JP2000205842A - 形状測定器 - Google Patents

形状測定器

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JP2000205842A
JP2000205842A JP11008563A JP856399A JP2000205842A JP 2000205842 A JP2000205842 A JP 2000205842A JP 11008563 A JP11008563 A JP 11008563A JP 856399 A JP856399 A JP 856399A JP 2000205842 A JP2000205842 A JP 2000205842A
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shape measuring
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Masahiko Akiyama
雅彦 秋山
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Keyence Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 煩雑な操作を行うことなく測定結果を容易に
利用することができ、測定時間の短縮が可能な形状測定
器を提供することである。 【解決手段】 形状測定器1に接続されるパーソナルコ
ンピュータ70のディスプレイ73の画面上には、測定
対象物を表示する画像表示部74、測定データを表示す
る測定結果表示部75、測定データの算出を指令する測
定トリガボタン76、測定データのアプリケーションプ
ログラムへの出力を指令する出力トリガボタン77、測
定データを算出中であることを表示する測定中表示部7
8および測定データを出力中であることを表示する出力
中表示部79が形成される。測定トリガボタン76をオ
ンにすると、測定データの算出処理が開始される。出力
トリガボタン77をオンにすると、測定結果表示部75
に表示された測定データがアプリケーションプログラム
に取り込まれる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、物体の形状を測定
する形状測定器に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、物体の各部の長さ、角度、距
離、形状等を測定するために形状測定器が用いられてい
る。図8はパーソナルコンピュータを用いた従来の形状
測定器を示すブロック図である。
【0003】図8の形状測定器は、撮像素子としてCC
D(電荷結合素子)を用いたカメラ100、光源11
0、パーソナルコンピュータ120およびCRTモニタ
130により構成される。カメラ100には、レンズ1
01が装着される。カメラ100は、支持台(図示せ
ず)に固定される。
【0004】測定対象物300は、カメラ100と光源
110との間でステージ(図示せず)上に載置される。
光源110からの光が測定対象物300に照射され、測
定対象物300の透過像がカメラ100により撮像され
る。
【0005】カメラ100により得られた画像信号は、
パーソナルコンピュータ120に転送される。パーソナ
ルコンピュータ120には、インタフェースとして働く
画像取り込みボード121が装着される。画像取り込み
ボード121は、カメラ100から与えられた画像信号
をCPU(中央演算処理装置)、メモリ、外部記憶装置
等からなる信号処理部122に与える。
【0006】信号処理部122は、画像データに基づい
て測定対象物300の各部の長さ、角度、形状等の寸法
を算出し、測定対象物300の画像および算出結果をモ
ニタ130に表示させる。
【0007】図9は図8のカメラ100により撮像され
た測定対象物の光量分布の一例を示す図である。図9の
横軸はCCDの画素位置であり、縦軸は光量である。
【0008】図9に示すように、測定対象物300が存
在する領域では光量が低く、測定対象物300の周囲の
領域では光量が高くなる。光量分布におけるエッジe
1,e2は、測定対象物300の輪隔を表す。したがっ
て、光量分布におけるエッジe1,e2間の距離を算出
することにより、測定対象物300の寸法を測定するこ
とができる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来の形状測定
器により得られた測定値を集計するために、例えば表計
算用のアプリケーションプログラム(以下、表計算ソフ
トと呼ぶ)が用いられる。この場合、モニタ130に表
示された測定値をキーボード等により表計算ソフトにそ
の都度入力する必要がある。このように、測定値を利用
するために煩雑な操作が必要となる。その結果、測定値
の集計を含めた全体の測定時間が長くなる。
【0010】本発明の目的は、煩雑な操作なしに測定値
を容易に利用することができ、測定時間の短縮が可能な
形状測定器を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段および発明の効果】(1)
第1の発明 第1の発明に係る形状測定器は、測定対象物の形状を測
定する形状測定器であって、光を測定対象物に投射する
投光部と、投光部により投射されて測定対象物を透過し
た光を受光する受光部と、受光部で受光した光をデジタ
ルの画像データに変換する光電変換手段と、測定開始を
指令する第1の信号を入力する第1の入力手段と、第1
の入力手段により入力された第1の信号に応答して、光
電変換手段により得られた画像データに基づいて測定対
象物の寸法を算出し、算出結果を測定データとして出力
する測定手段と、測定手段から出力される測定データを
表示する第1の表示手段と、測定手段から出力された測
定データを格納する格納手段と、測定データを記録する
ための記録手段と、測定データの記録を指令する第2の
信号を入力する第2の入力手段と、第2の入力手段によ
り入力された第2の信号に応答して、格納手段に格納さ
れた測定データを記録手段に出力する出力手段とを備え
たものである。
【0012】本発明に係る形状測定器においては、投光
部により測定対象物に光が投射され、測定対象物を透過
した光が受光部により受光され、受光された光が光電変
換手段によりデジタルの画像データに変換される。
【0013】第1の入力手段により第1の信号が入力さ
れると、変換手段により得られた画像データに基づいて
測定手段により測定対象物の寸法が算出され、算出結果
が測定データとして出力され、その測定データが第1の
表示手段により表示されるとともに、格納手段に格納さ
れる。
【0014】第2の入力手段により第2の信号が入力さ
れると、格納手段に格納された測定データが出力手段に
より記録手段に出力され、記録手段により記録される。
【0015】このように、第1の信号により測定データ
の算出が開始され、第1の表示手段に表示された測定デ
ータを見て、第2の信号により必要な測定データのみを
記録手段に記録することができる。それにより、必要な
測定データのみを選択的に記録しかつ煩雑な作業なしに
容易に利用することができる。したがって、測定時間が
短縮される。
【0016】(2)第2の発明 第2の発明に係る形状測定器は、第1の発明に係る形状
測定器の構成において、測定手段が測定データを算出中
であることを表示する第2の表示手段をさらに備えたも
のである。
【0017】この場合、第2の表示手段により測定手段
が測定データの算出中であることを容易に認識すること
が可能となる。
【0018】(3)第3の発明 第3の発明に係る形状測定器は、第1または第2の発明
に係る形状測定器の構成において、出力手段が記録手段
へ測定データを出力中であることを表示する第3の表示
手段をさらに備えたものである。
【0019】この場合、第3の表示手段により記録手段
への測定データの出力中であることを容易に認識するこ
とができる。
【0020】(4)第4の発明 第4の発明に係る形状測定器は、第1、第2または第3
の発明に係る形状測定器の構成において、第1および第
2の入力手段が、外部から与えられる第1の信号および
第2の信号を受ける入力端子を含むものである。
【0021】この場合、外部から第1の信号を入力端子
に入力することにより測定データの算出が開始され、外
部から入力端子に第2の信号を入力することにより必要
な測定データのみを選択的に記録手段に記録することが
できる。
【0022】
【発明の実施の形態】図1は本発明の一実施例における
形状測定器の構成を示す模式図である。
【0023】図1において、形状測定器1は、筐体10
内に投光部20および受光部30を備える。投光部20
と受光部30との間には、測定対象物が載置されるステ
ージ40が設けられている。
【0024】この形状測定器1には、後述する測定トリ
ガ信号および出力トリガ信号を入力するための入力端子
11、および測定データを算出中であることを示すビジ
ー信号および測定データを出力中であることを示す出力
動作タイミング信号を出力する出力端子12が設けられ
ている。また、形状測定器1には、測定データを算出中
であることを示す測定中表示部15および測定データを
出力中であることを示す出力中表示部16が設けられて
いる。
【0025】また、この形状測定器1には、各種信号お
よび各種データをパーソナルコンピュータ70に伝送す
るための入出力端子13が設けられている。入出力端子
13には、ケーブル14を介してパーソナルコンピュー
タ70が接続される。
【0026】パーソナルコンピュータ70は、キーボー
ド71、マウス等のポインティングデバイス72および
ディスプレイ73を備える。ディスプレイ73の画面に
は、測定対象物の画像を表示する画像表示部74、測定
データを表示する測定結果表示部75、測定開始を指令
する測定トリガボタン76、測定データの出力を指令す
る出力トリガボタン77、測定データを算出中であるこ
とを表示する測定中表示部78、および測定データを出
力中であることを表示する出力中表示部79が形成され
る。
【0027】ディスプレイ73の画面上の測定トリガボ
タン76をポインティングデバイス72によりオンにす
ると、測定トリガ信号がパーソナルコンピュータ70の
後述するデータ処理部に入力される。また、ディスプレ
イ73の画面上の出力トリガボタン77をポインティン
グデバイス72によりオンにすると、出力トリガ信号が
パーソナルコンピュータ70の後述するデータ処理部に
入力される。
【0028】図2は図1の形状測定器1の構造を示す模
式的断面図である。図2において、筐体10内に投光部
20および受光部30が設けられている。投光部20
は、発光ダイオード21、すりガラス等からなる拡散板
22、絞り23、投光レンズ24、投光ミラー25およ
び防塵用フィルタ26を含む。絞り23は、円形の開口
部を有する薄板状部材からなり、絞り径は固定されてい
る。受光部30は、防塵用フィルタ31、第1のレンズ
32、受光ミラー33、バンドパスフィルタ35、絞り
36、第2のレンズ37およびCCD(電荷結合素子)
38を含む。絞り36は、円形の開口部を有する薄板状
部材からなる。バンドパスフィルタ35、絞り36およ
び第2のレンズ37はレンズ鏡筒34内に一体的に収納
されている。また、レンズ鏡筒34およびCCD38は
ケース39内に一体的に収納されている。
【0029】投光部20の防塵用フィルタ26と受光部
30の防塵用フィルタ31との間には、ステージ40に
より透明ガラスからなる測定台41が配置されている。
測定台41の支持面42上に測定対象物が支持される。
測定台41の支持面42は受光部30の第1のレンズ3
2の光軸に垂直に設定されている。
【0030】発光ダイオード21から出射された光は、
拡散板22により拡散され、拡散板22による拡散光
は、絞り23の円形の開口部を通過することにより円形
に整形される。絞り23の円形の開口部を通過した光
は、投光レンズ24により水平方向に進行する平行光に
変換される。その平行光は、投光ミラー25により上方
に反射され、防塵用フィルタ26を透過し、測定台41
上の測定対象物に照射される。
【0031】測定対象物を透過した光は、防塵用フィル
タ31を透過し、第1のレンズ32により集光され、受
光ミラー33により水平方向に反射される。受光ミラー
33により反射された光は、バンドパスフィルタ35を
透過し、絞り36の円形の開口部を通過し、第2のレン
ズ37によりCCD38の受光領域に結像される。
【0032】図3は図1の形状測定器1のブロック図で
ある。図3において、タイミング発生回路51は、垂直
同期パルスV、水平同期パルスHおよびCCDシャッタ
パルスSHを発生するとともに、LED(発光ダイオー
ド)点灯パルスLDを発生する。LED(発光ダイオー
ド)点灯回路52は、タイミング発生回路51により発
生されたLED点灯パルスLDに応答して発光ダイオー
ド21を点灯させる。
【0033】発光ダイオード21から出射された光は、
絞り23の円形の開口部を通過し、投光レンズ24によ
り平行光にされ、測定対象物に照射される。測定対象物
からの透過光は、第1のレンズ32により集光され、絞
り36の円形の開口部を通過し、第2のレンズ37によ
りCCD38の受光領域に結像される。CCD38は、
受光量に対応するアナログの出力信号を導出する。
【0034】A/D変換器(アナログ−デジタル変換
器)53は、CCD38の出力信号をデジタル信号に変
換し、そのデジタル信号を画像データとして画像メモリ
54に書き込むとともに、動画処理回路57に与える。
【0035】エッジ検出処理部55は、画像メモリ54
から読み出された画像データに基づいて画像のエッジの
位置を検出し、エッジデータとしてエッジメモリ56に
書き込む。動画処理回路57は、A/D変換器53から
与えられた画像データに基づいて測定対象物の画像デー
タを圧縮し、動画データとして出力する。
【0036】マイクロコンピュータ58は、エッジメモ
リ56に記憶されたエッジデータおよび動画処理回路5
7から出力される動画データを選択的に通信インタフェ
ース回路59を介してパーソナルコンピュータ70に送
信する。また、マイクロコンピュータ58は、パーソナ
ルコンピュータ70から通信インタフェース回路59を
介して与えられた指令信号に基づいてエッジ検出処理部
55に処理を指令する。さらに、マイクロコンピュータ
58は、図1の入力端子11から入力された測定トリガ
信号および出力トリガ信号を通信インタフェース回路5
9を介してパーソナルコンピュータ70に与える。
【0037】パーソナルコンピュータ70は、マイクロ
コンピュータ58から通信インタフェース回路59を介
して送信された動画データに基づいて測定対象物の画像
を図1のディスプレイ73の画面上の画像表示部74に
表示する。また、パーソナルコンピュータ70は、マイ
クロコンピュータ58から通信インタフェース回路59
を介して送信されたエッジデータに基づいて測定対象物
の各部の長さ、角度、形状等の寸法を算出し、算出結果
を測定データとして図1のディスプレイ73の画面上の
測定結果表示部75に表示する。
【0038】図4は図1および図3のパーソナルコンピ
ュータ70のデータ処理部の構成を示す機能ブロック図
である。
【0039】図4において、データ処理部80は、測定
処理部81、測定データ一時記憶部82、測定データ出
力部83およびアプリケーションプログラム84により
構成される。
【0040】測定処理部81および測定データ出力部8
3は、CPU(中央演算処理装置)、メモリおよび測定
プログラムにより構成される。また、測定データ一時記
憶部82はメモリにより構成される。さらに、アプリケ
ーションプログラム84は、ハードディスク装置等の記
録媒体に格納され、メモリ上で実行される。
【0041】本実施例では、アプリケーションプログラ
ム84が表計算用のアプリケーションプログラム(以
下、表計算ソフトと呼ぶ)であるものとする。この表計
算ソフトは、各種データを集計および加工してフロッピ
ィディスク、ハードディスク等の記録媒体にファイルの
形で記録する。
【0042】測定処理部81には、形状測定器1からケ
ーブル14を介してエッジデータが入力される。また、
測定処理部81には、測定トリガ信号MTRが入力され
る。測定処理部81は、測定トリガ信号MTRに応答し
て、エッジデータを用いて測定対象物の各部の長さ、角
度、形状等の寸法を算出し、算出結果を測定データとし
て出力する。測定処理部81が測定データを算出してい
る間には、測定データを算出中であることを示すビジー
信号BSYが出力される。測定処理部81から出力され
た測定データは測定データ一時記憶部82に記憶され
る。
【0043】測定データ出力部83には出力トリガ信号
OTRが入力される。測定データ出力部83は、出力ト
リガ信号OTRに応答して、測定データ一時記憶部82
に記憶された測定データをアプリケーションプログラム
84に出力する。測定データ出力部83がアプリケーシ
ョンプログラム84に測定データを出力している間に
は、出力動作タイミング信号OTMが出力される。
【0044】測定トリガ信号MTRは、図1の形状測定
器1の入力端子11またはパーソナルコンピュータ70
の測定トリガボタン76により入力され、出力トリガ信
号OTRは、形状測定器1の入力端子11またはパーソ
ナルコンピュータ70の出力トリガボタン77により入
力される。
【0045】ビジー信号BSYは、形状測定器1の出力
端子12から出力される。このビジー信号BSYが出力
されているときには、形状測定器1の測定中表示部15
またはパーソナルコンピュータ70のディスプレイ73
の画面上の測定中表示部78に測定データを算出中であ
ることが表示される。
【0046】出力動作タイミング信号OTMは、形状測
定器1の出力端子12から出力される。この出力動作タ
イミング信号OTMが出力されているときには、形状測
定器1の出力中表示部16およびパーソナルコンピュー
タ70のディスプレイ73の画面上の出力中表示部79
に測定データを出力中であることが表示される。
【0047】図5は図4のデータ処理部80の動作を説
明するためのタイミングチャートである。
【0048】図5において、1回目に測定トリガ信号M
TRがハイレベルに立ち上がると、測定処理部81がエ
ッジデータに基づいて測定データの算出処理を開始す
る。それにより、ビジー信号BSYがハイレベルに立ち
上がる。測定処理部81による測定データが確定した時
点t1でビジー信号BSYがローレベルに立ち下がる。
それにより、測定データが測定データ一時記憶部82に
記憶される。その後、出力トリガ信号OTRがハイレベ
ルに立ち上がると、測定データ出力部83が測定データ
一時記憶部82に記憶された測定データをアプリケーシ
ョンプログラム84に出力する。それにより、出力動作
タイミング信号OTMがハイレベルに立ち上がる。測定
データ出力部83によるアプリケーションプログラム8
4への測定データの出力が完了した時点t11で、出力
動作タイミング信号OTMがローレベルに立ち下がる。
【0049】2回目に測定トリガ信号MTRがハイレベ
ルに立ち上がると、測定処理部81がエッジデータに基
づいて測定データの算出処理を開始する。それにより、
ビジー信号BSYがハイレベルに立ち上がる。測定処理
部81による測定データが確定した時点t2で、ビジー
信号BSYがローレベルに立ち下がる。それにより、測
定データが測定データ一時記憶部82に記憶される。そ
の後、出力トリガ信号OTRがハイレベルに立ち上がら
ない場合には、測定データ一時記憶部82に記憶された
測定データはアプリケーションプログラム84に出力さ
れない。
【0050】3回目に測定トリガ信号MTRがハイレベ
ルに立ち上がると、測定処理部81がエッジデータに基
づいて測定データの算出処理を開始する。それにより、
ビジー信号BSYがハイレベルに立ち上がる。測定処理
部81による測定データが確定した時点t3で、ビジー
信号BSYがローレベルに立ち下がる。それにより、測
定データが測定データ一時記憶部82に記憶される。そ
の後、出力トリガ信号OTRがハイレベルに立ち上がる
と、測定データ出力部83が測定データ一時記憶部82
に記憶された測定データをアプリケーションプログラム
84に出力する。それにより、出力動作タイミング信号
OTMがハイレベルに立ち上がる。測定データ出力部8
3によるアプリケーションプログラム84への測定デー
タの出力が完了した時点t12で、出力動作タイミング
信号OTMがローレベルに立ち下がる。
【0051】本実施例では、CCD38が光電変換手段
に相当し、入力端子11および測定トリガボタン76が
第1の入力手段に相当する。また、測定処理部81が測
定手段に相当し、測定データ一時記憶部82が格納手段
に相当し、アプリケーションプログラム84が記録手段
に相当する。さらに、入力端子11および出力トリガボ
タン77が第2の入力手段に相当し、測定データ出力部
83が出力手段に相当する。また、測定結果表示部75
が第1の表示手段に相当し、測定中表示部15および7
8が第2の表示手段に相当し、出力中表示部16および
79が第3の表示手段に相当する。
【0052】図6は本実施例の形状測定器1を用いた測
定データの算出処理および測定データの取り込み処理の
一例を示す図であり、(a)は6回の測定処理における
測定トリガボタン、測定データおよび出力トリガボタン
を示し、(b)はアプリケーションプログラム84のフ
ァイルを示す。
【0053】図6(a)に示すように、1回目の測定時
には、測定トリガボタン76をオンにすると、測定デー
タが測定結果表示部75に表示される。出力トリガボタ
ン77をオンにすると、測定結果表示部75に表示され
た測定データがアプリケーションプログラム84に取り
込まれる。2回目の測定時にも、同様に、測定トリガボ
タン76をオンにすると、測定データが測定結果表示部
75に表示され、出力トリガボタン77をオンにする
と、表示された測定データがアプリケーションプログラ
ム84に取り込まれる。
【0054】3回目の測定時には、測定トリガボタン7
6をオンにすると、測定データが測定結果表示部75に
表示される。出力トリガボタン77をオンにしないと、
表示された測定データはアプリケーションプログラム8
4に取り込まれない。
【0055】したがって、測定対象物が不良品であった
り、測定が正常に行えなかった等の場合における異常な
測定値はアプリケーションプログラム84に取り込まな
いようにすることができる。
【0056】4回目の測定時、5回目の測定時および6
回目の測定時には、測定トリガボタン76をオンにし、
出力トリガボタン77をオンにすることにより、表示さ
れた測定データがアプリケーションプログラム84に取
り込まれる。
【0057】この結果、図6(b)に示すように、測定
番号「1」において、1回目、2回目、4回目、5回目
および6回目の測定データが測定回数1〜5としてアプ
リケーションプログラム84の表中に取り込まれる。
【0058】このように、測定トリガボタン76により
測定データの算出処理を開始するとともに測定データを
測定結果表示部75に表示させ、表示された測定データ
が必要な場合のみにその測定データを出力トリガボタン
77によりアプリケーションプログラム84に取り込む
ことができる。したがって、煩雑な操作を行うことなく
必要な測定データのみをアプリケーションプログラム8
4で容易に利用することができる。
【0059】また、入力端子11にフットスイッチ(足
踏みスイッチ)を接続し、フットスイッチにより測定ト
リガ信号MTRおよび出力トリガ信号OTRを入力する
ことができる。この場合、使用者の両手が自由になり、
測定対象物をステージ40に置いたりする作業が容易に
なる。
【0060】図7はパーソナルコンピュータ70のデー
タ処理部の構成の他の例を示す機能ブロック図である。
【0061】図7のデータ処理部80aでは、図4の測
定データ出力部83が設けられていない。この場合、測
定処理部81は、測定トリガ信号MTRに応答して、エ
ッジデータに基づいて測定データの算出処理を行い、算
出された測定データを測定データ一時記憶部82に書き
込む。測定データ一時記憶部82に記憶された測定デー
タはアプリケーションプログラム84に出力される。
【0062】このように、図7のデータ処理部80aに
よれば、測定トリガ信号MTRにより測定データの算出
が開始されるとともに、得られた測定データがアプリケ
ーションプログラム84に自動的に取り込まれる。
【0063】なお、アプリケーションプログラム84
は、表計算ソフトに限らず、ワードプロセッサ用アプリ
ケーションプログラム、データベース用アプリケーショ
ンプログラム等のその他のアプリケーションプログラム
であってもよい。
【0064】また、本実施例では、格納手段がパーソナ
ルコンピュータ70のメモリからなる測定データ一時記
憶部82である場合を説明したが、格納手段として、メ
モリを有するプリンタ、メモリを有するCRT(陰極線
管)等の他の記憶手段を用いてもよい。
【0065】さらに、本実施例では、記録手段がアプリ
ケーションプログラム84である場合を説明したが、記
録手段として、プリンタ等のデータ記録機能を有する種
々のデータ記録システムを用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例における形状測定器の構成を
示す模式図である。
【図2】図1の形状測定器の構造を示す模式的断面図で
ある。
【図3】図1および図3の形状測定器のブロック図であ
る。
【図4】図1のパーソナルコンピュータにおけるデータ
処理部の構成を示す機能ブロック図である。
【図5】図4のデータ処理部の動作を説明するためのタ
イミングチャートである。
【図6】図1の形状測定器における測定データの算出処
理および測定データの取り込み処理の一例を示す図であ
る。
【図7】図1および図3のパーソナルコンピュータにお
けるデータ処理部の構成の他の例を示す機能ブロック図
である。
【図8】従来の形状測定器を示すブロック図である。
【図9】図8の形状測定器におけるカメラにより撮像さ
れる測定対象物の光量分布の一例を示す図である。
【符号の説明】
1 形状測定器 11 入力端子 12 出力端子 13 入出力端子 15 測定中表示部 16 出力中表示部 20 投光部 30 受光部 70 パーソナルコンピュータ 73 ディスプレイ 74 画像表示部 75 測定結果表示部 76 測定トリガボタン 77 出力トリガボタン 78 測定中表示部 79 出力中表示部 80,80a データ処理部 81 測定処理部 82 測定データ一時記憶部 83 測定データ出力部 84 アプリケーションプログラム

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 測定対象物の形状を測定する形状測定器
    であって、 光を測定対象物に投射する投光部と、 前記投光部により投射されて測定対象物を透過した光を
    受光する受光部と、 前記受光部で受光した光をデジタルの画像データに変換
    する光電変換手段と、 測定開始を指令する第1の信号を入力する第1の入力手
    段と、 前記第1の入力手段により入力された第1の信号に応答
    して、前記光電変換手段により得られた画像データに基
    づいて測定対象物の寸法を算出し、算出結果を測定デー
    タとして出力する測定手段と、 前記測定手段から出力される測定データを表示する第1
    の表示手段と、 前記測定手段から出力された測定データを格納する格納
    手段と、 測定データを記録するための記録手段と、 測定データの記録を指令する第2の信号を入力する第2
    の入力手段と、 前記第2の入力手段により入力された第2の信号に応答
    して、前記格納手段に格納された測定データを前記記録
    手段に出力する出力手段とを備えたことを特徴とする形
    状測定器。
  2. 【請求項2】 前記測定手段が測定データを算出中であ
    ることを表示する第2の表示手段をさらに備えたことを
    特徴とする請求項1記載の形状測定器。
  3. 【請求項3】 前記出力手段が前記記録手段へ測定デー
    タを出力中であることを表示する第3の表示手段をさら
    に備えたことを特徴とする請求項1または2記載の形状
    測定器。
  4. 【請求項4】 前記第1および第2の入力手段は、外部
    から与えられる前記第1の信号および前記第2の信号を
    受ける入力端子を含むことを特徴とする請求項1、2ま
    たは3記載の形状測定器。
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