JP2000186632A - 蒸発燃料処理装置のリーク診断装置 - Google Patents
蒸発燃料処理装置のリーク診断装置Info
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- JP2000186632A JP2000186632A JP10364481A JP36448198A JP2000186632A JP 2000186632 A JP2000186632 A JP 2000186632A JP 10364481 A JP10364481 A JP 10364481A JP 36448198 A JP36448198 A JP 36448198A JP 2000186632 A JP2000186632 A JP 2000186632A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蒸発燃料処理装置のリーク診断時間を短縮す
る。 【解決手段】 機関停止後に、エアポンプ１３をＯＮす
ると共に、切換弁１４をエアポンプ１３側に切換えて、
エアポンプ１３から圧送される空気を切換弁１４を経て
キャニスタ７の新気導入口９よりパージライン６，１０
に供給した状態で、エアポンプ１３の作動電流値の変化
率（所定時間間隔の２点での作動電流値の差）をリーク
レベルとして計測する。そして、リークレベルを判定レ
ベルと比較し、リークレベルが判定レベル以下の場合
に、リーク有りと診断する。
る。 【解決手段】 機関停止後に、エアポンプ１３をＯＮす
ると共に、切換弁１４をエアポンプ１３側に切換えて、
エアポンプ１３から圧送される空気を切換弁１４を経て
キャニスタ７の新気導入口９よりパージライン６，１０
に供給した状態で、エアポンプ１３の作動電流値の変化
率（所定時間間隔の２点での作動電流値の差）をリーク
レベルとして計測する。そして、リークレベルを判定レ
ベルと比較し、リークレベルが判定レベル以下の場合
に、リーク有りと診断する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動車用内燃機関
の蒸発燃料処理装置のリーク診断装置に関する。
の蒸発燃料処理装置のリーク診断装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の内燃機関の蒸発燃料処理装置で
は、燃料タンクで発生する蒸発燃料をキャニスタに導い
て一時的に吸着させ、該キャニスタに吸着された蒸発燃
料をキャニスタの新気導入口から導入される新気と共に
パージ制御弁を介して内燃機関の吸気系に吸入させるこ
とによって、蒸発燃料の大気への放散を防止するように
している（特開平５−２１５０２０号等参照) 。
は、燃料タンクで発生する蒸発燃料をキャニスタに導い
て一時的に吸着させ、該キャニスタに吸着された蒸発燃
料をキャニスタの新気導入口から導入される新気と共に
パージ制御弁を介して内燃機関の吸気系に吸入させるこ
とによって、蒸発燃料の大気への放散を防止するように
している（特開平５−２１５０２０号等参照) 。
【０００３】ところで、上記装置では、燃料タンクから
キャニスタを経てパージ制御弁へ至るパージラインの配
管に万一亀裂が生じたり、配管の接合部にシール不良が
生じたりすると、蒸発燃料のリークを生じ、本来の放散
防止効果を十分に発揮させることができなくなる。
キャニスタを経てパージ制御弁へ至るパージラインの配
管に万一亀裂が生じたり、配管の接合部にシール不良が
生じたりすると、蒸発燃料のリークを生じ、本来の放散
防止効果を十分に発揮させることができなくなる。
【０００４】そこで、パージラインからの蒸発燃料のリ
ークの有無を診断するリーク診断装置として、以下の方
式が考えられた（特願平１０−１４７３３８号等参
照）。前記キャニスタの新気導入口を、大気開放口と電
動式エアポンプの吐出口とに選択的に接続する切換弁
と、前記エアポンプの吐出口から前記切換弁をバイパス
して前記キャニスタの新気導入口に至り、基準口径を有
する基準オリフィスが介装されたバイパス通路と、を設
けておく。
ークの有無を診断するリーク診断装置として、以下の方
式が考えられた（特願平１０−１４７３３８号等参
照）。前記キャニスタの新気導入口を、大気開放口と電
動式エアポンプの吐出口とに選択的に接続する切換弁
と、前記エアポンプの吐出口から前記切換弁をバイパス
して前記キャニスタの新気導入口に至り、基準口径を有
する基準オリフィスが介装されたバイパス通路と、を設
けておく。
【０００５】機関停止後に、先ず、エアポンプをＯＮす
ると共に、切換弁を大気開放口側に切換えて、エアポン
プから圧送される空気をバイパス通路の基準オリフィス
を経由させた後、切換弁を経て大気開放口より大気に開
放した状態で、エアポンプの作動電流値を判定レベルと
して計測する。
ると共に、切換弁を大気開放口側に切換えて、エアポン
プから圧送される空気をバイパス通路の基準オリフィス
を経由させた後、切換弁を経て大気開放口より大気に開
放した状態で、エアポンプの作動電流値を判定レベルと
して計測する。
【０００６】次に、エアポンプをＯＮすると共に、切換
弁をエアポンプ側に切換えて、エアポンプから圧送され
る空気を切換弁を経てキャニスタの新気導入口よりパー
ジラインに供給した状態で、エアポンプの作動電流値を
リークレベルとして計測する。そして、このリークレベ
ルを判定レベルと比較して、リークレベルが判定レベル
より小さいときに、リーク有りと診断する。
弁をエアポンプ側に切換えて、エアポンプから圧送され
る空気を切換弁を経てキャニスタの新気導入口よりパー
ジラインに供給した状態で、エアポンプの作動電流値を
リークレベルとして計測する。そして、このリークレベ
ルを判定レベルと比較して、リークレベルが判定レベル
より小さいときに、リーク有りと診断する。
【０００７】この方式によれば、配管に細かな孔が生じ
た場合のような小量のリーク発生時でも、高精度に診断
することができる。
た場合のような小量のリーク発生時でも、高精度に診断
することができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記方
式では、判定レベルの計測時は、エアポンプの作動電流
値が速やかに安定して、短時間で計測を行えるものの、
リークレベルの計測時には、リークと送気量が平衡状態
に達した以降でないと、エアポンプの作動電流値が安定
せず、パージラインの容量が大きいため、エアポンプの
作動電流値が安定するまでに時間がかかるので、短時間
のうちに正確な診断を行うことが困難であるという問題
点があった。
式では、判定レベルの計測時は、エアポンプの作動電流
値が速やかに安定して、短時間で計測を行えるものの、
リークレベルの計測時には、リークと送気量が平衡状態
に達した以降でないと、エアポンプの作動電流値が安定
せず、パージラインの容量が大きいため、エアポンプの
作動電流値が安定するまでに時間がかかるので、短時間
のうちに正確な診断を行うことが困難であるという問題
点があった。
【０００９】本発明は、このような問題点に鑑み、診断
精度を低下させることなく、診断時間を短縮化できる蒸
発燃料処理装置のリーク診断装置を提供することを目的
とする。
精度を低下させることなく、診断時間を短縮化できる蒸
発燃料処理装置のリーク診断装置を提供することを目的
とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、燃料タンクか
らの蒸発燃料を新気導入口を有するキャニスタに導いて
一時的に吸着させ、該キャニスタに吸着された蒸発燃料
を新気導入口から導入される新気と共にパージ制御弁を
介して内燃機関の吸気系に吸入させる蒸発燃料処理装置
において、機関停止後に、燃料タンクからキャニスタを
経てパージ制御弁に至るパージラインからの蒸発燃料の
リークを診断するリーク診断装置であることを前提とす
る。
らの蒸発燃料を新気導入口を有するキャニスタに導いて
一時的に吸着させ、該キャニスタに吸着された蒸発燃料
を新気導入口から導入される新気と共にパージ制御弁を
介して内燃機関の吸気系に吸入させる蒸発燃料処理装置
において、機関停止後に、燃料タンクからキャニスタを
経てパージ制御弁に至るパージラインからの蒸発燃料の
リークを診断するリーク診断装置であることを前提とす
る。
【００１１】ここにおいて、請求項１に係る発明では、
電動式エアポンプによって前記新気導入口を介して前記
パージラインに空気を圧送したときの前記エアポンプの
作動電流値の変化率を計測することによりリークレベル
を計測するリークレベル計測手段と、前記リークレベル
を所定の判定レベルと比較して、リークの有無を判定す
るリーク判定手段と、を設けたことを特徴とする。
電動式エアポンプによって前記新気導入口を介して前記
パージラインに空気を圧送したときの前記エアポンプの
作動電流値の変化率を計測することによりリークレベル
を計測するリークレベル計測手段と、前記リークレベル
を所定の判定レベルと比較して、リークの有無を判定す
るリーク判定手段と、を設けたことを特徴とする。
【００１２】請求項２に係る発明では、請求項１に係る
発明において、前記リークレベル計測手段は、前記エア
ポンプの作動電流値の変化率をリークレベルとして計測
することを特徴とする。
発明において、前記リークレベル計測手段は、前記エア
ポンプの作動電流値の変化率をリークレベルとして計測
することを特徴とする。
【００１３】請求項３に係る発明では、請求項１に係る
発明において、前記リークレベル計測手段は、前記エア
ポンプの作動電流値の変化率を計測し、該変化率から安
定後の作動電流値を予測して、その予測値をリークレベ
ルとすることを特徴とする。
発明において、前記リークレベル計測手段は、前記エア
ポンプの作動電流値の変化率を計測し、該変化率から安
定後の作動電流値を予測して、その予測値をリークレベ
ルとすることを特徴とする。
【００１４】請求項４に係る発明では、前記キャニスタ
の新気導入口を、大気開放口と電動式エアポンプの吐出
口とに選択的に接続する切換弁と、前記エアポンプの吐
出口から前記切換弁をバイパスして前記キャニスタの新
気導入口に至り、基準口径を有する基準オリフィスが介
装されたバイパス通路と、を設けると共に、前記エアポ
ンプをＯＮすると共に、前記切換弁を大気開放口側に切
換えて、前記エアポンプから圧送される空気を前記バイ
パス通路の基準オリフィスを経由させた後、前記切換弁
を経て大気開放口より大気に開放した状態で、前記エア
ポンプの作動電流値を計測することにより判定レベルを
計測する判定レベル計測手段と、前記エアポンプをＯＮ
すると共に、前記切換弁をエアポンプ側に切換えて、前
記エアポンプから圧送される空気を前記切換弁を経て前
記キャニスタの新気導入口より前記パージラインに供給
した状態で、前記エアポンプの作動電流値の変化率を計
測することによりリークレベルを計測するリークレベル
計測手段と、前記リークレベルを前記判定レベルと比較
して、リークの有無を判定するリーク判定手段と、を設
けたことを特徴とする。
の新気導入口を、大気開放口と電動式エアポンプの吐出
口とに選択的に接続する切換弁と、前記エアポンプの吐
出口から前記切換弁をバイパスして前記キャニスタの新
気導入口に至り、基準口径を有する基準オリフィスが介
装されたバイパス通路と、を設けると共に、前記エアポ
ンプをＯＮすると共に、前記切換弁を大気開放口側に切
換えて、前記エアポンプから圧送される空気を前記バイ
パス通路の基準オリフィスを経由させた後、前記切換弁
を経て大気開放口より大気に開放した状態で、前記エア
ポンプの作動電流値を計測することにより判定レベルを
計測する判定レベル計測手段と、前記エアポンプをＯＮ
すると共に、前記切換弁をエアポンプ側に切換えて、前
記エアポンプから圧送される空気を前記切換弁を経て前
記キャニスタの新気導入口より前記パージラインに供給
した状態で、前記エアポンプの作動電流値の変化率を計
測することによりリークレベルを計測するリークレベル
計測手段と、前記リークレベルを前記判定レベルと比較
して、リークの有無を判定するリーク判定手段と、を設
けたことを特徴とする。
【００１５】請求項５に係る発明では、請求項４に係る
発明において、前記判定レベル計測手段は、前記エアポ
ンプの作動電流値を計測し、該電流値を変化率相当の判
定レベルに変換するものであり、前記リークレベル計測
手段は、前記エアポンプの作動電流値の変化率をリーク
レベルとして計測することを特徴とする。
発明において、前記判定レベル計測手段は、前記エアポ
ンプの作動電流値を計測し、該電流値を変化率相当の判
定レベルに変換するものであり、前記リークレベル計測
手段は、前記エアポンプの作動電流値の変化率をリーク
レベルとして計測することを特徴とする。
【００１６】請求項６に係る発明では、請求項４に係る
発明において、前記判定レベル計測手段は、前記エアポ
ンプの作動電流値を判定レベルとして計測するものであ
り、前記リークレベル計測手段は、前記エアポンプの作
動電流値の変化率を計測し、該変化率から安定後の作動
電流値を予測して、その予測値をリークレベルとするこ
とを特徴とする。
発明において、前記判定レベル計測手段は、前記エアポ
ンプの作動電流値を判定レベルとして計測するものであ
り、前記リークレベル計測手段は、前記エアポンプの作
動電流値の変化率を計測し、該変化率から安定後の作動
電流値を予測して、その予測値をリークレベルとするこ
とを特徴とする。
【００１７】請求項７に係る発明では、請求項１〜請求
項６に係る発明において、前記リークレベル計測手段
は、所定時間間隔の２点での前記エアポンプの作動電流
値を計測し、その差に基づいて変化率を算出することを
特徴とする。
項６に係る発明において、前記リークレベル計測手段
は、所定時間間隔の２点での前記エアポンプの作動電流
値を計測し、その差に基づいて変化率を算出することを
特徴とする。
【００１８】
【発明の効果】請求項１に係る発明によれば、リークレ
ベル計測時のエアポンプの安定化後の作動電流値と初期
の作動電流値の変化率とは対応関係にあることから、リ
ークレベル計測時に、エアポンプの作動電流値の変化率
を計測することによりリークレベルを計測することで、
診断精度を低下させることなく、診断時間を短縮化でき
る。
ベル計測時のエアポンプの安定化後の作動電流値と初期
の作動電流値の変化率とは対応関係にあることから、リ
ークレベル計測時に、エアポンプの作動電流値の変化率
を計測することによりリークレベルを計測することで、
診断精度を低下させることなく、診断時間を短縮化でき
る。
【００１９】請求項２に係る発明によれば、エアポンプ
の作動電流値の変化率をリークレベルとして計測するこ
とで、処理が簡単になる。請求項３に係る発明によれ
ば、エアポンプの作動電流値の変化率を計測し、該変化
率から安定後の作動電流値を予測して、その予測値をリ
ークレベルとすることで、従前の判定レベルをそのまま
使用することができる。
の作動電流値の変化率をリークレベルとして計測するこ
とで、処理が簡単になる。請求項３に係る発明によれ
ば、エアポンプの作動電流値の変化率を計測し、該変化
率から安定後の作動電流値を予測して、その予測値をリ
ークレベルとすることで、従前の判定レベルをそのまま
使用することができる。
【００２０】請求項４に係る発明によれば、請求項１に
係る発明の効果に加え、判定レベルを的確なものとする
ことができ、診断精度を向上させることができる。請求
項５に係る発明によれば、判定レベル計測時に、エアポ
ンプの作動電流値を計測して、該電流値を変化率相当の
判定レベルに変換する一方、リークレベル計測時に、エ
アポンプの作動電流値の変化率をリークレベルとして計
測することで、正確なリーク判定が可能となる。
係る発明の効果に加え、判定レベルを的確なものとする
ことができ、診断精度を向上させることができる。請求
項５に係る発明によれば、判定レベル計測時に、エアポ
ンプの作動電流値を計測して、該電流値を変化率相当の
判定レベルに変換する一方、リークレベル計測時に、エ
アポンプの作動電流値の変化率をリークレベルとして計
測することで、正確なリーク判定が可能となる。
【００２１】請求項６に係る発明によれば、判定レベル
計測時に、エアポンプの作動電流値を判定レベルとして
計測する一方、リークレベル計測時に、エアポンプの作
動電流値の変化率を計測し、該変化率から安定後の作動
電流値を予測して、その予測値をリークレベルとするこ
とで、正確なリーク判定が可能となる。
計測時に、エアポンプの作動電流値を判定レベルとして
計測する一方、リークレベル計測時に、エアポンプの作
動電流値の変化率を計測し、該変化率から安定後の作動
電流値を予測して、その予測値をリークレベルとするこ
とで、正確なリーク判定が可能となる。
【００２２】請求項７に係る発明によれば、リークレベ
ル計測時に、所定時間間隔の２点でのエアポンプの作動
電流値を計測し、その差に基づいて変化率を算出するこ
とで、変化率を簡単かつ的確にとらえることができる。
ル計測時に、所定時間間隔の２点でのエアポンプの作動
電流値を計測し、その差に基づいて変化率を算出するこ
とで、変化率を簡単かつ的確にとらえることができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。図１は本発明の一実施形態を示すシステム図であ
る。
する。図１は本発明の一実施形態を示すシステム図であ
る。
【００２４】内燃機関１の吸気系には、スロットル弁２
が設けられていて、これにより吸入空気量が制御され
る。また、スロットル弁２下流の吸気管３のマニホール
ド部には各気筒毎に電磁式の燃料噴射弁４が設けられて
いる。燃料噴射弁４は、コントロールユニット２０から
機関回転に同期して出力される駆動パルス信号により開
弁して、燃料噴射を行い、噴射された燃料は機関１の燃
焼室内で燃焼する。
が設けられていて、これにより吸入空気量が制御され
る。また、スロットル弁２下流の吸気管３のマニホール
ド部には各気筒毎に電磁式の燃料噴射弁４が設けられて
いる。燃料噴射弁４は、コントロールユニット２０から
機関回転に同期して出力される駆動パルス信号により開
弁して、燃料噴射を行い、噴射された燃料は機関１の燃
焼室内で燃焼する。
【００２５】蒸発燃料処理装置としては、燃料タンク５
にて発生する蒸発燃料を蒸発燃料導入通路６により導い
て一時的に吸着するキャニスタ７が設けられている。キ
ャニスタ７は、容器内に活性炭などの吸着材８を充填し
たものである。
にて発生する蒸発燃料を蒸発燃料導入通路６により導い
て一時的に吸着するキャニスタ７が設けられている。キ
ャニスタ７は、容器内に活性炭などの吸着材８を充填し
たものである。
【００２６】キャニスタ７にはまた、新気導入口９が形
成されると共に、パージ通路１０が導出されている。パ
ージ通路１０は、パージ制御弁１１を介して、スロット
ル弁２下流の吸気管３に接続されている。パージ制御弁
１１は、コントロールユニット２０から出力される信号
により開弁するようになっている。
成されると共に、パージ通路１０が導出されている。パ
ージ通路１０は、パージ制御弁１１を介して、スロット
ル弁２下流の吸気管３に接続されている。パージ制御弁
１１は、コントロールユニット２０から出力される信号
により開弁するようになっている。
【００２７】従って、機関１の停止中などに燃料タンク
５にて発生した蒸発燃料は、蒸発燃料導入通路６により
キャニスタ７に導かれて、ここに吸着される。そして、
機関１が始動されて、所定のパージ許可条件が成立する
と、パージ制御弁１１が開き、機関１の吸入負圧がキャ
ニスタ７に作用する結果、新気導入口９から導入される
新気によってキャニスタ７に吸着されていた蒸発燃料が
脱離され、この脱離した蒸発燃料を含むパージガスがパ
ージ通路１０を通って吸気管３内に吸入され、この後、
機関１の燃焼室内で燃焼処理される。
５にて発生した蒸発燃料は、蒸発燃料導入通路６により
キャニスタ７に導かれて、ここに吸着される。そして、
機関１が始動されて、所定のパージ許可条件が成立する
と、パージ制御弁１１が開き、機関１の吸入負圧がキャ
ニスタ７に作用する結果、新気導入口９から導入される
新気によってキャニスタ７に吸着されていた蒸発燃料が
脱離され、この脱離した蒸発燃料を含むパージガスがパ
ージ通路１０を通って吸気管３内に吸入され、この後、
機関１の燃焼室内で燃焼処理される。
【００２８】蒸発燃料処理装置のリーク診断装置として
は、キャニスタ７の新気導入口９側に、以下の装置が設
けられる。大気開放口１２が設けられると共に、電動式
エアポンプ１３が設けられる。そして、キャニスタ７の
新気導入口９を、大気開放口１２と、エアポンプ１３の
吐出口１３ａとに選択的に接続する電磁式の切換弁１４
が設けられる。また、エアポンプ１３の吐出口１３ａか
ら切換弁１４をバイパスしてキャニスタ７の新気導入口
９に至るバイパス通路１５が設けられ、このバイパス通
路１５には基準口径（例えば０．５ｍｍ）を有する基準
オリフィス１６が設けられる。大気開放口１２とエアポ
ンプ１３の吸入口１３ｂとには、エアフィルタ１７が設
けられる。
は、キャニスタ７の新気導入口９側に、以下の装置が設
けられる。大気開放口１２が設けられると共に、電動式
エアポンプ１３が設けられる。そして、キャニスタ７の
新気導入口９を、大気開放口１２と、エアポンプ１３の
吐出口１３ａとに選択的に接続する電磁式の切換弁１４
が設けられる。また、エアポンプ１３の吐出口１３ａか
ら切換弁１４をバイパスしてキャニスタ７の新気導入口
９に至るバイパス通路１５が設けられ、このバイパス通
路１５には基準口径（例えば０．５ｍｍ）を有する基準
オリフィス１６が設けられる。大気開放口１２とエアポ
ンプ１３の吸入口１３ｂとには、エアフィルタ１７が設
けられる。
【００２９】尚、切換弁１４はＯＦＦ状態で大気開放口
１２側、ＯＮ状態でエアポンプ１３側に切換えられるよ
うになっており、通常はＯＦＦで大気開放口１２側に切
換えられ、キャニスタ７の新気導入口９を大気開放口１
２に連通させている。
１２側、ＯＮ状態でエアポンプ１３側に切換えられるよ
うになっており、通常はＯＦＦで大気開放口１２側に切
換えられ、キャニスタ７の新気導入口９を大気開放口１
２に連通させている。
【００３０】コントロールユニット２０は、ＣＰＵ、Ｒ
ＯＭ、ＲＡＭ、Ａ／Ｄ変換器及び入出力インターフェイ
ス等を含んで構成されるマイクロコンピュータを備え、
各種センサから信号が入力されている。
ＯＭ、ＲＡＭ、Ａ／Ｄ変換器及び入出力インターフェイ
ス等を含んで構成されるマイクロコンピュータを備え、
各種センサから信号が入力されている。
【００３１】前記各種センサとしては、機関１の回転に
同期してクランク角信号を出力しこれにより機関回転数
Ｎｅを検出可能なクランク角センサ２１、吸入空気量Ｑ
ａを計測するエアフローメータ２２、機関排気系にて空
燃比を検出する空燃比センサ（酸素センサ）２３、車速
ＶＳＰを検出する車速センサ２４などが設けられ、更
に、エアポンプ１３の作動電流値を検出する電流センサ
２５が設けられている。
同期してクランク角信号を出力しこれにより機関回転数
Ｎｅを検出可能なクランク角センサ２１、吸入空気量Ｑ
ａを計測するエアフローメータ２２、機関排気系にて空
燃比を検出する空燃比センサ（酸素センサ）２３、車速
ＶＳＰを検出する車速センサ２４などが設けられ、更
に、エアポンプ１３の作動電流値を検出する電流センサ
２５が設けられている。
【００３２】ここにおいて、コントロールユニット２０
は、機関運転条件に基づいて燃料噴射弁４の作動を制御
し、また、機関運転条件に基づいてパージ制御弁１１の
作動を制御する。更に、機関停止後に、リーク診断装置
をなすエアポンプ１３及び切換弁１４の作動を制御し
て、蒸発燃料処理装置のリーク診断を行う。
は、機関運転条件に基づいて燃料噴射弁４の作動を制御
し、また、機関運転条件に基づいてパージ制御弁１１の
作動を制御する。更に、機関停止後に、リーク診断装置
をなすエアポンプ１３及び切換弁１４の作動を制御し
て、蒸発燃料処理装置のリーク診断を行う。
【００３３】かかる蒸発燃料処理装置のリーク診断のた
め、コントロールユニット２０には、図２に示すよう
に、判定レベル計測手段、リークレベル計測手段、及
び、リーク判定手段としての機能がソフトウエア的に備
えられる。
め、コントロールユニット２０には、図２に示すよう
に、判定レベル計測手段、リークレベル計測手段、及
び、リーク判定手段としての機能がソフトウエア的に備
えられる。
【００３４】次に、コントロールユニット２０による蒸
発燃料処理装置のリーク診断について、図３のフローチ
ャートによって説明する。ステップ１（図にはＳ１と記
す。以下同様）では、所定の診断実行条件である機関停
止後であるか否かを、次の（１）及び（２）の条件が全
て成立しているか否かによって判定する。
発燃料処理装置のリーク診断について、図３のフローチ
ャートによって説明する。ステップ１（図にはＳ１と記
す。以下同様）では、所定の診断実行条件である機関停
止後であるか否かを、次の（１）及び（２）の条件が全
て成立しているか否かによって判定する。
【００３５】（１）機関回転数Ｎｅ≦所定値 （２）車速ＶＳＰ≦所定値。 機関停止後でない場合、すなわち、機関運転中の場合
は、ステップ１へ戻って、この判定を繰り返す。
は、ステップ１へ戻って、この判定を繰り返す。
【００３６】機関停止後の場合は、リーク診断の実行の
ため、ステップ２へ進む。但し、パージ制御弁１１につ
いて、別途実行される故障診断ルーチンにおいて、故障
有りと診断されて場合などは、リーク診断をキャンセル
するとよい。
ため、ステップ２へ進む。但し、パージ制御弁１１につ
いて、別途実行される故障診断ルーチンにおいて、故障
有りと診断されて場合などは、リーク診断をキャンセル
するとよい。
【００３７】ステップ２では、パージライン雰囲気の初
期化を行う。具体的には、（１）パージ制御弁１１を開
弁し、（２）切換弁１４をＯＦＦにして大気開放口１２
側に切換え、（３）エアポンプ１３をＯＮにする。そし
て、この状態を所定時間維持する。
期化を行う。具体的には、（１）パージ制御弁１１を開
弁し、（２）切換弁１４をＯＦＦにして大気開放口１２
側に切換え、（３）エアポンプ１３をＯＮにする。そし
て、この状態を所定時間維持する。
【００３８】このとき、図４に示すように、エアポンプ
１３によって吸入吐出された空気がバイパス通路１５を
通って、キャニスタ７の新気導入口９からキャニスタ７
内を通り、パージ通路１０のパージ制御弁１１を経て吸
気管３内に流出する。また、一部の空気は、バイパス通
路１５を通った後、切換弁１４を逆流して大気開放口１
２より大気中に放出される。
１３によって吸入吐出された空気がバイパス通路１５を
通って、キャニスタ７の新気導入口９からキャニスタ７
内を通り、パージ通路１０のパージ制御弁１１を経て吸
気管３内に流出する。また、一部の空気は、バイパス通
路１５を通った後、切換弁１４を逆流して大気開放口１
２より大気中に放出される。
【００３９】この結果、パージ通路１０内の残圧（負
圧) 及び残留ガスが除去される。次にステップ３では、
リーク診断用の判定レベルの計測を行う。具体的には、
（１）パージ制御弁１１を閉弁し、（２）切換弁１４を
ＯＦＦにして大気開放口１２側に切換え、（３）エアポ
ンプ１３をＯＮにする。
圧) 及び残留ガスが除去される。次にステップ３では、
リーク診断用の判定レベルの計測を行う。具体的には、
（１）パージ制御弁１１を閉弁し、（２）切換弁１４を
ＯＦＦにして大気開放口１２側に切換え、（３）エアポ
ンプ１３をＯＮにする。
【００４０】このとき、図５に示すように、エアポンプ
１３によって吸入吐出された空気がバイパス通路１５
（基準オリフィス１６）を通った後、切換弁１４を逆流
して大気開放口１２より大気中に放出される。
１３によって吸入吐出された空気がバイパス通路１５
（基準オリフィス１６）を通った後、切換弁１４を逆流
して大気開放口１２より大気中に放出される。
【００４１】この状態で、エアポンプ１３の作動電流値
を電流センサ２５によって計測し、これをＡＳＬとす
る。すなわち、エアポンプ１３から圧送される空気を基
準口径を有する基準オリフィス１６を介して大気に開放
したときのエアポンプ１３の作動電流値ＡＳＬを計測す
る。そして、計測した作動電流値ＡＳＬを、予め用意し
たテーブルを用いて、変化率相当値ΔＡＳＬ＝ｆ（ＡＳ
Ｌ）に変換し、これを判定レベルとする。この部分が判
定レベル計測手段に相当する。
を電流センサ２５によって計測し、これをＡＳＬとす
る。すなわち、エアポンプ１３から圧送される空気を基
準口径を有する基準オリフィス１６を介して大気に開放
したときのエアポンプ１３の作動電流値ＡＳＬを計測す
る。そして、計測した作動電流値ＡＳＬを、予め用意し
たテーブルを用いて、変化率相当値ΔＡＳＬ＝ｆ（ＡＳ
Ｌ）に変換し、これを判定レベルとする。この部分が判
定レベル計測手段に相当する。
【００４２】次にステップ４では、リークレベルの計測
を行う。具体的には、（１）パージ制御弁１１を閉弁
し、（２）切換弁１４をＯＮにしてエアポンプ１３側に
切換え、（３）エアポンプ１３をＯＮにする。
を行う。具体的には、（１）パージ制御弁１１を閉弁
し、（２）切換弁１４をＯＮにしてエアポンプ１３側に
切換え、（３）エアポンプ１３をＯＮにする。
【００４３】このとき、図６に示すように、エアポンプ
１３によって吸入吐出された空気が切換弁１４を経てキ
ャニスタ７の新気導入口９からキャニスタ７内を通り、
燃料タンク５からキャニスタ７を経てパージ制御弁１１
に至るパージライン（６，１０）内に流入する。
１３によって吸入吐出された空気が切換弁１４を経てキ
ャニスタ７の新気導入口９からキャニスタ７内を通り、
燃料タンク５からキャニスタ７を経てパージ制御弁１１
に至るパージライン（６，１０）内に流入する。
【００４４】この状態で、エアポンプ１３の作動電流値
を電流センサ２５によって計測し、これをＡ１とする。
更に、所定時間後、エアポンプ１３の作動電流値を電流
センサ２５によって再び計測し、これをＡ２とする。す
なわち、エアポンプ１３から圧送される空気をパージラ
インに供給したときのエアポンプ１３の作動電流値Ａ
１，Ａ２を所定時間間隔の２点にて計測する。そして、
これらに基づき、ポンプ作動電流値の変化率ΔＡ＝Ａ２
−Ａ１を算出し、これをリークレベルとする。尚、変化
率は、正確には、ΔＡ＝（Ａ２−Ａ１）／所定時間とし
て表されるが、処理の簡単化のため、前記所定時間を一
定として、ΔＡ＝Ａ２−Ａ１とした。この部分がリーク
レベル計測手段に相当する。
を電流センサ２５によって計測し、これをＡ１とする。
更に、所定時間後、エアポンプ１３の作動電流値を電流
センサ２５によって再び計測し、これをＡ２とする。す
なわち、エアポンプ１３から圧送される空気をパージラ
インに供給したときのエアポンプ１３の作動電流値Ａ
１，Ａ２を所定時間間隔の２点にて計測する。そして、
これらに基づき、ポンプ作動電流値の変化率ΔＡ＝Ａ２
−Ａ１を算出し、これをリークレベルとする。尚、変化
率は、正確には、ΔＡ＝（Ａ２−Ａ１）／所定時間とし
て表されるが、処理の簡単化のため、前記所定時間を一
定として、ΔＡ＝Ａ２−Ａ１とした。この部分がリーク
レベル計測手段に相当する。
【００４５】次にステップ５では、前記ステップ４で計
測されたリークレベル（ポンプ作動電流値の変化率）Δ
Ａを、前記ステップ３で計測・設定された判定レベルΔ
ＡＳＬと比較して、蒸発燃料のリーク診断を行う。すな
わち、図７を参照し、作動電流値の変化率ΔＡが判定レ
ベルより大きいと判定されたときは、リーク無しと診断
するが、作動電流値の変化率ΔＡが判定レベル以下と判
定されたときは（ΔＡ’参照）、リーク有りと診断し、
ステップ６で所定の故障コードをセットする。この部分
がリーク判定手段に相当する。
測されたリークレベル（ポンプ作動電流値の変化率）Δ
Ａを、前記ステップ３で計測・設定された判定レベルΔ
ＡＳＬと比較して、蒸発燃料のリーク診断を行う。すな
わち、図７を参照し、作動電流値の変化率ΔＡが判定レ
ベルより大きいと判定されたときは、リーク無しと診断
するが、作動電流値の変化率ΔＡが判定レベル以下と判
定されたときは（ΔＡ’参照）、リーク有りと診断し、
ステップ６で所定の故障コードをセットする。この部分
がリーク判定手段に相当する。
【００４６】すなわち、エアポンプ１３から圧送される
空気が基準口径を有する基準オリフィス１６を流通する
のに要するエアポンプ１３の作動電流値に対し、前記リ
ークレベル計測時の安定化後の作動電流値の方が小さい
場合、つまりエアポンプ１３の駆動負荷が減少した場合
は、パージライン（６，１０）中に前記基準口径より大
きな孔が開口したのと同等の失陥を生じて、判定レベル
以上のリークが発生していると診断でき、そうでない場
合は、リーク無し（正常) と診断できる。
空気が基準口径を有する基準オリフィス１６を流通する
のに要するエアポンプ１３の作動電流値に対し、前記リ
ークレベル計測時の安定化後の作動電流値の方が小さい
場合、つまりエアポンプ１３の駆動負荷が減少した場合
は、パージライン（６，１０）中に前記基準口径より大
きな孔が開口したのと同等の失陥を生じて、判定レベル
以上のリークが発生していると診断でき、そうでない場
合は、リーク無し（正常) と診断できる。
【００４７】しかし、安定化後のポンプ作動電流値を計
測するためには、計測に時間がかかってしまう。そこ
で、リークレベル計測時の安定化後のポンプ作動電流値
と初期のポンプ作動電流値の変化率とは対応関係にある
ことから、リークレベル計測時に、ポンプ作動電流値の
変化率ΔＡをリークレベルとして計測することにより、
短時間で、しかも正確な診断を行うことができるように
するのである。
測するためには、計測に時間がかかってしまう。そこ
で、リークレベル計測時の安定化後のポンプ作動電流値
と初期のポンプ作動電流値の変化率とは対応関係にある
ことから、リークレベル計測時に、ポンプ作動電流値の
変化率ΔＡをリークレベルとして計測することにより、
短時間で、しかも正確な診断を行うことができるように
するのである。
【００４８】図８は本発明の他の実施形態を示すリーク
診断のフローチャートであり、図３のフローとの相違に
ついて説明する。ステップ３で、リーク診断用の判定レ
ベルの計測を行う際、前記と同様に、（１）パージ制御
弁１１を閉弁し、（２）切換弁１４をＯＦＦにして大気
開放口１２側に切換え、（３）エアポンプ１３をＯＮに
する（図５参照）。
診断のフローチャートであり、図３のフローとの相違に
ついて説明する。ステップ３で、リーク診断用の判定レ
ベルの計測を行う際、前記と同様に、（１）パージ制御
弁１１を閉弁し、（２）切換弁１４をＯＦＦにして大気
開放口１２側に切換え、（３）エアポンプ１３をＯＮに
する（図５参照）。
【００４９】この状態で、エアポンプ１３の作動電流値
を電流センサ２５によって計測し、これをＡＳＬとす
る。すなわち、エアポンプ１３から圧送される空気を基
準口径を有する基準オリフィス１６を介して大気に開放
したときのエアポンプ１３の作動電流値ＡＳＬを計測
し、これを判定レベルとする。この部分が判定レベル計
測手段に相当する。
を電流センサ２５によって計測し、これをＡＳＬとす
る。すなわち、エアポンプ１３から圧送される空気を基
準口径を有する基準オリフィス１６を介して大気に開放
したときのエアポンプ１３の作動電流値ＡＳＬを計測
し、これを判定レベルとする。この部分が判定レベル計
測手段に相当する。
【００５０】ステップ４で、リークレベルの計測を行う
際、前記と同様に、（１）パージ制御弁１１を閉弁し、
（２）切換弁１４をＯＮにしてエアポンプ１３側に切換
え、（３）エアポンプ１３をＯＮにする（図６参照）。
際、前記と同様に、（１）パージ制御弁１１を閉弁し、
（２）切換弁１４をＯＮにしてエアポンプ１３側に切換
え、（３）エアポンプ１３をＯＮにする（図６参照）。
【００５１】この状態で、エアポンプ１３の作動電流値
を電流センサ２５によって計測し、これをＡ１とする。
更に、所定時間後、エアポンプ１３の作動電流値を電流
センサ２５によって再び計測し、これをＡ２とする。す
なわち、エアポンプ１３から圧送される空気をパージラ
インに供給したときのエアポンプ１３の作動電流値Ａ
１，Ａ２を所定時間間隔の２点にて計測する。そして、
これらに基づき、ポンプ作動電流値の変化率ΔＡ＝Ａ２
−Ａ１を算出する。そして、このポンプ作動電流値の変
化率ΔＡ＝Ａ２−Ａ１から、予め用意したテーブルを参
照して、安定化後のポンプ作動電流値ＡＡ＝ｆ（ΔＡ）
を予測し、これをリークレベルとする。この部分がリー
クレベル計測手段に相当する。
を電流センサ２５によって計測し、これをＡ１とする。
更に、所定時間後、エアポンプ１３の作動電流値を電流
センサ２５によって再び計測し、これをＡ２とする。す
なわち、エアポンプ１３から圧送される空気をパージラ
インに供給したときのエアポンプ１３の作動電流値Ａ
１，Ａ２を所定時間間隔の２点にて計測する。そして、
これらに基づき、ポンプ作動電流値の変化率ΔＡ＝Ａ２
−Ａ１を算出する。そして、このポンプ作動電流値の変
化率ΔＡ＝Ａ２−Ａ１から、予め用意したテーブルを参
照して、安定化後のポンプ作動電流値ＡＡ＝ｆ（ΔＡ）
を予測し、これをリークレベルとする。この部分がリー
クレベル計測手段に相当する。
【００５２】ステップ５では、前記ステップ４で計測さ
れたリークレベル（安定化後のポンプ作動電流値の予測
値）ＡＡを、前記ステップ３で計測・設定された判定レ
ベルＡＳＬと比較して、蒸発燃料のリーク診断を行う。
すなわち、図７を参照し、安定化後の作動電流値（予測
値）ＡＡが判定レベルより大きいと判定されたときは、
リーク無しと診断するが、安定化後の作動電流値（予測
値）ＡＡが判定レベル以下と判定されたときは（ＡＡ’
参照）、リーク有りと診断し、ステップ６で所定の故障
コードをセットする。この部分がリーク判定手段に相当
する。
れたリークレベル（安定化後のポンプ作動電流値の予測
値）ＡＡを、前記ステップ３で計測・設定された判定レ
ベルＡＳＬと比較して、蒸発燃料のリーク診断を行う。
すなわち、図７を参照し、安定化後の作動電流値（予測
値）ＡＡが判定レベルより大きいと判定されたときは、
リーク無しと診断するが、安定化後の作動電流値（予測
値）ＡＡが判定レベル以下と判定されたときは（ＡＡ’
参照）、リーク有りと診断し、ステップ６で所定の故障
コードをセットする。この部分がリーク判定手段に相当
する。
【００５３】すなわち、エアポンプ１３から圧送される
空気が基準口径を有する基準オリフィス１６を流通する
のに要するエアポンプ１３の作動電流値に対し、前記リ
ークレベル計測時の安定化後の作動電流値（予測値）の
方が小さい場合、つまりエアポンプ１３の駆動負荷が減
少した場合は、パージライン（６，１０）中に前記基準
口径より大きな孔が開口したのと同等の失陥を生じて、
判定レベル以上のリークが発生していると診断し、そう
でない場合は、リーク無し（正常) と診断するのであ
る。
空気が基準口径を有する基準オリフィス１６を流通する
のに要するエアポンプ１３の作動電流値に対し、前記リ
ークレベル計測時の安定化後の作動電流値（予測値）の
方が小さい場合、つまりエアポンプ１３の駆動負荷が減
少した場合は、パージライン（６，１０）中に前記基準
口径より大きな孔が開口したのと同等の失陥を生じて、
判定レベル以上のリークが発生していると診断し、そう
でない場合は、リーク無し（正常) と診断するのであ
る。
【００５４】ここで、リークレベル計測時の安定化後の
ポンプ作動電流値と初期のポンプ作動電流値の変化率と
は対応関係にあることから、リークレベル計測時に、ポ
ンプ作動電流値の変化率ΔＡを計測して、安定化後のポ
ンプ作動電流値ＡＡを予測することで、診断精度を低下
させることなく、診断時間を短縮化できる。
ポンプ作動電流値と初期のポンプ作動電流値の変化率と
は対応関係にあることから、リークレベル計測時に、ポ
ンプ作動電流値の変化率ΔＡを計測して、安定化後のポ
ンプ作動電流値ＡＡを予測することで、診断精度を低下
させることなく、診断時間を短縮化できる。
【００５５】尚、以上の実施形態では、診断精度の向上
のため、リークレベルとしてのポンプ作動電流値の変化
率又はこれから予測した安定化後のポンプ作動電流値に
対する判定レベルを計測により設定しているが、この判
定レベルを定数として設定するようにしてもよい。
のため、リークレベルとしてのポンプ作動電流値の変化
率又はこれから予測した安定化後のポンプ作動電流値に
対する判定レベルを計測により設定しているが、この判
定レベルを定数として設定するようにしてもよい。
【図１】 本発明の一実施形態を示すシステム図
【図２】 コントロールユニットのリーク診断機能を示
すブロック図
すブロック図
【図３】 リーク診断のフローチャート
【図４】 パージライン雰囲気初期化時の空気の流れを
示す図
示す図
【図５】 判定レベル計測時の空気の流れを示す図
【図６】 リークレベル計測時の空気の流れを示す図
【図７】 リークレベル計測時のポンプ作動電流値を示
す図
す図
【図８】 本発明の他の実施形態を示すリーク診断のフ
ローチャート
ローチャート
１ 内燃機関 ２ スロットル弁 ３ 吸気管 ４ 燃料噴射弁 ５ 燃料タンク ６ 蒸発燃料導入通路 ７ キャニスタ ８ 吸着材 ９ 新気導入口 １０ パージ通路 １１ パージ制御弁 １２ 大気開放口 １３ エアポンプ １４ 切換弁 １５ バイパス通路 １６ 基準オリフィス １７ エアフィルタ ２０ コントロールユニット ２１ クランク角センサ ２２ エアフローメータ ２３ 空燃比センサ ２４ 車速センサ
Claims (7)
- 【請求項１】燃料タンクからの蒸発燃料を新気導入口を
有するキャニスタに導いて一時的に吸着させ、該キャニ
スタに吸着された蒸発燃料を新気導入口から導入される
新気と共にパージ制御弁を介して内燃機関の吸気系に吸
入させる蒸発燃料処理装置において、機関停止後に、燃
料タンクからキャニスタを経てパージ制御弁に至るパー
ジラインからの蒸発燃料のリークを診断するリーク診断
装置であって、 電動式エアポンプによって前記新気導入口を介して前記
パージラインに空気を圧送したときの前記エアポンプの
作動電流値の変化率を計測することによりリークレベル
を計測するリークレベル計測手段と、 前記リークレベルを所定の判定レベルと比較して、リー
クの有無を判定するリーク判定手段と、 を設けたことを特徴とする蒸発燃料処理装置のリーク診
断装置。 - 【請求項２】前記リークレベル計測手段は、前記エアポ
ンプの作動電流値の変化率をリークレベルとして計測す
ることを特徴とする請求項１記載の蒸発燃料処理装置の
リーク診断装置。 - 【請求項３】前記リークレベル計測手段は、前記エアポ
ンプの作動電流値の変化率を計測し、該変化率から安定
後の作動電流値を予測して、その予測値をリークレベル
とすることを特徴とする請求項１記載の蒸発燃料処理装
置のリーク診断装置。 - 【請求項４】燃料タンクからの蒸発燃料を新気導入口を
有するキャニスタに導いて一時的に吸着させ、該キャニ
スタに吸着された蒸発燃料を新気導入口から導入される
新気と共にパージ制御弁を介して内燃機関の吸気系に吸
入させる蒸発燃料処理装置において、機関停止後に、燃
料タンクからキャニスタを経てパージ制御弁に至るパー
ジラインからの蒸発燃料のリークを診断するリーク診断
装置であって、 前記キャニスタの新気導入口を、大気開放口と電動式エ
アポンプの吐出口とに選択的に接続する切換弁と、前記
エアポンプの吐出口から前記切換弁をバイパスして前記
キャニスタの新気導入口に至り、基準口径を有する基準
オリフィスが介装されたバイパス通路と、を設けると共
に、 前記エアポンプをＯＮすると共に、前記切換弁を大気開
放口側に切換えて、前記エアポンプから圧送される空気
を前記バイパス通路の基準オリフィスを経由させた後、
前記切換弁を経て大気開放口より大気に開放した状態
で、前記エアポンプの作動電流値を計測することにより
判定レベルを計測する判定レベル計測手段と、 前記エアポンプをＯＮすると共に、前記切換弁をエアポ
ンプ側に切換えて、前記エアポンプから圧送される空気
を前記切換弁を経て前記キャニスタの新気導入口より前
記パージラインに供給した状態で、前記エアポンプの作
動電流値の変化率を計測することによりリークレベルを
計測するリークレベル計測手段と、 前記リークレベルを前記判定レベルと比較して、リーク
の有無を判定するリーク判定手段と、 を設けたことを特徴とする蒸発燃料処理装置のリーク診
断装置。 - 【請求項５】前記判定レベル計測手段は、前記エアポン
プの作動電流値を計測し、該電流値を変化率相当の判定
レベルに変換するものであり、 前記リークレベル計測手段は、前記エアポンプの作動電
流値の変化率をリークレベルとして計測することを特徴
とする請求項４記載の蒸発燃料処理装置のリーク診断装
置。 - 【請求項６】前記判定レベル計測手段は、前記エアポン
プの作動電流値を判定レベルとして計測するものであ
り、 前記リークレベル計測手段は、前記エアポンプの作動電
流値の変化率を計測し、該変化率から安定後の作動電流
値を予測して、その予測値をリークレベルとすることを
特徴とする請求項４記載の蒸発燃料処理装置のリーク診
断装置。 - 【請求項７】前記リークレベル計測手段は、所定時間間
隔の２点での前記エアポンプの作動電流値を計測し、そ
の差に基づいて変化率を算出することを特徴とする請求
項１〜請求項６のいずれか１つに記載の蒸発燃料処理装
置のリーク診断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36448198A JP3645436B2 (ja) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | 蒸発燃料処理装置のリーク診断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36448198A JP3645436B2 (ja) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | 蒸発燃料処理装置のリーク診断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000186632A true JP2000186632A (ja) | 2000-07-04 |
| JP3645436B2 JP3645436B2 (ja) | 2005-05-11 |
Family
ID=18481918
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP36448198A Expired - Fee Related JP3645436B2 (ja) | 1998-12-22 | 1998-12-22 | 蒸発燃料処理装置のリーク診断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3645436B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6848298B2 (en) | 2002-01-11 | 2005-02-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for failure diagnosis of fuel vapor purge system |
| CN111350598A (zh) * | 2020-02-21 | 2020-06-30 | 吉利汽车研究院（宁波）有限公司 | 一种双燃料泄漏诊断系统及其诊断方法 |
| WO2022185660A1 (ja) * | 2021-03-03 | 2022-09-09 | Nok株式会社 | シール部品の検査方法、検査装置、及び検査プログラム |
-
1998
- 1998-12-22 JP JP36448198A patent/JP3645436B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6848298B2 (en) | 2002-01-11 | 2005-02-01 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for failure diagnosis of fuel vapor purge system |
| CN111350598A (zh) * | 2020-02-21 | 2020-06-30 | 吉利汽车研究院（宁波）有限公司 | 一种双燃料泄漏诊断系统及其诊断方法 |
| WO2022185660A1 (ja) * | 2021-03-03 | 2022-09-09 | Nok株式会社 | シール部品の検査方法、検査装置、及び検査プログラム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3645436B2 (ja) | 2005-05-11 |
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