JP3512695B2 - ピッチ補正を有する磁気ヘッド及びディスクのテスタ - Google Patents
ピッチ補正を有する磁気ヘッド及びディスクのテスタInfo
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- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド及びデ
ィスクのテスタに関し、更に詳細には、磁気ヘッド及び
ディスクのテスタ内の磁気ディスクに対して磁気ヘッド
を位置決めする機構の精度を改良するための方法及び装
置に関する。
ィスクのテスタに関し、更に詳細には、磁気ヘッド及び
ディスクのテスタ内の磁気ディスクに対して磁気ヘッド
を位置決めする機構の精度を改良するための方法及び装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ヘッド及びディスクのテスタは、磁
気ヘッド及びディスクの信号対雑音比、トラック対トラ
ックエラーの様なテスト特性に対して使用される器具で
ある。場合によっては、ディスク（例えば、コンピュー
タのハードディスク）は既知の校正されたヘッドでテス
トされてもよく、他の場合には、磁気ヘッドは校正され
たディスクでテストされてもよい。磁気ヘッド及びディ
スクのテスタは２つの主要部分から成り、それらは、テ
スタに支持されるディスクに対してヘッドの移動を行う
機械的部分、並びに測定、校正、及びデータの解析を担
う電気的部分である。テスタの機械的部分はスピンスタ
ンドとして知られる。その様な磁気ヘッド及びディスク
のテスタを使用して行われたテスト結果の質は、ディス
クに対するヘッドのためのスピンスタンドにより提供さ
れる位置決め精度に、少なくとも部分的に依存する。
気ヘッド及びディスクの信号対雑音比、トラック対トラ
ックエラーの様なテスト特性に対して使用される器具で
ある。場合によっては、ディスク（例えば、コンピュー
タのハードディスク）は既知の校正されたヘッドでテス
トされてもよく、他の場合には、磁気ヘッドは校正され
たディスクでテストされてもよい。磁気ヘッド及びディ
スクのテスタは２つの主要部分から成り、それらは、テ
スタに支持されるディスクに対してヘッドの移動を行う
機械的部分、並びに測定、校正、及びデータの解析を担
う電気的部分である。テスタの機械的部分はスピンスタ
ンドとして知られる。その様な磁気ヘッド及びディスク
のテスタを使用して行われたテスト結果の質は、ディス
クに対するヘッドのためのスピンスタンドにより提供さ
れる位置決め精度に、少なくとも部分的に依存する。
【０００３】従来技術の一般的な磁気ヘッド及びディス
クのテスタが図１及び図２に図示され、米国特許第５，
３８２，８８７号に記載されている。以下の記載では、
スピンスタンドは、その中でキャリッジ（及び、取り付
けられたヘッド）が水平面内の軸に沿って選択的に移動
させられるものとして記載され、ヘッドは水平に支持さ
れたディスクに対して移動させられ、垂直軸のまわりで
回転できる。これらの垂直及び水平基準方向が例示のス
ピンスタンドで使用されているが、別の実施例では他の
方向を使用してもよい。
クのテスタが図１及び図２に図示され、米国特許第５，
３８２，８８７号に記載されている。以下の記載では、
スピンスタンドは、その中でキャリッジ（及び、取り付
けられたヘッド）が水平面内の軸に沿って選択的に移動
させられるものとして記載され、ヘッドは水平に支持さ
れたディスクに対して移動させられ、垂直軸のまわりで
回転できる。これらの垂直及び水平基準方向が例示のス
ピンスタンドで使用されているが、別の実施例では他の
方向を使用してもよい。
【０００４】図示されるスピンスタンド１０は、（図示
されるように）そこから垂直に伸張するディスクスピン
ドル４６を有するベース５０を含む。スピンドル４６
は、垂直軸のまわりでディスクの制御された回転を可能
にする方法で、（図示されるように）ディスク４２を水
平面内で支持する。
されるように）そこから垂直に伸張するディスクスピン
ドル４６を有するベース５０を含む。スピンドル４６
は、垂直軸のまわりでディスクの制御された回転を可能
にする方法で、（図示されるように）ディスク４２を水
平面内で支持する。
【０００５】キャリッジ３０は、ベース５０に堅固に取
り付けられた複数のレール２２，２４上で滑動可能なよ
うに支持され、それによってキャリッジの移動が水平軸
（Ｘ軸）に沿って生じ得る。ヘッド支持部材４４はキャ
リッジ３０に固定され、遠端部に取り付けられた磁気読
み書きヘッド４０を含む。駆動アセンブリは、（１）レ
ール２２，２４に沿うキャリッジ３０の大きな移動を生
じさせるための概略位置決め装置、及び（２）キャリッ
ジ３０の細かな移動を生じさせるための精密位置決め装
置を含む。キャリッジ３０の移動は、磁気ディスク４２
の上の所望する位置への磁気ヘッド４０の対応する移動
を引き起こす。磁気ヘッド４０はディスク４２に関して
放射方向に可動であり、その様な移動がディスク又はヘ
ッドのテストを容易にする。
り付けられた複数のレール２２，２４上で滑動可能なよ
うに支持され、それによってキャリッジの移動が水平軸
（Ｘ軸）に沿って生じ得る。ヘッド支持部材４４はキャ
リッジ３０に固定され、遠端部に取り付けられた磁気読
み書きヘッド４０を含む。駆動アセンブリは、（１）レ
ール２２，２４に沿うキャリッジ３０の大きな移動を生
じさせるための概略位置決め装置、及び（２）キャリッ
ジ３０の細かな移動を生じさせるための精密位置決め装
置を含む。キャリッジ３０の移動は、磁気ディスク４２
の上の所望する位置への磁気ヘッド４０の対応する移動
を引き起こす。磁気ヘッド４０はディスク４２に関して
放射方向に可動であり、その様な移動がディスク又はヘ
ッドのテストを容易にする。
【０００６】この従来技術のシステムでは、ベース５０
を基準としたキャリッジ３０の直線位置、従って、ディ
スク４２に対する磁気読み書きヘッド４０の相対位置
は、Ｘ軸の向かい合う側面上でキャリッジ３０に対称に
取り付けられた２つの直線エンコーダ１２，１４を使用
して測定される。即ち、第１エンコーダ１２はキャリッ
ジ３０の右側面上に取り付けられ、第２エンコーダ１４
はキャリッジ３０の左側面上に取り付けられる。各エン
コーダ１２，１４の出力は、これらの出力を使用して磁
気読み書きヘッド４０の位置を決定する演算ユニット５
２に供給される。各エンコーダは、実質的に２つの部分
から成る。１つの部分はベース５０に固定され、その結
果、静止している。他の部分はキャリッジ３０に取り付
けられ、その結果、エンコーダの静止部分に対して可動
である。エンコーダの静止部分に対するエンコーダの可
動部分の相対移動の測定は、ディスク４２に対するヘッ
ド４０の移動及び位置を決定するために使用される。
を基準としたキャリッジ３０の直線位置、従って、ディ
スク４２に対する磁気読み書きヘッド４０の相対位置
は、Ｘ軸の向かい合う側面上でキャリッジ３０に対称に
取り付けられた２つの直線エンコーダ１２，１４を使用
して測定される。即ち、第１エンコーダ１２はキャリッ
ジ３０の右側面上に取り付けられ、第２エンコーダ１４
はキャリッジ３０の左側面上に取り付けられる。各エン
コーダ１２，１４の出力は、これらの出力を使用して磁
気読み書きヘッド４０の位置を決定する演算ユニット５
２に供給される。各エンコーダは、実質的に２つの部分
から成る。１つの部分はベース５０に固定され、その結
果、静止している。他の部分はキャリッジ３０に取り付
けられ、その結果、エンコーダの静止部分に対して可動
である。エンコーダの静止部分に対するエンコーダの可
動部分の相対移動の測定は、ディスク４２に対するヘッ
ド４０の移動及び位置を決定するために使用される。
【０００７】スピンスタンドの概略位置決め装置は、ベ
ース５０に取り付けられたステッパモータ３２、主ネジ
３４、主ネジ３４上のナット３６、及びレール２６，２
８に取り付けられたブロック３８を含む。ナット３６は
ブロック３８に取り付けられる。主ネジ３４及びナット
３６は、ステッパモータ３２の回転運動を、Ｘ軸に沿う
レール２６，２８上のブロック３８の直線移動に変換す
るために使用される。
ース５０に取り付けられたステッパモータ３２、主ネジ
３４、主ネジ３４上のナット３６、及びレール２６，２
８に取り付けられたブロック３８を含む。ナット３６は
ブロック３８に取り付けられる。主ネジ３４及びナット
３６は、ステッパモータ３２の回転運動を、Ｘ軸に沿う
レール２６，２８上のブロック３８の直線移動に変換す
るために使用される。
【０００８】従来技術のスピンスタンドの精密位置決め
装置１０は、レール２２，２４上に取り付けられてＸ軸
に沿って動くキャリッジ３０、及び圧電アクチュエータ
４８を含む。圧電アクチュエータ４８は、ブロック３８
及びキャリッジ３０の間に取り付けられる。圧電アクチ
ュエータ４８はＸ方向の寸法を変化させるためにそれに
加えられた電圧に応答し、寸法がブロック３８に対する
キャリッジ３０の変位になる。
装置１０は、レール２２，２４上に取り付けられてＸ軸
に沿って動くキャリッジ３０、及び圧電アクチュエータ
４８を含む。圧電アクチュエータ４８は、ブロック３８
及びキャリッジ３０の間に取り付けられる。圧電アクチ
ュエータ４８はＸ方向の寸法を変化させるためにそれに
加えられた電圧に応答し、寸法がブロック３８に対する
キャリッジ３０の変位になる。
【０００９】動作中、概略位置決め装置はキャリッジ３
０を比較的長い距離にわたって移動させられるが、現行
のヘッド及びディスクを適切にテストするのに必要な精
度で磁気読み書きヘッド４０を位置決めできない程度に
限定された直線分解能のままである。今日の磁気記録技
術は、約１０ナノメートル又はそれ以上の精度で磁気読
み書きヘッド４０を位置決めできるスピンスタンドを必
要とし、従って、精密位置決め装置が必要である。圧電
アクチュエータ４８は概略位置決め装置より非常に短い
移動範囲を有し、必要な１０ナノメートルの精度でキャ
リッジ３０を位置決めできる。一般的な圧電アクチュエ
ータ４８は、Morgan Matroc社（米国、オハイオ州）製
のＰＺＴ−５Ｈである。このユニットは１５マイクロメ
ートルの移動範囲を有し、１０ナノメートルより短いス
テップで移動を作り出せる。
０を比較的長い距離にわたって移動させられるが、現行
のヘッド及びディスクを適切にテストするのに必要な精
度で磁気読み書きヘッド４０を位置決めできない程度に
限定された直線分解能のままである。今日の磁気記録技
術は、約１０ナノメートル又はそれ以上の精度で磁気読
み書きヘッド４０を位置決めできるスピンスタンドを必
要とし、従って、精密位置決め装置が必要である。圧電
アクチュエータ４８は概略位置決め装置より非常に短い
移動範囲を有し、必要な１０ナノメートルの精度でキャ
リッジ３０を位置決めできる。一般的な圧電アクチュエ
ータ４８は、Morgan Matroc社（米国、オハイオ州）製
のＰＺＴ−５Ｈである。このユニットは１５マイクロメ
ートルの移動範囲を有し、１０ナノメートルより短いス
テップで移動を作り出せる。
【００１０】磁気読み書きヘッド及びディスクをテスト
するために使用された従来技術の方法は、精密位置決め
装置の精度を必要とする非常に小さな変位で何回も磁気
読み書きヘッド４０を位置決めすることを含む。これら
の小さな移動は、精密位置決め装置内で高い精度を必要
とする。これらの移動の間、磁気読み書きヘッド４０が
予め定められた位置から新しい位置へ移動させられ、次
に最初の位置へ戻ることが一般的である。磁気読み書き
ヘッド４０に読み取られる信号は、磁気読み書きヘッド
４０の所望する位置と実際の位置の間の如何なるズレも
明らかにできる。キャリッジ３０のこの前方及び後方移
動による位置の相違は「機械的ヒステリシス」と呼ば
れ、磁気読み書きヘッド４０に読み取られた信号の振幅
を測定することによりこのヒステリシスを検出すること
が可能である。
するために使用された従来技術の方法は、精密位置決め
装置の精度を必要とする非常に小さな変位で何回も磁気
読み書きヘッド４０を位置決めすることを含む。これら
の小さな移動は、精密位置決め装置内で高い精度を必要
とする。これらの移動の間、磁気読み書きヘッド４０が
予め定められた位置から新しい位置へ移動させられ、次
に最初の位置へ戻ることが一般的である。磁気読み書き
ヘッド４０に読み取られる信号は、磁気読み書きヘッド
４０の所望する位置と実際の位置の間の如何なるズレも
明らかにできる。キャリッジ３０のこの前方及び後方移
動による位置の相違は「機械的ヒステリシス」と呼ば
れ、磁気読み書きヘッド４０に読み取られた信号の振幅
を測定することによりこのヒステリシスを検出すること
が可能である。
【００１１】機械的ヒステリシスの原因は多く、スピン
スタンドにおいて最も一般的な２つの原因は、キャリッ
ジ３０のヨー及びピッチである。用語「ヨー」は、垂直
軸のまわりのキャリッジ３０の角運動を意味する。用語
「ピッチ」は、Ｘ軸に垂直な水平軸のまわりのキャリッ
ジ３０の角運動を意味する。
スタンドにおいて最も一般的な２つの原因は、キャリッ
ジ３０のヨー及びピッチである。用語「ヨー」は、垂直
軸のまわりのキャリッジ３０の角運動を意味する。用語
「ピッチ」は、Ｘ軸に垂直な水平軸のまわりのキャリッ
ジ３０の角運動を意味する。
【００１２】各概略及び精密位置決め移動の間、キャリ
ッジ３０の位置は直線エンコーダ１２，１４を使用して
測定される。理想的な場合には、直線エンコーダは磁気
読み書きヘッド４０に極めて接近して取り付けられ、そ
の実際の位置を測定する。実際には、機械的制限のため
に、多くの場合この方法で直線エンコーダ位置決めする
ことは不可能である。むしろ、エンコーダはヘッドから
離れて取り付けられる。この位置決め基準点は、キャリ
ッジのピッチ及びヨー運動のために、ヘッドの位置の測
定において誤差を招く。従って、複数の直線エンコーダ
は、ヘッドの実際の位置を最適に決定するために使用さ
れることを必要とする。米国特許第５，３８２，８８７
号では、キャリッジ（及び、取り付けられたヘッド）の
ヨー運動は、直線エンコーダ１２，１４をキャリッジの
両側面上に、キャリッジの移動の方向と平行に、及びキ
ャリッジの中心線（Ｘ軸）に対して対称に配置すること
により検出される。２つの直線エンコーダ１２，１４の
読み出し情報の差を使用して、位置決め移動の間に発生
するヨーの量が決定できる。しかし、キャリッジ３０の
ピッチの量を決定して補償する現行の方法又は装置は無
い。
ッジ３０の位置は直線エンコーダ１２，１４を使用して
測定される。理想的な場合には、直線エンコーダは磁気
読み書きヘッド４０に極めて接近して取り付けられ、そ
の実際の位置を測定する。実際には、機械的制限のため
に、多くの場合この方法で直線エンコーダ位置決めする
ことは不可能である。むしろ、エンコーダはヘッドから
離れて取り付けられる。この位置決め基準点は、キャリ
ッジのピッチ及びヨー運動のために、ヘッドの位置の測
定において誤差を招く。従って、複数の直線エンコーダ
は、ヘッドの実際の位置を最適に決定するために使用さ
れることを必要とする。米国特許第５，３８２，８８７
号では、キャリッジ（及び、取り付けられたヘッド）の
ヨー運動は、直線エンコーダ１２，１４をキャリッジの
両側面上に、キャリッジの移動の方向と平行に、及びキ
ャリッジの中心線（Ｘ軸）に対して対称に配置すること
により検出される。２つの直線エンコーダ１２，１４の
読み出し情報の差を使用して、位置決め移動の間に発生
するヨーの量が決定できる。しかし、キャリッジ３０の
ピッチの量を決定して補償する現行の方法又は装置は無
い。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ディスクに
対するヘッドの位置決めに改良された精度を有する磁気
ヘッド及びディスクのテスタを提供する。ディスクに対
するヘッドのピッチが検出されて補正される。磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタが磁気読み書きヘッドの直線位
置決めを遂行し、磁気読み書きヘッドは磁気ディスクの
上方で概略位置決め機構及び精密位置決め機構によって
滑動可能なキャリッジに取り付けられる。上記従来技術
のスピンスタンドに類似した好ましい実施例では、概略
位置決め機構はステッパモータ、主ねじ、ナット、スラ
イダ、及び中間ブロックを含む。精密位置決め機構は圧
電アクチュエータ、スライダ、及びキャリッジを含む。
キャリッジ及びヘッドが受ける直線位置決め変位は主軸
に沿い、主軸は好ましくは水平である。しかし、キャリ
ッジの位置決めはキャリッジを傾斜傾向にさせ（即ち、
主軸に垂直な水平軸のまわりで傾き）、磁気読み書きヘ
ッドの直線位置決め誤差を僅かに招く。
対するヘッドの位置決めに改良された精度を有する磁気
ヘッド及びディスクのテスタを提供する。ディスクに対
するヘッドのピッチが検出されて補正される。磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタが磁気読み書きヘッドの直線位
置決めを遂行し、磁気読み書きヘッドは磁気ディスクの
上方で概略位置決め機構及び精密位置決め機構によって
滑動可能なキャリッジに取り付けられる。上記従来技術
のスピンスタンドに類似した好ましい実施例では、概略
位置決め機構はステッパモータ、主ねじ、ナット、スラ
イダ、及び中間ブロックを含む。精密位置決め機構は圧
電アクチュエータ、スライダ、及びキャリッジを含む。
キャリッジ及びヘッドが受ける直線位置決め変位は主軸
に沿い、主軸は好ましくは水平である。しかし、キャリ
ッジの位置決めはキャリッジを傾斜傾向にさせ（即ち、
主軸に垂直な水平軸のまわりで傾き）、磁気読み書きヘ
ッドの直線位置決め誤差を僅かに招く。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明の好ましい実施例
では、キャリッジは圧電アクチュエータアセンブリを経
由して中間ブロックに接続され、圧電アクチュエータア
センブリはキャリッジをスライダに沿って、及び水平キ
ャリッジ軸又はＸ軸に沿って移動させる。２組の直線エ
ンコーダがＸ軸のまわりのキャリッジ上に取り付けら
れ、磁気ディスクに対する磁気読み書きヘッドの位置を
測定する。各エンコーダの組は、別々の水平面上に位置
するように取り付けられる。各組の１つの直線エンコー
ダは磁気読み書きヘッドの右に取り付けられ、他の１つ
は磁気読み書きヘッドの左に取り付けられ、磁気読み書
きヘッドは各組の２つの直線エンコーダから等距離にあ
る。磁気読み書きヘッドは、各組の直線エンコーダから
オフセットされてキャリッジに垂直方向に取り付けられ
る。精密位置決め移動の間のキャリッジのピッチは、
（垂直軸に対して一定の方向である）その正常な位置か
ら、Ｘ軸と直交する水平ピッチ（Ｚ）軸のまわりでヘッ
ドを傾斜させる。エンコーダの垂直方向オフセットの組
はピッチの量を決定し、フィードバック回路が精密位置
決め装置にヘッドを移動させて予め定められた位置を補
正し、それによってピッチを除去する。
では、キャリッジは圧電アクチュエータアセンブリを経
由して中間ブロックに接続され、圧電アクチュエータア
センブリはキャリッジをスライダに沿って、及び水平キ
ャリッジ軸又はＸ軸に沿って移動させる。２組の直線エ
ンコーダがＸ軸のまわりのキャリッジ上に取り付けら
れ、磁気ディスクに対する磁気読み書きヘッドの位置を
測定する。各エンコーダの組は、別々の水平面上に位置
するように取り付けられる。各組の１つの直線エンコー
ダは磁気読み書きヘッドの右に取り付けられ、他の１つ
は磁気読み書きヘッドの左に取り付けられ、磁気読み書
きヘッドは各組の２つの直線エンコーダから等距離にあ
る。磁気読み書きヘッドは、各組の直線エンコーダから
オフセットされてキャリッジに垂直方向に取り付けられ
る。精密位置決め移動の間のキャリッジのピッチは、
（垂直軸に対して一定の方向である）その正常な位置か
ら、Ｘ軸と直交する水平ピッチ（Ｚ）軸のまわりでヘッ
ドを傾斜させる。エンコーダの垂直方向オフセットの組
はピッチの量を決定し、フィードバック回路が精密位置
決め装置にヘッドを移動させて予め定められた位置を補
正し、それによってピッチを除去する。
【００１５】本発明の１実施例では、垂直方向にオフセ
ットされた２つの独立した圧電アクチュエータは、キャ
リッジ及び磁気読み書きヘッドの精密位置決めを遂行す
るために使用される。異なる変位は垂直方向にオフセッ
トされた圧電アクチュエータにより発生され、キャリッ
ジのピッチを除去し、それにより磁気読み書きヘッドの
直線変位誤差を含むピッチを補正する。
ットされた２つの独立した圧電アクチュエータは、キャ
リッジ及び磁気読み書きヘッドの精密位置決めを遂行す
るために使用される。異なる変位は垂直方向にオフセッ
トされた圧電アクチュエータにより発生され、キャリッ
ジのピッチを除去し、それにより磁気読み書きヘッドの
直線変位誤差を含むピッチを補正する。
【００１６】本発明の他の実施例では、２つの独立した
圧電アクチュエータはまた、（上記従来技術のスピンス
タンドの様に）Ｘ軸に沿って作用する第１アクチュエー
タ、及びキャリッジの変位に作用するように垂直軸に沿
って配置された第２アクチュエータに対して使用しても
よい。後者のアクチュエータは、中間ブロックからキャ
リッジに伸張するＬ字形マウントの間の垂直軸に沿って
配置できる。従って、第２アクチュエータはアームを経
由して力をキャリッジの上面に加えさせ、それによりキ
ャリッジのピッチを補正する。
圧電アクチュエータはまた、（上記従来技術のスピンス
タンドの様に）Ｘ軸に沿って作用する第１アクチュエー
タ、及びキャリッジの変位に作用するように垂直軸に沿
って配置された第２アクチュエータに対して使用しても
よい。後者のアクチュエータは、中間ブロックからキャ
リッジに伸張するＬ字形マウントの間の垂直軸に沿って
配置できる。従って、第２アクチュエータはアームを経
由して力をキャリッジの上面に加えさせ、それによりキ
ャリッジのピッチを補正する。
【００１７】
【発明の実施の形態】本発明は、磁気ヘッド及びディス
クのテスタ内部で磁気ディスクに対して磁気ヘッドを位
置決めするための改良された方法及び装置である。本発
明は、例えば、ヘッド自体の一般的な移動からヘッドに
加わる力によって、ディスクに関連する磁気ヘッドが受
けるピッチの補正を提供する。本発明は、幾つかの図面
に関して記載される。幾つかの図面で参照された部材が
変更なしで現れるとき、その部材は同じ参照番号を保持
する。
クのテスタ内部で磁気ディスクに対して磁気ヘッドを位
置決めするための改良された方法及び装置である。本発
明は、例えば、ヘッド自体の一般的な移動からヘッドに
加わる力によって、ディスクに関連する磁気ヘッドが受
けるピッチの補正を提供する。本発明は、幾つかの図面
に関して記載される。幾つかの図面で参照された部材が
変更なしで現れるとき、その部材は同じ参照番号を保持
する。
【００１８】図３は、本発明による磁気ヘッド及びディ
スクのテスタ１００の第１の実施例の斜視図を示す。図
３のテスタ１００は、１組の前部レール２２，２４、及
び後部レール２６，２８を有する延長ベース５０を含
み、各レールは水平（Ｘ）軸方向に伸張する。キャリッ
ジ３０は前部レール２２，２４に沿って滑動可能であ
り、中間ブロック３８は後部レール２６，２８に沿って
滑動可能である。ヘッド支持部材４４はキャリッジ３０
に固定される。磁気読み書きヘッド４０は、ヘッド支持
部材４４の遠端部に取り付けられる。ベース５０に固定
されたステッパモータ３２は、キャリッジ３０及び磁気
読み書きヘッド４０の概略位置決めのために、ブロック
３８上の駆動ナットに結合した主ネジ３４を回転駆動す
る。圧電アクチュエータ４８は、ブロック３８に対する
キャリッジ３０の精密位置決めのために、ブロック３８
及びキャリッジ３０の間に配置される。好ましい実施例
のキャリッジは２つの前部レールに沿って滑動可能であ
るとして記載されているが、本発明の請求の範囲から逸
脱することなく、種々の方法でＸ軸に沿うキャリッジの
変位が遂行できることを当業者は理解するであろう。例
えば、キャリッジは、単一のキーで止めた中心レール、
又は２つ以上のレールに沿って滑動できる。或いは、キ
ャリッジはローラ、ホイール、ベアリング、又はそれら
の組み合わせの上を転がることもできる。また、概略位
置決めは、例えば、モータ駆動プーリ、ベルト、又はギ
アの様な、Ｘ軸に沿ってキャリッジを変位させるための
種々の機構を利用できる。
スクのテスタ１００の第１の実施例の斜視図を示す。図
３のテスタ１００は、１組の前部レール２２，２４、及
び後部レール２６，２８を有する延長ベース５０を含
み、各レールは水平（Ｘ）軸方向に伸張する。キャリッ
ジ３０は前部レール２２，２４に沿って滑動可能であ
り、中間ブロック３８は後部レール２６，２８に沿って
滑動可能である。ヘッド支持部材４４はキャリッジ３０
に固定される。磁気読み書きヘッド４０は、ヘッド支持
部材４４の遠端部に取り付けられる。ベース５０に固定
されたステッパモータ３２は、キャリッジ３０及び磁気
読み書きヘッド４０の概略位置決めのために、ブロック
３８上の駆動ナットに結合した主ネジ３４を回転駆動す
る。圧電アクチュエータ４８は、ブロック３８に対する
キャリッジ３０の精密位置決めのために、ブロック３８
及びキャリッジ３０の間に配置される。好ましい実施例
のキャリッジは２つの前部レールに沿って滑動可能であ
るとして記載されているが、本発明の請求の範囲から逸
脱することなく、種々の方法でＸ軸に沿うキャリッジの
変位が遂行できることを当業者は理解するであろう。例
えば、キャリッジは、単一のキーで止めた中心レール、
又は２つ以上のレールに沿って滑動できる。或いは、キ
ャリッジはローラ、ホイール、ベアリング、又はそれら
の組み合わせの上を転がることもできる。また、概略位
置決めは、例えば、モータ駆動プーリ、ベルト、又はギ
アの様な、Ｘ軸に沿ってキャリッジを変位させるための
種々の機構を利用できる。
【００１９】第１の実施例では、第１の組の数値出力直
線エンコーダ１２，１４は、各エンコーダが互いに向き
合い、Ｘ軸について対称で、ベース５０に対するキャリ
ッジ３０の移動の方向に平行であるように、キャリッジ
３０上に設置される。第２の組の数値出力直線エンコー
ダ１６，１８は、キャリッジ３０上に設置され、エンコ
ーダ１６，１８がエンコーダ１２，１４から各々固定さ
れた距離に配置され、エンコーダ１２，１４と各々平行
である点を除いて、エンコーダ１２，１４と同様にＸ軸
について配置される。
線エンコーダ１２，１４は、各エンコーダが互いに向き
合い、Ｘ軸について対称で、ベース５０に対するキャリ
ッジ３０の移動の方向に平行であるように、キャリッジ
３０上に設置される。第２の組の数値出力直線エンコー
ダ１６，１８は、キャリッジ３０上に設置され、エンコ
ーダ１６，１８がエンコーダ１２，１４から各々固定さ
れた距離に配置され、エンコーダ１２，１４と各々平行
である点を除いて、エンコーダ１２，１４と同様にＸ軸
について配置される。
【００２０】エンコーダ１２，１４及び１６，１８は、
キャリッジ３０の側面に設置される。何故ならば、これ
らの位置がよりアクセスしやすく、関心のある位置、即
ち、磁気読み書きヘッド４０の読み書きヘッド素子に直
線エンコーダを正確に設置することが困難であるか、不
便であるか、場合によっては物理的に不可能であるから
である。しかし、エンコーダの組を本発明から逸脱する
ことなく異なって配向できることを、当業者は理解する
であろう。例えば、エンコーダの組の垂直方向の高さは
操作することができ、１組のエンコーダは磁気ヘッドと
同一平面に作ることができる。好ましい実施例では、直
線エンコーダはHeidenhain社（イリノイ州、ショームバ
ーグ市）製のＬＩＦ１０１Ｒ型である。これらのエンコ
ーダは、キャリッジの変位を１ナノメートルの分解能で
測定できる。電気的、機械的、磁気的、又は幾つかの組
み合わせのエンコーダの様な同様の精度を有する他の型
のエンコーダも使用できる。
キャリッジ３０の側面に設置される。何故ならば、これ
らの位置がよりアクセスしやすく、関心のある位置、即
ち、磁気読み書きヘッド４０の読み書きヘッド素子に直
線エンコーダを正確に設置することが困難であるか、不
便であるか、場合によっては物理的に不可能であるから
である。しかし、エンコーダの組を本発明から逸脱する
ことなく異なって配向できることを、当業者は理解する
であろう。例えば、エンコーダの組の垂直方向の高さは
操作することができ、１組のエンコーダは磁気ヘッドと
同一平面に作ることができる。好ましい実施例では、直
線エンコーダはHeidenhain社（イリノイ州、ショームバ
ーグ市）製のＬＩＦ１０１Ｒ型である。これらのエンコ
ーダは、キャリッジの変位を１ナノメートルの分解能で
測定できる。電気的、機械的、磁気的、又は幾つかの組
み合わせのエンコーダの様な同様の精度を有する他の型
のエンコーダも使用できる。
【００２１】直線エンコーダ１２，１４はキャリッジ３
０の直線変位を第１の水平面内で測定し、直線エンコー
ダ１６，１８はキャリッジ３０の直線変位を第２の水平
面内で測定する。図示される実施例では、エンコーダ１
２，１４は、キャリッジ３０の各側面の直線変位の差を
測定するために、Ｘ軸について対称に配向される。即
ち、好ましい実施例では、エンコーダから垂直に同じ距
離だけ変位させられるが、磁気読み書きヘッド４０は直
線エンコーダ１２，１４の間に配置される。直線エンコ
ーダ１２，１４の測定値を取り込み、これらの測定値の
平均を取ることにより、ヨーによる磁気ヘッドの位置の
誤差は数学的に除去でき、第１水平面内の既知の点から
のエンコーダ１２，１４の変位に対応する単一の変位値
Ｓ１が得られる。同じことを直線エンコーダ１６，１８
に対しても行うことができ、第２水平面内の既知の点か
らの他の変位値Ｓ２が、直線エンコーダ１６，１８に対
する各々の移動に対して得られる。或いは、位置信号の
組の平均を取る代わりに、エンコーダの組の各エンコー
ダ１２，１４及び１６，１８が発生する位置信号を使用
することに対して各側面の位置の誤差を別々に決定で
き、ヨーを補正するために使用される後者の値を用いて
各組に対して結果の平均を取ることができる。
０の直線変位を第１の水平面内で測定し、直線エンコー
ダ１６，１８はキャリッジ３０の直線変位を第２の水平
面内で測定する。図示される実施例では、エンコーダ１
２，１４は、キャリッジ３０の各側面の直線変位の差を
測定するために、Ｘ軸について対称に配向される。即
ち、好ましい実施例では、エンコーダから垂直に同じ距
離だけ変位させられるが、磁気読み書きヘッド４０は直
線エンコーダ１２，１４の間に配置される。直線エンコ
ーダ１２，１４の測定値を取り込み、これらの測定値の
平均を取ることにより、ヨーによる磁気ヘッドの位置の
誤差は数学的に除去でき、第１水平面内の既知の点から
のエンコーダ１２，１４の変位に対応する単一の変位値
Ｓ１が得られる。同じことを直線エンコーダ１６，１８
に対しても行うことができ、第２水平面内の既知の点か
らの他の変位値Ｓ２が、直線エンコーダ１６，１８に対
する各々の移動に対して得られる。或いは、位置信号の
組の平均を取る代わりに、エンコーダの組の各エンコー
ダ１２，１４及び１６，１８が発生する位置信号を使用
することに対して各側面の位置の誤差を別々に決定で
き、ヨーを補正するために使用される後者の値を用いて
各組に対して結果の平均を取ることができる。
【００２２】図４は、ピッチキャリッジ３０、及び（ス
ピンドル４６に水平に支持されている）ディスク４２に
対するヘッド４０を例示する。（テストの間、ディスク
４２に最接近する磁気ヘッドの一部である）磁気ヘッド
４０の「接触点」は、正常に（即ち、ピッチなしで）垂
直ヘッド軸（又は「Ｙ軸」）に沿って水平に置かれてお
り、垂直ヘッド軸（又は「Ｙ軸」）はＸ軸と直交する。
図４では、キャリッジ３０は、（角度「ａ」だけ）Ｘ軸
及びＹ軸の両方と直交するピッチ軸（又は「Ｚ軸」）の
まわりで傾斜し、Ｙ軸からＸ１の変位だけヘッド４０の
変位を引き起こす。
ピンドル４６に水平に支持されている）ディスク４２に
対するヘッド４０を例示する。（テストの間、ディスク
４２に最接近する磁気ヘッドの一部である）磁気ヘッド
４０の「接触点」は、正常に（即ち、ピッチなしで）垂
直ヘッド軸（又は「Ｙ軸」）に沿って水平に置かれてお
り、垂直ヘッド軸（又は「Ｙ軸」）はＸ軸と直交する。
図４では、キャリッジ３０は、（角度「ａ」だけ）Ｘ軸
及びＹ軸の両方と直交するピッチ軸（又は「Ｚ軸」）の
まわりで傾斜し、Ｙ軸からＸ１の変位だけヘッド４０の
変位を引き起こす。
【００２３】図５に示されるように、ベース５０上の基
準に対する磁気読み書きヘッド４０の位置は２つの誤差
成分を含み、１つは前部レール２２，２４に沿うキャリ
ッジ３０の水平方向の変位誤差により、他の１つはＺ軸
のまわりのキャリッジ３０のピッチ（回転）運動によ
る。その角特性によるピッチ成分は磁気読み書きヘッド
４０の２つの型の移動に対応し、１つは垂直なＹ軸に沿
い、他の１つ（Ｘ１）は水平なＸ軸に沿う。垂直なＹ軸
での２５ナノメートル領域の精度に対する必要性の欠如
により、キャリッジ３０のピッチにより起こされる垂直
移動は、本実施例に対して無視できる。水平なＸ軸の成
分Ｘ１が重要である。キャリッジ３０が角度ａのピッチ
を有するとき、磁気ヘッド４０の総変位量Ａを決定でき
る。角度ａとヘッド４０の水平方向の変位の間の関係
は、以下の方程式により定式化できる。 Ｐ：まわりでピッチが発生する回転の位置（Ｚ軸） Ｓ１：直線エンコーダ１２，１４により測定された、検
出器１２，１４の水平面内のベース５０に対するキャリ
ッジ３０の平均変位 Ｓ２：直線エンコーダ１６，１８により測定された、検
出器１６，１８の水平面内のベース５０に対するキャリ
ッジ３０の平均変位 Ａ：Ｓ２から測定された、（ピッチａによる）磁気読み
書きヘッド４０の水平方向の変位 Ｈ：ヘッド４０及び直線エンコーダ１２，１４の水平面
の間の垂直方向の変位 Ｌ：各直線エンコーダの組１２，１４及び１６，１８の
水平面の間の垂直距離 ピッチ角ａのタンジェントは以下の様に表せる。 ｔａｎ ａ ＝ Ａ／（Ｈ＋Ｌ） ｔａｎ ａ ＝ （Ｓ１−Ｓ２）／Ｌ 従って、 Ａ ＝ （Ｓ１−Ｓ２）＊（Ｒ＋Ｌ）／Ｌ 従って、垂直方向の磁気読み書きヘッド４０の位置は、
（Ａ＋Ｓ２） ＝ Ｓ１＊（Ｈ＋Ｌ）／Ｌ−Ｓ２＊Ｈ／Ｌ
で表される。磁気読み書きヘッド４０の位置（＝ Ａ＋
Ｓ２）を表す信号は制御増幅器５４に送られ、図２に記
載したように、予め定められた位置に移動させるため
に、ヘッド４０はフィードバック回路を使用して移動さ
せられる。
準に対する磁気読み書きヘッド４０の位置は２つの誤差
成分を含み、１つは前部レール２２，２４に沿うキャリ
ッジ３０の水平方向の変位誤差により、他の１つはＺ軸
のまわりのキャリッジ３０のピッチ（回転）運動によ
る。その角特性によるピッチ成分は磁気読み書きヘッド
４０の２つの型の移動に対応し、１つは垂直なＹ軸に沿
い、他の１つ（Ｘ１）は水平なＸ軸に沿う。垂直なＹ軸
での２５ナノメートル領域の精度に対する必要性の欠如
により、キャリッジ３０のピッチにより起こされる垂直
移動は、本実施例に対して無視できる。水平なＸ軸の成
分Ｘ１が重要である。キャリッジ３０が角度ａのピッチ
を有するとき、磁気ヘッド４０の総変位量Ａを決定でき
る。角度ａとヘッド４０の水平方向の変位の間の関係
は、以下の方程式により定式化できる。 Ｐ：まわりでピッチが発生する回転の位置（Ｚ軸） Ｓ１：直線エンコーダ１２，１４により測定された、検
出器１２，１４の水平面内のベース５０に対するキャリ
ッジ３０の平均変位 Ｓ２：直線エンコーダ１６，１８により測定された、検
出器１６，１８の水平面内のベース５０に対するキャリ
ッジ３０の平均変位 Ａ：Ｓ２から測定された、（ピッチａによる）磁気読み
書きヘッド４０の水平方向の変位 Ｈ：ヘッド４０及び直線エンコーダ１２，１４の水平面
の間の垂直方向の変位 Ｌ：各直線エンコーダの組１２，１４及び１６，１８の
水平面の間の垂直距離 ピッチ角ａのタンジェントは以下の様に表せる。 ｔａｎ ａ ＝ Ａ／（Ｈ＋Ｌ） ｔａｎ ａ ＝ （Ｓ１−Ｓ２）／Ｌ 従って、 Ａ ＝ （Ｓ１−Ｓ２）＊（Ｒ＋Ｌ）／Ｌ 従って、垂直方向の磁気読み書きヘッド４０の位置は、
（Ａ＋Ｓ２） ＝ Ｓ１＊（Ｈ＋Ｌ）／Ｌ−Ｓ２＊Ｈ／Ｌ
で表される。磁気読み書きヘッド４０の位置（＝ Ａ＋
Ｓ２）を表す信号は制御増幅器５４に送られ、図２に記
載したように、予め定められた位置に移動させるため
に、ヘッド４０はフィードバック回路を使用して移動さ
せられる。
【００２４】図６及び図７に示されるように、本発明の
第２の実施例は、キャリッジ３０のピッチが２つの圧電
アクチュエータを使用していることによる位置決め誤差
を除去するための方法及び装置を含む。２つの圧電アク
チュエータ４８，４９はＸ軸に平行な変位を提供するた
めに配置され、互いに垂直方向にオフセットされる。精
密位置決めは、２つの圧電アクチュエータ４８，４９を
一緒に作動させることにより達成される。２つの圧電ア
クチュエータ４８，４９の異なる移動を制御することに
より、キャリッジ３０のピッチは制御され、又はこの場
合、前記の様に計算された測定値Ｓ１，Ｓ２を用いて除
去され、２組の直線エンコーダから制御増幅器５４へフ
ィードバックされる。次にキャリッジ３０は圧電アクチ
ュエータ４８，４９により操作され、ヘッド４０の位置
が調整される。
第２の実施例は、キャリッジ３０のピッチが２つの圧電
アクチュエータを使用していることによる位置決め誤差
を除去するための方法及び装置を含む。２つの圧電アク
チュエータ４８，４９はＸ軸に平行な変位を提供するた
めに配置され、互いに垂直方向にオフセットされる。精
密位置決めは、２つの圧電アクチュエータ４８，４９を
一緒に作動させることにより達成される。２つの圧電ア
クチュエータ４８，４９の異なる移動を制御することに
より、キャリッジ３０のピッチは制御され、又はこの場
合、前記の様に計算された測定値Ｓ１，Ｓ２を用いて除
去され、２組の直線エンコーダから制御増幅器５４へフ
ィードバックされる。次にキャリッジ３０は圧電アクチ
ュエータ４８，４９により操作され、ヘッド４０の位置
が調整される。
【００２５】本発明の第３の実施例は図８及び図９に示
され、２つの圧電アクチュエータ４８，４９'を含む。
上に記載の様に、圧電アクチュエータ４８は、それがキ
ャリッジ３０の水平方向の移動を制御するように配置さ
れる。第２の圧電アクチュエータ４９’は、それがアー
ム５６の移動を垂直方向に制御するように配置され、そ
れによって下にあるキャリッジ３０の部分を制御する。
圧電アクチュエータ４９’は中間ブロック３８の上面に
固定され、そこから垂直上方に伸張する。アーム５６
は、キャリッジ３０の端部と向かい合う端部のアクチュ
エータ４９’に取り付けられる。キャリッジ３０のピッ
チの垂直変位成分は、圧電アクチュエータ４９’による
アーム５６の垂直移動により制御される。他の実施例と
同様に、測定値Ｓ１，Ｓ２は上に記載の様に計算され、
２組の直線エンコーダから制御増幅器５４へフィードバ
ックされる。次にアーム５６が操作され、ヘッド４０の
位置が調整される。
され、２つの圧電アクチュエータ４８，４９'を含む。
上に記載の様に、圧電アクチュエータ４８は、それがキ
ャリッジ３０の水平方向の移動を制御するように配置さ
れる。第２の圧電アクチュエータ４９’は、それがアー
ム５６の移動を垂直方向に制御するように配置され、そ
れによって下にあるキャリッジ３０の部分を制御する。
圧電アクチュエータ４９’は中間ブロック３８の上面に
固定され、そこから垂直上方に伸張する。アーム５６
は、キャリッジ３０の端部と向かい合う端部のアクチュ
エータ４９’に取り付けられる。キャリッジ３０のピッ
チの垂直変位成分は、圧電アクチュエータ４９’による
アーム５６の垂直移動により制御される。他の実施例と
同様に、測定値Ｓ１，Ｓ２は上に記載の様に計算され、
２組の直線エンコーダから制御増幅器５４へフィードバ
ックされる。次にアーム５６が操作され、ヘッド４０の
位置が調整される。
【００２６】本発明は、その精神又は中心的特質から逸
脱することなく他の特定の形態で実施できる。例えば、
多くの磁気ヘッドを有するヘッドスタック及びディスク
パックは、単一の磁気ヘッド及び単一の磁気ディスクの
代わりに使用できる。後者の場合、各ヘッドに対するピ
ッチは別々に決定される。何故ならば、キャリッジピッ
チがスタック内の各ヘッドを、その関連するディスクに
対して異なる距離だけ移動させるからである。加えて、
少なくとも１つのステージが精密位置決めを行うことが
できる限り、２ステージ位置決めシステムの代わりに、
１つ又は２つ以上の位置決めステージを有する位置決め
システムを使用できる。また、磁気ヘッドに最も近いス
テージが精密位置決めを行うことは危険ではないが、む
しろ（時間的順番から）最後の能動ステージが（ピッチ
に対する補償を含む）精密位置決めを行う。他の実施例
の様に、概略位置決め装置は、（ドライバの代わりに）
モータ駆動ベルト位置決め装置の様な種々の形態を取る
ことができ、精密位置決め装置が圧電性である必要はな
い。キャリッジは、レールの代わりに、１つ又は複数の
ローラ、若しくはベアリング上に配置できる。
脱することなく他の特定の形態で実施できる。例えば、
多くの磁気ヘッドを有するヘッドスタック及びディスク
パックは、単一の磁気ヘッド及び単一の磁気ディスクの
代わりに使用できる。後者の場合、各ヘッドに対するピ
ッチは別々に決定される。何故ならば、キャリッジピッ
チがスタック内の各ヘッドを、その関連するディスクに
対して異なる距離だけ移動させるからである。加えて、
少なくとも１つのステージが精密位置決めを行うことが
できる限り、２ステージ位置決めシステムの代わりに、
１つ又は２つ以上の位置決めステージを有する位置決め
システムを使用できる。また、磁気ヘッドに最も近いス
テージが精密位置決めを行うことは危険ではないが、む
しろ（時間的順番から）最後の能動ステージが（ピッチ
に対する補償を含む）精密位置決めを行う。他の実施例
の様に、概略位置決め装置は、（ドライバの代わりに）
モータ駆動ベルト位置決め装置の様な種々の形態を取る
ことができ、精密位置決め装置が圧電性である必要はな
い。キャリッジは、レールの代わりに、１つ又は複数の
ローラ、若しくはベアリング上に配置できる。
【００２７】以上、本発明の好ましい実施例について図
示し記載したが、特許請求の範囲によって定められる本
発明の範囲から逸脱することなしに種々の変形および変
更がなし得ることは、当業者には明らかであろう。
示し記載したが、特許請求の範囲によって定められる本
発明の範囲から逸脱することなしに種々の変形および変
更がなし得ることは、当業者には明らかであろう。
【図１】従来技術の磁気ヘッド及びディスクのテスタで
ある。
ある。
【図２】図１の磁気ヘッド及びディスクのテスタの上面
図である。
図である。
【図３】本発明のテスタの斜視図である。
【図４】キャリッジ３０及びそのピッチ運動を示すテス
タの断面図である。
タの断面図である。
【図５】直線エンコーダに対する磁気読み書きヘッドの
変位を示す略図である。
変位を示す略図である。
【図６】垂直方向にオフセットされた２つの圧電アクチ
ュエータを示す本発明の斜視図である。
ュエータを示す本発明の斜視図である。
【図７】図６のテスタの側面図である。
【図８】１つが力の水平成分をキャリッジ３０に加える
ために配置され、他の１つが力の垂直成分をキャリッジ
３０に加えるために配置された２つの圧電アクチュエー
タを示す、本発明のテスタの斜視図である。
ために配置され、他の１つが力の垂直成分をキャリッジ
３０に加えるために配置された２つの圧電アクチュエー
タを示す、本発明のテスタの斜視図である。
【図９】図８のテスタの側面図である。
１０ スピンスタンド
１２，１４,１６，１８ エンコーダ
２２，２４ 前部レール
２６，２８ 後部レール
３０ キャリッジ
３２ ステッパモータ
３４ 主ネジ
３６ ナット
３８ 中間ブロック
４０ 磁気ヘッド
４２ 磁気ディスク
４４ ヘッド支持部材
４６ スピンドル
４８，４９ 圧電アクチュエータ
４９’ アクチュエータ
５０ ベース
５２ 演算ユニット
５４ 制御増幅器
５６ アーム
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 ネイハム・ガジック
アメリカ合衆国カリフォルニア州パロア
ルトー、オールド・アドービ・ロード
4183
(72)発明者 ウフク・カラースラン
アメリカ合衆国カリフォルニア州サニー
ベイル、ウエスト・アイオワ・アベニュ
ー843
(56)参考文献 特開2000−3549（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−232806（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−301947（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G11B 5/00 - 5/024
Claims (20)
- 【請求項１】 Ａ．ベースと、 Ｂ．前記磁気ディスクを水平面内で支持するための前記
ベース上のスピンドルであって、前記ディスクは垂直軸
のまわりで回転可能である前記スピンドルと、 Ｃ．前記磁気ヘッドを堅固に支持するキャリッジであっ
て、水平基準軸の方向に前記ベース上を滑動的に位置決
め可能である前記キャリッジと、 Ｄ．前記キャリッジを前記基準軸に沿って駆動する手段
と、 Ｅ．前記基準軸の前記方向への前記ベースに対する前記
キャリッジの第１の部分の変位を表す第１の信号を発生
するために前記キャリッジに取り付けられた第１の測定
手段と、 Ｆ．前記基準軸の方向への前記ベースに対する前記キャ
リッジの第２の部分の変位を表す第２の信号を発生する
ために前記キャリッジに取り付けられた第２の測定手段
であって、前記キャリッジの前記第１の部分が前記キャ
リッジの前記第２の部分から垂直に変位させられている
前記第２の測定手段と、 Ｇ．前記基準軸に沿って前記ヘッドを位置決めするため
に前記第１の信号及び前記第２の信号に応答し、それに
よって前記キャリッジのピッチが実質的にオフセットさ
れる手段とから成ることを特徴とする、少なくとも１つ
の磁気ディスクに加えて少なくとも１つの磁気ヘッドを
テストするための磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項２】 前記駆動手段が、予め定められた位置の
付近における磁気ヘッドの概略位置決めのための第１の
駆動手段、及び予め定められた位置における磁気ヘッド
の精密位置決めのための第２の駆動手段を含むことを特
徴とする、請求項１記載の磁気ヘッド及びディスクのテ
スタ。 - 【請求項３】 前記第１の駆動手段が前記ベースに取り
付けられたステッパモータ、前記ステッパモータにより
回転可能な主ネジ、及び中間ブロックに固定されたナッ
トから成り、前記第２の駆動手段が前記中間ブロックと
前記キャリッジの間に取り付けられた圧電アクチュエー
タから成ることを特徴とする、請求項２記載の磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタ。 - 【請求項４】 前記第１の測定手段及び前記第２の測定
手段が各々１組の光学直線エンコーダを含み、前記第１
の測定手段の前記１組のエンコーダは前記第１の水平面
内で変位され、前記第２の測定手段の前記１組のエンコ
ーダは第１の水平面から垂直にオフセットされた第２の
水平面内で変位されることを特徴とする、請求項１記載
の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項５】 前記第１の測定手段及び前記第２の測定
手段からの情報を使用して磁気ヘッドの位置を計算する
ために演算ユニットが使用されることを特徴とする、請
求項１記載の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項６】 予め定められた位置に磁気ヘッドを位置
決めするために前記第１の駆動手段及び前記第２の駆動
手段に命令を出すために制御増幅器ユニットが使用され
ることを特徴とする、請求項１記載の磁気ヘッド及びデ
ィスクのテスタ。 - 【請求項７】 前記第２の駆動手段が垂直にオフセット
された２つの圧電アクチュエータを含み、前記キャリッ
ジのピッチを制御するために前記２つの圧電アクチュエ
ータの動きが制御増幅器により制御されることを特徴と
する、請求項２記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項８】 前記第１の測定手段及び前記第２の測定
手段の信号間の差異を実質的に除去することにより、前
記圧電アクチュエータが前記キャリッジのピッチを除去
することを特徴とする、請求項７記載の磁気ヘッド及び
ディスクのテスタ。 - 【請求項９】 前記第２の駆動手段が２つの圧電アクチ
ュエータを含み、第１の前記圧電アクチュエータは前記
キャリッジの水平面内の位置決めを達成するために配置
され、第２の前記圧電アクチュエータは、前記キャリッ
ジのピッチを制御するために、前記ベースに対する前記
キャリッジに垂直な力を加えるために配置されることを
特徴とする、請求項８記載の磁気ヘッド及びディスクの
テスタ。 - 【請求項１０】 Ａ．垂直スピン軸のまわり及び実質的
に水平面内で磁気ディスクを回転可能なように支持する
スピンドルを含むベースと、 Ｂ．キャリッジに取り付けられた磁気ヘッドであって、
前記キャリッジが水平キャリッジ軸に沿って動けるよう
に、前記キャリッジが前記ベースに滑動可能に結合され
た前記磁気ヘッドと、 Ｃ．前記キャリッジ軸に沿って前記キャリッジを選択的
に位置決めするキャリッジ駆動手段と、 Ｄ．前記キャリッジ軸と直交する水平軸のまわりの磁気
ヘッドの方向を表す変位誤差信号を発生するキャリッジ
ピッチ測定アセンブリ、及び Ｅ．前記キャリッジ軸の方向に前記ヘッドの変位を引き
起こすピッチをオフセットするために、前記キャリッジ
軸に沿って前記誤差信号に応答して、前記キャリッジ駆
動手段に前記キャリッジの位置を調整させるフィードバ
ックネットワークアセンブリから成ることを特徴とす
る、磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項１１】 前記キャリッジピッチ測定アセンブリ
が、 Ａ．第１のエンコーダが前記キャリッジの右側面に固定
され、第２のエンコーダが前記キャリッジの左側面に固
定されて第１の水平面内で変位される、前記第１及び前
記第２のエンコーダを含む第１組のエンコーダと、 Ｂ．第３のエンコーダが前記キャリッジの右側面に固定
され、第１のエンコーダの下に垂直の距離Ｌの位置に変
位され、第４のエンコーダが前記キャリッジの左側面に
固定され、第２のエンコーダの下に垂直の距離Ｌの位置
に変位され、前記第３及び前記第４のエンコーダは前記
第１の水平面から垂直にオフセットされた第２の水平面
内に配置される前記第３及び前記第４のエンコーダを含
む第２組のエンコーダから成ることを特徴とする、請求
項１０記載の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項１２】 Ａ．第１のエンコーダが第１の水平面
内でキャリッジの右側面の水平方向の直線変位を測定
し、 Ｂ．第２のエンコーダが第１の水平面内でキャリッジの
左側面の水平方向の直線変位を測定することを特徴とす
る、請求項１１記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項１３】 Ａ．第３のエンコーダが第２の水平面
内でキャリッジの右側面の水平方向の直線変位を測定
し、 Ｂ．第４のエンコーダが第２の水平面内でキャリッジの
左側面の水平方向の直線変位を測定することを特徴とす
る、請求項１２記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項１４】 前記キャリッジ駆動手段が、前記キャ
リッジ軸方向に磁気ヘッドの概略位置決めをもたらす概
略駆動手段、及び磁気ヘッドの精密位置決めをもたらす
精密駆動手段を含むことを特徴とする、請求項１０記載
の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項１５】 前記誤差信号が電気的な誤差信号であ
り、前記精密駆動手段が前記電気的な誤差信号に応答し
て前記磁気ヘッドを位置決めすることを特徴とする、請
求項１４記載の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項１６】 前記精密駆動手段が圧電アクチュエー
タを含むことを特徴とする、請求項１５記載の磁気ヘッ
ド及びディスクのテスタ。 - 【請求項１７】 前記精密駆動手段が第１及び第２のア
クチュエータを含むことを特徴とする、請求項１４記載
の磁気ヘッド及びディスクのテスタ。 - 【請求項１８】 前記第１及び第２のアクチュエータが
前記キャリッジに独立に力を加えられるように前記第１
及び第２のアクチュエータが配置され、前記第１及び第
２のアクチュエータの何れかによる前記キャリッジの選
択的変位が前記キャリッジのピッチに変化を引き起こす
ように、前記第１のアクチュエータが前記第２のアクチ
ュエータから垂直にオフセットされることを特徴とす
る、請求項１７記載の磁気ヘッド及びディスクのテス
タ。 - 【請求項１９】 Ａ．前記第１のアクチュエータが、前
記ベースに対する前記キャリッジに水平で直線方向の力
を加えることを可能にするために水平方向に変位され、 Ｂ．前記第２のアクチュエータが、前記ベースに対する
前記キャリッジに垂直な力を加えることを可能にするた
めに垂直方向に変位させられ、それによって前記第２の
アクチュエータの動作が前記キャリッジのピッチを調整
することを特徴とする、請求項１７記載の磁気ヘッド及
びディスクのテスタ。 - 【請求項２０】 実質的に水平面内で支持され、ベース
により支持されるスピンドルにより実質的に垂直なスピ
ン軸のまわりを回転可能なディスク、磁気ヘッドを支持
し水平なキャリッジ軸に沿って動くことができるキャリ
ッジ、前記キャリッジ軸に沿って前記キャリッジを位置
決めするキャリッジ駆動手段、及び前記キャリッジと直
交するピッチ軸のまわりでキャリッジのピッチにより引
き起こされる前記磁気ヘッドの傾斜を表す信号を発生す
るキャリッジピッチ測定アセンブリを有する磁気ヘッド
及びディスクのテスタ内の磁気ディスクに対する磁気ヘ
ッドの位置決めにおける誤差を補正する方法であって、 前記方法が、 Ａ．予め定められた位置に対応する量＋キャリッジのピ
ッチにより引き起こされた直線変位の量だけ、前記キャ
リッジ軸に沿って前記磁気ヘッドを移動させ、 Ｂ．キャリッジのピッチを検出し、 Ｃ．キャリッジのピッチによる予め定められた位置に対
する前記ヘッドの直線変位を決定し、 Ｄ．実質的に予め定められた位置における前記磁気ヘッ
ドの再位置決めに帰着するキャリッジの再位置決めに対
応する直線調整信号を発生し、 Ｅ．前記直線調整信号に応答して前記磁気ヘッドの位置
を調整する諸ステップから成ることを特徴とする前記方
法。
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