ同軸状にするた
め、微細穴（内径約１１０μｍ）のある支持板１３がイ
オン化部本体１４（導体）に固定される。

【００２０】イオン化部の組み立てを容易にするため
に、イオン化部本体１４は大きく２つの部分から構成さ
れている。キャピラリ３は輸送管１末端に挿入され、シ
リコンラバーなどの耐蝕性の高い接着剤により密封され
る。キャピラリ３にはポリイミド製のものを利用するこ
ともできる。オリフィス板１２の厚さがゼロの場合に
は、オリフィス板１２にガスの圧力が２気圧程度かかる
状態で原理的には音速のガス流が形成される。強度的な
問題からオリフィス板１２の厚みは０．１ｍｍ以上必要
であるが、１ｍｍ以上の厚さではオリフィス１２におけ
るガス圧力損失が著しいために４気圧程度のガス圧力で
ガス導入口からガスを導入する必要が生じる。

【００２１】上記のようなオリフィス４およびキャピラ
リ３のサイズの場合には、一つのオリフィス４あたりの
ガス流量が０．３Ｌ／分程度でガス流速がほぼ音速とな
り、生成されるイオン量は最大となる。また、１本のキ
ャピラリに導入される試料液体の流量は５０μＬ／分以
下の場合に、イオン生成効率は非常に高い。キャピラリ
３やオリフィス４のサイズは同一であることが、製造コ
ストの低減に有効である。

【００２２】また、噴霧ガスは円錐状に形成されるが、
イオンは主に中心軸周辺に集中的に生成され、帯電液滴
が周辺部に生成される。そのため、隣接するオリフィス
４から生成される噴霧ガス同士が接触した場合には、液
滴同士が結合し、より巨大な液滴に成長する。このこと
はイオン生成効率を低減させる原因になりうる。そこ
で、オリフィス４の間隔は２ｍｍ以上１０ｍｍ以下に設
定すると便利である。

【００２３】ＳＳＩではイオンが噴霧ガスの中心軸に沿
って多く生成される傾向がある。大気中に生成されたイ
オンを効率よくサンプリングオリフィス７へ導入するた
めに、板１１にはキャピラリ３と同数の穴があり、キャ
ピラリ３の中心軸と板１１の穴の中心軸はほぼ一致する
構造となっている。板１１およびサンプリングオリフィ
ス７はリング状セラミックヒーター１５により１２０℃
程度に加熱され、噴霧ガス流による冷却が防止される。

【００２４】また、板１１にはガス抜き穴１６があり、
サンプリングオリフィス７から真空部に導入されるイオ
ンを含んだガスの溶媒密度を低減する。このことによ
り、イオンがサンプリングオリフィス７から真空部に導
入される際に著しく溶媒和されることが防止される。

【００２５】試料液体の電位を金属製ジョイント５から
接地電位に設定し、オリフィス板１２に−１ｋＶ程度の
電圧を印加すると正イオンが多量に生成される。逆にオ
リフィス板１２に＋１ｋＶ程度の電圧を印加すると負イ
オンが多量に生成される。分析目的の物質の性質に応じ
て、分析イオンの極性を選択することができる。

【００２６】図３に、本発明のさらに別の一実施例に基
づく大気圧化学イオン化法（ＡＰＣＩ）を利用したイオ
ン化部の断面図を示す。ＡＰＣＩでは、先ず液体を噴霧
してエアロゾルに変換する。次に、ガス状分子をコロナ
放電等で生成される一次イオンと衝突させ、気相イオン
分子反応によりガス状分子をイオン化させる。

【００２７】図３に示す実施例における試料液体の噴霧
手段は、図２に示すＳＳＩと類似の構造である。ガス噴
霧により生成される液滴のサイズはガス流速が音速の場
合に最も小さくなる。そのため、ＡＰＣＩにおいても、
噴霧ガス流速は音速以上であることが望ましい。しか
し、ガス流速がマッハ２を超える場合には、断熱膨張に
よるエアロゾルの冷却が著しく、一旦生成された微細液
滴が凝集し、イオン生成効率が低減する。

【００２８】コロナ放電の針電極１７とサンプリングオ
リフィス７との間には、２〜５ｋＶ程度の高電圧が印加
される。針電極１７に正の高電圧が印加される場合に
は、負イオンがサンプリングオリフィス７から真空装置
内に導入され易く、負イオン分析に有利である。逆に負
の高電圧が印加される場合には、正イオン分析に有利で
ある。

【００２９】噴霧ガスは噴霧チャンバ１８内に生成され
る。噴霧チャンバ１８は気密性が高く、噴霧されたガス
は充分に攪拌される。噴霧チャンバ１８の温度が２０℃
程度の場合には、ガス導入口６から導入されるガス流量
が試料溶液の流量の５００００倍以上でないと、湿度が
１００％を超え試料液体の完全な気化は実現しない可能
性がある。例えばガス流量が１Ｌ／分の場合には、試料
液体の流量が２０μＬ／分程度に設定することが望まし
い。試料液体の気化を促進するために、噴霧チャンバ１
８を８０℃から１５０℃程度に加熱することができる。
この場合には、ガス流量を低減することができる。

【００３０】試料液体を音速ガス流により噴霧すると気
体状イオンが生成されるが、極めて揮発性の高い物質は
イオン化されない傾向がある。そのため、揮発性の高い
物質をコロナ放電によりイオン化する。

【００３１】図４に本発明のさらに別の一実施例に基づ
くエレクトロスプレーイオン化法（ＥＳＩ）を利用した
イオン化部の断面図を示す。ＥＳＩではキャピラリ３内
の試料液体とサンプリングオリフィス７との間に４ｋＶ
程度の高電圧を印加し、静電噴霧現象を利用することに
よりイオンや帯電液滴を生成する。静電噴霧現象による
イオン生成では、主に試料液体の電気伝導度や流量、表
面張力に制限される。そのため、試料液体の組成や流量
の範囲が制限される。

【００３２】しかし、図４に示すように、ガス噴霧を併
用することにより、このような制限はかなり緩和され
る。生成される帯電液滴の気化を促進することにより、
イオン生成が促進される。そこで、サンプリングオリフ
ィス７の前にガス流発生用部材１９が設置され、サンプ
リングオリフィス７からキャピラリ３に向ってカウンタ
ーガス流を形成する。このガス流により、帯電液滴の気
化が促進される。

【００３３】さらに、サンプリングオリフィス７から真
空部に導入されるガス流量より多いガス流量でカウンタ
ーガス流を流すことにより、大気中のゴミが真空部に導
入され、真空部が汚染されることを防止することができ
る。

【００３４】図５に、本発明のさらに別の一実施例に基
づくエレクトロスプレーイオン化法（ＥＳＩ）を利用し
たイオン化部の断面図を示す。金属製キャピラリ３は同
軸状に配置され、静電噴霧現象を発生させるための高電
圧は金属製キャピラリ３と金属管２０との間に印加され
る。その結果、図に示すように、イオンを含む噴霧ガス
は軸対称型に形成される。金属管２０（内径１〜５ｍｍ
程度）先端部の側面には、サンプリング穴２１が各々の
噴霧ガスに向って設けられる。

【００３５】イオンは金属管２０を通ってサンプリング
オリフィス７から真空部へ導入（吸引）される。さら
に、金属管２０の入り口の周囲にはリング状の電極２２
が設置され電圧が印加され、静電力によりイオンを金属
管２０に向って収束させる。その結果、大気中で軸対称
型に形成されるイオンを内径０．２ｍｍ程度のサンプリ
ングオリフィス７へ有効に導入することができる。金属
管２０は必ずしも曲げられている必要はないが、直線状
である場合には装置全体のサイズが大型化する。

【００３６】図６に、本発明のさらに別の一実施例に基
づくソニックスプレーイオン化法（ＳＳＩ）を利用した
イオン化部の断面図を示す。図５に示すＥＳＩの実施例
と同様に金属管２０が使用されるが、キャピラリ３から
生成されるイオンを含む噴霧ガス流はキャピラリ３と同
軸状になる。噴霧ガス流はサンプリング穴２１に接触し
ない構造である。リング状電極２２と金属管２０との電
位差がゼロの場合には、イオンはガス流に従って移動す
るため、サンプリング穴２１から金属管２０へ導入され
ない。

【００３７】リング状電極２２の内側に生成される噴霧
ガスにはイオンの他に帯電液滴、中性分子、液滴が含ま
れる。しかし、帯電液滴や中性分子、液滴がサンプリン
グオリフィス７から真空部に導入されると、真空部が汚
染されて感度低減の原因になる。真空部の汚染を防止す
るためには、真空部にイオンだけが導入されるようにす
ることが重要である。

【００３８】そこで、リング状電極２２と金属管２０と
の間に適当な電圧を印加することにより、イオンや帯電
液滴の易動度分離を実現し、イオンのみを金属管２０か
ら真空部へ導入することができる。先述したが、ＳＳＩ
では噴霧ガスの中心軸に沿ってイオンは生成される傾向
にある。そのため、ガス流の断面ではイオンが狭い領域
に主に存在する。そのため、ガス流に垂直な方向に電界
を印加することにより、イオンを一種の易動度分析装置
（モービリティーアナライザー）で易動度分離を行い、
主にイオンのみをサンプリングオリフィス７へ導入する
ことができる。

【００３９】イオンの易動度は５×１０^-5ｍ²／Ｖｓ以
上であり、帯電液滴の易動度はそれ以下であるであるこ
とが知られている。本実施例によれば、易動度の低い帯
電液滴はサンプリング穴２１より下流側で金属管２０に
衝突し再結合（中性化）される。検出イオンの極性と逆
極性に帯電した帯電液滴はリング状電極２２へ移動し、
中性の分子や液滴はガス流に従い下流に移動する。

【００４０】高分解能の易動度分析装置に関する記述は
トレンズ・イン・アナリティカル・ケミストリー誌（Trend
s in Analytical Chemistry）、第１７巻（１９９８
年）第３２８頁から第３３９頁に見られる。イオンの易
動度は５×１０^-5ｍ²／Ｖｓ以上であり、帯電液滴の易
動度はそれ以下であるであることが知られる。イオンと
帯電液滴を易動度の差により分離するために、噴霧ガス
と平行にアシストガスを流して層流を形成することは有
効である。易動度分離においては、リング状電極２１の
端部とサンプリング穴２１との距離やリング状電極２２
の内径、印加電圧などは予め最適化される。また、ガス
導入口から導入されるガスの流量により、印加電圧を変
更することができる。金属管２０は直角に曲がる必要は
ないが、噴霧ガス流がセラミックヒーター１５やサンプ
リングオリフィスなどにより乱されないような構造にす
る必要がある。

【００４１】

【発明の効果】試料液体からイオンと同時に生成される
帯電液滴が真空装置内に導入されることを防止でき、真
空装置内部の汚染による感度低下が防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるＳＳＩを利用した質量
分析装置の要部断面図。

【図２】本発明の一実施例によるＳＳＩを利用した質量
分析装置の要部断面図。

【図３】本発明の一実施例によるＡＰＣＩを利用した質
量分析装置の要部断面図。

【図４】本発明の一実施例によるＥＳＩを利用した質量
分析装置の要部断面図。

【図５】本発明の一実施例によるＥＳＩを利用した質量
分析装置の要部断面図。

【図６】本発明の一実施例によるＳＳＩを利用した質量
分析装置の要部断面図。

【符号の説明】

１…輸送管、２…分岐部、３…キャピラリ、４…オリフ
ィス、５…ジョイント、６…ガス導入口、７…サンプリ
ングオリフィス、８…真空部、９…質量分析計、１０…
検出器、１１…板、１２…オリフィス板、１３…支持
板、１４…イオン化部本体、１５…ヒーター、１６…ガ
ス抜き穴、１７…針電極、１８…噴霧チャンバ、１９…
ガス流発生用部材、２０…金属管、２１…サンプリング
穴、２２…リング状の電極。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者黄敏東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者小泉英明東京都国分寺市東恋ケ窪一丁目280番地株式会社日立製作所中央研究所内Ｆターム(参考） 5C038 EE02 EF04 GG08 GH02 GH05 GH08 GH13 GH15

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】試料液体を輸送管に導入する導入部と、前
記輸送管に導入された試料液体から気体状イオンを生成
するイオン化部と、生成された気体状イオンを質量分離
する質量分離部からなる質量分析装置であり、前記イオ
ン化部において複数のキャピラリと、前記輸送管から導
入された試料液体が前記複数のキャピラリに分配される
分岐部とを具備することを特徴とするマルチキャピラリ
イオン化質量分析装置。
【請求項２】前記キャピラリの断面形状が同一であるこ
とを特徴とする請求項１に記載のマルチキャピラリ質量
分析装置。
【請求項３】前記輸送管の内径が前記キャピラリの内径
よりも大きいことを特徴とする請求項１または２に記載
のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項４】前記キャピラリの末端近傍で周囲から流出
するようガスを導くオリフィスと、前記キャピラリの末
端で前記ガスに流速を与えるためのガス供給部とを具備
することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載
のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項５】前記キャピラリの末端近傍で周囲から流出
するようガスを導くオリフィスと、前記オリフィスにガ
ス圧力を与えるためのガス供給部とを具備することを特
徴とする請求項１から３のいずれかに記載のマルチキャ
ピラリ質量分析装置。
【請求項６】前記分岐部において試料液体の電位が決定
されることを特徴とする請求項４または５に記載のマル
チキャピラリ質量分析装置。
【請求項７】前記キャピラリの末端における前記試料液
体に電圧が印加されることを特徴とする請求項４から６
のいずれかに記載のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項８】前記キャピラリの末端における前記試料液
体に電界が印加されることを特徴とする請求項４から７
のいずれかに記載のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項９】前記オリフィスに電圧が印加されることを
特徴とする請求項４から８のいずれかに記載のマルチキ
ャピラリ質量分析装置。
【請求項１０】前記イオン生成部にコロナ放電プラズマ
を発生させるための電極が設置されることを特徴とする
請求項４から９のいずれかに記載のマルチキャピラリ質
量分析装置。
【請求項１１】前記複数のキャピラリが、大気圧中に生
成されるイオンを真空部に取り込むためのイオン取り込
み口に対して等距離に配置されることを特徴とする請求
項４から１０のいずれかに記載のマルチキャピラリ質量
分析装置。
【請求項１２】前記イオン取り込み口が管状金属から構
成され、前記管状金属の周囲に第２の管状電極が配置さ
れることを特徴とする請求項４から１１のいずれかに記
載のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項１３】前記管状金属と前記第２の管状電極との
間に電圧が印加されることを特徴とする請求項１２に記
載のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項１４】前記キャピラリから噴霧により生成され
るイオンが上記イオンの易動度に従って分離され、特定
の易動度範囲にあるイオンが前記イオン取り込み口から
前記管状金属へ導入されることを特徴とする請求項１２
または１３に記載のマルチキャピラリ質量分析装置。
【請求項１５】液体クロマトグラフィー装置により分離
された液体が、前記輸送管に導入されることを特徴とす
る請求項４から１４のいずれかに記載のマルチキャピラ
リ質量分析装置。
【請求項１６】キャピラリ電気泳動装置により分離され
た液体が、前記輸送管に導入されることを特徴とする請
求項４から１４に記載のマルチキャピラリ質量分析装
置。