JP2001023284A - 光学記録媒体の駆動装置とその駆動方法ならびに記録再生装置とその駆動方法 - Google Patents

光学記録媒体の駆動装置とその駆動方法ならびに記録再生装置とその駆動方法

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JP2001023284A
JP2001023284A JP11196739A JP19673999A JP2001023284A JP 2001023284 A JP2001023284 A JP 2001023284A JP 11196739 A JP11196739 A JP 11196739A JP 19673999 A JP19673999 A JP 19673999A JP 2001023284 A JP2001023284 A JP 2001023284A
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optical recording
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Isao Ichimura
功 市村
Koichiro Kijima
公一朗 木島
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Sony Corp
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Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学系と光学記録媒体との距離を短くして近
接場を形成する場合に、光学系と光学記録媒体とが接触
または衝突したときに、接触面積および衝撃を小さく抑
えることが可能な光学記録媒体の駆動装置を提供する。 【解決手段】 光学記録媒体の駆動装置の一例である光
ディスク駆動装置100は、光学系と光ディスク51と
の距離(エアギャップ)が、近接場が形成される領域内
となるように光学系の移動用アクチュエータを制御する
制御回路28を有する。制御回路28は、前記距離が前
記領域内に維持されてから開始信号STを生成し、開始
信号STに基づいてスピンドルモータ11は光ディスク
51の回転を開始させる。光ヘッド1内の前記光学系
は、レーザ光を収束させる対物レンズと、対物レンズの
通過レーザ光を収束させて光ディスク51に照射するソ
リッドイマージョンレンズとを有し、前記光学系の開口
数NAは1よりも大きい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、収束光を光学記録
媒体に照射する光学記録媒体の駆動装置とその駆動方
法、ならびに、収束光を光学記録媒体に照射して情報の
記録または再生を行う記録再生装置とその駆動方法に関
する。
【0002】
【従来の技術】光学装置としては、例えば、光ディスク
等の光学記録媒体を用いて情報の記録または再生を行う
記録再生装置、光学顕微鏡等がある。光学装置における
カットオフ空間周波数fc は、対物レンズの開口数(Nu
merical Aperture)NAと光源の出力光の波長λとを用
いて、一般に次式で表される。
【0003】
【数1】fc =2NA/λ …
【0004】光源からの光の波長λが短いほど、また、
対物レンズの開口数NAが大きいほど、その分解能は高
くなり、記録再生装置では高密度の記録ができ、光学顕
微鏡では詳細な観察が可能となる。対物レンズの開口数
NAを大きくする手法として、ソリッドイマージョンレ
ンズ(SIL:Solid Immersion Lens)を用いた近接場
(Near-field) 光学系が知られており、この手法によ
り、開口数が1を越える光学系が実現されている。
【0005】近接場光学系およびソリッドイマージョン
レンズに関する参考文献としては、例えば、 S. M. Man
sfield, W. R. Studenmund, G. S. Kino, and K. Osat
o, "High-numerical-aperture lens system for optica
l storage," Opt. Lett. 18,pp.305-307 (1993) (以
下、「参考文献1」という。)がある。また、他の参考
文献として、例えば、 H. J. Mamin, B. D. Terris, an
d D. Rugar, "Near-field optical data storage," App
l. Phys. Lett. 68, pp.141-143 (1996)(以下、「参考
文献2」という。)がある。
【0006】なお、USP4183060とUSP43
00226には、光ディスクと電極との距離を静電容量
センサにより検出することが開示されているが、近接場
光学系およびソリッドイマージョンレンズ(SIL)に
ついての記載はない。特開平8−212579号公報に
は、光ヘッドおよび光学記録媒体の発明が開示されてい
る。この公報では、対物レンズを第1のレンズホルダで
保持し、ソリッドイマージョンレンズを第2のレンズホ
ルダで保持し、第2のレンズホルダに導電性の素材を用
いて第2のレンズホルダ・光ディスク間の静電容量に基
づいてソリッドイマージョンレンズの位置制御を行うこ
とが開示されている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】近接場光学系では、光
を効率良く光学記録媒体に照射するため、光学系と光学
記録媒体との距離(エアギャップ:Air Gap )を、近接
場が形成される領域(近接場の領域)内に保つ必要があ
る。特に、開口数が1を越える場合では、エアギャップ
が近接場の領域よりも大きくなると、光学系・光学記録
媒体間の光の多重反射および干渉により光学記録媒体で
の光の強度がかなり低下するので、エアギャップを近接
場の領域内に保つことが重要になる。
【0008】しかしながら、近接場が形成されるエアギ
ャップ、例えば500nm以下のエアギャップ(好まし
くは100nm以下のエアギャップ)を実現するため
に、近接場の領域外から領域内に光学系を光学記録媒体
に近づける(引き込む)と、オーバーシュートにより光
学系と光学記録媒体とが接触または衝突する可能性があ
る。光学系と光学記録媒体とが接触または衝突する時
に、光学記録媒体が回転していると、光学系と光学記録
媒体との間に摩擦が生じると共に、光学記録媒体の表面
での接触面積が同心円状に大きくなって好ましくない。
【0009】本発明の第1の目的は、光学系と光学記録
媒体との距離を短くして近接場を形成する場合に、光学
系と光学記録媒体とが接触または衝突したときに、その
接触面積および衝撃を小さく抑えることが可能な光学記
録媒体の駆動装置とその駆動方法とを提供することにあ
る。
【0010】本発明の第2の目的は、光源からの光を光
学系を介して光学記録媒体に照射して情報の記録または
再生を行う記録再生装置において、光学系と光学記録媒
体との距離を短くして近接場を形成する場合に、光学系
と光学記録媒体とが接触または衝突したときに、その接
触面積および衝撃を小さく抑えることが可能な記録再生
装置とその駆動方法とを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光学記録媒
体の駆動装置は、光学記録媒体との間で近接場を形成し
て収束光を前記光学記録媒体に照射する光学系と、前記
光学記録媒体の記録面とは直交するフォーカス方向に前
記光学系を移動させるアクチュエータと、前記光学系と
前記光学記録媒体との距離が、前記近接場が形成される
領域内となるように前記アクチュエータを制御し、前記
距離が前記領域内に維持されてから開始信号を生成する
制御回路と、前記開始信号に基づいて前記光学記録媒体
の回転を開始させるモータとを有する。
【0012】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置で
は、好適には、前記光学記録媒体の回転後にレーザ光を
前記光学系に供給するレーザをさらに有する。
【0013】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置で
は、好適には、前記光学系は、光を収束させる対物レン
ズとこの対物レンズの通過光を収束させて前記光学記録
媒体に照射するソリッドイマージョンレンズとを備えた
第1の光学系、または、前記対物レンズと前記ソリッド
イマージョンレンズとを一体化した第2の光学系を有す
る。
【0014】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置で
は、例えば、前記光学記録媒体は、光ディスクであり、
前記ソリッドイマージョンレンズは、前記光ディスクと
の対向面のうち中央部が突起していると共にその周辺部
が平坦であって当該周辺部には導電膜が形成され、前記
対物レンズの通過光を収束させて前記中央部を通過さ
せ、前記制御回路は、前記導電膜と前記光ディスクとの
間の静電容量に基づいて前記アクチュエータを制御して
前記距離を調節する構成としてもよい。
【0015】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置の駆
動方法は、光学記録媒体との間で近接場を形成する光学
系を用いて収束光を光学記録媒体に照射する光学記録媒
体の駆動装置の駆動方法であって、前記光学系と前記光
学記録媒体との距離を、前記近接場が形成される領域の
外から領域内にする工程と、前記距離を前記領域内に維
持する工程と、前記距離が前記領域内に維持されてから
前記光学記録媒体を回転させる工程とを有する。
【0016】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置の駆
動方法では、好適には、前記光学記録媒体の回転後にレ
ーザ光を前記光学系に供給する工程をさらに有する。
【0017】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置とそ
の駆動方法では、例えば、前記光学系の開口数は、1よ
りも大きく3以下であり、前記近接場が形成される領域
は、前記光学系と前記光学記録媒体とが非接触状態であ
って前記距離が500nm以下の領域である構成として
もよい。
【0018】本発明に係る記録再生装置は、光源と、光
学記録媒体との間で近接場を形成し、前記光源からの光
を収束させて前記光学記録媒体に照射する光学系と、前
記光学記録媒体の記録面とは直交するフォーカス方向に
前記光学系を移動させるアクチュエータと、前記光学系
と前記光学記録媒体との距離が、前記近接場が形成され
る領域内となるように前記アクチュエータを制御し、前
記距離が前記領域内に維持されてから開始信号を生成す
る制御回路と、情報を記録する場合および情報を再生す
る場合に、前記開始信号に基づいて前記光学記録媒体の
回転を開始させるモータと、情報を記録する場合に、記
録する情報に応じて前記光源からの光の強度を変調させ
る強度変調回路と、情報を再生する場合に、前記光学記
録媒体で反射した反射光から記録情報を検出する検出回
路とを有する。
【0019】本発明に係る記録再生装置では、好適に
は、前記光源は、前記光学記録媒体の回転後にレーザ光
を前記光学系に出力するレーザである。
【0020】本発明に係る記録再生装置では、好適に
は、前記光学系は、前記光源からの光を収束させる対物
レンズと前記対物レンズの通過光を収束させて前記光学
記録媒体に照射するソリッドイマージョンレンズとを備
えた第1の光学系、または、前記対物レンズと前記ソリ
ッドイマージョンレンズとを一体化した第2の光学系を
有する。
【0021】本発明に係る記録再生装置では、より好適
には、前記光学記録媒体は、光ディスクであり、前記ソ
リッドイマージョンレンズは、前記光ディスクとの対向
面のうち中央部が突起していると共にその周辺部が平坦
であって当該周辺部には導電膜が形成され、前記対物レ
ンズの通過光を収束させて前記中央部を通過させ、前記
制御回路は、前記導電膜と前記光ディスクとの間の静電
容量に基づいて前記アクチュエータを制御して前記距離
を調節する。
【0022】本発明に係る記録再生装置の駆動方法は、
光学記録媒体との間で近接場を形成する光学系を用いて
収束光を光学記録媒体に照射して情報の記録または再生
を行う記録再生装置の駆動方法であって、前記光学系と
前記光学記録媒体との距離を、前記近接場が形成される
領域の外から領域内にする工程と、前記距離を前記領域
内に維持する工程と、前記距離が前記領域内に維持され
てから前記光学記録媒体を回転させる工程と、情報を再
生する場合は、回転中の前記光学記録媒体で反射した反
射光から記録情報を検出する工程と、情報を記録する場
合は、記録する情報に応じて強度変調された変調光を前
記光学系に供給し、回転中の前記光学記録媒体に前記光
学系からの収束光を照射する工程とを有する。
【0023】本発明に係る記録再生装置の駆動方法で
は、好適には、前記光学記録媒体の回転後にレーザ光を
前記光学系に供給する工程をさらに有する。
【0024】本発明に係る記録再生装置とその駆動方法
では、例えば、前記光学系の開口数は、1よりも大きく
3以下であり、前記近接場が形成される領域は、前記光
学系と前記光学記録媒体とが非接触状態であって前記距
離が500nm以下の領域である構成としてもよい。
【0025】制御回路は、近接場光学系と光学記録媒体
との距離(エアギャップ)が、近接場の領域内となるよ
うにアクチュエータを制御する。この制御回路は、エア
ギャップが近接場の領域内に維持されてから開始信号を
生成する。モータは、前記開始信号に基づいて光学記録
媒体の回転を開始させることで、光学系が光学記録媒体
の至近距離に引き込まれる時に、光学記録媒体を停止し
た状態とすることができ、光学記録媒体が回転している
場合に比べて接触時の接触面積および衝撃を小さく抑え
ることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。本発明に係る光学記録媒体の
駆動装置として、光ディスク駆動装置を例にとって説明
する。
【0027】光ヘッド 図1は、光ヘッドの構成例を示す図である。この光ヘッ
ド1は、前記光ディスク駆動装置の光ピックアップに取
り付けてある。光ヘッド1は、対物レンズ2と、ソリッ
ドイマージョンレンズ(SIL)3と、レンズホルダ4
と、電磁アクチュエータ5とを有する。
【0028】対物レンズ2は、前記光ピックアップ内の
光源である半導体レーザからレーザビームLBが供給さ
れ、このレーザビームLBを収束させてソリッドイマー
ジョンレンズ3に供給する。
【0029】ソリッドイマージョンレンズ3は、対物レ
ンズ2を通過したレーザビームLBを収束させて光ディ
スク51に供給する。このソリッドイマージョンレンズ
3は、球形レンズの一部を切り取った形状をしており、
一般的に、「Super Sphere SIL」または「Hyper Sphere
SIL」と呼ばれる。ソリッドイマージョンレンズ3は、
球面が対物レンズ3と対向し、球面とは反対側の面(底
面)が光ディスク51と対向するように配置されてい
る。
【0030】レンズホルダ4は、対物レンズ2およびソ
リッドイマージョンレンズ3を所定の位置関係で一体に
保持する。ソリッドイマージョンレンズ3は、光軸と平
行なレーザビームLBが対物レンズ2に入射された場合
に、当該対物レンズ2からのレーザビームLBを収束さ
せてソリッドイマージョンレンズ3の底面の中央部を通
過させ、通過したレーザビームLBを光ディスク51に
照射するようになっている。なお、対物レンズ2および
ソリッドイマージョンレンズ3は光軸が一致するように
配置され、この光軸上に前記中央部が位置している。
【0031】レンズホルダ4は導電性の部材を有してお
り、ソリッドイマージョンレンズ3の底面には後述する
ように導電膜が形成されており、前記底面の導電膜とレ
ンズホルダ4の前記導電性の部材は半田7を介して電気
的に接続されている。
【0032】電磁アクチュエータ5は、レンズホルダ4
を移動させる。この電磁アクチュエータ5は、不図示の
フォーカシング・アクチュエータおよびトラッキング・
アクチュエータを有する。前記フォーカシング・アクチ
ュエータは、光ディスク51の記録面とは直交するフォ
ーカス方向にレンズホルダ4を移動させ、ソリッドイマ
ージョンレンズ3と光ディスク51とを所定の距離に保
持する。前記トラッキング・アクチュエータは、レンズ
ホルダ4を光ディスク51の半径方向(またはトラッキ
ング方向)に移動させ、ソリッドイマージョンレンズ3
を通過したレーザビームLBを光ディスク51のトラッ
クの中心に保持する。
【0033】なお、ソリッドイマージョンレンズ3は、
レーザビームLBを無収差に収束するように設計されて
おり、Stigmatic Focusingの条件を満たすようになって
いる。このソリッドイマージョンレンズ3は、光ディス
ク51の記録面に焦点が結ばれるように、対物レンズ2
からのレーザビームLBを集光する。光軸方向のソリッ
ドイマージョンレンズ3の厚さtは、前記球形レンズの
半径rと屈折率nとを用いて、次式で表される。
【0034】
【数2】t=r×(1+1/n) …
【0035】また、前記参考文献2によれば、対物レン
ズ2およびソリッドイマージョンレンズ3からなる光学
系10の開口数NAeff は、対物レンズ2の開口数NA
objと、ソリッドイマージョンレンズ3の屈折率nとを
用いて、次式で表される。
【0036】
【数3】NAeff =n2 ×NAobj
【0037】本実施の形態では、一例として、対物レン
ズ2の開口数NAobj =0.45とし、ソリッドイマー
ジョンレンズ3の屈折率n=1.83とする。この場
合、上式により、光学系10の開口数NAeff ≒1.
5となる。また、レーザビームLBの波長λは一例とし
てλ=640nmとし、近接場を形成するためにエアギ
ャップAを一例として0<A≦100nmとし、好まし
くはA≒50nmに維持する。
【0038】ソリッドイマージョンレンズ 図2は、ソリッドイマージョンレンズの構成例を示す図
である。ソリッドイマージョンレンズ3が光ディスク5
1と対向する対向面(底面)は、直径D=1.5mmで
あり、中央部3aが突起していると共に、その周辺部3
bは平坦になっている。中央部3aの突起は、高さが約
2μmであり、直径φ≒40μmである。
【0039】周辺部3bの平坦面には、アルミニウム等
の導電膜6が蒸着等により形成されて覆われており、こ
の導電膜の膜厚は、前記突起の高さ(約2μm)よりも
薄い。この導電膜6と光ディスク51のアルミニウム等
の反射膜(記録膜)は、ソリッドイマージョンレンズ3
の平坦面と光ディスク51との間隔hに応じた静電容量
Cg を形成する。
【0040】この静電容量Cg は、周辺部3bと光ディ
スク51との対向面積Sと間隔hとを用いて、次式で
表される。なお、前記導電膜の膜厚は、間隔hに比べて
無視できる程度に小さいものとする。
【0041】
【数4】Cg =ε0 ×εr ×S/h …
【0042】但し、ε0 は真空の誘電率であり、その値
は、8.854×10-12 F/mである。εr は比誘電
率であり、その値は空気中ではほぼ1である。
【0043】対向面積Sは、前記底面の直径D=1.5
mmであるので、S=π×(D/2)2 ≒1.767×
10-62 となる。間隔hは、中央部3aの突起が光デ
ィスク51に接触するとき、すなわち光学系10と光デ
ィスク51との距離(エアギャップ)Aが0nmのとき
に最小値2μmとなる。間隔hは、エアギャップAが5
0nm,100nm,200nmの場合に、それぞれ
2.05μm,2.10μm,2.20μmとなる。
【0044】したがって、エアギャップAが0nm,5
0nm,100nm,200nmの場合の静電容量Cg
は、上式から、それぞれ約7.82pF,約7.63
pF,約7.45pF,約7.11pFとなる。このよ
うに、エアギャップAに応じて静電容量Cg が変化する
ので、この静電容量Cg を用いてエアギャップAを検出
することができ、静電容量Cg を用いて電磁アクチュエ
ータ5のサーボ制御を行うことでエアギャップAを近接
場の領域内とすることが可能である。
【0045】また、ソリッドイマージョンレンズ3の対
向面の中央部3aを突起させ、その周辺部3bに突起の
高さよりも薄く導電膜6を形成しているので、導電膜6
が中央部3aよりも光ディスク51に近づいて光ディス
ク51に接触することを防止することができる。また、
図1に示したように、導電膜6と導電性のレンズホルダ
4とを半田7で電気的に接続しているので、導電膜6に
対する配線接続をレンズホルダ4を介して容易に行うこ
とができる。
【0046】光ディスク駆動装置 図3は、本発明に係る光学記録媒体の駆動装置の一例で
ある光ディスク駆動装置を示す概略的なブロック構成図
である。この光ディスク駆動装置100には、図1の光
ヘッド1を光ピックアップに取り付けてある。光ディス
ク駆動装置100は、一例として、半導体レーザからの
レーザ光を光学系を介して光ディスク51に照射して情
報の記録または再生を行う記録再生装置に設置される。
【0047】光ディスク駆動装置100は、光ヘッド1
と、光ピックアップ12と、スピンドルモータ11と、
電圧制御発振器(VCO)13と、参照用の電圧制御発
振器(RVCO)14と、比較回路15と、位相補償回
路16,20と、増幅回路17,18,21と、トラッ
キングマトリクス回路19と、中央処理装置(CPU)
22と、半導体レーザ駆動回路25と、モータ駆動回路
26と、検出回路27とを有する。半導体レーザ駆動回
路25は、自動パワーコントロール(APC)回路23
および強度変調回路24を有する。
【0048】光ディスク駆動装置100は、光ヘッド1
および光ピックアップ12を用いて波長640nmのレ
ーザ光を光ディスク51に照射し、情報の記録または再
生を行う。光ディスク駆動装置100に装着された光デ
ィスク51は、スピンドルモータ11により一定の回転
速度で回転する。この光ディスク51は、一例としてC
AV(Constant Angular Velocity :角速度一定記録)
方式により情報が記録される。
【0049】フォーカスサーボ用の信号処理系は、以下
のように構成されている。VCO( Voltage Controlle
d Oscillator)13は、内部にインダクタを備えて外部
にキャパシタを備えたLC発振回路を有する。前記外部
のキャパシタの一方の電極は、光ヘッド1のソリッドイ
マージョンレンズ3の平坦面に形成された導電膜6であ
り、他方の電極は、光ディスク51の反射膜または記録
膜であり、このキャパシタは、前記平坦面と光ディスク
51との間隔hに応じた静電容量Cg を有する。このV
CO13の発振周波数fは、前記外部のキャパシタの静
電容量Cg と、回路の浮遊容量Cf と、前記内部のイン
ダクタのインダクタンスLとを用いて、次式で表され
る。
【0050】
【数5】 f=1/〔2π×{L×(Cg +Cf )}1/2 〕 …
【0051】エアギャップAと、間隔hと、静電容量C
g と、発振周波数fとの対応を、図4に示す。ここで
は、一例としてインダクタンスL=100μHとし、浮
遊容量Cf =5pFとした。すなわち、エアギャップA
が0nm,50nm,100nm,200nm,10μ
mの場合に、発振周波数fは上式から、それぞれ約
4.45MHz,約4.48MHz,約4.51MH
z,約4.57MHz,約6.34MHzとなる。
【0052】電圧制御発振器(RVCO:Reference Vo
ltage Controlled Oscillator )14は、参照信号を生
成する。参照信号の周波数fr は、例えば4.48MH
zであり、この周波数はエアギャップA=50nmの場
合のVCO13の発振周波数と等しい。なお、RVCO
14は例えばバラクタ・ダイオードを有し、このバラク
タ・ダイオードの印加電圧をCPU22から制御するこ
とにより、参照信号の周波数fr を設定可能となってい
る。
【0053】比較回路15は、VCO13からの周波数
fの出力信号と、RVCO14からの周波数fr の出力
信号とが供給される。この比較回路15は、VCO13
の出力信号の周波数および位相と、RVCO14の出力
信号の周波数および位相とを比較し、両者の周波数およ
び位相の差に応じた信号(誤差信号)を生成する。
【0054】位相補償回路16は、比較回路15の出力
信号が供給され、この比較回路15の出力信号を補償
(位相補償および/または周波数補償)した補償信号を
生成して増幅回路17に供給する。増幅回路17は、前
記補償信号を増幅し、エアギャップAを調整する制御信
号として電磁アクチュエータ5のフォーカシング・アク
チュエータに供給する。
【0055】前記フォーカシング・アクチュエータは、
増幅回路17からの制御信号に基づいてレンズホルダ4
をフォーカス方向に移動させ、エアギャップAを近接場
が形成される領域の外から領域内とし、更にエアギャッ
プAを前記領域内に保つ。このようにして、エアギャッ
プAは0<A≦100nmに維持されると共にA≒50
nmに調節され、前記間隔hは2.05μmに調節さ
れ、フォーカスサーボが実現される。
【0056】中央処理装置(CPU:Central Processi
ng Unit )22は、光ディスク駆動装置100の全体の
制御を司るコントローラであり、例えば1チップマイク
ロコンピュータ(1チップマイコン)で構成する。この
CPU22は、比較回路15の出力信号が供給され、こ
の比較回路15の出力信号に基づき、エアギャップAが
近接場の領域(近接場が形成される領域)内に維持され
ていることを検出して開始信号STを生成し、この開始
信号STをモータ駆動回路26に供給する。また、CP
U22は、スピンドルモータ11または光ディスク51
の回転数もしくは回転速度を示す信号が供給されるよう
になっている。トラッキングサーボおよびフォーカスサ
ーボは、CPU22の制御下で行われる。
【0057】CPU22と、VCO13と、RVCO1
4と、比較回路15と、位相補償回路16と、増幅回路
17とにより、制御回路28が形成されている。この制
御回路28は、エアギャップAが近接場の領域内(例え
ば0<A≦500nm、好ましくは0<A≦200n
m、より好ましくは0<A≦100nm)となるように
電磁アクチュエータ5を制御する機能を有する。エアギ
ャップAを近接場の領域内とすることで、光ディスク5
1の記録面におけるビームスポット中心のビーム強度を
エアギャップA=0nmの場合に対して例えば50%以
上(好適には60%以上)に保つことが可能であり、一
例としてエアギャップAを50nm程度に制御すること
で80%程度のビーム強度を得ることが可能である。
【0058】モータ駆動回路26は、スピンドルモータ
11に電源を供給して一定の回転速度で回転させる。例
えば、PWM(Pulse Width Modulation)制御等によ
り、回転制御を行ってもよい。このモータ駆動回路26
は、CPU22から開始信号STが供給された場合に、
スピンドルモータ11の回転を開始させる。スピンドル
モータ11の回転軸上には不図示のターンテーブルが取
り付けてあり、スピンドルモータ11の回転に伴ってタ
ーンテーブル上の光ディスク51が回転する。
【0059】図5は、光ピックアップ12の構成例を示
す図である。光ピックアップ12は、半導体レーザ31
と、コリメータレンズ32と、回折格子33と、1/2
波長板34と、偏光ビームスプリッタ35と、1/4波
長板36と、集光レンズ37,39と、光検出器38,
40と、対物レンズ2と、ソリッドイマージョンレンズ
3とを有する。この光ピックアップ12には光ヘッド1
が取り付けてあり、この光ヘッド1は、対物レンズ2お
よびソリッドイマージョンレンズ3からなる光学系10
を有する。
【0060】半導体レーザ31は、コヒーレント光を放
射する光源および発光素子の一例である。半導体レーザ
31は、波長640nmの直線偏光のレーザビームLB
を生成し、このレーザビームLBをコリメータレンズ3
2に供給する。コリメータレンズ32は、半導体レーザ
31からのレーザビームLBを平行光にして回折格子3
3に供給する。
【0061】回折格子33は、コリメータレンズ32か
らのレーザビームLBを主ビーム(第0次回折光)と副
ビーム(第1次回折光)とに分離し、主ビームおよび副
ビームを1/2波長板34に供給する。1/2波長板3
4は、回折格子33からの主ビームおよび副ビームの偏
光面を回転させて偏光ビームスプリッタ35に供給す
る。
【0062】偏光ビームスプリッタ35は、1/2波長
板34からの入射レーザビームの大部分を通過させて1
/4波長板36に供給し、前記入射レーザビームの一部
分を反射して集光レンズ39に供給する。
【0063】集光レンズ39は、偏光ビームスプリッタ
35からの反射レーザビームを収束して光検出器40に
供給する。光検出器40は、集光レンズ39からのレー
ザビームを光電変換し、レーザビームの強度に対応する
信号SPを生成する。この光検出器40は、半導体レー
ザ31の発光強度のモニタ用または光ディスク51の記
録面(記録膜)上におけるビーム強度のモニタ用に利用
される。なお、光検出器40への入射レーザビームの光
量は、1/2波長板34を回転させることで、調整可能
となっている。
【0064】1/4波長板36は、偏光ビームスプリッ
タ35の通過レーザビームの偏光面を回転させて円偏光
にし、この円偏光のレーザビームを光ヘッド1の対物レ
ンズ2に供給する。対物レンズ2は、1/4波長板36
からのレーザビームを収束させてソリッドイマージョン
レンズ3に供給する。ソリッドイマージョンレンズ3
は、対物レンズ3からのレーザビームを収束させて前記
中央部3aを通過させ、この通過レーザビームを光ディ
スク51の信号記録面に供給する。
【0065】光ディスク51の信号記録面(記録膜)で
反射したレーザビームは、ソリッドイマージョンレンズ
3および対物レンズ2を経て、1/4波長板36に供給
される。1/4波長板36は、対物レンズ2からのレー
ザビームの偏光面を回転させて直線偏光にし、この直線
偏光のレーザビームを偏光ビームスプリッタ35に供給
する。なお、偏光ビームスプリッタ35から1/4波長
板36に供給される入射レーザビームの偏光面と、1/
4波長板36から偏光ビームスプリッタ35に供給され
る反射レーザビームの偏光面は、直交するようになって
いる。
【0066】偏光ビームスプリッタ35は、1/4波長
板36からのレーザビームを反射して集光レンズ37に
供給する。集光レンズ37は、偏光ビームスプリッタ3
5からの反射レーザビームを収束させて光検出器38に
供給する。光検出器38は、集光レンズ37からのレー
ザビームを光電変換して信号SA〜SHを生成する。こ
の光検出器38は、トラッキングエラー信号TEおよび
再生RF信号の検出用に利用される。
【0067】光検出器38は、図6に示すように、中央
部に主ビーム受光用の第1の受光部381が配置されて
おり、この第1の受光部381の両側に、副ビーム受光
用の第2の受光部382および第3の受光部383が配
置されている。第1の受光部381は、4個の受光部3
8A〜38Dに等分割されている。第2の受光部382
は、2個の受光部38E,38Fに等分割されている。
第3の受光部383は、2個の受光部38G,38Hに
等分割されている。この光検出器38は、受光部を8分
割した受光素子で形成してもよい。
【0068】光検出器38の各受光部38A〜38Hの
出力信号SA〜SHは、図3中の増幅回路(ヘッドアン
プ)18で増幅されてトラッキングマトリクス回路(ト
ラッキング誤差検出回路)19および検出回路27に供
給される。トラッキングマトリクス回路19は、増幅さ
れた前記出力信号SA〜SHに基づいて次式の演算を
行い、差動プッシュプル法を用いてトラッキングエラー
信号TEを生成する。なお、式中のkは定数である。
【0069】
【数6】 TE=(SA+SD)−(SB+SC)+k×{(SE−SF)+(SG−SH )} …
【0070】位相補償回路20は、前記トラッキングエ
ラー信号TEが供給され、このトラッキングエラー信号
TEを位相補償した補償信号を生成して増幅回路21に
供給する。増幅回路21は、前記補償信号を増幅し、制
御信号として電磁アクチュエータ5のトラッキング・ア
クチュエータに供給する。前記トラッキング・アクチュ
エータは、増幅回路21からの制御信号に基づいてレン
ズホルダ4を光ディスク51の半径方向(またはトラッ
キング方向)に移動させ、その結果、トラッングサーボ
が実現される。
【0071】検出回路(情報検出回路)27は、増幅回
路(ヘッドアンプ)18で増幅された前記出力信号SA
〜SDに基づき、次式の演算を行って再生RF信号R
Fを生成する。そして、この再生RF信号に基づいて復
調等を行って光ディスク51の記録情報Soを再生す
る。
【0072】
【数7】RF=SA+SB+SC+SD …
【0073】半導体レーザ駆動回路25は、強度変調回
路24とAPC回路23とを有し、光ピックアップ12
内の半導体レーザ31を駆動する。強度変調回路24
は、光ディスク51に記録する情報Siがメモリまたは
外部装置等から供給され、この入力情報Siに応じて変
調制御信号SMを生成する。
【0074】APC(Automatic Power Control )回路
23は、光ピックアップ12内のモニター用の光検出器
40の出力信号SPと、前記変調制御信号SMとが供給
される。このAPC回路23は、情報記録時には、変調
制御信号SMに基づいて半導体レーザ31の駆動電圧ま
たは駆動電流を変化させてレーザビームLBを強度変調
し、また、光検出器40の出力信号SPに基づいて半導
体レーザ31の発光強度を第1の設定範囲R1内に保
ち、半導体レーザ31のレーザ光出力を調節する。一
方、APC回路23は、情報再生時には、光検出器40
の出力信号SPに基づいて半導体レーザ31の発光強度
を第2の設定範囲R2(<R1)内に保ち、半導体レー
ザ31のレーザ光出力を調節する。
【0075】光ディスク駆動装置の動作例 図7と図8は、光ディスク駆動装置100の動作を示す
概略的なフローチャートである。先ず、ステップS1で
は、CPU22は、フォーカスサーボの開始命令を検出
する。例えば、光ディスク駆動装置100を備えた記録
再生装置に対し、操作者が記録または再生のスイッチ操
作を行うことで、前記開始命令がCPU22に供給され
る。なお、このときのエアギャップAは、近接場の領域
外の初期設定値となっている。
【0076】次に、ステップS2では、CPU22は、
RVCO14の発振周波数fr を約6.34MHzに設
定し、エアギャップAの目標値を中間目標値である10
μmに設定する。そして、電磁アクチュエータ5の駆動
を開始し、ソリッドイマージョンレンズ3(ひいては光
学系10)の引込み(フォーカス引込み)を開始する。
発振周波数fr =6.34MHzは、前記図4に示すよ
うに、エアギャップA=10μmのときのVCO13の
発振周波数fに等しい。
【0077】ステップS3では、CPU22は、エアギ
ャップAを10μmまたは実質的に10μmにする引込
み動作が完了したか否かを、比較回路15の出力信号に
基づいて判定する。引込みが終了していない場合は、終
了するまで待つ。引込みが終了した場合は、エアギャッ
プAが中間目標値(10μm)または実質的に中間目標
値に維持されており、ステップS4に進む。
【0078】ステップS4では、CPU22は、RVC
O14の発振周波数fr を4.48MHzに設定し、エ
アギャップAの目標値を最終目標値である50nmに設
定する。そして、電磁アクチュエータ5によるソリッド
イマージョンレンズ3(ひいては光学系10)の更なる
引込み(フォーカス引込み)を行う。発振周波数fr =
4.48MHzは、前記図4に示すように、エアギャッ
プA=50nmのときのVCO13の発振周波数fに等
しい。なお、6.34MHzから4.48MHzまでを
複数段階に分けて発振周波数fr を段階的に徐々に低下
させてVCO13の発振周波数fを追従させてもよく、
これによりエアギャップAを徐々に小さくすることがで
きる。
【0079】ステップS5では、CPU22は、エアギ
ャップAを50nmまたは実質的に50nmにする引込
み動作(フォーカス引込み動作)が完了したか否かを、
比較回路15の出力信号に基づいて判定する。引込みが
終了していない場合は、終了するまで待つ。引込みが終
了した場合は、ステップS6に進む。このとき、エアギ
ャップAは最終目標値(50nm)または実質的に最終
目標値に維持されており、また、近接場の領域内に維持
されている。
【0080】ステップS6では、CPU22は、開始信
号STを生成してモータ駆動回路26に供給する。ステ
ップS7では、モータ駆動回路26は、開始信号STに
基づいてスピンドルモータ11への電源供給を開始し、
光ディスク51の回転を開始させる。
【0081】ステップS8では、CPU22は、光ディ
スク51の回転速度(ディスク回転速度)Vが予め決め
られた一定の回転速度Vc (>0)であるか否かを判定
する。ディスク回転速度Vが一定回転速度Vc でない場
合は、CPU22はモータ駆動回路26を介してスピン
ドルモータ11の回転制御を行い、一定回転速度Vcに
する。ディスク回転速度Vが一定回転速度Vc である場
合は、ステップS9に進む。
【0082】ステップS9では、CPU22は、半導体
レーザ駆動回路25内のAPC回路23にパワーオン信
号を供給する。APC回路23は、パワーオン信号に基
づいて半導体レーザ31を点灯させてレーザビームLB
を出力させる。
【0083】光ディスク51の停止中に半導体レーザ3
1を点灯させた場合は、ソリッドイマージョンレンズ3
の引込み時(フォーカス引込み時)に光ディスク51の
特定箇所にレーザビームが長時間照射されて照射箇所が
高温となるおそれがあり、前記照射箇所の特性が変化す
る可能性がある。一方、本実施の形態に示すように、光
ディスク51の回転後に半導体レーザ31を点灯させる
ことで、ソリッドイマージョンレンズ3の引込み時に光
ディスク51の特定箇所にレーザビームが長時間照射さ
れて照射箇所が高温となることを防止することができ
る。
【0084】以上に説明したように、この光ディスク駆
動装置100によれば、ソリッドイマージョンレンズ3
を用いることで1を越える開口数を得ることができ、ま
たエアギャップAを近接場の領域内の所定値(例えば約
50nm)にする制御を、静電容量Cg に基づいて高精
度に行うことができる。なお、光学系10の開口数は、
例えば、1よりも大きく3以下としてもよく、1よりも
大きく2.5以下としてもよい。ソリッドイマージョン
レンズ3の底面に導電膜6を形成したので、導電膜6と
光ディスク51との間隙を小さくして静電容量Cg を大
きくすることができ、フォーカスサーボをいっそう高精
度に行うことが可能である。
【0085】また、制御回路28は、エアギャップA
が、近接場の領域外から領域内へと多段階に短くなるよ
うに電磁アクチュエータ5を制御するので、光学系10
と光ディスク51との接触を防止可能であり、万一接触
した場合にその衝撃を小さく抑えることが可能である。
【0086】この制御回路28は、エアギャップAを、
近接場の領域外の初期設定値から中間目標値にして一旦
維持し、中間目標値から近接場の領域内の最終目標値に
近づけるように電磁アクチュエータ5を制御すること
で、エアギャップAを段階的に短くすることができると
共に、オーバーシュートが生じた場合にこのオーバーシ
ュートの量を小さくすることができ、万一接触した場合
にその衝撃をより小さく抑えることが可能である。な
お、近接場の領域外の初期設定値から近接場の領域内の
最終目標値までの間に複数の中間目標値を設定し、前記
複数の中間目標値を順次経由することで、エアギャップ
Aを最終目標値に徐々に近づけてもよい。例えば、静電
容量Cg が実質的に形成される範囲内(一例として約1
0μm〜約100μm)に、中間目標値を複数設定して
もよい。
【0087】また、光ディスク駆動装置100によれ
ば、光学系10を近接場の領域内の至近距離に引き込む
時に、光ディスク51を停止した状態とすることができ
る。これにより、光学系10と光ディスク51とが万一
接触した場合に、接触面積および衝撃を、光ディスク5
1が回転している場合に比べて小さくすることができ
る。
【0088】上記実施の形態では、対物レンズ2とソリ
ッドイマージョンレンズ3とにより光学系10を形成
し、開口数が約1.5であるこの光学系10を光ヘッド
1に設けている。しかしながら、対物レンズ2とソリッ
ドイマージョンレンズ3とを一体化した単一の光学素子
からなる光学系を光ヘッド1に設けてもよい。このよう
な単一の光学素子として、例えば、Chul Woo Lee, Kun
Ho Cho, Chong Sam Chung, Jang Hoon Yoo, Yong Hoon
Lee, "Feasibility study on near field optical memo
ry using a catadioptric optical system," Digest of
Optical Data Storage, pp.137-139, Aspen, CO. (199
8)に開示されている反射型集光素子を用いてもよい。ま
た、対物レンズ2の機能を持つ光学素子とソリッドイマ
ージョンレンズの機能を持つ光学素子として、3個以上
の光学素子を光ヘッド1に設けてもよく、ホログラム素
子を光ヘッド1に設けてもよい。
【0089】本実施の形態では、光学記録媒体の一例と
して相変化型の光ディスク51を用いているが、光磁気
ディスクを用いてもよい。更に、浮上スライダを用いた
受動的な光ヘッドを用いる場合においても、静電容量C
g から、エアギャップAに相当する浮上量の検出、及
び、浮上量の最適化を行うことが可能である。
【0090】なお、導電膜6が形成されるソリッドイマ
ージョンレンズ3(または光学系10)の対向面の半径
は、光ディスク51の記録面の内側の縁から最内周のト
ラックまでの幅よりも小さい正の値とし、また、光ディ
スク51の記録面の外側の縁から最外周のトラックまで
の幅よりも小さい正の値とすることが好ましい。このよ
うにすることで、最内周のトラックにレーザビームLB
を集光する場合、および最外周のトラックにレーザビー
ムLBを集光する場合に、ソリッドイマージョンレンズ
3の底面全域と記録面とを対向させることができ、集光
位置による静電容量Cg の変動を小さくすることが可能
である。
【0091】本実施の形態では、光学記録媒体の駆動装
置の一例として、光ディスク駆動装置100について説
明した。本実施の形態に係る光学記録媒体の駆動装置
は、光源の可干渉性(Coherence)が高く、光学系(ま
たは対物レンズ)の動作距離(Working Distance)が小
さい条件下、すなわち干渉縞が生じ易い光学装置におい
て、有用である。このような光学装置では、光学干渉に
よる強度分布のために光学的な手法による焦点制御に誤
差が生じ易く、上記光ディスク駆動装置100ではLC
発振回路の出力信号(電気信号)を用いた焦点制御によ
り誤差を小さくすることが可能である。
【0092】上記光ディスク駆動装置100を、記録再
生装置の他に、光を照射する種々の光照射装置に適用し
てもよく、例えば加工装置、露光装置、検査装置等に適
用してもよい。例えば、光学検査装置を用いて金属、半
導体ウェハ等の試料の検査を行う場合に、光学系10と
試料との間の静電容量に基づいて焦点制御を行うことが
可能である。もちろん、光学記録媒体を試料としてもよ
い。半導体ウェハの検査装置のように、試料の全領域を
速やかに検査する必要がある場合、光学系10と試料と
の間の静電容量に基づいて焦点制御を行うことで、可動
ステージや試料の傾きに応じて光学系の位置補正を行う
ことが可能であり、検査の所要時間を短縮することが可
能である。
【0093】なお、上記実施の形態は本発明の例示であ
り、本発明は上記実施の形態に限定されない。
【0094】
【発明の効果】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置お
よびその駆動方法によれば、光学系と光学記録媒体との
距離を短くして近接場を形成する時に、光学記録媒体を
停止した状態とすることができる。これにより、光学系
と光学記録媒体とが接触した場合に、接触面積および衝
撃を、光学記録媒体が回転している場合に比べて小さく
することができ、光学記録媒体ならびにその駆動装置の
信頼性および耐久性を向上することが可能である。
【0095】また、本発明に係る光学記録媒体の駆動装
置およびその駆動方法において、光学記録媒体の回転後
にレーザ光を光学系に供給することで、光学系と光学記
録媒体との距離を短くして近接場を形成する時に、光学
記録媒体の特定箇所にレーザ光が長時間照射されること
を防止することができ、光学記録媒体の信頼性および耐
久性をさらに向上することが可能である。
【0096】本発明に係る記録再生装置およびその駆動
方法によれば、光学系と光学記録媒体との距離を短くし
て近接場を形成する時に、光学記録媒体を停止した状態
とすることができる。これにより、光学系と光学記録媒
体とが接触した場合に、接触面積および衝撃を、光学記
録媒体が回転している場合に比べて小さくすることがで
き、光学記録媒体ならびに記録再生装置の信頼性および
耐久性と、記録情報および再生情報の信頼性とを向上す
ることが可能である。
【0097】また、本発明に係る記録再生装置およびそ
の駆動方法において、光学記録媒体の回転後にレーザ光
を光学系に供給することで、光学系と光学記録媒体との
距離を短くして近接場を形成する時に、光学記録媒体の
特定箇所にレーザ光が長時間照射されることを防止する
ことができ、光学記録媒体の信頼性および耐久性と、記
録情報および再生情報の信頼性とをさらに向上すること
が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】光ヘッドの構成例を示す図である。
【図2】ソリッドイマージョンレンズの構成例を示す図
である。
【図3】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置の一例で
ある光ディスク駆動装置を示す概略的なブロック構成図
である。
【図4】エアギャップAと、間隔hと、静電容量Cg
と、発振周波数fとの対応を例示する図である。
【図5】光ピックアップの構成例を示す図である。
【図6】光検出器38の受光部の配置例を示す図であ
る。
【図7】本発明に係る光学記録媒体の駆動装置の一例で
ある光ディスク駆動装置の動作を示す概略的なフローチ
ャートである。
【図8】図7に続いて、本発明に係る光学記録媒体の駆
動装置の一例である光ディスク駆動装置の動作を示す概
略的なフローチャートである。
【符号の説明】
1…光ヘッド、2…対物レンズ、3…ソリッドイマージ
ョンレンズ(SIL)、3a…中央部、3b…周辺部、
4…レンズホルダ、5…電磁アクチュエータ(アクチュ
エータ)、6…導電膜、7…半田、10…光学系、11
…スピンドルモータ(モータ)、12…光ピックアッ
プ、13…電圧制御発振器(VCO)、14…電圧制御
発振器(RVCO)、15…比較回路、16,20…位
相補償回路、17,21…増幅回路、18…増幅回路
(ヘッドアンプ)、19…トラッキングマトリクス回
路、22…中央処理装置(CPU)、23…自動パワー
コントロール回路(APC回路)、24…強度変調回
路、25…半導体レーザ駆動回路、26…モータ駆動回
路、27…検出回路、28…制御回路、31…半導体レ
ーザ(光源)、32…コリメータレンズ、33…回折格
子、34…1/2波長板、35…偏光ビームスプリッ
タ、36…1/4波長板、37,39…集光レンズ、3
8,40…光検出器、38A〜38H…受光部、51…
光ディスク(光学記録媒体)、100…光ディスク駆動
装置(光学記録媒体の駆動装置)、381〜383…第
1〜第3の受光部、D,φ…直径、h…間隔、LB…レ
ーザビーム(レーザ光)、r…半径。

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光学記録媒体との間で近接場を形成して収
    束光を前記光学記録媒体に照射する光学系と、 前記光学記録媒体の記録面とは直交するフォーカス方向
    に前記光学系を移動させるアクチュエータと、 前記光学系と前記光学記録媒体との距離が、前記近接場
    が形成される領域内となるように前記アクチュエータを
    制御し、前記距離が前記領域内に維持されてから開始信
    号を生成する制御回路と、 前記開始信号に基づいて前記光学記録媒体の回転を開始
    させるモータとを有する光学記録媒体の駆動装置。
  2. 【請求項2】前記光学記録媒体の回転後にレーザ光を前
    記光学系に供給するレーザをさらに有する請求項1記載
    の光学記録媒体の駆動装置。
  3. 【請求項3】前記光学系は、光を収束させる対物レンズ
    とこの対物レンズの通過光を収束させて前記光学記録媒
    体に照射するソリッドイマージョンレンズとを備えた第
    1の光学系、または、前記対物レンズと前記ソリッドイ
    マージョンレンズとを一体化した第2の光学系を有する
    請求項1記載の光学記録媒体の駆動装置。
  4. 【請求項4】前記光学記録媒体は、光ディスクであり、 前記ソリッドイマージョンレンズは、前記光ディスクと
    の対向面のうち中央部が突起していると共にその周辺部
    が平坦であって当該周辺部には導電膜が形成され、前記
    対物レンズの通過光を収束させて前記中央部を通過さ
    せ、 前記制御回路は、前記導電膜と前記光ディスクとの間の
    静電容量に基づいて前記アクチュエータを制御して前記
    距離を調節する請求項3記載の光学記録媒体の駆動装
    置。
  5. 【請求項5】前記光学系の開口数は、1よりも大きく3
    以下であり、 前記近接場が形成される領域は、前記光学系と前記光学
    記録媒体とが非接触状態であって前記距離が500nm
    以下の領域である請求項1記載の光学記録媒体の駆動装
    置。
  6. 【請求項6】光学記録媒体との間で近接場を形成する光
    学系を用いて収束光を光学記録媒体に照射する光学記録
    媒体の駆動装置の駆動方法であって、 前記光学系と前記光学記録媒体との距離を、前記近接場
    が形成される領域の外から領域内にする工程と、 前記距離を前記領域内に維持する工程と、 前記距離が前記領域内に維持されてから前記光学記録媒
    体を回転させる工程とを有する光学記録媒体の駆動装置
    の駆動方法。
  7. 【請求項7】前記光学記録媒体の回転後にレーザ光を前
    記光学系に供給する工程をさらに有する請求項6記載の
    光学記録媒体の駆動装置の駆動方法。
  8. 【請求項8】前記光学系の開口数は、1よりも大きく3
    以下であり、 前記近接場が形成される領域は、前記光学系と前記光学
    記録媒体とが非接触状態であって前記距離が500nm
    以下の領域である請求項6記載の光学記録媒体の駆動装
    置の駆動方法。
  9. 【請求項9】光源と、 光学記録媒体との間で近接場を形成し、前記光源からの
    光を収束させて前記光学記録媒体に照射する光学系と、 前記光学記録媒体の記録面とは直交するフォーカス方向
    に前記光学系を移動させるアクチュエータと、 前記光学系と前記光学記録媒体との距離が、前記近接場
    が形成される領域内となるように前記アクチュエータを
    制御し、前記距離が前記領域内に維持されてから開始信
    号を生成する制御回路と、 情報を記録する場合および情報を再生する場合に、前記
    開始信号に基づいて前記光学記録媒体の回転を開始させ
    るモータと、 情報を記録する場合に、記録する情報に応じて前記光源
    からの光の強度を変調させる強度変調回路と、 情報を再生する場合に、前記光学記録媒体で反射した反
    射光から記録情報を検出する検出回路とを有する記録再
    生装置。
  10. 【請求項10】前記光源は、前記光学記録媒体の回転後
    にレーザ光を前記光学系に出力するレーザである請求項
    9記載の記録再生装置。
  11. 【請求項11】前記光学系は、前記光源からの光を収束
    させる対物レンズと前記対物レンズの通過光を収束させ
    て前記光学記録媒体に照射するソリッドイマージョンレ
    ンズとを備えた第1の光学系、または、前記対物レンズ
    と前記ソリッドイマージョンレンズとを一体化した第2
    の光学系を有する請求項9記載の記録再生装置。
  12. 【請求項12】前記光学記録媒体は、光ディスクであ
    り、 前記ソリッドイマージョンレンズは、前記光ディスクと
    の対向面のうち中央部が突起していると共にその周辺部
    が平坦であって当該周辺部には導電膜が形成され、前記
    対物レンズの通過光を収束させて前記中央部を通過さ
    せ、 前記制御回路は、前記導電膜と前記光ディスクとの間の
    静電容量に基づいて前記アクチュエータを制御して前記
    距離を調節する請求項11記載の記録再生装置。
  13. 【請求項13】前記光学系の開口数は、1よりも大きく
    3以下であり、 前記近接場が形成される領域は、前記光学系と前記光学
    記録媒体とが非接触状態であって前記距離が500nm
    以下の領域である請求項9記載の記録再生装置。
  14. 【請求項14】光学記録媒体との間で近接場を形成する
    光学系を用いて収束光を光学記録媒体に照射して情報の
    記録または再生を行う記録再生装置の駆動方法であっ
    て、 前記光学系と前記光学記録媒体との距離を、前記近接場
    が形成される領域の外から領域内にする工程と、 前記距離を前記領域内に維持する工程と、 前記距離が前記領域内に維持されてから前記光学記録媒
    体を回転させる工程と、 情報を再生する場合は、回転中の前記光学記録媒体で反
    射した反射光から記録情報を検出する工程と、 情報を記録する場合は、記録する情報に応じて強度変調
    された変調光を前記光学系に供給し、回転中の前記光学
    記録媒体に前記光学系からの収束光を照射する工程とを
    有する記録再生装置の駆動方法。
  15. 【請求項15】前記光学記録媒体の回転後にレーザ光を
    前記光学系に供給する工程をさらに有する請求項14記
    載の記録再生装置の駆動方法。
  16. 【請求項16】前記光学系の開口数は、1よりも大きく
    3以下であり、 前記近接場が形成される領域は、前記光学系と前記光学
    記録媒体とが非接触状態であって前記距離が500nm
    以下の領域である請求項14記載の記録再生装置の駆動
    方法。
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