JP2000195752A - 積層コンデンサ形成母材の製造方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄膜形成により形成される積層コンデンサ形
成母材の製造を容易に且つ効率的に行う積層コンデンサ
形成母材の製造方法及びその装置を提供する。 【解決手段】 真空槽１内に配設された回転ドラム２に
は所定間隔で断熱部７が設けられ、この回転ドラム２の
円筒表面に樹脂フィルム８を巻回し、この樹脂フィルム
８上に金属蒸着装置３から金属薄膜、誘電体蒸着装置４
から誘電体薄膜を積層形成する。成膜後に樹脂フィルム
８を回転ドラム２から取り外すと成膜物は容易に取り出
され、断熱部７により誘電体薄膜の成膜厚さが薄くなる
ことにより個々の積層コンデンサ形成母材として容易に
分離することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体層と金属薄
膜とを交互に積層成膜して形成される積層コンデンサの
形成母材を製造する積層コンデンサ形成母材の製造方法
及びその装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】積層コンデンサを小型化するための製造
方法として、真空蒸着により誘電体薄膜と金属薄膜とを
交互に形成することがなされる。図４は、この真空蒸着
により積層コンデンサの形成母材を製造する製造装置の
従来構成を示している。

【０００３】図４において、真空槽２１内には、図示し
ない駆動手段により回転駆動される回転ドラム２２と、
金属材料蒸着装置２３と、誘電体材料蒸着装置２４と、
コンデンサマージン形成装置２５とが配設され、回転ド
ラム２２は冷却装置２６により冷却されるように構成さ
れている。この製造装置によりコンデンサを製造するに
は、前記回転ドラム２２の円筒表面に所定間隔で回転軸
方向にテープ２７を貼着し、回転ドラム２２を回転させ
ながら、その円筒表面に金属材料蒸着装置２３から金属
薄膜、誘電体材料蒸着装置２４から誘電体薄膜をそれぞ
れ成膜することにより、金属薄膜と誘電体薄膜とが交互
に積層された積層膜が形成される。

【０００４】図５は、金属薄膜３０と誘電体薄膜３１と
の積層状態をテープ２７の貼着部分で示す断面図で、積
層膜はテープ２７の位置ではテープ２７の厚さに相当す
る段差が形成されている。このように積層形成された積
層膜を回転ドラム２２から取り外すときには、図６に示
すように、まずテープ２７を回転ドラム２２から剥が
し、回転ドラム２２と積層膜との間にヘラ等の治具を差
し込んでテープ２７間の積層膜を一片毎に剥がすと、積
層膜の一片は積層コンデンサを形成するための形成母材
２９として取り出すことができる。この形成母材２９
は、所定サイズにカットして端面に電極形成することに
より、所定静電容量の積層コンデンサとして形成され
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来構成では、回転ドラム２２の円筒表面に予めテープ２
７を貼り付ける面倒な作業が必要となる。また、積層膜
を回転ドラム２２から取り出すときにヘラ等の治具を回
転ドラム２２の表面に差し込むため、平滑度を要する円
筒表面を傷つける恐れがあった。

【０００６】本発明が目的とするところは、金属薄膜と
誘電体薄膜とを積層成膜する積層コンデンサ形成母材の
製造を容易に行い得るようにした積層コンデンサ形成母
材の製造方法及びその装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本願の第１発明は、真空槽内に配設された回転ドラム
の表面に、蒸着により金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に
積層成膜して、積層コンデンサを形成するための形成母
材を製造する積層コンデンサ形成母材の製造方法におい
て、前記回転ドラムの円周面にその回転軸方向と平行な
方向に所定幅の断熱部分を所定間隔で設けると共に回転
ドラムを冷却し、この回転ドラムの円周面上に巻回した
樹脂フィルム上に金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に積層
成膜して積層コンデンサ形成母材を製造することを特徴
とする。

【０００８】この製造方法によれば、回転ドラム上に設
けられた断熱部分では回転ドラムの冷却が及び難いため
温度が高くなり、断熱部分に蒸着された誘電体材料は再
蒸発して付着確率が低下する状態となるため、断熱部分
では成膜の厚さが薄くなる。

【０００９】断熱部分以外の回転ドラム表面には所定厚
さに金属薄膜と誘電体薄膜とが成膜されるため、断熱部
分の段差により区切られた個々の積層膜として積層コン
デンサ形成母材が形成される。また、回転ドラムの円周
面には樹脂フィルムが巻回されているので、金属薄膜と
誘電体薄膜とは、この樹脂フィルム上に形成される。従
って、薄膜形成後に回転ドラムから樹脂フィルムを取り
外すと、断熱部分で薄く形成された積層膜は、薄い断熱
部分から容易に分離して積層コンデンサを形成するため
の形成母材として取り出すことができる。

【００１０】また、上記目的を達成するための本願の第
２発明は、真空槽内に配設された回転ドラムの表面に、
金属蒸着装置により金属薄膜、誘電体蒸着装置により誘
電体薄膜を交互に積層成膜して、積層コンデンサを形成
するための形成母材を製造する積層コンデンサ形成母材
の製造装置において、前記回転ドラムが、その円周面に
回転ドラムの回転軸方向と平行な方向に所定幅の断熱部
を所定間隔で設けると共に、冷却手段により冷却される
ように構成されてなり、この回転ドラムの円周面上に樹
脂フィルムを巻回して回転駆動させ、真空槽内に配設さ
れた金属蒸着装置及び誘電体蒸着装置から前記樹脂フィ
ルム上に金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に積層成膜して
積層コンデンサの形成母材を製造するように構成されて
なることを特徴とする。

【００１１】この構成によれば、回転ドラムに設けられ
た断熱部は、冷却される回転ドラムの冷却が及ばないの
で他の表面より温度が高い状態となる。この状態で誘電
体蒸着装置から誘電体薄膜が回転ドラム上に成膜される
と、温度の高い断熱部分では誘電体薄膜は再蒸発して付
着確率の低い状態となり、誘電体層の成膜厚さが小さく
なって他の正常に成膜された部分とに段差が生じること
になる。また、回転ドラムの円周面には樹脂フィルムが
巻回されるので、金属薄膜と誘電体薄膜とは、この樹脂
フィルム上に形成される。従って、薄膜形成後に回転ド
ラムから樹脂フィルムを取り外すと、断熱部分で薄く形
成された積層膜は、薄い断熱部分から容易に分離して積
層コンデンサを形成するための形成母材として取り出す
ことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の一実施形態について説明し、本発明の理解に供する。
尚、以下に示す実施形態は本発明を具体化した一例であ
って、本発明の技術的範囲を限定するものではない。

【００１３】図１は、本発明の実施形態に係る積層コン
デンサ形成母材の製造装置の構成を示すもので、真空槽
１内に、図示しない駆動手段により回転駆動される回転
ドラム２、金属材料を蒸散させる金属蒸着装置３、誘電
体材料を蒸散させる誘電体蒸着装置４、コンデンサ形成
のために金属薄膜が形成されないマージン部分を設ける
ためのコンデンサマージン形成装置５を配設し、前記回
転ドラム２は冷却装置６によって冷却できるように構成
されている。また、回転ドラム２の円筒表面には、その
回転軸方向に所定間隔で断熱部７が設けられている。

【００１４】上記構成になる製造装置により積層コンデ
ンサ形成母材を製造するには、まず回転ドラム２の円筒
表面に図示するように樹脂フィルム８を巻回する。この
樹脂フィルム８は、ＰＥＴ（Polyethylene Terephthala
te）等を採用することができる。次に真空槽１内を真空
排気した後、回転ドラム２を図示矢印方向に回転駆動
し、コンデンサマージン形成装置５からは積層コンデン
サマージンを形成するための所定間隔で油が吹きつけら
れる。この後に金属蒸着装置３から金属蒸気を蒸散させ
ると、金属蒸気は冷却された回転ドラム２に巻回された
樹脂フィルム８に固着して金属膜を形成するが、前記コ
ンデンサマージン形成装置５により油が線状に塗布され
た位置には金属膜は定着せず、線状に金属膜のないコン
デンサマージンが形成される。この金属膜の上に、誘電
体蒸着装置４から誘電体蒸気を蒸散させることにより金
属薄膜の上に誘電体薄膜が成膜される。これを繰り返す
ことにより、樹脂フィルム８上に金属薄膜と誘電体薄膜
とが交互に積層成膜される。尚、前記コンデンサマージ
ン形成装置５は、回転ドラム２の１回転毎に油を塗布す
る位置を回転ドラム２の軸方向の２か所の位置間で交互
に移動させ、コンデンサマージンの形成位置を切り換え
る。コンデンサマージンは、積層成膜された形成母材を
所定寸法に切断して積層コンデンサを形成するとき、積
層成膜された金属薄膜が一層おきにコンデンサの２つの
電極のいずれか一方の極にのみ接続されるように、他方
の極との接続を断つために金属薄膜が形成されない部
分、即ちマージンを回転ドラム２の円周方向に線状に形
成する。このマージンの形成位置は、コンデンサマージ
ン形成装置５による油の塗布位置の一層毎の移動で位置
ずれした状態になるので、マージン位置で形成母材を切
断すると、切断面の両側端面にそれぞれ偶数層、奇数層
の金属薄膜が露出する。

【００１５】図２は、回転ドラム２上に積層形成された
金属薄膜１０と誘電体薄膜１１との積層状態を断熱部７
の位置で部分断面として示している。図示するように、
断熱部７の位置では、回転ドラム２の冷却がその表面に
及ばないため温度が高い状態となり、ここに蒸着された
誘電体は再蒸発して付着確率が低下するため、断熱部７
がない部分に比して誘電体薄膜の成膜厚さは極端に小さ
くなる。このように回転ドラム２上に積層成膜されたと
き、図３に示すように、回転ドラム２から樹脂フィルム
８を取り外すと、成膜物は断熱部７の位置で薄くなって
いるので、薄い部分で折れ曲がって引き出され、薄い部
分から容易に分離して個々に積層コンデンサ形成母材９
として取り出すことができる。また、樹脂フィルム８
は、回転ドラム２からの剥離性がよいので、容易に引き
離すことができ、成膜物を取り出すときに回転ドラム２
に損傷を与えることがない。

【００１６】上記製造方法により取り出された積層コン
デンサ形成母材９は、加圧により平板状に成形された
後、コンデンサマージンが形成された幅にカットされ、
カットされた両端面に露出した偶数層、奇数層の金属薄
膜を接続して電極形成して所定静電容量の積層コンデン
サに形成される。

【００１７】上記構成においては、作業者により真空槽
１を開いて、樹脂フィルム８を回転ドラム２上に巻回
し、真空槽１を閉じて真空排気し、成膜が行われた後、
再び真空槽１を開いて樹脂フィルム８を取り外すことに
より成膜物を取り出す作業を行うが、樹脂フィルム８の
巻回及び取り外し機構をロードロック室内に設けて、真
空槽１の真空状態を維持して連続生産するように構成す
ることもできる。

【００１８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、回
転ドラムに断熱部を設けると共に、樹脂フィルムを巻回
して積層成膜を行うので、積層コンデンサの形成母材を
製造するための準備作業が容易となり、また、積層成膜
された積層コンデンサ形成母材の取り出しも容易にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施形態に係るコンデンサ製造装置の構成を示
す正面図。

【図２】実施形態による積層成膜状態を示す部分断面
図。

【図３】実施形態による成膜物の取り出しを説明する斜
視図。

【図４】従来技術になるコンデンサ製造装置の構成を示
す正面図。

【図５】従来技術による積層成膜状態を示す部分断面
図。

【図６】従来技術による成膜物の取り出しを説明する斜
視図。

【符号の説明】

１ 真空槽 ２ 回転ドラム ３ 金属蒸着装置 ４ 誘電体蒸着装置 ６ 冷却装置 ７ 断熱部 ８ 樹脂フィルム ９ 積層コンデンサ形成母材 １０ 金属薄膜 １１ 誘電体薄膜

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 柴崎 初彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 陶澤 眞一 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 加瀬部 強 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 4K029 AA11 AA25 BB02 BD00 CA01 JA10 5E082 AB03 BC40 EE05 EE23 EE37 FG03 FG42 JJ03 LL01 LL03 MM22 MM23

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空槽内に配設された回転ドラムの表面
   に、蒸着により金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に積層成
   膜して、積層コンデンサを形成するための形成母材を製
   造する積層コンデンサ形成母材の製造方法において、 前記回転ドラムの円周面にその回転軸方向と平行な方向
   に所定幅の断熱部分を所定間隔で設けると共に回転ドラ
   ムを冷却し、この回転ドラムの円周面上に巻回した樹脂
   フィルム上に金属薄膜と誘電体薄膜とを交互に積層成膜
   して積層コンデンサ形成母材を製造することを特徴とす
   る積層コンデンサ形成母材の製造方法。
2. 【請求項２】 真空槽内に配設された回転ドラムの表面
   に、金属蒸着装置により金属薄膜、誘電体蒸着装置によ
   り誘電体薄膜を交互に積層成膜して、積層コンデンサを
   形成するための形成母材を製造する積層コンデンサ形成
   母材の製造装置において、 前記回転ドラムが、その円周面に回転ドラムの回転軸方
   向と平行な方向に所定幅の断熱部を所定間隔で設けると
   共に、冷却手段により冷却されるように構成されてな
   り、この回転ドラムの円周面上に樹脂フィルムを巻回し
   て回転駆動させ、真空槽内に配設された金属蒸着装置及
   び誘電体蒸着装置から前記樹脂フィルム上に金属薄膜と
   誘電体薄膜とを交互に積層成膜して積層コンデンサの形
   成母材を製造するように構成されてなることを特徴とす
   る積層コンデンサ形成母材の製造装置。