JP2000179641A - ワ―ク搬送装置 - Google Patents
ワ―ク搬送装置Info
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- JP2000179641A JP2000179641A JP11028314A JP2831499A JP2000179641A JP 2000179641 A JP2000179641 A JP 2000179641A JP 11028314 A JP11028314 A JP 11028314A JP 2831499 A JP2831499 A JP 2831499A JP 2000179641 A JP2000179641 A JP 2000179641A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 タクトタイムを短縮するワーク搬送装置を提
供する。 【解決手段】 インデックステーブル2の周縁部に複数
個のワーク支持手段3A〜3Hを所定の角度間隔をおい
て設け、インデックステーブルを所定の角度ずつ間欠回
転させることによりワーク支持手段に支持されたワーク
をインデックステーブルの中心点の周囲に設けられた複
数のワーク処理位置P1〜P8に順次搬送するように成
したワーク搬送装置であって、インデックステーブル上
に設けられた回転駆動装置5と、この回転駆動装置に連
結されたカム6と、インデックステーブル上に各ワーク
支持手段に対応して設けられ、カムの回転に伴ってワー
ク支持手段に支持されたワークに対して接離するように
支持された昇降体を有する複数個の昇降ユニット7A〜
7Hとを備えたことを特徴とする。
供する。 【解決手段】 インデックステーブル2の周縁部に複数
個のワーク支持手段3A〜3Hを所定の角度間隔をおい
て設け、インデックステーブルを所定の角度ずつ間欠回
転させることによりワーク支持手段に支持されたワーク
をインデックステーブルの中心点の周囲に設けられた複
数のワーク処理位置P1〜P8に順次搬送するように成
したワーク搬送装置であって、インデックステーブル上
に設けられた回転駆動装置5と、この回転駆動装置に連
結されたカム6と、インデックステーブル上に各ワーク
支持手段に対応して設けられ、カムの回転に伴ってワー
ク支持手段に支持されたワークに対して接離するように
支持された昇降体を有する複数個の昇降ユニット7A〜
7Hとを備えたことを特徴とする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インデックステー
ブルの周縁部に複数個のワーク支持手段を所定の角度間
隔をおいて設け、インデックステーブルを所定の角度ず
つ間欠回転させることによりワーク支持手段に支持され
たワークをインデックステーブルの中心点の周囲に設け
られた複数のワーク処理位置に順次搬送するように成し
たワーク搬送装置に関するものであり、より詳しくは、
搬送中のワークに対して、加圧、ピックアップ等の上下
方向の動作を伴う処理を行うのに適したワーク搬送装置
に関するものである。
ブルの周縁部に複数個のワーク支持手段を所定の角度間
隔をおいて設け、インデックステーブルを所定の角度ず
つ間欠回転させることによりワーク支持手段に支持され
たワークをインデックステーブルの中心点の周囲に設け
られた複数のワーク処理位置に順次搬送するように成し
たワーク搬送装置に関するものであり、より詳しくは、
搬送中のワークに対して、加圧、ピックアップ等の上下
方向の動作を伴う処理を行うのに適したワーク搬送装置
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光磁気ディスク等の貼り合わせディスク
の製造装置では、一定の周期で全てのワークが次のワー
ク処理位置に移動するタクトシステムが採用されてお
り、ワークを複数のワーク処理位置に順次搬送するため
に、インデックステーブルを備えたワーク搬送装置が用
いられていることが多い。このワーク搬送装置は、イン
デックステーブルの周縁部に複数個のワーク支持手段を
所定の角度間隔をおいて設け、インデックステーブルを
所定の角度ずつ間欠回転させることによりワーク支持手
段に支持されたワークをインデックステーブルの中心点
の周囲に設けられた複数のワーク処理位置に順次搬送す
るように構成されている。
の製造装置では、一定の周期で全てのワークが次のワー
ク処理位置に移動するタクトシステムが採用されてお
り、ワークを複数のワーク処理位置に順次搬送するため
に、インデックステーブルを備えたワーク搬送装置が用
いられていることが多い。このワーク搬送装置は、イン
デックステーブルの周縁部に複数個のワーク支持手段を
所定の角度間隔をおいて設け、インデックステーブルを
所定の角度ずつ間欠回転させることによりワーク支持手
段に支持されたワークをインデックステーブルの中心点
の周囲に設けられた複数のワーク処理位置に順次搬送す
るように構成されている。
【0003】各ワーク処理位置では、ディスクの一方の
面を形成する円盤の片面に接着剤を塗布する処理や、こ
の円盤の接着剤塗布面にディスクの他方の面を形成する
円盤を重ね合わせ、一方の円盤を他方の円盤に対して加
圧する処理や、重ね合わされた二枚の円盤に紫外線を照
射する処理等が行われ、インデックステーブルが一回転
する間にワークにこれらの処理が順次行われる。
面を形成する円盤の片面に接着剤を塗布する処理や、こ
の円盤の接着剤塗布面にディスクの他方の面を形成する
円盤を重ね合わせ、一方の円盤を他方の円盤に対して加
圧する処理や、重ね合わされた二枚の円盤に紫外線を照
射する処理等が行われ、インデックステーブルが一回転
する間にワークにこれらの処理が順次行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の貼り合わせディ
スクの製造装置では、一方の円盤を他方の円盤に対して
加圧する処理に長い時間がかかっており、これがタクト
タイムを長くする要因になっていた。なお、このよう
に、一つの処理に長い時間がかかるためにタクトタイム
が長くなるという問題点は、貼り合わせディスクの製造
装置に限られるものではなく、同様の構成を有する他の
装置にも存在しており、タクトタイムを長くする要因と
なっている処理は、上述した加圧処理のような、上下方
向の動作を伴う処理であることが多い。
スクの製造装置では、一方の円盤を他方の円盤に対して
加圧する処理に長い時間がかかっており、これがタクト
タイムを長くする要因になっていた。なお、このよう
に、一つの処理に長い時間がかかるためにタクトタイム
が長くなるという問題点は、貼り合わせディスクの製造
装置に限られるものではなく、同様の構成を有する他の
装置にも存在しており、タクトタイムを長くする要因と
なっている処理は、上述した加圧処理のような、上下方
向の動作を伴う処理であることが多い。
【0005】本発明は上述した問題点に鑑みてなされた
ものであり、その目的は、タクトタイムを短縮するワー
ク搬送装置を提供することにある。
ものであり、その目的は、タクトタイムを短縮するワー
ク搬送装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、請求項1に記載の発明は、インデックステーブ
ルの周縁部に複数個のワーク支持手段を所定の角度間隔
をおいて設け、前記インデックステーブルを前記所定の
角度ずつ間欠回転させることにより前記ワーク支持手段
に支持されたワークを前記インデックステーブルの中心
点の周囲に設けられた複数のワーク処理位置に順次搬送
するように成したワーク搬送装置であって、前記インデ
ックステーブル上に設けられた回転駆動装置と、この回
転駆動装置に連結されたカムと、前記インデックステー
ブル上に前記各ワーク支持手段に対応して設けられ、前
記カムの回転に伴って前記ワーク支持手段に支持された
ワークに対して接離するように支持された昇降体を有す
る複数個の昇降ユニットとを備えたことを特徴とするも
のである。
ために、請求項1に記載の発明は、インデックステーブ
ルの周縁部に複数個のワーク支持手段を所定の角度間隔
をおいて設け、前記インデックステーブルを前記所定の
角度ずつ間欠回転させることにより前記ワーク支持手段
に支持されたワークを前記インデックステーブルの中心
点の周囲に設けられた複数のワーク処理位置に順次搬送
するように成したワーク搬送装置であって、前記インデ
ックステーブル上に設けられた回転駆動装置と、この回
転駆動装置に連結されたカムと、前記インデックステー
ブル上に前記各ワーク支持手段に対応して設けられ、前
記カムの回転に伴って前記ワーク支持手段に支持された
ワークに対して接離するように支持された昇降体を有す
る複数個の昇降ユニットとを備えたことを特徴とするも
のである。
【0007】また、請求項2に記載の発明は、インデッ
クステーブルの周縁部に複数個のワーク支持手段を所定
の角度間隔をおいて設け、前記インデックステーブルを
前記所定の角度ずつ間欠回転させることにより前記ワー
ク支持手段に支持されたワークを前記インデックステー
ブルの中心点の周囲に設けられた複数のワーク処理位置
に順次搬送するように成したワーク搬送装置であって、
前記インデックステーブル上に設けられた回転駆動装置
と、この回転駆動装置に連結されたカムと、前記インデ
ックステーブル上に前記各ワーク支持手段に対応して設
けられ、前記ワーク支持手段を支持するとともに前記カ
ムの回転に伴って上下動する昇降体を有する昇降ユニッ
トとを備えたことを特徴とするものである。
クステーブルの周縁部に複数個のワーク支持手段を所定
の角度間隔をおいて設け、前記インデックステーブルを
前記所定の角度ずつ間欠回転させることにより前記ワー
ク支持手段に支持されたワークを前記インデックステー
ブルの中心点の周囲に設けられた複数のワーク処理位置
に順次搬送するように成したワーク搬送装置であって、
前記インデックステーブル上に設けられた回転駆動装置
と、この回転駆動装置に連結されたカムと、前記インデ
ックステーブル上に前記各ワーク支持手段に対応して設
けられ、前記ワーク支持手段を支持するとともに前記カ
ムの回転に伴って上下動する昇降体を有する昇降ユニッ
トとを備えたことを特徴とするものである。
【0008】また、請求項3に記載の発明は、請求項1
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
回転駆動装置は、回転軸の先端部が前記インデックステ
ーブルの上面に固着されるとともに前記回転軸の軸心が
前記インデックステーブルの上面に対して垂直になるよ
うに配置されたモータであり、前記カムが前記モータの
胴体部分に連結されたことを特徴とするものである。
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
回転駆動装置は、回転軸の先端部が前記インデックステ
ーブルの上面に固着されるとともに前記回転軸の軸心が
前記インデックステーブルの上面に対して垂直になるよ
うに配置されたモータであり、前記カムが前記モータの
胴体部分に連結されたことを特徴とするものである。
【0009】また、請求項4に記載の発明は、請求項1
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
ワークが同形同大の二枚の円盤を接着剤を介して厚さ方
向に同心状に重ね合わせたものであり、前記昇降体の動
作により一方の円盤が他方の円盤に対して加圧されるよ
うに成したすることを特徴とするものである。
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
ワークが同形同大の二枚の円盤を接着剤を介して厚さ方
向に同心状に重ね合わせたものであり、前記昇降体の動
作により一方の円盤が他方の円盤に対して加圧されるよ
うに成したすることを特徴とするものである。
【0010】また、請求項5に記載の発明は、請求項1
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
カムは、外周面に前記昇降体に係合する曲線状のカム溝
が刻設され、中心軸まわりに回転するように前記回転駆
動装置に取り付けられた筒状または柱状のものであるこ
とを特徴とするものである。
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
カムは、外周面に前記昇降体に係合する曲線状のカム溝
が刻設され、中心軸まわりに回転するように前記回転駆
動装置に取り付けられた筒状または柱状のものであるこ
とを特徴とするものである。
【0011】また、請求項6に記載の発明は、請求項1
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
カムは、上面または下面に回転方向に沿って上下方向に
起伏し前記昇降体に係合する曲面が形成され、水平面内
で回転するように前記回転駆動装置に取り付けられた板
状のものであることを特徴とするものである。
または請求項2に記載のワーク搬送装置において、前記
カムは、上面または下面に回転方向に沿って上下方向に
起伏し前記昇降体に係合する曲面が形成され、水平面内
で回転するように前記回転駆動装置に取り付けられた板
状のものであることを特徴とするものである。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施形態
を図面を参照しながら説明する。図1は本発明の第1の
実施形態のワーク搬送装置1の平面図、図2は図1の一
部省略側面図、図3は図1のA−A線断面図、図4は図
1のB−B線断面図、図5はワーク処理位置と昇降体の
位置の関係を示すタイミング線図である。
を図面を参照しながら説明する。図1は本発明の第1の
実施形態のワーク搬送装置1の平面図、図2は図1の一
部省略側面図、図3は図1のA−A線断面図、図4は図
1のB−B線断面図、図5はワーク処理位置と昇降体の
位置の関係を示すタイミング線図である。
【0013】本実施形態のワーク搬送装置1は光磁気デ
ィスクの製造装置の一部を成すものあって、水平に配置
された円盤状のインデックステーブル2を備えている。
図1に示すように、インデックステーブル2の周縁部に
は45゜の角度間隔をおいて8個のワーク支持手段3A
〜3Hが設けられている。ワーク支持手段3A〜3H
は、光磁気ディスクを構成する上下一対の同形同大の二
枚のドーナツ状の円盤D、D’(図2参照)を載置装着
するように成したもので、図3に示すように、中心部に
円盤D、D’のセンターホールに摺動自在に嵌合する突
起3aを有している。
ィスクの製造装置の一部を成すものあって、水平に配置
された円盤状のインデックステーブル2を備えている。
図1に示すように、インデックステーブル2の周縁部に
は45゜の角度間隔をおいて8個のワーク支持手段3A
〜3Hが設けられている。ワーク支持手段3A〜3H
は、光磁気ディスクを構成する上下一対の同形同大の二
枚のドーナツ状の円盤D、D’(図2参照)を載置装着
するように成したもので、図3に示すように、中心部に
円盤D、D’のセンターホールに摺動自在に嵌合する突
起3aを有している。
【0014】図2に示すように、インデックステーブル
2はモータ4の回転軸4aに連結されており、このモー
タ4を駆動するとインデックステーブル2が図1の反時
計まわり方向に45゜ずつ間欠回転し、ワーク支持手段
3A〜3Hが、インデックステーブル2の中心点の周囲
に45゜の角度間隔をおいて設けられたワーク処理位置
P1〜P8(インデックステーブル2の回転によって変
動しない)に順次搬送されるようになっている。
2はモータ4の回転軸4aに連結されており、このモー
タ4を駆動するとインデックステーブル2が図1の反時
計まわり方向に45゜ずつ間欠回転し、ワーク支持手段
3A〜3Hが、インデックステーブル2の中心点の周囲
に45゜の角度間隔をおいて設けられたワーク処理位置
P1〜P8(インデックステーブル2の回転によって変
動しない)に順次搬送されるようになっている。
【0015】また、図2に示すように、インデックステ
ーブル2上には、インデックステーブル2の中心部に配
置されたモータ(回転駆動装置)5と、このモータ5の
回転軸5aに連結された円筒カム6と、各ワーク支持手
段3A〜3Hに対応して設けられ、ワーク支持手段3A
〜3Hに支持された円盤D、D’に対して、加圧、ピッ
クアップ等の処理を行う昇降ユニット7A〜7H(図1
参照)とが設けられている。
ーブル2上には、インデックステーブル2の中心部に配
置されたモータ(回転駆動装置)5と、このモータ5の
回転軸5aに連結された円筒カム6と、各ワーク支持手
段3A〜3Hに対応して設けられ、ワーク支持手段3A
〜3Hに支持された円盤D、D’に対して、加圧、ピッ
クアップ等の処理を行う昇降ユニット7A〜7H(図1
参照)とが設けられている。
【0016】昇降ユニット7A〜7Hは、図3に示すよ
うに、インデックステーブル2に上下方向に摺動自在に
取り付けられた垂直方向に延びるロッド8と、このロッ
ド8の下端側に固着されたアーム9と、ロッド8の上端
に固着されたカムフォロワ10とから成る昇降体11を
有しており、カムフォロワ10は、円筒カム6の外周面
に刻設されたカム溝6a(図2参照)に係合している。
うに、インデックステーブル2に上下方向に摺動自在に
取り付けられた垂直方向に延びるロッド8と、このロッ
ド8の下端側に固着されたアーム9と、ロッド8の上端
に固着されたカムフォロワ10とから成る昇降体11を
有しており、カムフォロワ10は、円筒カム6の外周面
に刻設されたカム溝6a(図2参照)に係合している。
【0017】モータ5を駆動すると、円筒カム6は中心
軸まわりに図1の時計まわり方向に回転し、図5に示す
ように、昇降ユニット7A〜7Hの昇降体11が、上端
位置U.P(図3の位置)と下端位置L.P(図4の位
置)との間で上下動を行うようになっている。なお、本
実施形態ではモータ5は連続回転するようになってお
り、その回転速度は、インデックステーブル2が45゜
回転する毎に円筒カム6が45゜回転するように設定さ
れている。
軸まわりに図1の時計まわり方向に回転し、図5に示す
ように、昇降ユニット7A〜7Hの昇降体11が、上端
位置U.P(図3の位置)と下端位置L.P(図4の位
置)との間で上下動を行うようになっている。なお、本
実施形態ではモータ5は連続回転するようになってお
り、その回転速度は、インデックステーブル2が45゜
回転する毎に円筒カム6が45゜回転するように設定さ
れている。
【0018】図3に示すように、アーム9は先端に円形
の吸着部9aを有しており、その内部には空気室9bが
形成されている。空気室9bの下端は吸着部9aの下面
に開口しており、その開口部を覆うように多孔質部材9
cが取り付けられている。
の吸着部9aを有しており、その内部には空気室9bが
形成されている。空気室9bの下端は吸着部9aの下面
に開口しており、その開口部を覆うように多孔質部材9
cが取り付けられている。
【0019】空気室9bには真空ポンプPが連通接続さ
れており、アーム9が下端位置L.P(図4の位置)に
ある状態で真空ポンプPを駆動すると円盤Dが多孔質部
材9cに吸着支持され、真空ポンプPを停止すると円盤
Dが多孔質部材9cから離脱するようになっている。
れており、アーム9が下端位置L.P(図4の位置)に
ある状態で真空ポンプPを駆動すると円盤Dが多孔質部
材9cに吸着支持され、真空ポンプPを停止すると円盤
Dが多孔質部材9cから離脱するようになっている。
【0020】次に、上記のように構成したワーク搬送装
置1の動作を図5を参照しながら説明する。なお、動作
開始時には、図1に示すように、ワーク支持手段3Aが
ワーク処理位置P1にあるものとする。
置1の動作を図5を参照しながら説明する。なお、動作
開始時には、図1に示すように、ワーク支持手段3Aが
ワーク処理位置P1にあるものとする。
【0021】図5に示すように、ワーク処理位置P1に
ある昇降ユニット7Aの昇降体11は上端位置U.Pに
保持されており、ワーク処理位置P1にあるワーク支持
手段3A上には、図示しない移送アームによって、光磁
気ディスクの上面側を形成する円盤Dが載置装着され
る。
ある昇降ユニット7Aの昇降体11は上端位置U.Pに
保持されており、ワーク処理位置P1にあるワーク支持
手段3A上には、図示しない移送アームによって、光磁
気ディスクの上面側を形成する円盤Dが載置装着され
る。
【0022】そして、インデックステーブル2が反時計
まわり方向に回転し始め、これと同期して円筒カム6が
時計まわり方向に回転し始める。円筒カム6が回転する
ことにより、図5に示すように、昇降ユニット7Aの昇
降体11が下降し始め、下端位置L.Pに達すると真空
ポンプPが駆動されてワーク支持手段3A上の円盤Dが
アーム9に吸着支持される。そして、昇降ユニット7A
の昇降体11は上昇し始め、上端位置U.Pに達すると
停止する。インデックステーブル2は45゜回転すると
停止する。
まわり方向に回転し始め、これと同期して円筒カム6が
時計まわり方向に回転し始める。円筒カム6が回転する
ことにより、図5に示すように、昇降ユニット7Aの昇
降体11が下降し始め、下端位置L.Pに達すると真空
ポンプPが駆動されてワーク支持手段3A上の円盤Dが
アーム9に吸着支持される。そして、昇降ユニット7A
の昇降体11は上昇し始め、上端位置U.Pに達すると
停止する。インデックステーブル2は45゜回転すると
停止する。
【0023】次いで、ワーク処理位置P2に達したワー
ク支持手段3A上に、図示しない移送アームによって、
光磁気ディスクの下面側を形成する円盤D’が載置装着
される。そして、インデックステーブル2が回転方向に
45゜回転する。このとき、昇降ユニット7Aの昇降体
11は、図5に示すように、上端位置U.Pに保持され
たままである。
ク支持手段3A上に、図示しない移送アームによって、
光磁気ディスクの下面側を形成する円盤D’が載置装着
される。そして、インデックステーブル2が回転方向に
45゜回転する。このとき、昇降ユニット7Aの昇降体
11は、図5に示すように、上端位置U.Pに保持され
たままである。
【0024】ワーク処理位置P3に達したワーク支持手
段3A上の円盤D’の上面には、図示しない接着剤塗布
手段により、接着剤(紫外線硬化樹脂)が塗布される。
そして、インデックステーブル2が回転方向に45゜回
転する。このとき、昇降ユニット7Aの昇降体11は、
図5に示すように、下端位置L.Pに下降し、アーム9
に吸着支持された円盤Dが、ワーク支持手段3A上に支
持された円盤D’上に重ね合わされる(図4参照)。
段3A上の円盤D’の上面には、図示しない接着剤塗布
手段により、接着剤(紫外線硬化樹脂)が塗布される。
そして、インデックステーブル2が回転方向に45゜回
転する。このとき、昇降ユニット7Aの昇降体11は、
図5に示すように、下端位置L.Pに下降し、アーム9
に吸着支持された円盤Dが、ワーク支持手段3A上に支
持された円盤D’上に重ね合わされる(図4参照)。
【0025】このときの昇降体11の下降動作は、図5
に示すように、下端位置L.Pに達する直前までは急激
に下降するが、それ以後は徐々に減速して円盤Dが円盤
D’上に静かに重ね合わされ、円盤Dが円盤D’に対し
て緩やかに加圧されるように設定されている。このよう
にすると、接着剤のはみ出しを防ぐことができ、歩留ま
り率を向上することができる。このような動作は、カム
溝6aを曲線状に形成することによって達成されてい
る。
に示すように、下端位置L.Pに達する直前までは急激
に下降するが、それ以後は徐々に減速して円盤Dが円盤
D’上に静かに重ね合わされ、円盤Dが円盤D’に対し
て緩やかに加圧されるように設定されている。このよう
にすると、接着剤のはみ出しを防ぐことができ、歩留ま
り率を向上することができる。このような動作は、カム
溝6aを曲線状に形成することによって達成されてい
る。
【0026】図5に示すように、円盤Dの円盤D’に対
する加圧は、インデックステーブル2が間欠回転を4回
行う間、即ち、ワーク支持手段3Aがワーク処理位置P
7に達するまで行われる。そして、ワーク処理位置P7
において、ワーク支持手段3A上の円盤D、D’に紫外
線が照射され、これによって接着剤が硬化し、円盤D、
D’が互いに固着されて光磁気ディスクとなる。
する加圧は、インデックステーブル2が間欠回転を4回
行う間、即ち、ワーク支持手段3Aがワーク処理位置P
7に達するまで行われる。そして、ワーク処理位置P7
において、ワーク支持手段3A上の円盤D、D’に紫外
線が照射され、これによって接着剤が硬化し、円盤D、
D’が互いに固着されて光磁気ディスクとなる。
【0027】そして、真空ポンプPが停止するとともに
インデックステーブル2が回転方向に45゜回転し、図
5に示すように、昇降ユニット7Aの昇降体11が上端
位置U.Pまで上昇する。そして、ワーク処理位置P8
のワーク支持手段3A上に支持された光磁気ディスクは
図示しない移送アームによって次工程に移送される。
インデックステーブル2が回転方向に45゜回転し、図
5に示すように、昇降ユニット7Aの昇降体11が上端
位置U.Pまで上昇する。そして、ワーク処理位置P8
のワーク支持手段3A上に支持された光磁気ディスクは
図示しない移送アームによって次工程に移送される。
【0028】なお、他のワーク支持手段3B〜3Hがワ
ーク処理位置P1〜P8間を移動する際にもそれぞれに
対応する昇降ユニット7B〜7Hによって上記と同様の
処理が行われ、8枚の光磁気ディスクの製造が同時に並
行して行われる。
ーク処理位置P1〜P8間を移動する際にもそれぞれに
対応する昇降ユニット7B〜7Hによって上記と同様の
処理が行われ、8枚の光磁気ディスクの製造が同時に並
行して行われる。
【0029】次に、本発明の第2の実施形態について説
明する。図6は本発明の第2の実施形態のワーク搬送装
置21の平面図、図7は図1のC−C線断面図、図8は
ワーク処理位置と昇降体の位置の関係を示すタイミング
線図である。
明する。図6は本発明の第2の実施形態のワーク搬送装
置21の平面図、図7は図1のC−C線断面図、図8は
ワーク処理位置と昇降体の位置の関係を示すタイミング
線図である。
【0030】図6に示すように、本実施形態のワーク搬
送装置21では、インデックステーブル22の周縁部に
30゜の角度間隔をおいて12個のワーク支持手段23
A〜23Lが設けられている。図7に示すように、ワー
ク支持手段23A〜23Lは、第1の実施形態と同じ円
盤D、D’を載置装着するように成したもので、中心部
に円盤D、D’のセンターホールに摺動自在に嵌合する
突起23aを有している。
送装置21では、インデックステーブル22の周縁部に
30゜の角度間隔をおいて12個のワーク支持手段23
A〜23Lが設けられている。図7に示すように、ワー
ク支持手段23A〜23Lは、第1の実施形態と同じ円
盤D、D’を載置装着するように成したもので、中心部
に円盤D、D’のセンターホールに摺動自在に嵌合する
突起23aを有している。
【0031】図7に示すように、インデックステーブル
22は中心部22aがモータ24の回転軸24aに連結
されており、このモータ24を駆動するとインデックス
テーブル22が図6の反時計まわり方向に30゜ずつ間
欠回転し、ワーク支持手段23A〜23Lが、インデッ
クステーブル22の中心点の周囲に30゜の角度間隔を
おいて設けられたワーク処理位置p1〜p12(インデ
ックステーブル22の回転によって変動しない)に順次
搬送されるようになっている。
22は中心部22aがモータ24の回転軸24aに連結
されており、このモータ24を駆動するとインデックス
テーブル22が図6の反時計まわり方向に30゜ずつ間
欠回転し、ワーク支持手段23A〜23Lが、インデッ
クステーブル22の中心点の周囲に30゜の角度間隔を
おいて設けられたワーク処理位置p1〜p12(インデ
ックステーブル22の回転によって変動しない)に順次
搬送されるようになっている。
【0032】また、図7に示すように、インデックステ
ーブル22上には、インデックステーブル22の中心部
22a上に配置されたモータ25と、このモータ25の
胴体部分25bに連結されたカム26と、各ワーク支持
手段23A〜23Lに対応して設けられ、ワーク支持手
段23A〜23Lに支持された円盤D、D’に対して加
圧、ピックアップ等の処理を行う昇降ユニット27A〜
27L(図6参照)とが設けられている。
ーブル22上には、インデックステーブル22の中心部
22a上に配置されたモータ25と、このモータ25の
胴体部分25bに連結されたカム26と、各ワーク支持
手段23A〜23Lに対応して設けられ、ワーク支持手
段23A〜23Lに支持された円盤D、D’に対して加
圧、ピックアップ等の処理を行う昇降ユニット27A〜
27L(図6参照)とが設けられている。
【0033】モータ25は、その回転軸25aの先端部
がインデックステーブル22の中心部22aの上面に固
着されるとともに回転軸25aの軸心がインデックステ
ーブル22の上面に対して垂直になるように配置されて
おり、モータ25を駆動すると、モータ25の胴体部分
25bがインデックステーブル22に対して図6の時計
まわり方向に回転する。なお、本実施形態では、モータ
25は連続回転するようになっており、その回転速度
は、インデックステーブル22が30゜回転する毎にカ
ム26が30゜回転するように設定されている。
がインデックステーブル22の中心部22aの上面に固
着されるとともに回転軸25aの軸心がインデックステ
ーブル22の上面に対して垂直になるように配置されて
おり、モータ25を駆動すると、モータ25の胴体部分
25bがインデックステーブル22に対して図6の時計
まわり方向に回転する。なお、本実施形態では、モータ
25は連続回転するようになっており、その回転速度
は、インデックステーブル22が30゜回転する毎にカ
ム26が30゜回転するように設定されている。
【0034】カム26は、扇形の連結部26aと、その
先端部から下方に向けて垂下した横断面形状が円弧形の
垂直壁26bと、その下端部に取り付けられたカム本体
26cとを備えている。カム本体26cは板状のもの
で、その上面には回転方向に沿って上下方向に起伏する
曲面が形成されている。
先端部から下方に向けて垂下した横断面形状が円弧形の
垂直壁26bと、その下端部に取り付けられたカム本体
26cとを備えている。カム本体26cは板状のもの
で、その上面には回転方向に沿って上下方向に起伏する
曲面が形成されている。
【0035】昇降ユニット27A〜27Lはカム26の
回転に伴って上下動を行う昇降体を有しており、この昇
降体は、図7に示すように、インデックステーブル22
に円筒状のガイド部材28〜30を介して上下方向に摺
動自在に取り付けられた垂直方向に延びるロッド31〜
33と、ロッド31、32の上端部に取り付けられたデ
ィスク押圧吸着部材34と、ロッド31〜33の下端部
に取り付けられたフレーム35と、ロッド33の上端部
に取り付けられたブラケット36と、このブラケット3
6に中心軸まわりに回転自在に取り付けられ、中心軸が
インデックステーブル22の径方向に一致するように配
置された支軸37と、この支軸37の内側の端部に固着
されたローラ状のカムフォロワ38と、フレーム35に
おける内側の端部に中心軸まわりに回転自在に取り付け
られ、中心軸がインデックステーブル22の径方向に一
致するように配置された支軸39と、この支軸39の内
側の端部に固着されたローラ40とから成っている。
回転に伴って上下動を行う昇降体を有しており、この昇
降体は、図7に示すように、インデックステーブル22
に円筒状のガイド部材28〜30を介して上下方向に摺
動自在に取り付けられた垂直方向に延びるロッド31〜
33と、ロッド31、32の上端部に取り付けられたデ
ィスク押圧吸着部材34と、ロッド31〜33の下端部
に取り付けられたフレーム35と、ロッド33の上端部
に取り付けられたブラケット36と、このブラケット3
6に中心軸まわりに回転自在に取り付けられ、中心軸が
インデックステーブル22の径方向に一致するように配
置された支軸37と、この支軸37の内側の端部に固着
されたローラ状のカムフォロワ38と、フレーム35に
おける内側の端部に中心軸まわりに回転自在に取り付け
られ、中心軸がインデックステーブル22の径方向に一
致するように配置された支軸39と、この支軸39の内
側の端部に固着されたローラ40とから成っている。
【0036】各ディスク押圧吸着部材34の内部には空
気室(不図示)が形成されており、この空気室はディス
ク押圧吸着部材34の下面に開口し、この開口を覆うよ
うに多孔質部材(不図示)が取り付けられている。前記
空気室には、図7に示すように、真空ポンプPが連通接
続されており、前記多孔質部材が円盤Dに接した状態で
この真空ポンプPを駆動すると円盤Dが多孔質部材に吸
着支持され、真空ポンプPを停止すると円盤Dが多孔質
部材から離脱するようになっている。
気室(不図示)が形成されており、この空気室はディス
ク押圧吸着部材34の下面に開口し、この開口を覆うよ
うに多孔質部材(不図示)が取り付けられている。前記
空気室には、図7に示すように、真空ポンプPが連通接
続されており、前記多孔質部材が円盤Dに接した状態で
この真空ポンプPを駆動すると円盤Dが多孔質部材に吸
着支持され、真空ポンプPを停止すると円盤Dが多孔質
部材から離脱するようになっている。
【0037】また、図7に示すように、インデックステ
ーブル22の下方には、横断面形状が円弧形のガイド部
材41が設けられており、その上面には回転方向に沿っ
て上下方向に起伏する曲面が形成されている。さらに、
インデックステーブル22の下面には、各昇降ユニット
27A〜27Lに対応してL字形のバネ支持部材42が
設けられており、このバネ支持部材42は下端部がフレ
ーム35の下方に位置するように配置されている。そし
て、バネ支持部材42の下端部とフレーム35の間には
圧縮バネ43が張装されており、これによって昇降体が
上方に弾性付勢されている。
ーブル22の下方には、横断面形状が円弧形のガイド部
材41が設けられており、その上面には回転方向に沿っ
て上下方向に起伏する曲面が形成されている。さらに、
インデックステーブル22の下面には、各昇降ユニット
27A〜27Lに対応してL字形のバネ支持部材42が
設けられており、このバネ支持部材42は下端部がフレ
ーム35の下方に位置するように配置されている。そし
て、バネ支持部材42の下端部とフレーム35の間には
圧縮バネ43が張装されており、これによって昇降体が
上方に弾性付勢されている。
【0038】モータ24、25を駆動すると、インデッ
クステーブル22が図6の反時計まわり方向に回転する
とともにカム26が時計まわり方向に回転する。ワーク
支持手段23A〜23Lがワーク処理位置p7〜p11
間を移動するときには、それに対応する昇降ユニット2
7A〜27Lのカムフォロワ38の外周面がカム本体2
6cの上面に摺接し、ワーク支持手段23A〜23Lが
ワーク処理位置p7〜p11間以外の位置を移動すると
きには、それに対応する昇降ユニット27A〜27Lの
ローラ40がガイド部材41の上面に摺接し、これによ
って、昇降ユニット27A〜27Lの昇降体は、図8に
示すように、上端位置U.P(図7の左側に示す位置)
と下端位置L.P(図7の右側に示す位置)との間で上
下動を行うようになっている。
クステーブル22が図6の反時計まわり方向に回転する
とともにカム26が時計まわり方向に回転する。ワーク
支持手段23A〜23Lがワーク処理位置p7〜p11
間を移動するときには、それに対応する昇降ユニット2
7A〜27Lのカムフォロワ38の外周面がカム本体2
6cの上面に摺接し、ワーク支持手段23A〜23Lが
ワーク処理位置p7〜p11間以外の位置を移動すると
きには、それに対応する昇降ユニット27A〜27Lの
ローラ40がガイド部材41の上面に摺接し、これによ
って、昇降ユニット27A〜27Lの昇降体は、図8に
示すように、上端位置U.P(図7の左側に示す位置)
と下端位置L.P(図7の右側に示す位置)との間で上
下動を行うようになっている。
【0039】次に、上記のように構成したワーク搬送装
置21の動作を図8を参照しながら説明する。なお、動
作開始時には、図6に示すように、ワーク支持手段23
Aがワーク処理位置p1にあるものとする。
置21の動作を図8を参照しながら説明する。なお、動
作開始時には、図6に示すように、ワーク支持手段23
Aがワーク処理位置p1にあるものとする。
【0040】図8に示すように、ワーク処理位置p1に
ある昇降ユニット27Aの昇降体は上端位置U.Pに保
持されている。そして、インデックステーブル22が反
時計まわり方向に回転し始め、これと同期してカム26
が時計まわり方向に回転し始める。そして、インデック
ステーブル22は30゜回転すると停止する。ワーク処
理位置p2に達したワーク支持手段23A上には、図示
しない移送アームによって、光磁気ディスクの上面側を
形成する円盤Dが載置装着される。
ある昇降ユニット27Aの昇降体は上端位置U.Pに保
持されている。そして、インデックステーブル22が反
時計まわり方向に回転し始め、これと同期してカム26
が時計まわり方向に回転し始める。そして、インデック
ステーブル22は30゜回転すると停止する。ワーク処
理位置p2に達したワーク支持手段23A上には、図示
しない移送アームによって、光磁気ディスクの上面側を
形成する円盤Dが載置装着される。
【0041】そして、インデックステーブル22が回転
方向に回転し始め、図8に示すように、昇降ユニット2
7Aの昇降体が下降し始める。インデックステーブル2
2は30゜回転すると停止し、これと同時に昇降ユニッ
ト27Aの昇降体が下端位置L.Pに達する。そして、
真空ポンプPが駆動され、ワーク処理位置p3に達した
ワーク支持手段23A上の円盤Dがディスク押圧吸着部
材34に吸着支持される。
方向に回転し始め、図8に示すように、昇降ユニット2
7Aの昇降体が下降し始める。インデックステーブル2
2は30゜回転すると停止し、これと同時に昇降ユニッ
ト27Aの昇降体が下端位置L.Pに達する。そして、
真空ポンプPが駆動され、ワーク処理位置p3に達した
ワーク支持手段23A上の円盤Dがディスク押圧吸着部
材34に吸着支持される。
【0042】そして、インデックステーブル22が回転
方向に回転し始め、図8に示すように、昇降ユニット2
7Aの昇降体が上昇し始める。インデックステーブル2
2は30゜回転すると停止し、これと同時に昇降ユニッ
ト27Aの昇降体が上端位置L.Pに達する。ワーク処
理位置p4に達したワーク支持手段23A上には、図示
しない移送アームによって、光磁気ディスクの下面側を
形成する円盤D’が載置装着される。
方向に回転し始め、図8に示すように、昇降ユニット2
7Aの昇降体が上昇し始める。インデックステーブル2
2は30゜回転すると停止し、これと同時に昇降ユニッ
ト27Aの昇降体が上端位置L.Pに達する。ワーク処
理位置p4に達したワーク支持手段23A上には、図示
しない移送アームによって、光磁気ディスクの下面側を
形成する円盤D’が載置装着される。
【0043】次いで、インデックステーブル22が回転
方向に30゜回転する。このとき、昇降ユニット27A
の昇降体は、図8に示すように、上端位置U.Pに保持
されたままである。ワーク処理位置p5に達したワーク
支持手段23A上の円盤D’の上面には、図示しない接
着剤塗布手段により、接着剤(紫外線硬化樹脂)が塗布
される。そして、インデックステーブル22は回転方向
に30゜回転し、図8に示すように、昇降ユニット27
Aの昇降体は、下降し始める。さらに、インデックステ
ーブル22が回転方向に30゜回転し、ワーク支持手段
23Aがワーク処理位置p7に達するとともに、昇降ユ
ニット27Aの昇降体は下端位置L.Pの直前まで下降
する。
方向に30゜回転する。このとき、昇降ユニット27A
の昇降体は、図8に示すように、上端位置U.Pに保持
されたままである。ワーク処理位置p5に達したワーク
支持手段23A上の円盤D’の上面には、図示しない接
着剤塗布手段により、接着剤(紫外線硬化樹脂)が塗布
される。そして、インデックステーブル22は回転方向
に30゜回転し、図8に示すように、昇降ユニット27
Aの昇降体は、下降し始める。さらに、インデックステ
ーブル22が回転方向に30゜回転し、ワーク支持手段
23Aがワーク処理位置p7に達するとともに、昇降ユ
ニット27Aの昇降体は下端位置L.Pの直前まで下降
する。
【0044】そして、インデックステーブル22が回転
方向に30゜回転し、昇降ユニット27Aの昇降体は下
端位置L.Pに下降し、ディスク押圧吸着部材34に吸
着支持された円盤Dがワーク支持手段23A上に重ね合
わされる。このときの昇降体の下降動作は、第1の実施
形態と同様に、徐々に減速しながら円盤Dが円盤D’に
対して静かに重ね合わされ、円盤Dが円盤D’に対して
緩やかに加圧されるように設定されている。
方向に30゜回転し、昇降ユニット27Aの昇降体は下
端位置L.Pに下降し、ディスク押圧吸着部材34に吸
着支持された円盤Dがワーク支持手段23A上に重ね合
わされる。このときの昇降体の下降動作は、第1の実施
形態と同様に、徐々に減速しながら円盤Dが円盤D’に
対して静かに重ね合わされ、円盤Dが円盤D’に対して
緩やかに加圧されるように設定されている。
【0045】そして、インデックステーブル22が三回
間欠回転を行う間、即ち、ワーク処理位置p8にあるワ
ーク支持手段23Aがワーク処理位置p11に達するま
での間は、図8に示すように、昇降ユニット27Aの昇
降体が下端位置L.Pに保持されて円盤Dが円盤D’に
対して加圧され続ける。また、この間、円盤D、D’に
紫外線が照射され、これによって接着剤が硬化するた
め、円盤D、D’が互いに固着されて光磁気ディスクと
なる。なお、紫外線は円盤Dの上方から照射されるが、
円盤Dに接している多孔質部材に貫通孔や透明な部分を
設けて紫外線が円盤Dに達するようにしてある。
間欠回転を行う間、即ち、ワーク処理位置p8にあるワ
ーク支持手段23Aがワーク処理位置p11に達するま
での間は、図8に示すように、昇降ユニット27Aの昇
降体が下端位置L.Pに保持されて円盤Dが円盤D’に
対して加圧され続ける。また、この間、円盤D、D’に
紫外線が照射され、これによって接着剤が硬化するた
め、円盤D、D’が互いに固着されて光磁気ディスクと
なる。なお、紫外線は円盤Dの上方から照射されるが、
円盤Dに接している多孔質部材に貫通孔や透明な部分を
設けて紫外線が円盤Dに達するようにしてある。
【0046】そして、真空ポンプPが停止して光磁気デ
ィスクの吸着が解除され、インデックステーブル22が
回転方向に30゜回転するとともに、図8に示すよう
に、昇降ユニット27Aの昇降体が上端位置U.Pまで
上昇する。そして、ワーク処理位置p12に達したワー
ク支持手段23A上に支持された光磁気ディスクは図示
しない移送アームによって次工程に移送される。
ィスクの吸着が解除され、インデックステーブル22が
回転方向に30゜回転するとともに、図8に示すよう
に、昇降ユニット27Aの昇降体が上端位置U.Pまで
上昇する。そして、ワーク処理位置p12に達したワー
ク支持手段23A上に支持された光磁気ディスクは図示
しない移送アームによって次工程に移送される。
【0047】なお、他のワーク支持手段23B〜23L
がワーク処理位置p1〜p12間を移動する際にもそれ
ぞれに対応する昇降ユニット7B〜7Lによって上記と
同様の処理が行われ、12枚の光磁気ディスクの製造が
同時に並行して行われる。
がワーク処理位置p1〜p12間を移動する際にもそれ
ぞれに対応する昇降ユニット7B〜7Lによって上記と
同様の処理が行われ、12枚の光磁気ディスクの製造が
同時に並行して行われる。
【0048】なお、本実施形態では、インデックステー
ブル22が30゜回転する毎にモータ25の胴体部分2
5bも逆方向に同じ角度回転するようになっているた
め、モータ25はインデックステーブル22の周囲の部
分に対しては回転しないことになる。したがって、イン
デックステーブル22外に配置された電源(不図示)と
モータ25をつなぐ結線が回転しないため、これがから
まらないように配慮する必要がなく、設計が容易になる
という利点を有する。
ブル22が30゜回転する毎にモータ25の胴体部分2
5bも逆方向に同じ角度回転するようになっているた
め、モータ25はインデックステーブル22の周囲の部
分に対しては回転しないことになる。したがって、イン
デックステーブル22外に配置された電源(不図示)と
モータ25をつなぐ結線が回転しないため、これがから
まらないように配慮する必要がなく、設計が容易になる
という利点を有する。
【0049】なお、本発明は上記実施形態に限定される
ものではなく、種々の変更が可能である。
ものではなく、種々の変更が可能である。
【0050】例えば、上記実施形態では、本発明を光磁
気ディスクの製造装置に適用した場合について説明した
が、他の装置に適用することもできる。
気ディスクの製造装置に適用した場合について説明した
が、他の装置に適用することもできる。
【0051】また、上記実施形態では、搬送中のワーク
に対して、加圧とピックアップを行うようにしている
が、上下方向の動作を伴う他の処理を行うようにしても
よい。
に対して、加圧とピックアップを行うようにしている
が、上下方向の動作を伴う他の処理を行うようにしても
よい。
【0052】また、上記の第1の実施形態では、カムと
して、外周面に昇降体に係合する曲線状のカム溝が全周
にわたって刻設され、中心軸まわりに回転するように回
転駆動装置に取り付けられた円筒状のものが用いられて
いるが、円柱状のものあってもよく、また、周方向の一
部を切り欠いた筒状または柱状のもの(例えば、横断面
形状が扇形や半円形のもの等)であってもよい。また、
カム溝は外周面に必ずしも全周にわたって刻設する必要
はない。
して、外周面に昇降体に係合する曲線状のカム溝が全周
にわたって刻設され、中心軸まわりに回転するように回
転駆動装置に取り付けられた円筒状のものが用いられて
いるが、円柱状のものあってもよく、また、周方向の一
部を切り欠いた筒状または柱状のもの(例えば、横断面
形状が扇形や半円形のもの等)であってもよい。また、
カム溝は外周面に必ずしも全周にわたって刻設する必要
はない。
【0053】また、上記の第2の実施形態のように、カ
ムが水平面内で回転する板状のものである場合には、そ
の形状は、上記実施形態のような円弧状以外に円盤状や
環状に形成することもできる。なお、円盤状や環状の場
合には、昇降体に係合する曲面は必ずしも全周にわたっ
て形成する必要はない。
ムが水平面内で回転する板状のものである場合には、そ
の形状は、上記実施形態のような円弧状以外に円盤状や
環状に形成することもできる。なお、円盤状や環状の場
合には、昇降体に係合する曲面は必ずしも全周にわたっ
て形成する必要はない。
【0054】また、上記実施形態では、インデックステ
ーブル上に、カムの回転に伴って上下動し、ワーク支持
手段に支持されたワークに対して接離する昇降体を有す
る昇降ユニットを設け、この昇降ユニットによりワーク
に加圧等の処理を行うようにしているが、これに代え
て、インデックステーブル上に、ワーク支持手段を支持
するとともにカムの回転に伴って上下動する昇降体を有
する昇降ユニットを設け、ワークの搬送中にこの昇降ユ
ニットによりワーク支持手段を上下動させ、昇降ユニッ
トとは別に設けられたワーク処理手段にワークを接離さ
せてワークに加圧等の処理を行うようにしてもよい。
ーブル上に、カムの回転に伴って上下動し、ワーク支持
手段に支持されたワークに対して接離する昇降体を有す
る昇降ユニットを設け、この昇降ユニットによりワーク
に加圧等の処理を行うようにしているが、これに代え
て、インデックステーブル上に、ワーク支持手段を支持
するとともにカムの回転に伴って上下動する昇降体を有
する昇降ユニットを設け、ワークの搬送中にこの昇降ユ
ニットによりワーク支持手段を上下動させ、昇降ユニッ
トとは別に設けられたワーク処理手段にワークを接離さ
せてワークに加圧等の処理を行うようにしてもよい。
【0055】その他にも、本発明の要旨を逸脱しない範
囲で種々の変更が可能である。
囲で種々の変更が可能である。
【0056】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、搬
送中のワークに対して、加圧、ピックアップ等の上下方
向の動作を伴う処理を行うことができるため、タクトタ
イムを短縮することができる。なお、本発明の装置は、
極めて簡単な構成であり、安価に製造することができ
る。
送中のワークに対して、加圧、ピックアップ等の上下方
向の動作を伴う処理を行うことができるため、タクトタ
イムを短縮することができる。なお、本発明の装置は、
極めて簡単な構成であり、安価に製造することができ
る。
【図1】 本発明の第1の実施形態のワーク搬送装置1
の平面図。
の平面図。
【図2】 図1の一部省略側面図。
【図3】 図1のA−A線断面図。
【図4】 図1のB−B線断面図。
【図5】 第1の実施形態におけるワーク処理位置と昇
降体の位置の関係を示すタイミング線図。
降体の位置の関係を示すタイミング線図。
【図6】 本発明の第2の実施形態のワーク搬送装置2
1の平面図。
1の平面図。
【図7】 図1のC−C線断面図。
【図8】 第2の実施形態におけるワーク処理位置と昇
降体の位置の関係を示すタイミング線図。
降体の位置の関係を示すタイミング線図。
1 ワーク搬送装置 2 インデックステーブル 3 ワーク支持手段 5 回転駆動装置 6 円筒カム 7 昇降ユニット 11 昇降体 D、D’円盤(ワーク)
Claims (6)
- 【請求項1】 インデックステーブルの周縁部に複数個
のワーク支持手段を所定の角度間隔をおいて設け、前記
インデックステーブルを前記所定の角度ずつ間欠回転さ
せることにより前記ワーク支持手段に支持されたワーク
を前記インデックステーブルの中心点の周囲に設けられ
た複数のワーク処理位置に順次搬送するように成したワ
ーク搬送装置であって、前記インデックステーブル上に
設けられた回転駆動装置と、この回転駆動装置に連結さ
れたカムと、前記インデックステーブル上に前記各ワー
ク支持手段に対応して設けられ、前記カムの回転に伴っ
て前記ワーク支持手段に支持されたワークに対して接離
するように支持された昇降体を有する複数個の昇降ユニ
ットとを備えたことを特徴とするワーク搬送装置。 - 【請求項2】 インデックステーブルの周縁部に複数個
のワーク支持手段を所定の角度間隔をおいて設け、前記
インデックステーブルを前記所定の角度ずつ間欠回転さ
せることにより前記ワーク支持手段に支持されたワーク
を前記インデックステーブルの中心点の周囲に設けられ
た複数のワーク処理位置に順次搬送するように成したワ
ーク搬送装置であって、前記インデックステーブル上に
設けられた回転駆動装置と、この回転駆動装置に連結さ
れたカムと、前記インデックステーブル上に前記各ワー
ク支持手段に対応して設けられ、前記ワーク支持手段を
支持するとともに前記カムの回転に伴って上下動する昇
降体を有する昇降ユニットとを備えたことを特徴とする
ワーク搬送装置。 - 【請求項3】 前記回転駆動装置は、回転軸の先端部が
前記インデックステーブルの上面に固着されるとともに
前記回転軸の軸心が前記インデックステーブルの上面に
対して垂直になるように配置されたモータであり、前記
カムが前記モータの胴体部分に連結されたことを特徴と
する請求項1または請求項2に記載のワーク搬送装置。 - 【請求項4】 前記ワークが同形同大の二枚の円盤を接
着剤を介して厚さ方向に同心状に重ね合わせたものであ
り、前記昇降体の動作により一方の円盤が他方の円盤に
対して加圧されるように成したことを特徴とする請求項
1または請求項2に記載のワーク搬送装置。 - 【請求項5】 前記カムは、外周面に前記昇降体に係合
する曲線状のカム溝が刻設され、中心軸まわりに回転す
るように前記回転駆動装置に取り付けられた筒状または
柱状のものであることを特徴とする請求項1または請求
項2に記載のワーク搬送装置。 - 【請求項6】 前記カムは、上面または下面に回転方向
に沿って上下方向に起伏し前記昇降体に係合する曲面が
形成され、水平面内で回転するように前記回転駆動装置
に取り付けられた板状のものであることを特徴とする請
求項1または請求項2に記載のワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11028314A JP2000179641A (ja) | 1998-10-06 | 1999-02-05 | ワ―ク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10-283839 | 1998-10-06 | ||
JP28383998 | 1998-10-06 | ||
JP11028314A JP2000179641A (ja) | 1998-10-06 | 1999-02-05 | ワ―ク搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000179641A true JP2000179641A (ja) | 2000-06-27 |
Family
ID=26366392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11028314A Pending JP2000179641A (ja) | 1998-10-06 | 1999-02-05 | ワ―ク搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000179641A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004005033A1 (ja) * | 2002-07-08 | 2004-01-15 | Seiko Epson Corporation | 回転体、駆動変換装置、クリーニング装置、ワイピング装置及び液体噴射装置 |
JP2008082367A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Ooigawa Denki Seisakusho:Kk | 間欠送り機構 |
CN101058257B (zh) * | 2002-07-08 | 2010-06-09 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置 |
-
1999
- 1999-02-05 JP JP11028314A patent/JP2000179641A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004005033A1 (ja) * | 2002-07-08 | 2004-01-15 | Seiko Epson Corporation | 回転体、駆動変換装置、クリーニング装置、ワイピング装置及び液体噴射装置 |
US7182426B2 (en) | 2002-07-08 | 2007-02-27 | Seiko Epson Corporation | Rotor, drive conversion device, cleaning device, wiping device, and liquid injection device |
US7722155B2 (en) | 2002-07-08 | 2010-05-25 | Seiko Epson Corporation | Rotor, drive converting apparatus, cleaning apparatus, wiping apparatus, and liquid ejection apparatus |
CN101058257B (zh) * | 2002-07-08 | 2010-06-09 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置 |
JP2008082367A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Ooigawa Denki Seisakusho:Kk | 間欠送り機構 |
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