JP2000171511A - Device and method for inspecting short circuit in printed wiring board - Google Patents

Device and method for inspecting short circuit in printed wiring board

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JP2000171511A
JP2000171511A JP10348555A JP34855598A JP2000171511A JP 2000171511 A JP2000171511 A JP 2000171511A JP 10348555 A JP10348555 A JP 10348555A JP 34855598 A JP34855598 A JP 34855598A JP 2000171511 A JP2000171511 A JP 2000171511A
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circuit
circuit pattern
contact
area
short
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Japanese (ja)
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Yorio Hidehira
頼夫 秀平
Kiyoshi Imai
潔志 今井
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MicroCraft KK
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  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the number of inspections substantially in comparison with a method to measure short circuits between every combination of circuit patterns by a contact probe without using master data in inspections of short circuits in printed wiring boards. SOLUTION: A driving means 50 is controlled by a means 104 for controlling the measurement of area related values to bring a contact probe into contact with every circuit pattern of a substrate to be inspected. Then area related values are measured by an area related value measuring means 60, and the measured values related to the area of every circuit pattern are compared with each other by a short circuit candidate extracting means 105 to extract a group of circuit patterns with differences within a predetermined range. The driving means 50 is controlled by the short circuit measurement control means 106 to bring the contact probe into contact with each circuit pattern constituting a combination of circuit patterns among the extracted group of circuit patterns, and continuity is measured by a continuity measuring means 70.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
の回路パタンの欠陥を測定する装置および方法に関し、
詳しくは、回路パタンの面積および導通を測定すること
で回路パタン同士の短絡を検査する装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus and a method for measuring a defect of a circuit pattern on a printed wiring board.
More specifically, the present invention relates to a device for inspecting a short circuit between circuit patterns by measuring the area and conduction of the circuit patterns.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント配線基板の回路パタン同士の短
絡を検査する方法として、各回路パタンに接触針を接触
させて電流が流れるか否かによって判断することが一般
的に行われる。この場合、各回路パタン同士のすべての
組み合わせについての測定が必要になり、例えば回路パ
タンがN個あるとすると、N×(N−1)/2回の測定
を要することになる。ところが、プリント配線基板中の
回路パタンの数は集積度の高い大型のものでは数百にお
よび、このため測定に時間がかかるという問題がある。
そこで、より少ない測定回数で検査を行うために回路パ
タンの静電容量を測定する方法が提案されている。例え
ば、特開昭52−96358号公報や特開昭59−16
8375号公報には、被検査基板における欠陥がない場
合の各回路パタンの静電容量を記録したマスターデータ
を用いて、実際の被検査基板中の各回路パタンの静電容
量を測定し、マスターデータと比較することにより回路
同士の短絡を検知することが示されている。この方法に
よれば、接触針は各回路パタンにつき一回接触させれば
足りるので測定回数を大幅に減少させることができる。
2. Description of the Related Art As a method of inspecting a short circuit between circuit patterns on a printed wiring board, it is generally performed to determine whether or not a current flows by contacting a contact needle with each circuit pattern. In this case, it is necessary to measure all combinations of the circuit patterns. For example, if there are N circuit patterns, N × (N−1) / 2 measurements are required. However, the number of circuit patterns in a printed wiring board is several hundred in a large-scale one having a high degree of integration, and there is a problem that it takes a long time for measurement.
Therefore, a method of measuring the capacitance of a circuit pattern has been proposed in order to perform an inspection with a smaller number of measurements. For example, JP-A-52-96358 and JP-A-59-16
Japanese Patent No. 8375 discloses a method of measuring the capacitance of each circuit pattern in an actual substrate under test using master data in which the capacitance of each circuit pattern in the case where there is no defect in the substrate under test is measured. It is shown that a short circuit between circuits is detected by comparing with data. According to this method, the contact needle only needs to be contacted once for each circuit pattern, so that the number of measurements can be greatly reduced.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
方法を用いる場合には必ずマスターデータが必要とな
る。このため、マスターデータを計算や複数の測定値の
平均から取得することが行われるが、計算により正確な
マスターデータを得ることは困難であり、また、平均値
を算出する場合はサンプルの中の不良品率が高い場合等
は正確なマスターデータが得られない場合も生じる。ま
た、量産品でない単品受注や試作のプリント配線基板の
検査においてはマスターデータを作る手間は無駄であ
る。本発明はこのような問題を解決するためになされた
ものであり、マスターデータを用いることなく全回路パ
タン同士の組み合わせ間の短絡を接触針で測定する場合
よりも大幅に検査回数を少なくすることを課題とする。
However, when the above method is used, master data is always required. For this reason, the master data is calculated or obtained from the average of a plurality of measured values, but it is difficult to obtain accurate master data by calculation. When the reject rate is high, accurate master data may not be obtained. Further, in order to receive a single product that is not a mass-produced product or to inspect a prototype printed wiring board, it is useless to create master data. The present invention has been made to solve such a problem, and the number of inspections is significantly reduced as compared with a case where a short circuit between combinations of all circuit patterns is measured with a contact needle without using master data. As an issue.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るプリント配線基板検査装置では、導電
体により構成された二以上の接触針と、前記接触針を被
検査基板の回路パタン上の任意の点に移動し接触させる
駆動手段と、前記接触針が接触した回路パタンの面積に
関連する値を測定する面積関連値測定手段と、前記接触
針が接触した2点間の導通を測定する導通測定手段とを
有している。そして、これらに対する制御を行うため
に、被検査基板の回路パタンの位置及び形状に関する回
路パタン情報を受け付ける回路パタン情報受付手段と、
受け付けた前記回路パタン情報に基づき前記駆動手段を
制御して全回路パタンに前記接触針を接触させ、前記面
積関連値測定手段に面積に関連する値を測定させる面積
関連値測定制御手段を設け、さらに、測定した全回路パ
タンの面積に関連する値同士を比較し、所定範囲内以下
の差異を有する回路パタン群を抽出する短絡候補抽出手
段と、前記駆動手段を制御して、抽出された回路パタン
群中の回路パタン同士の組み合わせを構成する各回路パ
タンに前記接触針を接触させ、前記導通測定手段に導通
を測定させる短絡測定制御手段とを設けている。なお、
「面積に関連する値」とは回路パタンの面積を直接導き
出すことができる値をいい、例えば、静電容量、インピ
ーダンス、位相差等が挙げられる。また、短絡候補抽出
手段の抽出基準となる「所定範囲内」とは、面積関連値
測定手段の誤差等を考慮にいれて、面積に関連する値が
ほぼ同一であると見なせる誤差の範囲をいう。
In order to solve the above-mentioned problems, in a printed wiring board inspection apparatus according to the present invention, two or more contact needles made of a conductor, and the contact needles are connected to a circuit of a substrate to be inspected. Driving means for moving and contacting an arbitrary point on the pattern, area-related value measuring means for measuring a value related to the area of the circuit pattern contacted by the contact needle, and conduction between two points contacted by the contact needle And a continuity measuring means for measuring And a circuit pattern information receiving means for receiving circuit pattern information relating to the position and shape of the circuit pattern on the substrate to be inspected,
An area-related value measurement control unit that controls the driving unit based on the received circuit pattern information to contact the contact needle with all circuit patterns and that measures the area-related value to the area-related value measurement unit, Further, a short-circuit candidate extracting unit for comparing values related to the area of all the measured circuit patterns and extracting a circuit pattern group having a difference within a predetermined range or less, and controlling the driving unit to extract the extracted circuit Short-circuit measurement control means is provided for causing the contact needle to come into contact with each circuit pattern constituting a combination of circuit patterns in the pattern group and causing the continuity measurement means to measure continuity. In addition,
The “value related to the area” refers to a value that can directly derive the area of the circuit pattern, and includes, for example, capacitance, impedance, phase difference, and the like. Further, “within a predetermined range” serving as an extraction criterion of the short-circuit candidate extracting means refers to a range of an error in which values related to the area can be considered to be substantially the same in consideration of an error of the area-related value measuring means and the like. .

【0005】以上のような構成により、回路パタン情報
受付手段が入力装置や記憶装置等から被検査基板の回路
パタンの位置及び形状に関する回路パタン情報を受け付
けると、面積関連値測定制御手段が、受け付けた回路パ
タン情報に基づき前記駆動手段を制御して全回路パタン
に前記接触針を接触させ、前記面積関連値測定手段に面
積に関連する値を測定させる。そして、短絡候補抽出手
段が測定した全回路パタンの面積に関連する値同士を比
較し、所定範囲内以下の差異を有する回路パタン群を抽
出する。短絡した回路パタン同士はほぼ同じ面積を持つ
ことになるので、面積に関連する値に所定値を越える差
異があるパタン同士は短絡していないと考えられる。そ
こで、これらは検査対象から除外して、短絡測定制御手
段は前記駆動手段を制御して、抽出された回路パタン群
中の回路パタン同士の組み合わせを構成する各回路パタ
ンに前記接触針を接触させ、前記導通測定手段に導通を
測定させることで回路パタンの最終的な短絡を検査す
る。このような動作により、面積に関連する値の測定と
短絡している可能性のある回路パタン同士の導通の測定
のみが行われ、また、実際は短絡している確率は低いの
で、測定回数を大幅に減少させることが可能となり、検
査時間の短縮を図ることができる。また、マスターデー
タを用意する手間が省け、この点においても作業および
時間の節約に資することができる。
With the above configuration, when the circuit pattern information receiving means receives the circuit pattern information relating to the position and shape of the circuit pattern of the substrate to be inspected from the input device or the storage device, the area-related value measurement control means receives the circuit pattern information. The driving means is controlled based on the obtained circuit pattern information to bring the contact needle into contact with all circuit patterns, and the area-related value measuring means measures a value related to the area. Then, values relating to the areas of all the circuit patterns measured by the short-circuit candidate extracting means are compared with each other, and a circuit pattern group having a difference within a predetermined range or less is extracted. Since short-circuited circuit patterns have substantially the same area, it is considered that patterns having a difference exceeding a predetermined value in area-related values are not short-circuited. Therefore, these are excluded from the inspection target, and the short-circuit measurement control means controls the driving means to bring the contact needle into contact with each of the circuit patterns constituting the combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group. Then, the continuity is measured by the continuity measuring means to check for a final short circuit. By such an operation, only the measurement of the value related to the area and the measurement of the continuity between the circuit patterns that may be short-circuited are performed, and the probability of short-circuiting is actually low, so the number of measurements is greatly increased. And the inspection time can be shortened. Further, the labor for preparing the master data can be omitted, and this also contributes to saving work and time.

【0006】上記のプリント配線基板検査装置において
は、前記面積関連値測定制御手段および前記短絡測定制
御手段の少なくとも1つに接触針の移動距離がもっとも
少なくなるように前記駆動手段を制御するようにさせる
ことが望ましい。即ち、面積に関する値の測定および短
絡測定のいずれにおいても、接触針が物理的に移動して
回路パタン上の点に接触しながら測定を行っていくの
で、必ず、接触針の移動距離が最小となる測定順および
測定タイミングが存在する。従って、接触針の移動距離
を最小とする制御を行うことで、測定時間をさらに短縮
することが可能となる。
In the above-mentioned printed wiring board inspection apparatus, at least one of the area-related value measurement control means and the short-circuit measurement control means controls the driving means so that the moving distance of the contact needle is minimized. It is desirable to make it. That is, in both the measurement of the value related to the area and the measurement of the short-circuit, the contact needle physically moves and the measurement is performed while touching a point on the circuit pattern. There are different measurement orders and measurement timings. Therefore, by performing control to minimize the moving distance of the contact needle, the measurement time can be further reduced.

【0007】また、上記課題を解決するために本発明に
係るプリント配線基板の回路パタン短絡検査方法では、
被検査基板上の全回路パタンの面積に関連する値を測定
する面積関連値測定ステップと、測定した面積に関連す
る値の差異が所定範囲内である回路パタン群を抽出する
短絡候補抽出ステップと、抽出された回路パタン群中の
回路パタン同士の組み合わせを構成する各回路パタン間
の導通を測定する短絡測定ステップとを有している。こ
のような構成により、面積関連値測定ステップでの測定
結果に基づき、短絡候補抽出ステップで、全回路パタン
から面積に関連する値の差異が所定範囲内である回路パ
タン群、即ち互いに短絡している可能性を有する回路パ
タン群が抽出される。最後に、短絡測定ステップでこの
抽出された短絡している可能性を有する回路パタン群の
中から回路パタンの組み合わせを構成する回路パタン間
の導通を測定することにより短絡を検査する。このよう
な動作により、マスターデータを用意することなく、測
定回数を大幅に減らして回路パタンの短絡を検査するこ
とができる。
In order to solve the above-mentioned problems, a method for inspecting a circuit pattern short-circuit of a printed wiring board according to the present invention comprises:
An area-related value measuring step of measuring a value related to the area of all circuit patterns on the board to be inspected, and a short-circuit candidate extracting step of extracting a circuit pattern group in which a difference between the measured areas is within a predetermined range. And a short-circuit measuring step of measuring the continuity between the respective circuit patterns constituting the combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group. With such a configuration, based on the measurement result in the area-related value measurement step, in the short-circuit candidate extraction step, a circuit pattern group in which the difference in the value related to the area is within a predetermined range from all the circuit patterns, that is, short-circuited with each other. Circuit patterns having a possibility of being present are extracted. Finally, in the short-circuit measurement step, the short-circuit is inspected by measuring the continuity between the circuit patterns constituting the combination of the circuit patterns from the extracted circuit patterns having a possibility of short-circuit. By such an operation, the number of measurements can be significantly reduced and a short circuit of a circuit pattern can be inspected without preparing master data.

【0008】さらに、上記課題を解決するために本発明
に係る記録媒体は、導電体により構成された二以上の接
触針を駆動手段により被検査基板の回路パタン上の任意
の点に移動し接触させることで、回路パタンの面積に関
連する値および前記接触針が接触した2点間の導通を測
定する装置をコンピュータにより制御させるプログラム
を記録している。そして、当該プログラムは、被検査基
板の回路パタンの位置及び形状に関する回路パタン情報
を受け付ける回路パタン情報受付ステップと、受け付け
た前記回路パタン情報に基づき前記駆動手段を制御して
全回路パタンに前記接触針を接触させ、前記面積関連値
測定手段に面積に関連する値を測定させる面積関連値測
定制御ステップと、測定した全回路パタンの面積に関連
する値同士を比較し、所定範囲内以下の差異を有する回
路パタン群を抽出する短絡候補抽出ステップと、前記駆
動手段を制御して、抽出された回路パタン群中の回路パ
タン同士の組み合わせを構成する各回路パタンに前記接
触針を接触させ、前記導通測定手段に導通を測定させる
短絡測定制御ステップとを前記コンピュータに実行させ
るように構成してある。これにより、回路パタン情報受
付ステップで受け付けた回路パタン情報に基づき、面積
関連値測定ステップで被検査基板の全回路パタンの面積
に関連する値が測定され、短絡候補抽出ステップで測定
された面積に関連する値に基づき短絡している可能性の
ある回路パタン群が抽出される。そして、短絡測定ステ
ップで抽出された回路パタン群を中の回路パタン同士の
導通が測定される。このような動作によりやはり、マス
ターデータを用いることなく、測定回数を大幅に減らし
て回路パタンの短絡を検査することができる。
Further, in order to solve the above-mentioned problems, a recording medium according to the present invention is characterized in that two or more contact needles made of a conductor are moved to an arbitrary point on a circuit pattern of a substrate to be inspected by a driving means to make contact. By doing so, a program for controlling a device for measuring a value related to the area of the circuit pattern and conduction between two points contacted by the contact needle with a computer is recorded. Then, the program includes a circuit pattern information receiving step of receiving circuit pattern information relating to a position and a shape of a circuit pattern on the substrate to be inspected, and controlling the driving means based on the received circuit pattern information to make contact with all circuit patterns. An area-related value measurement control step of bringing a needle into contact with the area-related value measuring means to measure a value related to the area, and comparing the values related to the area of all the measured circuit patterns with each other. A short-circuit candidate extraction step of extracting a circuit pattern group having: and controlling the driving means to contact the contact needle with each circuit pattern constituting a combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group, And a short-circuit measurement control step of causing the continuity measuring means to measure continuity. Thereby, based on the circuit pattern information received in the circuit pattern information receiving step, a value related to the area of all the circuit patterns of the inspected board is measured in the area-related value measuring step, and the area measured in the short-circuit candidate extracting step is Circuit patterns that may be short-circuited are extracted based on the associated values. Then, the continuity between circuit patterns in the circuit pattern group extracted in the short-circuit measurement step is measured. By such an operation, the short circuit of the circuit pattern can be inspected without using the master data and by greatly reducing the number of measurements.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図を参照しながら説明する。図1に本プリント基板検
査装置の全体構成を示すブロック図を示す、プリント基
板検査装置は、被検査基板の任意の位置に対し、検査用
の接触針を移動させ接触させる機構部分1、機構部分1
を構成する各種モータを駆動させるモータドライバ5
0、被検査基板の回路パタンの面積に関連する値を測定
する面積関連値測定部60、被検査基板の回路パタンの
導通を測定する導通測定部70、被検査基板の回路パタ
ン情報を記録したフロッピーディスクから回路パタン情
報を読み出すFDドライブ80、各構成部分を制御する
制御部100により構成される。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of the printed circuit board inspection apparatus. The printed circuit board inspection apparatus has a mechanism portion 1 for moving a contact needle for inspection and making contact with an arbitrary position on a substrate to be inspected. 1
Driver 5 for driving various motors constituting the motor
0, an area-related value measuring unit 60 for measuring a value related to the area of the circuit pattern of the substrate to be inspected, a continuity measuring unit 70 for measuring continuity of the circuit pattern of the substrate to be inspected, and circuit pattern information of the substrate to be inspected are recorded. The FD drive 80 reads circuit pattern information from a floppy disk, and the control unit 100 controls each component.

【0010】まず、機構部分1について説明する。図2
に機構部分1を表す斜視図を示す。機構部分1は被検査
基板Xを支持固定する基板保持体41、42、接触針1
1a、12a、これらを保持しかつ基板方向へ移動させ
るプローブ本体11、12、プローブ本体11、12を
保持し基板に対して平行に上下動させるY方向レール2
1、22、Y方向レール21、22を保持し基板に対し
て平行に左右に移動させるX方向レール31、32より
構成される。
First, the mechanism 1 will be described. FIG.
2 is a perspective view showing the mechanism portion 1. FIG. The mechanism part 1 includes substrate holders 41 and 42 for supporting and fixing the substrate X to be inspected, the contact needle 1
1a, 12a, probe bodies 11, 12 for holding these and moving them in the direction of the substrate, and Y-direction rails 2 for holding and vertically moving the probe bodies 11, 12 in parallel to the substrate
1, 22 and X-direction rails 31 and 32 which hold Y-direction rails 21 and 22 and move left and right parallel to the substrate.

【0011】基板保持体41、42はそれぞれ被検査基
板の上下を狭持し、さらに図示しないプリント基板検査
装置本体に固定される。接触針11a、12aは導電体
でできており前記面積関連値測定部60および前記導通
測定部70に接続されている。プローブ本体11、12
は図示しないサーボモータにより保持した接触針11
a、12aを先端がちょうど基板に接触する量だけ移動
させる。Y方向レール21、22ではプローブ支持台2
1b、22bでプローブ本体11、12を支持固定し、
このプローブ支持台21b、22bを、図示しないサー
ボモータにより駆動されるボールネジ21a、22aに
よって上下動させるようになっている。X方向レール3
1、32は、それぞれ左右方向にのびるレール本体およ
び図示しないサーボモータにより駆動されるボールネジ
31a、32aによりY方向レール21、22を保持
し、前記ボールネジ31a、32aのそれぞれがY方向
レール21、22を左右方向に移動させる。なお、プロ
ーブ本体、プローブ支持台、Y方向レールを駆動するモ
ータにはサーボモータの他にリニアモータやステッピン
グモータを用いることができる。
The substrate holders 41 and 42 respectively hold the upper and lower sides of the substrate to be inspected, and are fixed to a printed circuit board inspection apparatus main body (not shown). The contact needles 11a and 12a are made of a conductor and are connected to the area-related value measuring section 60 and the conduction measuring section 70. Probe body 11, 12
Denotes a contact needle 11 held by a servo motor (not shown)
a and 12a are moved by an amount by which the tip just contacts the substrate. In the Y direction rails 21 and 22, the probe support 2
The probe bodies 11 and 12 are supported and fixed by 1b and 22b,
The probe supports 21b and 22b are moved up and down by ball screws 21a and 22a driven by a servo motor (not shown). X direction rail 3
Reference numerals 1 and 32 respectively hold the Y-direction rails 21 and 22 by a rail body extending in the left-right direction and ball screws 31a and 32a driven by a servo motor (not shown). To the left and right. In addition, a linear motor or a stepping motor can be used as a motor for driving the probe main body, the probe support, and the Y-direction rail in addition to the servomotor.

【0012】次に、モータドライバ50、面積関連値測
定部60、導通測定部70について説明する。モータド
ライバ50にはプローブ本体11、12およびY方向レ
ール21、22、X方向レール31、32のサーボモー
タが接続されている。モータドライバ50は制御部10
0からの指示により各サーボモータに所定移動量を達成
するために必要な駆動信号を発信する。このモータドラ
イバ50と各モータにより接触針11a、12bの駆動
手段が構成される。面積関連値測定部60は、ここでは
面積に関連する値として位相差を測定するようにしてい
る。即ち、面積関連値測定部60は接触針11a、12
aに接続されるとともに、被検査基板Xの電源層に接続
され、接触針11a又は12aが回路パタンに接触した
ところで高周波電流を流し、そこで発生する位相を測定
するようにしてある。なお、位相差は静電容量値
(C)、インダクタンス(L)による定まる値である
が、このほかに、やはり高周波電流を流すことにより、
C、Lと抵抗値(R)で定まるインピーダンスを面積に
関連する値として用いてもよい。さらに、Cのみを面積
関連する値とすることもでき、この場合は例えば電源層
と回路パタン間に電圧をかけたときの電流の変化時間を
測定することにより得ることができる。導通測定部70
も接触針11a、12aに接続されており、接触針11
a、12a間に電流を流し、両接触針11a、12aが
接している部分間の抵抗を測定する。これにより、回路
パタン内の断線や、回路パタン間の短絡を検査すること
ができる。
Next, the motor driver 50, the area-related value measuring section 60, and the conduction measuring section 70 will be described. To the motor driver 50, servo motors of the probe bodies 11, 12 and the Y-direction rails 21, 22, and the X-direction rails 31, 32 are connected. The motor driver 50 includes the control unit 10
In response to an instruction from 0, a drive signal necessary for achieving a predetermined movement amount is transmitted to each servomotor. The motor driver 50 and each motor constitute driving means for the contact needles 11a and 12b. Here, the area-related value measuring section 60 measures the phase difference as a value related to the area. That is, the area-related value measuring unit 60 includes the contact needles 11a and 11a.
a, and connected to the power supply layer of the substrate X to be inspected, a high-frequency current flows when the contact needle 11a or 12a comes into contact with the circuit pattern, and the phase generated there is measured. Note that the phase difference is a value determined by the capacitance value (C) and the inductance (L).
An impedance determined by C and L and a resistance value (R) may be used as a value related to the area. Further, only C can be a value related to the area, and in this case, it can be obtained, for example, by measuring a change time of a current when a voltage is applied between the power supply layer and the circuit pattern. Continuity measuring unit 70
Are also connected to the contact needles 11a and 12a.
A current is passed between the contact needles a and 12a, and the resistance between the portions where the contact needles 11a and 12a are in contact is measured. Thereby, disconnection in the circuit pattern and short circuit between the circuit patterns can be inspected.

【0013】続いて、制御部100およびFDドライブ
80について説明する。FDドライブ80は被検査対象
のプリント配線基板の回路パタン情報を入力するために
用いるものであり、具体的には、フロッピーディスクに
記録した回路パタン情報を制御部100からの命令に従
って読み出して制御部100へと送り出す。回路パタン
情報はプリント配線基板のCADデータより得られる回
路パターンの形状及び位置に関するデータ、回路パター
ンの識別子や回路パターン終端部の識別子等が含まれ
る。制御部100はCPU、RAM、ROM等により構
成されており、機能的に回路データ読出部101、回路
データ記憶部102、回路データ受付部103、面積関
連値測定制御部104、短絡候補抽出部105、短絡測
定制御部106により構成される。回路データ読出部1
01はFDドライブ80へ命令し回路パタン情報を読み
出してくる。回路データ記憶部102は、読み出された
回路パタン情報をRAM内に記憶しておく、回路データ
受付部103は必要に応じて記憶された回路パタン情報
を受け付けて、面積関連値測定制御部104へ送出す
る。なお、回路パターン情報は記憶させることなく、F
Dドライブ80から回路データ受付部103が直接受け
付けるようにしてもよい。また、回路パタン情報はFD
ドライブでなく、他の記憶デバイスやキーボード等から
入力されるようにしてもよく、さらに、通信回線等によ
り他のコンピュータ等から直接入力されるようにしても
よい。また、制御部100にはCADデータを直接入力
して、これを解析して必要なデータを抽出するようにす
ることもできる。
Next, the control unit 100 and the FD drive 80 will be described. The FD drive 80 is used for inputting circuit pattern information of a printed wiring board to be inspected. Specifically, the FD drive 80 reads out the circuit pattern information recorded on a floppy disk in accordance with an instruction from the control unit 100 and reads out the circuit pattern information from the control unit 100. Send out to 100. The circuit pattern information includes data relating to the shape and position of the circuit pattern obtained from the CAD data of the printed wiring board, an identifier of the circuit pattern, an identifier of the end portion of the circuit pattern, and the like. The control unit 100 includes a CPU, a RAM, a ROM, and the like, and functionally includes a circuit data reading unit 101, a circuit data storage unit 102, a circuit data reception unit 103, an area-related value measurement control unit 104, and a short-circuit candidate extraction unit 105. And a short-circuit measurement control unit 106. Circuit data reading unit 1
01 instructs the FD drive 80 to read circuit pattern information. The circuit data storage unit 102 stores the read circuit pattern information in the RAM. The circuit data reception unit 103 receives the stored circuit pattern information as necessary, and outputs the area-related value measurement control unit 104. Send to Note that without storing the circuit pattern information,
The circuit data receiving unit 103 may directly receive the data from the D drive 80. The circuit pattern information is FD
Instead of the drive, the data may be input from another storage device, a keyboard, or the like, or may be directly input from another computer or the like via a communication line or the like. Further, the CAD data may be directly input to the control unit 100 and analyzed to extract necessary data.

【0014】面積関連値測定制御部104は、受け付け
た前記回路パタン情報に基づき前記モータドライバ50
を制御して全回路パタンに前記接触針11a、12aを
接触させ、前記面積関連値測定部60に面積に関連する
値として位相差を測定させる。なお、この際、面積関連
値測定制御部104は各接触針11a、12aのそれぞ
れについて、始動時の位置からもっとも近い回路パタン
から順に隣接回路パタンを測定するような移動ルートを
計算し、移動距離がもっとも少なくなるように接触針を
移動させる。これによりより測定時間の短縮化が図られ
る。短絡候補抽出部105は測定した全回路パタンの面
積に関連する値である位相値同士を比較し、所定範囲内
以下の差異を有する回路パタン群を抽出する。言い換え
ると、面積がほとんど同じ回路パタン同士をグループ化
していく。
The area-related value measurement control unit 104 controls the motor driver 50 based on the received circuit pattern information.
Is controlled so that the contact needles 11a and 12a are brought into contact with all the circuit patterns, and the area-related value measuring unit 60 measures the phase difference as a value related to the area. At this time, the area-related value measurement control unit 104 calculates, for each of the contact needles 11a and 12a, a movement route that measures adjacent circuit patterns in order from the circuit pattern closest to the starting position, and moves The contact needle is moved so as to minimize the risk. Thereby, the measurement time can be further reduced. The short-circuit candidate extraction unit 105 compares phase values, which are values related to the measured area of all circuit patterns, to extract a circuit pattern group having a difference within a predetermined range or less. In other words, circuit patterns having almost the same area are grouped.

【0015】短絡測定制御部106は、前記モータドラ
イバ50を制御して、抽出された回路パタン群中の回路
パタンの組み合わせを構成する各回路パタンに前記接触
針11a、12aを接触させ、前記導通測定部70に導
通を測定させる。即ち、短絡候補抽出部105で抽出さ
れた位相がほどんど同じ回路パタン同士は短絡している
可能性があり、逆に、位相が全く異なる回路パタン同士
は短絡していないと言えるので、抽出された位相がほと
んど同じ回路パタン同士のみ導通測定を行い測定回数を
減らしている。なお、短絡測定制御部106では、抽出
された回路パタン群から組み合わせを計算して測定する
回路パタンの組を選びだし、できるだけ各接触針11
a、12aが初期位置から順次隣接する回路パタンを移
動していけるように接触針11a、12aの移動ルート
を決定し、されに測定時間の短縮化を図っている。ま
た、短絡測定制御部106による導通検査が終了する
と、その結果は図示しないモニター、プリンター等の出
力装置に出力される。なお、制御部100は、一般的な
コンピュータに上記機能や下記動作を実現させるプログ
ラムを内蔵することにより実現することも可能であり、
当該プログラムはフロッピーディスク等のコンピュータ
で読み出し可能な記録媒体に記録することもできる。ま
た、当該プログラムはインターネット等の通信手段から
読み出してくるようにすることもできる。
The short-circuit measurement control unit 106 controls the motor driver 50 to bring the contact needles 11a and 12a into contact with each of the circuit patterns constituting the combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group. The measuring unit 70 measures the conduction. That is, there is a possibility that circuit patterns having almost the same phase extracted by the short-circuit candidate extraction unit 105 are short-circuited, and conversely, circuit patterns having completely different phases are not short-circuited. The continuity measurement is performed only for circuit patterns having almost the same phase to reduce the number of measurements. The short-circuit measurement control unit 106 calculates a combination from the extracted circuit pattern group and selects a set of circuit patterns to be measured.
The movement route of the contact needles 11a and 12a is determined so that the a and 12a can sequentially move from the initial position to the adjacent circuit pattern, thereby shortening the measurement time. When the continuity test is completed by the short-circuit measurement control unit 106, the result is output to an output device (not shown) such as a monitor or a printer. The control unit 100 can also be realized by incorporating a program for realizing the above functions and the following operations in a general computer,
The program can be recorded on a computer-readable recording medium such as a floppy disk. Further, the program can be read out from a communication means such as the Internet.

【0016】次に、上記のような構成をもつプリント配
線基板検査装置の動作について説明する。ここでは、被
検査基板Xとして図3に示すようなプリント配線基板に
ついての短絡検査を行うものとする。図4に本プリント
配線基板検査装置の動作を表すフローチャートを示す。
既に、被検査基板Xは機構部分1の基板保持体41、4
2に狭持固定されており、制御部100の回路データ記
憶部102には図3に示すプリント基板の回路パタン情
報が記憶されているものとする。なお、このプリント配
線基板検査装置は、回路パタンの終端間の導通を測定す
ることにより断線測定も行うことができるが、本発明の
動作とはあまり関係がないので説明は省略する。
Next, the operation of the printed wiring board inspection apparatus having the above configuration will be described. Here, it is assumed that a short circuit test is performed on a printed wiring board as shown in FIG. FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the printed wiring board inspection apparatus.
The substrate X to be inspected has already been mounted on the substrate holders 41 and 4 of the mechanism portion 1.
2, and the circuit data storage unit 102 of the control unit 100 stores circuit pattern information of the printed circuit board shown in FIG. The printed circuit board inspection apparatus can also perform a disconnection measurement by measuring the continuity between the ends of the circuit pattern, but the description is omitted because it is not so related to the operation of the present invention.

【0017】この状態で装置の始動指示がなされると、
まず、回路データ受付部103により回路データ記憶部
102に記憶されている回路パタン情報が回路データ受
付部103により受け付けられる(s101)。そし
て、この受け付けた回路パタン情報に基づき面積関連値
測定制御部104により回路パタン情報から接触針11
a、12aの移動距離が最短になるルートが計算される
(s102)。例えば、図3に示すプリント基板であれ
ば、接触針11aは回路パタンe→回路パタンdの順
に、接触針12aは回路パタンa→回路パタンb→回路
パタンcの順に移動するようなルートが計算される。位
相差の測定においては、接触針11a、12aは独立し
て同時に測定ができるので、ここでは測定回数の合計は
3回となる。なお、測定に際しては接触針11a、12
aは回路パタンのどこに接触してもよいので、接触位置
も移動距離を短くするように適当に決定される。
In this state, when an instruction to start the apparatus is issued,
First, the circuit pattern information stored in the circuit data storage unit 102 is received by the circuit data reception unit 103 (s101). Then, based on the received circuit pattern information, the area related value measurement control unit 104 obtains the contact needle 11 from the circuit pattern information.
The route that minimizes the moving distances of a and 12a is calculated (s102). For example, in the case of the printed circuit board shown in FIG. 3, a route is calculated such that the contact needle 11a moves in the order of circuit pattern e → circuit pattern d, and the contact needle 12a moves in the order of circuit pattern a → circuit pattern b → circuit pattern c. Is done. In the measurement of the phase difference, since the contact needles 11a and 12a can be measured independently and simultaneously, the total number of measurements is three here. Note that the contact needles 11a, 12
Since a may be in contact with any part of the circuit pattern, the contact position is appropriately determined so as to shorten the moving distance.

【0018】それから、面積関連値測定制御部104に
より計算されたルートに従って接触針が動かされ、全回
路パタンの位相が測定される(s103)。ここでは、
例えば、回路パタンa:α(rad)、回路パタンb:
β(rad)、回路パタンc:α(rad)、回路パタ
ンd:γ(rad)、回路パタンe:δ(rad)であ
ったとする。次に、短絡候補抽出部105により、測定
された位相が所定範囲内の差である回路パタン群が短絡
候補として抽出される(s104)。ここでは、所定範
囲の値は状況に応じて適宜変更することが可能である。
今の場合、上記の結果より回路パタンaと回路パタンc
の位相が所定範囲内の差であるので、この2つの回路パ
タンよりなる回路パタン群が抽出されることになる。も
し仮に、上記の位相の測定結果において回路パタンeの
測定値がβ(rad)であれば、回路パタンbと同じ値
になるので、回路パタンeと回路パタンbは、上記回路
パタンaと回路パタンcにより構成される回路パタン群
とは別の回路パタン群として抽出される。即ち、短絡候
補抽出部105では位相、言い換えると面積がほぼ同じ
回路パタン同士を一つの群として面積ごとにグループ化
されることになる。
Then, the contact needle is moved according to the route calculated by the area-related value measurement control unit 104, and the phases of all circuit patterns are measured (s103). here,
For example, a circuit pattern a: α (rad), a circuit pattern b:
It is assumed that β (rad), circuit pattern c: α (rad), circuit pattern d: γ (rad), and circuit pattern e: δ (rad). Next, the short circuit candidate extraction unit 105 extracts a circuit pattern group whose measured phase is a difference within a predetermined range as a short circuit candidate (s104). Here, the value in the predetermined range can be appropriately changed according to the situation.
In this case, the circuit pattern a and the circuit pattern c are obtained from the above results.
Is a difference within a predetermined range, a circuit pattern group composed of these two circuit patterns is extracted. If the measured value of the circuit pattern e in the above phase measurement result is β (rad), the circuit pattern e has the same value as the circuit pattern b, so that the circuit pattern e and the circuit pattern b are different from the circuit pattern a and the circuit pattern a. It is extracted as a circuit pattern group different from the circuit pattern group constituted by the pattern c. That is, in the short-circuit candidate extraction unit 105, circuit patterns having almost the same phase, that is, circuit patterns having substantially the same area are grouped as one group.

【0019】短絡候補の回路パタン群の抽出が終わる
と、短絡測定制御部106により回路パタン群を構成す
る回路パタンの組み合わせが計算され、組み合わせを構
成する各回路パタンに接触針11a、12aを接触させ
るための移動ルートが決定される(s105)。今の場
合は抽出されたのは2個の回路パタンよりなる回路パタ
ン群であるので、組み合わせは1通りであり、移動ルー
トも接触位置が最適に定められるとすると一通りに決ま
る。もし、回路パタン群を構成する回路パタンが回路パ
タンa、回路パタンb、回路パタンc、回路パタンdの
4つであったとしたならば、6通りの組み合わせが算出
されることになり、また、接触針11a、12aは2つ
の回路パタンに接触する必要があるので、少なくとも一
方の接触針の移動距離が最小になるように移動ルートが
決定される。
When the extraction of the short-circuit candidate circuit pattern group is completed, the short-circuit measurement control unit 106 calculates a combination of circuit patterns constituting the circuit pattern group, and touches the contact needles 11a and 12a to each circuit pattern constituting the combination. A moving route to be performed is determined (s105). In this case, since the extracted pattern is a circuit pattern group including two circuit patterns, there is only one combination, and the movement route is determined as one if the contact position is optimally determined. If the circuit patterns constituting the circuit pattern group are four, that is, circuit pattern a, circuit pattern b, circuit pattern c, and circuit pattern d, six combinations will be calculated, and Since the contact needles 11a and 12a need to contact two circuit patterns, the movement route is determined so that the movement distance of at least one of the contact needles is minimized.

【0020】続いて、短絡測定制御部106により、抽
出された回路パタン群中の組み合わせを構成する回路パ
タン同士の導通が測定される(s106)。ここでは、
回路パタンaと回路パタンcとの間の導通測定が1回な
されることになる。最後に、測定結果が出力されて処理
は終了する。図3に示すプリント配線基板の回路パタン
の短絡を従来の方法で試験するためには、5×(5−
1)/2=10回の導通測定をする必要があったが、上
記の方法によれば位相測定の3回と導通測定1回の合計
4回で済むことになり測定回数が大幅に減少する。実際
のプリント配線基板で短絡が生じる確率は大変少ないの
で、回路数が大きくなる程この効果は顕著になる。仮
に、N個の回路パタンを持つプリント配線基板において
短絡が生じるか又はプリント配線基板中に同じ面積を持
つ回路パタンがある確率がαであるとすると、短絡候補
として抽出される回路パタン数はN・αで個ある。これ
らから、導通測定を行う回数を計算すると最大でも、N
・α・(N・α−1)/2回で、全体としての測定回数
の合計は、N+N・α・(N・α−1)/2回となる。
ここで、N=100、α=0.05であるとして測定回
数を計算すると、測定回数は112回となる。一方、N
=100のときに従来の方法で測定すると、測定回数は
100×(100−1)/2=4950回となり、大幅
に測定回数が減少することがわかる。また、マスターデ
ータを用いる場合ではN回での測定ですむが、N=10
0としたときを比較すると12回の差しかなく、マスタ
ーデータを作成する労力を考えるとむしろ優れた方法で
あると言える。
Subsequently, the continuity between the circuit patterns constituting the combination in the extracted circuit pattern group is measured by the short-circuit measurement control unit 106 (s106). here,
The continuity measurement between the circuit pattern a and the circuit pattern c is performed once. Finally, the measurement result is output and the process ends. In order to test the short circuit of the circuit pattern of the printed wiring board shown in FIG.
1) / 2 = 10 continuity measurements had to be performed, but according to the above method, only three phase measurements and one continuity measurement were required, for a total of four times, greatly reducing the number of measurements. . Since the probability of a short circuit occurring in an actual printed wiring board is very low, this effect becomes more pronounced as the number of circuits increases. If a short circuit occurs in a printed wiring board having N circuit patterns or the probability that there is a circuit pattern having the same area in the printed wiring board is α, the number of circuit patterns extracted as short circuit candidates is N・ It is α. From these, when the number of continuity measurements is calculated, at most N
Α · (N · α−1) / 2 times, and the total number of times of measurement is N + N · α · (N · α−1) / 2 times.
Here, when the number of measurements is calculated on the assumption that N = 100 and α = 0.05, the number of measurements is 112. On the other hand, N
= 100, the number of measurements is 100 x (100-1) / 2 = 4950, indicating that the number of measurements is greatly reduced. Also, when master data is used, N measurements are required, but N = 10
Compared to the case of 0, there are no more than 12 times, and it can be said that this is a rather excellent method considering the labor for creating master data.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施の形態に係るプリント配線基板測定装置の
構成を示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a printed wiring board measuring device according to an embodiment.

【図2】実施の形態に係るプリント配線基板測定装置の
機構部分を示す斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing a mechanical part of the printed wiring board measuring device according to the embodiment.

【図3】検査されるプリント配線基板の一例を示す図で
ある。
FIG. 3 is a diagram illustrating an example of a printed wiring board to be inspected.

【図4】プリント配線基板測定装置の動作を示すフロー
チャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing an operation of the printed wiring board measuring device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 機構部分 11a、12a 接触針 11、12 プローブ本体 21、22 Y方向レール 31、32 X方向レール 50 モータドライバ 60 面積関連値測定部 70 導通測定部 100 制御部 103 回路データ受付部 104 面積関連値測定制御部 105 短絡候補抽出部 106 短絡測定制御部 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Mechanical part 11a, 12a Contact needle 11, 12 Probe body 21, 22 Y-direction rail 31, 32 X-direction rail 50 Motor driver 60 Area-related value measuring unit 70 Continuity measuring unit 100 Control unit 103 Circuit data receiving unit 104 Area-related value Measurement control unit 105 Short circuit candidate extraction unit 106 Short circuit measurement control unit

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 導電体により構成された二以上の接触針
と、 前記接触針を被検査基板の回路パタン上の任意の点に移
動し接触させる駆動手段と、 前記接触針が接触した回路パタンの面積に関連する値を
測定する面積関連値測定手段と、前記接触針が接触した
2点間の導通を測定する導通測定手段と、被検査基板の
回路パタンの位置及び形状に関する回路パタン情報を受
け付ける回路パタン情報受付手段と、 受け付けた前記回路パタン情報に基づき前記駆動手段を
制御して全回路パタンに前記接触針を接触させ、前記面
積関連値測定手段に面積に関する値を測定させる面積関
連値測定制御手段と、 測定した全回路パタンの面積に関する値同士を比較し、
所定範囲内以下の差異を有する回路パタン群を抽出する
短絡候補抽出手段と、 前記駆動手段を制御して、抽出された回路パタン群中の
回路パタン同士の組み合わせを構成する各回路パタンに
前記接触針を接触させ、前記導通測定手段に導通を測定
させる短絡測定制御手段とを有するプリント配線基板短
絡検査装置。
1. A contact pattern comprising two or more contact needles made of a conductor, a driving unit for moving the contact needle to an arbitrary point on a circuit pattern on a substrate to be inspected and making contact therewith, and a circuit pattern contacted by the contact needle. Area-related value measuring means for measuring a value related to the area of the contact, continuity measuring means for measuring continuity between two points contacted by the contact needle, and circuit pattern information on the position and shape of the circuit pattern on the substrate to be inspected. Circuit pattern information receiving means for receiving, and an area-related value for controlling the driving means based on the received circuit pattern information to bring the contact needle into contact with all circuit patterns and for the area-related value measuring means to measure a value relating to an area Compare the values of the measurement control means with the measured values of the area of all circuit patterns,
A short-circuit candidate extracting unit for extracting a circuit pattern group having a difference within a predetermined range or less; and controlling the driving unit to contact each circuit pattern constituting a combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group. A printed circuit board short-circuit inspection device, comprising: a short-circuit measurement control unit that causes a needle to contact and the continuity measurement unit to measure continuity.
【請求項2】 前記面積関連値測定制御手段および前記
短絡測定制御手段の少なくとも1つが接触針の移動距離
がもっとも少なくなるように前記駆動手段を制御する請
求項1に記載のプリント配線基板短絡検査装置。
2. The printed circuit board short-circuit inspection according to claim 1, wherein at least one of the area-related value measurement control unit and the short-circuit measurement control unit controls the driving unit so that the moving distance of the contact needle is minimized. apparatus.
【請求項3】 被検査基板上の全回路パタンの面積に関
連する値を測定する面積関連値測定ステップと、 測定した面積に関連する値の差異が所定範囲内である回
路パタン群を抽出する短絡候補抽出ステップと、 抽出された回路パタン群中の回路パタン同士の組み合わ
せを構成する各回路パタン間の導通を測定する短絡測定
ステップとを有するプリント配線基板の回路パタン短絡
検査方法。
3. An area-related value measuring step of measuring a value related to an area of all circuit patterns on a substrate to be inspected, and extracting a circuit pattern group in which a difference between the measured area-related values is within a predetermined range. A method for inspecting a short circuit in a printed circuit board, comprising: a short circuit candidate extracting step; and a short circuit measuring step of measuring continuity between circuit patterns constituting a combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group.
【請求項4】 導電体により構成された二以上の接触針
を駆動手段により被検査基板の回路パタン上の任意の点
に移動し接触させることで、回路パタンの面積に関連す
る値および前記接触針が接触した2点間の導通を測定す
る装置をコンピュータにより制御させる当該コンピュー
タに読み出し可能なプログラムを記録した記録媒体であ
って、当該プログラムは、 被検査基板の回路パタンの位置及び形状に関する回路パ
タン情報を受け付ける回路パタン情報受付ステップと、 受け付けた前記回路パタン情報に基づき前記駆動手段を
制御して全回路パタンに前記接触針を接触させ、前記面
積値測定手段に面積に関連する値を測定させる面積関連
値測定制御ステップと、 測定した全回路パタンの面積に関連する値同士を比較
し、所定範囲内以下の差異を有する回路パタン群を抽出
する短絡候補抽出ステップと、 前記駆動手段を制御して、抽出された回路パタン群中の
回路パタン同士の組み合わせを構成する各回路パタンに
前記接触針を接触させ、前記導通測定手段に導通を測定
させる短絡測定制御ステップとを前記コンピュータに実
行させるプログラムである記録媒体。
4. A value relating to the area of a circuit pattern and the contact by moving two or more contact needles made of a conductor to an arbitrary point on a circuit pattern of a substrate to be inspected by a driving means and making contact therewith. A computer-readable storage medium storing a computer-readable program for controlling a device for measuring conduction between two points contacted by a needle, the program comprising a circuit relating to a position and a shape of a circuit pattern of a substrate to be inspected. A circuit pattern information receiving step of receiving pattern information; controlling the driving means based on the received circuit pattern information to bring the contact needle into contact with all circuit patterns; and measuring an area-related value by the area value measuring means. The area-related value measurement control step to be performed and the values related to the area of all the measured circuit patterns are compared with each other. A short-circuit candidate extraction step of extracting a circuit pattern group having a difference, and controlling the driving unit to contact the contact needle with each circuit pattern constituting a combination of the circuit patterns in the extracted circuit pattern group, A recording medium which is a program for causing the computer to execute a short-circuit measurement control step of causing the continuity measuring unit to measure continuity.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013164308A (en) * 2012-02-10 2013-08-22 Hioki Ee Corp Movement route creation device, inspection equipment, and movement route creation method
JP2016114377A (en) * 2014-12-11 2016-06-23 日置電機株式会社 Data creation device and data creation method
JP2016114479A (en) * 2014-12-16 2016-06-23 日置電機株式会社 Data creation device and data creation method

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