JP2000180125A - カラーフィルターの画素幅測定方法 - Google Patents
カラーフィルターの画素幅測定方法Info
- Publication number
- JP2000180125A JP2000180125A JP10354860A JP35486098A JP2000180125A JP 2000180125 A JP2000180125 A JP 2000180125A JP 10354860 A JP10354860 A JP 10354860A JP 35486098 A JP35486098 A JP 35486098A JP 2000180125 A JP2000180125 A JP 2000180125A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 インラインでカラーフィルターの画素幅を測
定することができる、カラーフィルターの画素幅測定方
法を提供すること。 【解決手段】 カラーフィルターの基板上に赤色、緑
色、青色の各色の着色画素を順次形成する際に、画素領
域の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパターンを、
各ダミー画素が重ならないように間隔をあけて形成し、
各ダミー画素の幅を測定することにより、前記各色の着
色画素の幅を測定する。
定することができる、カラーフィルターの画素幅測定方
法を提供すること。 【解決手段】 カラーフィルターの基板上に赤色、緑
色、青色の各色の着色画素を順次形成する際に、画素領
域の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパターンを、
各ダミー画素が重ならないように間隔をあけて形成し、
各ダミー画素の幅を測定することにより、前記各色の着
色画素の幅を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示パネル等
に用いられるカラーフィルターの画素幅測定方法に関す
る。
に用いられるカラーフィルターの画素幅測定方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、カラーフィルターの画素幅を管理
幅内に収めるための画素幅の測定は、画素パターン形成
後に基板を抜き取り、測長機を用いて測定することによ
り行っている。
幅内に収めるための画素幅の測定は、画素パターン形成
後に基板を抜き取り、測長機を用いて測定することによ
り行っている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うなオフラインの抜き取り検査では、パターン形成に関
わる露光量、現像液濃度の経時変化に対しては効果があ
るが、基板のすべり、滞留などによる現像時間の変動な
ど、突発的な変動には対応できない。
うなオフラインの抜き取り検査では、パターン形成に関
わる露光量、現像液濃度の経時変化に対しては効果があ
るが、基板のすべり、滞留などによる現像時間の変動な
ど、突発的な変動には対応できない。
【０００４】また、従来の方法を用いて、インライン
（製造ライン内）で測定すべく反射光源を用い画像をＣ
ＣＤカメラで捉えようとすると、各画素と、隣接画素と
の境界部分が不鮮明のため、測定が困難である。
（製造ライン内）で測定すべく反射光源を用い画像をＣ
ＣＤカメラで捉えようとすると、各画素と、隣接画素と
の境界部分が不鮮明のため、測定が困難である。
【０００５】従って、本発明の目的は、インラインでカ
ラーフィルターの画素幅を測定することができる、カラ
ーフィルターの画素幅測定方法を提供することである。
ラーフィルターの画素幅を測定することができる、カラ
ーフィルターの画素幅測定方法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本願発明者は、鋭意研究
の結果、カラーフィルターの画素領域の外側に、画素幅
測定用のダミー画素のパターンを、各ダミー画素が重な
らないように間隔をあけて形成し、各ダミー画素の幅を
測定することにより、各色の着色画素の幅を測定できる
ことを見出し本発明を完成した。
の結果、カラーフィルターの画素領域の外側に、画素幅
測定用のダミー画素のパターンを、各ダミー画素が重な
らないように間隔をあけて形成し、各ダミー画素の幅を
測定することにより、各色の着色画素の幅を測定できる
ことを見出し本発明を完成した。
【０００７】すなわち、本発明は、カラーフィルターの
基板上に赤色、緑色、青色の各色の着色画素を順次形成
する際に、画素領域の外側に、画素幅測定用のダミー画
素のパターンを、各ダミー画素が重ならないように間隔
をあけて形成し、各ダミー画素の幅を測定することによ
り、前記各色の着色画素の幅を測定する、カラーフィル
ターの画素幅測定方法を提供する。
基板上に赤色、緑色、青色の各色の着色画素を順次形成
する際に、画素領域の外側に、画素幅測定用のダミー画
素のパターンを、各ダミー画素が重ならないように間隔
をあけて形成し、各ダミー画素の幅を測定することによ
り、前記各色の着色画素の幅を測定する、カラーフィル
ターの画素幅測定方法を提供する。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、一般的なカラーフィルタ
の断面図である。一般的なカラーフィルタでは、図１に
示すように、ガラス基板１上に、ブラックマトリックス
１１が積層され、ブラックマトリックス間の開口部分
に、赤色着色画素（Ｒ）、緑色着色画素(Ｇ)、青色着色
画素（Ｂ）がそれぞれ積層されている。各着色画素及び
ブラックマトリックス１１を被覆する保護層４が積層さ
れ、さらにその上にＩＴＯ等から成る透明電極５が積層
されている。なお、図１中の線で囲んだ部分の平面図を
図１の下部に示す。
の断面図である。一般的なカラーフィルタでは、図１に
示すように、ガラス基板１上に、ブラックマトリックス
１１が積層され、ブラックマトリックス間の開口部分
に、赤色着色画素（Ｒ）、緑色着色画素(Ｇ)、青色着色
画素（Ｂ）がそれぞれ積層されている。各着色画素及び
ブラックマトリックス１１を被覆する保護層４が積層さ
れ、さらにその上にＩＴＯ等から成る透明電極５が積層
されている。なお、図１中の線で囲んだ部分の平面図を
図１の下部に示す。
【０００９】図２は、マザーガラス基板６上にカラーフ
ィルタを形成した場合の一例の平面図を示す。図示の例
では、１枚のマザーガラス基板上に４つの画素領域７が
設けられており、各画素領域７がそれぞれカラーフィル
タを構成している。すなわち、図示の例は、１枚のマザ
ーガラス基板上に４つのカラーフィルタが作製される例
である。なお、各カラーフィルタは、図１に基づいて上
記した構成を有しており、各画素領域７の底部にあるマ
ザーガラス基板６は、図１に示すガラス基板１と同一で
ある。
ィルタを形成した場合の一例の平面図を示す。図示の例
では、１枚のマザーガラス基板上に４つの画素領域７が
設けられており、各画素領域７がそれぞれカラーフィル
タを構成している。すなわち、図示の例は、１枚のマザ
ーガラス基板上に４つのカラーフィルタが作製される例
である。なお、各カラーフィルタは、図１に基づいて上
記した構成を有しており、各画素領域７の底部にあるマ
ザーガラス基板６は、図１に示すガラス基板１と同一で
ある。
【００１０】本願発明では、マザーガラス基板６上の、
画素領域７の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパタ
ーン８が形成される。画素パターン８の詳細な例を図３
に示す。図３の(a)は各色のダミー画素を縦方向に配列
したものであり、(b)は各色のダミー画素を横方向に配
列したものである。図示のように、各色のダミー画素は
互いに周縁部が重なることがないように間隔をあけて形
成される。各色のダミー画素は、各色の画素を作製する
際に、各色の画素と同一工程により同時に作製される。
画素領域７の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパタ
ーン８が形成される。画素パターン８の詳細な例を図３
に示す。図３の(a)は各色のダミー画素を縦方向に配列
したものであり、(b)は各色のダミー画素を横方向に配
列したものである。図示のように、各色のダミー画素は
互いに周縁部が重なることがないように間隔をあけて形
成される。各色のダミー画素は、各色の画素を作製する
際に、各色の画素と同一工程により同時に作製される。
【００１１】各ダミー画素の大きさは、形成する各画素
の大きさと同じであってもよいし、異なっていてもよ
い。ダミー画素の大きさが画素の大きさと異なっている
場合であっても、ダミー画素及び画素の大きさを実測し
て相関関係を一旦求めれば、ダミー画素の大きさを測定
することにより、該相関関係に基づき画素の大きさを求
めることができる。該相関関係は、通常、直線関係とな
るので、ダミー画素の測定値から画素の大きさを計算す
ることは容易かつ正確に行うことができる。
の大きさと同じであってもよいし、異なっていてもよ
い。ダミー画素の大きさが画素の大きさと異なっている
場合であっても、ダミー画素及び画素の大きさを実測し
て相関関係を一旦求めれば、ダミー画素の大きさを測定
することにより、該相関関係に基づき画素の大きさを求
めることができる。該相関関係は、通常、直線関係とな
るので、ダミー画素の測定値から画素の大きさを計算す
ることは容易かつ正確に行うことができる。
【００１２】なお、一般的に、図１に示すようなストラ
イプ状の着色パターンを用いる場合、露光マスク基板の
数を減らすために各色兼用のマスク基板を使用する場合
が多い。そこで、各ダミー画素の間隔は、通常、着色パ
ターンの間隔に合わせることが好ましい。従って、ダミ
ー画素の間隔は８０μｍ程度、幅は２０μｍ程度が好ま
しい場合が多い。
イプ状の着色パターンを用いる場合、露光マスク基板の
数を減らすために各色兼用のマスク基板を使用する場合
が多い。そこで、各ダミー画素の間隔は、通常、着色パ
ターンの間隔に合わせることが好ましい。従って、ダミ
ー画素の間隔は８０μｍ程度、幅は２０μｍ程度が好ま
しい場合が多い。
【００１３】本発明の方法では、画素を形成後、画素と
同時に形成されたダミー画素の大きさを測定する。この
測定方法の好ましい例を模式的に図４に示す。図４に示
す測定方法では、照明１０によってダミー画素パターン
８を照明し、基板を透過した透過光をＣＣＤカメラ９で
とらえ、画像処理により画素幅を計算する。各色のダミ
ー画素は互いに重なることなく間隔をあけて形成されて
いるので、上記のように透過光により正確に測定するこ
とができるので有利である。
同時に形成されたダミー画素の大きさを測定する。この
測定方法の好ましい例を模式的に図４に示す。図４に示
す測定方法では、照明１０によってダミー画素パターン
８を照明し、基板を透過した透過光をＣＣＤカメラ９で
とらえ、画像処理により画素幅を計算する。各色のダミ
ー画素は互いに重なることなく間隔をあけて形成されて
いるので、上記のように透過光により正確に測定するこ
とができるので有利である。
【００１４】ＣＣＤカメラを用いる場合、被写界深度を
大きくとれるＣＣＤ、レンズ、照明装置の組合せにより
オートフォーカス機構を用いずに画像処理に必要な解像
度を得ることが好ましい。
大きくとれるＣＣＤ、レンズ、照明装置の組合せにより
オートフォーカス機構を用いずに画像処理に必要な解像
度を得ることが好ましい。
【００１５】例えば、カラーのＣＣＤカメラを用いて、
Ｒ、Ｇ、Ｂを判別し各色毎に画素幅測定を行う場合、１
／５インチＶＧＡ仕様ＣＣＤ、８倍対物レンズを用いる
と、オートフォーカス機構なしで、実用被写界深度±
０．２ｍｍ、分解能０．５μｍを得ることができる。
Ｒ、Ｇ、Ｂを判別し各色毎に画素幅測定を行う場合、１
／５インチＶＧＡ仕様ＣＣＤ、８倍対物レンズを用いる
と、オートフォーカス機構なしで、実用被写界深度±
０．２ｍｍ、分解能０．５μｍを得ることができる。
【００１６】より解像度の高いモノクロＣＣＤカメラを
用いる場合は、照明１０にＲ、Ｇ、Ｂ切り換え機能を設
け、透過光を順次Ｒ、Ｇ、Ｂに切り換え、透過率の違い
により各色を判別することができる。
用いる場合は、照明１０にＲ、Ｇ、Ｂ切り換え機能を設
け、透過光を順次Ｒ、Ｇ、Ｂに切り換え、透過率の違い
により各色を判別することができる。
【００１７】
【発明の効果】以上、述べたとおり、本発明により、イ
ンラインで画素幅のチェックを全てのフィルタについて
行うことができ、画素幅を厳重に管理することが可能と
なり、カラーフィルタの良好な性能を確保することが容
易になる。また、本発明の方法は、一般的なＣＣＤ及び
画像処理装置を用いて行うことができるので有利であ
る。
ンラインで画素幅のチェックを全てのフィルタについて
行うことができ、画素幅を厳重に管理することが可能と
なり、カラーフィルタの良好な性能を確保することが容
易になる。また、本発明の方法は、一般的なＣＣＤ及び
画像処理装置を用いて行うことができるので有利であ
る。
【図１】一般的なカラーフィルターの構造を示す断面図
及びその部分平面図である。
及びその部分平面図である。
【図２】本発明の一実施例として、マザーガラス基板上
に画素領域及びダミー画素が形成されている様子を模式
的に示す平面図である。
に画素領域及びダミー画素が形成されている様子を模式
的に示す平面図である。
【図３】ダミー画素パターンの例を示す図である。
【図４】本発明の一具体例の方法において、ＣＣＤカメ
ラを用いてダミー画素の画像を取り込む様子を模式的に
示す図である。
ラを用いてダミー画素の画像を取り込む様子を模式的に
示す図である。
１ ガラス基板 ２ ブラックマトリックス ３ 画素 ４ 保護膜 ５ ＩＴＯ透明電極 ６ マザーガラス基板 ７ カラーフィルタ画素領域 ８ ダミー画素 ９ ＣＣＤカメラ １０ 照明 １１ ブラックマトリックス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA22 BB13 BB22 BB27 CC21 DD06 DD09 FF04 GG01 HH15 JJ03 JJ16 JJ26 PP22 RR07 2H048 BA02 BA11 BB02 BB06 BB14 BB24 BB37 BB44 2H091 FA02Y FD02 GA13 KA10 LA30
Claims (5)
- 【請求項１】 カラーフィルターの基板上に赤色、緑
色、青色の各色の着色画素を順次形成する際に、画素領
域の外側に、画素幅測定用のダミー画素のパターンを、
各ダミー画素が重ならないように間隔をあけて形成し、
各ダミー画素の幅を測定することにより、前記各色の着
色画素の幅を測定する、カラーフィルターの画素幅測定
方法。 - 【請求項２】 前記ダミー画素の幅は、該ダミー画素に
光を照射し、基板を透過する透過光を測定することによ
り測定する請求項1記載の方法。 - 【請求項３】 前記透過光は、カラーＣＣＤカメラを用
いて測定し、赤色、緑色、青色の色識別を行い画像処理
により各色の画素幅を測定する請求項２記載の方法。 - 【請求項４】 前記透過光は、モノクロＣＣＤカメラを
用いて測定し、赤色、緑色、青色の色識別を、赤色、緑
色、青色の各色切り換え機能を有する透過照明を用い、
各色の透過率の違いにより行い、画像処理により各色の
画素幅を測定する請求項２記載の方法。 - 【請求項５】 被写界深度を大きくとれるＣＣＤ、レン
ズ、照明装置の組合せによりオートフォーカス機構を用
いずに画像処理に必要な解像度を得る、請求項３又は４
に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10354860A JP2000180125A (ja) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | カラーフィルターの画素幅測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10354860A JP2000180125A (ja) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | カラーフィルターの画素幅測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000180125A true JP2000180125A (ja) | 2000-06-30 |
Family
ID=18440401
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10354860A Pending JP2000180125A (ja) | 1998-12-14 | 1998-12-14 | カラーフィルターの画素幅測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000180125A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098823A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Toray Ind Inc | カラーフィルター製造時の露光位置ずれの測定方法及びカラーフィルター |
| CN103487969A (zh) * | 2013-09-26 | 2014-01-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光单元宽度的测量方法以及液晶面板的制作方法 |
| JP2017143022A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
| CN107462945A (zh) * | 2017-08-22 | 2017-12-12 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 彩色滤光片及其检测方法、掩膜版以及液晶显示器 |
| CN109445170A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-08 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 彩膜基板及其制造方法和液晶显示面板、显示装置 |
-
1998
- 1998-12-14 JP JP10354860A patent/JP2000180125A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098823A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Toray Ind Inc | カラーフィルター製造時の露光位置ずれの測定方法及びカラーフィルター |
| CN103487969A (zh) * | 2013-09-26 | 2014-01-01 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光单元宽度的测量方法以及液晶面板的制作方法 |
| WO2015043021A1 (zh) * | 2013-09-26 | 2015-04-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光单元宽度的测量方法以及液晶面板的制作方法 |
| JP2017143022A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
| CN107462945A (zh) * | 2017-08-22 | 2017-12-12 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 彩色滤光片及其检测方法、掩膜版以及液晶显示器 |
| CN109445170A (zh) * | 2018-12-29 | 2019-03-08 | 成都中电熊猫显示科技有限公司 | 彩膜基板及其制造方法和液晶显示面板、显示装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051213 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20071025 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071106 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080311 |