JP2000214006A - ケ―ブル状圧力センサ - Google Patents
ケ―ブル状圧力センサInfo
- Publication number
- JP2000214006A JP2000214006A JP1561099A JP1561099A JP2000214006A JP 2000214006 A JP2000214006 A JP 2000214006A JP 1561099 A JP1561099 A JP 1561099A JP 1561099 A JP1561099 A JP 1561099A JP 2000214006 A JP2000214006 A JP 2000214006A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible
- pressure sensor
- cable
- pressure
- metal layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
成に塗装法などの複雑な製造工程を要すると共に大きな
荷重が印加されたとき芯電極と外電極が短絡し易いとい
う課題があった。 【解決手段】 可撓性外側電極9が可撓性支持体8とそ
の表面に形成された金属層7で構成され、前記金属層7
が前記可撓性感圧体4の表面に巻き付けられて成るケ−
ブル状圧力センサである。従って、塗装法などのように
複雑な製造工程を必要としない。また、可撓性感圧体4
が大きな荷重により押しつぶされても、金属層7と可撓
性支持体8を積層した可撓性外側電極9を巻き付けてい
る方が金属層7のみの場合より、付加荷重に対しても強
度が強く断線して電極の破損がしにくい。
Description
に関するものである。
以下のようなものであった。従来例として特開昭62−
230071号公報に示されているようなものがある。
これは図5に示すように、線状導電材1と導電ゴム2と
から構成された芯電極3の周囲に可撓性感圧体4を配置
し、その周囲に可撓性外電極5を配置し、さらにその周囲
に熱収縮チュ−ブから成る外皮6を被覆して成るケ−ブ
ル状圧力センサが開示されている。可撓性感圧体4とし
て、合成ゴムや合成樹脂の中にチタン酸鉛などのセラミ
ック圧電体粉末を添加した複合体が用いられる。また、
可撓性外電極5として、アルミニウム箔や塗装法による
銀系導電性塗膜が用いられる。
全面に圧力が印加されたとき、その部分の圧力センサが
歪む結果、芯電極3と外電極5間に電圧が誘起される。
上記圧力センサは、この誘起電圧を利用して圧力を検出
している。
259577号公報にも開示されている。この公報で
は、可撓性感圧体4として、ポリエチレン、ポリプロピ
レンや塩化ビニルなどの樹脂の中にチタン酸鉛などのセ
ラミック圧電体粉末を添加した複合体が開示されてい
る。可撓性外電極5として、無電解メッキ法によるニッ
ケル膜や銅膜、および蒸着法によるアルミニウム膜や銀
膜が開示されている。
ケ−ブル状圧力センサでは、可撓性外電極5として、ア
ルミニウム箔を用いた場合、アルミニウム箔は引っ張り
強度が弱いので、可撓性感圧体4にアルミニウム箔を巻
き付けるとき充分な張力で巻き付けることができないと
いう課題を有していた。充分な張力で巻き付けると、ア
ルミニウム箔は切断され易く、また、低い張力でまきつ
けると、アルミニウム箔は可撓性感圧体4に密着しな
い。
メッキ法、蒸着法による金属膜を用いた場合、可撓性感
圧体4に密着し易いという利点はあるが、製造工程が複
雑になる、10m以上の長いケ−ブル状圧力センサの製
造に不適であるという課題を有していた。
合成樹脂の中にチタン酸鉛などのセラミック圧電体粉末
を添加した複合体が用いられるので、ケ−ブル状圧力セ
ンサの一部または全面に大きな荷重が印加された場合、
可撓性感圧体4が押しつぶされて、芯電極3と可撓性外
側電極5が接触し、その結果両者が短絡し易いという課
題も有していた。
決するために、芯電極と、前記芯電極の周囲に配置され
た可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の表面に配置され
た可撓性外側電極とから成り、前記可撓性外側電極が可
撓性支持体とその表面に形成された金属層で構成され、
前記金属層が前記可撓性感圧体の表面に巻き付けられて
成るケ−ブル状圧力センサである。
性支持体とその表面に形成された金属層で構成されてい
るので、可撓性感圧体の表面に充分な張力で可撓性外側
電極を巻き付けることができる。従って、塗装法などの
ように複雑な製造工程を必要としない。
ル状圧力センサは、内側電極としての芯電極と、前記芯
電極の周囲に配置された可撓性感圧体と、前記芯電極の
周囲に配置された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の
表面に配置された可撓性外側電極とから成り、前記可撓
性外側電極が可撓性支持体とその表面に形成された金属
層で構成され、前記金属層が前記可撓性感圧体の表面に
巻き付けられて成るケ−ブル状圧力センサである。可撓
性外側電極が可撓性支持体とその表面に形成された金属
層で構成されている。可撓性支持体は充分な張力に耐え
るので、可撓性感圧体の表面に充分な張力で可撓性外側
電極を巻き付けることができる。従って、塗装法などの
ように複雑な製造工程を必要としない。
センサは、可撓性支持体が高分子フィルムで構成され
る。高分子フィルムとして、ポリエチレン、ポリエチレ
ンテレフタレ−ト、ポリカ−ボネイト、ポリスチレンな
ど多くの種類のフィルムが様々な用途に供せられてい
る。これら高分子フィルムの機械的インピ−ダンスは、
可撓性感圧体のそれに比べ小さいので、ケ−ブル状圧力
センサ全体の機械的インピ−ダンスを低く保持できる。
従って、同圧力センサに圧力が印加されたとき、容易に
変形する。また、市販されているので容易に入手できる
と共に低価格である。
センサは、可撓性支持体がポリエチレンテレフタレ−ト
フィルムで形成されている。種々の高分子フィルムの中
でも、ポリエチレンテレフタレ−トフィルムは150℃
の高耐熱性を有しているので、耐熱性に優れたケ−ブル
状圧力センサが実現できる。
センサは、金属層がアルミニウムで構成されている。高
分子フィルムで構成された可撓性支持体表面にアルミニ
ウム層が形成されているので、その機械的インピ−ダン
スは、可撓性感圧体のそれに比べ小さい。従って、ケ−
ブル状圧力センサ全体の機械的インピ−ダンスを低く保
持できるので、同圧力センサに圧力が印加されたとき、
容易に変形する。また、高分子フィルム上に金属層を形
成した可撓性外側電極も市販されているので容易に入手
できると共に低価格である。
センサは、可撓性外側電極の金属層がが可撓性感圧体の
表面に巻き付けられるとき、前記金属層同志が部分的に
積層された構成である。可撓性感圧体上に巻きつけられ
た可撓性外側電極同志が、部分的に積層されて巻き付け
られているので、可撓性感圧体全体は金属層で覆われ
る。従って、金属層をア−ス電位にして、芯電極と可撓
性外側電極間から誘起電圧を検出することにより外部空
間からのノイズを遮断できる。
センサは、可撓性外側電極の金属層がが前記可撓性感圧
体の表面に巻き付けられるとき、前記金属層同志が積層
せず、距離を置いて巻き付けられた構成である。可撓性
感圧体上に巻きつけられた可撓性外側電極同志が積層し
ないので、ケ−ブル状圧力センサ全体の機械的インピ−
ダンスを低く保持できる。従って、同圧力センサに圧力
が印加されたとき、容易に変形する。
センサは、可撓性外側電極が積層せず、距離を置いて巻
き付けられると共に、更に、導電性編組で被覆された構
成である。
−ダンスを低く保持できると共に、更に、金属層をア−
ス電位にして、芯電極と可撓性外側電極間から誘起電圧
を検出することにより外部空間からのノイズを遮断でき
る。
説明する。
のケ−ブル状圧力センサの見取図である。
た後、可撓性支持体8とその一方の表面に形成された金
属層7から成る可撓性外側電極9が可撓性感圧体4の周
囲に巻き付けられる。このとき、金属層7が可撓性感圧
体4の表面と接触するように巻き付けられる。
電極や複数の金属細線だけから成る芯電極などが用いら
れる。可撓性感圧体4として、ゴムや樹脂の中にチタン
酸鉛、チタン酸鉛ジルコン酸鉛などのセラミック圧電体
粉末を添加した複合体が用いられる。
方の表面に金属層7を形成して構成される。可撓性支持
体8として、高分子フィルムが優れている。高分子フィ
ルムは、芯電極3の周囲に可撓性感圧体4を形成した構
成物の機械的インピ−ダンスに比べ小さな機械的インピ
−ダンスを有するので、可撓性感圧体4に巻き付けられ
ても全体の機械的インピ−ダンスを増加させない。従っ
て、外部からの圧力に応じて、容易に変形するからであ
る。高分子フィルムの厚さは、できるだけ薄い方がその
機械的インピ−ダンスも小さくなるので好ましいが、工
業的に多く利用されている、数十μm以下の厚さが入手
の容易性や価格の点でも好ましい。また、高分子フィル
ムは、ポリエチレンテレフタレ−ト、ポリプロピレン、
ポリスチレン、塩化ビニ−ル、ナイロン、ポリエチレ
ン、トリアセテ−トなど種々の材料で構成されるが、こ
れらの中でもポリエチレンテレフタレ−トは高耐熱性
(最高使用温度150℃)を有する点で優れている。
銅層、ニッケル層などがあるが、これらの中でもアルミ
ニウム層が優れている。アルミニウム層は、銅層に比べ
熱的に酸化され難く、また、ニッケル層に比べ柔らかい
ので機械的インピ−ダンスが小さいからである。高分子
フィルムである可撓性支持体8の一方の表面にアルミニ
ウムなどの金属層7を形成するには、両者を接着剤で接
合して形成してもよいし、また、スパッタ法や蒸着法で
形成してもよい。金属層7の厚さも、高分子フィルムと
同様、できるだけ薄い方が好ましいが、入手の容易性や
価格の点を考慮すると10μm以下が好ましい。可撓性
支持体8の一方の表面に金属層7を形成して構成した可
撓性外側電極9は市販されており、本発明のケ−ブル状
圧力センサでは、この可撓性外側電極9を可撓性感圧体
4に巻き付けているので、従来の外電極5に比べ、塗装
法、メッキ法や蒸着法などの複雑な製造工程を特に必要
としない。
サでは、ケ−ブル全体としての可撓性確保のために、可
撓性を有する芯電極3、可撓性感圧体4や可撓性外側電
極9で構成される。前述したように、可撓性感圧体4と
して、ゴムや樹脂の中にチタン酸鉛、チタン酸鉛ジルコ
ン酸鉛などのセラミック圧電体粉末を添加した複合体が
用いられる。ゴムや樹脂は機械的インピ−ダンスが小さ
く、外部から圧力が印加されたとき、容易に変形する。
この変形を通じてゴムや樹脂の中に添加された圧電体粉
末に応力が印可される結果、芯電極3と金属層7間に電
圧が誘起されるので、圧力が検出できる。このようにゴ
ムや樹脂は可撓性を実現する上で不可欠である。
属層7である可撓性外側電極9のうち金属層7であるア
ルミニウム層側を可撓性感圧体4の表面に接して巻き付
けたセンサ(センサA)とアルミニウム層である金属層
7のみを可撓性感圧体4の表面に接して巻き付けたセン
サ(センサB)をそれぞれ作成し、室温で両者に荷重を
徐々に増加して印加し、芯電極3と金属層7間が短絡す
るときの荷重を測定した。
8である高分子フイルムはポリエチレンテレフタレ−ト
10μmを用いた。また、このときのケーブル状圧力セ
ンサにポリエチレン系樹脂である塩素化ポリエチレンに
チタン酸ジルコン酸鉛系粉末を添加した可撓性感圧体4
を用いた。
た。その結果、センサAの短絡荷重は約120kgf、
センサBは、荷重を付加していくと約10kgfで、金
属層7で用いたアルミニウム層が断線してしまった。
として金属層7と可撓性支持体8を積層しているため
に、センサBの場合の金属層7のみの可撓性電極の場合
よりも強度が増したためで、大きな付加荷重を印加して
も可撓性外側電極9が破損してしまうことはない。この
ように、本発明のケ−ブル状圧力センサによれば、従来
に大きな付加荷重をかけられるケーブル状圧力センサを
得ることができる。
ル状圧力センサ長尺方向の切断面を示す断面図である。
可撓性外側電極9が可撓性感圧体4の表面に巻き付けら
れるとき、可撓性外側電極9は部分的に積層部10を有
した構成である。
起電圧を検出するとき、金属層7をア−ス電位にするこ
とにより外部ノイズを遮断できる利点がある。なお、こ
の構成では、積層部10の長さはできるだけ短いほうが
好ましい。ケ−ブル状圧力センサが外部圧力により変形
するとき、積層部10もまた変形するので、このとき積
層部10での変形抵抗が小さくなり、変形し易いからで
ある。
圧力センサ構成を示す断面図である。可撓性外側電極9
が可撓性感圧体4の表面に巻き付けられるとき、可撓性
外側電極9は自身で積層せず、距離を置いて巻き付けら
れた構成である。図2に示した積層部10が存在せず、
また、可撓性外側電極9は距離を置いて巻き付けられる
ので、これらの分の変形抵抗が小さくなる利点がある。
しかし、本構成では、芯電極3と金属層7間で誘起電圧
を検出するとき外部ノイズを拾い易い。金属層7が芯電
極3の周囲を完全に覆っていないからである。このよう
な場合、図4に示すように、可撓性外側電極9の周囲を
導電性編組11で被覆することが望ましい。芯電極3と
金属層7間から誘起電圧を検出するとき、金属層7と導
電性編組11を短絡して、ア−ス電位に保持することに
より外部ノイズを遮断することができる。
例の外皮6について特に触れてないが、保護などの必要
に応じて用いてもよいことは明らかである。また、外被
として、熱収縮チュ−ブ以外にも塩化ビニ−ルやウレタ
ン樹脂などを用いてもよい。
かかるケ−ブル状圧力センサは、芯電極と、前記芯電極
の周囲に配置された可撓性感圧体と、前記芯電極の周囲
に配置された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の表面
に配置された可撓性外側電極とから成り、前記可撓性外
側電極が可撓性支持体とその表面に形成された金属層で
構成され、前記金属層が前記可撓性感圧体の表面に巻き
付けられて成るので、塗装法などのように複雑な製造工
程を必要としない。また、このケーブル状圧力センサは
可撓性外側電極が可撓性支持体と金属層が積層している
ので、金属層のみで構成されている可撓性外電極よりも
付加加重に対して大きな強度を持ち、可撓性外側電極の
断線を防止することができる。
状圧力センサは、可撓性支持体が小さな機械的インピ−
ダンスを有する高分子フィルムで構成されるので、ケ−
ブル状圧力センサ全体の機械的インピ−ダンスを低く保
持できる。従って、同圧力センサに圧力が印加されたと
き、容易に変形する。また、市販されているので容易に
入手できると共に低価格である。
状圧力センサは、可撓性支持体が高耐熱性ポリエチレン
テレフタレ−トフィルムで形成されているので、耐熱性
に優れたケ−ブル状圧力センサが実現できる。
状圧力センサは、金属層がアルミニウムで構成されてい
るので、ケ−ブル状圧力センサ全体の機械的インピ−ダ
ンスを低く保持できる。従って、同圧力センサに圧力が
印加されたとき、容易に変形する。また、銅層に比べ耐
酸化性に優れ、ニッケル層に比べ小さい機械的インピ−
ダンスである。また、高分子フィルム上に金属層を形成
した可撓性外側電極も市販されているので容易に入手で
きると共に低価格である。
状圧力センサは、可撓性外側電極の金属層が可撓性感圧
体の表面に巻き付けられるとき、前記可撓性外側電極同
志が部分的に積層された構成であるので、可撓性感圧体
全体は金属層で覆われる。従って、金属層をア−ス電位
にして、芯電極と可撓性外側電極間から誘起電圧を検出
することにより外部空間からのノイズを遮断できる。
状圧力センサは、可撓性外側電極の金属層が前記可撓性
感圧体の表面に巻き付けられるとき、前記可撓性外側電
極同志が積層せず、距離を置いて巻き付けられた構成で
あるので、ケ−ブル状圧力センサ全体の機械的インピ−
ダンスを低く保持できる。従って、同圧力センサに圧力
が印加されたとき、容易に変形する。
センサは、可撓性外側電極同志が積層せず、距離を置い
て巻き付けられると共に、更に、導電性編組で被覆され
た構成であるので、ケ−ブル状圧力センサ全体の機械的
インピ−ダンスを低く保持できると共に、更に、金属層
をア−ス電位にして、芯電極と可撓性外側電極間から誘
起電圧を検出することにより外部空間からのノイズを遮
断できる。
サの斜視図
サの断面図
ンサの断面図
Claims (7)
- 【請求項1】内側電極である芯電極と、前記芯電極の周
囲に配置された可撓性感圧体と、前記可撓性感圧体の表
面に配置された可撓性外側電極とから成り、前記可撓性
外側電極が可撓性支持体とその表面に形成された金属層
で構成され、前記金属層が前記可撓性感圧体の表面に巻
き付けられて成るケ−ブル状圧力センサ。 - 【請求項2】可撓性支持体が高分子フィルムである請求
項1記載のケ−ブル状圧力センサ。 - 【請求項3】可撓性支持体がポリエチレンテレフタレ−
トフィルムである請求項2記載のケ−ブル状圧力セン
サ。 - 【請求項4】金属層がアルミニウムで構成された請求項
1記載のケ−ブル状圧力センサ。 - 【請求項5】金属層が可撓性感圧体の表面に巻き付けら
れるとき、前記金属層同志が部分的に積層された請求項
1記載のケ−ブル状圧力センサ。 - 【請求項6】金属層が可撓性感圧体の表面に巻き付けら
れるとき、前記金属層同志が部分的に積層されず、距離
を置いて巻き付けられた請求項1記載のケ−ブル状圧力
センサ。 - 【請求項7】可撓性外側電極の周囲を導電性編組で被覆
した請求項6記載のケ−ブル状圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01561099A JP3659043B2 (ja) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | ケーブル状圧力センサとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP01561099A JP3659043B2 (ja) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | ケーブル状圧力センサとその製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000214006A true JP2000214006A (ja) | 2000-08-04 |
JP2000214006A5 JP2000214006A5 (ja) | 2005-06-09 |
JP3659043B2 JP3659043B2 (ja) | 2005-06-15 |
Family
ID=11893487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP01561099A Expired - Fee Related JP3659043B2 (ja) | 1999-01-25 | 1999-01-25 | ケーブル状圧力センサとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3659043B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021156796A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 帝人株式会社 | 変形及び断線検出装置並びに変形及び断線検出システム |
-
1999
- 1999-01-25 JP JP01561099A patent/JP3659043B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021156796A (ja) * | 2020-03-27 | 2021-10-07 | 帝人株式会社 | 変形及び断線検出装置並びに変形及び断線検出システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3659043B2 (ja) | 2005-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6458199B2 (ja) | トランスデューサ積層体 | |
US20130002095A1 (en) | Bending transducer | |
JP2006509337A (ja) | 多層担体箔を有する箔型スイッチング素子 | |
JP2000111422A (ja) | ケーブル状圧力センサ | |
JP2000214006A (ja) | ケ―ブル状圧力センサ | |
US6526834B1 (en) | Piezoelectric sensor | |
JP2000214006A5 (ja) | ||
JP3651300B2 (ja) | ケーブル状圧力センサ | |
JP2000230869A (ja) | ケーブル状圧力センサ | |
JP2009020032A (ja) | 圧力検出素子 | |
JP4488820B2 (ja) | ケーブル状圧力センサ | |
JP3680640B2 (ja) | ケーブル状圧力センサ | |
WO2021182209A1 (ja) | 圧電同軸センサ | |
JP2000241261A5 (ja) | ||
JP2018152736A (ja) | センサーユニット | |
JP3656434B2 (ja) | 圧力検出装置および圧力検出装置の製造方法およびケーブル状圧力センサの製造方法 | |
JP2000337972A (ja) | 感温感圧素子 | |
WO2021182210A1 (ja) | 圧電同軸センサ | |
JP2018133413A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2007292575A (ja) | 圧力検出素子 | |
JP2004311753A (ja) | ケーブル状圧力センサ | |
JP2000164048A (ja) | 磁性箔とプラスチックの積層テープ及びそれを用いた電線 | |
JP2018133411A (ja) | 圧電デバイス | |
JP6986694B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP3656462B2 (ja) | ケーブル状圧力センサおよびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040902 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041227 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050222 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050307 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080325 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090325 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100325 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110325 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110325 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |