JP2000221226A - 電子機器の試験方法、電子機器、及び、半導体装置 - Google Patents

電子機器の試験方法、電子機器、及び、半導体装置

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JP2000221226A
JP2000221226A JP11024890A JP2489099A JP2000221226A JP 2000221226 A JP2000221226 A JP 2000221226A JP 11024890 A JP11024890 A JP 11024890A JP 2489099 A JP2489099 A JP 2489099A JP 2000221226 A JP2000221226 A JP 2000221226A
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Koji Kato
好治 加藤
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】回路面積を増大させることなく、確実な半導体
装置間のオープン・ショート試験を行うことが可能な電
子機器を提供する。 【解決手段】電子機器は、CPU10とメモリ30をバ
ス線DB1〜DBnを介して接続して構成される。CP
U10は、バス線DB1〜DBnにデータDATAを出
力するデータ出力部11と、該データDATAとメモリ
30からバス線DB1〜DBnを介して入力される論理
を反転したデータDATAとを比較し、その比較結果に
基づく判定信号φJDGを出力するデータ比較部12と
が備えられる。メモリ30は、データ出力部11からの
データDATAをラッチするラッチ部31と、ラッチし
たデータDATAの論理を反転し、その反転したデータ
DATAを出力する論理部32が備えられる。そして、
CPU10は、判定信号φJDGに基づいてCPU10
とメモリ30との接続の良否を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は電子機器の試験方
法、電子機器、及び、半導体装置に係り、詳しくは、複
数の半導体装置(IC,LSI)を搭載した電子機器に
おいて、各装置間を結ぶバス線のショート不良やオープ
ン不良等の実装不良を検出するための試験方法及びその
試験回路に関する。
【0002】近年の電子機器は、更なる小型化・高密度
化が要求されている。そのため、各半導体装置間を結ぶ
バス線の微細加工化が進み、このことがバス線間の短絡
・該装置の入出力ピンの短絡や、バス線の断線・バス線
と入出力ピンとの非接続等の発生頻度を増加させてい
る。このような電子機器はその出荷前にオープン・ショ
ート試験が行われ、これら実装不良が検出された機器は
不良品として完全に取り除く必要がある。
【0003】ところで、近年の電子機器の小型化・高密
度化により、半導体装置のパッケージは、ボール格子端
子(Ball Grid Array:BGA)型パッケージ等をその代表
とするCSP(Chip Size Package :チップ・サイズ・
パッケージ)に移行しつつある。このような半導体装置
はボード上に実装したときに外部に入出力ピンが露出し
ないため、そのピンにプローブ針を当てる周知のオープ
ン・ショート試験を行うことができなくなった。
【0004】そこで、近年では、特定の半導体装置内に
予め試験回路が組み込まれている。即ち、試験回路は、
その試験時に測定側の半導体装置に向けて両装置間を結
ぶバス線上に所定のデータを出力する。試験回路は、測
定側の半導体装置側に入力されたデータが、該回路が出
力したデータに応じた期待値と同じか否かを判定して、
バス線間の短絡やバス線の断線を検出している。そし
て、実装不良の電子機器を完全に取り除くために、より
確実なオープン・ショート試験を行うことが必要となっ
ている。
【0005】
【従来の技術】従来、上記したような電子機器の試験方
法の一例が、特開平5−99980号公報に開示されて
いる。尚、以下には、図6を用いてこの公報の概要を説
明する。
【0006】図6に示すように、電子機器を構成するボ
ード上には複数の半導体装置(IC)が搭載され、その
内、試験回路(公報ではLSI論理回路)1aが組み込
まれた半導体装置を被測定側IC1とし、該試験回路1
aからの信号を受信する受信回路2aが組み込まれた半
導体装置を受信用(測定側)IC2とする。被測定側I
C1の入出力ピンPa1〜Panは、被測定側IC1の
入出力ピンPa1〜Panとバス線DB1〜DBnを介
して接続される。試験回路1aは、例えば、特定の入出
力ピンPa1を選択し、該入出力ピンPa1から「1:
Hレベル」のデータを出力するとともに、残りの全ての
入出力ピンPa2〜Panからは選択された特定の入出
力ピンPa1の論理値とは異なる値、即ち「0:Lレベ
ル」のデータを出力する。
【0007】そして、受信回路2aで受信したデータに
基づいて、測定側IC2の特定された入出力ピンPb1
から期待値「1」が検出されなければ、入出力ピンPa
1〜Pan,Pb1〜Pbn間を繋ぐバス線DB1〜D
Bnが断線しているか、或いはバス線DB1〜DBnと
入出力ピンPa1〜Pan,Pb1〜Pbnとが非接続
になっているかが検出できる(オープン不良検出)。
又、測定側IC2における特定された入出力ピンPb1
以外にもこの特定された入出力ピンPb1の期待値
「1」と同じ論理値「1」が検出されれば、検出された
入出力ピン(Pa2〜Pan,Pb2〜Pbn)と特定
された入出力ピンPa1,Pb1とが短絡しているか、
或いはバス線DB1〜DBn間が短絡しているかが検出
できる(ショート不良検出)。そして、被測定側IC1
は、特定の入出力ピンPa1を物理アドレス順に順次選
択して全ての入出力ピンPa1〜Panに対して上記と
同様のオープン・ショート試験が行われ、前記電子機器
が実装不良か否かが判定される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年では、
バス線DB1〜DBnが電気的にフローティング状態に
なるものがある。そのため、選択された入出力ピンPa
1〜Panがオープン不良であっても、何らかの原因に
より該入出力ピンPa1〜Panに接続されたバス線D
B1〜DBnに電荷が蓄積していると、測定側IC2の
入出力ピンPb1〜Pbnの論理値が期待値「1」とな
る場合がある。このような場合、選択された入出力ピン
Pa1〜Panがオープン不良であるにもかかわらず、
正常であると誤検出されてしまう。
【0009】又、上記形態では、入出力ピンPa1〜P
anが物理アドレス順に順次選択される、即ち入出力ピ
ンPa1〜Panの論理値が物理アドレス順に順次
「1」となるので、前に選択された入出力ピンPa1〜
Panのバス線DB1〜DBn上に電荷が残留する場合
がある。このような場合、バス線DB1〜DBn上の残
留電荷により、測定側IC2における特定された入出力
ピンPb1〜Pbn、例えば特定された入出力ピンがP
b3とすると、該ピンPb3より物理アドレスが前の入
出力ピンPb1,Pb2にも、接続が正常であるにもか
かわらず特定された入出力ピンPb3の期待値「1」と
同じ論理値「1」が検出されることがある。すると、検
出された入出力ピンPb1,Pb2が正常接続であるに
もかかわらず、ショート不良であると誤検出されてしま
う。
【0010】又、被測定側IC1の出力ドライバ(バッ
ファ等)の駆動能力が大きい場合、今選択されたバス
線、例えばDB3が、若干電荷がリークするバス線であ
っても、該IC1の出力ドライバの駆動能力が電荷のリ
ーク量より勝れば測定側IC2の入出力ピンPb3では
期待値「1」と同じ論理値「1」が検出される。即ち、
入出力ピンPa3,Pb3とバス線DB3は正常である
と認識される。
【0011】ところが、測定側IC2の出力ドライバの
駆動能力が小さいとき、測定側IC2から被測定側IC
1に論理値「1」のデータを送った場合に、測定側IC
2の出力ドライバが駆動能力より電荷のリーク量より劣
ると、被測定側IC1の入出力ピンPa3において論理
値が「0」になる。即ち、被測定側IC1から測定側I
C2に正しいデータを送ることができるが、逆に測定側
IC2から被測定側IC1に正しいデータを送ることが
できない。
【0012】従って、上記形態では、IC1,2間の接
続が不良であるにもかかわらず、検出することができな
い(正常であると認識されてしまう)。つまり、上記形
態では、被測定側IC1から測定側IC2に向けて一方
向のみデータを出力して試験を行う方法であるため、こ
のような不具合が生じる。
【0013】そこで、被測定側IC1と測定側IC2と
に、それぞれ上記した試験回路1a及び受信回路2aを
設け、被測定側IC1と測定側IC2との間で双方向に
データを出力して試験を行う方法が考えられるが、両I
C1,2にそれぞれ回路1a,2aをともに組み込まな
ければならず、各IC1,2の回路面積が増大するとい
う新たな問題が発生する。
【0014】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたものであって、その目的は、回路面積を増大させ
ることなく、確実な半導体装置間のオープン・ショート
試験を行うことが可能な電子機器の試験方法、電子機
器、及び、その電子機器に搭載する半導体装置を提供す
ることにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明に
よれば、第1ステップでは、測定側半導体装置はバス線
に第1論理信号を出力する。第2ステップでは、被測定
側半導体装置は第1論理信号を取得する。第3ステップ
では、被測定側半導体装置は第2ステップで取得した第
1論理信号の論理を反転し、その反転した信号を第2論
理信号として出力する。そして、測定側半導体装置は、
第1,第2論理信号に基づいて両装置間の接続の良否を
判定する。
【0016】このようにすれば、被測定側半導体装置が
測定側半導体装置に第2論理信号を返送するとき(第3
ステップ)、その前のステップ(第1ステップ)でバス
線が第2論理信号の論理値と逆の論理値(第1論理信号
の論理値)とされる。従って、バス線上の残留電荷が上
記した接続判定に悪影響を与えない。
【0017】更に、両装置間では、論理信号の授受が行
われる。そのため、各装置の出力ドライバの駆動能力を
ともに考慮した上で、接続判定が行われることになる。
従って、従来生じていた各装置の出力ドライバの駆動能
力差による誤検出が防止される。
【0018】更に又、両装置間で双方向に信号をやり取
りし、一方の測定側半導体装置で上記判定を行うように
したので、被測定側半導体装置の回路面積が増大しな
い。その結果、回路面積を増大させることなく、確実な
半導体装置間のオープン・ショート試験を行うことがで
きる。
【0019】請求項2に記載の発明によれば、第1ステ
ップでは、測定側半導体装置はバス線に第1論理信号を
出力する。第2ステップでは、被測定側半導体装置は第
1論理信号を取得する。第3ステップでは、測定側半導
体装置はバス線に第1論理信号の論理を反転した第2論
理信号を出力する。第4ステップは、被測定側半導体装
置は第2ステップで取得した第1論理信号を出力する。
そして、測定側半導体装置は、第1,第2論理信号に基
づいて両装置間の接続の良否を判定する。
【0020】このようにすれば、被測定側半導体装置が
測定側半導体装置に第1論理信号を返送するとき(第4
ステップ)、その前のステップ(第3ステップ)でバス
線が第1論理信号の論理値と逆の論理値(第2論理信号
の論理値)とされる。従って、バス線上の残留電荷が上
記した接続判定に悪影響を与えない。
【0021】更に、両装置間では、論理信号の授受が行
われる。そのため、各装置の出力ドライバの駆動能力を
ともに考慮した上で、接続判定が行われることになる。
従って、従来生じていた各装置の出力ドライバの駆動能
力差による誤検出が防止される。
【0022】更に又、両装置間で双方向に信号をやり取
りし、一方の測定側半導体装置で上記判定を行うように
したので、被測定側半導体装置の回路面積が増大しな
い。その結果、回路面積を増大させることなく、確実な
半導体装置間のオープン・ショート試験を行うことがで
きる。
【0023】請求項3に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、第1論理信号の論理値を、特定のバス線と
それ以外のバス線とで異ならせた。そのため、その時々
において、特定のバス線以外で該バス線の論理値と同様
に変化すれば、そのバス線と特定のバス線とのショート
が検出される。
【0024】請求項4に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、第1論理信号の論理値を、物理的に隣接す
るバス線毎に異ならせた。そのため、その時々におい
て、隣接するバス線の論理値が同様に変化すれば、隣接
するバス線間のショートが検出される。
【0025】請求項5に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、第1論理信号の論理値を、物理的に隣接す
る複数のバス線単位毎に異ならせた。そのため、その時
々において、特定の複数のバス線以外で該バス線の論理
値と同様に変化すれば、そのバス線と特定の複数のバス
線のいずれかとのショートが検出される。
【0026】請求項6に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、特定のバス線に対して前記各ステップを実
行するとともに、それ以外のバス線に対して判定動作の
み行うようにした。このようにしても、請求項3と同様
な良否判定を行うことができる。
【0027】又、測定側半導体装置は、特定のバス線に
対してのみ請求項1又は2に記載の各ステップを実行
し、他のバス線を特定のバス線と逆の論理値にて保持し
てもよく、この様にしても、両装置間の接続の良否判定
を行うことが可能となる。
【0028】請求項7に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、バス線に第1論理信号を出力する測定側出
力部と、被測定側半導体装置からバス線を介して入力さ
れる第2論理信号と、第1論理信号を比較し、その比較
結果に基づく判定信号を出力するデータ比較部とが備え
られる。被測定側半導体装置は、第1論理信号を取得す
る入力部と、第1論理信号の論理を反転し、その反転し
た信号を第2論理信号として出力する被測定側出力部と
が備えられる。そして、測定側半導体装置は、判定信号
に基づいて両装置間の接続の良否を判定する。
【0029】このようにすれば、被測定側半導体装置が
測定側半導体装置に第2論理信号を返送するとき、その
前にバス線が第2論理信号の論理値と逆の論理値(第1
論理信号の論理値)とされる。従って、バス線上の残留
電荷が上記した接続判定に悪影響を与えない。
【0030】更に、両装置間では、論理信号の授受が行
われる。そのため、各装置の出力ドライバの駆動能力を
ともに考慮した上で、接続判定が行われることになる。
従って、従来生じていた各装置の出力ドライバの駆動能
力差による誤検出が防止される。
【0031】更に又、両装置間で双方向に信号をやり取
りし、一方の測定側半導体装置で上記判定を行うように
したので、被測定側半導体装置の回路面積が増大しな
い。その結果、回路面積を増大させることなく、確実な
半導体装置間のオープン・ショート試験を行うことがで
きる。
【0032】請求項8に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、バス線に第1論理信号を出力する測定側出
力部と、バス線に第1論理信号の論理を反転した第2論
理信号を出力する反転出力部と、被測定側半導体装置か
らバス線を介して入力される第1論理信号と、第2論理
信号を比較し、その比較結果に基づく判定信号を生成す
るデータ比較部とが備えられる。被測定側半導体装置
は、第1論理信号を取得する入力部と、入力部で取得し
た第1論理信号をバス線に出力する被測定側出力部とが
備えられる。そして、測定側半導体装置は、判定信号に
基づいて両装置間の接続の良否を判定する。
【0033】このようにすれば、被測定側半導体装置が
測定側半導体装置に第1論理信号を返送するとき、その
前にバス線が第1論理信号の論理値と逆の論理値(第2
論理信号の論理値)とされる。従って、バス線上の残留
電荷が上記した接続判定に悪影響を与えない。
【0034】更に、両装置間では、論理信号の授受が行
われる。そのため、各装置の出力ドライバの駆動能力を
ともに考慮した上で、接続判定が行われることになる。
従って、従来生じていた各装置の出力ドライバの駆動能
力差による誤検出が防止される。
【0035】更に又、両装置間で双方向に信号をやり取
りし、一方の測定側半導体装置で上記判定を行うように
したので、被測定側半導体装置の回路面積が増大しな
い。その結果、回路面積を増大させることなく、確実な
半導体装置間のオープン・ショート試験を行うことがで
きる。
【0036】請求項9に記載の発明によれば、測定側半
導体装置は、第1論理信号の論理値を、特定のバス線と
それ以外のバス線とで異ならせた。そのため、その時々
において、特定のバス線以外で該バス線の論理値と同様
に変化すれば、そのバス線と特定のバス線とのショート
が検出される。
【0037】請求項10に記載の発明によれば、測定側
半導体装置は、第1論理信号の論理値を、物理的に隣接
するバス線毎に異ならせた。そのため、その時々におい
て、隣接するバス線の論理値が同様に変化すれば、隣接
するバス線間のショートが検出される。
【0038】請求項11に記載の発明によれば、測定側
半導体装置は、第1論理信号の論理値を、物理的に隣接
する複数のバス線単位毎に異ならせた。そのため、その
時々において、特定の複数のバス線以外で該バス線の論
理値と同様に変化すれば、そのバス線と特定の複数のバ
ス線のいずれかとのショートが検出される。
【0039】請求項12に記載の発明によれば、各出力
部及び前記入力部のうち少なくとも1つは、各半導体装
置の通常動作に使用する入出力部と共用される。従っ
て、半導体装置の回路面積の増大が抑えられる。
【0040】請求項13に記載の発明によれば、入力部
はラッチ回路で構成され、被測定側半導体装置には、第
1論理信号又は外部からの指令信号に基づいてラッチ回
路をリセットするリセット回路が備えられる。従って、
前にラッチ回路でラッチした信号が該回路に残ることが
防止される。
【0041】請求項14に記載の発明によれば、測定側
の半導体装置は、被測定側半導体装置に対して第1論理
信号を出力するデータ出力部と、被測定側出力部が応答
して出力する第2論理信号が入力され、該第2論理信号
と第1信号を比較し、その比較結果に基づく判定信号を
出力するデータ比較部とが備えられる。そして、このよ
うな測定側の半導体装置と被測定側半導体装置とがバス
線を介して接続され、電子機器が構成される。このよう
に構成された電子機器は、請求項7と同様に動作する。
従って、このような電子機器は、請求項7と同様の作用
効果を有する。
【0042】請求項15に記載の発明によれば、測定側
半導体装置は、被測定側半導体装置に対して第1論理信
号を出力するデータ出力部と、データ出力部が動作した
後に、第1論理信号の論理を反転した第2論理信号を出
力するデータ反転部と、被測定側出力部が応答して出力
する第1論理信号が入力され、該第1論理信号と第2論
理信号を比較し、その比較結果に基づく判定信号を出力
するデータ比較部とが備えられる。そして、このような
測定側の半導体装置と被測定側半導体装置とがバス線を
介して接続され、電子機器が構成される。このように構
成された電子機器は、請求項8と同様に動作する。従っ
て、このような電子機器は、請求項8と同様の作用効果
を有する。
【0043】請求項16に記載の発明によれば、被測定
側の半導体装置は、測定側半導体装置から入力される論
理信号をラッチするラッチ回路と、ラッチ回路にてラッ
チした論理信号を反転して出力する論理部が備えられ
る。そして、このような被測定側の半導体装置と測定側
半導体装置とがバス線を介して接続され、電子機器が構
成される。このように構成された電子機器は、請求項7
と同様に動作する。従って、このような電子機器は、請
求項7と同様の作用効果を有する。
【0044】請求項17に記載の発明によれば、被測定
側の半導体装置は、測定側半導体装置から入力される論
理信号をラッチするラッチ回路と、ラッチ回路にてラッ
チした論理信号を出力する論理部とが備えられる。そし
て、このような測定側の半導体装置と被測定側半導体装
置とがバス線を介して接続され、電子機器が構成され
る。このように構成された電子機器は、請求項8と同様
に動作する。従って、このような電子機器は、請求項8
と同様の作用効果を有する。
【0045】請求項18に記載の発明によれば、リセッ
ト回路は、バス線上の信号又は外部からの指令信号に基
づいて前記ラッチ回路をリセットするリセット回路が備
えられる。従って、前にラッチ回路でラッチした信号が
該回路に残ることが防止される。
【0046】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)以下、本発
明を具体化した第1の実施の形態を図1及び図2に従っ
て説明する。
【0047】図1に示すように、電子機器には複数の半
導体装置(IC)が搭載され、同図1においてはその内
の2つの半導体装置であるCPU10とメモリ30とが
図示されている。この形態では、CPU10を測定側I
Cとし、メモリ30を被測定側ICとする。CPU10
の入出力ピンPa1〜Panは、メモリ30の入出力ピ
ンPb1〜Pbnとバス線DB1〜DBnを介して接続
される。尚、入出力ピンPa1〜Pan,Pb1〜Pb
nは、CPU10及びメモリ30に複数個備えられ、同
図1ではその内1つのみ図示している。又、バス線DB
1〜DBnも入出力ピンPa1〜Pan,Pb1〜Pb
nと同様である。尚、これらバス線DB1〜DBnは、
電気的にフローティング状態となるように構成されてい
る。
【0048】CPU10内には、入出力ピンPa1〜P
anに対して、それぞれデータ出力部11とデータ比較
部12とが備えられる。尚、それぞれのデータ出力部1
1とデータ比較部12の回路構成は同じであるので、入
出力ピンPa1を代表して説明する。
【0049】データ出力部11は、3つのインバータ回
路13〜15、PMOSトランジスタ16、及び、NM
OSトランジスタ17で構成される。インバータ回路1
3は、CMOS型のインバータ回路で構成される。イン
バータ回路13の高電位側電源端子は、PMOSトラン
ジスタ16を介して電源VCCに接続される。このPMO
Sトランジスタ16のゲートには、制御信号φOEAが
インバータ回路14を介して入力される。又、インバー
タ回路13の低電位側電源端子は、NMOSトランジス
タ17を介してグランドGNDに接続される。このNM
OSトランジスタ17のゲートには制御信号φOEAが
入力される。インバータ回路13の入力端子には、CP
U10の内部回路(図示略)からデータDATAがイン
バータ回路15を介して入力される。インバータ回路1
3の出力端子はCPU10の入出力ピンPa1に接続さ
れる。そして、データ出力部11は、Hレベルの制御信
号φOEAに応答してインバータ回路13が活性化され
ると、データDATAを入出力ピンPa1に出力する。
【0050】データ比較部12は、2つのNAND回路
18,19、NOR回路20、及び、5つのインバータ
回路21〜25で構成される。NAND回路18の第1
入力端子には、前記データDATAがインバータ回路2
1を介して入力される。NAND回路18の第2入力端
子には、インバータ回路22の出力信号が入力される。
このインバータ回路22の入力端子は前記入出力ピンP
a1に接続される。NAND回路18の出力信号は、N
OR回路20の第1入力端子にインバータ回路23を介
して入力される。
【0051】NAND回路19の第1入力端子には、前
記データDATAが入力される。NAND回路19の第
2入力端子には、前記インバータ回路22の出力信号が
インバータ回路24を介して入力される。NAND回路
19の出力信号は、NOR回路20の第2入力端子にイ
ンバータ回路25を介して入力される。NOR回路20
の出力信号は、判定信号φJDGとして出力される。そ
して、データ比較部12は、データDATAと入出力ピ
ンPa1の論理値が一致するときにLレベルの判定信号
φJDGを出力し、不一致のときにHレベルの判定信号
φJDGを出力する。
【0052】これに対し、メモリ30内には、入出力ピ
ンPb1〜Pbnに対して、それぞれラッチ部31と論
理部32とが備えられる。尚、それぞれのラッチ部31
と論理部32の回路構成は同じであるので、入出力ピン
Pb1を代表して説明する。
【0053】ラッチ部31は、転送ゲート33、ラッチ
回路34、インバータ回路35a,35b、遅延回路3
5c、制御回路35d、及び、リセット回路36で構成
される。転送ゲート33は、CMOS型の転送ゲートで
構成される。転送ゲート33は、メモリ30の入出力ピ
ンPb1とラッチ回路34との間に介在される。転送ゲ
ート33のPMOSトランジスタのゲートには制御信号
φINBが遅延回路35c及びインバータ回路35aを
介して入力され、NMOSトランジスタのゲートには制
御信号φINBが遅延回路35cを介して入力される。
因みに、この遅延回路35cは、偶数段(6段)のイン
バータ回路で構成される。
【0054】リセット回路36は、CMOS型のインバ
ータ回路36a、PMOSトランジスタ36b、及び、
NMOSトランジスタ36cで構成される。インバータ
回路36aは、その入力端子が入出力ピンPb1に接続
され、出力端子がラッチ回路34に接続される。インバ
ータ回路36aの高電位側電源端子は、PMOSトラン
ジスタ36bを介して電源VCCに接続される。このPM
OSトランジスタ36bのゲートには制御回路35dに
より制御信号φINBから作成された制御信号Mが入力
される。又、インバータ回路36aの低電位側電源端子
は、NMOSトランジスタ36bを介してグランドGN
Dに接続される。このNMOSトランジスタ36cのゲ
ートには、制御回路35dからの制御信号Mがインバー
タ回路35bを介して入力される。
【0055】この制御回路35dは、NAND回路及び
奇数段(3段)のインバータ回路で構成される。NAN
D回路の第1入力端子には制御信号φINBが入力さ
れ、第2入力端子には制御信号φINBが奇数段のイン
バータ回路を介して入力される。NAND回路の出力信
号は前記制御信号Mとして出力される。このような制御
回路35dは、制御信号φINBが立ち上がると、所定
時間だけLレベルの制御信号Mを出力する。因みに、制
御信号MがLレベルとなる時間は、制御信号φINBを
遅延させる前記遅延回路35cの遅延時間より短い。そ
して、このように構成され制御されるリセット回路36
は次段のラッチ回路34をリセットするために設けられ
る。
【0056】ラッチ回路34は、2つのインバータ回路
34a,34bで構成される。インバータ回路34aの
入力端子は前記転送ゲート33に接続される。インバー
タ回路34aの出力端子はインバータ回路34bの入力
端子に接続され、該回路34bの出力端子はインバータ
回路34aの入力端子に接続される。転送ゲート33と
インバータ回路34aの入力端子との間のノードNはラ
ッチ回路34の出力ノードであって、次段の論理部32
に接続される。そして、ラッチ部31は、Hレベルの制
御信号φINBに応答して転送ゲート33が導通状態に
なると、入出力ピンPb1に入力されるデータDATA
をラッチ回路34にてラッチする。
【0057】論理部32は、転送ゲート37、3つのイ
ンバータ回路38〜40、PMOSトランジスタ41、
及び、NMOSトランジスタ42で構成される。転送ゲ
ート37は、CMOS型の転送ゲートで構成される。転
送ゲート37は、ラッチ部31のノードNとインバータ
回路39の入力端子との間に介在される。転送ゲート3
7のPMOSトランジスタのゲートには制御信号φOE
Bがインバータ回路38を介して入力され、NMOSト
ランジスタのゲートには制御信号φOEBが入力され
る。
【0058】インバータ回路39は、CMOS型のイン
バータ回路で構成される。インバータ回路39の高電位
側電源端子は、PMOSトランジスタ41を介して電源
VCCに接続される。このPMOSトランジスタ41のゲ
ートには、制御信号φOEBがインバータ回路40を介
して入力される。又、インバータ回路39の低電位側電
源端子は、NMOSトランジスタ42を介してグランド
GNDに接続される。このNMOSトランジスタ42の
ゲートには制御信号φOEBが入力される。インバータ
回路39の出力端子は前記入出力ピンPb1に接続され
る。そして、論理部32は、Hレベルの制御信号φOE
Bに応答して転送ゲート37が導通状態になりインバー
タ回路39が活性化されると、入出力ピンPb1に入力
されたデータDATAの論理を反転したデータDATA
を該入出力ピンPb1に出力する。
【0059】このように構成されたCPU10及びメモ
リ30は、テストモード信号に応答してテストモードに
なり、データDATA、及び、制御信号φOEA,φI
NB,φOEBを図2に示すように遷移させる。尚、制
御信号φOEAの立ち上がりを第1ステップ、制御信号
φINBの立ち上がりを第2ステップ、制御信号φOE
Bの立ち上がりを第3ステップとする。
【0060】先ず、CPU10は、テストモード信号に
応答して、特定の入出力ピンPa1〜Panを物理アド
レス順に順次選択する。即ち、CPU10は、入出力ピ
ンPa1〜Panの論理値を順次「1」とすべく、テス
トモード信号の入力から所定時間経過後に、内部回路
(図示略)から論理値「1」のデータDATAを各入出
力ピンPa1〜Panに対応したデータ出力部11に出
力する。つまり、CPU10は、各入出力ピンPa1〜
Panの論理値が「1000・・・0」、「0100・
・・0」、「0010・・・0」、・・・、「0000
・・・1」と順次変化するように動作する。尚、入出力
ピンPa1〜入出力ピンPanの各回路は同様に動作す
るため、以下には、入出力ピンPa1を中心に説明す
る。
【0061】(1)CPU10とメモリ30とが正常に
接続されている場合。 (1−1)今、CPU10の内部回路から第1論理信号
として論理値「1」のデータDATAが出力されている
とする。
【0062】第1ステップでは、制御信号φOEAが立
ち上がり、PMOSトランジスタ16及びNMOSトラ
ンジスタ17がオンされ、インバータ回路13が活性化
される。そして、インバータ回路13は、論理値「1」
のデータDATAをCPU10の入出力ピンPa1に出
力する。
【0063】CPU10の入出力ピンPa1に論理値
「1」のデータDATAが出力されると、該データDA
TAがバス線DB1及びメモリ30の入出力ピンPb1
を介してラッチ部31に入力される。
【0064】第2ステップでは、制御信号φINBが立
ち上がると、制御信号Mが所定時間Lレベルになる。す
ると、その所定時間内、リセット回路36は活性状態と
なるため、該回路36は論理値「1」のデータDATA
に基づいて、ノードNの電位をLレベル(論理値
「0」)にリセットする。その後、転送ゲート33に遅
延回路35cを介して制御信号φINBが入力され、制
御信号Mが立ち上がると、転送ゲート33が導通状態に
なるとともに、インバータ回路36aが非活性化され
る。すると、入出力ピンPb1に入力されたデータDA
TAが転送ゲート33を介してラッチ回路34に入力さ
れる。ラッチ回路34は、データDATAをラッチし、
ノードNを論理値「1」となるように電位を保持する。
その後、制御信号φOEAが立ち下がり、インバータ回
路13が非活性化される。
【0065】次に、第3ステップでは、制御信号φOE
Bが立ち上がると、転送ゲート37が導通状態になると
ともに、インバータ回路39が活性化される。すると、
インバータ回路39には、ラッチ回路34にてラッチし
たデータDATAが入力される。そして、インバータ回
路39は、論理を反転したデータDATA、即ち第2論
理信号として論理値「0」のデータDATAをメモリ3
0の入出力ピンPb1に出力する。
【0066】メモリ30の入出力ピンPb1に論理値
「0」のデータDATAが出力されると、該データDA
TAがバス線DB1を介してCPU10の入出力ピンP
a1に入力される。メモリ30から論理値「0」のデー
タDATAが返送されると、データ比較部12は、返送
された論理値「0」のデータDATAと、CPU10の
内部回路から出力された論理値「1」のデータDATA
との比較演算を行う。そして、データ比較部12は、そ
の比較演算に基づいてHレベルの判定信号φJDGを出
力する。
【0067】(1−2)次に、CPU10の内部回路か
ら第1論理信号として論理値「0」のデータDATAが
出力されているとする。上記(1−1)と同様に、第1
ステップでは、Hレベルの制御信号φOEAに応答して
インバータ回路13が活性化され、論理値「0」のデー
タDATAが入出力ピンPa1に出力される。
【0068】第2ステップでは、Hレベルの制御信号φ
INBに応答して、先ずリセット回路36が活性化さ
れ、論理値「0」のデータDATAに基づいて、ノード
Nの電位をLレベル(論理値「1」)にリセットする。
その後、転送ゲート33が導通状態になり、ラッチ回路
34は入出力ピンPb1、転送ゲート33を介して入力
されるデータDATAをラッチする。
【0069】第3ステップでは、Hレベルの制御信号φ
OEBに応答して転送ゲート37が導通状態になり、イ
ンバータ回路39が活性化される。そして、インバータ
回路39は、第2論理信号として論理値「1」のデータ
DATAをメモリ30の入出力ピンPb1に出力する。
【0070】データ比較部12は、返送された論理値
「1」のデータDATAと、CPU10の内部回路から
出力された論理値「0」のデータDATAとを比較し、
Hレベルの判定信号φJDGを出力する。
【0071】このように(1−1),(1−2)に示す
ように、内部回路から出力されるデータDATAの論理
値にかかわらず、ともに第3ステップでHレベルの判定
信号φJDGが出力されると、CPU10は、入出力ピ
ンPa1,Pb1及びバス線DB1が正常に接続されて
いると認識する。
【0072】又、メモリ30がCPU10にデータDA
TAを返送するとき(第3ステップ)、その前のステッ
プ(第1ステップ)でバス線DB1〜DBnが該データ
DATAの論理値と逆の論理値とされる。従って、バス
線DB1〜DBn上の残留電荷が上記した接続判定に悪
影響を与えない。
【0073】(2−1)CPU10とメモリ30との間
のバス線DB1〜DBn又は入出力ピンPa1〜Pa
n,Pb1〜Pbnいずれかが、物理的に近接するそれ
らとショート不良が発生している場合。
【0074】今、論理値「1」を出力する入出力ピンP
a1,Pb1、バス線DB1と、論理値「0」を出力す
る入出力ピンPa2,Pb2、バス線DB2との間でシ
ョートしているとする。この場合、入出力ピンPa1の
電位と、入出力ピンPa2の電位が同様に変化する。そ
のため、入出力ピンPa2の論理値の変化が正常時と逆
になり、第3ステップでデータDATAと入出力ピンP
a2の論理値が一致し、入出力ピンPa2に対応するデ
ータ比較部12は、第3ステップでLレベルの判定信号
φJDGを出力する。
【0075】又、入出力ピンPa1,Pb1、バス線D
B1の論理値が「0」になり、入出力ピンPa2,Pb
2、バス線DB2の論理値が「1」になると、上記と同
様に、入出力ピンPa1の論理値の変化が正常時と逆に
なる。そのため、第3ステップでデータDATAと入出
力ピンPa1の論理値が一致し、入出力ピンPa1に対
応するデータ比較部12は、第3ステップでLレベルの
判定信号φJDGを出力する。
【0076】そして、第3ステップでデータ比較部12
からLレベルの判定信号φJDGが出力されると、CP
U10は、そのデータ比較部12に対応する入出力ピン
Pa1,Pa2におけるCPU10とメモリ30との間
の接続が異常(不良)であると認識する。
【0077】(2−2)CPU10とメモリ30との間
のバス線DB1〜DBn又は入出力ピンPa1〜Pa
n,Pb1〜Pbnのいずれかが、グランドGND側の
配線又は入出力ピンとショートした場合。
【0078】仮に、入出力ピンPa1,Pb1、バス線
DB1が、グランドGND側の配線又は入出力ピンとシ
ョートしているとする。この場合、CPU10の出力ド
ライバであるインバータ回路13の駆動能力がバス線D
B1の電荷のリーク量より劣っていると、入出力ピンP
a1の論理値が常に「0」になる。そのため、内部回路
から論理値「0」のデータDATAが出力されていると
き、第3ステップでデータDATAと入出力ピンPa1
の論理値が一致するため、入出力ピンPa1に対応する
データ比較部12は、第3ステップでLレベルの判定信
号φJDGを出力する。
【0079】そして、第3ステップでデータ比較部12
からLレベルの判定信号φJDGが出力されると、CP
U10は、そのデータ比較部12に対応する入出力ピン
Pa1におけるCPU10とメモリ30との間の接続が
異常(不良)であると認識する。
【0080】又、CPU10の出力ドライバであるイン
バータ回路13の駆動能力がバス線DB1の電荷のリー
ク量より勝っていると、入出力ピンPa1の論理値が正
常時と同様に変化する。ところが、メモリ30の出力ド
ライバであるインバータ回路39の駆動能力がバス線D
B1のリーク量より劣っていると、論理値「1」のデー
タDATAをCPU10に返送できない。従って、第3
ステップとなっても、入出力ピンPa1の論理値が
「0」となる。
【0081】つまり、内部回路から論理値「0」のデー
タDATAが出力されているとき、第3ステップでデー
タDATAと入出力ピンPa1の論理値が一致するた
め、入出力ピンPa1に対応するデータ比較部12は、
第3ステップでLレベルの判定信号φJDGを出力す
る。従って、CPU10は、上記と同様に、そのデータ
比較部12に対応する入出力ピンPa1におけるCPU
10とメモリ30との間の接続が異常(不良)であると
認識する。
【0082】(2−3)CPU10とメモリ30との間
のバス線DB1〜DBn又は入出力ピンPa1〜Pa
n,Pb1〜Pbnのいずれかが、高電位電源VCC側の
配線又は入出力ピンとショートした場合。
【0083】仮に、入出力ピンPa1,Pb1、バス線
DB1が、高電位側電源VCC側の配線又は入出力ピンと
ショートしているとする。この場合、CPU10の出力
ドライバであるインバータ回路13の駆動能力がバス線
DB1のリーク量より劣っていると、入出力ピンPa1
の論理値が常に「1」になる。そのため、内部回路から
論理値「1」のデータDATAが出力されているとき、
第3ステップでデータDATAと入出力ピンPa1の論
理値が一致するため、データ比較部12は、第3ステッ
プでLレベルの判定信号φJDGを出力する。
【0084】そして、第3ステップでデータ比較部12
からLレベルの判定信号φJDGが出力されると、CP
U10は、そのデータ比較部12に対応する入出力ピン
Pa1におけるCPU10とメモリ30との間の接続が
異常(不良)であると認識する。
【0085】又、CPU10の出力ドライバであるイン
バータ回路13の駆動能力がバス線DB1の電荷のリー
ク量より勝っていると、入出力ピンPa1の論理値が正
常時と同様に変化する。ところが、メモリ30の出力ド
ライバであるインバータ回路39の駆動能力がバス線D
B1のリーク量より劣っていると、論理値「0」のデー
タDATAをCPU10に返送できない。従って、第3
ステップとなっても、入出力ピンPa1の論理値が
「1」となる。
【0086】つまり、内部回路から論理値「1」のデー
タDATAが出力されているとき、第3ステップでデー
タDATAと入出力ピンPa1の論理値が一致するた
め、入出力ピンPa1に対応するデータ比較部12は、
第3ステップでLレベルの判定信号φJDGを出力す
る。従って、CPU10は、上記と同様に、そのデータ
比較部12に対応する入出力ピンPa1におけるCPU
10とメモリ30との間の接続が異常(不良)であると
認識する。
【0087】このように、上記(2−1)〜(2−3)
に示すように、内部回路から出力されるデータDATA
の論理値が「1」又は「0」のいずれかのときに、第3
ステップでLレベルの判定信号φJDGが出力される
と、CPU10は、該CPU10とメモリ30との間で
ショート不良が発生していると認識する。
【0088】(3)CPU10とメモリ30との間でオ
ープン不良が発生している場合。 仮に、入出力ピンPa1におけるCPU10とメモリ3
0との間でオープン不良が発生しているとする。
【0089】今、内部回路から出力されるデータDAT
Aの論理値が「1」のとき、第1ステップでインバータ
回路13が活性化され、CPU10の入出力ピンPa1
が論理値「1」となる。ところが、第3ステップにおい
ては、CPU10の入出力ピンPa1にメモり30から
データDATAが返送されないため、入出力ピンPa1
の論理値は「1」のままである。従って、データ比較部
12は、第3ステップで内部回路からのデータDATA
と入出力ピンPa1の論理値が一致するため、Lレベル
の判定信号φJDGを出力する。
【0090】同様に、内部回路から出力されるデータD
ATAの論理値が「0」のとき入出力ピンPa1の論理
値は「0」のままとなり、データ比較部12は、第3ス
テップでLレベルの判定信号φJDGを出力する。
【0091】そして、第3ステップでデータ比較部12
からLレベルの判定信号φJDGが出力されると、CP
U10は、そのデータ比較部12に対応する入出力ピン
Pa1におけるCPU10とメモリ30との間の接続が
異常(不良)であると認識する。又、上記したように内
部回路から出力されるデータDATAの論理値にかかわ
らず、ともに第3ステップでLレベルの判定信号φJD
Gが出力されると、CPU10は、該CPU10とメモ
リ30との間でオープン不良が発生していると認識す
る。
【0092】上記したように、この形態では、内部回路
から出力されるデータDATAの論理値にかかわらず、
ともに第3ステップでHレベルの判定信号φJDGが出
力されると、CPU10は、該CPU10とメモリ30
との接続が正常であると認識する。言い換えれば、それ
以外である場合には、CPU10は、該CPU10とメ
モリ30との間でオープン不良、若しくはショート不良
が発生していると認識する。
【0093】上記したように、本実施の形態では、以下
に示す作用効果を得ることができる。 (1)先ず、第1ステップでは、物理アドレス順に選択
されたCPU10の入出力ピンPa1〜Panからは論
理値「1」のデータDATAが、選択されていない入出
力ピンPa1〜Panからは論理値「0」のデータDA
TAが出力される。第2ステップでは、メモリ30の入
出力ピンPb1〜Pbnに入力されるデータDATAが
ラッチされる。第3ステップにおいて、データ比較部1
2では、内部回路からのデータDATAの論理値とメモ
リ30から返送された入出力ピンPa1〜Panの論理
値との比較演算が行われ、その比較結果に基づくレベル
の判定信号φJDGによって、バス線DB1〜DBnに
おけるオープン不良、若しくはショート不良の発生を容
易に認識することができる。
【0094】又、メモリ30がCPU10にデータDA
TAを返送するとき(第3ステップ)、その前のステッ
プ(第1ステップ)でバス線DB1〜DBnが該データ
DATAの論理値と逆の論理値とされる。従って、バス
線DB1〜DBn上の残留電荷が上記した接続判定に悪
影響を与えない。
【0095】更に、CPU10とメモリ30との間で
は、データDATAの授受が行われる。そのため、CP
U10及びメモリ30の出力ドライバ(インバータ回路
13,39)の駆動能力をともに考慮した上で、上記し
た接続の良否判定が行われることになる。従って、従来
生じていたCPU10及びメモリ30の出力ドライバの
駆動能力差による誤検出が防止される。
【0096】更に又、CPU10とメモリ30との間で
双方向にデータDATAをやり取りし、1つのデータ比
較部12で上記判定を行うようにしたので、メモリ30
の回路面積が増大しない。その結果、本実施の形態で
は、メモリ30の回路面積を増大させることなく、確実
なCPU10とメモリ30との間のオープン・ショート
試験を行うことができる。
【0097】(2)ラッチ部31には、メモリ30の入
出力ピンPb1〜Pbnに入力されたデータDATAに
基づいてラッチ回路34をリセットするリセット回路3
6が備えられる。従って、前にラッチ回路34でラッチ
したデータDATAが該回路34に残ることが防止でき
る。
【0098】(第2の実施の形態)以下、本発明を具体
化した第2の実施の形態を図3及び図4に従って説明す
る。尚、説明の便宜上、図1に示す第1の実施の形態と
同様の構成については同一の符号を付してその説明を一
部省略する。
【0099】図3に示すように、CPU10a内には、
入出力ピンPa1〜Panに対して、それぞれデータ出
力部11a、データ比較部12a、及び、データ反転部
26が備えられる。尚、それぞれのデータ出力部11
a、データ比較部12a、及び、データ反転部26の回
路構成は同じであるので、入出力ピンPa1を代表して
説明する。
【0100】データ出力部11aは、3つのインバータ
回路13〜15及び各MOSトランジスタ16,17に
加え、新たにNOR回路27が付加される。NOR回路
27には、制御信号φOEAと制御信号φREVが入力
される。NOR回路27の出力信号は、PMOSトラン
ジスタ16のゲートに入力されるとともに、NMOSト
ランジスタ17のゲートにインバータ回路14を介して
入力される。つまり、データ出力部11aは、制御信号
φOEA,φREVのいずれかが立ち上がると、インバ
ータ回路13が活性化され、データDATAを入出力ピ
ンPa1に出力する。
【0101】データ比較部12aは、前記第1実施形態
のデータ比較部12から入出力ピンPa1に接続される
初段のインバータ回路22が省略され、2つのNAND
回路18,19、NOR回路20、及び、4つのインバ
ータ回路21,23〜25で構成される。このような構
成のデータ比較部12aは、データDATAと入出力ピ
ンPa1の論理値が一致するときにHレベルの判定信号
φJDGを出力し、不一致のときにLレベルの判定信号
φJDGを出力する。
【0102】データ反転部26は、CMOS型の転送ゲ
ート28及びインバータ回路29で構成される。転送ゲ
ート28は、インバータ回路15と並列に接続される。
転送ゲート28のPMOSトランジスタのゲートには制
御信号φREVがインバータ回路29を介して入力さ
れ、NMOSトランジスタのゲートには制御信号φRE
Vが入力される。つまり、制御信号φREVがLレベル
のとき転送ゲート28が非導通状態となり、データDA
TAはインバータ回路15を介してインバータ回路13
に入力される。制御信号φREVがHレベルになると転
送ゲート28が導通状態となり、データDATAは転送
ゲート28を介してインバータ回路13に入力される。
【0103】これに対し、メモリ30a内には、入出力
ピンPb1〜Pbnに対して、それぞれ前記第1実施形
態と同様に構成されたラッチ部31と論理部32とが備
えられる。尚、以下には、入出力ピンPb1を代表して
説明する。
【0104】この形態と前記第1実施形態とが異なる点
は、ラッチ回路34の出力ノードがインバータ回路34
aの出力端子となり、該出力端子に転送ゲート37が接
続される。つまり、ラッチ部31は、Hレベルの制御信
号φINBに応答して転送ゲート33が導通状態になる
と、入出力ピンPb1に入力されるデータDATAをラ
ッチ回路34にてラッチする。論理部32は、Hレベル
の制御信号φOEBに応答して転送ゲート37が導通状
態になりインバータ回路39が活性化されると、入出力
ピンPb1に入力されたデータDATAと同一論理のデ
ータDATAを該入出力ピンPb1に出力する。
【0105】このように構成されたCPU10a及びメ
モリ30aは、テストモード信号に応答してテストモー
ドになり、データDATA、及び、制御信号φOEA,
φINB,φREV,φOEBを図4に示すように遷移
させる。尚、制御信号φOEAの立ち上がりを第1ステ
ップ、制御信号φINBの立ち上がりを第2ステップ、
制御信号φREVの立ち上がりを第3ステップ、制御信
号φOEBの立ち上がりを第4ステップとする。
【0106】先ず、CPU10aは、第1実施形態と同
様に、テストモード信号に応答して、特定の入出力ピン
Pa1〜Panの論理値を順次「1」とすべく、該信号
の入力から所定時間経過後に、内部回路(図示略)から
論理値「1」のデータDATAを各入出力ピンPa1〜
Panに対応したデータ出力部11aに出力する。尚、
入出力ピンPa1〜入出力ピンPanの各回路は同様に
動作するため、以下には、入出力ピンPa1を中心に説
明する。
【0107】(1)CPU10aとメモリ30aとが正
常に接続されている場合。 (1−1)今、CPU10aの内部回路から論理値
「1」のデータDATAが出力されているとする。
【0108】第1ステップでは、制御信号φOEAが立
ち上がり、PMOSトランジスタ16及びNMOSトラ
ンジスタ17がオンされ、インバータ回路13が活性化
される。このとき、制御信号φREVがLレベルである
ので、転送ゲート28は非導通状態となっている。その
ため、インバータ回路13は、論理値「1」のデータD
ATAをCPU10aの入出力ピンPa1に出力する。
このとき、データDATAの論理値が「1」、入出力ピ
ンPa1の論理値が「1」になると、データ比較部12
aはHレベルの判定信号φJDGを出力する。
【0109】CPU10aの入出力ピンPa1に論理値
「1」のデータDATAが出力されると、該データDA
TAがバス線DB1及びメモリ30aの入出力ピンPb
1を介してラッチ部31に入力される。
【0110】第2ステップでは、制御信号φINBが立
ち上がると、制御信号Mが所定時間Lレベルになる。す
ると、その所定時間内、インバータ回路36aは活性状
態となるため、該回路36aは論理値「1」のデータD
ATAに基づいて、ノードNの電位をLレベル(論理値
「0」)にリセットする。その後、転送ゲート33に遅
延回路35cを介して制御信号φINBが入力され、制
御信号Mが立ち上がると、転送ゲート33が導通状態に
なるとともに、インバータ回路36aが非活性化され
る。すると、入出力ピンPb1に入力されたデータDA
TAが転送ゲート33を介してラッチ回路34に入力さ
れ、ラッチ回路34にてラッチされる。その後、制御信
号φOEAが立ち下がり、インバータ回路13が非活性
化される。
【0111】第3ステップでは、制御信号φREVが立
ち上がり、転送ゲート28が導通状態となる。このと
き、インバータ回路13も活性化状態となる。そのた
め、インバータ回路13は、内部回路から出力された論
理値「1」のデータDATAに基づいて、論理を反転し
た論理値「0」のデータDATAをCPU10aの入出
力ピンPa1に出力する。このとき、データDATAの
論理値が「1」、入出力ピンPa1の論理値が「0」に
なると、データ比較部12aはLレベルの判定信号φJ
DGを出力する。そして、バス線DB1がLレベル(論
理値「0」)になる。その後、制御信号φREVが立ち
下がると、転送ゲート28が非導通状態となるととも
に、インバータ回路13が非活性化される。
【0112】第4ステップでは、制御信号φOEBが立
ち上がると、転送ゲート37が導通状態になるととも
に、インバータ回路39が活性化される。すると、イン
バータ回路39には、ラッチ回路34にてラッチしたデ
ータDATAが入力される。そして、インバータ回路3
9は、メモリ30aに入力されたデータDATAと同一
論理のデータDATA、即ち論理値「1」のデータDA
TAをメモリ30aの入出力ピンPb1に出力する。
【0113】メモリ30aの入出力ピンPb1に論理値
「1」のデータDATAが出力されると、該データDA
TAがバス線DB1を介してCPU10aの入出力ピン
Pa1に入力される。メモリ30aから論理値「1」の
データDATAが返送されると、データ比較部12a
は、返送された論理値「1」のデータDATAと、CP
U10aの内部回路から出力された論理値「1」のデー
タDATAとの比較演算を行う。そして、データ比較部
12aは、その比較演算に基づいてHレベルの判定信号
φJDGを出力する。
【0114】(1−2)次に、CPU10aの内部回路
から論理値「0」のデータDATAが出力されていると
する。 上記(1−1)と同様に、第1ステップでは、Hレベル
の制御信号φOEAに応答してインバータ回路13が活
性化され、論理値「0」のデータDATAが入出力ピン
Pa1に出力される。
【0115】第2ステップでは、Hレベルの制御信号φ
INBに応答して、先ずリセット回路36が活性化さ
れ、論理値「0」のデータDATAに基づいて、ノード
Nの電位をLレベル(論理値「1」)にリセットする。
その後、転送ゲート33が導通状態になり、ラッチ回路
34は入出力ピンPb1、転送ゲート33を介して入力
されるデータDATAをラッチする。
【0116】第3ステップでは、Hレベルの制御信号φ
REVに応答して内部回路からのデータDATAの論理
を反転した論理値「1」のデータDATAを入出力ピン
Pa1に出力する。
【0117】第4ステップでは、Hレベルの制御信号φ
OEBに応答して転送ゲート37が導通状態になり、イ
ンバータ回路39が活性化される。そして、インバータ
回路39は、論理値「0」のデータDATAをメモリ3
0aの入出力ピンPb1に出力する。
【0118】データ比較部12aは、返送された論理値
「0」のデータDATAと、CPU10aの内部回路か
ら出力された論理値「0」のデータDATAとの比較演
算し、Hレベルの判定信号φJDGを出力する。
【0119】このように(1−1),(1−2)に示す
ように、第4ステップでHレベルの判定信号φJDGが
出力されると、CPU10aは、入出力ピンPa1,P
b1及びバス線DB1が正常に接続されていると認識す
る。
【0120】又、メモリ30aがCPU10aにデータ
DATAを返送するとき(第4ステップ)、その前のス
テップ(第3ステップ)でバス線DB1〜DBnが該デ
ータDATAの論理値と逆の論理値とされる。従って、
バス線DB1〜DBn上の残留電荷が上記した接続判定
に悪影響を与えない。
【0121】(2−1)CPU10aとメモリ30aと
の間のバス線DB1〜DBn又は入出力ピンPa1〜P
an,Pb1〜Pbnいずれかが、物理的に近接するそ
れらとショート不良が発生している場合。
【0122】今、論理値「1」を出力する入出力ピンP
a1,Pb1、バス線DB1と、論理値「0」を出力す
る入出力ピンPa2,Pa2、バス線DB2との間でシ
ョートしているとする。この場合、入出力ピンPa1の
電位と、入出力ピンPa2の電位が同様に変化する。そ
のため、入出力ピンPa2の論理値の変化が正常時と逆
になるため、第4ステップでデータDATAと入出力ピ
ンPa2の論理値が不一致となり、入出力ピンPa2に
対応するデータ比較部12aは、Lレベルの判定信号φ
JDGを出力する。
【0123】又、入出力ピンPa1,Pb1、バス線D
B1の論理値が「0」になり、入出力ピンPa2,Pa
2、バス線DB2の論理値が「1」になると、上記と同
様に、入出力ピンPa1の論理値の変化が正常時と逆に
なる。そのため、第4ステップでデータDATAと入出
力ピンPa1の論理値が不一致となり、入出力ピンPa
1に対応するデータ比較部12aは、Lレベルの判定信
号φJDGを出力するそして、第4ステップでデータ比
較部12aからLレベルの判定信号φJDGが出力され
ると、CPU10aは、そのデータ比較部12aに対応
する入出力ピンPa1,Pa2におけるCPU10aと
メモリ30aとの間の接続が異常(不良)であると認識
する。
【0124】(2−2)CPU10aとメモリ30aと
の間のバス線DB1〜DBn又は入出力ピンPa1〜P
an,Pb1〜Pbnいずれかが、グランドGND側の
配線又は入出力ピンとショートした場合。
【0125】仮に、入出力ピンPa1,Pb1、バス線
DB1が、グランドGND側の配線又は入出力ピンとシ
ョートしているとする。この場合、CPU10aの出力
ドライバであるインバータ回路13の駆動能力がバス線
DB1の電荷のリーク量より劣っていると、入出力ピン
Pa1の論理値が常に「0」になる。そのため、内部回
路から論理値「1」のデータDATAが出力されている
とき、第4ステップでデータDATAと入出力ピンPa
1の論理値が不一致となり、入出力ピンPa1に対応す
るデータ比較部12aは、第4ステップでLレベルの判
定信号φJDGを出力する。
【0126】そして、第4ステップでデータ比較部12
aからLレベルの判定信号φJDGが出力されると、C
PU10aは、そのデータ比較部12aに対応する入出
力ピンPa1におけるCPU10aとメモリ30aとの
間の接続が異常(不良)であると認識する。
【0127】又、CPU10aの出力ドライバであるイ
ンバータ回路13の駆動能力がバス線DB1の電荷のリ
ーク量より勝っていると、入出力ピンPa1の論理値が
正常時と同様に変化する。ところが、メモリ30aの出
力ドライバであるインバータ回路39の駆動能力がバス
線DB1のリーク量より劣っていると、論理値「1」の
データDATAをCPU10に返送できない。従って、
第4ステップとなっても、入出力ピンPa1の論理値が
「0」となる。
【0128】つまり、内部回路から論理値「1」のデー
タDATAが出力されているとき、第4ステップでデー
タDATAと入出力ピンPa1の論理値が不一致となる
ため、入出力ピンPa1に対応するデータ比較部12a
は、第4ステップでLレベルの判定信号φJDGを出力
する。従って、CPU10aは、上記と同様に、そのデ
ータ比較部12aに対応する入出力ピンPa1における
CPU10aとメモリ30aとの間の接続が異常(不
良)であると認識する。
【0129】(2−3)CPU10aとメモリ30aと
の間のバス線DB1〜DBn又は入出力ピンPa1〜P
an,Pb1〜Pbnいずれかが、高電位電源VCC側の
配線又は入出力ピンとショートした場合。
【0130】仮に、入出力ピンPa1,Pb1、バス線
DB1が、高電位電源VCC側の配線又は入出力ピンとシ
ョートしているとする。この場合、CPU10aの出力
ドライバであるインバータ回路13の駆動能力がバス線
DB1の電荷のリーク量より劣っていると、入出力ピン
Pa1〜Panの論理値が常に「1」になる。そのた
め、内部回路から論理値「0」のデータDATAが出力
されているとき、第4ステップでデータDATAと入出
力ピンPa1の論理値が不一致となるため、データ比較
部12aは、第4ステップでLレベルの判定信号φJD
Gを出力する。
【0131】そして、第4ステップでデータ比較部12
aからLレベルの判定信号φJDGが出力されると、C
PU10aは、そのデータ比較部12aに対応する入出
力ピンPa1におけるCPU10aとメモリ30aとの
間の接続が異常(不良)であると認識する。
【0132】又、CPU10aの出力ドライバであるイ
ンバータ回路13の駆動能力がバス線DB1の電荷のリ
ーク量より勝っていると、入出力ピンPa1の論理値が
正常時と同様に変化する。ところが、メモリ30aの出
力ドライバであるインバータ回路39の駆動能力がバス
線DB1のリーク量より劣っていると、論理値「0」の
データDATAをCPU10に返送できない。従って、
第4ステップとなっても、入出力ピンPa1の論理値が
「1」となる。
【0133】つまり、内部回路から論理値「0」のデー
タDATAが出力されているとき、第4ステップでデー
タDATAと入出力ピンPa1の論理値が不一致となる
ため、入出力ピンPa1に対応するデータ比較部12a
は、第4ステップでLレベルの判定信号φJDGを出力
する。従って、CPU10aは、上記と同様に、そのデ
ータ比較部12aに対応する入出力ピンPa1における
CPU10aとメモリ30aとの間の接続が異常(不
良)であると認識する。
【0134】このように、上記(2−1)〜(2−3)
に示すように、内部回路から出力されるデータDATA
の論理値が「1」又は「0」のいずれかのときに、第4
ステップでLレベルの判定信号φJDGが出力される
と、CPU10aは、該CPU10aとメモリ30aと
の間でショート不良が発生していると認識する。
【0135】(3)CPU10aとメモリ30aとの間
でオープン不良が発生している場合。 仮に、入出力ピンPa1,Pb1間でオープン不良が発
生しているとする。
【0136】今、内部回路から出力されるデータDAT
Aの論理値が「1」のとき、第1ステップでインバータ
回路13が活性化され、CPU10aの入出力ピンPa
1が論理値「1」となる。そして、第3ステップでデー
タ反転部26の動作により入出力ピンPa1が論理値
「0」となる。ところが、第4ステップにおいては、C
PU10aの入出力ピンPa1にメモリ30aからデー
タDATAが返送されないため、入出力ピンPa1の論
理値は「0」のままである。従って、データ比較部12
aは、第4ステップで内部回路からのデータDATAと
入出力ピンPa1の論理値が不一致となるため、Lレベ
ルの判定信号φJDGを出力する。
【0137】内部回路から出力されるデータDATAの
論理値が「0」のとき、上記とは逆に第4ステップにお
いては、入出力ピンPa1の論理値は「1」のままであ
る。従って、データ比較部12aは、データDATAと
入出力ピンPa1の論理値が不一致となるため、Lレベ
ルの判定信号φJDGを出力する。
【0138】そして、第4ステップでデータ比較部12
aからLレベルの判定信号φJDGが出力されると、C
PU10aは、そのデータ比較部12aに対応する入出
力ピンPa1におけるCPU10aとメモリ30aとの
間の接続が異常(不良)であると認識する。又、上記し
たように内部回路から出力されるデータDATAの論理
値にかかわらず、ともに第4ステップでLレベルの判定
信号φJDGが出力されると、CPU10aは、該CP
U10aとメモリ30aとの間でオープン不良が発生し
ていると認識する。
【0139】上記したように、この形態では、内部回路
から出力されるデータDATAの論理値にかかわらず、
ともに第4ステップでHレベルの判定信号φJDGが出
力されると、CPU10aは、該CPU10aとメモリ
30aとの接続が正常であると認識する。言い換えれ
ば、それ以外である場合には、CPU10aは、該CP
U10aとメモリ30aとの間でオープン不良、若しく
はショート不良が発生していると認識する。
【0140】上記したように、本実施の形態では、以下
に示す作用効果を得ることができる。 (1)先ず、第1ステップでは、物理アドレス順に選択
されたCPU10aの入出力ピンPa1〜Panからは
論理値「1」のデータDATAが、選択されていない入
出力ピンPa1〜Panからは論理値「0」のデータD
ATAが出力される。第2ステップでは、メモリ30a
の入出力ピンPb1〜Pbnに入力されるデータDAT
Aがラッチされる。第3ステップでは、内部回路からの
データDATAが反転され、その反転されたデータDA
TAがCPU10aの入出力ピンPa1〜Panに出力
される。第4ステップにおいて、データ比較部12aで
は、内部回路からのデータDATAの論理値とメモリ3
0aから返送された入出力ピンPa1〜Panの論理値
との比較演算が行われ、その比較結果に基づくレベルの
判定信号φJDGによって、バス線DB1〜DBnにお
けるオープン不良、若しくはショート不良の発生を容易
に認識することができる。
【0141】又、メモリ30aがCPU10aにデータ
DATAを返送するとき(第4ステップ)、その前のス
テップ(第3ステップ)でバス線DB1〜DBnが該デ
ータDATAの論理値と逆の論理値とされる。従って、
バス線DB1〜DBn上の残留電荷が上記した接続判定
に悪影響を与えない。
【0142】更に、CPU10aとメモリ30aとの間
では、データDATAの授受が行われる(第1,第4ス
テップ)。そのため、CPU10a及びメモリ30aの
出力ドライバ(インバータ回路13,39)の駆動能力
をともに考慮した上で、上記した接続の良否判定が行わ
れることになる。従って、従来生じていたCPU10a
及びメモリ30aの出力ドライバの駆動能力差による誤
検出が防止される。
【0143】更に又、CPU10aとメモリ30aとの
間で双方向にデータDATAをやり取りし、1つのデー
タ比較部12aで上記判定を行うようにしたので、メモ
リ30aの回路面積が増大しない。その結果、本実施の
形態では、メモリ30aの回路面積を増大させることな
く、確実なCPU10aとメモリ30aとの間のオープ
ン・ショート試験を行うことができる。
【0144】(第3の実施の形態)以下、本発明を具体
化した第3の実施の形態を図5に従って説明する。尚、
説明の便宜上、図2に示す第2の実施の形態と同様の構
成については同一の符号を付してその説明を一部省略す
る。
【0145】図5に示すように、メモリ30b内には、
2つのOR回路43,44が付加されている。OR回路
43は、テストモード用制御信号φTIと通常モード用
制御信号φINを入力し、転送ゲート33の導通・非導
通を切り替える制御信号φINBを出力する。ラッチ回
路34の出力ノード(インバータ回路34aの出力端
子)は、ライト用内部バス線WDBを介して内部回路
(図示略)に接続される。
【0146】そして、テストモード時には、転送ゲート
33がテストモード用制御信号φTIにより制御され、
メモリ30bが上記したテストモード用の動作を行う。
一方、通常モード時には、転送ゲート33が通常モード
用制御信号φINにより制御され、入出力ピンPb1〜
Pbnに入力された書き込みデータが転送ゲート33、
ラッチ回路34、及び、ライト用内部バス線WDBを介
して内部回路に出力される。
【0147】一方、OR回路44は、テストモード用制
御信号φTOと通常モード用制御信号φOEを入力し、
インバータ回路39の活性・非活性を切り替える制御信
号φOEBを出力する。インバータ回路39の入力端子
は、リード用内部バス線RDBを介して内部回路(図示
略)に接続される。又、転送ゲート37のPMOSトラ
ンジスタのゲートにはテストモード用制御信号φTOが
インバータ回路38を介して入力され、NMOSトラン
ジスタのゲートにはテストモード用制御信号φTOが入
力される。
【0148】そして、テストモード時には、インバータ
回路39及び転送ゲート37がテストモード用制御信号
φTOにより制御され、メモリ30bが上記したテスト
モード用の動作を行う。一方、通常モード時には、イン
バータ回路39が通常モード用制御信号φOEにより制
御され、リード用内部バス線RDBに読み出された読み
出しデータがインバータ回路39を介して入出力ピンP
b1〜Pbnに出力される。
【0149】つまり、この形態では、メモリ30bのラ
ッチ部31及び論理部32を各モード用にそれぞれ別個
に設けるのではなく共用することで、該メモリ30bの
回路面積の増大が抑えられる。尚、この形態のOR回路
43,44を第1の実施の形態に実施しても同様の作用
効果が得られる。
【0150】尚、本発明の実施の形態は以下のように変
更してもよい。 ○上記各実施の形態では、CPU10,10aは、特定
の入出力ピンPa1〜Panの論理値を物理アドレス順
に順次「1」とすべく、テストモード信号の入力から所
定時間経過後に、内部回路から論理値「1」のデータD
ATAを各入出力ピンPa1〜Panに対応したデータ
出力部11,11aに出力する。つまり、CPU10,
10aは、各入出力ピンPa1〜Panの論理値が「1
000・・・0」、「0100・・・0」、「0010
・・・0」、・・・、「0000・・・1」と順次変化
させたが、以下の(イ)〜(ニ)ように変更してもよ
い。
【0151】(イ)CPUは、各入出力ピンの論理値
を、物理的に隣接する入出力ピン毎に異ならせた。つま
り、CPUは、各入出力ピンの論理値を「1010・・
10」、「0101・・01」と変化させる。このよう
にしても、その時々において、隣接する入出力ピンの論
理値が同様に変化すれば、隣接する入出力ピン(又は、
バス線)間のショートが検出される。つまり、上記各実
施の形態と同様に動作し、良否判定を行うことができ
る。又、同時に複数の入出力ピンを選択する、即ち複数
の入出力ピンに論理値「1」を出力することで、上記各
実施形態よりも、そのテスト時間の短縮を図ることが可
能となる。
【0152】(ロ)CPUは、各入出力ピンの論理値
を、物理的に隣接する複数の入出力ピン単位毎に異なら
せた。つまり、CPUは、各入出力ピンの論理値を、例
えば「1100・・00」、「0011・・11」と変
化させる。このようにしても、その時々において、特定
の複数の入出力ピン以外で該ピンの論理値と同様に変化
すれば、その入出力ピン(又は、バス線)と特定の複数
の入出力ピン(又は、バス線)のいずれかとのショート
が検出される。つまり、上記各実施の形態と同様に動作
し、良否判定を行うことができる。
【0153】(ハ)特定の入出力ピンに対応したデータ
出力部、データ比較部、ラッチ部、論理部、(データ反
転部)を動作させるとともに、それ以外の入出力ピンで
はデータ比較部のみ動作させる。このようにしても、上
記各実施の形態と同様に動作し、良否判定を行うことが
できる。
【0154】(ニ)特定のバス線及び入出力ピンに対し
て試験を実行し、他のバス線及び入出力ピンを特定のバ
ス線と逆の論理値で保持する。このようにしても、上記
各実施の形態と同様に動作し、良否判定を行うことがで
きる。
【0155】○上記各実施の形態では、ラッチ回路34
をリセットするリセット回路36を設けたが、このリセ
ット回路36を省略してもよい。 ○上記各実施の形態では、CPU10,10aを測定側
半導体装置とし、メモリ30,30a,30bを被測定
側半導体装置としたが、その逆であってもよい。又、C
PU10,10a及びメモリ30,30a,30b以外
の半導体装置であってもよい。
【0156】○上記各実施の形態では、測定側半導体装
置(CPU10,10a)と、被測定側半導体装置(3
0,30a,30b)を対で構成したが、1つの測定側
半導体装置に対して、被測定側半導体装置を複数として
もよい。この場合、試験時には、複数の被測定側半導体
装置のうちいずれか1つを活性化し、測定側半導体装置
と被測定側半導体装置を対にして試験する。
【0157】○上記各実施の形態では、最終ステップの
判定信号φJDGの論理で判定したが、各ステップの動
作による判定信号φJDGの遷移を検出して、両装置間
の接続の良否判定を行うようにしてもよい。
【0158】○上記各実施の形態では、リセット回路3
6はバス線DB1〜DBn上のデータDATAに基づい
てラッチ回路34をリセットするようにしたが、外部か
らの指令信号に基づいてリセットするようにしてもよ
い。
【0159】○上記第1の実施の形態では、データ出力
部11、データ比較部12、ラッチ部31、及び、論理
部32を図1に示すように構成したが、上記と同様に動
作すれば、その回路構成は上記構成に限定されない。
【0160】○上記第2の実施の形態では、データ出力
部11a、データ比較部12a、データ反転部26、ラ
ッチ部31、及び、論理部32を図3に示すように構成
したが、上記と同様に動作すれば、その回路構成は上記
構成に限定されない。
【0161】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
回路面積を増大させることなく、確実な半導体装置間の
オープン・ショート試験を行うことが可能な電子機器の
試験方法、電子機器、及び、その電子機器に搭載する半
導体装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 第1の実施の形態における電子機器の概略構
成図である。
【図2】 第1の実施の形態の動作を示す波形図であ
る。
【図3】 第2の実施の形態における電子機器の概略構
成図である。
【図4】 第2の実施の形態の動作を示す波形図であ
る。
【図5】 第3の実施の形態における電子機器の概略構
成図である。
【図6】 従来における電子機器の概略構成図である。
【符号の説明】
10,10a 測定側半導体装置としてのCPU 30,30a,30b 被測定側半導体装置としてのメ
モリ DB1〜DBn バス線 DATA 第1,第2論理信号としてのデータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G014 AA02 AA03 AB59 AC18 2G032 AA01 AB00 AD08 AE06 AE07 AE08 AG07 AK01 AK03 AK11 AK14 AK15 AK19 AL12

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定側半導体装置と被測定側半導体装置
    をバス線を介して接続し、両装置間の接続の良否を判定
    する電子機器の試験方法であって、 前記測定側半導体装置において前記バス線に第1論理信
    号を出力する第1ステップと、 前記被測定側半導体装置において前記第1論理信号を取
    得する第2ステップと、 前記被測定側半導体装置において前記第2ステップで取
    得した前記第1論理信号の論理を反転し、その反転した
    信号を第2論理信号として出力する第3ステップと、を
    備え、前記測定側半導体装置において前記第1,第2論
    理信号に基づいて前記両装置間の接続の良否を判定する
    ようにしたことを特徴とする電子機器の試験方法。
  2. 【請求項2】 測定側半導体装置と被測定側半導体装置
    をバス線を介して接続し、両装置間の接続の良否を判定
    する電子機器の試験方法であって、 前記測定側半導体装置において前記バス線に第1論理信
    号を出力する第1ステップと、 前記被測定側半導体装置において前記第1論理信号を取
    得する第2ステップと、 前記測定側半導体装置において前記バス線に第1論理信
    号の論理を反転した第2論理信号を出力する第3ステッ
    プと、 前記被測定側半導体装置において前記第2ステップで取
    得した前記第1論理信号を出力する第4ステップと、を
    備え、前記測定側半導体装置において前記第1,第2論
    理信号に基づいて前記両装置間の接続の良否を判定する
    ようにしたことを特徴とする電子機器の試験方法。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2に記載の電子機器の試験
    方法において、 前記測定側半導体装置は、前記第1論理信号の論理値
    を、特定のバス線とそれ以外のバス線とで異ならせるよ
    うにしたことを特徴とする電子機器の試験方法。
  4. 【請求項4】 請求項1又は2に記載の電子機器の試験
    方法において、 前記測定側半導体装置は、前記第1論理信号の論理値
    を、物理的に隣接するバス線毎に異ならせるようにした
    ことを特徴とする電子機器の試験方法。
  5. 【請求項5】 請求項1又は2に記載の電子機器の試験
    方法において、 前記測定側半導体装置は、前記第1論理信号の論理値
    を、物理的に隣接する複数のバス線単位毎に異ならせる
    ようにしたことを特徴とする電子機器の試験方法。
  6. 【請求項6】 請求項1又は2に記載の電子機器の試験
    方法において、 前記測定側半導体装置は、特定のバス線に対して前記各
    ステップを実行するとともに、それ以外のバス線に対し
    て判定動作のみ行うようにしたことを特徴とする電子機
    器の試験方法。
  7. 【請求項7】 測定側半導体装置と被測定側半導体装置
    をバス線を介して接続した電子機器であって、 前記測定側半導体装置は、 前記バス線に第1論理信号を出力する測定側出力部と、 前記被測定側半導体装置からバス線を介して入力される
    第2論理信号と、前記第1論理信号を比較し、その比較
    結果に基づく判定信号を出力するデータ比較部と、を備
    え、 前記被測定側半導体装置は、 前記第1論理信号を取得する入力部と、 前記第1論理信号の論理を反転し、その反転した信号を
    前記第2論理信号として出力する被測定側出力部と、を
    備え、 前記測定側半導体装置は、前記判定信号に基づいて前記
    両装置間の接続の良否を判定するようにしたことを特徴
    とする電子機器。
  8. 【請求項8】 測定側半導体装置と被測定側半導体装置
    をバス線を介して接続した電子機器であって、 前記測定側半導体装置は、 前記バス線に第1論理信号を出力する測定側出力部と、 前記バス線に第1論理信号の論理を反転した第2論理信
    号を出力する反転出力部と、 前記被測定側半導体装置からバス線を介して入力される
    第1論理信号と、前記第2論理信号を比較し、その比較
    結果に基づく判定信号を生成するデータ比較部と、を備
    え、 前記被測定側半導体装置は、 前記第1論理信号を取得する入力部と、 前記入力部で取得した前記第1論理信号を前記バス線に
    出力する被測定側出力部と、を備え、 前記測定側半導体装置は、前記判定信号に基づいて前記
    両装置間の接続の良否を判定するようにしたことを特徴
    とする電子機器。
  9. 【請求項9】 請求項7又は8に記載の電子機器におい
    て、 前記測定側半導体装置は、前記第1論理信号の論理値
    を、特定のバス線とそれ以外のバス線とで異ならせるよ
    うにしたことを特徴とする電子機器。
  10. 【請求項10】 請求項7又は8に記載の電子機器にお
    いて、 前記測定側半導体装置は、前記第1論理信号の論理値
    を、物理的に隣接するバス線毎に異ならせるようにした
    ことを特徴とする電子機器。
  11. 【請求項11】 請求項7又は8に記載の電子機器にお
    いて、 前記測定側半導体装置は、前記第1論理信号の論理値
    を、物理的に隣接する複数のバス線単位毎に異ならせる
    ようにしたことを特徴とする電子機器。
  12. 【請求項12】 請求項7又は8に記載の電子機器にお
    いて、 前記各出力部及び前記入力部のうち少なくとも1つは、
    前記各半導体装置の通常動作に使用する入出力部と共用
    したことを特徴とする電子機器。
  13. 【請求項13】 請求項7又は8に記載の電子機器にお
    いて、 前記入力部をラッチ回路で構成し、 前記被測定側半導体装置には、前記第1論理信号又は外
    部からの指令信号に基づいて前記ラッチ回路をリセット
    するリセット回路を備えたことを特徴とする電子機器。
  14. 【請求項14】 被測定側半導体装置とバス線を介して
    接続され、両装置間の接続の良否を判定するための測定
    側の半導体装置であって、 前記被測定側半導体装置に対して第1論理信号を出力す
    るデータ出力部と、 前記被測定側出力部が応答して出力する第2論理信号が
    入力され、該第2論理信号と前記第1信号を比較し、そ
    の比較結果に基づく判定信号を出力するデータ比較部
    と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
  15. 【請求項15】 被測定側半導体装置とバス線を介して
    接続され、両装置間の接続の良否を判定するための測定
    側の半導体装置であって、 前記被測定側半導体装置に対して第1論理信号を出力す
    るデータ出力部と、 前記データ出力部が動作した後に、前記第1論理信号の
    論理を反転した第2論理信号を出力するデータ反転部
    と、 前記被測定側出力部が応答して出力する第1論理信号が
    入力され、該第1論理信号と前記第2論理信号を比較
    し、その比較結果に基づく判定信号を出力するデータ比
    較部と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
  16. 【請求項16】 測定側半導体装置とバス線を介して接
    続された被測定側の半導体装置であって、 前記測定側半導体装置から入力される論理信号をラッチ
    するラッチ回路と、 前記ラッチ回路にてラッチした論理信号を反転して出力
    する論理部と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
  17. 【請求項17】 測定側半導体装置とバス線を介して接
    続された被測定側の半導体装置であって、 前記測定側半導体装置から入力される論理信号をラッチ
    するラッチ回路と、 前記ラッチ回路にてラッチした論理信号を出力する論理
    部と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
  18. 【請求項18】 請求項16又は17に記載の半導体装
    置において、 前記バス線上の信号又は外部からの指令信号に基づいて
    前記ラッチ回路をリセットするリセット回路を備えたこ
    とを特徴とする半導体装置。
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WO2010097947A1 (ja) * 2009-02-27 2010-09-02 株式会社日立製作所 半導体装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009246087A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Nec Electronics Corp 半導体装置及びその動作モード設定方法
US8384434B2 (en) 2008-03-31 2013-02-26 Renesas Electronics Corporation Semiconductor device capable of switching operation mode and operation mode setting method therefor
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WO2010097947A1 (ja) * 2009-02-27 2010-09-02 株式会社日立製作所 半導体装置
US8242589B2 (en) 2009-02-27 2012-08-14 Hitachi, Ltd. Semiconductor device

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