JP2000226103A - カセット保管装置 - Google Patents
カセット保管装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 工場の建て屋の階数が増加しても、カセット
保管装置の設置数が増加せず、設備費を低廉にでき、か
つ制御も容易で、作業効率が低下することなく効率的に
使用することができるようにしたカセット保管装置を提
供すること。 【解決手段】 複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶
ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセッ
トＫを立体的に保管する保管棚１０を備えるようにし、
入庫取合口２に位置するカセットＫをカセット保管装置
Ａに取り入れるスライドフォーク付入庫台４及びカセッ
ト保管装置Ａからカセットを出庫取合口３に払い出すス
ライドフォーク付出庫台５を各階に設けるとともに、入
庫台４から、あるいは出庫台へ、カセットＫを移載する
ために複数階の間を昇降する移載機付リフタ７を固定し
て、カセットＫを保管棚１０間で移動するために複数階
の間を昇降する移載機付スタッカクレーン１２を水平移
動可能に、それぞれカセット保管装置Ａの吹抜部Ａ１，
Ａ２に設ける。
保管装置の設置数が増加せず、設備費を低廉にでき、か
つ制御も容易で、作業効率が低下することなく効率的に
使用することができるようにしたカセット保管装置を提
供すること。 【解決手段】 複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶
ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセッ
トＫを立体的に保管する保管棚１０を備えるようにし、
入庫取合口２に位置するカセットＫをカセット保管装置
Ａに取り入れるスライドフォーク付入庫台４及びカセッ
ト保管装置Ａからカセットを出庫取合口３に払い出すス
ライドフォーク付出庫台５を各階に設けるとともに、入
庫台４から、あるいは出庫台へ、カセットＫを移載する
ために複数階の間を昇降する移載機付リフタ７を固定し
て、カセットＫを保管棚１０間で移動するために複数階
の間を昇降する移載機付スタッカクレーン１２を水平移
動可能に、それぞれカセット保管装置Ａの吹抜部Ａ１，
Ａ２に設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カセット保管装置
に関し、特に、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶
ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセッ
トを立体的に一時保管する保管棚を備えたカセット保管
装置に関するものである。
に関し、特に、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶
ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセッ
トを立体的に一時保管する保管棚を備えたカセット保管
装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶や半導体を製造する工場は、
液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを製
造装置間で搬送する際の効率等を考慮して、工場の建て
屋を１階建てとすることが多かった。
液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカセットを製
造装置間で搬送する際の効率等を考慮して、工場の建て
屋を１階建てとすることが多かった。
【０００３】近年、液晶ガラス基板や半導体ウエハが大
形化するに伴って、無人搬送台車が走行する走行路を含
む、製造装置が設置されるクリーンルームの面積が大き
くなり、このため、工場の建て屋を２階建て以上とする
要請が出てきた。
形化するに伴って、無人搬送台車が走行する走行路を含
む、製造装置が設置されるクリーンルームの面積が大き
くなり、このため、工場の建て屋を２階建て以上とする
要請が出てきた。
【０００４】この場合、液晶ガラス基板や半導体ウエハ
を収容したカセットを、各階間で搬送するために、複数
階の間を昇降する移載機付リフタを設けるようにしてい
た。
を収容したカセットを、各階間で搬送するために、複数
階の間を昇降する移載機付リフタを設けるようにしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、液晶や半導
体を製造する工場においては、複数の製造工程を経て液
晶や半導体を製造する関係上、液晶ガラス基板や半導体
ウエハを収容したカセットを一時保管する保管棚を備え
たカセット保管装置を設置する必要があるが、工場の建
て屋を２階建て以上とした場合、カセット保管装置を各
階に個別に設置するようにしていた。
体を製造する工場においては、複数の製造工程を経て液
晶や半導体を製造する関係上、液晶ガラス基板や半導体
ウエハを収容したカセットを一時保管する保管棚を備え
たカセット保管装置を設置する必要があるが、工場の建
て屋を２階建て以上とした場合、カセット保管装置を各
階に個別に設置するようにしていた。
【０００６】このため、工場の建て屋の階数が増加する
に従って、カセット保管装置の設置数が増加し、これに
伴い、スタッカクレーンの台数が増大し、設備費が高く
なるととともに、制御が複雑化するという問題があっ
た。また、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカ
セットを、各階間で搬送する移載機付リフタを、各階に
設置したカセット保管装置とは独立して配設するように
しているため、各階に設置したカセット保管装置を各階
で相互に利用することが困難で、各階で相互に利用する
ようにすると、作業効率が低下するという問題があっ
た。
に従って、カセット保管装置の設置数が増加し、これに
伴い、スタッカクレーンの台数が増大し、設備費が高く
なるととともに、制御が複雑化するという問題があっ
た。また、液晶ガラス基板や半導体ウエハを収容したカ
セットを、各階間で搬送する移載機付リフタを、各階に
設置したカセット保管装置とは独立して配設するように
しているため、各階に設置したカセット保管装置を各階
で相互に利用することが困難で、各階で相互に利用する
ようにすると、作業効率が低下するという問題があっ
た。
【０００７】本発明は、上記従来のカセット保管装置の
有する問題点に鑑み、工場の建て屋の階数が増加して
も、カセット保管装置の設置数が増加せず、設備費を低
廉にでき、かつ制御も容易で、作業効率が低下すること
なく効率的に使用することができるようにしたカセット
保管装置を提供することを目的とする。
有する問題点に鑑み、工場の建て屋の階数が増加して
も、カセット保管装置の設置数が増加せず、設備費を低
廉にでき、かつ制御も容易で、作業効率が低下すること
なく効率的に使用することができるようにしたカセット
保管装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のカセット保管装置は、複数階に亘って設け
られ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容
した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を備
え、前記カセットを無人搬送台車との間で入庫及び出庫
する取合口を形成し、入庫取合口に位置するカセットを
カセット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫
台及びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払
い出すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるととも
に、前記入庫台から、あるいは前記出庫台へ、カセット
を移載するために複数階の間を昇降する移載機付リフタ
を固定して、カセットを保管棚間で移動するために複数
階の間を昇降する移載機付スタッカクレーンを水平移動
可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜部に設けたこ
とを特徴とする。
め、本発明のカセット保管装置は、複数階に亘って設け
られ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを収容
した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を備
え、前記カセットを無人搬送台車との間で入庫及び出庫
する取合口を形成し、入庫取合口に位置するカセットを
カセット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫
台及びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払
い出すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるととも
に、前記入庫台から、あるいは前記出庫台へ、カセット
を移載するために複数階の間を昇降する移載機付リフタ
を固定して、カセットを保管棚間で移動するために複数
階の間を昇降する移載機付スタッカクレーンを水平移動
可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜部に設けたこ
とを特徴とする。
【０００９】このカセット保管装置は、複数階に亘って
設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを
収容した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を
備えるようにし、入庫取合口に位置するカセットをカセ
ット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫台及
びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払い出
すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるとともに、
入庫台から、あるいは出庫台へ、カセットを移載するた
めに複数階の間を昇降する移載機付リフタを固定して、
カセットを保管棚間で移動するために複数階の間を昇降
する移載機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それ
ぞれカセット保管装置の吹抜部に設けるようにしている
ため、工場の建て屋の階数が増加しても、１つのカセッ
ト保管装置を各階で共用することができ、カセット保管
装置の設置数が増加せず、かつ制御も容易で、作業効率
を低下させることなくカセット保管装置を効率的に使用
することができる。
設けられ、複数枚の液晶ガラス基板又は半導体ウエハを
収容した複数個のカセットを立体的に保管する保管棚を
備えるようにし、入庫取合口に位置するカセットをカセ
ット保管装置に取り入れるスライドフォーク付入庫台及
びカセット保管装置からカセットを出庫取合口に払い出
すスライドフォーク付出庫台を各階に設けるとともに、
入庫台から、あるいは出庫台へ、カセットを移載するた
めに複数階の間を昇降する移載機付リフタを固定して、
カセットを保管棚間で移動するために複数階の間を昇降
する移載機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それ
ぞれカセット保管装置の吹抜部に設けるようにしている
ため、工場の建て屋の階数が増加しても、１つのカセッ
ト保管装置を各階で共用することができ、カセット保管
装置の設置数が増加せず、かつ制御も容易で、作業効率
を低下させることなくカセット保管装置を効率的に使用
することができる。
【００１０】この場合において、スタッカクレーンがカ
セットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカ
セット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台と
カセット仮置き台との間でカセットを移載するようにす
ることができる。
セットを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカ
セット仮置き台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台と
カセット仮置き台との間でカセットを移載するようにす
ることができる。
【００１１】これにより、カセットの移載作業を平行し
て行うことができ、作業効率が低下することなくカセッ
ト保管装置を一層効率的に使用することができる。
て行うことができ、作業効率が低下することなくカセッ
ト保管装置を一層効率的に使用することができる。
【００１２】また、所定の階の入庫台及び出庫台を水平
移動可能に配設することにより、該入庫台及び出庫台
を、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、
あるいは払い出す位置に、配置できるようにすることが
できる。
移動可能に配設することにより、該入庫台及び出庫台
を、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、
あるいは払い出す位置に、配置できるようにすることが
できる。
【００１３】これにより、入庫台及び出庫台に、カセッ
トを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカセッ
ト仮置き台の機能を持たせることができ、設備費を低廉
にできる。
トを保管棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカセッ
ト仮置き台の機能を持たせることができ、設備費を低廉
にできる。
【００１４】また、天井階に、他のカセット保管装置と
の間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置する
ことができる。
の間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置する
ことができる。
【００１５】これにより、カセットの搬送能力を向上す
ることができる。
ることができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明のカセット保管装置
の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１〜図４
に、本発明のカセット保管装置の一実施例を示す。
の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１〜図４
に、本発明のカセット保管装置の一実施例を示す。
【００１７】このカセット保管装置Ａは、建て屋を２階
建て以上（本実施例は、天井階３Ｆを含めて３階建てを
示している。）とした液晶や半導体を製造する工場の各
階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆに亘って設けられ、複数枚の液晶ガ
ラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセット
Ｋを立体的に保管する保管棚１０を備え、カセット１０
を、各階に形成した走行路（図示省略）を走行する無人
搬送台車１との間で入庫及び出庫する取合口２，３を形
成し、この入庫取合口２に位置するカセットＫをカセッ
ト保管装置Ａに取り入れるスライドフォーク付入庫台４
及びカセット保管装置ＡからカセットＫを出庫取合口３
に払い出すスライドフォーク付出庫台５を各階１Ｆ，２
Ｆ（本実施例においては、天井階３Ｆを除く。）に設け
るとともに、入庫台４から、あるいは出庫台５へ、ある
いは、後述の天井階３Ｆを走行する天井搬送台車１３に
対して、カセットＫを移載するために複数階１Ｆ，２
Ｆ，３Ｆの間を昇降するスライドフォーク付移載機６を
備えたリフタ７を固定して、また、カセットＫを保管棚
１０間で移動するために複数階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆの間を
昇降するスライドフォーク付移載機１１を備えたスタッ
カクレーン１２を水平移動可能に、それぞれカセット保
管装置Ａの吹抜部Ａ１，Ａ２に設けて構成するようにす
る。
建て以上（本実施例は、天井階３Ｆを含めて３階建てを
示している。）とした液晶や半導体を製造する工場の各
階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆに亘って設けられ、複数枚の液晶ガ
ラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセット
Ｋを立体的に保管する保管棚１０を備え、カセット１０
を、各階に形成した走行路（図示省略）を走行する無人
搬送台車１との間で入庫及び出庫する取合口２，３を形
成し、この入庫取合口２に位置するカセットＫをカセッ
ト保管装置Ａに取り入れるスライドフォーク付入庫台４
及びカセット保管装置ＡからカセットＫを出庫取合口３
に払い出すスライドフォーク付出庫台５を各階１Ｆ，２
Ｆ（本実施例においては、天井階３Ｆを除く。）に設け
るとともに、入庫台４から、あるいは出庫台５へ、ある
いは、後述の天井階３Ｆを走行する天井搬送台車１３に
対して、カセットＫを移載するために複数階１Ｆ，２
Ｆ，３Ｆの間を昇降するスライドフォーク付移載機６を
備えたリフタ７を固定して、また、カセットＫを保管棚
１０間で移動するために複数階１Ｆ，２Ｆ，３Ｆの間を
昇降するスライドフォーク付移載機１１を備えたスタッ
カクレーン１２を水平移動可能に、それぞれカセット保
管装置Ａの吹抜部Ａ１，Ａ２に設けて構成するようにす
る。
【００１８】この場合において、スタッカクレーン１２
がカセットＫを保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出
すカセット仮置き台８，９を所定の階（特に限定される
ものではないが、本実施例においては、最下位の階１
Ｆ。）に設け、入庫台４又は出庫台５とカセット仮置き
台８，９との間でカセットＫを水平に移載することがで
きるようにしている。これにより、カセットＫの移載作
業を平行して行うことができ、作業効率が低下すること
なくカセット保管装置Ａを効率的に使用することができ
るものとなる。なお、カセット仮置き台８，９は、例え
ば、複数の階に設けるようにしたり、入庫側カセット仮
置き台８と出庫側カセット仮置き台９を、異なる階に設
けるようにすることができる。
がカセットＫを保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出
すカセット仮置き台８，９を所定の階（特に限定される
ものではないが、本実施例においては、最下位の階１
Ｆ。）に設け、入庫台４又は出庫台５とカセット仮置き
台８，９との間でカセットＫを水平に移載することがで
きるようにしている。これにより、カセットＫの移載作
業を平行して行うことができ、作業効率が低下すること
なくカセット保管装置Ａを効率的に使用することができ
るものとなる。なお、カセット仮置き台８，９は、例え
ば、複数の階に設けるようにしたり、入庫側カセット仮
置き台８と出庫側カセット仮置き台９を、異なる階に設
けるようにすることができる。
【００１９】ところで、所定の階の入庫台４及び出庫台
５を水平移動可能に配設することにより、この入庫台４
及び出庫台５を、スタッカクレーン１２がカセットＫを
保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出す位置に、配置
できるようにすることができる。これにより、入庫台４
及び出庫台５に、カセットＫを保管棚１０に取り入れ、
あるいは払い出すためのカセット仮置き台８，９の機能
を持たせ、本実施例において設けるようにしたカセット
仮置き台８，９を省略することができ、設備費を低廉に
できる。
５を水平移動可能に配設することにより、この入庫台４
及び出庫台５を、スタッカクレーン１２がカセットＫを
保管棚１０に取り入れ、あるいは払い出す位置に、配置
できるようにすることができる。これにより、入庫台４
及び出庫台５に、カセットＫを保管棚１０に取り入れ、
あるいは払い出すためのカセット仮置き台８，９の機能
を持たせ、本実施例において設けるようにしたカセット
仮置き台８，９を省略することができ、設備費を低廉に
できる。
【００２０】また、本実施例においては、天井階３Ｆ
に、他のカセット保管装置（図示省略）との間でカセッ
トＫを搬送する天井搬送台車１３からなる無人搬送台車
設備を設置することができる。これにより、カセットＫ
の搬送能力を向上することができる。なお、本実施例に
おいては、カセットＫを搬送する無人搬送台車を、２台
の天井搬送台車１３で以て構成し、直線状のレール上を
タクト走行するように構成しているが、ループ状のレー
ル上を循環走行するように構成することもできる。
に、他のカセット保管装置（図示省略）との間でカセッ
トＫを搬送する天井搬送台車１３からなる無人搬送台車
設備を設置することができる。これにより、カセットＫ
の搬送能力を向上することができる。なお、本実施例に
おいては、カセットＫを搬送する無人搬送台車を、２台
の天井搬送台車１３で以て構成し、直線状のレール上を
タクト走行するように構成しているが、ループ状のレー
ル上を循環走行するように構成することもできる。
【００２１】このカセット保管装置Ａは、無人搬送台車
１に積載されたカセットＫを、入庫取合口２においてス
ライドフォーク付入庫台４のスライドフォークにより、
また、天井搬送台車１３に積載されたカセットＫを、移
載機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、
カセット保管装置Ａ内に取り入れるようにする。スライ
ドフォーク付入庫台４に載置されたカセットＫは、移載
機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、移
載機６へ移載された後、リフタ７により所定の階１Ｆに
運ばれ、移載機６のスライドフォークにより、その階１
Ｆのスライドフォーク付入庫台４へ移載される。スライ
ドフォーク付入庫台４へ移載されたカセットＫは、スラ
イドフォーク付入庫台４より入庫側カセット仮置き台８
へスライドすることにより載置され、その後、管理用コ
ンピュータ（図示省略）の指示により、スタッカクレー
ン１２により所定の保管棚１０に運ばれ、一時保管され
る。
１に積載されたカセットＫを、入庫取合口２においてス
ライドフォーク付入庫台４のスライドフォークにより、
また、天井搬送台車１３に積載されたカセットＫを、移
載機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、
カセット保管装置Ａ内に取り入れるようにする。スライ
ドフォーク付入庫台４に載置されたカセットＫは、移載
機付リフタ７の移載機６のスライドフォークにより、移
載機６へ移載された後、リフタ７により所定の階１Ｆに
運ばれ、移載機６のスライドフォークにより、その階１
Ｆのスライドフォーク付入庫台４へ移載される。スライ
ドフォーク付入庫台４へ移載されたカセットＫは、スラ
イドフォーク付入庫台４より入庫側カセット仮置き台８
へスライドすることにより載置され、その後、管理用コ
ンピュータ（図示省略）の指示により、スタッカクレー
ン１２により所定の保管棚１０に運ばれ、一時保管され
る。
【００２２】一方、管理用コンピュータの指示により、
所定の保管棚１０より払い出し指示を受けたカセットＫ
は、スタッカクレーン１２により所定の階１Ｆの出庫側
カセット仮置き台９へ運ばれる。出庫側カセット仮置き
台９に載置されたカセットＫは、スライドフォーク付出
庫台５へスライドすることにより載置され、その後、ス
ライドフォーク付出庫台５のスライドフォークにより出
庫取合口３へ移され、無人搬送台車１により搬出される
か、あるいは、移載機付リフタ７の移載機６のスライド
フォークにより、移載機６へ移載された後、リフタ７に
より所定の階２Ｆに運ばれ、移載機６のスライドフォー
クにより、スライドフォーク付出庫台５に載置され、そ
の後、スライドフォーク付出庫台５のスライドフォーク
により出庫取合口３へ移され、無人搬送台車１により搬
出されるか、あるいは、リフタ７により天井階３Ｆに運
ばれ、移載機６のスライドフォークにより、天井搬送台
車１３に積載され、搬出される。
所定の保管棚１０より払い出し指示を受けたカセットＫ
は、スタッカクレーン１２により所定の階１Ｆの出庫側
カセット仮置き台９へ運ばれる。出庫側カセット仮置き
台９に載置されたカセットＫは、スライドフォーク付出
庫台５へスライドすることにより載置され、その後、ス
ライドフォーク付出庫台５のスライドフォークにより出
庫取合口３へ移され、無人搬送台車１により搬出される
か、あるいは、移載機付リフタ７の移載機６のスライド
フォークにより、移載機６へ移載された後、リフタ７に
より所定の階２Ｆに運ばれ、移載機６のスライドフォー
クにより、スライドフォーク付出庫台５に載置され、そ
の後、スライドフォーク付出庫台５のスライドフォーク
により出庫取合口３へ移され、無人搬送台車１により搬
出されるか、あるいは、リフタ７により天井階３Ｆに運
ばれ、移載機６のスライドフォークにより、天井搬送台
車１３に積載され、搬出される。
【００２３】このカセット保管装置Ａにおいては、所定
の階１Ｆの入庫側カセット仮置き台８、あるいは出庫側
カセット仮置き台９を介してスタッカクレーン１２がカ
セットＫを入出庫するようにしているので、移載機付リ
フタ７の移載機６が、スライドフォーク付入庫台４、あ
るいはスライドフォーク付出庫台５で移載作業中であっ
ても、入出庫が可能となり、移載機付スタッカクレーン
１２の入出庫能力の向上を図ることができる。
の階１Ｆの入庫側カセット仮置き台８、あるいは出庫側
カセット仮置き台９を介してスタッカクレーン１２がカ
セットＫを入出庫するようにしているので、移載機付リ
フタ７の移載機６が、スライドフォーク付入庫台４、あ
るいはスライドフォーク付出庫台５で移載作業中であっ
ても、入出庫が可能となり、移載機付スタッカクレーン
１２の入出庫能力の向上を図ることができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明の保管装置によれば、カセット保
管装置は、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラ
ス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを
立体的に保管する保管棚を備えるようにし、入庫取合口
に位置するカセットをカセット保管装置に取り入れるス
ライドフォーク付入庫台及びカセット保管装置からカセ
ットを出庫取合口に払い出すスライドフォーク付出庫台
を各階に設けるとともに、入庫台から、あるいは出庫台
へ、カセットを移載するために複数階の間を昇降する移
載機付リフタを固定して、カセットを保管棚間で移動す
るために複数階の間を昇降する移載機付スタッカクレー
ンを水平移動可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜
部に設けるようにしているため、工場の建て屋の階数が
増加しても、１つのカセット保管装置を各階で共用する
ことができ、カセット保管装置の設置数が増加せず、設
備費を低廉にでき、かつ制御も容易で、作業効率を低下
させることなくカセット保管装置を効率的に使用するこ
とができる。
管装置は、複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶ガラ
ス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセットを
立体的に保管する保管棚を備えるようにし、入庫取合口
に位置するカセットをカセット保管装置に取り入れるス
ライドフォーク付入庫台及びカセット保管装置からカセ
ットを出庫取合口に払い出すスライドフォーク付出庫台
を各階に設けるとともに、入庫台から、あるいは出庫台
へ、カセットを移載するために複数階の間を昇降する移
載機付リフタを固定して、カセットを保管棚間で移動す
るために複数階の間を昇降する移載機付スタッカクレー
ンを水平移動可能に、それぞれカセット保管装置の吹抜
部に設けるようにしているため、工場の建て屋の階数が
増加しても、１つのカセット保管装置を各階で共用する
ことができ、カセット保管装置の設置数が増加せず、設
備費を低廉にでき、かつ制御も容易で、作業効率を低下
させることなくカセット保管装置を効率的に使用するこ
とができる。
【００２５】また、スタッカクレーンがカセットを保管
棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き
台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置
き台との間でカセットを移載するようにすることによ
り、カセットの移載作業を平行して行うことができ、作
業効率が低下することなくカセット保管装置を一層効率
的に使用することができる。
棚に取り入れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き
台を所定の階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置
き台との間でカセットを移載するようにすることによ
り、カセットの移載作業を平行して行うことができ、作
業効率が低下することなくカセット保管装置を一層効率
的に使用することができる。
【００２６】また、所定の階の入庫台及び出庫台を水平
移動可能に配設することにより、該入庫台及び出庫台
を、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、
あるいは払い出す位置に、配置できるようにすることに
より、入庫台及び出庫台に、カセットを保管棚に取り入
れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き台の機能を
持たせることができ、設備費を低廉にできる。
移動可能に配設することにより、該入庫台及び出庫台
を、スタッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、
あるいは払い出す位置に、配置できるようにすることに
より、入庫台及び出庫台に、カセットを保管棚に取り入
れ、あるいは払い出すためのカセット仮置き台の機能を
持たせることができ、設備費を低廉にできる。
【００２７】また、天井階に、他のカセット保管装置と
の間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置する
ことにより、カセットの搬送能力を向上することができ
る。
の間でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置する
ことにより、カセットの搬送能力を向上することができ
る。
【図１】本発明のカセット保管装置の一実施例を示す正
面図である。
面図である。
【図２】同平面図である。
【図３】同側面図（図１のＩ−Ｉ線断面図）である。
【図４】同要部を示し、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は天井
階に設置した無人搬送台車設備を示す説明図（（Ａ）の
ＩＩ−ＩＩ線断面図）である。
階に設置した無人搬送台車設備を示す説明図（（Ａ）の
ＩＩ−ＩＩ線断面図）である。
Ｋ カセット Ａ カセット保管装置 Ａ１，Ａ２ 吹抜部 １ 無人搬送台車 ２ 入庫取合口 ３ 出庫取合口 ４ スライドフォーク付入庫台 ５ スライドフォーク付出庫台 ６ 移載機 ７ 移載機付リフタ ８ 入庫側カセット仮置き台 ９ 出庫側カセット仮置き台 １０ 保管棚 １１ 移載機 １２ 移載機付スタッカクレーン １３ 天井搬送台車 １４ 手動入庫取合口 １５ 手動出庫取合口
フロントページの続き (72)発明者 堀本 貞次 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 (72)発明者 松本 博行 兵庫県尼崎市下坂部３丁目11番１号 日立 機電工業株式会社内 Ｆターム(参考） 3F022 EE05 FF01 HH02 JJ07 KK01 LL07 MM02 MM11
Claims (4)
- 【請求項１】 複数階に亘って設けられ、複数枚の液晶
ガラス基板又は半導体ウエハを収容した複数個のカセッ
トを立体的に保管する保管棚を備え、前記カセットを無
人搬送台車との間で入庫及び出庫する取合口を形成し、
入庫取合口に位置するカセットをカセット保管装置に取
り入れるスライドフォーク付入庫台及びカセット保管装
置からカセットを出庫取合口に払い出すスライドフォー
ク付出庫台を各階に設けるとともに、前記入庫台から、
あるいは前記出庫台へ、カセットを移載するために複数
階の間を昇降する移載機付リフタを固定して、カセット
を保管棚間で移動するために複数階の間を昇降する移載
機付スタッカクレーンを水平移動可能に、それぞれカセ
ット保管装置の吹抜部に設けたことを特徴とするカセッ
ト保管装置。 - 【請求項２】 スタッカクレーンがカセットを保管棚に
取り入れ、あるいは払い出すカセット仮置き台を所定の
階に設け、入庫台又は出庫台とカセット仮置き台との間
でカセットを移載するようにしたことを特徴とする請求
項１記載のカセット保管装置。 - 【請求項３】 所定の階の入庫台及び出庫台を水平移動
可能に配設することにより、該入庫台及び出庫台を、ス
タッカクレーンがカセットを保管棚に取り入れ、あるい
は払い出す位置に、配置できるようにしたことを特徴と
する請求項１記載のカセット保管装置。 - 【請求項４】 天井階に、他のカセット保管装置との間
でカセットを搬送する無人搬送台車設備を設置したこと
を特徴とする請求項１、２又は３記載のカセット保管装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02801499A JP4030672B2 (ja) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | カセット保管装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02801499A JP4030672B2 (ja) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | カセット保管装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000226103A true JP2000226103A (ja) | 2000-08-15 |
| JP4030672B2 JP4030672B2 (ja) | 2008-01-09 |
Family
ID=12236924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02801499A Expired - Fee Related JP4030672B2 (ja) | 1999-02-05 | 1999-02-05 | カセット保管装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4030672B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022089887A (ja) * | 2017-09-25 | 2022-06-16 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 材料補給支援装置および材料補給支援方法 |
-
1999
- 1999-02-05 JP JP02801499A patent/JP4030672B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2022089887A (ja) * | 2017-09-25 | 2022-06-16 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 材料補給支援装置および材料補給支援方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4030672B2 (ja) | 2008-01-09 |
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