JP2000185201A - 有機溶媒回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数のエバポレータを備える有機溶媒回収装
置において、有機溶媒による真空ポンプの汚染を防止す
る。 【解決手段】 有機溶媒回収装置は、複数のエバポレー
タ（５ａ，５ｂ，５ｃ）を真空ポンプ（９）の吸入口
（９ａ）側に並列に接続し、真空ポンプ（９）の吐出口
（９ｂ）側を少なくとも二次凝縮器（１０）を介して大
気と連通させている。有機溶媒回収装置は、真空ポンプ
（９）の吐出口（９ｂ）側と二次凝縮器（１０）を連通
する流路（２７）と、各エバポレータ（５ａ，５ｂ，５
ｃ）と真空ポンプ（９）の吸入口（９ａ）側を連通する
流路（７ａ，７ｂ）とを真空系流路（２９）が接続して
いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、実験室等でジクロ
ロメタン、クロロホルム等の有機溶媒の回収に使用され
る有機溶媒回収装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種の有機溶媒回収装置に
は、複数のエバポレータを備え、これらを独立制御する
ものがある。

【０００３】例えば、図４に示す有機溶媒回収装置は、
それぞれ試料フラスコ１、恒温槽２、回収フラスコ３及
び一次凝縮器４を有する２台のロータリーエバポレータ
５ａ，５ｂを備えている。各ロータリーエバポレータ５
ａ，５ｂの一次凝縮器４は、それぞれ電磁弁６ａ，６ｂ
を介設した流路７ａ，７ｂにより、二段式の真空ポンプ
９の吸入口９ａに接続されている。一方、真空ポンプ９
の吐出口９ｂは、二次凝縮器１０を介して大気と連通し
ている。また、それぞれエバポレータ５ａ，５ｂの真空
度を検出し、それに応じて電磁弁６ａ，６ｂ及び真空ポ
ンプ９を駆動制御する真空制御器１３ａ，１３ｂが設け
られている。

【０００４】図５に示すように、上記真空ポンプ９の１
段目及び２段目ヘッド１４ａ，１４ｂは、モータ軸１５
の回転運動を偏心カム１６及びクランク棒１７によりダ
イヤフラム１８の上下運動に変換し、このダイヤフラム
１８の上下運動によりポンプヘッド１９に形成されたポ
ンプ室２０の容積を増減して吸入及び吐出を行うように
なっている。

【０００５】この有機溶媒回収装置では、まず、電磁弁
６ａ，６ｂがともに開弁された状態で真空ポンプ９が作
動する。そして、各ロータリーエバポレータ５ａ，５ｂ
内がそれぞれ所定の真空度の下限値まで減圧されると、
電磁弁６ａ，６ｂが閉弁されると共に真空ポンプ９が停
止される。各ロータリーエバポレータ５ａ，５ｂの試料
フラスコ１内の有機溶媒は、負圧下で気化した後、一次
凝縮器４で冷却されて液化し、回収フラスコ３に回収さ
れる。

【０００６】有機溶媒回収中に、例えば、一方のエバポ
レータ５ａの真空度が上限値まで低下したことを真空制
御器１３ａが検出すると、電磁弁６ａが開弁されると共
に、真空ポンプ９が作動する。このとき、流路７ａを介
して有機溶媒ガスが真空ポンプ９内に導入される。真空
ポンプ９の吐出口９ｂ側は大気と連通しているため、吐
出口９ｂ側で有機溶媒ガスの蒸気圧が上昇する。真空ポ
ンプ９から吐出された有機溶媒ガスは、二次凝縮器１０
に導入され、液化回収される。また、二次凝縮器１０で
回収されなかった有機溶媒ガスは、大気中に排出され
る。真空度が下限値まで回復すると、再び電磁弁６ａが
閉弁されると共に、真空ポンプ９が停止する。他方のエ
バポレータ５ｂの真空度が上限値まで低下した場合も、
同様の制御で下限値まで真空度を回復する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上記真空ポンプ９の停
止時には、上記２段目ヘッド１４ｂのポンプ室２０は、
大気と連通し、かつ、ポンプ作動時に発生した圧縮熱に
より高温状態にある。よって、このポンプ室２０内で
は、有機溶媒ガスの蒸気圧が上昇している。すなわち、
真空ポンプ９の停止時には、２段目ヘッド１４ｂのポン
プ室２０内に高濃度の有機溶媒ガスが閉じ込められてい
る。そして、有機溶媒回収終了後にポンプヘッド１９が
自然冷却されてポンプ室２０内の温度が低下すると、閉
じ込められた有機溶媒ガスが液化してダイヤフラム１８
に付着する。上死点でのポンプヘッド１９とダイヤフラ
ム１８のクリアランスは極めて狭い。そのため、ダイヤ
フラム１８上に析出した有機溶媒が堆積していると、上
死点においてその析出した有機溶媒がポンプヘッド１９
に衝突する。この衝突は、ダイヤフラム１８の破損や、
モータ軸１５を支承するベアリングに対する過負荷の原
因となり、真空ポンプ９の故障を招く。そのため、この
有機溶媒回収装置では、多大なコストを要する真空ポン
プ９の保守を頻繁に行う必要があり、また、装置寿命が
短い。

【０００８】本発明は、上記従来の有機溶媒回収装置に
おける問題を解決するためになされたものであり、真空
ポンプの故障原因の大半を示す有機ガスによるポンプ内
汚染を防止することができる有機溶媒回収装置を提供す
ることを課題している。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、複数のエバポレータを真空ポンプの吸入口
側に並列に接続し、真空ポンプの吐出口側を少なくとも
二次凝縮器を介して大気と連通させた、真空閉鎖系の有
機溶媒回収装置において、上記真空ポンプの吐出口側と
二次凝縮器を連通する流路と、各エバポレータと真空ポ
ンプの吸入口側を連通する流路とを真空系流路で接続し
たことを特徴とする有機溶媒回収装置を提供するもので
ある。

【００１０】本発明の有機溶媒回収装置では、上記真空
系流路を設けたことにより、真空ポンプの吐出口側も負
圧となるため、真空ポンプに有機溶媒が滞留するのを防
止することができる。

【００１１】具体的には、上記有機溶媒回収装置は、上
記各エバポレータと真空ポンプの吸入口側とを接続する
流路に介設した第１電磁弁と、上記真空系流路に介設し
た第２電磁弁と、それぞれ各エバポレータの真空度を検
出し、該真空度に基づいて上記第１及び第２電磁弁と真
空ポンプとを駆動制御する真空制御器とを備え、上記真
空制御器は、対応するエバポレータの真空度が所定の上
限値まで低下すると対応する第１電磁弁を開弁し、第２
電磁弁を閉弁すると共に真空ポンプを作動させ、対応す
るエバポレータの真空度が所定の下限値まで上昇すると
第１電磁弁を閉弁し、第２電磁弁を開弁すると共に真空
ポンプを停止させるようにしている。

【００１２】この場合、真空ポンプの吐出口側は各エバ
ポレータの真空度の下限値と同程度の真空度となる。ま
た、各第１電磁弁の閉弁時には、エバポレータと第１電
磁弁の間の流路は構成される閉鎖された真空系内で有機
溶媒の回収が行われるため、大気中への有機溶媒の排出
を防止することができる。

【００１３】さらに、上記真空系流路の真空度を検出
し、該真空度に基づいて上記第１及び第２電磁弁と真空
ポンプとを駆動制御する第２の真空制御器を備え、該第
２の真空制御器は、真空系流路の真空度が所定の上限値
まで低下すると第２電磁弁を閉弁すると共に真空ポンプ
を作動させ、真空系の真空度が所定の下限値まで上昇す
ると第２電磁弁を開弁して真空ポンプを停止させるよう
にしてもよい。

【００１４】この場合、各エバポレータの真空度とは独
立して真空系流路の真空度を下限値と上限値の間の値に
維持することができる。また、真空系流路に漏洩が生じ
た場合でも、真空系流路の真空度を上記下限値と上限値
の間の値に維持することができる。

【００１５】上記真空ポンプには、例えば、ダイヤフラ
ムの上下動によりポンプ室の容積を増減して吸引及び吐
出を行うものがある。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、図面に示す実施形態に基づ
いて本発明を詳細に説明する。 （第１実施形態）図１に示す本発明の第１実施形態の有
機溶媒回収装置は、２台のロータリーエバポレータ５
ａ，５ｂを備えている。各ロータリーエバポレータ５
ａ，５ｂは、回収する有機溶媒が蓄液された試料フラス
コ１、試料フラスコ１を所定温度で保温するための恒温
槽２、回収フラスコ３及び一次凝縮器４を備えている。
この一次凝縮器４は、図示しない循環装置から冷却水又
は冷媒が供給される冷却管２２を内蔵している。試料フ
ラスコ１から一次凝縮器４内に導入される気化した有機
溶媒は、冷却管２２により冷却されて液化し、回収フラ
スコ３に回収される。

【００１７】各ロータリーエバポレータ５ａ，５ｂの一
次凝縮器４には、それぞれ流路７ａ，７ｂが接続されて
いる。これらの流路７ａ，７ｂは合流点ｐ１で一つの流
路２３に合流し、この流路２３は、真空ポンプ９の吸入
口９ａに接続されている。上記流路７ａ，７ｂには、そ
れぞれ第１電磁弁６ａ，６ｂと、ロータリーエバポレー
タ５ａ，５ｂ側から真空ポンプ９側へは気体を通過させ
るが、それとは逆方向の流れを阻止する逆止弁２５ａ，
２５ｂが介設されている。

【００１８】上記真空ポンプ９は、上記図４に示す従来
の有機溶媒回収装置の場合と同様の構成であり、１段目
ヘッド１４ａと２段目ヘッド１４ｂとを備えている（図
５参照）。

【００１９】真空ポンプ９の吐出口９ｂ側は、流路２７
を介して二次凝縮器１０の入口に接続されている。ま
た、この流路２７には、真空ポンプ９側から二次凝縮器
１０側へは気体を通過させるが、それとは逆方向の流れ
を阻止する逆止弁２５ｃが設けられている。

【００２０】上記二次凝縮器１０は、上記エバポレータ
５ａ，５ｂが備える一次凝縮器４と同様に冷却管２２を
内蔵すると共に、液化した有機溶媒を回収するため回収
フラスコ３を備えている。二次凝縮器１０の出口は活性
炭を充填したトラップ１１を介して大気と連通してい
る。

【００２１】一端が上記真空ポンプ９の吐出口９ｂと二
次凝縮器１０とを接続する流路２７と接続点ｐ２で接続
し、他端が上記ロータリーエバポレータ５ａと真空ポン
プ９の吸入口９ａ側を接続する流路７ａと接続点ｐ３で
接続する真空系流路２８が設けられている。この真空系
流路２８には第２電磁弁６ｃが介設されている。

【００２２】一方のロータリーエバポレータ５ａの真空
度を検出し、検出した真空度に基づいて流路７ａに介設
した第１電磁弁６ａと真空ポンプ９とを制御する真空制
御器１３ａが設けられている。同様に、他方のロータリ
ーエバポレータ５ｂの真空度を検出し、検出した真空度
に基づいて流路７ｂに介設した第１電磁弁６ｂと真空ポ
ンプ９とを駆動制御する真空制御装置１３ｂが設けられ
ている。これらの真空制御器１３ａ，１３ｂは、それぞ
れ下限値と上限値とを設定することが可能であり、後述
するように、この下限値と上限値の間の範囲内でロータ
リーエバポレータ５ａ，５ｂの真空度が維持されるよう
に、第１及び第２電磁弁６ａ〜６ｃと真空ポンプ９を制
御する。上記第２電磁弁６ｃは、真空制御器１３ａ，１
３ｂの両方から閉弁を指令する信号が入力された場合に
のみ閉弁する。一方、真空ポンプ９は、真空制御器１３
ａ，１３ｂのいずれか一方から駆動を指令する信号が入
力されれば作動する。

【００２３】なお、上記流路７ａ，７ｂ及び真空系流路
２８には、それぞれスイッチ２９ａ，２９ｂ，２９ｃで
開閉可能であり、開弁時にそれらを大気と連通させるリ
リーフ弁３０ａ，３０ｂ，３０ｃが設けられている。

【００２４】次に、上記構成の有機溶媒回収装置による
有機溶媒回収作業について説明する。なお、以下、一方
のロータリーエバポレータ５ａでジクロロメタン（塩化
メチレン）を回収し、他方のロータリーエバポレータ５
ｂでクロロホルムを回収する場合を例に説明する。

【００２５】突沸を防止しつつジクロロメタンを効率良
く回収するには、ロータリーエバポレータ５ａ内の真空
度を−４００〜−３００ｍｍＨｇの範囲に維持すること
が好ましいので、真空制御器１３ａは下限値を−４００
ｍｍＨｇに設定し、上限値を−３００ｍｍＨｇに設定す
る。一方、突沸を防止しつつクロロホルムを効率良く回
収するには、ロータリーエバポレータ５ｂ内の真空度を
−６５０ｍｍＨｇ〜−５５０ｍｍＨｇの範囲に維持する
ことが好ましいので、真空制御器１３ｂは下限値を−６
５０ｍｍＨｇ、上限値を−５５０ｍｍＨｇに設定する。

【００２６】まず、第１電磁弁６ａ，６ｂが開弁、第２
電磁弁６ｃが閉弁され、真空ポンプ９が作動する。その
結果、ロータリーエバポレータ５ａ，５ｂ及び流路７
ａ，７ｂ，２３内の空気は、真空ポンプ９に吸引され、
流路２７を介して二次凝縮器１０へ導入される。また、
真空系流路２８内の空気も接続点ｐ３から流路７ａ，２
３を介して真空ポンプ９へ吸引される。そのため、ロー
タリーエバポレータ５ａ，５ｂ及び真空系流路２８は、
ほぼ同一の真空度を維持しつつ低下する。この際、空気
と共に一部のジクロロメタン及びエバポレータのガスが
真空ポンプ９に吸引されるが、それらは二次凝縮器１０
又はトラップ１１により捕捉される。

【００２７】真空制御器１３ａは、ロータリーエバポレ
ータ５ａの真空度が下限値である−４００ｍｍＨｇに達
したことを検出すると、第１電磁弁６ａを閉弁する。第
１電磁弁６ａが閉弁されると、ロータリーエバポレータ
５ａから第１電磁弁６ａの間に、下限値に近い負圧状態
の閉鎖空間（真空閉鎖系）が形成され、ジクロロメタン
の回収が開始される。このようにジクロロメタンは真空
閉鎖系で回収されるため、大気中への排出を防止するこ
とができる。一方、第１電磁弁６ａが閉弁された時点で
は、真空制御器１３ｂの検出する真空度は下限値（−６
５０ｍｍＨｇ）に達していないため、第１電磁弁６ｂは
開弁状態を、第２電磁弁６ｃは閉弁状態をそれぞれ維持
し、真空ポンプ９は作動状態を継続する。

【００２８】次に、真空制御器１３ｂが、ロータリーエ
バポレータ５ｂの真空度が下限値である−６５０ｍｍＨ
ｇに達したことを検出すると、第１電磁弁６ｂを閉弁、
第２電磁弁６ｃを開弁すると共に真空ポンプ９を停止す
る。第１電磁弁６ｂが閉弁されると、ロータリーエバポ
レータ５ｂから第１電磁弁６ｂの間に真空閉鎖系が形成
され、クロロホルムの回収が開始される。このようにク
ロロホルムは真空閉鎖系で回収されるため、大気中への
排出を防止することができる。また、第２電磁弁６ｃを
開弁することにより、真空系流路２８、流路２７の逆止
弁２５ｃよりも真空ポンプ９側の部分及び流路７ａ，７
ｂの第１電磁弁６ａ，６ｂよりも真空ポンプ９側の部分
により、真空ポンプ９の吸入口９ａ及び吐出口９ｂを含
む真空閉鎖系が形成される。このときの真空系流路２８
の真空度は、−６５０ｍｍＨｇよりわずかに低い。この
真空度の損失は、真空ポンプ９の吐出口９ｂから第２電
磁弁６ｃ及び逆止弁２５ｃまでの流路中の気体が第２電
磁弁６ｃの開弁時に真空系流路２８中に拡散することに
起因する。

【００２９】上記の状態で有機溶媒回収を継続中に、真
空制御器１３ａがジクロロメタンを回収しているロータ
リーエバポレータ５ａの真空度が上限値である−３００
ｍｍＨｇまで低下したことを検出すると、第１電磁弁６
ａが開弁、第２電磁弁６ｃが閉弁すると共に、真空ポン
プ９が作動する。その結果、流路７ａ内のジクロロメタ
ンガスが真空ポンプ９に吸引され、二次凝縮器１０へ導
入される。ロータリエバポレータ５ａの真空度が下限値
である−４００ｍｍＨｇまで回復したことを真空制御器
１３ａが検出すると、第１電磁弁６ａが閉弁、第２電磁
弁６ｃが開弁すると共に、真空ポンプ９が停止する。こ
のときの真空系流路２８の真空度は、−４００ｍｍＨｇ
よりわずかに低い。

【００３０】一方、真空制御器１３ｂが、クロロホルム
を回収しているロータリーエバポレータ５ｂの真空度が
上限値である−５５０ｍｍＨｇまで低下したことを検出
すると、第１電磁弁６ｂが開弁、第２電磁弁６ｃが閉弁
すると共に、真空ポンプ９が作動する。そして、ロータ
リーエバポレータ５ｂの真空度が下限値である−６５０
ｍｍＨｇまで回復したことを真空制御器１３ｂが検出す
ると、第１電磁弁６ｂが閉弁、第２電磁弁６ｃが開弁す
ると共に、真空ポンプ９が停止する。このときの真空系
流路２８の真空度は、−６５０ｍｍＨｇよりわずかに低
い。

【００３１】上記のようにロータリーエバポレータ５
ａ，５ｂの真空度を回復するために真空ポンプ９を駆動
した場合でも、真空ポンプ９の吐出口９ｂは真空系流路
２８と接続されているため、少なくとも−４００ｍｍＨ
ｇ程度の真空度に維持される。従って、真空ポンプ９の
停止時でも、真空ポンプの２段目ヘッド１４ｂのポンプ
室２０（図５参照）に高濃度のジクロロメタンや、クロ
ロホルムが閉じ込められることがなく、これらの有機溶
媒がダイヤフラム１８を付着するのを防止することがで
きる。

【００３２】なお、ジクロロメタンの回収が終了した場
合には、スイッチ２９ａを操作してリリーフ弁３０ａを
開弁し、ロータリーエバポレータ５ａ及び流路７ａ内に
大気を導入した後、エバポレータ５ａを取り外す。同様
に、クロロホルムの回収が終了した場合には、スイッチ
２９ｂを操作してリリーフ弁３０ｂを開弁し、ロータリ
ーエバポレータ５ｂ及び流路７ｂ内に大気を導入した
後、ロータリーエバポレータ５ｂを取り外す。両方のロ
ータリーエバポレータ５ａ，５ｂで有機溶媒の回収が完
了した後、スイッチ２９ｃを操作してリリーフ弁３０ｃ
を開弁させ、真空系流路２８内に大気を導入する。

【００３３】図２に示す第１実施形態の変形例は、第３
のロータリーエバポレータ５ｃを備え、このロータリー
エバポレータ５ｃの一次凝縮器４と合流点ｐ１を接続す
る流路７ｃに、第１電磁弁６ｄ及びスイッチ２９ｄによ
り開閉されるリリーフ弁３０ｄを設けている。また、ロ
ータリーエバポレータ５ｃの真空度を検出し、検出され
た真空度に基づいて第１電磁弁６ｄ、第２電磁弁６ｃ及
び真空ポンプ９を制御する真空制御器１３ｃが設けられ
ている。このように３個以上のエバポレータを真空ポン
プ９に並列接続してもよい。

【００３４】（第２実施形態）図３に示す本発明の第２
実施形態の有機溶媒回収装置では、上記真空系流路２８
の真空度を検出し、検出した真空度に基づいて第２電磁
弁６ｃと真空ポンプ９とを制御する真空制御器１３ｄが
設けられている。

【００３５】この真空制御器１３ｄの下限値及び上限値
は、ロータリーエバポレータ５ａ，５ｂの真空度を検出
する真空制御器１３ａ，１３ｂの下限値よりも高く設定
することが好ましい。例えば、上記のように一方の真空
制御器１３ａが下限値−４００ｍｍＨｇ、上限値−３０
０ｍｍＨｇであり、他方の真空制御器１３ｂが下限値−
６５０ｍｍＨｇ、上限値−５５０ｍｍＨｇである場合に
は、真空制御器１３ｃは、下限値を−７２０ｍｍＨｇ、
上限値を−６８０ｍｍＨｇに設定する。第１実施形態と
同様に、第２電磁弁６ｃは、真空制御器１３ａ，１３
ｂ，１３ｄのすべてから閉弁を指令する信号が入力され
た場合にのみ閉弁する。一方、真空ポンプ９は、真空制
御器１３ａ，１３ｂ，１３ｄのいずれか一つから駆動を
指令する信号が入力されれば作動する。

【００３６】有機溶媒回収中は、第１実施形態と同様
に、真空制御器１３ａ，１３ｂの検出する真空度が上限
値まで低下すると、第１電磁弁６ａ，６ｂが開弁、第２
電磁弁６ｃが閉弁され、真空ポンプ９が作動し、下限値
まで真空度が回復すると第１電磁弁６ａ，６ｂを閉弁、
第２電磁弁６ｃが開弁され、真空ポンプ９が停止する。

【００３７】また、真空制御器１３ｄが真空系流路２８
の真空度を常時監視し、ロータリーエバポレータ５ａ，
５ｂの真空度がともに下限値と上限値の範囲内であって
も、真空系流路２８の真空度が上限値まで低下すると、
第２電磁弁６ｃを閉弁して真空ポンプ９を作動させる。
その結果、真空系流路２８内の気体は、接続点ｐ３から
流路７ａ，２３を介して真空ポンプ９に吸引される。真
空系流路２８の真空度が下限値まで回復すると、真空制
御器１３ｄは第２電磁弁６ｃを開弁し、真空ポンプ９を
停止する。

【００３８】この第２実施形態では、真空制御器１３ｄ
により真空系流路２８内の流路は、ロータリーエバポレ
ータ５ａ，５ｂの真空度とは独立に、真空制御器１３ｄ
の下限値と上限値の間の範囲（−７２０ｍｍＨｇ〜−６
８０ｍｍＨｇ）に維持される。よって、真空系流路２８
に漏洩が生じ、真空系流路２８へ大気が侵入した場合で
も、真空系流路２８の真空度が維持され、ダイヤフラム
１８への有機溶媒の付着をより確実に防止することがで
きる。

【００３９】本発明は、上記実施形態に限定されもので
はなく、種々の変形が可能である。例えば、エバポレー
タは、上記エバポレータに限定されず、薄膜式エバポレ
ータ、試験管エバポレータ、遠心エバポレータ等であっ
てもよい。また、二次凝縮器の下流側のトラップをなく
し、二次凝縮器の出口を直接大気に連通させてもよい。
さらに、流路の具体的な構成も上記のものに限定され
ず、例えば、図１から図３において、真空系流路２８の
一端を流路７ａではなく、流路７ｂや流路２３に接続し
てもよい。また、第２電磁弁６ｃ及び逆止弁２５に替え
て、三方弁を設けても良い。

【００４０】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の有機溶媒回収装置では、閉鎖された真空系で有機溶媒
を回収することにより、有機溶媒の大気中への排出を防
止することができるだけでなく、真空ポンプの吸入口側
と凝縮器とを連通する流路と、各ロータリーエバポレー
タと真空ポンプの吐出口側とを連通する流路とを真空系
流路が接続し、真空ポンプの吐出口側は負圧状態で維持
することにより、真空ポンプに有機溶媒が滞留するのを
防止することができる。よって、本発明の有機溶媒回収
装置は、真空ポンプの保守を頻繁に行う必要がなく、ま
た、装置寿命が長い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１実施形態の有機溶媒回収装置を
示す概略構成図である。

【図２】 第１実施形態の変形例に係る有機溶媒回収装
置を示す概略構成図である。

【図３】 本発明の第２実施形態の有機溶媒回収装置を
示す概略構成図である。

【図４】 従来の有機溶媒回収装置を示す概略構成図で
ある。

【図５】 真空ポンプを示す概略図である。

【符号の説明】

５ａ，５ｂ，５ｃ ロータリエバポレータ ６ａ，６ｂ，６ｄ 第１電磁弁 ６ｃ 第２電磁弁 ９ 真空ポンプ ９ａ 吸入口 ９ｂ 吐出口 １０ 二次凝縮器 ７ａ，７ｂ，７ｃ，２３，２７ 流路 ２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ 逆止弁 ２８ 真空系流路 ２９ａ，２９ｂ，２９ｃ スイッチ ３０ａ，３０ｂ，３０ｃ リリーフ弁

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のエバポレータを真空ポンプの吸入
   口側に並列に接続し、真空ポンプの吐出口側を少なくと
   も凝縮器を介して大気と連通させた、真空閉鎖系の有機
   溶媒回収装置において、 上記真空ポンプの吐出口側と二次凝縮器を連通する流路
   と、各エバポレータと真空ポンプの吸入口側を連通する
   流路とを、真空系流路で接続したことを特徴とする有機
   溶媒回収装置。
2. 【請求項２】 上記各エバポレータと真空ポンプの吸入
   口側とを接続する流路に介設した第１電磁弁と、 上記真空系流路に介設した第２電磁弁と、 それぞれ各エバポレータの真空度を検出し、該真空度に
   基づいて上記第１及び第２電磁弁と真空ポンプとを駆動
   制御する真空制御器とを備え、 上記真空制御器は、対応するエバポレータの真空度が所
   定の上限値まで低下すると対応する第１電磁弁を開弁
   し、第２電磁弁を閉弁すると共に真空ポンプを作動さ
   せ、対応するエバポレータの真空度が所定の下限値まで
   上昇すると第１電磁弁を閉弁し、第２電磁弁を開弁する
   と共に真空ポンプを停止させるようにしたことを特徴と
   する請求項１に記載の有機溶媒回収装置。
3. 【請求項３】 上記真空系流路の真空度を検出し、該真
   空度に基づいて上記第１及び第２電磁弁と真空ポンプと
   を駆動制御する第２の真空制御器を備え、 該第２の真空制御器は、真空系流路の真空度が所定の上
   限値まで低下すると第２電磁弁を閉弁すると共に真空ポ
   ンプを作動させ、真空系の真空度が所定の下限値まで上
   昇すると第２電磁弁を開弁して真空ポンプを停止させる
   ことを特徴とする請求項２に記載の有機溶媒回収装置。
4. 【請求項４】 上記真空ポンプは、ダイヤフラムの上下
   動によりポンプ室の容積を増減して吸引及び吐出を行う
   ものである請求項１から請求項３のいずれか１項に記載
   の有機溶媒回収装置。