JP2000182558A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
走査電子顕微鏡Info
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- JP2000182558A JP2000182558A JP10356224A JP35622498A JP2000182558A JP 2000182558 A JP2000182558 A JP 2000182558A JP 10356224 A JP10356224 A JP 10356224A JP 35622498 A JP35622498 A JP 35622498A JP 2000182558 A JP2000182558 A JP 2000182558A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で２次電子の検出効率を高めるこ
とができる走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 複合対物レンズ１の上部に２次電子検出
器１１を配置し、磁界型対物レンズ２の下部磁極５の内
径を上部磁極４の内径より大きくすると共に、接地電位
の上部電極７と負電位の下部電極８とより構成される静
電型対物レンズ３の上部電極７の内径を下部電極８の内
径より大きくする。
とができる走査電子顕微鏡を実現する。 【解決手段】 複合対物レンズ１の上部に２次電子検出
器１１を配置し、磁界型対物レンズ２の下部磁極５の内
径を上部磁極４の内径より大きくすると共に、接地電位
の上部電極７と負電位の下部電極８とより構成される静
電型対物レンズ３の上部電極７の内径を下部電極８の内
径より大きくする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料上で電子ビー
ムを２次元的に走査し、試料からの２次電子を効率良く
検出して試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡
に関する。
ムを２次元的に走査し、試料からの２次電子を効率良く
検出して試料の走査像を得るようにした走査電子顕微鏡
に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査電子顕微鏡では、電子銃から発生し
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって集束し、試料上に照射すると共に、試料上で電
子ビームを２次元的に走査し、試料から発生した２次電
子や反射電子を検出し、検出信号を陰極線管に供給して
試料の走査像を得るようにしている。
加速された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズ
によって集束し、試料上に照射すると共に、試料上で電
子ビームを２次元的に走査し、試料から発生した２次電
子や反射電子を検出し、検出信号を陰極線管に供給して
試料の走査像を得るようにしている。
【０００３】このような走査電子顕微鏡において、試料
に収差の小さな電子ビームを照射して高い分解能の像を
観察すること、そして、試料から発生した２次電子を効
率良く２次電子検出器に導くことは重要であり、そのた
めの改良が種々行われている。
に収差の小さな電子ビームを照射して高い分解能の像を
観察すること、そして、試料から発生した２次電子を効
率良く２次電子検出器に導くことは重要であり、そのた
めの改良が種々行われている。
【０００４】特開平６−１８８２９４号に記載された先
願の発明においては、試料の上に第１の磁界型対物レン
ズを配置し、更にその磁界型対物レンズの形成する磁場
内に複数の電極より成る静電型対物レンズを配置してい
る。このように磁界型対物レンズと静電型対物レンズの
形成する磁場と電場によってビームを集束することによ
り、低い加速電圧の一次電子ビームであってもを小さな
収差係数とすることができる。
願の発明においては、試料の上に第１の磁界型対物レン
ズを配置し、更にその磁界型対物レンズの形成する磁場
内に複数の電極より成る静電型対物レンズを配置してい
る。このように磁界型対物レンズと静電型対物レンズの
形成する磁場と電場によってビームを集束することによ
り、低い加速電圧の一次電子ビームであってもを小さな
収差係数とすることができる。
【０００５】更にこの先願の発明においては、試料の下
に磁界型電子レンズを配置し、一次電子ビームの集束作
用を高めると共に、試料から発生した２次電子を光軸上
に集束させ、多くの２次電子を対物レンズの上部に設け
た２次電子検出器に導くように構成している。
に磁界型電子レンズを配置し、一次電子ビームの集束作
用を高めると共に、試料から発生した２次電子を光軸上
に集束させ、多くの２次電子を対物レンズの上部に設け
た２次電子検出器に導くように構成している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記した先願の発明に
おいては、一次電子ビームの収差係数を小さくできると
共に２次電子の検出効率を高めることが可能ではある
が、試料の上部に磁界型電子レンズと静電型電子レンズ
の組み合わせを配置し、試料の下部に更に磁界型電子レ
ンズを配置する複雑な構成となっており、装置が高価と
なる欠点を有している。
おいては、一次電子ビームの収差係数を小さくできると
共に２次電子の検出効率を高めることが可能ではある
が、試料の上部に磁界型電子レンズと静電型電子レンズ
の組み合わせを配置し、試料の下部に更に磁界型電子レ
ンズを配置する複雑な構成となっており、装置が高価と
なる欠点を有している。
【０００７】本発明は、このような点に鑑みてなされた
もので、その目的は、簡単な構成で２次電子の検出効率
を高めることができる走査電子顕微鏡を実現するにあ
る。
もので、その目的は、簡単な構成で２次電子の検出効率
を高めることができる走査電子顕微鏡を実現するにあ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】第１の発明に基づく走査
電子顕微鏡は、電子銃からの電子ビームを対物レンズに
よって試料上に細く集束すると共に、試料上で電子ビー
ムを２次元的に走査し、この走査に基づいて試料から得
られた信号に基づいて試料像を陰極線管上に表示するよ
うにした走査電子顕微鏡において、対物レンズを磁界型
対物レンズと磁界型対物レンズの形成する磁場内に配置
された静電型対物レンズとにより構成された複合レンズ
とし、複合対物レンズの上部に２次電子検出器を配置
し、磁界型対物レンズの下部磁極内径を上部磁極内径よ
り大きくすると共に、静電型対物レンズを接地電位の上
部電極と負電位の下部電極とより構成し、この上部電極
の内径を下部電極の内径より大きくして試料からの２次
電子の検出効率を向上させる。
電子顕微鏡は、電子銃からの電子ビームを対物レンズに
よって試料上に細く集束すると共に、試料上で電子ビー
ムを２次元的に走査し、この走査に基づいて試料から得
られた信号に基づいて試料像を陰極線管上に表示するよ
うにした走査電子顕微鏡において、対物レンズを磁界型
対物レンズと磁界型対物レンズの形成する磁場内に配置
された静電型対物レンズとにより構成された複合レンズ
とし、複合対物レンズの上部に２次電子検出器を配置
し、磁界型対物レンズの下部磁極内径を上部磁極内径よ
り大きくすると共に、静電型対物レンズを接地電位の上
部電極と負電位の下部電極とより構成し、この上部電極
の内径を下部電極の内径より大きくして試料からの２次
電子の検出効率を向上させる。
【０００９】第２の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲としたこと
を特徴としている。
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲としたこと
を特徴としている。
【００１０】第３の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、静電型対物レンズの上部電極内径と
下部電極内径との比を３〜１２の範囲としたことを特徴
としている。
１の発明において、静電型対物レンズの上部電極内径と
下部電極内径との比を３〜１２の範囲としたことを特徴
としている。
【００１１】第４の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲とし、静電
型対物レンズの上部電極内径と下部電極内径との比を３
〜１２の範囲としたことを特徴としている。
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲とし、静電
型対物レンズの上部電極内径と下部電極内径との比を３
〜１２の範囲としたことを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の対物レンズ部分を示しており、対物レンズ
１は磁界型対物レンズ２と静電型対物レンズ３との複合
対物レンズとなっている。磁界型対物レンズ２は上部磁
極４と下部磁極５と励磁コイル６とより構成されてお
り、励磁コイル６には図示していない励磁電源より励磁
電流が供給される。
施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に基づく走査
電子顕微鏡の対物レンズ部分を示しており、対物レンズ
１は磁界型対物レンズ２と静電型対物レンズ３との複合
対物レンズとなっている。磁界型対物レンズ２は上部磁
極４と下部磁極５と励磁コイル６とより構成されてお
り、励磁コイル６には図示していない励磁電源より励磁
電流が供給される。
【００１３】静電型対物レンズ３は、上部電極７と下部
電極８とより構成されており、上部電極７は接地電位
に、下部電極８には電源９より負電位が印加されるよう
に構成されている。複合対物レンズ１の下部には、試料
１０が配置されており、試料１０には電源９から負電位
が印加される。
電極８とより構成されており、上部電極７は接地電位
に、下部電極８には電源９より負電位が印加されるよう
に構成されている。複合対物レンズ１の下部には、試料
１０が配置されており、試料１０には電源９から負電位
が印加される。
【００１４】複合対物レンズ１の上部には、ドーナツ状
の２次電子検出器１１が配置されており、検出器１１の
開口部１２を通って一次電子ビームＥＢが照射される。
このような構成の動作を次に説明する。
の２次電子検出器１１が配置されており、検出器１１の
開口部１２を通って一次電子ビームＥＢが照射される。
このような構成の動作を次に説明する。
【００１５】図示していない電子銃１から発生し加速さ
れた一次電子ビームは、コンデンサレンズ（図示せず）
と複合対物レンズ１とによって試料１０上に細く集束さ
れる。この際、一次電子ビームＥＢは、複合対物レンズ
１の磁界型対物レンズ２と静電型対物レンズ３とによっ
て集束され、収差の小さな電子ビームが試料１０に照射
される。
れた一次電子ビームは、コンデンサレンズ（図示せず）
と複合対物レンズ１とによって試料１０上に細く集束さ
れる。この際、一次電子ビームＥＢは、複合対物レンズ
１の磁界型対物レンズ２と静電型対物レンズ３とによっ
て集束され、収差の小さな電子ビームが試料１０に照射
される。
【００１６】ここで、静電型対物レンズ３の上部電極７
は接地電位とされ、下部電極８と試料１０には電源９か
ら負電位が印加されている。例えば、一次電子ビームの
加速電圧が１０ｋＶの場合、下部電極８と試料１０には
それぞれ−９ｋＶが印加される。この結果、上部電極７
と下部電極８との間には一次電子ビームＥＢに対して減
速電界が形成され、試料１０には結果として加速電圧１
ｋＶの一次電子ビームが照射される。
は接地電位とされ、下部電極８と試料１０には電源９か
ら負電位が印加されている。例えば、一次電子ビームの
加速電圧が１０ｋＶの場合、下部電極８と試料１０には
それぞれ−９ｋＶが印加される。この結果、上部電極７
と下部電極８との間には一次電子ビームＥＢに対して減
速電界が形成され、試料１０には結果として加速電圧１
ｋＶの一次電子ビームが照射される。
【００１７】したがって、対物レンズ１において一次電
子ビームは高い加速電圧で集束作用を受けることから、
一次電子ビームを収差が小さい状態で細く集束させるこ
とが可能となると共に、試料１０には低い加速電圧で一
次電子ビームが照射されることから、試料１０が半導体
や絶縁物試料の場合には、試料の帯電を著しく少なくす
ることができる。もちろん、試料に照射される一次電子
ビームの加速電圧が低くされていることから、試料の一
次電子ビームによるダメージも小さくすることができ
る。
子ビームは高い加速電圧で集束作用を受けることから、
一次電子ビームを収差が小さい状態で細く集束させるこ
とが可能となると共に、試料１０には低い加速電圧で一
次電子ビームが照射されることから、試料１０が半導体
や絶縁物試料の場合には、試料の帯電を著しく少なくす
ることができる。もちろん、試料に照射される一次電子
ビームの加速電圧が低くされていることから、試料の一
次電子ビームによるダメージも小さくすることができ
る。
【００１８】試料１０に照射される一次電子ビームＥＢ
は図示していない偏向器によって２次元的に走査され
る。試料１０への一次電子ビームの照射によって発生し
た２次電子１３は、上部電極７と下部電極８との間の電
界によって加速され、磁界型対物レンズ２と静電型対物
レンズ３のレンズ作用により集束作用を受けて光軸方向
に集められ、対物レンズ１の中心部を通って上方に導か
れる。
は図示していない偏向器によって２次元的に走査され
る。試料１０への一次電子ビームの照射によって発生し
た２次電子１３は、上部電極７と下部電極８との間の電
界によって加速され、磁界型対物レンズ２と静電型対物
レンズ３のレンズ作用により集束作用を受けて光軸方向
に集められ、対物レンズ１の中心部を通って上方に導か
れる。
【００１９】対物レンズ１の上部に取り出された２次電
子１３は、ドーナツ状の２次電子検出器１１によって検
出される。検出器１１の検出信号は、図示していない陰
極線管に供給されることから、陰極線管上には走査２次
電子像が表示される。
子１３は、ドーナツ状の２次電子検出器１１によって検
出される。検出器１１の検出信号は、図示していない陰
極線管に供給されることから、陰極線管上には走査２次
電子像が表示される。
【００２０】上記したように、図１の構成の複合対物レ
ンズ１では、一次電子ビームＥＢを小さな収差で細く集
束することができると共に、試料１０からの２次電子を
効率良く集めて２次電子検出器１１に導くことができ
る。
ンズ１では、一次電子ビームＥＢを小さな収差で細く集
束することができると共に、試料１０からの２次電子を
効率良く集めて２次電子検出器１１に導くことができ
る。
【００２１】ところで、本発明者は、複合対物レンズ１
を構成する磁界型対物レンズ２、静電型対物レンズ３の
形状について種々検討を加えたところ、磁界型対物レン
ズ２を構成する上部磁極４の内径と下部磁極５の内径と
の比、静電型対物レンズ３を構成する上部電極７の内径
と下部電極８の内径との比が、２次電子検出器１１にお
ける２次電子検出効率に大きな影響を与えることを見出
だした。
を構成する磁界型対物レンズ２、静電型対物レンズ３の
形状について種々検討を加えたところ、磁界型対物レン
ズ２を構成する上部磁極４の内径と下部磁極５の内径と
の比、静電型対物レンズ３を構成する上部電極７の内径
と下部電極８の内径との比が、２次電子検出器１１にお
ける２次電子検出効率に大きな影響を与えることを見出
だした。
【００２２】すなわち、複合対物レンズ１の上部に２次
電子検出器１１を配置し、磁界型対物レンズ２の下部磁
極５の内径を上部磁極４の内径より大きくすると共に、
接地電位の上部電極７と負電位の下部電極８とより構成
される静電型対物レンズ３の上部電極７の内径を下部電
極８の内径より大きくすることにより、２次電子の検出
効率を高めることができることを見出だした。
電子検出器１１を配置し、磁界型対物レンズ２の下部磁
極５の内径を上部磁極４の内径より大きくすると共に、
接地電位の上部電極７と負電位の下部電極８とより構成
される静電型対物レンズ３の上部電極７の内径を下部電
極８の内径より大きくすることにより、２次電子の検出
効率を高めることができることを見出だした。
【００２３】ここで、図２に示すように、磁界型対物レ
ンズ２の上部磁極４の内径をＤＭ１、下部磁極５の内径
をＤＭ２、静電型対物レンズ３の上部電極７の内径をＤ
Ｅ１、下部電極８の内径をＤＥ２とし、コンピュータシ
ミュレーションにより各内径の値を変化させて２次電子
検出器１１における２次電子の検出効率を求めた。ＤＥ
１／ＤＥ２の値が３〜１２における結果の一例を図３の
表に示す。
ンズ２の上部磁極４の内径をＤＭ１、下部磁極５の内径
をＤＭ２、静電型対物レンズ３の上部電極７の内径をＤ
Ｅ１、下部電極８の内径をＤＥ２とし、コンピュータシ
ミュレーションにより各内径の値を変化させて２次電子
検出器１１における２次電子の検出効率を求めた。ＤＥ
１／ＤＥ２の値が３〜１２における結果の一例を図３の
表に示す。
【００２４】図３の表において、ａのケースではＤＥ１
／ＤＥ２の値が１．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が２．１の
時、２次電子の検出効率は４６％であった。ｂのケース
では、ＤＥ１／ＤＥ２の値が１．０でＤＭ２／ＤＭ１の
値が３．０の時、２次電子の検出効率は４８％であっ
た。ｃのケースではＤＥ１／ＤＥ２の値が２．４でＤＭ
２／ＤＭ１の値が２．１の時、２次電子の検出効率は５
０％であった。
／ＤＥ２の値が１．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が２．１の
時、２次電子の検出効率は４６％であった。ｂのケース
では、ＤＥ１／ＤＥ２の値が１．０でＤＭ２／ＤＭ１の
値が３．０の時、２次電子の検出効率は４８％であっ
た。ｃのケースではＤＥ１／ＤＥ２の値が２．４でＤＭ
２／ＤＭ１の値が２．１の時、２次電子の検出効率は５
０％であった。
【００２５】また、ｄのケースではＤＥ１／ＤＥ２の値
が３．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が２．１の時、２次電子
の検出効率は６４％であった。ｅのケースではＤＥ１／
ＤＥ２の値が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が２．１の
時、２次電子の検出効率は６５％であった。ｆのケース
ではＤＥ１／ＤＥ２の値が１．２５でＤＭ２／ＤＭ１の
値が２．１の時、２次電子の検出効率は６６％であっ
た。
が３．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が２．１の時、２次電子
の検出効率は６４％であった。ｅのケースではＤＥ１／
ＤＥ２の値が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が２．１の
時、２次電子の検出効率は６５％であった。ｆのケース
ではＤＥ１／ＤＥ２の値が１．２５でＤＭ２／ＤＭ１の
値が２．１の時、２次電子の検出効率は６６％であっ
た。
【００２６】更に、ｇのケースではＤＥ１／ＤＥ２の値
が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が１．５の時、２次電子
の検出効率は７２％であった。ｈのケースではＤＥ１／
ＤＥ２の値が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が１．３の
時、２次電子の検出効率は７４％であった。ｉのケース
ではＤＥ１／ＤＥ２の値が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値
が１．４４の時、２次電子の検出効率は７６％であっ
た。
が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が１．５の時、２次電子
の検出効率は７２％であった。ｈのケースではＤＥ１／
ＤＥ２の値が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が１．３の
時、２次電子の検出効率は７４％であった。ｉのケース
ではＤＥ１／ＤＥ２の値が４．０でＤＭ２／ＤＭ１の値
が１．４４の時、２次電子の検出効率は７６％であっ
た。
【００２７】また更に、ｊのケースではＤＥ１／ＤＥ２
の値が６．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が１．４４の時、２
次電子の検出効率は７１％であった。ｋのケースではＤ
Ｅ１／ＤＥ２の値が１０．８でＤＭ２／ＤＭ１の値が
１．２７の時、２次電子の検出効率は７１％であった。
の値が６．０でＤＭ２／ＤＭ１の値が１．４４の時、２
次電子の検出効率は７１％であった。ｋのケースではＤ
Ｅ１／ＤＥ２の値が１０．８でＤＭ２／ＤＭ１の値が
１．２７の時、２次電子の検出効率は７１％であった。
【００２８】図４は縦軸をＤＥ１／ＤＥ２、横軸をＤＭ
２／ＤＭ１とし、上記した各シミュレーションの結果を
プロットしたものである。この図３、図４から下部磁極
の内径は上部磁極の内径より大きいこと、特に、下部磁
極の内径ＤＭ２は、上部磁極の内径ＤＭ１の１．２倍程
度乃至１．５倍程度であれば、顕著に２次電子の検出効
率が向上することが導かれる。なお、ＤＭ２／ＤＭ１の
値があまり大きくなってもそれ程の効果が得られないこ
とも判明した。
２／ＤＭ１とし、上記した各シミュレーションの結果を
プロットしたものである。この図３、図４から下部磁極
の内径は上部磁極の内径より大きいこと、特に、下部磁
極の内径ＤＭ２は、上部磁極の内径ＤＭ１の１．２倍程
度乃至１．５倍程度であれば、顕著に２次電子の検出効
率が向上することが導かれる。なお、ＤＭ２／ＤＭ１の
値があまり大きくなってもそれ程の効果が得られないこ
とも判明した。
【００２９】また、静電型対物レンズ３の上部電極７の
内径ＤＥ１は、下部電極８の内径ＤＥ２より大きいこ
と、特に、その比が３倍以上であれば、顕著に２次電子
の検出効率が向上することが導かれる。
内径ＤＥ１は、下部電極８の内径ＤＥ２より大きいこ
と、特に、その比が３倍以上であれば、顕著に２次電子
の検出効率が向上することが導かれる。
【００３０】
【発明の効果】第１の発明に基づく走査電子顕微鏡は、
電子銃からの電子ビームを対物レンズによって試料上に
細く集束すると共に、試料上で電子ビームを２次元的に
走査し、この走査に基づいて試料から得られた信号に基
づいて試料像を陰極線管上に表示するようにした走査電
子顕微鏡において、対物レンズを磁界型対物レンズと磁
界型対物レンズの形成する磁場内に配置された静電型対
物レンズとにより構成された複合レンズとし、複合対物
レンズの上部に２次電子検出器を配置し、磁界型対物レ
ンズの下部磁極内径を上部磁極内径より大きくすると共
に、静電型対物レンズを接地電位の上部電極と負電位の
下部電極とより構成し、この上部電極の内径を下部電極
の内径より大きくした。この結果、簡単な構成で試料か
らの２次電子の検出効率を向上させることができる。
電子銃からの電子ビームを対物レンズによって試料上に
細く集束すると共に、試料上で電子ビームを２次元的に
走査し、この走査に基づいて試料から得られた信号に基
づいて試料像を陰極線管上に表示するようにした走査電
子顕微鏡において、対物レンズを磁界型対物レンズと磁
界型対物レンズの形成する磁場内に配置された静電型対
物レンズとにより構成された複合レンズとし、複合対物
レンズの上部に２次電子検出器を配置し、磁界型対物レ
ンズの下部磁極内径を上部磁極内径より大きくすると共
に、静電型対物レンズを接地電位の上部電極と負電位の
下部電極とより構成し、この上部電極の内径を下部電極
の内径より大きくした。この結果、簡単な構成で試料か
らの２次電子の検出効率を向上させることができる。
【００３１】第２の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲としたこと
を特徴としており、試料からの２次電子の検出効率を向
上させることができる。
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲としたこと
を特徴としており、試料からの２次電子の検出効率を向
上させることができる。
【００３２】第３の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、静電型対物レンズの上部電極内径と
下部電極内径との比を３〜１２の範囲としたことを特徴
としており、試料からの２次電子の検出効率を向上させ
ることができる。
１の発明において、静電型対物レンズの上部電極内径と
下部電極内径との比を３〜１２の範囲としたことを特徴
としており、試料からの２次電子の検出効率を向上させ
ることができる。
【００３３】第４の発明に基づく走査電子顕微鏡は、第
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲とし、静電
型対物レンズの上部電極内径と下部電極内径との比を３
〜１２の範囲としたことを特徴としており、試料からの
２次電子の検出効率を向上させることができる。
１の発明において、磁界型対物レンズの下部磁極内径と
上部磁極内径との比を１．２〜２．０の範囲とし、静電
型対物レンズの上部電極内径と下部電極内径との比を３
〜１２の範囲としたことを特徴としており、試料からの
２次電子の検出効率を向上させることができる。
【図１】本発明に基づく走査電子顕微鏡の要部を示す図
である。
である。
【図２】磁界型対物レンズと静電型対物レンズ部分の拡
大図である。
大図である。
【図３】２次電子の検出効率のコンピュータシミュレー
ション結果を示す表である。
ション結果を示す表である。
【図４】図３のシミュレーション結果を縦軸をＤＥ１／
ＤＥ２、横軸をＤＭ２／ＤＭ１としたグラフ上にプロッ
トした結果を示す図である。
ＤＥ２、横軸をＤＭ２／ＤＭ１としたグラフ上にプロッ
トした結果を示す図である。
１ 複合対物レンズ ２ 磁界型対物レンズ ３ 静電型対物レンズ ４ 上部磁極 ５ 下部磁極 ６ 励磁コイル ７ 上部電極 ８ 下部電極 ９ 電源 １０ 試料 １１ ２次電子検出器
Claims (4)
- 【請求項１】 電子銃からの電子ビームを対物レンズに
よって試料上に細く集束すると共に、試料上で電子ビー
ムを２次元的に走査し、この走査に基づいて試料から得
られた信号に基づいて試料像を陰極線管上に表示するよ
うにした走査電子顕微鏡において、対物レンズを磁界型
対物レンズと磁界型対物レンズの形成する磁場内に配置
された静電型対物レンズとにより構成された複合レンズ
とし、複合対物レンズの上部に２次電子検出器を配置
し、磁界型対物レンズの下部磁極内径を上部磁極内径よ
り大きくすると共に、静電型対物レンズを接地電位の上
部電極と負電位の下部電極とより構成し、この上部電極
の内径を下部電極の内径より大きくしたことを特徴とす
る走査電子顕微鏡。 - 【請求項２】 磁界型対物レンズの下部磁極内径と上部
磁極内径との比が１．２〜２．０の範囲であることを特
徴とする請求項１記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項３】 静電型対物レンズの上部電極内径と下部
電極内径との比が３〜１２の範囲であることを特徴とす
る請求項１記載の走査電子顕微鏡。 - 【請求項４】 磁界型対物レンズの下部磁極内径と上部
磁極内径との比が１．２〜２．０の範囲であり、静電型
対物レンズの上部電極内径と下部電極内径との比が３〜
１２の範囲であることを特徴とする請求項１記載の走査
電子顕微鏡。
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|---|---|---|---|
| JP35622498A JP3517596B2 (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 走査電子顕微鏡 |
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|---|---|---|---|
| JP35622498A JP3517596B2 (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 走査電子顕微鏡 |
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| JP2000182558A true JP2000182558A (ja) | 2000-06-30 |
| JP3517596B2 JP3517596B2 (ja) | 2004-04-12 |
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|---|---|---|---|
| JP35622498A Expired - Fee Related JP3517596B2 (ja) | 1998-12-15 | 1998-12-15 | 走査電子顕微鏡 |
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|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008107189A2 (en) * | 2007-03-06 | 2008-09-12 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Objective lens |
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-
1998
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| US8362443B2 (en) | 2007-03-06 | 2013-01-29 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Objective lens |
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