JP2000222845A - 偏揺れ修正を備えた磁気ヘッド及びディスクテスタ― - Google Patents

偏揺れ修正を備えた磁気ヘッド及びディスクテスタ―

Info

Publication number
JP2000222845A
JP2000222845A JP2000021449A JP2000021449A JP2000222845A JP 2000222845 A JP2000222845 A JP 2000222845A JP 2000021449 A JP2000021449 A JP 2000021449A JP 2000021449 A JP2000021449 A JP 2000021449A JP 2000222845 A JP2000222845 A JP 2000222845A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
disk
head
deformable body
magnetic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000021449A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000222845A5 (ja
Inventor
Nahum Guzik
ネイハム・ガジック
Kirisshi Sem
セム・キリッシ
Bokuhitain Elia
イーリアー・ボクヒタイン
Karaasuran Ufuku
ウフク・カラースラン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guzik Technical Enterprises Inc
Original Assignee
Guzik Technical Enterprises Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guzik Technical Enterprises Inc filed Critical Guzik Technical Enterprises Inc
Publication of JP2000222845A publication Critical patent/JP2000222845A/ja
Publication of JP2000222845A5 publication Critical patent/JP2000222845A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/4806Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed specially adapted for disk drive assemblies, e.g. assembly prior to operation, hard or flexible disk drives
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/54Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head into or out of its operative position or across tracks
    • G11B5/55Track change, selection or acquisition by displacement of the head
    • G11B5/5521Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
    • G11B5/5552Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks using fine positioning means for track acquisition separate from the coarse (e.g. track changing) positioning means
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/48Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
    • G11B5/56Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head support for the purpose of adjusting the position of the head relative to the record carrier, e.g. manual adjustment for azimuth correction or track centering
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/455Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads

Landscapes

  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 磁気ヘッド及びディスクテスターにおいて、
磁気ヘッドを所定の位置に位置付けるときに発生する偏
揺れ(yaw)及びそれによる振動を修正、減少させる。 【解決手段】 磁気ヘッド及びディスクテスターは、ヘ
ッドまたはディスクまたは両者のテストを行うために、
回転できるように取付けられた磁器ディスクに対して選
択的に位置付けられる磁気ヘッドを含む。磁気ヘッド
は、電気機械的制御下にある可動台に固定され、そこに
おいて、可動台の移動は、対応するヘッドの移動を引き
起こすとともに、いくらかの、可動台の偏揺れ(yaw)
を引き起こす。可動台の左側部及び右側部の直線上の位
置の測定値が検出、測定され、そして制御システムにフ
ィードバックされる。制御システムは、望まれた指令位
置と可動台の各側部の実際の位置との違いに応答し、ア
クチュエーターが、違い(及び、それにより、偏揺れ)
が実質的に取り除かれるまで、可動台の各側部の位置を
調整することを引き起こす。さらに、位置付け動作の
間、偏揺れ方向の振動が減少され、それは対応する磁気
ヘッドの修正時間を減少させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、本出願人により本
発明と同日に(米国に)出願された米国出願番号No.09/
241,512「Magnetic Head and Disk Tester with Pitch
Correction」と関連している。
【0002】本発明は磁気ヘッド及びディスクテスター
に、さらに詳細には、磁気ヘッドの対応するディスクに
対しての位置付けに対して改善された正確さを持ったテ
スターに関する。
【0003】磁気ヘッド及びディスクテスターは、SN
比、パルス幅等の、磁気ヘッド及びディスクの特徴のテ
ストのために使用される装置である。各テスターは2つ
の主要な組立品、すなわち、ディスクに対するヘッドの
動きを操る電気機械組立品と、測定、計算、及び測定デ
ータの解析を行う電子式組立品とを含む。テスターの電
気機械組立品は「スピンスタンド(spinstand)」とし
て知られている。スピンスタンドは一般に、例えばハー
ドディスクドライブ等で起こる、ディスクに対するヘッ
ドの動きをシミュレートする。テスターの電子式測定部
分の正確さがどの程度であろうと、測定の結果は、スピ
ンスタンドによって与えられる正確な位置付けにも依存
する。
【0004】
【従来の技術】図1に従来技術のヘッド及びディスクテ
スターの典型的なスピンスタンド5の上からの概略図が
示され、これは1997年3月7日に出願された米国特
許出願番号No.08/813,345にて説明されている。スピン
スタンド5は、システム及びヘッド12とテストされる
ディスク10の位置付けを維持する静止した基盤部材3
0を含む。好まれるものとして、ディスク10は、スピ
ンドル軸に対するディスク10の回転が水平面に対し垂
直になるように保持される。スピンスタンド5は、ヘッ
ド12のディスク10に対する制御された動きを成し遂
げるために、連続した大まかな位置付けシステムと細か
い位置付けシステムを含む。大まかな位置付けシステム
は、ヘッド12が磁気ディスク10に対して望まれた位
置に近づくように位置付けをする。図示された形式で
は、大まかな位置付けシステムは、基盤30に固定され
たステップモーター28を含む。ステップモーター28
は、軸受24内で回転し、ナット34に噛み合う親ネジ
32を回転方向に駆動する。ナット34はスライド18
に固く固定され、それにより、親ネジ32の回転動作
は、スライド18のガイド(図示せず)に沿った、並進
軸X(または、X軸)に沿った線上の動きを引き起こ
す。
【0005】スピンスタンド5の細かい位置付けシステ
ムはスライド18上に取付けられ、ヘッド12に比較的
細かい位置の変化を引き起こす。図示された形式では、
細かい位置付けシステムは、スライド18に固く取付け
られた停止具36と、やはりスライド18に取付けられ
た(X軸方向に)変形可能な部品16との間に配置され
たピエゾアクチュエーター(piezo actuator)26を含
む。2つのボルト22aと22bは停止具36の開口を
通して変形可能体(または、変形可能部品)16の中に
ねじ込まれる。ピエゾアクチュエーター26は、ボルト
22a、22bのヘッドと停止具36との間で押し縮め
られているバネ20a、20bにより、予め負荷がかけ
られている。変形可能体16は、その基盤で、スライド
18に固く結合している。(変形可能な)部品16の上
部は、ピエゾアクチュエーター26に応答して移動可能
であり、ヘッド12を支えている支持アーム14を支え
ている。アーム14はシャフト25により連接板(また
は、連接棒)16aに連結されている。(変形可能な)
部品16は、大まかな位置付けシステムによる大きな移
動への付加で、ヘッド12に(基盤30に保持されてい
るディスク10を基準に)線上の小さな(例えば、0.
025mm程度の)移動を与えるために、ピエゾアクチ
ュエーター26の延び縮みに敏感なパラレルリンクメカ
ニズム(parallel-link mechanism)として機能する。
【0006】図2は、図1のシステムの変形可能体16
の典型的な形式の側面図を示す。この形式で、変形可能
体16は、平行に配置され、側部の2つの固い連接板1
6c及び16dによって連結した、上部と下部の固い連
接板16a及び16bから成る平行四辺形構成の変形可
能体である。そこにおいて、実質的に平行四辺形の結合
性の構成を保ちながら、部材の角度の変形を可能にする
ために、連接板の組の交差部に屈曲部がある。この構成
により、ピエゾ部材26は、図示されているように、最
上部または変形可能体16の上部の連接板16aを、ス
ライド18(及び基盤30)に対して(図の)x方向に
動かし、それにより、テストされる磁気ヘッド12はそ
の移動の範囲で、実質的に同じ高さに保たれる。
【0007】図1に示されるように、変形可能体16の
連接板16aの動きは光学直線エンコーダー38a、3
8bにより測定される。光学直線エンコーダー38は、
変形可能体16の上部の連接板16aに固く取付けられ
た可動部分38a(すなわち、グラススケール(glass
scale))と、基盤30に固定された静止部分38b
(光学検出器)から成る。光学検出器38bによって生
成された信号は、変形可能体の上部の連接板16aの基
盤30に対する動きに対応する。信号は、ステップモー
ター28と(変形可能体16及び)ピエゾアクチュエー
ター26によって確立された直線上の移動の合計に対応
する。
【0008】このように、磁気ディスク10に対するヘ
ッド12の直線上の位置の高い正確さを達成するため
に、位置決め処理は、大まかなものと、細かなものの2
つの段階に分けられる。大まかな位置決めは、部分的
に、ステップモーター28による親ネジ32の回転によ
り与えられる。親ネジ32の回転はナット34によって
直線の動きに変換される。大まかな位置決めが完了した
あと、外部の電源(図示せず)からピエゾアクチュエー
ター26に電圧を印加することにより、細かな位置決め
が達成される。従来技術で知られているように、電圧の
効果の下、アクチュエーター26は、印加された電圧の
レベルに比例して、その直線上の寸法を変化させる。結
果として、上部の連接板はアーム14及び磁気ヘッド1
2と共に、磁気ディスク10に対しX方向にシフトす
る。磁気ヘッド12の移動は光学直線エンコーダー38
により測定され、従来技術で知られている方法で、移動
量を制御するためにフィードバック回路(図示せず)に
送られる。
【0009】テスト中、変形可能体16の上部の連接板
16aが、アーム14をそれに取付けられている磁気ヘ
ッド12と共に動かすとき、光学直線エンコーダー38
が、磁気ヘッド12の位置を決めるために使用される。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】従来技術において、光
学直線エンコーダーにより測定された移動は磁気ヘッド
12の移動と実質的に同じであると考えられてきた。し
かしながら、実際は、変形可能体16の上部の連接板1
6aは動作中に偏揺れ(yaw)(すなわち、見込まれる
動きの、基準(水平)面に垂直な軸の周りの回転移動)
を起こす。偏揺れは、変形可能体16の弱くされた部分
(すなわち、屈曲部)の異なった(非対称性の)固さ
や、バネ20a及び20bの異なった強さによって起き
得る。図3は、平行四辺形構成の変形可能体16が、点
Oの周りに矢印Aの方向に回転したときの効果を示して
いる。示されているように、ヘッド12は、元の点Pか
ら点Qへ動く。動きは、X方向のシフトX1と、Y方向
のシフトY1に相当する。光学直線エンコーダー38
a、38bは、この特定のケースの場合、X方向の動き
だけを検出し、それはX2の動きを検出し、X1には等し
くない。差異X1−X2とY1は、通常の従来技術のフィ
ードバック回路では検出することができない。それゆ
え、図1及び2に示されている従来技術のスピンスタン
ド5は、位置決めの非常に高い正確さを達成することが
できない。
【0011】この正確さの問題は、Guzik Technical En
terprises(San Jose,CA)により開発、製造されてい
る、Model 1701と呼ばれる、従来技術のディスク及びヘ
ッドテスターでいくらか解決される。このテスターは、
細かい動きを行う、高精度微細位置決めメカニズムを使
用する。このメカニズムはとても効果的に機能し、いく
つかの応用に対し有利であるが、例えば、図1、2、及
び3のテスターに比べ、たくさんの相互作用部品を必要
とするので、製造が高価である。
【0012】図1、2、及び3に示されている従来技術
のスピンスタンドのもう1つの欠点は、ピエゾアクチュ
エーター26がその長さを変化させたとき、平行四辺形
構成の変形可能体16、アーム14、及びヘッド12が
矢印Aの方向に振動(または、発振)しやすいというこ
とである。このことの理由は、変形可能体16、アーム
14、及び磁気ヘッド12から成る組合せの重心がピエ
ゾアクチュエーター26の縦軸上にないということであ
る。結果として、この構成は、磁気ヘッド12の修正時
間(磁気ヘッド12をひとつの点から他の点に動かすた
めに必要な時間)を増大させる。
【0013】したがって、比較的少ない部品で、偏揺れ
を補正することにより磁気ヘッドの磁気ディスク上の位
置決めの高い正確さを確実にする、磁気ヘッド及びディ
スクテスターを与えることが本発明の目的である。本発
明のもう1つの目的は、ヘッド及びディスクテスターの
修正時間を減らすことである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は、独立した閉ル
ープ制御システムに接続された2つのピエゾアクチュエ
ーター及び光学直線エンコーダーを使用することを特徴
とする。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明に従うと、磁気ヘッド及び
ディスクテスターは、第1平面(または、ディスク平
面)に磁気ディスクを回転できるように保持するための
組立品、X軸方向に動く2つの段階の位置決めシステム
と、実質的にディスク平面に平行な第2平面(または、
並進平面)内の、磁気ディスクに対しての磁気ヘッドか
ら成る。位置決めシステムの第1段階は、磁気ヘッドを
磁気ディスクに対して予め決められた制御位置付近に配
置する大まかな位置決め装置である。好まれる実施例で
は、大まかな位置決めは、位置決めシステムの第2段階
を収容している可動台の直線の動きを起こさせるステッ
プモーターによって、並進X軸に沿って回転させられる
親ネジを含む。位置決めシステムの第2段階は、好まれ
るものとして、4つの屈曲連結の平面連接板を持った平
行四辺形構成の変形可能体の形態である、可動台上の変
形可能体から成る。好まれる形式では、変形可能体は、
磁気ヘッドを支える上部の連接板とスライドに固く結合
される下部の連接板を持つ。上部の連接板は、並進面に
対し実質的に平行な面を移動可能である。X軸を横切っ
て、並進面上に間隔を開けておかれた一組のピエゾアク
チュエーターは、基準上の並進面に対し垂直な軸の周り
の連接板の向きの調節を制御するために、上部の連接板
と可動台との間に連結される。好まれるものとして、上
部の連接板は、前部部材の後ろで上部部材のすぐ前に配
置された2つのピエゾアクチュエーターによって、可動
台に対しX軸の方向に独立に動くことができる左側部と
右側部を含む。変形可能体の上部の連接板の左側部と右
側部の両方は、各々に1つずつある別々の光学直線エン
コーダーで測定される。測定結果は、2つの別々のフィ
ードバックループを持った閉ループ位置付けシステムに
入力され、各々(のループ)はピエゾアクチュエーター
の1つを制御する。2つのピエゾアクチュエーターを使
用することにより、変形可能体及び磁気ヘッドのいかな
る偏揺れ(yaw)も取り除かれ、それは、磁気ヘッドの
磁気ディスクに対する位置付けの正確さをかなり増大さ
せる。さらに、位置決め動作中の偏揺れ方向(yaw dire
ction)の振動は細かな位置決め装置により減衰され、
それは、本発明のテスターの修正時間(磁気ヘッド12
をひとつの点から他の点に動かすために必要な時間)を
減少させる。
【0016】本発明の前述及び他の目的、多様な特徴
は、発明そのものと同様に、付随の図面と共に、以下に
続く詳細な説明を読むことにより、さらに十分に理解さ
れるだろう。
【0017】
【実施例】本発明に従った磁気ヘッド及びディスクテス
ターの好まれる実施例のスピンスタンド100を上から
見た構成が図4に示されている。本発明の偏揺れ修正
(yaw correction)組立品を含む点を除けば、スピンス
タンド100は図1のスピンスタンド5と同様である。
図4で、図1の部材と一致するものは同じ参照番号で識
別される。磁気ディスク10は、(垂直軸の周りに)回
転できるように、スピンスタンド100の基盤60の第
一(または、ディスク)平面に保持される。テストを可
能にするために、磁気ヘッド12はディスク10に対し
て位置付けられる。図1の従来技術のテスターと同様
に、スピンスタンド100は、ヘッド12を選択的に並
進軸またはX軸に沿って位置付けするために、大まかな
位置決めと細かな位置決めを持った2つの段階の位置決
めシステムを含む。大まかな位置決め装置は、親ネジを
回転させて動かすステップモーター28を保持する基盤
30を含む。ステップモーター28は、例えば、Portes
cap U.S.,Inc.,(Hauppauge,NY, USA)により生産され
るモデルESCAP P850-508-Cステップモーター等の、標準
的な商業上入手可能なモジュールである。親ネジ32
は、軸受24の中で回転し、可動台18に固く固定され
たナット34と噛み合い、それにより、親ネジ32の回
転動作を可動台18のX方向の直線の動作に変換するこ
とに適合する。可動台18は基盤30に対してガイド
(図示せず)に沿って、かつX軸に沿って動く。
【0018】細かな位置決め装置は、図1の具体例のよ
うに、可動台18に取付けられた、4つの連接板による
平行四辺形の変形可能体を含む。また、その具体例のよ
うに、磁気ヘッド12が垂直カプラー25により変形可
能体の上部の連接板に付けられた水平方向のアーム14
に取付けられる。大まかな位置決め装置は細かな位置決
め装置を移動させ、それにより、磁気ヘッド12が、磁
気ディスク10に対し予め決められた指令位置の近くに
位置付けられ、そこでさらに、細かな位置決め装置が、
大まかな位置決め装置により確立された位置に小さな変
化をもたらす。細かな位置決め装置は、変形可能体の上
部の連接板(及び磁気ヘッド12)に起こる偏揺れを修
正するための修正メカニズムを含む。
【0019】本発明の好まれる実施例の細かな位置決め
装置は、可動台18に固く取付けられた停止具36と、
変形可能体16の上部の連接板16aとの間に位置する
2つのピエゾアクチュエーター56a及び56bを含
む。ピエゾアクチュエーター56a及び56bは、(X
軸の周りに)互いに左右にオフセットを持ち(離れてお
り)、それゆえ、各々が、連接板16aの異なった側の
移動を生じさせ、偏揺れ(yaw)を相殺することができ
る。変形可能体16は、ピエゾアクチュエーター56a
及び56bの拡張及び縮小に敏感であり、それにより、
偏揺れを修正しながら、磁気ヘッドの細かな位置決めを
達成する。
【0020】示されているように、ピエゾアクチュエー
ター56a及び56bは、変形可能体16の上部の連接
板の2つの端(すなわち、左と右)の付近に、アクチュ
エーターにより加えられる力の向きがX軸と平行になる
ように、X軸に沿って置かれる。ボルト52は、停止具
36の開口を通して変形可能体16の中心にねじ込まれ
る。ピエゾアクチュエーター56a及び56bは、ボル
ト52のヘッドと、可動台18に固く取付けられた停止
具との間に押し込まれているバネ50により、予め負荷
が与えられている。好まれる実施例では、ピエゾアクチ
ュエーター56a及び56bは、それぞれの入力に印加
された電圧への応答で、それらの直線上の寸法を変化さ
せる標準的な圧電性の装置である。商業上入手可能なピ
エゾアクチュエーターの例は、Physit Instrumente (P
I) GMbH, Waldbronn, Germanyによって製造されてい
る、デバイスP-844.20である。
【0021】図5に示されているように、変形可能体1
6の好まれる形式は、アーム14を支える上部の連接板
16a及び、可動台18に固定された下部の連接板16
bを持った、4つの連接板(16a、16b、16c、
及び16d)の平行四辺形構成の変形可能体16であ
る。平行四辺形構成の頂点の屈曲は、平行四辺形の構成
の結合性を保ったまま、隣接した連接板の変形を可能に
する。上部の部材16aは、独立に拡張及び縮小するピ
エゾアクチュエーター56a及び56bを使用して、X
方向に直線上に移動可能であり、また、選択的に並進面
に垂直な軸の周りを回転することができる。連接板16
aの選択的な回転は、偏揺れを修正することができるメ
カニズムを与える。変形可能体16はまた、変形可能体
16を可動台18に固く取付ける下部の部材16bを含
む。ピエゾアクチュエーター56a及び56bの移動は
程度が小さく、変形可能体16は平行四辺形構成である
ので、上部の連接板16aは、その移動の範囲の間、並
進平面に実質的平行な平面に保たれる。したがって、磁
気ヘッド12は、その移動の範囲を通して、それの平面
に保たれる。
【0022】図4をもう一度参照すると、好まれる実施
例においては、変形可能体16のX軸に沿った直線上の
移動は、2つの光学直線エンコーダー68a、68b、
70a、及び70bによって測定される。これらのエン
コーダーは、変形可能体の連接板16aの左側部72及
び右側部74に、それぞれ固定された可動部分68a及
び70aと、基盤30に固定された静止部分68b及び
70bから成る。可動部分68a及び68bはグラスス
ケール(glass scale)であり、静止部分68b及び7
0bは光学検出器である。光学検出器68b及び70b
により生成された信号は、それぞれ、変形可能体16の
上部の連接板の左側部72及び右側部74の直線上の位
置に対応する。したがって、上部の連接板の左側部及び
右側部の直線上の動きを示す独立な信号が生成される。
光学直線エンコーダー68a、68b及び、70a、7
0bは、Heidenhaim Corporation, Schaumburg, ILによ
り製造されるエンコーダーLIP401R等の、標準的な装置
である。この分野の技術者は、本発明の代替的な実施例
においては、上部の連接板の右及び左側部の直線上の移
動を測定するために、磁気的、電気的、または機械的な
エンコーダー及び類似の装置、またはそれらの組合せ等
の、他のタイプの装置を使用することができることを認
識するだろう。
【0023】位置決め処理は、磁気ヘッド12の磁気デ
ィスク10に対する直線上の高い正確さを達成するため
に、大まか及び細かい位置決めの2つの段階に分けられ
る。大まかな位置は、ステップモーター28により、そ
れが親ネジ22を回転させ、磁気ヘッドを磁気ディスク
の近くにゆっくりと位置付けることにより成し遂げられ
る。親ネジ22のナット34内の回転は、大まかな位置
決めを成し遂げるために可動台18の直線上の動きに変
換される。大まかな位置決めの完了のあと、制御電圧を
ピエゾアクチュエーター56a及び56bに印加するこ
とにより細かな位置決めが達成される。これらの制御電
圧は図6に示される閉ループ制御システムにより生成さ
れる。閉ループ制御システム80は、制御器92により
制御される、2つの同一の部分A及びBを含む。各部分
A及びBは、2つの加算器82a、88a、または82
b、86b、積分器84a、84b、微分器86a、8
6b、フィルター90a、90b、及び、増幅器91a
または91bを備える。制御器92は、閉ループ制御シ
ステム80の両方の部分A及びBに、予め決められた同
じ指令位置X0を指示する。一度、上部の連接板16a
の左及び右側部が指示位置に従って位置されれば、上部
の部材に事前に起きた、いかなる偏揺れも実質的に排除
される。
【0024】閉ループ制御システム80の部分Aは、左
の光学直線エンコーダー68a、68bから、上部の左
側部の直線上の移動または位置を示す信号を受信する。
左の光学検出器の左のグラススケールに対する位置が、
加算器82aで、指令位置X 0と比較される。加算器8
2aは指令位置と検出位置との差分を計算し、「左位置
決め誤差」として参照する。この左位置決め誤差は積分
器84aにより積分され、微分器86aで微分される。
加算器88aは、位置決め誤差の重みつき合計、それの
積分、及びそれの導関数(derivative)を計算する。加
算器88aの出力信号は、フィルター90a(例えば、
ローパスフィルター)によりフィルターを通され、左の
ピエゾアクチュエーター56aを駆動する増幅器91a
により増幅される。結果として、ピエゾアクチュエータ
ー56aは、変形可能体16の上部の連接板の左側部を
位置決め誤差の反対方向(すなわち、指令位置X0
向)へ動かす。
【0025】閉ループ制御システム80の部分Bは、右
の光学直線エンコーダー70a、70bから、位置決め
情報を得る。部分Aに関連して上述したものと同様な方
法で、部分Bは、2つの加算器82b及び88b、積分
器84b、フィルター90b、及び増幅器91aを使用
して、右のピエゾアクチュエーター56bのための制御
信号を生成する。この制御信号は、指令位置X0と、右
のグラススケール70aに対する右の光学検出器70b
の検出位置との間の差分の関数である。結果として、ピ
エゾアクチュエーター58aは、変形可能体16の上部
の連接板16aの右の側部74を、(右の側部のため
の)位置決め誤差と反対の方向(すなわち、指令位置X
0の方向)へ動かす。
【0026】
【発明の効果】上述の閉ループ位置決めの結果として、
変形可能体16の連接板16aの左側部72及び右側部
74は、すべての動きの終了時に、X軸に沿った、実質
的に同じ位置(すなわちX0)にある。したがって、シ
ャフト25の軸と磁気ヘッド12を通過する水平の軸
と、直線上の水平の動きのX軸との間の(図4の)角度
αは、全ての動きの終了時(ヘッドのテスとが実行され
る時)に同じ状態が保たれる。それゆえ、偏揺れ(ya
w)に関連した位置決めの誤差は排除される。
【0027】本発明のテストのもう1つの有利な点は、
位置決めの処理中に、細かな位置決め装置が積極的に、
変形可能体16、アーム14、及び磁気ヘッド12の偏
揺れ方向(yaw direction)の振動を減衰することであ
る。そこにおいて、アクチュエーター56a及び56b
は反復的に偏揺れ(yaw)を調整し、それにより、振動
を制御する。テスターの動的な特徴の改善は、短い修正
時間の結果となり、それはより効果的でより効率的なテ
ストに対応する。
【0028】もう1つの実施例では、ピエゾアクチュエ
ーターと同じ側の光学直線エンコーダーだけのフィード
バックの代わりに、左及び右の両方の光学直線エンコー
ダー68a、68b、及び70a、70bからのフィー
ドバックを各々の2つのピエゾアクチュエーターを制御
するために使用できる。例えば、重みつき合計a11 L
+a12R及びa21L+a22Rを加算器82a及び8
2bの入力として使用できる。ここで、XL及びXRは変
形可能体16の上部の連接板の左の側部72及び右の側
部74の検出された位置であり、a11、a12、a21、及
びa22はエンコーダーのピエゾアクチュエーターに対す
る調整に関係した重みつけ係数である。上述の好まれる
実施例は、この方程式で、a11=a22=1かつa12=a
21=0としたときの特殊なケースである。重みつけ係数
12、a21の0でない値は、例えば、アクチュエーター
が変形可能体16の右または左側に置かれた場合やそれ
らの組合せの場合等の、ピエゾアクチュエーター56a
及び56bの軸が光学直線エンコーダー68a、68
b、及び70a、70bの軸と一致しない場合に、テス
ターの動的な特性を改善することができる。また、本発
明は他の型のアクチュエーターと共に使用することもで
きる。
【0029】本発明は、それの意図または主要部分から
外れることなく、他の特定の形式でも実施することがで
きるだろう。例えば、複数の磁気ヘッドを持ったヘッド
スタック(head stack)及びディスクパック(disk pac
k)が、1つの磁気ヘッド及び1つの磁気ディスクの代
わりに使用されることもできるだろう。さらに、少なく
とも1つの段階が細かな位置決めを実施可能であれば、
2つの段階の位置決めシステムではなく、1つだけ、あ
るいは、3つ以上の段階の位置決めシステムが実施され
てもよいだろう。例として、大まかな位置決めは、(ネ
ジ駆動式ではなく)ベルト駆動式の位置決め等の、多様
な形態をとることができるだろうし、細かな位置決め装
置も圧電(piezoelectric)装置によって移動される必
要はない。可動台は、代替として、レールの代わりに、
1つまたは複数のローラーや軸受に置かれることができ
るし、ギア、ピストン、ベルトや同様なものによって移
動されることもできる。また、変形可能体の下部の連接
板は可動台に一体化されてもよいし、変形可能体は、細
かな位置決め装置が磁気ヘッドの動きを実質的に第2平
面上に保てれば、平行四辺形以外の形態をとってもよい
だろう。したがって、本発明の実施例は、全ての様相に
おいて、図解のためであり、制限のためではないし、本
発明の範囲は、前述の説明ではなく、請求の範囲によっ
て示される。さらに、請求の範囲と同等な意図や範囲内
の全ての変更は、それゆえ、本発明に含まれると考えら
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】磁気ヘッド及びディスクテスターで使用され
る、従来技術のスピンスタンドの構成図である。
【図2】図1の従来技術のスピンスタンドの細かな位置
決めシステムの横からの構成図である。
【図3】図1及び2の従来技術の磁気ヘッド及びディス
クテスターでの、偏揺れの結果の構成図である。
【図4】本発明の好まれる実施例の磁気ヘッド及びディ
スクテスターのスピンスタンドの構成図である。
【図5】図4の磁気ヘッド及びディスクテスターの細か
な位置決めシステムの好まれる実施例の横からの構成図
である。
【図6】図4及び5の磁気ヘッド及びディスクテスター
で使用される閉ループ制御システムの機能ブロック図で
ある。
【符号の説明】
10 磁気ディスク 12 磁気ヘッド 14 支持アーム 16 変形可能体 16a 上部の連接板 16b 下部の連接板 18 可動台 20 バネ 22 ボルト 22 親ネジ 24 軸受 25 シャフト 26 ピエゾアクチュエーター 28 ステップモーター 30 基盤 32 親ネジ 34 ナット 36 停止具 38 光学直線エンコーダー 50 バネ 52 ボルト 56a 左のピエゾアクチュエーター 56b 右のピエゾアクチュエーター 68 左の光学直線エンコーダー 70 右の光学直線エンコーダー 72 上部の連接板の左の側部 74 上部の連接板の右の側部 80 閉ループ制御システム 82 加算器 84 積分器 86 微分器 88 加算器 90 フィルター 91 増幅器 92 制御器 100 スピンスタンド X 並進軸 α 角度
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 セム・キリッシ アメリカ合衆国カリフォルニア州サンフラ ンシスコ、エリザベス・ストリート481 ナンバー2 (72)発明者 イーリアー・ボクヒタイン アメリカ合衆国カリフォルニア州サンタク ララ、カーメン・コート1302 (72)発明者 ウフク・カラースラン アメリカ合衆国カリフォルニア州サニーベ イル、ウエスト・アイオワ・アベニュー 843

Claims (27)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 a.第1平面に磁気ディスクを回転でき
    るように支える支持組立品を持った基盤; b.磁気ディスクに対し、第1平面に平行な並進軸に沿
    って移動可能な磁気ヘッド; c.磁気ディスクを基準にして、予め決められた基盤に
    対する位置に、前記並進軸に沿って磁気ヘッドを位置付
    ける位置決め装置であって: i.磁気ヘッドが固定されたヘッド支持組立品であっ
    て、直線アクチュエーターにより前記基盤を基準に加え
    られた並進力に応答して、前記並進軸に沿って移動可能
    なヘッド支持組立品; ii.第1平面に平行な第2平面上で、並進軸に垂直な
    偏揺れ軸の周りの、前記ヘッド支持組立品の偏揺れを表
    す偏揺れ信号を生成する方向検出器;と iii.前記偏揺れ信号への機能的な応答で、磁気ヘッ
    ドが予め決められた位置に実質的に位置するまで、前記
    ヘッド支持組立品を第2平面内で選択的に回転動作させ
    る偏揺れ修正メカニズム、から成る位置決め装置、から
    成る磁気ヘッド及びディスクテスター。
  2. 【請求項2】 直線アクチュエーターが: a.制御システムにより機能的に制御される、前記基盤
    上のモーター; b.前記並進軸の方向に配置され、前記モーターにより
    選択的に回転される親ネジ;と c.前記ヘッド支持組立品にしっかりと固定されたナッ
    トであって、親ネジの回転が前記ヘッド支持組立品の並
    進軸に沿った直線の移動を生じさせるように、親ネジが
    その中に回転できるように取付けられるナット、を含
    む、請求項1に記載の磁気ヘッド及びディスクテスタ
    ー。
  3. 【請求項3】 ヘッド支持組立品が: a.並進軸の方向に移動可能な可動台; b.前記可動台に付けられ、前記可動台を基準に並進軸
    に沿って移動可能な連接板を持った細かな位置決め装
    置;と c.磁気ヘッドが細かな位置決め装置への応答で前記並
    進軸に沿って動くように、前記磁気ヘッドが取付けられ
    た、前記細かな位置決め装置に固定されたアーム、を含
    む、請求項1に記載の磁気ヘッド及びディスクテスタ
    ー。
  4. 【請求項4】 細かな位置決め装置が変形可能体であ
    り、その変形可能体の変形が前記アームの移動を生じさ
    せる、請求項3に記載の磁気ヘッド及びディスクテスタ
    ー。
  5. 【請求項5】 変形可能体が: a.前記可動台に固定された下部の連接板;と b.アームが固定される上部の連接板であって、それの
    動作を通して下部の連接板と実質的に平行のまま、前記
    下部の連接板を基準に前記並進軸に沿って移動可能な上
    部の連接板、を持った、4つの連接板の平行四辺形構成
    の変形可能体である、請求項4に記載の磁気ヘッド及び
    ディスクテスター。
  6. 【請求項6】 上部の連接板が並進軸に対し横の方向に
    互いにオフセットを持った(離れた)左の側部及び右の
    側部を含み、方向検出器が: a.前記上部の連接板の動きに応答して、並進軸に対し
    平行な第1軸に沿って移動可能な、前記上部の連接板の
    右側部に固定された第1エンコーダー;と b.前記第1エンコーダーの動きに関係した位置に固定
    しており、前記上部の連接板の第1側部の第1軸に沿っ
    た移動を表す第1信号を生成し、その第1移動信号を制
    御システムへ送信するために、第1エンコーダーと機能
    的に連絡を持つ第1検出器、を含む、請求項5に記載の
    磁気ヘッド及びディスクテスター。
  7. 【請求項7】 第1エンコーダーが光学直線エンコーダ
    ーであり、第1検出器が光学検出器である、請求項6に
    記載の磁気ヘッド及びディスクテスター。
  8. 【請求項8】 方向検出器がさらに: c.前記上部の連接板の動きに応答して、並進軸に対し
    平行な第2軸に沿って移動可能な、前記上部の連接板の
    左側部に固定された第2エンコーダー;と d.前記第2エンコーダーの動きに関係した位置に固定
    しており、前記上部の連接板の左側部の第2軸に沿った
    移動を表す信号を生成し、その第2移動信号を制御シス
    テムへ送信するために、第2エンコーダーと機能的に連
    絡を持つ第2検出器、を含む、請求項6に記載の磁気ヘ
    ッド及びディスクテスター。
  9. 【請求項9】 第2エンコーダーが光学直線エンコーダ
    ーであり、第2検出器が光学検出器である、請求項8に
    記載の磁気ヘッド及びディスクテスター。
  10. 【請求項10】 偏揺れ修正メカニズムが: a.制御システムによる独立の制御下におかれ、ヘッド
    支持組立品の第1側部と機能的な連絡を持ち、前記第1
    信号への応答で、第2平面内で偏揺れ軸の周りを前記ヘ
    ッド支持組立品を選択的に移動させる第1移動器、を含
    む、請求項1に記載の磁気ヘッド及びディスクテスタ
    ー。
  11. 【請求項11】 第1移動器が第1アクチュエーターで
    ある、請求項10に記載の磁気ヘッド及びディスクテス
    ター。
  12. 【請求項12】 第1アクチュエーターが第1圧電アク
    チュエーターである、請求項11に記載の磁気ヘッド及
    びディスクテスター。
  13. 【請求項13】 偏揺れ修正メカニズムがさらに: b.制御システムによる独立の制御下におかれ、ヘッド
    支持組立品の第2側部と機能的な連絡を持ち、前記第2
    信号への応答で、第2平面内で偏揺れ軸の周りを前記ヘ
    ッド支持組立品を選択的に移動させる第2移動器、を含
    む、請求項10に記載の磁気ヘッド及びディスクテスタ
    ー。
  14. 【請求項14】 第2移動器が第2アクチュエーターで
    ある、請求項13に記載の磁気ヘッド及びディスクテス
    ター。
  15. 【請求項15】 第2アクチュエーターが第2圧電アク
    チュエーターである、請求項14に記載の磁気ヘッド及
    びディスクテスター。
  16. 【請求項16】 制御システムが閉ループ制御システム
    である、請求項1に記載の磁気ヘッド及びディスクテス
    ター。
  17. 【請求項17】 A.磁気ディスクを基準平面に回転で
    きるように支えるためのディスク支持組立品を含む基
    盤; B.磁気ヘッドを前記磁気ディスクに対し予め決められ
    た位置に保持するためのヘッド支持組立品であって: i.前記基盤に配置され、前記基準平面に平行な基準軸
    に沿ってスライドする動きに適合した可動台と、前記可
    動台を前記基盤を基準に前記基準軸に沿って選択的に位
    置付けするための、(可動台に)関連した直線アクチュ
    エーター; ii.前記可動台に配置され、前記可動台に付けられた
    片側の面と、前記可動台を基準に前記基準軸に平行な軸
    に沿って移動可能な反対側の面を持った変形可能体; iii.前記ヘッドを前記変形可能体の前記反対側の面
    に結合させるためのカプラー; iv.前記反対側の面に前記可動台を基準にして前記基
    準軸の方向に選択的に第1力を加えるために、前記反対
    側の面の第1点と前記可動台との間に位置する第1駆動
    部材;と v.前記反対側の面に前記可動台を基準にして前記基準
    軸の方向に選択的に第2力を加えるために、前記反対側
    の面の第2点と前記可動台との間に位置する第2駆動部
    材、を含み、そこにおいて、第1点と第2点が互いに基
    準軸に対し横の方向にオフセットを持った(離れた)ヘ
    ッド支持組立品、から成る磁気ヘッド及びディスクテス
    ター。
  18. 【請求項18】 前記変形可能体の前記反対側の面の、
    前記基準平面に垂直な軸の周りの角度の方位を表す信号
    を発生するための検出器をさらに備える、請求項17に
    記載の磁気ヘッド及びディスクテスター。
  19. 【請求項19】 前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクを
    基準にして、前記予め決められた位置へ駆動するため、
    前記角度の方位信号及び前記予め決められた位置を表す
    信号に応答するフィードバックネットワークをさらに備
    える、請求項18に記載の磁気ヘッド及びディスクテス
    ター。
  20. 【請求項20】 前記第1駆動部材及び第2駆動部材が
    ピエゾアクチュエーターである、請求項17に記載の磁
    気ヘッド及びディスクテスター。
  21. 【請求項21】 少なくとも1つの磁気ヘッドを少なく
    とも1つの磁気ディスクと共にテストするための磁気ヘ
    ッド及びディスクテスターであって、 a.静止した基盤と、前記磁気ディスクを保持し、回転
    させるための、前記静止基盤上の手段; b.前記磁気ヘッドを前記磁気ディスクに対して大まか
    に位置付けするためのメカニズムであって、前記静止基
    盤に対し移動可能なスライドと、前記スライドを前記静
    止基盤に対し直線上に動かすための第1駆動手段とを備
    えた前記メカニズム;と c.前記磁気ヘッドの前記磁気ディスクに対する細かな
    位置付けのためのメカニズムであって: i.前記スライドに固く取付けられた変形可能体であっ
    て、左側部及び右側部を持ち、前記磁気ヘッドを固く保
    持する上部の板と、前記スライドに固く取付けられた下
    部の板とを持った実質的に平行四辺形の形態で作られた
    前期変形可能体; ii.前記変形可能体の前記上部の板の前記左側部と前
    記スライドに対して静止している上部との間に設置さ
    れ、前記変形可能体の前記上部の板の前記左側部を前記
    第1駆動手段と同じ方向に動かすために使用される第2
    駆動手段; iii.前記変形可能体の前記上部の板の前記右側部と
    前記スライドに対して静止している上部との間に設置さ
    れ、前記変形可能体の前記上部の板の前記右側部を前記
    第1駆動手段と同じ方向に動かすために使用される第3
    駆動手段;と iv.前記変形可能体の前記上部の板の前記左側部及び
    右側部の位置を測定するための手段、をさらに備える前
    記メカニズム、から成る磁気ヘッド及びディスクテスタ
    ー。
  22. 【請求項22】 前記第1駆動手段が、前記静止基盤に
    取付けられたステップモーター、前記ステップモーター
    により回転される親ネジ、及び前記スライドに固定され
    たナットから成る、請求項21に記載の磁気ヘッド及び
    ディスクテスター。
  23. 【請求項23】 前記変形可能体の前記上部の板の左側
    部及び右側部の位置を測定するための手段が、2つの光
    学直線エンコーダーから成る、請求項21に記載の磁気
    ヘッド及びディスクテスター。
  24. 【請求項24】 前記第2及び第3駆動手段が、各々ピ
    エゾアクチュエーターから成る、請求項21に記載の磁
    気ヘッド及びディスクテスター。
  25. 【請求項25】 前記変形可能体の前記上部の板の前記
    左側部及び右側部の位置を制御するために閉ループシス
    テムが使用される、請求項21に記載の磁気ヘッド及び
    ディスクテスター。
  26. 【請求項26】 前記閉ループシステムが、前記変形可
    能体の前記上部の板の前記左側部の位置を測定するため
    の前記手段を使用して前記第2駆動手段を制御するサブ
    システムと、前記変形可能体の前記上部の板の前記右側
    部の位置を測定するための前記手段を使用して前記第3
    駆動手段を制御するサブシステムとの、2つの独立なサ
    ブシステムから成る、請求項25に記載の磁気ヘッド及
    びディスクテスター。
  27. 【請求項27】 前記閉ループシステムが、前記変形可
    能体の前記上部の板の前記左側部及び前記右側部の位置
    を測定するための両方の前記手段の読み取り値の重みつ
    け合計を使用して、対応する駆動手段を制御する2つの
    独立なサブシステムから成る、請求項25に記載の磁気
    ヘッド及びディスクテスター。
JP2000021449A 1999-02-01 2000-01-31 偏揺れ修正を備えた磁気ヘッド及びディスクテスタ― Pending JP2000222845A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/241510 1999-02-01
US09/241,510 US6242910B1 (en) 1999-02-01 1999-02-01 Magnetic head and disk tester with yaw correction

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000222845A true JP2000222845A (ja) 2000-08-11
JP2000222845A5 JP2000222845A5 (ja) 2007-03-15

Family

ID=22910972

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000021449A Pending JP2000222845A (ja) 1999-02-01 2000-01-31 偏揺れ修正を備えた磁気ヘッド及びディスクテスタ―

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6242910B1 (ja)
JP (1) JP2000222845A (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4418562B2 (ja) * 1999-09-29 2010-02-17 キヤノン株式会社 情報記録再生装置
US6478434B1 (en) * 1999-11-09 2002-11-12 Ball Aerospace & Technologies Corp. Cryo micropositioner
US6930850B2 (en) * 2000-11-13 2005-08-16 Kyodo Denshi System Co., Ltd. Head clamping apparatus for magnetic disk tester and magnetic disk tester
US6795265B2 (en) * 2000-12-28 2004-09-21 Texas Instruments Incorporated Closed loop charge mode drive for piezo actuators using a DC restore amplifier
US7529635B2 (en) * 2004-02-12 2009-05-05 Seagate Technology, Llc Method and apparatus for head gimbal assembly testing
US7705588B2 (en) * 2004-10-06 2010-04-27 Seagate Technology Llc Apparatus and method for testing magnetic disk drive components using drive-based parts
US7131346B1 (en) * 2004-10-15 2006-11-07 Western Digital (Fremont), Inc. Spin stand testing system with fine positioner for head stack assembly
SG137725A1 (en) * 2006-05-31 2007-12-28 Innovative Polymers Pte Ltd Dampening device for a storage device tester and a storage device tester including same
US8169750B1 (en) * 2006-09-11 2012-05-01 Guzik Technical Enterprises Removable nanopositioning cartridge for magnetic head and disk testers
US8480066B2 (en) * 2009-08-24 2013-07-09 Ronald E. Anderson Head gimbal assembly alignment with compliant alignment pin
US8270118B1 (en) 2009-10-30 2012-09-18 Western Digital Technologies, Inc. Head stack assembly cartridge
US8218256B1 (en) 2009-10-30 2012-07-10 Western Digital Technologies, Inc. Disk spindle assembly cartridge
US8432630B1 (en) 2010-06-30 2013-04-30 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive component test system

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4258398A (en) * 1979-10-12 1981-03-24 Eastman Kodak Company Apparatus for preventing flutter and skew in electrical signals
US4902971A (en) * 1988-09-14 1990-02-20 Guzik Technical Enterprises, Inc. Magnetic head and disc tester employing pivot arm on linearly movable slide
US5382887A (en) 1993-03-25 1995-01-17 Guzik Technical Enterprises, Inc. Method and apparatus for compensating positioning error in magnetic-head and magnetic-disk tester
US5500777A (en) * 1993-05-19 1996-03-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Magnetic head drive which uses independently controlled piezo-electric elements
US5808435A (en) 1996-05-28 1998-09-15 Kmy Instruments Micropositioning device for disk head testing system
US5898541A (en) 1996-12-04 1999-04-27 Seagate Technology, Inc. Leading surface slider microactuator
US5856896A (en) * 1996-12-04 1999-01-05 Seagate Technology, Inc. Gimbal suspension for supporting a head in a disc drive assembly
US5998994A (en) * 1997-01-31 1999-12-07 Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. MR head offset correction method and magnetic disk certifier

Also Published As

Publication number Publication date
US6242910B1 (en) 2001-06-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2000222845A (ja) 偏揺れ修正を備えた磁気ヘッド及びディスクテスタ―
JP2704734B2 (ja) ステージ位置決め補正方法及び装置
US6272763B1 (en) Staging apparatus and method, and method for manufacturing the staging apparatus, and exposing apparatus using the staging apparatus
CA1237739A (en) Supporting device
EP1482369A1 (en) Method and device for vibration control
US7535193B2 (en) Five axis compensated rotating stage
JP4118441B2 (ja) 磁気ヘッド/ディスク検査器内の高精度位置決め機構の動的特性を改良するための装置及び方法
EP1151211A1 (en) Method and device for vibration control
JP2019500581A (ja) ヘキサポッドの精度誤差を補償するための方法およびシステム
EP0569942A2 (en) Voice coil focusing system
WO1999028095A1 (en) System and method for compensating for compliance of a hexapod positioning device
JP3512695B2 (ja) ピッチ補正を有する磁気ヘッド及びディスクのテスタ
JP4104306B2 (ja) スキャナ装置
US6947242B2 (en) Apparatus and method for dynamic fly height adjustment
JP4975230B2 (ja) 力を検査するための装置及び方法
JPH07178689A (ja) ロボットアームの位置ずれ測定方法およびその位置ずれ補正方法およびその位置ずれ補正システム
WO2002077484A9 (en) Method and device for vibration control
JPWO2008072307A1 (ja) バランス修正装置及び方法
WO2004068492A1 (ja) 磁気ディスク用サスペンションの捩れ角測定方法及び測定装置
US20100246044A1 (en) Magnetic head-positioning system, magnetic head test system and magnetic disk test system
KR102039285B1 (ko) 프리즘 회전 조정 메커니즘, 스테퍼 노광 시스템, 및 스테퍼
CN106840225B (zh) 用于绝对式光栅尺的一体化振动控制系统及方法
KR20230130070A (ko) 적어도 하나의 축의 오정렬을 수정하기 위한 방법
JP2638157B2 (ja) 形状測定装置及びその方法
WO2000016056A1 (en) Apparatus and method for measuring the force exerted by an elastic element

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070125

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070125

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080919

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081014

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20090114

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20090114

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20090114

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20090119

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20090407