JP2000171489A - 電気光学プロ―ブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 金属ピンのプローブヘッドに対する位置を固
定することにより、電気光学プローブの耐衝撃性を向上
させる。 【解決手段】 電気光学素子２６を、プローブ本体の先
端部をなすプローブヘッド部材２４によって、プローブ
本体の先端側から保持し、プローブヘッド部材２４に、
外部から反射膜２８に至る挿入孔３０を形成し、挿入孔
３０に 金属ピン３１を、その一端３１ａが反射膜２８
に接し、他端３１ｃがプローブヘッド部材２４から突出
する状態となるように挿入するとともに、挿入孔３０
を、外部側の径寸法が、反射膜２８側の径寸法に比較し
て大となるように形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定信号によっ
て発生する電界を電気光学結晶に結合させ、この電気光
学結晶に光を入射し、入射光の偏光状態により、被測定
信号の波形を観測する電気光学プローブに関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定信号によって発生する電界を電気
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここでレーザ光をパルス状にし、
被測定信号をサンプリングすると非常に高い時間分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
プローブを用いたのが電気光学サンプリングオシロスコ
ープである。

【０００３】この電気光学サンプリング（Electro Opt
ic Sampling）オシロスコープ（以下「ＥＯＳオシロス
コープ」と略記する）は、電気式プローブを用いた従来
のサンプリングオシロスコープと比較して、 １）信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 ２）電気光学プローブの先端にある金属ピンが回路系か
ら絶縁されているので高入力インピーダンスを実現で
き、その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない ３）光パルスを利用することからＧＨｚオーダーまでの
広帯域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている。

【０００４】ＥＯＳオシロスコープによる信号測定を行
う際に用いられる従来の電気光学プローブ１の構成を図
７により説明する。図７に示す電気光学プローブ１にお
いては、プローブ本体２の先端に、絶縁体からなるプロ
ーブヘッド３が設けられており、この中心に金属ピン３
ａが嵌め込まれている。符号４は、電気光学素子であ
り、金属ピン３ａ側の端面に反射膜４ａが設けられ、金
属ピン３ａに接している。符号５は、1/2波長板であ
り、符号６は、1/4波長板である。符号７，８は、偏光
ビームスプリッタである。符号９は、1/2波長板であ
り、符号１０は、ファラデー素子である。符号１２は、
コリメートレンズであり、符号１３は、レーザダイオー
ドである。符号１４及び１５は、集光レンズであり、符
号１６及び１７は、フォトダイオードである。

【０００５】また、２つの偏光ビームスプリッタ７，
８、1/2波長板９、及びファラデー素子１０は、レーザ
ダイオード１３が出射した光を通過させ、反射膜４ａに
よって反射された光を分離するためのアイソレータ１９
である。

【０００６】次に、図７を参照して、レーザダイオード
１３から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図７において、レーザ光の光路を符号Ａで表す。先ず、
レーザダイオード１３から出射したレーザ光はコリメー
トレンズ１２により平行光に変換され、偏光ビームスプ
リッタ８、ファラデー素子１０、1/2波長板９及び偏光
ビームスプリッタ７を直進し、さらに、1/4波長板６と1
/2波長板５を通って電気光学素子４に入射する。入射し
た光は、金属ピン３ａ側の電気光学素子４の端面に形成
された反射膜４ａにより反射する。

【０００７】反射したレーザ光は、再び1/2波長板５と1
/4波長板６を通り、レーザ光の一部は、偏光ビームスプ
リッタ７により反射され、集光レンズ１４によって集光
されて、フォトダイオード１６へ入射する。一方、偏光
ビームスプリッタ７を透過したレーザ光は、偏光ビーム
スプリッタ８で反射され、集光レンズ１５によって集光
されて、フォトダイオード１７へ入射する。なお、1/2
波長板５と1/4波長板６はフォトダイオード１６とフォ
トダイオード１７とへ入射するレーザ光の強度が同一に
なるように、その光軸に関する回転角が調整される。

【０００８】次に、図７に示した電気光学プローブ１を
用いて、被測定信号を測定する動作について説明する。
金属ピン３ａを、測定点に接触させると、金属ピン３ａ
に加わる電圧によって、電気光学素子４では、その電界
が電気光学素子４へ伝搬し、ポッケルス効果により複屈
折率が変化する現象が起きる。これにより、レーザダイ
オード１３から発せられたレーザ光が電気光学素子４へ
入射して、そのレーザ光が電気光学素子４を伝搬すると
きに光の偏光状態が変化する。そして、この偏光状態が
変化したレーザ光は、反射膜４ａによって反射され、フ
ォトダイオード１６，１７へ集光されて入射し、電気信
号に変換される。

【０００９】測定点の電圧の変化にともなって、電気光
学素子４によって偏光状態の変化がフォトダイオード１
６とフォトダイオード１７の出力差として生じることと
なり、この出力差を検出することによって、金属ピン３
ａに加わる電気信号を測定することができる。なお、以
上説明した電気光学プローブ１において、フォトダイオ
ード１６，１７から得られた電気信号は、電気光学サン
プリングオシロスコープに入力されて、処理されるが、
これに代えて、フォトダイオード１６，１７に、専用コ
ントローラを介してリアルタイム型オシロスコープ等の
従来からある測定器を接続し、信号測定を行うこともで
きる。これにより、電気光学プローブ１を使用して広帯
域測定を簡単に行うことができる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、電気光
学プローブ１を用いた信号測定においては、金属ピン３
ａを測定点に接触させることが必要であるため、この場
合に、金属ピン３ａに衝撃が加わり、その結果、電気光
学素子４に損傷が生じる懸念があった。

【００１１】また、上述の電気光学プローブ１は、レー
ザ光を金属ピン３ａの端部が接触させられた反射膜４ａ
に対して入射し、反射させる構成となっているために、
金属ピン３ａの位置が動くと、反射膜４ａ等の位置もず
れ、光学系としての機能が失われるという問題点があっ
た。

【００１２】本発明は、このような事情に鑑みなされた
ものであり、金属ピンのプローブヘッドに対する位置を
固定することにより、電気光学プローブの耐衝撃性を向
上させることを課題とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明においては以下の手段を採用した。すなわち、
請求項１記載の電気光学プローブは、プローブ本体の内
部における該プローブ本体の基端部側と先端部側との間
に光路が形成され、該光路の前記プローブ本体の基端部
側の一端には、レーザーダイオードが配置され、前記光
路の前記プローブ本体の先端部側の他端には、電気光学
素子が配置され、該電気光学素子の前記プローブ本体の
先端部側の端面には反射膜が形成され、前記レーザダイ
オードから発せられるレーザ光を、前記光路を通じて前
記電気光学素子に入射し、この入射光を前記反射膜によ
って反射し、さらに、この反射光を分離してフォトダイ
オードにより電気信号に変換する構成となっており、前
記電気光学素子は、前記プローブ本体の先端部をなすプ
ローブヘッド部材によって、少なくとも前記プローブ本
体の先端部側から保持され、該プローブヘッド部材に
は、外部から前記反射膜に至る挿入孔が形成され、該挿
入孔には 金属ピンが、その一端が前記反射膜に接し、
他端が前記プローブヘッドから突出する状態で挿入さ
れ、前記挿入孔は、前記外部側の径寸法が、前記反射膜
側の径寸法に比較して大となるように形成されているこ
とを特徴としている。

【００１４】このような構成とされるために、この電気
光学プローブにおいては、挿入孔の形状に合わせて金属
ピンの一端側を形成することにより、金属ピンがプロー
ブヘッド部材に必要以上に嵌入して電気光学素子に損傷
を与えることを防ぐことができる。

【００１５】請求項２記載の電気光学プローブは、請求
項１記載の電気光学プローブであって、前記挿入孔は、
その径寸法が、前記外部側から前記反射膜側に向けて漸
次小となるテーパ形状に形成されていることを特徴とし
ている。

【００１６】請求項３記載の電気光学プローブは、請求
項１記載の電気光学プローブであって、前記挿入孔は、
その内面に、前記外部側から前記反射膜側に向けてその
径寸法が小となる段部が設けられた構成とされているこ
とを特徴としている。

【００１７】請求項４記載の電気光学プローブは、請求
項１から３のいずれかに記載の電気光学プローブであっ
て、前記金属ピンは、その前記一端側が、前記他端側か
ら該一端側に向けて径寸法が小となる径変化部として形
成されていることを特徴としている。

【００１８】請求項５記載の電気光学プローブは、請求
項１から３記載の電気光学プローブであって、前記金属
ピンの前記一端側の端面には、前記金属ピンを直径方向
に貫通するスリットが設けられていることを特徴として
いる。このような構成とされるために、請求項５に係る
電気光学プローブにおいては、金属ピンの一端がプロー
ブヘッド部材に設けられた挿入孔の形状に合わせて変形
することができる。

【００１９】請求項６記載の電気光学プローブは、請求
項１から５のいずれかに記載の電気光学プローブであっ
て、前記挿入孔の前記一端の径寸法は、前記電気光学素
子へ入射される入射光のスポットサイズよりも大である
ことを特徴としている。

【００２０】このような構成とされるために、請求項６
に係る電気光学プローブにおいては、金属ピンと反射膜
との接触面積が確保され、電気光学素子において偏光状
態の変化として表れる電界の変化をレーザ光により良好
に検出できる。

【００２１】請求項７記載の電気光学プローブは、請求
項１から６のいずれかに記載の電気光学プローブであっ
て、前記フォトダイオードおよび前記レーザダイオード
は、電気光学サンプリングオシロスコープに接続され、
前記レーザダイオードは、前記レーザー光を前記電気光
学サンプリングオシロスコープからの制御信号に基づい
てパルス光として発することを特徴としている。

【００２２】請求項８記載の電気光学プローブは、請求
項１から６のいずれかに記載の電気光学プローブであっ
て、前記レーザーダイオードは、前記レーザ光として連
続光を発することを特徴としている。

【００２３】このように、請求項８に係る電気光学プロ
ーブにおいては、レーザーダイオードから連続光を発す
るようにすることにより、フォトダイオードから連続的
な出力を得ることができ、したがって、フォトダイオー
ドを専用コントローラを介してリアルタイム型オシロス
コープなどの従来からある汎用測定器に接続して測定を
行うことも可能となる。

【００２４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に基づいて説明する。図２および図３は、本発明の一
実施の形態を示す電気光学プローブ２１の立断面図およ
び平面図である。この電気光学プローブ２１は、プロー
ブ本体２２の内部に、光路２３が形成された概略構成と
なっている。

【００２５】プローブ本体２２は、その先端部２２ａが
プローブヘッド部材２４によって構成されており、ま
た、その基端部２２ｂには、レーザダイオード２５が収
納されている。レーザダイオード２５は、光路２３にお
けるプローブ本体２２の基端部２２ｂ側の一端２３ａに
位置するとともに、図示略のＥＯＳオシロスコープに対
して接続されている。

【００２６】一方、光路２３におけるプローブ本体２２
の先端部２２ａ側の他端２３ｂには、電気光学素子２６
が配置されている。電気光学素子２６は、プローブヘッ
ド部材２４によって保持されており、電気光学素子２６
のプローブ本体２２の先端部２２ａ側の端面２６ａに
は、反射膜２８が形成されている。

【００２７】図１に、プローブヘッド部材２４およびそ
の近傍を拡大して示す。図中に示すように、プローブヘ
ッド部材２４には、挿入孔３０が形成され、この挿入孔
３０に金属ピン３１の一端３１ａが挿入された構成とな
っている。金属ピン３１は、その一端３１ａ側の端面３
１ｂが反射膜２８に、プローブ本体２２の先端側から接
し、また、その他端３１ｃがプローブヘッド部材２４か
ら突出する構成となっている。なお、金属ピン３１とし
ては、リン青銅にニッケルロジウムでメッキを施したも
のが用いられる。

【００２８】挿入孔３０の形状は、その外部側の端部３
０ａから反射膜２８側の端部３０ｂに向けて、その径寸
法が漸次小となるようなテーパ形状となっている。さら
に、金属ピン３１の一端３１ａ側には、他端３１ｃ側か
ら端面３１ｂに向かってその径寸法が漸次小となるよう
なテーパ部（径変化部）３１ｄが形成されている。テー
パ部３１ｄの径寸法は、挿入孔３０の径寸法よりも若干
大きくなるように形成されており、これにより金属ピン
３１の一端３１ａを挿入孔３０に嵌入固定することがで
きるようになっている。また、金属ピン３１の端面３１
ｂは、その径寸法が、レーザダイオード２５（図２参
照）より出射され反射膜２８（図２参照）に到達するレ
ーザビームのビーム径（入射光のスポットサイズ）より
も大きくなるように形成されている。

【００２９】一方、図２に示すように、光路２３上に
は、図中、右方から順に、コリメートレンズ３３、偏光
ビームスプリッタ３４、ファラデー素子３５、偏光ビー
ムスプリッタ３７、1/4波長板３８が配列されている。
また、光路２３の側方の偏光ビームスプリッタ３４，３
７に対応する位置には、フォトダイオード４１，４２が
設けられている。これらフォトダイオード４１，４２
は、前記ＥＯＳオシロスコープに接続されており、入射
光を電気信号に変換して、ＥＯＳオシロスコープに送信
できるようになっている。

【００３０】また、偏光ビームスプリッタ３４，３７
は、光路２３を通る光の一部を分離してフォトダイオー
ド４１，４２側に反射するアイソレータとして機能する
ものとされている。

【００３１】電気光学プローブ２１を信号測定に用いる
場合には、金属ピン３１の他端３１ｃを測定点に接触さ
せた状態で、ＥＯＳオシロスコープを起動させる。これ
により、ＥＯＳオシロスコープから発せられた制御信号
に基づき、レーザダイオード２５から、レーザ光が出射
され、このレーザ光がコリメートレンズ３３によって平
行光に変換され、光路２３を直進し、電気光学素子２６
に到達する。

【００３２】電気光学素子２６に到達したレーザ光は、
反射膜２８に入射されるとともに、反射されて、光路２
３をレーザダイオード２５側に進行することとなる。こ
のとき、電気光学素子２６は、金属ピン３１を介して伝
搬された測定点の電界の変化により屈折率が変化した状
態となっているために、電気光学素子２６を伝搬する際
に光の偏光状態が変化することとなり、反射光は、偏光
状態が変化した状態で、偏光ビームスプリッタ３４，３
７によって分離され、フォトダイオード４１，４２へ集
光されて入射し、電気信号に変換される。これにより、
レーザ光の偏光状態の変化をフォトダイオード４１，４
２の出力差として検出し、測定点の電気信号を測定する
ことができる。

【００３３】このような信号測定を行った場合、金属ピ
ン３１の他端を測定点に接触させる際に、誤って金属ピ
ン３１に衝撃を作用させたとしても、この電気光学プロ
ーブ２１においては、挿入孔３０がテーパ形状とされ、
さらに、金属ピン３１にもその形状に対応したテーパ部
３１ｄが設けられているために、金属ピン３１がプロー
ブヘッド部材２４に必要以上に嵌入することが無くな
り、電気光学素子２６が損傷したり、あるいは、電気光
学素子２６の位置がずれて、プローブ本体２２内に形成
された光学系が機能しなくなる等の懸念がない。したが
って、この電気光学プローブ２１においては、信号測定
時の耐衝撃性を確保することができる。

【００３４】さらに、この電気光学プローブ２１におい
ては、挿入孔３０の反射膜２８側の端部３０ｂの径寸法
が、レーザダイオード２５から発せられ反射膜２８にま
で到達するレーザービームのビーム径よりも大きいため
に、電気光学素子２６と金属ピン３１との間の接触面積
を、電気光学素子２６の偏光状態の変化を検出するのに
十分な量確保することができ、したがって、上述のよう
に挿入孔３０をテーパ状に形成したとしても、これによ
り、信号測定の検出性能が低下することがない。

【００３５】以上は、本発明の実施の形態の一例である
が、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでな
く、その趣旨を逸脱しない範囲内で、形状、材料等の変
更が可能である。例えば、上記実施の形態において示し
た金属ピン３１の代わりに、図４に示すような金属ピン
４３を使用するようにしてもよい。図４に示す金属ピン
４３は、その一端４３ａ側に金属ピン４３を直径方向に
貫通するスリット４４を設けた構成となっている。

【００３６】このような構成とされることにより、金属
ピン４３は、その一端４３ａが縮径可能となり、上記実
施の形態において示したテーパ形状の挿入孔３０に容易
に嵌入させることができる。この場合、スリット４４の
両側方に位置する突出部４３ｂ，４３ｂ（図４参照）の
反発力により、金属ピン４３の一端４３ａは、挿入孔３
０に良好に固定され、さらに、この場合、金属ピン４３
の他端４３ｃ（図４参照）から衝撃が作用しても、金属
ピン４３が必要以上にプローブヘッド部材２４（図１参
照）に嵌入されることがない。したがって、上記実施の
形態と同様に、耐衝撃性を確保することができる。な
お、このように形成された金属ピン４３を挿入孔３０に
固定する際には、スリット４４を銀ペースト等、導電性
を有する材料で埋め、空間を無くすようにすることが望
ましい。

【００３７】また、この他にも、図５に示す金属ピン４
５のように、一端４５ａに、他端４５ｂ側から一端４５
ａ側にかけて径寸法が小となるような段部（径変化部）
４５ｃを設けたものを採用するようにしても、同様の効
果を得ることができる。なお、この場合、金属ピン４５
が挿入される挿入孔３０の形状は、上記実施の形態のよ
うにテーパ形状のものであってもよいし、あるいは、図
６に示すように、外部側の径寸法が反射膜側の径寸法に
比較して大となるような段部３０ｃを有する形状として
もよい。

【００３８】また、上記実施の形態において、レーザダ
イオード２５から連続光を発するようにすれば、リアル
タイム型オシロスコープ、サンプリングオシロスコー
プ、スペアナ等の従来からある汎用測定器による信号測
定も可能となる。この場合、フォトダイオード４１，４
２に、ＥＯＳオシロスコープに代えて、専用コントロー
ラを介して、リアルタイム型オシロスコープ、サンプリ
ングオシロスコープ、スペクトルアナライザ等を接続す
るようにすればよい。

【００３９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に係る電
気光学プローブは、金属ピンが挿入される挿入孔が、外
部側の径寸法が反射膜側の径寸法に比較して大となるよ
うに形成されるため、この挿入孔の形状に対応させて、
金属ピンの端部を形状を形成するようにすれば、金属ピ
ンがプローブヘッド部材に必要以上に嵌入して電気光学
素子を損傷する等の懸念が無く、耐衝撃性に優れたもの
が実現できる。

【００４０】この場合、請求項２のように、挿入孔の形
状を外部側から反射膜側に向けて漸次小となるようなテ
ーパ形状としてもよく、あるいは、請求項３のように、
挿入孔に、外部側から反射膜側に径寸法が小となるよう
な段部を設けるようにしてもよい。また、これらに対応
させて、請求項４のように、金属ピンの一端に他端側か
ら一端に向けて径寸法が小となるような径変化部を設け
るようにしてもよいし、あるいは、請求項５のように、
金属ピンの一端の端面にスリットを設けて縮径可能とな
るようにし、この一端を挿入孔に嵌入するようにしても
よい。

【００４１】さらに、請求項６のように、挿入孔の一端
の径寸法を電気光学素子に入射される光のスポットサイ
ズより大きくするようにすれば、測定性能を確保するこ
とができる。

【００４２】また、以上の発明において、請求項７のよ
うに、フォトダイオードおよびレーザダイオードを、電
気光学サンプリングオシロスコープに接続し、レーザダ
イオードからレーザー光を電気光学サンプリングオシロ
スコープからの制御信号に基づいてパルス光として発す
るようにすれば、電気光学サンプリングオシロスコープ
による広帯域における高精度な信号測定が可能となる。

【００４３】また、請求項８のように、レーザーダイオ
ードから連続光を発するようにすることにより、フォト
ダイオードから連続的な出力を得ることができ、したが
って、フォトダイオードを専用コントローラを介してリ
アルタイムオシロスコープなどの従来からある汎用測定
器に接続して測定を行うことも可能となり、汎用性が高
い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態を模式的に示す電気光
学プローブの要部拡大立断面図である。

【図２】 図１に示した電気光学プローブの立断面図で
ある。

【図３】 同、平面図である。

【図４】 図１から３に示した電気光学プローブに用い
られる金属ピンの他の例を示す図であって、（ａ）はそ
の側面図、（ｂ）は、（ａ）におけるＩ−Ｉ線矢視断面
図である。

【図５】 同、金属ピンのさらに他の例を示す側面図で
ある。

【図６】 同、プローブヘッド部材の他の例を示す立断
面図である。

【図７】 本発明の従来の技術を模式的に示す電気光学
プローブの概略構成図である。

【符号の説明】

２１ 電気光学プローブ ２２ プローブ本体 ２２ａ 先端部 ２２ｂ 基端部 ２３ 光路 ２３ａ 一端 ２３ｂ 他端 ２４ プローブヘッド部材 ２５ レーザダイオード ２６ 電気光学素子 ２８ 反射膜 ３０ 挿入孔 ３０ａ，３０ｂ 端部 ３０ｃ 段部 ３１，４３，４５ 金属ピン ３１ａ，４３ａ，４５ａ 一端 ３１ｂ 端面 ３１ｃ，４３ｃ，４５ｂ 他端 ３１ｄ テーパ部（径変化部）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 克志 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 八木 敏之 東京都大田区蒲田４丁目19番７号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 品川 満 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 永妻 忠夫 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 山田 順三 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プローブ本体の内部における該プローブ
   本体の基端部側と先端部側との間に光路が形成され、 該光路の前記プローブ本体の基端部側の一端には、レー
   ザーダイオードが配置され、 前記光路の前記プローブ本体の先端部側の他端には、電
   気光学素子が配置され、 該電気光学素子の前記プローブ本体の先端部側の端面に
   は反射膜が形成され、 前記レーザダイオードから発せられるレーザ光を、前記
   光路を通じて前記電気光学素子に入射し、この入射光を
   前記反射膜によって反射し、さらに、この反射光を分離
   してフォトダイオードにより電気信号に変換する構成と
   なっており、 前記電気光学素子は、前記プローブ本体の先端部をなす
   プローブヘッド部材によって、少なくとも前記プローブ
   本体の先端部側から保持され、 該プローブヘッド部材には、外部から前記反射膜に至る
   挿入孔が形成され、 該挿入孔には 金属ピンが、その一端が前記反射膜に接
   し、他端が前記プローブヘッドから突出する状態で挿入
   され、 前記挿入孔は、前記外部側の径寸法が、前記反射膜側の
   径寸法に比較して大となるように形成されていることを
   特徴とする電気光学プローブ。
2. 【請求項２】 請求項１記載の電気光学プローブであっ
   て、 前記挿入孔は、その径寸法が、前記外部側から前記反射
   膜側に向けて漸次小となるテーパ形状に形成されている
   ことを特徴とする電気光学プローブ。
3. 【請求項３】 請求項１記載の電気光学プローブであっ
   て、 前記挿入孔は、その内面に、前記外部側から前記反射膜
   側に向けてその径寸法が小となる段部が設けられた構成
   とされていることを特徴とする電気光学プローブ。
4. 【請求項４】 請求項１から３のいずれかに記載の電気
   光学プローブであって、 前記金属ピンは、その前記一端側が、前記他端側から該
   一端側に向けて径寸法が小となる径変化部として形成さ
   れていることを特徴とする電気光学プローブ。
5. 【請求項５】 請求項１から３のいずれかに記載の電気
   光学プローブであって、 前記金属ピンの前記一端側の端面には、前記金属ピンを
   直径方向に貫通するスリットが設けられていることを特
   徴とする電気光学プローブ。
6. 【請求項６】 請求項１から５のいずれかに記載の電気
   光学プローブであって、 前記挿入孔の前記一端の径寸法は、前記電気光学素子へ
   入射される入射光のスポットサイズよりも大であること
   を特徴とする電気光学プローブ。
7. 【請求項７】 請求項１から６のいずれかに記載の電気
   光学プローブであって、 前記フォトダイオードおよび前記レーザダイオードは、
   電気光学サンプリングオシロスコープに接続され、 前記レーザダイオードは、前記レーザー光を前記電気光
   学サンプリングオシロスコープからの制御信号に基づい
   てパルス光として発することを特徴とする電気光学プロ
   ーブ。
8. 【請求項８】 請求項１から６のいずれかに記載の電気
   光学プローブであって、 前記レーザーダイオードは、前記レーザ光として連続光
   を発することを特徴とする電気光学プローブ。