JP2000180356A - 赤外線分光分析装置 - Google Patents

赤外線分光分析装置

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JP2000180356A
JP2000180356A JP35611298A JP35611298A JP2000180356A JP 2000180356 A JP2000180356 A JP 2000180356A JP 35611298 A JP35611298 A JP 35611298A JP 35611298 A JP35611298 A JP 35611298A JP 2000180356 A JP2000180356 A JP 2000180356A
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gas
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infrared
gas cell
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JP35611298A
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Seiichi Takahashi
清一 高橋
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温試料からの発生ガスを精度良く測定可能
な赤外線分光分析装置を提供する。 【解決手段】 赤外線分光分析装置10は、試料33を
加熱する加熱炉34と、干渉計13を経た赤外線照射路
上に配置されており、加熱炉34に直結されて試料33
から発生したガスが導かれるガスセル22とを備え、重
量センサ34により加熱による試料33の質量変化を測
定するとともに、検出器24と演算制御部18とにより
試料33から発生したガスの赤外吸収スペクトルを同時
に測定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、赤外線分光分析装
置、特に試料を加熱し、その際に発生するガスを分析す
る赤外線分光分析装置に関する。
【0002】
【従来の技術】加熱試料の蒸発や熱分解による重量変化
と、それに伴なって発生する発生ガスの成分分析を同時
に行なうTG(熱重量測定、Thermogravimetry)/FT
−IR(フーリエ変換赤外吸収分光測定、Fourier Tran
sformation-Infrared Ray)という測定方法が知られて
いる。
【0003】図4は、このようなTG/FT−IRを実
施する測定装置の構造を示す全体概略図である。図4に
示されるように、この装置は、大別すると、FT−IR
の本体部1と、試料室2と、TG測定部3とから構成さ
れている。
【0004】そして、本体部1には、赤外線光源11
と、その光路上に配置された反射鏡12及び干渉計13
と、演算制御部18とから構成されており、干渉計13
は、反射鏡12で反射された光が導かれるビームスプリ
ッタ14と、ビームスプリッタ14で分岐されたそれぞ
れの光路上に配置されている固定鏡15及び移動鏡16
と、移動鏡16を駆動する駆動機構17からなり、駆動
機構17は演算制御部18に接続されている。
【0005】試料室2には、本体部1から出射された赤
外線光路上に反射鏡21、ガスセル22、反射鏡23、
検出器24が順に配置されており、検出器24は本体部
1の演算制御部18に接続されている。
【0006】TG測定部3には、試料32を載置させる
重量センサ34が収容されている加熱炉32が配置され
ており、この加熱炉32は、ガスセル22にチューブ3
1を介して接続されている。そして、加熱炉32には温
度制御部35が、重量センサ34には重量測定部36が
接続されている。なお、加熱炉32には、キャリアガス
が供給されている。
【0007】駆動機構17により移動鏡16を動かしな
がら移動鏡16に入反射する光と固定鏡15に入反射す
る光との光路差を変化させると、両鏡15、16で反射
され、ビームスプリッタ14で再び合成された合成光
は、互いに干渉しあい、時間的に強度が変化する。この
光が反射鏡21によりガスセル22内に導かれる。ガス
セル22内には、加熱炉32内で加熱された試料33か
ら発生したガス(サンプルガス)がキャリヤガスととも
にチューブ31を介して導入されている。サンプルガス
を透過した光は、反射鏡23で集光され、検出器24に
導かれる。検出器24で検出される光強度の時間変化、
インターフェログラムを演算制御部18でフーリエ変換
することで、赤外吸収スペクトルが得られる。これによ
り吸収スペクトルを基にしてサンプルガスの成分分析を
行なうことができる。一方、試料33の重量変化は、重
量センサ34と重量測定部36とにより検出される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】このようなTG/FT
−IR装置では、加熱炉32を高温、例えば1500℃
程度まで昇温できる構成とした場合でも、加熱炉32が
チューブ31を介してガスセル22に接続されているた
め、チューブ31及びガスセル22の温度が加熱炉32
内の温度に比べてはるかに低くなる。このため、試料3
3から発生したガスのうち、分子量の大きな低揮発性の
物質がチューブ31やガスセル22の壁面に凝縮、付着
してしまうので、従来のTG/FT−IR装置では、分
子量の小さな高揮発性の物質の測定しか行なえないとい
う問題があった。また、保温、断熱によってもチューブ
31やガスセル22におけるこうした凝縮、付着を完全
に防止することは困難だった。
【0009】そこで、本発明は、上記問題点に鑑みて、
高温試料からの発生ガスを精度良く測定可能な赤外線分
光分析装置を提供することを課題とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の赤外線分光分析装置は、試料を加熱し、試
料から発生するガスに赤外線を照射して吸収スペクトル
を分析する赤外線分光分析装置において、試料を加熱す
る加熱炉と、赤外線照射路上に配置されており、加熱炉
に直結されて試料から発生したガスが導かれるガスセル
と、を備えていることを特徴とする。
【0011】この赤外線分光分析装置では、加熱炉とガ
スセルとが直結されていることから、加熱炉内で試料か
ら発生したガスは、速やかにガスセルに導かれて分光測
定される。したがって、試料から発生したガス中の低揮
発成分が凝縮、付着することなくガスセルへと導かれる
ので、発生ガスの成分を精度良く測定することが可能で
ある。
【0012】ガスセル内の温度を加熱炉内の温度と略同
一温度に維持する温度維持手段をさらに備えていてもよ
い。
【0013】このように、ガスセル内の温度を加熱炉内
の温度と略同一温度に維持することで、加熱炉内で発生
したガス中の揮発成分がガスセル内で凝縮、付着するこ
とがなく、発生ガスのガス成分が生成時と同様の条件で
保たれる。したがって、ガス成分を精度良く分析するこ
とが可能となる。
【0014】加熱炉及びガスセルの周囲に設けられた断
熱手段をさらに備えていることが好ましい。これによ
り、加熱炉及びガスセルを高温状態に維持することが容
易になるとともに、加熱炉及びガスセルの壁面の冷却が
防止され、壁面上での発生ガスの揮発成分の凝着を防止
することができる。これにより、ガス成分をより精度良
く分析することが可能である。
【0015】この断熱手段は、断熱材又は水冷管である
ことが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の好適な実施の形態について説明する。なお、説明の理
解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に
対しては可能な限り同一の参照番号を附し、重複する説
明は省略する。
【0017】図1に本発明に係る赤外線分光分析装置1
0の全体概略図を示す。この赤外分光分析装置10は、
FT−IR装置の本体部1とTG測定部を兼ねる試料室
2から構成されている。
【0018】この本体部1には、赤外線光源11と、そ
の光路上に配置された反射鏡12及び干渉計13と、演
算制御部18とから構成されており、干渉計13は、反
射鏡12で反射された光が導かれるビームスプリッタ1
4と、ビームスプリッタ14で分岐されたそれぞれの光
路上に配置されている固定鏡15及び移動鏡16と、移
動鏡16を駆動する駆動機構17からなり、駆動機構1
7は演算制御部18に接続されている。
【0019】一方、試料室2内には、図4の装置と同様
に反射鏡21と反射鏡23の間の光路上にガスセル22
が配置されている。ガスセル内を通過した光は、反射鏡
23を介して、本体部1の演算制御部18に接続された
検出器24に入射する。ガスセル22は、重量センサ3
4とその上に載置された試料33を収容し、試料33を
加熱する加熱炉32に直結されている。そして、加熱炉
32とガスセル22の周囲には、断熱材37が配置され
ている。
【0020】次に、この赤外線分光分析装置10の動
作、すなわち、TG/FT−IR測定について説明す
る。まず、試料33を加熱炉32内の重量センサ34上
に載置する。そして、加熱炉32内にキャリアガスを導
入しながら温度制御部35の制御により加熱炉32内部
の温度を所定の温度まで上昇させる。これにより試料3
3も加熱され、加熱により発生したサンプルガスは、キ
ャリアガスとともに加熱炉32に直結されているガスセ
ル22内に速やかに導かれる。また、加熱炉32とガス
セル22とが直結されているので、ガスセル22内のガ
ス温度を加熱炉32内のガス温度とほぼ一致させること
が容易である。
【0021】特に、本実施形態のように加熱炉32及び
ガスセル22の周囲に断熱材37を配することにより加
熱炉32及びガスセル22の温度維持が容易となる。こ
こで、ガスセル22は、ステンレス製あるいはセラミッ
ク製とすることが好ましい。また、ガスセル22を加熱
する手段、例えばガスセル22を加熱炉32と同様にス
テンレス製とし、両者を誘導加熱により加熱する手段を
設けてもよい。あるいは、図2に示されるように、ガス
セル22自体にヒータ25を取り付けてもよい。
【0022】このように、赤外線分光分析装置10で
は、ガスセル22と加熱炉32がほぼ同じ温度に保たれ
ている。したがって、サンプルガス中の高分子物質など
の低揮発成分がガスセル22や加熱炉32の壁面等で凝
着することなく、その全てがガスセル22内の測定対象
位置に導かれるので、低揮発成分を含めたサンプルガス
の正確な分析が可能となる。
【0023】ガスセル22には、本体部1から出射され
た干渉光が反射鏡21を介して導かれており、ガスセル
22内のサンプルガスを透過した干渉光は反射鏡23に
よって集光されて検出器24に入射する。検出器24で
検出される光強度の時間変化、インターフェログラムを
演算制御部18でフーリエ変換することで、サンプルガ
スの赤外吸収スペクトルが得られる。一方、試料33の
重量変化は、重量センサ34と重量測定部36とにより
検出される。
【0024】さらに、図1に示されるように、高温とな
るガスセル32と本体部1の干渉計13との間にも断熱
材37を配置した構成となっているので、機械的な精度
が要求される干渉計13への熱的影響を排除することが
できる。したがって、干渉計13を高精度に維持するこ
とが容易であり、正確な測定を行なうことができる。
【0025】また、断熱材37の周囲に図3に示される
ように内部に冷却水を循環させた冷却管26を配置すれ
ば、さらに干渉計13への熱的影響を排除する効果が増
す。
【0026】
【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
試料を昇温加熱してガスを発生させる加熱炉と、ガスセ
ルとを直結しているので、試料から発生したガス中の低
揮発成分が凝着することなくガスセルへと導かれ、その
成分を正確に測定することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る赤外線分光分析装置の概略構成図
である。
【図2】図1の装置におけるガスセルの他の実施形態を
示す図である。
【図3】図1の装置における断熱材の他の実施形態を示
す図である。
【図4】従来のTG/FT−IR装置の概略構成図であ
る。
【符号の説明】
1…本体部、2…試料室、3…TG測定部、10…赤外
線分光分析装置、11…光源、13…干渉計、18…演
算制御部、22…ガスセル、24…検出器、32…加熱
炉、33…試料、34…重量センサ、35…温度制御
部、37…断熱材。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 試料を加熱し、前記試料から発生するガ
    スに赤外線を照射して吸収スペクトルを分析する赤外線
    分光分析装置において、 前記試料を加熱する加熱炉と、 赤外線照射路上に配置されており、前記加熱炉に直結さ
    れて前記試料から発生したガスが導かれるガスセルと、
    を備えていることを特徴とする赤外線分光分析装置。
  2. 【請求項2】 前記ガスセル内の温度を前記加熱炉内の
    温度と略同一温度に維持する温度維持手段をさらに備え
    ていることを特徴とする請求項1記載の赤外線分光分析
    装置。
  3. 【請求項3】 前記加熱炉及び前記ガスセルの周囲に設
    けられた断熱手段をさらに備えていることを特徴とする
    請求項1又は2に記載の赤外線分光分析装置。
  4. 【請求項4】 前記断熱手段は、断熱材又は水冷管であ
    ることを特徴とする請求項3記載の赤外線分光分析装
    置。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015110503A1 (de) * 2014-01-22 2015-07-30 Avl Emission Test Systems Gmbh Vorrichtung zur bestimmung der konzentration zumindest eines gases in einem probengasstrom mittels infrarotabsorptionsspektroskopie
JP2016502090A (ja) * 2012-11-30 2016-01-21 アイティーアイ・スコットランド ‐ スコティッシュ・エンタープライズIti Scotland ‐ Scottish Enterprise 改善式気相スペクトル分析
KR20170126981A (ko) * 2015-03-31 2017-11-20 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤 So₃ 분석 방법 및 분석 장치
KR20170127501A (ko) * 2015-03-31 2017-11-21 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤 N₂o 분석 장치 및 분석 방법
WO2019045137A1 (ko) * 2017-08-30 2019-03-07 한국생산기술연구원 미세먼지 전구물질의 정밀 측정 시스템
CN112129743A (zh) * 2020-10-20 2020-12-25 西安交通大学 一种基于libs技术在线测量烟气汞含量系统和方法

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10101207B2 (en) 2012-11-30 2018-10-16 ITI Scotland—Scottish Enterprise Vapour phase spectroscopy
JP2016502090A (ja) * 2012-11-30 2016-01-21 アイティーアイ・スコットランド ‐ スコティッシュ・エンタープライズIti Scotland ‐ Scottish Enterprise 改善式気相スペクトル分析
CN106164648A (zh) * 2014-01-22 2016-11-23 Avl排放测试系统有限责任公司 借助红外线吸收光谱确定试样气流内至少一种气体的浓度的装置
WO2015110503A1 (de) * 2014-01-22 2015-07-30 Avl Emission Test Systems Gmbh Vorrichtung zur bestimmung der konzentration zumindest eines gases in einem probengasstrom mittels infrarotabsorptionsspektroskopie
CN106164648B (zh) * 2014-01-22 2019-08-06 Avl排放测试系统有限责任公司 借助红外线吸收光谱确定试样气流内至少一种气体的浓度的装置
US9995675B2 (en) 2014-01-22 2018-06-12 Avl Emission Test Systems Gmbh Device for determining the concentration of at least one gas in a sample gas flow by means of infrared absorption spectroscopy
KR20170126981A (ko) * 2015-03-31 2017-11-20 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤 So₃ 분석 방법 및 분석 장치
KR102001751B1 (ko) * 2015-03-31 2019-07-18 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤 So₃ 분석 방법 및 분석 장치
KR20170127501A (ko) * 2015-03-31 2017-11-21 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤 N₂o 분석 장치 및 분석 방법
KR102021217B1 (ko) * 2015-03-31 2019-09-11 니폰 덴신 덴와 가부시끼가이샤 N₂o 분석 장치 및 분석 방법
WO2019045137A1 (ko) * 2017-08-30 2019-03-07 한국생산기술연구원 미세먼지 전구물질의 정밀 측정 시스템
KR20190023853A (ko) * 2017-08-30 2019-03-08 한국생산기술연구원 미세먼지 전구물질의 정밀 측정 시스템
CN109729722A (zh) * 2017-08-30 2019-05-07 韩国生产技术研究院 微尘前驱物质的精密测量系统
KR101992335B1 (ko) * 2017-08-30 2019-06-26 한국생산기술연구원 미세먼지 전구물질의 정밀 측정 시스템
CN112129743A (zh) * 2020-10-20 2020-12-25 西安交通大学 一种基于libs技术在线测量烟气汞含量系统和方法

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