JP2000206299A - 電子線照射装置 - Google Patents
電子線照射装置Info
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- JP2000206299A JP2000206299A JP11003077A JP307799A JP2000206299A JP 2000206299 A JP2000206299 A JP 2000206299A JP 11003077 A JP11003077 A JP 11003077A JP 307799 A JP307799 A JP 307799A JP 2000206299 A JP2000206299 A JP 2000206299A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 平面形状が円形をした被照射物に照射する電
子線の利用効率を向上させる。 【解決手段】 この電子線照射装置は、複数本のフィラ
メント６を全体として円形を成すように配置し、かつ照
射窓１２の形状を円形にしている。これによって、平面
形状が円形をした被照射物２０に、平面形状が円形の電
子線１０を照射することができる。
子線の利用効率を向上させる。 【解決手段】 この電子線照射装置は、複数本のフィラ
メント６を全体として円形を成すように配置し、かつ照
射窓１２の形状を円形にしている。これによって、平面
形状が円形をした被照射物２０に、平面形状が円形の電
子線１０を照射することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、被照射物に電子
線を照射して、当該被照射物に架橋、硬化、改質等の処
理を施す電子線照射装置に関し、より具体的には、平面
形状が円形をした被照射物に効率良く電子線を照射する
手段に関する。この明細書で円形とは、完全な円形だけ
でなく、ほぼ円形または実質的に円形をも含む。
線を照射して、当該被照射物に架橋、硬化、改質等の処
理を施す電子線照射装置に関し、より具体的には、平面
形状が円形をした被照射物に効率良く電子線を照射する
手段に関する。この明細書で円形とは、完全な円形だけ
でなく、ほぼ円形または実質的に円形をも含む。
【０００２】
【従来の技術】図７に、例えば特開昭６２−１８７３０
０号公報に記載されているような従来の電子線照射装置
の一例の縦断面を示す。この電子線照射装置は、電子線
１０を走査しない非走査型（またはエリア型）と呼ばれ
るものであり、紙面の表裏方向に長い円筒状の真空容器
２内に、開口部５を有していて紙面の表裏方向に長い円
筒状のシールド電極４を設け、このシールド電極４内に
複数本の線状（棒状とも言える）のフィラメント６を紙
面の表裏方向に並設し、この各フィラメント６から放出
させた電子を、シールド電極４と真空容器２との間に印
加される高電圧によって電子線１０として加速して引き
出し、この電子線１０を、真空容器２の開口部３に設け
た照射窓１２を透過させて外部に射出する構造をしてい
る。このようにして射出された電子線１０は、被照射物
２０に照射され、当該被照射物２０の架橋、硬化、改質
等の処理に供される。
０号公報に記載されているような従来の電子線照射装置
の一例の縦断面を示す。この電子線照射装置は、電子線
１０を走査しない非走査型（またはエリア型）と呼ばれ
るものであり、紙面の表裏方向に長い円筒状の真空容器
２内に、開口部５を有していて紙面の表裏方向に長い円
筒状のシールド電極４を設け、このシールド電極４内に
複数本の線状（棒状とも言える）のフィラメント６を紙
面の表裏方向に並設し、この各フィラメント６から放出
させた電子を、シールド電極４と真空容器２との間に印
加される高電圧によって電子線１０として加速して引き
出し、この電子線１０を、真空容器２の開口部３に設け
た照射窓１２を透過させて外部に射出する構造をしてい
る。このようにして射出された電子線１０は、被照射物
２０に照射され、当該被照射物２０の架橋、硬化、改質
等の処理に供される。
【０００３】上記複数本のフィラメント６は、例えば図
８に示す例のように、互いに平行な２本の給電体８、８
間に、互いに平行に取り付けられており、全体として長
方形（図示例の場合）または正方形を成すように配置さ
れている。このようにして各フィラメント６に並列に通
電することができる。
８に示す例のように、互いに平行な２本の給電体８、８
間に、互いに平行に取り付けられており、全体として長
方形（図示例の場合）または正方形を成すように配置さ
れている。このようにして各フィラメント６に並列に通
電することができる。
【０００４】上記照射窓１２は、例えば図９に示す例の
ように、全体として長方形（図示例の場合）または正方
形をしており、電子線１０を透過させる窓箔１４と、こ
の窓箔１４を支持するものであって互いに平行に配置さ
れた複数の桟１６と、この桟１６を支持するものであっ
て長方形（図示例の場合）または正方形をした枠１８と
を備えている。各桟１６の間の開口部を電子線１０が通
過する。
ように、全体として長方形（図示例の場合）または正方
形をしており、電子線１０を透過させる窓箔１４と、こ
の窓箔１４を支持するものであって互いに平行に配置さ
れた複数の桟１６と、この桟１６を支持するものであっ
て長方形（図示例の場合）または正方形をした枠１８と
を備えている。各桟１６の間の開口部を電子線１０が通
過する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記電子線照射装置か
らは、例えば図１０に示す例のように、平面形状が、即
ち電子線照射領域２２の形状が、長方形（図１０中の２
点鎖線参照）または正方形（図１０中の実線参照）の電
子線１０が引き出される。
らは、例えば図１０に示す例のように、平面形状が、即
ち電子線照射領域２２の形状が、長方形（図１０中の２
点鎖線参照）または正方形（図１０中の実線参照）の電
子線１０が引き出される。
【０００６】従って、被照射物２０の平面形状が円形を
している場合、それに上記のような長方形または正方形
の電子線１０を照射すると、図１０に示すように、電子
線１０が被照射物２０に照射されない無駄な領域２４
（ハッチング部分）が多く発生し、電子線１０の利用効
率が低下する。電子線１０が長方形の場合は、利用効率
が一層低下する。平面形状が円形をした被照射物２０の
具体例として、コンパクトディスク、ビデオディスク、
その他の光ディスク等がある。
している場合、それに上記のような長方形または正方形
の電子線１０を照射すると、図１０に示すように、電子
線１０が被照射物２０に照射されない無駄な領域２４
（ハッチング部分）が多く発生し、電子線１０の利用効
率が低下する。電子線１０が長方形の場合は、利用効率
が一層低下する。平面形状が円形をした被照射物２０の
具体例として、コンパクトディスク、ビデオディスク、
その他の光ディスク等がある。
【０００７】なお、図１０の例（および後述する図４の
例）では、被照射物２０の全体に確実に電子線１０を照
射するため、被照射物２０よりも電子線照射領域２２を
少し大きくして、余裕幅Ｗを持たせているが、この余裕
幅Ｗを持たせるか否かは、この発明の本質に影響するも
のではなく、任意である。
例）では、被照射物２０の全体に確実に電子線１０を照
射するため、被照射物２０よりも電子線照射領域２２を
少し大きくして、余裕幅Ｗを持たせているが、この余裕
幅Ｗを持たせるか否かは、この発明の本質に影響するも
のではなく、任意である。
【０００８】そこでこの発明は、平面形状が円形をした
被照射物に照射する電子線の利用効率を向上させること
を主たる目的とする。
被照射物に照射する電子線の利用効率を向上させること
を主たる目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明の電子線照射装
置は、前記複数本のフィラメントを全体として円形を成
すように配置し、かつ前記照射窓の形状を円形にしてい
ることを特徴としている。
置は、前記複数本のフィラメントを全体として円形を成
すように配置し、かつ前記照射窓の形状を円形にしてい
ることを特徴としている。
【００１０】上記構成によれば、上記複数本のフィラメ
ントから、上記照射窓を通して、平面形状が円形の、即
ち電子線照射領域が円形の電子線が引き出される。従っ
てこのような円形の電子線を、平面形状が円形をした被
照射物に照射することによって、電子線が被照射物に照
射されない無駄な領域が少なくなるので、電子線の利用
効率が向上する。
ントから、上記照射窓を通して、平面形状が円形の、即
ち電子線照射領域が円形の電子線が引き出される。従っ
てこのような円形の電子線を、平面形状が円形をした被
照射物に照射することによって、電子線が被照射物に照
射されない無駄な領域が少なくなるので、電子線の利用
効率が向上する。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る電子線照
射装置の一例を示す縦断面図である。図２は、図１中の
フィラメント周りを拡大して示す平面図である。図３
は、図１中の照射窓を拡大して示す平面図である。図７
〜図９に示した従来例と同一または相当する部分には同
一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を
主に説明する。
射装置の一例を示す縦断面図である。図２は、図１中の
フィラメント周りを拡大して示す平面図である。図３
は、図１中の照射窓を拡大して示す平面図である。図７
〜図９に示した従来例と同一または相当する部分には同
一符号を付し、以下においては当該従来例との相違点を
主に説明する。
【００１２】この電子線照射装置は、前述した複数本の
フィラメント６を全体として円形を成すように配置し、
かつ前述した照射窓１２の形状（平面形状）を円形にし
ている。それに合わせて、この例では前述した真空容器
２およびシールド電極４を円筒状にしている。
フィラメント６を全体として円形を成すように配置し、
かつ前述した照射窓１２の形状（平面形状）を円形にし
ている。それに合わせて、この例では前述した真空容器
２およびシールド電極４を円筒状にしている。
【００１３】詳述すると、この例では図２に示すよう
に、前述した給電体８を円環状にし、その中心に小円形
をしたもう一つの給電体９を配置し、この両給電体８、
９間に複数本のフィラメント６を放射状に配置してい
る。これによって、各フィラメント６に並列に通電する
ことができる。
に、前述した給電体８を円環状にし、その中心に小円形
をしたもう一つの給電体９を配置し、この両給電体８、
９間に複数本のフィラメント６を放射状に配置してい
る。これによって、各フィラメント６に並列に通電する
ことができる。
【００１４】照射窓１２は、例えば図３に示すように、
枠１８を円環状にし、それに合わせて窓箔１４を円形に
し、この枠１８の内側に複数の桟１６を放射状に配置し
ている。各桟１６の内側端は、この例では小円形をした
中心接続部１９に接続されている。この中心接続部１９
は、図示の都合上、図３では比較的大きく図示している
けれども、桟１６の幅や数を小さくすること等によっ
て、この中心接続部１９を小さくすることも可能であ
る。勿論、それと反対に中心接続部１９を比較的大きく
することも可能である。
枠１８を円環状にし、それに合わせて窓箔１４を円形に
し、この枠１８の内側に複数の桟１６を放射状に配置し
ている。各桟１６の内側端は、この例では小円形をした
中心接続部１９に接続されている。この中心接続部１９
は、図示の都合上、図３では比較的大きく図示している
けれども、桟１６の幅や数を小さくすること等によっ
て、この中心接続部１９を小さくすることも可能であ
る。勿論、それと反対に中心接続部１９を比較的大きく
することも可能である。
【００１５】上記各フィラメント６と各桟１６との上下
方向の相対的な位置関係は、この例のように（図２と図
３とを対比すれば良く分かる）、二つの桟１６、１６の
間にフィラメント６が位置するように配置するのが好ま
しく、そのようにすれば、各フィラメント６から放出さ
せた電子が桟１６に遮られる割合を少なくすることがで
きるので、電子線１０の引出し効率がより向上する。
方向の相対的な位置関係は、この例のように（図２と図
３とを対比すれば良く分かる）、二つの桟１６、１６の
間にフィラメント６が位置するように配置するのが好ま
しく、そのようにすれば、各フィラメント６から放出さ
せた電子が桟１６に遮られる割合を少なくすることがで
きるので、電子線１０の引出し効率がより向上する。
【００１６】この電子線照射装置によれば、複数本のフ
ィラメント６から電子が全体として円形に放出され、そ
の電子が電子線１０として円形の照射窓１２を通して引
き出されるので、図４に示すように、平面形状（横断面
形状とも言える）が円形の、即ち電子線照射領域２２が
円形の電子線１０が引き出される。従ってこのような円
形の電子線１０を、平面形状が円形をした前述したよう
な被照射物２０に照射することによって、電子線１０が
被照射物に照射されない無駄な領域２４（ハッチング部
分）が少なくなるので、電子線１０の利用効率が向上す
る。余裕幅Ｗについては前述のとおりである。
ィラメント６から電子が全体として円形に放出され、そ
の電子が電子線１０として円形の照射窓１２を通して引
き出されるので、図４に示すように、平面形状（横断面
形状とも言える）が円形の、即ち電子線照射領域２２が
円形の電子線１０が引き出される。従ってこのような円
形の電子線１０を、平面形状が円形をした前述したよう
な被照射物２０に照射することによって、電子線１０が
被照射物に照射されない無駄な領域２４（ハッチング部
分）が少なくなるので、電子線１０の利用効率が向上す
る。余裕幅Ｗについては前述のとおりである。
【００１７】なお、照射窓１２の中心部に前述した中心
接続部１９があっても、フィラメント６から電子線１０
は幾分放射状に広がって引き出されるので、被照射物２
０には中心部の抜けのない円形の電子線１０を照射する
ことができる。中心接続部１９は前述したように小さく
することが可能であるので、そのようにすれば、中心部
の抜けのより少ない円形の電子線１０を引き出すことが
できる。
接続部１９があっても、フィラメント６から電子線１０
は幾分放射状に広がって引き出されるので、被照射物２
０には中心部の抜けのない円形の電子線１０を照射する
ことができる。中心接続部１９は前述したように小さく
することが可能であるので、そのようにすれば、中心部
の抜けのより少ない円形の電子線１０を引き出すことが
できる。
【００１８】また、被照射物２０が例えば光ディスク等
の場合、図５に示すように、その中心領域２１には電子
線を照射する必要がなく、その処理領域２６がドーナツ
状であり、このような被照射物２０に対して電子線１０
を照射する場合は、照射窓１２の上記中心接続部１９を
比較的大きくして、この照射窓１２から、中心領域の電
子線量が少ない、または殆ど無いドーナツ状の電子線１
０を引き出して照射するようにしても良い。
の場合、図５に示すように、その中心領域２１には電子
線を照射する必要がなく、その処理領域２６がドーナツ
状であり、このような被照射物２０に対して電子線１０
を照射する場合は、照射窓１２の上記中心接続部１９を
比較的大きくして、この照射窓１２から、中心領域の電
子線量が少ない、または殆ど無いドーナツ状の電子線１
０を引き出して照射するようにしても良い。
【００１９】平面形状が円形をした被照射物２０は、例
えば図６に示す例のように、円形の処理容器２８内にペ
レット状または粉粒体状の被処理物３０を収納したもの
等でも良い。
えば図６に示す例のように、円形の処理容器２８内にペ
レット状または粉粒体状の被処理物３０を収納したもの
等でも良い。
【００２０】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、平面形
状が、即ち電子線照射領域が円形の電子線を引き出すこ
とができるので、この電子線を平面形状が円形をした被
照射物に照射することによって、電子線が被照射物に照
射されない無駄な領域が少なくなり、電子線の利用効率
が向上する。
状が、即ち電子線照射領域が円形の電子線を引き出すこ
とができるので、この電子線を平面形状が円形をした被
照射物に照射することによって、電子線が被照射物に照
射されない無駄な領域が少なくなり、電子線の利用効率
が向上する。
【図１】この発明に係る電子線照射装置の一例を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】図１中のフィラメント周りを拡大して示す平面
図である。
図である。
【図３】図１中の照射窓を拡大して示す平面図である。
【図４】図１の装置による場合の被照射物と電子線照射
領域との関係の一例を示す平面図である。
領域との関係の一例を示す平面図である。
【図５】被照射物の他の例を示す平面図である。
【図６】被照射物の更に他の例を示す断面図である。
【図７】従来の電子線照射装置の一例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図８】図７中のフィラメント周りを拡大して部分的に
示す平面図である。
示す平面図である。
【図９】図７中の照射窓を拡大して部分的に示す平面図
である。
である。
【図１０】図７の装置による場合の被照射物と電子線照
射領域との関係の一例を示す平面図である。
射領域との関係の一例を示す平面図である。
２ 真空容器 ６ フィラメント １０ 電子線 １２ 照射窓 １４ 窓箔 １６ 桟 １８ 枠 ２０ 被照射物
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器と、この真空容器内に設けられ
た複数本のフィラメントと、前記真空容器の開口部に設
けられていて、電子線を透過させる窓箔、この窓箔を支
持する複数の桟およびこの桟を支持する枠を有する照射
窓とを備えていて、平面形状が円形をした被照射物に電
子線を照射する電子線照射装置において、前記複数本の
フィラメントを全体として円形を成すように配置し、か
つ前記照射窓の形状を円形にしていることを特徴とする
電子線照射装置。 - 【請求項２】 前記複数本のフィラメントを、放射状に
かつ全体として円形を成すように配置し、前記照射窓の
枠および窓箔を円形にし、かつ当該枠の内側に前記複数
の桟を放射状に配置している請求項１記載の電子線照射
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11003077A JP2000206299A (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | 電子線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11003077A JP2000206299A (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | 電子線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000206299A true JP2000206299A (ja) | 2000-07-28 |
Family
ID=11547289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11003077A Pending JP2000206299A (ja) | 1999-01-08 | 1999-01-08 | 電子線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000206299A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105908A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Ushio Inc | 電子ビーム管 |
| WO2008062668A1 (fr) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif de rayonnement de faisceau d'électrons |
| JP2013519086A (ja) * | 2010-02-08 | 2013-05-23 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 円形構成における金属箔の皺を減らすための組立体及び方法 |
| JP2015152525A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | 株式会社堀場製作所 | 放射線透過窓、放射線検出器及び放射線検出装置 |
-
1999
- 1999-01-08 JP JP11003077A patent/JP2000206299A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105908A (ja) * | 2004-10-08 | 2006-04-20 | Ushio Inc | 電子ビーム管 |
| JP4676737B2 (ja) * | 2004-10-08 | 2011-04-27 | ウシオ電機株式会社 | 電子ビーム管 |
| WO2008062668A1 (fr) * | 2006-11-24 | 2008-05-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Dispositif de rayonnement de faisceau d'électrons |
| JP2013519086A (ja) * | 2010-02-08 | 2013-05-23 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 円形構成における金属箔の皺を減らすための組立体及び方法 |
| US9437389B2 (en) | 2010-02-08 | 2016-09-06 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Assembly and method for reducing foil wrinkles |
| JP2015152525A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-08-24 | 株式会社堀場製作所 | 放射線透過窓、放射線検出器及び放射線検出装置 |
| US10147511B2 (en) | 2014-02-18 | 2018-12-04 | Horiba, Ltd. | Radiolucent window, radiation detector and radiation detection apparatus |
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