JP2000195074A

JP2000195074A - 光学ヘッド及び光学記録媒体の駆動装置

Info

Publication number: JP2000195074A
Application number: JP11196528A
Authority: JP
Inventors: Isao Ichimura; 功市村; Koichiro Kijima; 公一朗木島; Yuji Kuroda; 裕児黒田; Kenji Yamamoto; 健二山本; Kiyoshi Osato; 潔大里
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1998-10-21
Filing date: 1999-07-09
Publication date: 2000-07-14

Abstract

(57)【要約】【課題】光学記録媒体に照射すべきレーザビームを収
束させる光学手段を搭載する光学ヘッドであって、ソリ
ッドイマージョンレンズにより開口数を大きくすること
ができ、かつ、静電容量に基づいてエアギャップを高精
度に制御することができ、しかも、フォーカスサーボの
ためのアクチュエータや信号処理を一層簡略化すること
のできるものを提供する。【解決手段】光学ヘッド１を、レーザビームＬを収束
させる対物レンズ２と、対物レンズ２と光学記録媒体５
１との間に介在させるソリッドイマージョンレンズ３
と、レンズ２及び３を一体に保持した保持部材４と、保
持部材４をレーザビームＬの光軸方向に移動させる移動
機構５ａを備え、光学記録媒体５１に対向する面に導電
性の素材を用いることにより構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学記録媒体を用
いて情報の記録や再生を行なう技術分野に属しており、
特に、レーザビームを収束させる対物レンズの開口数の
増大により高密度記録を図るために用いて好適な光学ヘ
ッド及び光学記録媒体の駆動装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、例えば相変形の光ディスクや光磁
気ディスクのような書換型の光ディスクには、ディスク
径を大きくすることなく動画像データのような大量のデ
ータを記録することを可能にするために、記録密度を増
大させることが求められている。この記録密度の増大
は、光ディスクの信号記録面に照射されるレーザビーム
のスポットサイズを小さくすることにより実現される。

【０００３】このスポットサイズｄは、レーザビームの
波長λに近いオーダーでは、フーリエ結像論に基づき、
この波長λとレーザビームを収束させる対物レンズの開
口数ＮＡとから次式（１）により求められることが知ら
れている。

【０００４】ｄ＝１．２２・λ／ＮＡ …（１）したがって、レーザビームの波長が短く対物レンズの開
口数が大きいほど、このスポットサイズが小さくなるの
で、記録密度を増大させることができる。

【０００５】このうち、開口数を大きくする方法として
は、ソリッドイマージョンレンズを用いる方法が知られ
ている。

【０００６】この方法は、原理的には、図７中のＡに示
すように、対物レンズ６１と光ディスク６２との間に、
対物レンズ６１，光ディスク６２に対向する面がそれぞ
れが球面６３ａ，平面６３ｂであるソリッドイマージョ
ンレンズ（ＳＩＬ）６３を介在させることにより、対物
レンズ６１を経たレーザビームＬを、ＳＩＬ６３の球面
６３ａに対して垂直に入射させて、その平面６３ｂの中
央部に収束させるというものであり、ＳＩＬ６３の屈折
率をｎとすると、対物レンズ６１及びＳＩＬ６３から成
るレンズ群の開口数（実効的な開口数）は、対物レンズ
６１自体の開口数よりもｎ倍大きくなる。

【０００７】ただし、実際には、後述するＳｔｉｇｍａ
ｔｉｃｆｏｃｕｓｉｎｇの条件を満たして実効的な開
口数がｎ² 倍大きくなるようにするために、図７中のＢ
に示すように、対物レンズ６１を経たレーザビームＬ
を、ＳＩＬ６３の球面６３ａに対して垂直とは異なる角
度で入射させることにより、球面６３ａで若干屈折させ
るようにする。

【０００８】例えば、１９９３年発刊の『Ｏｐｔｉｃｓ
Ｌｅｔｔｅｒ』第１８号の３０５〜３０７頁に掲載の
Ｓ．Ｍ．Ｍａｎｓｆｉｅｌｄ氏等の論文「Ｈｉｇｈ−ｎ
ｕｍｅｒｉｃａｌ−ａｐｅｒｔｕｒｅｌｅｎｓｓｙ
ｓｔｅｍｆｏｒｏｐｔｉｃａｌｓｔｏｒａｇｅ」
（以下「参考文献１」と呼ぶ）や、１９９６年発刊の
『ＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓＬｅｔｔｅｒ』第
６８号の１４１〜１４３頁に掲載のＨ．Ｊ．Ｍａｍｉｎ
氏等の論文「Ｎｅａｒ−ｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌ
ｄａｔａｓｔｏｒａｇｅ」（以下「参考文献２」と呼
ぶ）では、このソリッドイマージョンレンズを用いる方
法により、１を超える開口数が実現されることが報告さ
れている。

【０００９】ところで、このように開口数が１を超える
と、レーザビームの光軸方向上でのソリッドイマージョ
ンレンズと光ディスクとの間の距離（エアギャップ）が
大きくなるにつれて、レーザービームのうち開口数が１
を超える成分のソリッドイマージョンレンズの平面での
反射率が大きくなることにより、ソリッドイマージョン
レンズを透過して光ディスクに照射されるレーザビーム
の強度が急激に低下していく。そして、このエアギャッ
プが近接場（ニアフィールド）の範囲以上になったとき
には、ソリッドイマージョンレンズの平面でこの開口数
が１を超える成分のほとんどが反射されるようになるの
で、光ディスクに照射されるレーザビームの強度が著し
く低くなってしまう。

【００１０】図８は、そのことを具体的に表すために、
エアギャップが０ｎｍ，５０ｎｍ，１００ｎｍ，２００
ｎｍ，５００ｎｍの各場合について、横軸に光ディスク
の信号記録面上でのレーザビームのスポット中心からの
距離をとり、縦軸にこの信号記録面に照射されるレーザ
ビームの強度（エアギャップが０ｎｍのときのスポット
中心での強度に対する比）をとって、開口数ＮＡ＝１．
５，波長λ＝６４０ｎｍのときのこの信号記録面上での
レーザビームの強度分布（Ｓｔｒｅｈｌｉｎｔｅｎｓ
ｉｔｙ）の計算値を示したものである。

【００１１】図８には、スポット中心でのレーザビーム
の強度は、エアギャップが５０ｎｍのときにはエアギャ
ップが０ｎｍのときの８５％程度であるが、エアギャッ
プが１００ｎｍになるとエアギャップが０ｎｍのときの
６０％程度になり、エアギャップが２００ｎｍに達する
とエアギャップが０ｎｍのときの３５％程度にまで低下
してしまうことが表れている。

【００１２】そのため、開口数が１を超える場合には、
このエアギャップを十分小さくするような（図８の例の
場合には、最大でも１００ｎｍ以内、望ましくは５０ｎ
ｍ程度にするような）制御を行なわないと、光ディスク
の信号記録面に照射されるレーザビームの強度の低下に
より、記録精度や再生精度の悪化を招いてしまう。

【００１３】エアギャップを小さくするような制御を行
なう方法としては、対物レンズ及びソリッドイマージョ
ンレンズを搭載した光学ヘッドを、ハードディスク装置
における磁気ヘッドと同様に、光ディスクの回転に伴う
空気流により光ディスクに対して浮上させる方法も存在
する。

【００１４】しかし、この方法では、空気流の強さが光
ディスクの線速度に依存するので、例えばＣＡＶ（角速
度一定記録）方式の場合にはディスク半径方向上でのレ
ーザビームの照射位置が変化するにつれて（すなわちア
クセスするトラックが変化するにつれて）浮上量が変化
してしまい、ＣＬＶ（線速度一定記録）方式の場合でも
線速度が異なる光ディスク装置同士では浮上量も異なっ
てしまう。その結果、この方法ではエアギャップを高精
度に制御することは困難である。

【００１５】そこで、本出願人は、対物レンズとソリッ
ドイマージョンレンズとを別々のホルダに保持し、ソリ
ッドイマージョンレンズを保持するホルダに導電性の素
材を用いることにより、ソリッドイマージョンレンズの
光軸方向上での位置の制御を、対物レンズと光ディスク
との間の光軸方向上での距離の制御とは独立に、この導
電性の素材により形成される静電容量（コンデンサ）に
基づいて行なうようにした光学ヘッドや光学記録媒体の
駆動装置の発明を既に提案済みである（特許出願公開番
号：特開平８−２１２５７９）。この発明によれば、光
ディスクの線速度にかかわらず、エアギャップを高精度
に制御することができる。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この本出願人
が提案した発明では、フォーカスサーボのためにレンズ
を光軸方向に移動させるアクチュエータとしても、ソリ
ッドイマージョンレンズを保持したホルダを移動させる
アクチュエータと、対物レンズを保持したホルダを移動
させるアクチュエータとの２つのアクチュエータが必要
である。

【００１７】また、フォーカスサーボ用の制御信号を生
成する信号処理としても、静電容量に基づいてソリッド
イマージョンレンズの位置を制御する制御信号を生成す
る信号処理と、対物レンズと光ディスクとの間の距離を
制御する制御信号を生成する信号処理（例えば、光ディ
スクで反射されたレーザビームを受光した光検出器の出
力信号のマトリクス処理）との２系統の信号処理が必要
である。

【００１８】一方、光ディスク記録装置においては、い
わゆる「ＤＶＤ−ＲＡＭ」で用いられているように、光
ディスク上に予め形成されたランド（突条部）及びグル
ーブ（溝部）の両方に情報信号を記録再生する手法、い
わゆる「ランド・グルーブ記録」により、記録密度を高
めることが可能であるが、ソリッドイマージョンレンズ
を用いた近接場光記録においては、前記エアギャップの
値を、ランド及びグルーブのそれぞれに対して、最適な
値に制御しなければならない。

【００１９】したがって、本発明の課題は、ソリッドイ
マージョンレンズにより開口数を大きくすることがで
き、かつ、静電容量に基づいてエアギャップを高精度に
制御することができ、しかも、フォーカスサーボのため
のアクチュエータや信号処理を一層簡略化することので
きる光学ヘッド及び光学記録媒体の駆動装置を提供する
ことにある。

【００２０】また、本発明は、いわゆる「ランド・グル
ーブ記録」を行う場合において、ランド及びグルーブの
それぞれに対して、最適なレンズ位置の制御が行える光
学ヘッド及び光学記録媒体の駆動装置を提供しようとす
るものである。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明は、光源から発せられた光束を光学記録媒体
に収束させて照射する光学手段を備え該光束の照射によ
り該光学記録媒体に対する情報信号の記録再生を行う光
学ヘッドにおいて、光学手段の最も記録媒体側の面と該
記録媒体の表面との間の動作距離が１００μｍ以下とな
されて使用され、光学手段が有する導電性部と記録媒体
が有する導電性部との間の静電容量に基づいて動作距離
を検出し、この検出結果に基づいて該動作距離を制御す
る動作距離制御手段を備えていることを特徴とするもの
である。

【００２２】光学手段は、ソリッドイマージョンレンズ
を備えて構成されたものとすることができる。この場合
には、光学手段の導電性部は、ソリッドイマージョンレ
ンズの光学記録媒体に対向する対向面上に設けることが
できる。

【００２３】また、本発明は、上述の光学ヘッドにおい
て、ランド部及びグループ部とを備える光学記録媒体を
用いてランド部とグループ部との両方に対して情報信号
の記録再生を行うこととし、動作距離制御手段は、ラン
ド部に対して情報信号の記録再生を行うときには該ラン
ド部について動作距離を制御し、グループ部に対して情
報信号の記録再生を行うときには該グループ部について
動作距離を制御することとしたものである。

【００２４】さらに、上述の課題を解決するために、本
出願人は、光学記録媒体に照射すべきレーザビームを収
束させる対物レンズの機能を持つ光学手段と、この対物
レンズとこの光学記録媒体との間に介在させるソリッド
イマージョンレンズの機能を持つ光学手段とを、この対
物レンズとこのソリッドイマージョンレンズとの間の距
離を一定にして保持した保持部材と、この保持部材をこ
のレーザビームの光軸方向に移動させる移動機構とを備
え、この光学記録媒体に対向する面に導電性の素材を用
いた光学ヘッドを提案する。

【００２５】この光学ヘッドでは、対物レンズの機能を
持つ光学手段とソリッドイマージョンレンズの機能を持
つ光学手段とが、対物レンズとソリッドイマージョンレ
ンズとの間の距離を一定にして１つの保持部材に一体に
保持されており、この保持部材が１つの移動機構により
レーザビームの光軸方向に移動されるので、対物レンズ
とソリッドイマージョンレンズとが、互いの距離を一定
にしたまま１つの移動機構により光軸方向に移動され
る。

【００２６】そして、光学記録媒体に対向する面に導電
性の素材が用いられるので、この導電性の素材と光学記
録媒体との間に静電容量が形成される。

【００２７】したがって、光学記録媒体の駆動装置のフ
ォーカスサーボ系で、この静電容量に基づいて光軸方向
上でのソリッドイマージョンレンズと光学記録媒体との
間の距離（エアギャップ）を制御する制御信号を生成
し、この制御信号に基づいてこの移動機構でこの保持部
材を移動させれば、対物レンズとソリッドイマージョン
レンズとが同時に光軸方向に移動することにより、エア
ギャップが高精度に制御されると同時に対物レンズと光
ディスクとの間の距離も高精度に制御されるので、フォ
ーカスサーボが実現される。

【００２８】このように、光学ヘッドによれば、ソリッ
ドイマージョンレンズにより開口数を大きく（例えば１
を超えるように）することができ、かつ、エアギャップ
を十分小さく（例えば１００ｎｍ以内に）する制御を静
電容量に基づいて高精度に行なうことができ、しかも、
１つの移動機構（アクチュエータ）でフォーカスサーボ
を実現することができるので、フォーカスサーボのため
の移動機構を一層簡略化することができる。

【００２９】また、光学記録媒体の駆動装置のフォーカ
スサーボ系の側にも、静電容量に基づく１系統の信号処
理でフォーカスサーボを実現させることができるので、
フォーカスサーボのための信号処理を一層簡略化させる
こともできるようになる。

【００３０】なお、この光学ヘッドにおいて、ソリッド
イマージョンレンズのうち光学記録媒体との対向面を、
中央部を突起させると共にその周辺部を平面とし、この
周辺部に導電性の素材から成る膜を形成することによ
り、ソリッドイマージョンレンズ自体と光学記録媒体と
の間に静電容量を形成するようにすることが好適であ
る。

【００３１】それにより、例えば保持部材と光学記録媒
体との間に静電容量を形成する場合と比較して、導電性
の素材と光学記録媒体との間の距離を小さくすることに
より静電容量値を大きくすることができるので、静電容
量に基づく制御信号の生成を一層高精度に行なうことが
できるようになる。

【００３２】また、図７にも示したようにレーザビーム
は、ソリッドイマージョンレンズのうち光学記録媒体へ
の対向面の中央部を通るので、この対向面の周辺部に形
成した膜が光学記録媒体へのレーザビームの照射にとっ
て妨げとなることはない。

【００３３】また、この対向面の中央部が突起している
分だけ、光学ヘッドのその他の部分が光学記録媒体に対
して後退するので、仮に光学ヘッド全体が光学記録媒体
に対して傾いたような場合にも、光学ヘッドが光学記録
媒体に接触するおそれが少なくなる。

【００３４】さらに、この光学ヘッドにおいて、保持部
材に導電性の素材を用い、ソリッドイマージョンレンズ
の周辺部の導電性の膜と保持部材とを電気的に接続させ
るようにすることが一層好適である。

【００３５】それにより、保持部材を介して静電容量値
を検出することができるので、静電容量値の検出を容易
に行なえるようになる。

【００３６】次に本出願人は、光学ヘッドとして、光学
記録媒体に照射すべきレーザビームを収束させる対物レ
ンズの機能を持つ光学手段と、この対物レンズとこの光
学記録媒体との間に介在させるソリッドイマージョンレ
ンズの機能を持つ光学手段とを、この対物レンズとこの
ソリッドイマージョンレンズとの間の距離を一定にして
保持した保持部材と、この保持部材をこのレーザビーム
の光軸方向に移動させる移動機構とを有し、この光学記
録媒体に対向する面に導電性の素材を用いたものを備え
ると共に、この導電性の素材とこの光学記録媒体とによ
り形成される静電容量に基づき、この光軸方向上でのこ
のソリッドイマージョンレンズとこの光学記録媒体との
間の距離を制御する制御信号を生成する信号処理手段を
備え、この制御信号に基づいてこの移動機構でこの保持
部材を移動させるようにした光学記録媒体の駆動装置を
提案する。

【００３７】この光学記録媒体の駆動装置では、光学ヘ
ッドが設けられるとともに、この光学ヘッドに形成され
た静電容量に基づいてソリッドイマージョンレンズと光
学記録媒体との間の距離を制御する制御信号を生成する
信号処理手段が設けられており、この制御信号に基づい
て移動機構で保持部材を移動させることにより、エアギ
ャップが高精度に制御されると同時に、対物レンズと光
ディスクとの間の距離も高精度に制御されるので、フォ
ーカスサーボが実現される。

【００３８】このように、光学記録媒体の駆動装置によ
れば、ソリッドイマージョンレンズにより開口数を大き
くすることができ、かつ、エアギャップを十分小さくす
る制御を静電容量に基づいて高精度に行なうことがで
き、しかも、１つの移動機構及び静電容量に基づく１系
統の信号処理でフォーカスサーボを実現することができ
るので、フォーカスサーボのための移動機構及び信号処
理を一層簡略化することができる。

【００３９】なお、この光学記録媒体の駆動装置の信号
処理手段は、一例として、周波数と位相との少なくとも
いずれか一方がこの静電容量の変化に応じて変化する信
号を発生する手段と、所定の基準信号を発生する手段
と、この信号の周波数と位相との少なくともいずれか一
方をこの基準信号と比較することに基づいてこの制御信
号を生成する手段とで構成するようにしてよい。

【００４０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。

【００４１】この実施の形態は、本発明に係る光学ヘッ
ドを、図１に示すように、ソリッドイマージョンレンズ
（ＳｏｌｉｄｉｍｍｅｒｓｉｏｎＬｅｎｓ（ＳＩ
Ｌ））を用いた光学ヘッドとして構成したものである。

【００４２】また、以下では、光学記録媒体として相変
化形の光ディスクを用いる光学記録媒体の駆動装置、す
なわち、光ディスク駆動装置に本発明を適用した例につ
いて説明する。

【００４３】図１は、この光ディスク駆動装置の光学ピ
ックアップに取り付けられた光学ヘッドの構成例を示
す。

【００４４】この光学ヘッド１は、光ディスク駆動装置
に装着された相変化形の光ディスク５１に照射すべきレ
ーザビームＬを収束させる対物レンズ２及び光ディスク
５１と該対物レンズ２との間に介在されるソリッドイマ
ージョンレンズ（ＳＩＬ）３からなる光学手段と、これ
ら対物レンズ２及びソリッドイマージョンレンズ３から
なる光学手段を一体的に保持した保持部材となるレンズ
ホルダ４と、このレンズホルダ４を移動させる電磁アク
チュエータ５（レーザビームＬの光軸方向に移動させる
フォーカスアクチュエータ５ａと、光ディスク５１のデ
ィスク面方向に移動させるトラッキングアクチュエータ
５ｂ）とを備えている。

【００４５】このように、対物レンズ２とソリッドイマ
ージョンレンズ３とが１つのレンズホルダ４に一体に保
持されており、レンズホルダ４が１つのフォーカスアク
チュエータ５ａにより光軸方向に移動されるので、対物
レンズ２とソリッドイマージョンレンズ３とが、互いの
距離を一定にしたまま１つのフォーカスアクチュエータ
５ａにより光軸方向に移動されるようになっている。

【００４６】ソリッドイマージョンレンズ３は、球形レ
ンズの一部を切りとった形状をしたもの（一般に「Ｓｕ
ｐｅｒＳｐｈｅｒｅＳＩＬ」または「Ｈｙｐｅｒ
ＳｐｈｅｒｅＳＩＬ」と呼ばれているもの）であり、
球面を対物レンズ２に対向させ、球面とは反対側の面
（以下「底面」と呼ぶ）を光ディスク５１に対向させて
レンズホルダ４に保持されている。

【００４７】このソリッドイマージョンレンズ３は、レ
ーザビームＬを無収差に収束する（Ｓｔｉｇｍａｔｉｃ
ｆｏｃｕｓｉｎｇの条件を満たす）ように設計されて
おり、上記の球形レンズの半径をｒ、球面の屈折率をｎ
とすると、レーザビームＬの光軸方向上でのソリッドイ
マージョンレンズ３の厚さｔは、次式（２）のように決
定されている。

【００４８】ｔ＝ｒ・（１＋１／ｎ） …（２）前述の参考文献２では、この対物レンズ２及びソリッド
イマージョンレンズ３から成るレンズ群の開口数（実効
的な開口数）ＮＡeffは、対物レンズ２の開口数ＮＡobj
と屈折率ｎとから、次式（３）により求められることが
報告されている。

【００４９】ＮＡeff＝ｎ²・ＮＡobj …（３）ここでは、一例として、対物レンズ２として開口数ＮＡ
obj＝０．４５のものを用い、ソリッドイマージョンレ
ンズ３として屈折率ｎ＝１．８３のものを用いる。した
がって、式（３）によりＮＡeffは約１．５になるの
で、レーザビームＬの波長が例えば６４０ｎｍである場
合には、図８を用いて説明したような理由から、レーザ
ビームＬの光軸方向上でのソリッドイマージョンレンズ
３と光ディスク５１との距離（エアギャップ）を、最大
でも１００ｎｍ以内、望ましくは５０ｎｍ程度に制御す
ることが必要となる。

【００５０】図２は、図１に示したソリッドイマージョ
ンレンズ３の構造の詳細例を示す。このソリッドイマー
ジョンレンズ３の底面は、直径Ｄが１．５ｍｍであり、
中央部３ａが段差状に突起していると共に、その周辺部
３ｂが平面になっている。中央部３ａの突起の径φ，高
さは、それぞれ約４０μｍ，２μｍである。

【００５１】周辺部３ｂには、導電性の素材（一例とし
てアルミニウムとする）から成る膜６が、導電性部とし
て、中央部３ａの突起の高さよりも薄く形成されてい
る。これにより、この膜６と光ディスク５１のアルミニ
ウム製の反射面とがそれぞれ導電性部となり、これら膜
６及び反射面間に静電容量が形成される。

【００５２】この静電容量の値Ｃは、周辺部３ｂと光デ
ィスク５１との対向面積をＳ、ソリッドイマージョンレ
ンズ３と光ディスク５１との間の距離をｈとすると、次
式（４）により求められる。

【００５３】Ｃ＝ε₀・ε_r・Ｓ／ｈ …（４）ただし、ε₀は真空誘電率（８．８５４×１０^-12 （Ｆ
／ｍ））、ε_rは比誘電率（空気中ではほぼ１）であ
る。

【００５４】この面積Ｓは、前述のようにソリッドイマ
ージョンレンズ３の底面の直径Ｄが１．５ｍｍであるこ
とから、約１．７６６×１０^-6ｍ² となる。また、距離
ｈは、中央部３ａが光ディスク５１に接触するとき（エ
アギャップが０のとき）最小値２μｍとなり、エアギャ
ップが５０ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍとなったと
き、それぞれ２．０５μｍ，２．１μｍ，２．２μｍと
なる。

【００５５】したがって、エアギャップが０ｎｍ、５０
ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍのときの静電容量値Ｃ
は、（４）式から、それぞれ７．８２ｐＦ、７．６３ｐ
Ｆ、７．４５ｐＦ、７．１１ｐＦとなる。

【００５６】この膜６は、図１に示すように、はんだ７
によりレンズホルダ４と接合されている。レンズホルダ
４は、導電性の素材（一例としてアルミニウムとする）
で構成されている。これにより、静電容量値Ｃを示す電
圧信号をレンズホルダ４から取り出す（すなわち、静電
容量値Ｃをレンズホルダ４を介して検出する）ことがで
きるようになっている。

【００５７】次に、図３は、図１に示した光学ヘッド１
を光学ピックアップに取り付けた光ディスク駆動装置の
フォーカスサーボ及びトラッキングサーボ用の信号処理
系の構成例を示す。

【００５８】この光ディスク駆動装置に装着された光デ
ィスク５１は、スピンドルモータ１１によりＣＡＶ（角
速度一定記録）方式で回転駆動される。

【００５９】この光ディスク５１に対して、光学ピック
アップ１２及び光学ヘッド１により、後述のように波長
６４０ｎｍのレーザビームが照射されることにより、情
報の記録及び再生が行なわれる。

【００６０】フォーカスサーボ用の信号処理系は、次の
ようにして構成されている。

【００６１】光学ヘッド１のレンズホルダ４（図１）か
ら取り出された、静電容量値Ｃを示す電圧信号が、ＶＣ
Ｏ（電圧制御発振器）１３に供給される。

【００６２】ＶＣＯ１３は、ＬＣ発振器から成ってお
り、この電圧信号の示す静電容量値ＣとＶＣＯ１３内部
の一定値のインダクタンスＬとに基づき、次式（５）に
示すような発振周波数ｆの信号を出力する。

【００６３】る。

【００６４】ｆ＝１／２π√（ＬＣ） …（５）ここでは、一例として、ＶＣＯ１３内部のインダクタン
スＬ＝１００μＨとする。

【００６５】したがって、エアギャップが０ｎｍ、５０
ｎｍ、１００ｎｍ、２００ｎｍのとき、前出の（４）式
から、静電容量値Ｃがそれぞれ７．８２ｐＦ、７．６３
ｐＦ、７．４５ｐＦ、７．１１ｐＦとなるので、この
（５）式から、ＶＣＯ１３の発振周波数ｆは、それぞ
れ、５．６９ＭＨｚ、５．７６ＭＨｚ、５．８３ＭＨ
ｚ、５．９７ＭＨｚとなる。

【００６６】このＶＣＯ１３の出力信号は、ＶＣＸＯ
（電圧制御発振器）１４から出力される基準周波数５．
７６ＭＨｚ（すなわちエアギャップが５０ｎｍのときの
ＶＣＯ１３の発振周波数ｆに等しい周波数）の信号と共
に、周波数位相比較器としてのＰＬＬ（フェーズロック
ドループ）１５に供給される。このＰＬＬ１５は、ＣＰ
Ｕ（信号処理回路）２２に制御されて動作する。

【００６７】ＰＬＬ１５は、ＶＣＯ１３の出力信号の周
波数及び位相とＶＣＸＯ１４の出力信号の周波数及び位
相とを比較し、両者の周波数及び位相の誤差に応じた信
号を出力する。

【００６８】このＰＬＬ１５の出力信号は、位相補償回
路１６により位相補償され、増幅器１７で増幅された
後、光学ヘッド１の電磁アクチュエータ５のうちのフォ
ーカスアクチュエータ５ａに、エアギャップを制御する
制御信号として供給される。

【００６９】フォーカスアクチュエータ５ａが、この制
御信号に従ってレンズホルダ４を光軸方向に移動させる
ことにより、エアギャップが５０ｎｍに調整されると同
時に、対物レンズ３と光ディスク５１との間の距離も一
定に調整されるので、フォーカスサーボが実現される。

【００７０】なお、ＣＰＵ２２は、光学ピックアップ１
２におけるレーザビームの出射パワーを制御するＡＰＣ
（オートパワーコントロール）回路２３を制御してい
る。

【００７１】ところで、相変化光ディスクのトラック部
は、図６に示すように、突条部（ランド部）７１及び溝
部（グルーブ部）７２が並列的に配列されることにより
形成されている。これら突条部７１及び溝部７２の段
差、すなわち、溝深さ７３は、約２０ｎｍとなってい
る。

【００７２】また、この実施の形態において、相変化記
録膜は、基板側から、Ａｌ、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂、ＧｅＳ
ｂＴｅ、ＺｎＳ−ＳｉＯ₂によって構成されている。図
２及び図３に示した静電容量検出型の焦点制御サーボに
おいては、静電容量検出面積がφ＝１．５ｍｍとなって
おり、一方、ディスク基板上に形成された突条部７１及
び溝部７２の幅は、それぞれ約０．３μｍ程度と、前記
検出面積に比べてはるかに小さいため、この実施の形態
においては、突条部７１及び溝部７２を平均したエアギ
ャップが一定となるように制御されることとなる。

【００７３】したがって、突条部７１においてエアギャ
ップが５０ｎｍとなるように制御を行うためには、（式
４）におけるｈが約６０ｎｍとなるように、一方、溝部
７２においては、その値が約４０ｎｍとなるよう、前記
ＣＰＵ２２の指示により、切り換え制御をおこなえば良
いこととなる。このような切換え制御が行われることに
より、突条部７１及び溝部７２のそれぞれについて、ソ
リッドイマージョンレンズ３と光ディスク５１との間の
距離が最適となるように、フォーカスアクチュエータ５
ａが制御される。

【００７４】そして、トラッキングサーボ用の信号処理
系は、次のようにして構成されている。

【００７５】図４は、光学ピックアップ１２の構成例を
示しており、半導体レーザ３１から出射された波長６４
０ｎｍの直線偏光のレーザビームＬが、コリメータレン
ズ３２で平行光とされ、回折格子３３でメインビーム
（０次光）とサイドビーム（±１次光）とに分離され、
１／２波長板３４で偏光面を回転された後、偏光ビーム
スプリッタ３５に入射する。

【００７６】この入射ビームは、大部分が偏光ビームス
プリッタ３５を通過し、１／４波長板３６で円偏光とさ
れて、光学ヘッド１の対物レンズ２及びソリッドイマー
ジョンレンズ３（図１）により収束されて光ディスク５
１の信号記録面に照射される。

【００７７】なお、この入射ビームの一部は、ビームス
プリッタ３５で反射され、集光レンズ３９を経て、レー
ザビームの強度のモニター用の光検出器４０に入射す
る。

【００７８】光ディスク５１の信号記録面で反射された
レーザビームは、光学ヘッド１を経て、１／４波長板３
６で光ディスク５１への入射時に対して直交する方向の
直線偏光とされ、ビームスプリッタ３５で反射され、集
光レンズ３７を経て、トラッキングエラー信号及びＲＦ
信号検出用の光検出器３８に入射する。

【００７９】光検出器３８は、図５に示すように、中央
部にメインビーム受光用の４分割の受光素子（フォトダ
イオード）３８Ａ〜３８Ｄが配置され、その両側にサイ
ドビーム受光用の２分割の受光素子３８Ｅ，３８Ｆ、３
８Ｇ，３８Ｈが配置された８分割の光検出器である。

【００８０】光検出器３８の各受光素子３８Ａ〜３８Ｈ
の出力信号Ａ〜Ｈは、図３に示すように、ヘッドアンプ
１８で増幅された後、トラッキングマトリクス回路１９
に供給される。

【００８１】トラッキングマトリクス回路１９は、出力
信号Ａ〜Ｈに基づいて次式（６）の計算を行なうことに
より、トラッキングエラー信号ＴＥを生成する。

【００８２】ＴＥ＝（Ａ＋Ｄ）−（Ｂ＋Ｃ）＋ｋ・｛（Ｅ−Ｆ）＋（Ｇ−Ｈ）｝…（６）ただし、ｋは定数である。

【００８３】なお、光検出器３８の各受光素子３８Ａ〜
３８Ｄの出力信号Ａ〜Ｄは、ヘッドアンプ１８で増幅さ
れた後この光ディスク駆動装置の再生信号処理系（図示
略）にも送られ、その再生信号処理系で次式（７）の計
算を行なうことにより、再生ＲＦ信号ＲＦが生成され
る。

【００８４】ＲＦ＝Ａ＋Ｂ＋Ｃ＋Ｄ …（７）トラッキングエラー信号ＴＥは、ＣＰＵ２２に制御され
る位相補償回路２０により位相補償され、増幅器２１で
増幅された後、光学ヘッド１の電磁アクチュエータ５の
トラッキングアクチュエータ５ｂに供給される。

【００８５】トラッキングアクチュエータ５ｂが、この
トラッキングエラー信号ＴＥに従ってレンズホルダ４を
光ディスク５１のディスク面方向に移動させることによ
り、トラッキングサーボが実現される。

【００８６】これらのフォーカスサーボ及びトラッキン
グサーボは、ＣＰＵ２２の制御のもとで行なわれる。

【００８７】また、光学ピックアップ１２のモニター用
の光検出器４０（図４）の出力信号が、ＡＰＣ（自動パ
ワーコントロール）回路２３に供給されており、ＣＰＵ
２２の制御のもとで、このＡＰＣ回路２３により、光検
出器４０の出力信号の値が所定の基準値（記録モードで
の基準値と再生モードでの基準値との２通りが存在す
る）と一致するように光学ピックアップ１２の半導体レ
ーザ３１（図４）の出力レベルが調整される。

【００８８】以上のように、この光ディスク駆動装置に
よれば、ソリッドイマージョンレンズを用いることによ
り開口数が約１．５にされ、かつ、エアギャップを５０
ｎｍ（光ディスク５１の信号記録面に照射されるレーザ
ビームの強度の低下を招かない大きさである）にする制
御が、静電容量に基づいて高精度に行なわれる。しか
も、エアギャップの制御は、光ディスク５１上に記録ト
ラックを形成する突条部７１及び溝部７２のそれぞれに
ついて最適となるように行われる。

【００８９】しかも、この光ディスク駆動装置によれ
ば、１つのフォーカスアクチュエータ５ａ（図１）でフ
ォーカスサーボが実現されるので、フォーカスアクチュ
エータとして、ソリッドイマージョンレンズを保持した
ホルダを移動させるアクチュエータと、対物レンズを保
持したホルダを移動させるアクチュエータとの２つのア
クチュエータを必要とする場合と比較して、フォーカス
アクチュエータが一層簡略化されている。

【００９０】また、静電容量に基づくＶＣＯ１３乃至増
幅器１７（図３）での１系統の信号処理でフォーカスサ
ーボが実現されるので、フォーカスサーボのための信号
処理として、静電容量に基づいてエアギャップを制御す
る制御信号を生成する信号処理と、対物レンズと光ディ
スクとの間の距離を制御する制御信号を生成する信号処
理（例えば、光ディスクで反射されたレーザビームを受
光した光検出器の出力信号のマトリクス処理）との２系
統の信号処理を必要とする場合と比較して、フォーカス
サーボのための信号処理も一層簡略化されている。

【００９１】また、この光学ヘッドにおいては、図２に
示したように、ソリッドイマージョンレンズ３の底面に
アルミニウムの如き導電性材料よりなる膜６を形成する
ことにより、ソリッドイマージョンレンズ３自体と光デ
ィスク５１との間に静電容量を形成している。したがっ
て、例えばレンズホルダ４と光ディスク５１との間に静
電容量を形成する場合と比較して、膜６と光ディスク５
１との間の距離が小さくなることにより静電容量値Ｃが
大きくなっているので、静電容量に基づくフォーカスサ
ーボ用の制御信号の生成を一層高精度に行なえるように
なっている。

【００９２】また、ソリッドイマージョンレンズ３の底
面の中央部３ａを突起させ、その周辺部３ｂにこの突起
の高さよりも薄い膜６を形成しているので、この中央部
３ａを基準としてエアギャップを制御する際に、膜６が
中央部３ａよりも光ディスク５１に近づいて接触したり
することはない。

【００９３】また、ソリッドイマージョンレンズ３の底
面の中央部３ａが突起している分だけ、光学ヘッド１の
その他の部分が光ディスク５１に対して後退しているの
で、仮に光学ヘッド１全体が光ディスク５１に対して傾
いたような場合にも、光学ヘッド１が光ディスク５１に
接触するおそれが少なくなっている。

【００９４】また、図１に示したように、この膜６とア
ルミニウムの如き導電性材料製のレンズホルダ４とを電
気的に接続させ、レンズホルダ４を介して静電容量値Ｃ
を検出できるようにしているので、静電容量値Ｃの検出
を容易に行なえるようになっている。

【００９５】なお、以上の実施の形態では、光学ヘッド
１に、光ディスクに照射させるべきレーザビームを収束
させる対物レンズの機能を持つ光学素子と、この対物レ
ンズとこの光ディスクとの間に介在させるソリッドイマ
ージョンレンズの機能を持つ光学素子として、それぞれ
対物レンズ２とソリッドイマージョンレンズ３という２
つのレンズを設けている。

【００９６】しかし、これに限らず、この対物レンズの
機能とソリッドイマージョンレンズの機能とを併せ持つ
単一の光学素子を光学ヘッドに設けるようにしてもよ
い。

【００９７】そうした単一の光学素子としては、例え
ば、１９９８年にＡｓｐｅｎ社から発刊された『Ｄｉｇ
ｅｓｔｏｆＯｐｔｉｃａｌＤａｔａＳｔｏｒａ
ｇｅ』の１３７〜１３９頁に掲載のＣｈｕｌＷｏｏ
Ｌｅｅ氏等の論文「Ｆｅａｓｉｂｉｌｉｔｙｓｔｕｄ
ｙｏｎｎｅａｒｆｉｅｌｄｏｐｔｉｃａｌｍ
ｅｍｏｒｙｕｓｉｎｇａｃａｔａｄｉｏｐｔｒｉ
ｃｏｐｔｉｃａｌｓｙｓｔｅｍ」に記載されている
反射型集光素子を挙げることができる。

【００９８】あるいは、この対物レンズの機能を持つ光
学素子とソリッドイマージョンレンズの機能を持つ光学
素子として、３つ以上の光学素子を光学ヘッドに設ける
ようにしてもよく、ホログラム素子を光学ヘッドに設け
るようにしてもよい。

【００９９】また、以上の実施の形態では、本発明を相
変化形の光ディスクの駆動装置に本発明を適用している
が、本発明は、光磁気ディスクの駆動装置や、再生専用
の光ディスクの駆動装置や、光ディスク以外の光学記録
媒体（例えば光カード）の駆動装置に適用することとし
てもよい。

【０１００】また、本発明は、以上の実施の形態に限ら
ず、本発明の要旨を逸脱することなく、その他様々の構
成をとりうることはもちろんである。

【０１０１】

【発明の効果】上述のように、本発明に係る光学ヘッド
は、光源から発せられた光束を光学記録媒体に収束させ
て照射する光学手段を備え該光束の照射により該光学記
録媒体に対する情報信号の記録再生を行う光学ヘッドで
あって、光学手段の最も記録媒体側の面と該記録媒体の
表面との間の動作距離が１００μｍ以下となされて使用
され、光学手段が有する導電性部と記録媒体が有する導
電性部との間の静電容量に基づいて動作距離を検出し、
この検出結果に基づいて該動作距離を制御する動作距離
制御手段を備えている。

【０１０２】そして、光学手段として、ソリッドイマー
ジョンレンズ、あるいは、それと同等の機能を有する光
学素子を備えたものとすることにより、開口数が１を越
える光学手段を実現することが可能となる。

【０１０３】また、本発明においては、いわゆる「ラン
ド・グルーブ記録」により光学記録媒体上の突条部及び
溝部の両方に情報信号を記録して記録密度を高める場合
においても、光学記録媒体と前記光学手段との間隔（エ
アギャップ）を任意の値に制御することが可能となる。
開口数が１を越える対物レンズを用い、光記録媒体に信
号を近接場（Ｎｅａｒ−ｆｉｅｌｄ）記録再生する場
合、前記エアギャップをランド部・グルーブ部、それぞ
れに対して、５０ｎｍ以下の値に制御する必要があ
り、本発明を用いることで精密な制御を施すことが可能
となる。

【０１０４】また、本発明に係る光学ヘッドにおいて
は、例えばＶＣＯの発振周波数として得られるエアギャ
ップの検出値を利用することで、浮上スライダを用いた
受動的な光学ヘッドにおいても、その浮上量の検出、及
び、最適化をおこなうことが可能となる。

【０１０５】また、本発明に係る光学ヘッドによれば、
ソリッドイマージョンレンズにより開口数を大きく（例
えば１を超えるように）することができ、かつ、エアギ
ャップを十分小さく（例えば１００ｎｍ以内に）する制
御を静電容量に基づいて高精度に行なうことができ、し
かも、１つの移動機構（アクチュエータ）でフォーカス
サーボを実現することができるので、フォーカスサーボ
のための移動機構を一層簡略化することができる。

【０１０６】また、光学記録媒体の駆動装置のフォーカ
スサーボ系の側にも、静電容量に基づく１系統の信号処
理でフォーカスサーボを実現させることができるので、
フォーカスサーボのための信号処理を一層簡略化させる
こともできるようになる。

【０１０７】なお、この光学ヘッドにおいて、ソリッド
イマージョンレンズのうち光学記録媒体との対向面を、
中央部を突起させると共にその周辺部を平面とし、この
周辺部に導電性の素材から成る膜を形成することによ
り、ソリッドイマージョンレンズ自体と光学記録媒体と
の間に静電容量を形成するようにした場合には、例えば
保持部材と光学記録媒体との間に静電容量を形成する場
合と比較して、導電性の素材と光学記録媒体との間の距
離を小さくすることにより静電容量値を大きくすること
ができるので、静電容量に基づく制御信号の生成を一層
高精度に行なうことができるようになる。

【０１０８】また、この対向面の中央部が突起している
分だけ、光学ヘッドのその他の部分が光学記録媒体に対
して後退するので、仮に光学ヘッド全体が光学記録媒体
に対して傾いたような場合にも、光学ヘッドが光学記録
媒体に接触するおそれが少なくなる。

【０１０９】さらに、この光学ヘッドにおいて、ソリッ
ドイマージョンレンズの周辺部の導電性の膜と導電性の
素材を用いた保持部材とを電気的に接続させるようにし
た場合には、保持部材を介して静電容量値を検出するこ
とができるので、静電容量値の検出を容易に行なえるよ
うになる。

【０１１０】次に、本発明に係る光学記録媒体の駆動装
置によれば、ソリッドイマージョンレンズにより開口数
を大きくすることができ、かつ、エアギャップを十分小
さくする制御を静電容量に基づいて高精度に行なうこと
ができ、しかも、１つの移動機構及び静電容量に基づく
１系統の信号処理でフォーカスサーボを実現することが
できるので、フォーカスサーボのための移動機構及び信
号処理を一層簡略化することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による光学ヘッドの構成例を示す一部断
面側面図である。

【図２】図１のＳＩＬの底面の構造の詳細例を示す側面
図である。

【図３】本発明による光ディスク駆動装置のサーボ信号
処理系の構成例を示すブロック図である。

【図４】図３の光学ピックアップの構成例を示す側面図
である。

【図５】図４の光検出器３８上の受光素子の配置例を示
す平面図である。

【図６】光ディスクにおけるランド部及びグループ部の
構成を示す斜視図である。

【図７】ＳＩＬによる開口数の増大の原理を示す側面図
である。

【図８】開口数が１を超えるときの光ディスク上でのレ
ーザビームの強度分布を示すグラフである。

【符号の説明】

１光学ヘッド、２対物レンズ、３ソリッドイマー
ジョンレンズ（ＳＩＬ）、３ａ（ＳＩＬの底面の）中
央部、３ｂ（ＳＩＬの底面の）周辺部、４レンズホル
ダ、５電磁アクチュエータ、５ａフォーカスアクチ
ュエータ、５ｂトラッキングアクチュエータ、６ア
ルミニウム膜、７はんだ、１１スピンドルモータ、
１２光学ピックアップ、１３ＶＣＯ（電圧制御発振
器）、１４ＶＣＸＯ（電圧制御発振器）、１５ＰＬ
Ｌ（フェーズロックドループ）、１６，２０位相補償
回路、１７，２１増幅器、１８ヘッドアンプ、１９
トラッキングマトリクス回路、２２ＣＰＵ、２３Ａ
ＰＣ（自動パワーコントロール）回路、３１半導体レ
ーザ、３２コリメータレンズ、３３回折格子、３４
１／２波長板、３５偏光ビームスプリッタ、３６
１／４波長板、３７，３９集光レンズ、３８，４０
光検出器、３８Ａ〜３８Ｈ受光素子（フォトダイオ
ード）、５１光ディスク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者黒田裕児東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者山本健二東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内 (72)発明者大里潔東京都品川区北品川６丁目７番35号ソニー株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光源から発せられた光束を光学記録媒体
に収束させて照射する光学手段を備え、該光束の照射に
より該光学記録媒体に対する情報信号の記録再生を行う
光学ヘッドであって、上記光学手段の最も記録媒体側の面と該記録媒体の表面
との間の動作距離が１００μｍ以下となされて使用さ
れ、上記光学手段が有する導電性部と上記記録媒体が有する
導電性部との間の静電容量に基づいて上記動作距離を検
出し、この検出結果に基づいて該動作距離を制御する動
作距離制御手段を備えていることを特徴とする光学ヘッ
ド。
【請求項２】光学手段は、ソリッドイマージョンレン
ズを備えて構成され、上記光学手段の導電性部は、上記
ソリッドイマージョンレンズの光学記録媒体に対向する
対向面上に設けられていることを特徴とする請求項１記
載の光学ヘッド。
【請求項３】ソリッドイマージョンレンズを含む光学
手段の開口数が１を超えていることを特徴とする請求項
２記載の光学ヘッド。
【請求項４】ランド部及びグループ部とを備える光学
記録媒体を用いて、ランド部とグループ部との両方に対
して情報信号の記録再生を行い、動作距離制御手段は、ランド部に対して情報信号の記録
再生を行うときには、該ランド部について動作距離を制
御し、グループ部に対して情報信号の記録再生を行うと
きには、該グループ部について動作距離を制御すること
を特徴とする請求項１記載の光学ヘッド。
【請求項５】光学手段は、ソリッドイマージョンレン
ズを備えて構成され、上記光学手段の導電性部は、上記
ソリッドイマージョンレンズの光学記録媒体に対向する
対向面上に設けられていることを特徴とする請求項４記
載の光学ヘッド。
【請求項６】ソリッドイマージョンレンズを含む光学
手段の開口数が１を超えていることを特徴とする請求項
５記載の光学ヘッド。
【請求項７】光学手段は、光学記録媒体に照射すべき
光束であるレーザビームを収束させる対物レンズの機能
を持つ光学素子と、前記対物レンズと前記光学記録媒体
との間に介在されるソリッドイマージョンレンズの機能
を持つ光学素子とを有し、上記対物レンズの機能を持つ光学素子と前記ソリッドイ
マージョンレンズの機能を持つ光学素子との間の距離を
一定にして保持する保持部材を備え、動作距離制御手段は、上記保持部材を上記レーザビーム
の光軸方向に移動させる移動機構を備え、上記ソリッドイマージョンレンズは、上記光学記録媒体
に対向する対向面に導電性の素材からなる導電性部が設
けられていることを特徴とする請求項１記載の光学ヘッ
ド。
【請求項８】ソリッドイマージョンレンズを含む光学
手段の開口数が１を超えていることを特徴とする請求項
７記載の光学ヘッド。
【請求項９】ソリッドイマージョンレンズのうち光学
記録媒体に対向する面は、中央部が突起していると共に
その周辺部が平面であり、該周辺部に導電性の素材から
成る膜である導電性部が形成されていることを特徴とす
る請求項７記載の光学ヘッド。
【請求項１０】保持部材に導電性の素材が用いられて
おり、ソリッドイマージョンレンズの光学記録媒体に対
向する面の周辺部に形成された導電性の素材から成る膜
が該保持部材と電気的に接続されていることを特徴とす
る請求項９記載の光学ヘッド。
【請求項１１】光学記録媒体を駆動して前記光学記録
媒体への情報の記録と前記光学記録媒体からの情報の再
生との少なくともいずれか一方を行なう駆動装置におい
て、光学記録媒体に照射すべきレーザビームを収束させる対
物レンズの機能を持つ光学手段と、前記対物レンズと前
記光学記録媒体との間に介在させるソリッドイマージョ
ンレンズの機能を持つ光学手段とを、前記対物レンズと
前記ソリッドイマージョンレンズとの間の距離を一定に
して保持した保持部材と、前記保持部材を前記レーザビ
ームの光軸方向に移動させる移動機構とを有し、前記光
学記録媒体に対向する面に導電性の素材が用いられた光
学ヘッドと、前記導電性の素材と前記光学記録媒体とにより形成され
る静電容量に基づき、前記光軸方向上での前記ソリッド
イマージョンレンズと前記光学記録媒体との間の距離を
制御する制御信号を生成する信号処理手段とを備え、前記制御信号に基づいて前記移動機構で前記保持部材を
移動させることを特徴とする光学記録媒体の駆動装置。
【請求項１２】前記対物レンズ及び前記ソリッドイマ
ージョンレンズから成るレンズ群の開口数が１を超えて
おり、前記信号処理手段は、前記距離を１００ｎｍ以内に制御
する信号を生成することを特徴とする請求項１１記載の
光学記録媒体の駆動装置。
【請求項１３】前記信号処理手段は、周波数と位相と
の少なくともいずれか一方が前記静電容量の変化に応じ
て変化する信号を発生する手段と、所定の基準信号を発
生する手段と、前記信号の周波数と位相との少なくとも
いずれか一方を前記基準信号と比較することに基づいて
前記制御信号を生成する手段とを含むことを特徴とする
請求項１１記載の光学記録媒体の駆動装置。
【請求項１４】前記対物レンズ及び前記ソリッドイマ
ージョンレンズから成るレンズ群の開口数が１を超えて
おり、前記信号処理手段は、前記距離を１００ｎｍ以内に制御
する信号を生成することを特徴とする請求項１３記載の
光学記録媒体の駆動装置。