JP2000181536A - 故障診断方法 - Google Patents
故障診断方法Info
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- JP2000181536A JP2000181536A JP35682798A JP35682798A JP2000181536A JP 2000181536 A JP2000181536 A JP 2000181536A JP 35682798 A JP35682798 A JP 35682798A JP 35682798 A JP35682798 A JP 35682798A JP 2000181536 A JP2000181536 A JP 2000181536A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 故障診断方法において、故障停止により生産
の段取りに時間を費やさないために、故障を診断する事
前予測における信頼性を高め、故障の事前予測を正確に
通知することを目的とする。 【解決手段】 シーケンス動作部110 が、動作を開始
する前にテーブルの開始／終了103 を１とすることに
より、時間計測部111 がテーブルの経過時間104を更新
し、判断処理部112 がテーブルの経過時間104 と平均
時間105cと異常状態を判断する基準時間106bを判断し、
異常の場合は警告を通知することにより、生産状況にあ
った故障の事前予測に高い信頼性を得ることができ、故
障の事前予測を正確に通知することができる。さらに、
判断処理部112 がテーブルのオーバー回数107 とオー
バー回数基準108 を監視し、警告通知を繰り返した
後、製造装置を停止させることにより、突然の故障によ
る停止を無くすことができる。
の段取りに時間を費やさないために、故障を診断する事
前予測における信頼性を高め、故障の事前予測を正確に
通知することを目的とする。 【解決手段】 シーケンス動作部110 が、動作を開始
する前にテーブルの開始／終了103 を１とすることに
より、時間計測部111 がテーブルの経過時間104を更新
し、判断処理部112 がテーブルの経過時間104 と平均
時間105cと異常状態を判断する基準時間106bを判断し、
異常の場合は警告を通知することにより、生産状況にあ
った故障の事前予測に高い信頼性を得ることができ、故
障の事前予測を正確に通知することができる。さらに、
判断処理部112 がテーブルのオーバー回数107 とオー
バー回数基準108 を監視し、警告通知を繰り返した
後、製造装置を停止させることにより、突然の故障によ
る停止を無くすことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造装置の故障診
断方法に関するものである。
断方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、製造装置の故障停止に関しては、
故障発生時、あるいは故障発生後に、製造装置の制御シ
ステムが故障の発生を検知することにより、その故障内
容を装置の操作画面などに表示しオペレータに通知して
いた。
故障発生時、あるいは故障発生後に、製造装置の制御シ
ステムが故障の発生を検知することにより、その故障内
容を装置の操作画面などに表示しオペレータに通知して
いた。
【０００３】また、故障を事前に予測する手段として、
製造装置を構成する各ユニットの運転時間、あるいは運
転回数を計測し、所定の時間あるいは回数に達したなら
ば製造装置の操作画面などに表示し、オペレータに点検
時期を通知するものであった。
製造装置を構成する各ユニットの運転時間、あるいは運
転回数を計測し、所定の時間あるいは回数に達したなら
ば製造装置の操作画面などに表示し、オペレータに点検
時期を通知するものであった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の故
障の発生を検知してからオペレータへの通知の方法で
は、突然に製造装置が停止し、生産の段取りがとれなく
なるという問題があり、また各ユニットの運転時間・運
転回数を計測する方法では、経験的に決定した時間・回
数をもとに予測するため、製造装置の運転状況などによ
り点検を必要としない時期に、点検時期が通知されると
いう問題があった。
障の発生を検知してからオペレータへの通知の方法で
は、突然に製造装置が停止し、生産の段取りがとれなく
なるという問題があり、また各ユニットの運転時間・運
転回数を計測する方法では、経験的に決定した時間・回
数をもとに予測するため、製造装置の運転状況などによ
り点検を必要としない時期に、点検時期が通知されると
いう問題があった。
【０００５】また製造装置の故障診断方法においては、
生産の段取りを予め調整するために、故障の事前予測を
より正確に行い、点検時期を明確にすることが要求され
ている。
生産の段取りを予め調整するために、故障の事前予測を
より正確に行い、点検時期を明確にすることが要求され
ている。
【０００６】本発明は、このような故障診断方法におい
て、故障停止により生産の段取りに時間を費やさないた
めに、故障を診断する事前予測における信頼性を高め、
故障の事前予測を正確に通知することを目的とする。
て、故障停止により生産の段取りに時間を費やさないた
めに、故障を診断する事前予測における信頼性を高め、
故障の事前予測を正確に通知することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の故障診断方法
は、製造装置の動作を構成する一連のシーケンス、ある
いは１つの動作の時間を計測し、その計測した動作時間
と前回までの動作時間の平均時間との絶対差を演算し、
この絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えているかどうかを判断し、前記絶対差演算時間が異常
状態を判断する基準時間を超えていないとき、前記絶対
差演算時間が通常状態を判断する基準時間を超えている
かどうかを判断し、通常状態を判断する基準時間を超え
ていないとき、前記計測した動作時間により動作時間の
平均時間を更新し、前記絶対差演算時間が通常状態を判
断する基準時間を超えたときは平均時間を更新せず、前
記絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超え
たとき、前記製造装置の動作に異常が発生したと判断
し、前記製造装置の動作の異常の発生回数を更新し、こ
の更新した異常発生回数が基準回数を超えているかどう
かを判断し、超えてないときオペレータに警告通知し、
超えているとき前記製造装置の動作を停止することを特
徴としたものである。
は、製造装置の動作を構成する一連のシーケンス、ある
いは１つの動作の時間を計測し、その計測した動作時間
と前回までの動作時間の平均時間との絶対差を演算し、
この絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えているかどうかを判断し、前記絶対差演算時間が異常
状態を判断する基準時間を超えていないとき、前記絶対
差演算時間が通常状態を判断する基準時間を超えている
かどうかを判断し、通常状態を判断する基準時間を超え
ていないとき、前記計測した動作時間により動作時間の
平均時間を更新し、前記絶対差演算時間が通常状態を判
断する基準時間を超えたときは平均時間を更新せず、前
記絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超え
たとき、前記製造装置の動作に異常が発生したと判断
し、前記製造装置の動作の異常の発生回数を更新し、こ
の更新した異常発生回数が基準回数を超えているかどう
かを判断し、超えてないときオペレータに警告通知し、
超えているとき前記製造装置の動作を停止することを特
徴としたものである。
【０００８】この本発明によれば、故障停止により生産
の段取りに時間を費やさないために、故障を診断する事
前予測における信頼性を高め、故障の事前予測を正確に
通知する故障診断方法が得られる。
の段取りに時間を費やさないために、故障を診断する事
前予測における信頼性を高め、故障の事前予測を正確に
通知する故障診断方法が得られる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、製造装置の動作を構成する一連のシーケンス、ある
いは１つの動作の時間を計測し、その計測した動作時間
と前回までの動作時間の平均時間との絶対差を演算し、
この絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えているかどうかを判断し、前記絶対差演算時間が異常
状態を判断する基準時間を超えていないとき、前記絶対
差演算時間が通常状態を判断する基準時間を超えている
かどうかを判断し、通常状態を判断する基準時間を超え
ていないとき、前記計測した動作時間により動作時間の
平均時間を更新し、前記絶対差演算時間が通常状態を判
断する基準時間を超えたときは平均時間を更新せず、前
記絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超え
たとき、前記製造装置の動作に異常が発生したと判断
し、前記製造装置の動作の異常の発生回数を更新し、こ
の更新した異常発生回数が基準回数を超えているかどう
かを判断し、超えてないときオペレータに警告通知し、
超えているとき前記製造装置の動作を停止することを特
徴としたものであり、製造装置の生産状況により変移す
る動作時間の平均時間と、計測した動作時間と、異常状
態を判断する基準時間により製造装置の動作の異常が判
断され、異常と判断されたとき、製造装置の動作の異常
の発生回数が更新され、この更新した異常発生回数が基
準回数を超えているかどうかかが判断され、超えてない
ときオペレータに異常発生の警告が通知され、超えてい
るとき最終には製造装置の動作が停止されるという作用
を有する。
は、製造装置の動作を構成する一連のシーケンス、ある
いは１つの動作の時間を計測し、その計測した動作時間
と前回までの動作時間の平均時間との絶対差を演算し、
この絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えているかどうかを判断し、前記絶対差演算時間が異常
状態を判断する基準時間を超えていないとき、前記絶対
差演算時間が通常状態を判断する基準時間を超えている
かどうかを判断し、通常状態を判断する基準時間を超え
ていないとき、前記計測した動作時間により動作時間の
平均時間を更新し、前記絶対差演算時間が通常状態を判
断する基準時間を超えたときは平均時間を更新せず、前
記絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超え
たとき、前記製造装置の動作に異常が発生したと判断
し、前記製造装置の動作の異常の発生回数を更新し、こ
の更新した異常発生回数が基準回数を超えているかどう
かを判断し、超えてないときオペレータに警告通知し、
超えているとき前記製造装置の動作を停止することを特
徴としたものであり、製造装置の生産状況により変移す
る動作時間の平均時間と、計測した動作時間と、異常状
態を判断する基準時間により製造装置の動作の異常が判
断され、異常と判断されたとき、製造装置の動作の異常
の発生回数が更新され、この更新した異常発生回数が基
準回数を超えているかどうかかが判断され、超えてない
ときオペレータに異常発生の警告が通知され、超えてい
るとき最終には製造装置の動作が停止されるという作用
を有する。
【００１０】このように、製造装置の生産状況により変
移する動作時間の平均時間を使用し、異常と判断したと
き警告が通知されることにより、生産状況にあった故障
の事前予測に高い信頼性を得、故障の事前予測を正確に
通知することができ、基準回数を超えたとき製造装置を
停止させることにより、突然の故障停止を無くすことが
できる。
移する動作時間の平均時間を使用し、異常と判断したと
き警告が通知されることにより、生産状況にあった故障
の事前予測に高い信頼性を得、故障の事前予測を正確に
通知することができ、基準回数を超えたとき製造装置を
停止させることにより、突然の故障停止を無くすことが
できる。
【００１１】請求項２に記載の発明は、上記請求項１に
記載の発明であって、前記警告通知は、製造装置の動作
と異常発生回数をオペレータの操作画面に表示すること
により行うことを特徴とするものであり、オペレータ
は、警告された製造装置の動作と異常発生回数により製
造装置の点検時期を予め設定することが可能となるとい
う作用を有する。
記載の発明であって、前記警告通知は、製造装置の動作
と異常発生回数をオペレータの操作画面に表示すること
により行うことを特徴とするものであり、オペレータ
は、警告された製造装置の動作と異常発生回数により製
造装置の点検時期を予め設定することが可能となるとい
う作用を有する。
【００１２】以下、本発明の実施の形態を図１〜図４を
用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態における
故障診断方法において使用する、時間の計測処理と判断
処理のためのテーブルと処理系の関係を表したものであ
り、処理系がテーブル上のどのデータに対してアクセス
するかを方向１０１で示している。
用いて説明する。図１は、本発明の実施の形態における
故障診断方法において使用する、時間の計測処理と判断
処理のためのテーブルと処理系の関係を表したものであ
り、処理系がテーブル上のどのデータに対してアクセス
するかを方向１０１で示している。
【００１３】テーブルについて説明する。なお、テーブ
ルは各動作毎に定義される。１０２は、製造装置が生産
中定常状態となると１、定常状態でないときに０がセッ
トされる平均化可能（フラグ）であり、この平均化可能
が１のとき、後述する平均が行われる。１０３は、時間
計測開始で１、終了で０がセットされる開始／終了（フ
ラグ）、１０４は動作中の経過時間が格納される経過時
間（メモリ）、１０５ａは平均を求めるための合計時間
が格納される合計時間（メモリ）、１０５ｂは平均を求
めるための回数が格納される合計回数（メモリ）、１０
５ｃは平均時間が格納される平均時間（メモリ）、１０
６ａは、後述する通常状態を判断する基準時間が格納さ
れる基準時間（メモリ）、１０６ｂは、後述する異常状
態を判断する基準時間が格納される基準時間（メモ
リ）、１０７は、カウントされた現状のオーバー回数が
格納されるオーバー回数（メモリ）である。また、１０
８はオーバー回数の基準回数が格納されるオーバー回数
基準（メモリ）であり、オーバー回数がこの基準回数を
超えると製造装置は停止される。
ルは各動作毎に定義される。１０２は、製造装置が生産
中定常状態となると１、定常状態でないときに０がセッ
トされる平均化可能（フラグ）であり、この平均化可能
が１のとき、後述する平均が行われる。１０３は、時間
計測開始で１、終了で０がセットされる開始／終了（フ
ラグ）、１０４は動作中の経過時間が格納される経過時
間（メモリ）、１０５ａは平均を求めるための合計時間
が格納される合計時間（メモリ）、１０５ｂは平均を求
めるための回数が格納される合計回数（メモリ）、１０
５ｃは平均時間が格納される平均時間（メモリ）、１０
６ａは、後述する通常状態を判断する基準時間が格納さ
れる基準時間（メモリ）、１０６ｂは、後述する異常状
態を判断する基準時間が格納される基準時間（メモ
リ）、１０７は、カウントされた現状のオーバー回数が
格納されるオーバー回数（メモリ）である。また、１０
８はオーバー回数の基準回数が格納されるオーバー回数
基準（メモリ）であり、オーバー回数がこの基準回数を
超えると製造装置は停止される。
【００１４】処理系は、シーケンス動作部１１０と時間
計測部１１１と判断処理部１１２から構成されている。
シーケンス動作部１１０の動作を図２のフローチャート
にしたがって説明する。
計測部１１１と判断処理部１１２から構成されている。
シーケンス動作部１１０の動作を図２のフローチャート
にしたがって説明する。
【００１５】まず、テーブルの開始／終了１０３を１と
し（ステップ−２０１）、動作を開始する（ステップ−
２０２）。動作が完了すると（ステップ−２０３）、テ
ーブルの開始／終了１０３を０とする（ステップ−２０
４）。
し（ステップ−２０１）、動作を開始する（ステップ−
２０２）。動作が完了すると（ステップ−２０３）、テ
ーブルの開始／終了１０３を０とする（ステップ−２０
４）。
【００１６】次に、上記時間計測部１１１の動作を図３
のフローチャートにしたがって説明する。この時間計測
部１１１はインターバルタイマーにより１００ｍｓｅｃ
毎に実行される。
のフローチャートにしたがって説明する。この時間計測
部１１１はインターバルタイマーにより１００ｍｓｅｃ
毎に実行される。
【００１７】まず、テーブルの開始／終了１０３が１が
どうかが判断され（ステップ−３０１）、テーブルの開
始／終了１０３が１ならば、テーブルの経過時間１０４
を更新し（ステップ−３０２）、テーブルの開始／終了
１０３が０ならば、動作が完了したどうかを調べるた
め、テーブルの開始／終了１０３が１から０に変化した
かを確認し（ステップ−３０３）、変化していれば、図
４に示す判断処理（判断処理部１１２による処理）を実
行する（ステップ−３０４）。そして、判断処理部１１
２において判断された結果を確認し（ステップ−３０
５）、ＯＫならば、製造装置の動作が定常状態になって
いることを示すテーブルの平均化可能１０１を確認し
（ステップ−３０６）、平均化可能１０１が１ならば、
テーブルの経過時間１０４とテーブルの平均時間１０５
ｃの絶対差がテーブルの通常状態を判断する基準時間１
０６ａ以内かを判断し（ステップ−３０７）、基準時間
以内ならば、テーブルの経過時間１０４と合計時間１０
５ａを加算して合計時間１０５ａを更新し、合計回数１
０５ｂに１を加算して合計回数１０５ｂを更新し、合計
時間１０５ａを合計回数１０５ｂで除算して平均時間を
計算しテーブルの平均時間１０５ｃを更新する（ステッ
プ−３０８）。
どうかが判断され（ステップ−３０１）、テーブルの開
始／終了１０３が１ならば、テーブルの経過時間１０４
を更新し（ステップ−３０２）、テーブルの開始／終了
１０３が０ならば、動作が完了したどうかを調べるた
め、テーブルの開始／終了１０３が１から０に変化した
かを確認し（ステップ−３０３）、変化していれば、図
４に示す判断処理（判断処理部１１２による処理）を実
行する（ステップ−３０４）。そして、判断処理部１１
２において判断された結果を確認し（ステップ−３０
５）、ＯＫならば、製造装置の動作が定常状態になって
いることを示すテーブルの平均化可能１０１を確認し
（ステップ−３０６）、平均化可能１０１が１ならば、
テーブルの経過時間１０４とテーブルの平均時間１０５
ｃの絶対差がテーブルの通常状態を判断する基準時間１
０６ａ以内かを判断し（ステップ−３０７）、基準時間
以内ならば、テーブルの経過時間１０４と合計時間１０
５ａを加算して合計時間１０５ａを更新し、合計回数１
０５ｂに１を加算して合計回数１０５ｂを更新し、合計
時間１０５ａを合計回数１０５ｂで除算して平均時間を
計算しテーブルの平均時間１０５ｃを更新する（ステッ
プ−３０８）。
【００１８】次に、上記判断処理部１１２の動作を図４
のフローチャートにしたがって説明する。上記時間計測
部１１１のステップ−３０４にて実行される。まず、テ
ーブルの経過時間１０４とテーブルの平均時間１０５ｃ
の絶対差がテーブルの異常状態を判断する基準時間１０
６ｂ以内かを判断し（ステップ−４０１）、基準時間以
内ならば、時間計測部１１１へ出力する判断結果をＯＫ
とし（ステップ−４０２）、基準時間以内でなければ、
テーブルのオーバー回数１０７に１を加算してオーバー
回数１０７を更新し（ステップ−４０３）、テーブルの
オーバー回数１０７とテーブルのオーバー基準回数１０
８を比較し（ステップ−４０４）、超えていれば、製造
装置を停止させ（ステップ−４０５）、テーブルのオー
バー回数１０７がテーブルのオーバー基準回数１０８を
超えていなければ、製造装置の動作とテーブルのオーバ
ー回数１０７と警告を操作画面に表示し（ステップ−４
０６）、時間計測部１１１へ出力する判断結果をＮＧと
する（ステップ−４０７）。
のフローチャートにしたがって説明する。上記時間計測
部１１１のステップ−３０４にて実行される。まず、テ
ーブルの経過時間１０４とテーブルの平均時間１０５ｃ
の絶対差がテーブルの異常状態を判断する基準時間１０
６ｂ以内かを判断し（ステップ−４０１）、基準時間以
内ならば、時間計測部１１１へ出力する判断結果をＯＫ
とし（ステップ−４０２）、基準時間以内でなければ、
テーブルのオーバー回数１０７に１を加算してオーバー
回数１０７を更新し（ステップ−４０３）、テーブルの
オーバー回数１０７とテーブルのオーバー基準回数１０
８を比較し（ステップ−４０４）、超えていれば、製造
装置を停止させ（ステップ−４０５）、テーブルのオー
バー回数１０７がテーブルのオーバー基準回数１０８を
超えていなければ、製造装置の動作とテーブルのオーバ
ー回数１０７と警告を操作画面に表示し（ステップ−４
０６）、時間計測部１１１へ出力する判断結果をＮＧと
する（ステップ−４０７）。
【００１９】上記シーケンス動作部１１０と時間計測部
１１１と判断処理部１１２の動作により、シーケンス動
作部１１０が、製造装置の動作を構成する一連のシーケ
ンス、あるいは１つの動作の動作中にテーブルの開始／
終了１０３を１とすることにより、時間計測部１１１が
テーブルの経過時間１０４を更新し、動作時間の計測が
終了すると、判断処理部１１２が実行され、判断処理部
１１２がテーブルの経過時間１０４と平均時間１０５と
異常状態を判断する基準時間１０６ｂを判断し、異常が
発生したと判断すると、オーバー回数を更新し、基準回
数を超えると製造装置の動作を停止させ、超えていない
ときはオペレータへ製造装置の動作とテーブルのオーバ
ー回数１０７と警告を通知する。また判断がＯＫなとき
は、平均化可能１０２が判断され、可能なときに平均時
間１０５ｃが更新される。
１１１と判断処理部１１２の動作により、シーケンス動
作部１１０が、製造装置の動作を構成する一連のシーケ
ンス、あるいは１つの動作の動作中にテーブルの開始／
終了１０３を１とすることにより、時間計測部１１１が
テーブルの経過時間１０４を更新し、動作時間の計測が
終了すると、判断処理部１１２が実行され、判断処理部
１１２がテーブルの経過時間１０４と平均時間１０５と
異常状態を判断する基準時間１０６ｂを判断し、異常が
発生したと判断すると、オーバー回数を更新し、基準回
数を超えると製造装置の動作を停止させ、超えていない
ときはオペレータへ製造装置の動作とテーブルのオーバ
ー回数１０７と警告を通知する。また判断がＯＫなとき
は、平均化可能１０２が判断され、可能なときに平均時
間１０５ｃが更新される。
【００２０】このように、製造装置の動作を構成する一
連のシーケンス、あるいは１つの動作毎に、経過時間
（動作時間）１０４を前回までの平均時間１０５ｃと異
常状態を判断する基準時間１０６ｂにより監視している
ことにより、生産状況にあって変移する平均時間１０５
ｃに見合った故障の事前予測に高い信頼性が得られる。
また定常状態で動作が行われたときのみ（平均化可能１
０２が１のときのみ）、平均時間１０５ｃが更新される
ことにより、動作時間の判断に使用される平均時間１０
５ｃの信頼性を増すことができ、故障の予測の信頼性を
向上させることができる。
連のシーケンス、あるいは１つの動作毎に、経過時間
（動作時間）１０４を前回までの平均時間１０５ｃと異
常状態を判断する基準時間１０６ｂにより監視している
ことにより、生産状況にあって変移する平均時間１０５
ｃに見合った故障の事前予測に高い信頼性が得られる。
また定常状態で動作が行われたときのみ（平均化可能１
０２が１のときのみ）、平均時間１０５ｃが更新される
ことにより、動作時間の判断に使用される平均時間１０
５ｃの信頼性を増すことができ、故障の予測の信頼性を
向上させることができる。
【００２１】さらに、判断処理部１１２がテーブルのオ
ーバー回数１０７とオーバー回数基準１０８を監視し、
異常の場合は製造装置が故障で停止する前に、画面など
を通じて予め製造装置の動作とテーブルのオーバー回数
１０７と警告を表示することにより、事前に生産の段取
りを変更し製造装置の点検時期を予め設定することがで
き、故障が発生する前に製造装置を点検でき、また予め
警告を発することにより突然の故障による製造装置の停
止を無くすことができる。
ーバー回数１０７とオーバー回数基準１０８を監視し、
異常の場合は製造装置が故障で停止する前に、画面など
を通じて予め製造装置の動作とテーブルのオーバー回数
１０７と警告を表示することにより、事前に生産の段取
りを変更し製造装置の点検時期を予め設定することがで
き、故障が発生する前に製造装置を点検でき、また予め
警告を発することにより突然の故障による製造装置の停
止を無くすことができる。
【００２２】また、警告表示後も生産を続けた場合にお
いても、最終警告として、製造装置が生産を打ち切り、
製造装置の点検をうながすことができる。さらに、これ
ら警告と製造装置の停止を行う設定に関するパラメータ
（異常状態を判断する基準時間１０６ｂとオーバー回数
基準１０８）は開放されており、生産現場の状況に応じ
てチューニングすることができ、生産にあった故障の事
前予測を行うことができる。
いても、最終警告として、製造装置が生産を打ち切り、
製造装置の点検をうながすことができる。さらに、これ
ら警告と製造装置の停止を行う設定に関するパラメータ
（異常状態を判断する基準時間１０６ｂとオーバー回数
基準１０８）は開放されており、生産現場の状況に応じ
てチューニングすることができ、生産にあった故障の事
前予測を行うことができる。
【００２３】なお、本実施の形態では、判断処理部１１
２の判断に平均時間１０５ｃを用いたが、予め決定した
固定値を用いても効果が得られる。また、テーブルを用
いた時間計測と判断処理を示したが、テーブルを使用せ
ずプログラムとして作り込んでも同様の効果が得られ
る。また、判断処理部１１２の異常状態を判断する基準
時間１０６ｂとして固定値を用いたが、経過時間１０４
が平均時間１０５ｃに対してどの程度ずれているかとい
う割合を用いても同様の効果が得られる。
２の判断に平均時間１０５ｃを用いたが、予め決定した
固定値を用いても効果が得られる。また、テーブルを用
いた時間計測と判断処理を示したが、テーブルを使用せ
ずプログラムとして作り込んでも同様の効果が得られ
る。また、判断処理部１１２の異常状態を判断する基準
時間１０６ｂとして固定値を用いたが、経過時間１０４
が平均時間１０５ｃに対してどの程度ずれているかとい
う割合を用いても同様の効果が得られる。
【００２４】
【実施例】次に本発明の具体的な実施例を説明する。図
５は本発明の実施例である製造装置の概略図、図６はド
ライエッチングの動作を示すフローチャート、図７は警
告と製造装置の停止を行うためのパラメータ設定画面
と、警告および製造装置停止時の表示画面図、図８は製
造装置の排気処理の構成図、図９は図８の排気処理のフ
ローチャートである。
５は本発明の実施例である製造装置の概略図、図６はド
ライエッチングの動作を示すフローチャート、図７は警
告と製造装置の停止を行うためのパラメータ設定画面
と、警告および製造装置停止時の表示画面図、図８は製
造装置の排気処理の構成図、図９は図８の排気処理のフ
ローチャートである。
【００２５】図５に示す製造装置は、真空室５０５を使
用してウェハ５０６の薄膜をドライエッチングする製造
装置である。ウェハ５０６が入ったカセット５０１をセ
ットする室５０２と、ウェハ５０６を搬送するロボット
５０３が組み込まれている室５０４と、薄膜をドライエ
ッチングする上記真空室５０５から構成されている。
用してウェハ５０６の薄膜をドライエッチングする製造
装置である。ウェハ５０６が入ったカセット５０１をセ
ットする室５０２と、ウェハ５０６を搬送するロボット
５０３が組み込まれている室５０４と、薄膜をドライエ
ッチングする上記真空室５０５から構成されている。
【００２６】装置の動作は、カセット５０１からロボッ
ト５０３がウェハ５０６を取り出し、ドライエッチング
する真空室５０５にウェハ５０６を搬入し、ドライエッ
チングを行った後、ロボット５０３がウェハ５０６を取
り出し、カセット５０１に返却するものである。
ト５０３がウェハ５０６を取り出し、ドライエッチング
する真空室５０５にウェハ５０６を搬入し、ドライエッ
チングを行った後、ロボット５０３がウェハ５０６を取
り出し、カセット５０１に返却するものである。
【００２７】上記製造装置における、ドライエッチング
動作を図６のフローチャートにしたがって説明する。ウ
ェハ５０６がドライエッチングする真空室５０５に搬入
されたあと、まず真空排気を行い（ステップ−６０
１）、高真空を検出すると（ステップ−６０２）、ガス
を導入し、圧力を調整する（ステップ−６０３）。
動作を図６のフローチャートにしたがって説明する。ウ
ェハ５０６がドライエッチングする真空室５０５に搬入
されたあと、まず真空排気を行い（ステップ−６０
１）、高真空を検出すると（ステップ−６０２）、ガス
を導入し、圧力を調整する（ステップ−６０３）。
【００２８】ガスの流量が安定し、圧力の調整が完了す
ると（ステップ−６０４）、高周波印可を開始し（ステ
ップ−６０５）、所定の時間を経過すると（ステップ−
６０６）、高周波印可とガスの導入を停止し（ステップ
−６０７）、真空排気を行い（ステップ−６０８）、高
真空を検出すると（ステップ−６０９）、終了となる。
ると（ステップ−６０４）、高周波印可を開始し（ステ
ップ−６０５）、所定の時間を経過すると（ステップ−
６０６）、高周波印可とガスの導入を停止し（ステップ
−６０７）、真空排気を行い（ステップ−６０８）、高
真空を検出すると（ステップ−６０９）、終了となる。
【００２９】上記一連のシーケンスの中で、最終の真空
排気の動作（ステップ−６０８／６０９）を例にとって
この動作の故障診断処理を説明する。ステップ−６０７
において高周波印可とガスの導入を停止し、ステップ−
６０８／６０９の真空排気を行うときに図８の処理系に
おける、シーケンス動作部１１０の動作を図９のフロー
チャートにしたがって説明する。
排気の動作（ステップ−６０８／６０９）を例にとって
この動作の故障診断処理を説明する。ステップ−６０７
において高周波印可とガスの導入を停止し、ステップ−
６０８／６０９の真空排気を行うときに図８の処理系に
おける、シーケンス動作部１１０の動作を図９のフロー
チャートにしたがって説明する。
【００３０】まず時間計測・判断用テーブル（図１）の
開始／終了１０３に１をセットし（ステップ−９０
１）、圧力調整器８０４とポンプ８０５（図８）を駆動
して真空室５０５の真空排気の動作を行う（ステップ−
９０２）。その後、真空排気の終了にあたる高真空を検
出すると（ステップ−９０３）、時間計測・判断用テー
ブルの開始／終了１０３に０をセットする（ステップ−
９０４）。
開始／終了１０３に１をセットし（ステップ−９０
１）、圧力調整器８０４とポンプ８０５（図８）を駆動
して真空室５０５の真空排気の動作を行う（ステップ−
９０２）。その後、真空排気の終了にあたる高真空を検
出すると（ステップ−９０３）、時間計測・判断用テー
ブルの開始／終了１０３に０をセットする（ステップ−
９０４）。
【００３１】上記真空排気の一連の動作を時間計測部１
１１と判断処理部１１２が、図１のテーブルおよび図３
と図４のフローチャートに従い処理する。ドライエッチ
ングする真空室５０５が初期の状態から、生産を続けて
いくと、ドライエッチングした時のデポにより、排気配
管８０３と圧力調整器８０４とポンプ８０５にデポ物が
付着し、排気能力が低下し、排気開始から高真空検出ま
での時間が徐々に長くなる。
１１と判断処理部１１２が、図１のテーブルおよび図３
と図４のフローチャートに従い処理する。ドライエッチ
ングする真空室５０５が初期の状態から、生産を続けて
いくと、ドライエッチングした時のデポにより、排気配
管８０３と圧力調整器８０４とポンプ８０５にデポ物が
付着し、排気能力が低下し、排気開始から高真空検出ま
での時間が徐々に長くなる。
【００３２】そして、警告と製造装置停止のために図７
に示すパラメータ設定画面７０１により設定された異常
状態を判断する基準時間１０６ｂとオーバー回数基準１
０７を超えた場合に、判断処理部１１２が、警告の場合
は画面に図７に示す警告表示７０２を表示し、製造装置
停止の場合は停止表示７０３を表示すると同時に、カセ
ット５０１からウェハ５０６の取り出しを中止し、処理
中のウェハ５０６を全て処理し、カセット５０１に収納
した時点で製造装置を停止させる。
に示すパラメータ設定画面７０１により設定された異常
状態を判断する基準時間１０６ｂとオーバー回数基準１
０７を超えた場合に、判断処理部１１２が、警告の場合
は画面に図７に示す警告表示７０２を表示し、製造装置
停止の場合は停止表示７０３を表示すると同時に、カセ
ット５０１からウェハ５０６の取り出しを中止し、処理
中のウェハ５０６を全て処理し、カセット５０１に収納
した時点で製造装置を停止させる。
【００３３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、製造装置
が故障で停止する前に、画面などを通じて警告表示する
ことにより、事前に生産の段取りを変更して製造装置を
点検することができ、さらに警告表示後も生産を続けた
場合においては、最終警告として、製造装置の動作を停
止することにより、製造装置の点検をうながすという有
利な効果が得られる。
が故障で停止する前に、画面などを通じて警告表示する
ことにより、事前に生産の段取りを変更して製造装置を
点検することができ、さらに警告表示後も生産を続けた
場合においては、最終警告として、製造装置の動作を停
止することにより、製造装置の点検をうながすという有
利な効果が得られる。
【図１】本発明の実施の形態における故障診断方法にお
いて使用する、時間の計測処理と判断処理のためのテー
ブルと処理系の関係を示したものである。
いて使用する、時間の計測処理と判断処理のためのテー
ブルと処理系の関係を示したものである。
【図２】同故障診断方法におけるシーケンス動作部のフ
ローチャートである。
ローチャートである。
【図３】同故障診断方法における時間計測部のフローチ
ャートである。
ャートである。
【図４】同故障診断方法における判断処理部のフローチ
ャートである。
ャートである。
【図５】本発明の実施例における製造装置の概略図であ
る。
る。
【図６】同製造装置のドライエッチングのフローチャー
トである。
トである。
【図７】同製造装置のパラメータ設定と警告・停止画面
の図である。
の図である。
【図８】同製造装置の排気処理構成図である。
【図９】同製造装置の排気処理のフローチャートであ
る。
る。
１０１ 処理系がテーブルにアクセスする方向 １０２ テーブルの平均化可能フラグ １０３ テーブルの開始／終了フラグ １０４ テーブルの経過時間 １０５ テーブルの平均時間 １０６ａ テーブルの通常状態を判断する基準時間 １０６ｂ テーブルの異常状態を判断する基準時間 １０７ テーブルのオーバー回数 １０８ テーブルのオーバー回数基準 １１０ シーケンス動作部 １１１ 時間計測部 １１２ 判断処理部 ５０１ カセット ５０２ カセットをセットする室 ５０３ ウェハを搬送するロボット ５０４ ウェハを搬送するロボットが組み込まれてい
る室 ５０５ ドライエッチングする真空室 ５０６ ウェハ ７０１ パラメータ設定画面 ７０２ 警告の表示画面 ７０３ 製造装置停止の表示画面
る室 ５０５ ドライエッチングする真空室 ５０６ ウェハ ７０１ パラメータ設定画面 ７０２ 警告の表示画面 ７０３ 製造装置停止の表示画面
Claims (2)
- 【請求項１】 製造装置の動作を構成する一連のシーケ
ンス、あるいは１つの動作の時間を計測し、 その計測した動作時間と前回までの動作時間の平均時間
との絶対差を演算し、 この絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えているかどうかを判断し、 前記絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えていないとき、前記絶対差演算時間が通常状態を判断
する基準時間を超えているかどうかを判断し、通常状態
を判断する基準時間を超えていないとき、前記計測した
動作時間により動作時間の平均時間を更新し、前記絶対
差演算時間が通常状態を判断する基準時間を超えたとき
は平均時間を更新せず、 前記絶対差演算時間が異常状態を判断する基準時間を超
えたとき、前記製造装置の動作に異常が発生したと判断
し、前記製造装置の動作の異常の発生回数を更新し、こ
の更新した異常発生回数が基準回数を超えているかどう
かを判断し、超えてないときオペレータに警告通知し、
超えているとき前記製造装置の動作を停止することを特
徴とする故障診断方法。 - 【請求項２】 前記警告通知は、製造装置の動作と異常
発生回数をオペレータの操作画面に表示することにより
行うことを特徴とする請求項１記載の故障診断方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35682798A JP2000181536A (ja) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | 故障診断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35682798A JP2000181536A (ja) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | 故障診断方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000181536A true JP2000181536A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18450978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35682798A Pending JP2000181536A (ja) | 1998-12-16 | 1998-12-16 | 故障診断方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000181536A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009064161A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Mitsubishi Rayon Eng Co Ltd | 自動機械のモニタ装置及び自動機械の運転装置 |
| JP2009122978A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Mitsubishi Rayon Eng Co Ltd | 自動機械のモニタ装置及び自動機械の運転装置 |
| US7558999B2 (en) | 2004-05-21 | 2009-07-07 | International Business Machines Corporation | Learning based logic diagnosis |
| JP2012221247A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Hitachi Ltd | 発電プラント制御装置、プラント制御装置及びプラント制御方法 |
-
1998
- 1998-12-16 JP JP35682798A patent/JP2000181536A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7558999B2 (en) | 2004-05-21 | 2009-07-07 | International Business Machines Corporation | Learning based logic diagnosis |
| JP2009064161A (ja) * | 2007-09-05 | 2009-03-26 | Mitsubishi Rayon Eng Co Ltd | 自動機械のモニタ装置及び自動機械の運転装置 |
| JP2009122978A (ja) * | 2007-11-15 | 2009-06-04 | Mitsubishi Rayon Eng Co Ltd | 自動機械のモニタ装置及び自動機械の運転装置 |
| JP2012221247A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Hitachi Ltd | 発電プラント制御装置、プラント制御装置及びプラント制御方法 |
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