JP2000162611A - 凝集粒子除去装置 - Google Patents

凝集粒子除去装置

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JP2000162611A
JP2000162611A JP10333953A JP33395398A JP2000162611A JP 2000162611 A JP2000162611 A JP 2000162611A JP 10333953 A JP10333953 A JP 10333953A JP 33395398 A JP33395398 A JP 33395398A JP 2000162611 A JP2000162611 A JP 2000162611A
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Japan
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suction
substrate
particles
suction port
liquid crystal
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JP10333953A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Arai
好宏 新井
Hitoshi Azuma
人士 東
Ryoji Iwamura
亮二 岩村
Nobuaki Nakasu
信昭 中須
Toshiaki Ichinose
敏彰 一ノ瀬
Yasumitsu Fujita
泰光 藤田
Hirotaka Imayama
寛隆 今山
Hiroshi Tsutsumi
弘史 堤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】基板上の凝集粒子を容易に除去し、かつ装置の
構成が簡単な凝集粒子除去装置を提供する。 【解決手段】複数の粒子2を散布した基板1を載置、支
持するXテーブル4と、基板1上の凝集粒子3を吸引除
去する吸引口6を有する吸引部60と、基板1と吸引口
6とを、該吸引口6から凝集粒子3のみ吸引する所定の
距離に維持しつつ、Xテーブル4を吸引部60に対して
X方向に移動させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板面上に散布さ
れた多数の粒子のうち、凝集した粒子を除去する凝集粒
子除去装置に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示装置(すなわち、液晶表示モジ
ュール)は、薄型、軽量という特長と、ブラウン管に匹
敵する高画質という点から、パソコン等の情報処理機器
(OA機器)の表示端末として広く普及し始めている。
【0003】この液晶表示モジュールは、例えば、表示
用の透明電極や配向膜等の積層膜を形成した面が対向す
るように所定の間隙を隔てて2枚のガラス等からなる透
明絶縁基板を重ね合わせ、該両基板間の周縁部に枠状
(ロの字状)に設けた液晶シール材により、両基板を貼
り合わせるとともに、シール材の一部に設けた液晶封入
口から両基板間のシール材の内側に液晶を封止し、さら
に両基板の外側に一定の偏光のみ透過させる偏光板を設
けてなる液晶表示パネル(すなわち、液晶表示素子、L
CD:リキッド クリスタル ディスプレイ(Liquid Crys
tal Display))と、この液晶表示パネルの下に配置さ
れ、面発光を行い液晶表示パネルに光を供給し画像を表
示するための光源となるバックライトと、液晶表示パネ
ルの外周部の外側に配置した駆動用回路基板と、液晶表
示パネルやバックライトを収納、保持するプラスチック
モールドケースと、前記各部材を収納し、表示窓があけ
られた金属製上シールドケースと、金属製下シールドケ
ース等で構成されている。
【0004】なお、液晶表示パネルにおいては、該パネ
ルを構成する2枚の透明ガラス基板間の所定のギャップ
(間隙)を基板全面にわたって均一に保つために、該液
晶表示パネルの製造工程中に、一方の基板の対向平面上
に、例えば小さな球状のガラスビーズ等からなるスペー
サ粒子をドライ散布、あるいはセミドライ散布等の公知
の方法により分散させ、両基板を正確に位置合わせして
重ね合わせ、次いで、一方の基板の対向面の縁周囲に枠
状に塗布したシール材を介して両基板を貼り合わせ、プ
レスしてギャップ出しを行い、加熱硬化させて液晶セル
を作製し、これに液晶をシール材の一部に設けた注入口
から充填した後、注入口を封止材により封止することに
より、液晶表示パネルを得る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、液晶表
示パネルを構成する透明ガラス基板の平面上に、多数の
スペーサ粒子を散布すると、該ガラス基板上でスペーサ
粒子の凝集が生じることがある(以下、これらの粒子を
凝集粒子と称する)。スペーサ粒子の凝集が生じたま
ま、液晶表示パネルを組み立て、表示すると、凝集粒子
が存在する箇所が点欠陥となり、重大な表示不良とな
る。このような液晶表示パネルは不良品として廃棄処分
していたので、製造コストが上昇する問題があった。
【0006】また、このような凝集粒子を除去する装置
が、特開平7−35696号に開示されている。この装
置は、ガラス基板上の凝集粒子の有無を検出し、凝集粒
子が存在する場合は、該凝集粒子のガラス基板上の位置
を認識し、その位置情報に基いて、凝集粒子除去用の吸
引ノズルを該位置に持っていき、凝集粒子を吸引除去す
る構成である。
【0007】しかし、この装置では、凝集粒子の有無を
基板全面にわたって検出する検出手段、凝集粒子の検出
位置の特定手段、該検出位置の情報伝達手段、凝集粒子
吸引除去手段が必要であり、装置が大規模であり、凝集
粒子の除去に要する時間が長いという問題がある。
【0008】本発明の目的は、装置の構成が簡単で、基
板上の凝集粒子を容易に除去できる凝集粒子除去装置を
提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の凝集粒子除去装置は、複数の粒子を散布し
た基板を載置、支持する支持台と、前記基板上の凝集粒
子を吸引除去するための吸引口を有する吸引手段と、前
記支持台上の前記基板と前記吸引口とを、前記吸引口か
ら前記凝集粒子のみ吸引可能な所定の距離に維持しつ
つ、前記支持台、前記吸引手段の少なくとも一方を相対
的に移動させる手段とを具備することを特徴とする。
【0010】また、前記吸引口は、前記凝集粒子が吸引
可能な大きさの複数個の穴を、線状に少なくとも1本配
列してなることを特徴とする。
【0011】また、前記吸引口は、前記凝集粒子が吸引
可能な大きさの複数個の穴を、線状に複数本配列し、か
つ隣接する線状の穴が該線方向に互いにずれて配置して
なることを特徴とする。
【0012】さらに、前記吸引口は、少なくとも1本の
線状の穴であることを特徴とする。
【0013】本発明では、まず、基板支持台上に、複数
の粒子を散布した基板を載置、支持し、凝集粒子の吸引
手段を基板上の極近傍に、基板と非接触で配置し、基板
・吸引手段の少なくとも一方を相対的に移動させる。こ
のとき、吸引手段と基板とは、吸引口から凝集粒子のみ
吸引可能な所定の距離に維持しつつ、基板と吸引口とを
くまなく相対的に移動させる。吸引口は、例えば複数の
小さな穴を線状に1本あるいは複数本配列するか、線状
の穴とする。吸引口は、前記移動中、常にエアーを吸引
していて、吸引口の近くの微小物が吸い込まれるように
なっている。通常、吸引口と基板との距離、および吸引
力は、制御可能になっている。上記の構成により、装置
の構成が簡単で、かつ、複数の粒子を散布した基板上
の、該粒子と凝集粒子とが混在している状態から凝集粒
子のみを容易に除去することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について詳細に説明する。なお、以下で説明する
図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。
【0015】まず、本発明の凝集粒子除去装置による凝
集粒子の除去の対象の一例であるアクティブ・マトリク
ス方式のカラー液晶表示装置について説明する。
【0016】《液晶表示パネルの概要》図7はアクティ
ブ・マトリクス方式カラー液晶表示パネルの一画素とそ
の周辺を示す平面図、図8はマトリクスの画素部を中央
(b)にして(図7の8−8切断線における断面)、左
側(a)にパネル角付近、右側(c)に映像信号駆動回
路が接続される映像信号端子DTM付近の断面を示す図
である。
【0017】図7に示すように、各画素は隣接する2本
の走査信号線(ゲート信号線または水平信号線)GL
と、隣接する2本の映像信号線(ドレイン信号線または
垂直信号線)DLとの交差領域内(4本の信号線で囲ま
れた領域内)に配置されている。各画素は薄膜トランジ
スタTFT、透明画素電極ITO1および保持容量素子
Caddを含む。走査信号線GLは図では左右方向に延在
し、上下方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されてい
る。
【0018】図8に示すように、液晶層LCを基準にし
て下部透明ガラス基板SUB1側には薄膜トランジスタ
TFTおよび透明画素電極ITO1が形成され、上部透
明ガラス基板SUB2側にはカラーフィルタFIL、遮
光用ブラックマトリクスパターンBMが形成されてい
る。透明ガラス基板SUB1、SUB2の両面にはディ
ップ処理等によって形成された酸化シリコン膜SIOが
設けられている。
【0019】上部透明ガラス基板SUB2の内側(液晶
LC側)の表面には、遮光膜BM、カラーフィルタFI
L、保護膜PSV2、共通透明画素電極ITO2(CO
M)および上部配向膜ORI2が順次積層して設けられ
ている。
【0020】なお、図8(b)に示すSPは、液晶表示
パネルPNLを構成する2枚の透明ガラス基板SUB
1、SUB2間の所定のギャップ(間隙)を基板全面に
わたって均一に保持するための、小さな例えば球状のガ
ラス、シリカ、プラスチックのビーズ等からなるスペー
サ粒子である。
【0021】《液晶表示モジュールの全体構成》図9
は、図7、8に示したような液晶表示パネルPNLが組
み込まれるFCA方式液晶表示モジュールMDLの分解
斜視図である。
【0022】SHDは金属板からなるシールドケース
(メタルフレームとも称す)、WDは表示窓、SPC1
〜4は絶縁スペーサ、FPC1、2は折り曲げられた多
層フレキシブル回路基板(FPC1はゲート側回路基
板、FPC2はドレイン側回路基板)、PCBはインタ
ーフェイス回路基板、ASBはアセンブルされた駆動回
路基板付き液晶表示パネル、PNLは重ね合わせた2枚
の透明絶縁基板の一方の基板上に駆動用ICを搭載した
液晶表示パネル(液晶表示素子とも称す)、GC1およ
びGC2はゴムクッション、PRSはプリズムシート
(2枚)、SPSは拡散シート、GLBは導光板、RF
Sは反射シート、MCAは一体成型により形成された下
側ケース(モールドケース)、LPは蛍光管、LPCは
ランプケーブル、LCTはインバータ用の接続コネク
タ、GBは蛍光管LPを支持するゴムブッシュであり、
図に示すような上下の配置関係で各部材が積み重ねられ
て液晶表示モジュールMDLが組み立てられる。
【0023】《液晶表示モジュールMDLを実装した情
報処理装置》図10は図9の液晶表示モジュールMDL
を実装したノートブック型のパソコン、あるいはワープ
ロの斜視図である。
【0024】《スペーサSP》液晶表示パネルPNL
(図8、図9参照)を構成する上下2枚の透明ガラス基
板SUB1、SUB2の各対向面に形成された各配向膜
ORI1、ORI2の間には、図8に示すように、両基
板間の間隔、例えば約5μmを規定する外径約5μmの
スペーサSPが多数配置されている。図8では、1個の
み図示してある。
【0025】図6(a)〜(d)は、一方の透明ガラス
基板SUB2上に、多数のスペーサSPを配置する際の
プロセスの一例を示す概略側面図((d)のみ断面図)
である。
【0026】まず、(a)に示すように、ブラックマト
リクス(図8、図7の符号BM参照)や配向膜(ORI
2)等の所定の膜を形成した透明ガラス基板SUB2
(図8)を平らな支持台BSの上に置く。
【0027】次に、(b)に示すように、透明ガラス基
板SUB2上に、スプレイノズルNZから公知の方法に
より多数の小さな球状のスペーサSPを散布し、(c)
に示すように、透明ガラス基板SUB2上にスペーサS
Pを配置する。
【0028】次に、透明ガラス基板SUB2の上に透明
ガラス基板SUB1を互いの配向膜(図8の符号ORI
1、ORI2参照)が対向するように重ね合わせ、両基
板間の縁周囲に設けたシール材SLにより貼り合わせる
と、多数のスペーサSPがシール材SLの内側の両基板
の間に介在されるので、両基板はスペーサSPにより所
定の間隔が隔てられる。
【0029】このあと、シール材SLの一部にある液晶
封入口(シール材の切欠け部。図示省略)から公知の方
法により両基板間に液晶を封入し、該液晶封入口をエポ
キシ樹脂等の封止材により封止して液晶表示パネルを作
製する。
【0030】実施の形態1 《凝集粒子除去装置》図1は本発明の実施の形態1の凝
集粒子除去装置の概略構成図である。
【0031】本実施の形態は、液晶表示パネル作製用の
基板に、ギャップ規定用スペーサ粒子の凝集粒子を除去
する凝集粒子除去装置に適用した場合である。
【0032】100は凝集粒子除去装置、1は液晶表示
パネル作製用のガラス基板(図8のSUB2、またはS
UB1)、2はガラス基板1の面上に散布されたスペー
サ粒子、3はスペーサ粒子2の凝集した凝集粒子、4は
ガラス基板1を載置、固定支持し、水平面内で1軸(X
軸)方向に移動自在な支持台であるXステージ、60は
凝集粒子2の吸引手段である吸引部、5は吸引板、6は
吸引口、8は吸引ケース、9は密閉空間、7はギャップ
センサ、10は真空配管、11は真空ポンプ、12は矢
印R方向に回転可能な関節部、13は関節部12の駆動
用モータ、14は上下すなわち矢印A方向に移動するス
ライド軸、15はスライド軸14のスライド軸受け、1
6はスライド軸14の駆動用モータ、17は天井板、1
8は柱、19はベースである。
【0033】吸引板5の(図1の左右方向の)幅は、ガ
ラス基板1の幅より大きい。ギャップセンサ7は、ガラ
ス基板1と吸引板5との間のギャップ量を計測するもの
で、図1に示すように、左右1対設けてある。吸引ケー
ス8と吸引板5とで密閉空間9が形成される。密閉空間
9に接続して真空配管10を設け、真空ポンプ11によ
り吸引口6からエアーが吸引されるようになっている。
スライド軸14の駆動用モータ16は、天井板17に固
定され、天井板17は2本の柱18で支持され、柱18
はベース19に固定されている。
【0034】図2(a)は図1に示した多数穴方式の吸
引部60の拡大断面図、(b)は吸引部60の(吸引板
5の)下面図である。
【0035】吸引板5には、図2(b)に示すように、
多数の吸引口6が複数列、ここでは2列に千鳥配置で、
すなわち、隣接する線状に配列される吸引口6が該線方
向に互いにずれて配置されて設けられている。
【0036】図5は、ガラス基板1と吸引板5とのギャ
ップ制御範囲を示す図である。横軸にガラス基板1と吸
引板5との間のギャップを取り、縦軸にスペーサ粒子2
および凝集粒子3の除去率(%)を取って、実験の結果
による両者の関係を示す。
【0037】図5に示すように、ガラス基板1−吸引板
5間のギャップが狭いと、スペーサ粒子2、凝集粒子3
共に吸引する。しかし、ギャップを広げていくと、スペ
ーサ粒子2を除去せず、凝集粒子3のみ除去する範囲
(図5の制御範囲)があり、さらにギャップを大きくす
ると、凝集粒子3も吸引しなくなる。
【0038】このことから、ガラス基板1と吸引板5と
のギャップは、スペーサ粒子2を吸引しなくなるギャッ
プaより大きく、凝集粒子3を吸引しなくなるギャップ
bより小さい範囲とする。すなわち、スペーサ粒子2を
何も吸引除去しないで、凝集粒子3を100%吸引除去
する範囲とする。
【0039】次に、以上のように構成された凝集粒子除
去装置100において、凝集粒子3の除去動作について
説明する。
【0040】まず、スペーサ粒子2を散布した(前述の
図6(c)の状態の)ガラス基板1を、Xステージ4上
の所定の位置に公知の手段により固定する。
【0041】次に、ギャップセンサ7によりガラス基板
1と吸引板5との間のギャップ量を計測しながら、モー
タ16を駆動して吸引部60の吸引板5をガラス基板1
に近付けて、該ギャップが所定の値となる位置で停止さ
せる。停止位置は図5に示した実験の結果により求め
た。
【0042】次に、真空ポンプ11を動作させ、吸引ケ
ース8と吸引板5とで形成された密閉空間9を大気圧以
下にし、吸引口6からエアーが真空吸引される状態にし
ておく。この状態で、Xステージ4をX方向(図1の紙
面に垂直で、該紙面の表から裏への方向)に移動させ、
吸引板5の吸引口6が凝集粒子3に近付くと、凝集粒子
3は吸引口6から吸引される。なお、吸引板5の幅はガ
ラス基板1の幅より大きいので、Xステージ4つまりガ
ラス基板1の移動は、往路のみで吸引板5の下をくまな
く移動することができる。吸引された凝集粒子3は、真
空配管10を通って真空ポンプ1に吸引され、外部に排
出される。排出された凝集粒子3の収集部については図
示省略する。
【0043】なお、Xステージ4の移動中、ギャップセ
ンサ7は常にガラス基板1と吸引板5との間のギャップ
量を計測し、該ギャップが図5に示した制御範囲内にあ
るようにモータ13とモータ16とを動作させる。
【0044】以上のようにして、ガラス基板1の全面に
くまなく吸引板5を近付け、凝集粒子3をあまねく吸引
除去した後、ガラス基板1をXステージ4から取り出
し、次の工程(前述の図6(d))に送る。
【0045】以上の説明から明らかなように、本実施の
形態の凝集粒子除去装置100によれば、ガラス基板1
全面上に多数のスペーサ粒子2が均一に散布された状態
(図6(c)の状態)を保ちながら、凝集粒子3のみを
除去できる。したがって、液晶表示パネル組み立て後、
凝集粒子3は存在しないので、点欠陥等の表示不良の発
生を防止でき、液晶表示装置の表示特性を向上できる。
また、製造工程中、凝集粒子3を除去できるので、製造
歩留りを向上でき、製品コストを低減できる。さらに、
異物除去上も効果が大きい。
【0046】なお、前記実施の形態では、吸引板5(つ
まり吸引部60)を固定して、ガラス基板1を移動させ
たが、ガラス基板1を固定して、吸引板5を移動させる
方式としてもよい。あるいは、吸引板5とガラス基板1
の両方を相対的に移動させてもよい。また、吸引板5の
縦横の大きさをガラス基板1より大きくして、吸引板5
の全面に吸引口6を設け、吸引板5をガラス基板1に近
付けるだけ(吸引板5あるいはガラス基板1を水平面方
向に移動させない)で凝集粒子3を除去する方式にして
もよい。また、吸引板5とガラス基板1とを相対的にく
まなく移動させるのは、複数回重複して行ってもよい。
【0047】実施の形態2 図3(a)は、吸引板5の構成が図2に示したのと異な
る本発明の実施の形態2のスリット方式の吸引部60の
拡大断面図、(b)は吸引部60の(吸引板5bの)下
面図、(c)は吸引口部の拡大断面図である。
【0048】本実施の形態では、吸引口6bが、図3
(a)、(b)に示すように、細長い穴、すなわち、ス
リットとなっている。なお、図3(c)に示すように、
吸引板5bの片側にテーパ50を付けている。このテー
パ50により、スリット状の吸引口6bの場合、吸引口
6bに吸引される気流の流れを良くし、スペーサ粒子2
と凝集粒子3とをより明確に分別吸引することができ
る。その他の構成は、前記実施の形態1と同様で、同様
な効果を奏することができる。
【0049】実施の形態3 図4(a)は、吸引板5の構成が図2、図3に示したの
と異なる本発明の実施の形態3のマルチノズル方式の吸
引部60の拡大断面図、(b)は吸引部60の(吸引板
5cの)下面図、(c)は吸引口部((a)のa部)の拡
大詳細断面図である。
【0050】本実施の形態では、図4(a)〜(c)に
示すように、多数のノズル6cが配列されている。その
他の構成は、前記実施の形態1と同様で、同様な効果を
奏することができる。
【0051】以上本発明を実施の形態に基づいて具体的
に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変
更可能であることは勿論である。例えば、前記実施の形
態では、液晶表示パネル作製用のガラス基板1上に、2
枚のガラス基板のギャップ規定用のスペーサ粒子2を多
数散布した状態で、凝集粒子3のみを除去する場合を示
したが、本発明はこれに限定されず、その他の基板上の
第1の粒子よりも大きい第2の粒子あるいは凝集粒子、
例えばゴミや異物等を除去する場合にも適用可能であ
る。
【0052】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板上に散布した所定の粒子とその凝集粒子とが混在し
た状態から、残存させるべき所定の粒子を除去すること
なく、凝集粒子のみを除去することができる。例えば、
液晶表示パネル作製用の基板上に散布するギャップ規定
用のスペーサ粒子に適用する場合は、スペーサ粒子の凝
集粒子のみを除去できるので、該凝集粒子に起因する表
示画面上の点欠陥の発生を防止し、表示品質と製造歩留
りを向上でき、製品コストを低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の凝集粒子除去装置の概
略構成図である。
【図2】(a)は図1に示した多数穴方式の吸引部60
の拡大断面図、(b)は吸引部60の吸引板5の下面図
である。
【図3】(a)は本発明の実施の形態2のスリット方式
の吸引部60の拡大断面図、(b)は吸引部60の吸引
板5bの下面図、(c)は吸引口部の拡大断面図であ
る。
【図4】(a)は本発明の実施の形態3のマルチノズル
方式の吸引部60の拡大断面図、(b)は吸引部60の
吸引板5cの下面図、(c)は吸引口部((a)のa部)
の拡大詳細断面図である。
【図5】ガラス基板1と吸引板5との間のギャップと、
スペーサ粒子2および凝集粒子3の除去率(%)との実
験結果による関係を示す図である。
【図6】(a)〜(d)は、透明ガラス基板上に、スペ
ーサを配置する際のプロセスの一例を示す概略側面図
((d)のみ断面図)である。
【図7】本発明による凝集粒子の除去の対象の一例であ
るアクティブ・マトリクス方式カラー液晶表示パネルの
1画素とその周辺を示す要部平面図である。
【図8】図7のマトリクスの画素部を中央にして
(b)、左側(a)にパネル角付近、右側(c)に映像
信号駆動回路が接続される映像信号端子付近の断面を示
す図である。
【図9】アクティブ・マトリクス・FCA方式液晶表示
モジュールの分解斜視図である。
【図10】図9の液晶表示モジュールを実装したノート
ブック型のパソコンあるいはワープロの斜視図である。
【符号の説明】
1…ガラス基板、2…スペーサ粒子、3…凝集粒子、4
…Xステージ(支持台)、5…吸引板、6…吸引口、7
…ギャップセンサ、8…吸引ケース、9…密閉空間、1
0…真空配管、11…真空ポンプ、12…関節部、13
…関節部駆動用モータ、14…スライド軸、15…スラ
イド軸受け、16…スライド軸駆動用モータ、17…天
井板、18…柱、19…ベース、60…吸引部、100
…凝集粒子除去装置、5b、5c…吸引板、6b、6c
…吸引口、50…テーパ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岩村 亮二 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 中須 信昭 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 一ノ瀬 敏彰 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所生産技術研究所内 (72)発明者 藤田 泰光 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 今山 寛隆 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 堤 弘史 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 Fターム(参考) 2H088 FA02 FA10 FA30 HA08 HA12 HA14 HA28 MA17 2H089 LA07 NA09 NA60 QA14 TA09 TA12 TA13 TA18

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数の粒子を散布した基板を載置、支持す
    る支持台と、 前記基板上の凝集粒子を吸引除去するための吸引口を有
    する吸引手段と、 前記支持台上の前記基板と前記吸引口とを、前記吸引口
    から前記凝集粒子のみ吸引可能な所定の距離に維持しつ
    つ、前記支持台、前記吸引手段の少なくとも一方を相対
    的に移動させる手段とを具備することを特徴とする凝集
    粒子除去装置。
  2. 【請求項2】前記吸引口は、前記凝集粒子が吸引可能な
    大きさの複数個の穴を、線状に少なくとも1本配列して
    なることを特徴とする請求項1記載の凝集粒子除去装
    置。
  3. 【請求項3】前記吸引口は、前記凝集粒子が吸引可能な
    大きさの複数個の穴を、線状に複数本配列し、かつ隣接
    する線状の穴が該線方向に互いにずれて配置してなるこ
    とを特徴とする請求項1記載の凝集粒子除去装置。
  4. 【請求項4】前記吸引口は、少なくとも1本の線状の穴
    であることを特徴とする請求項1記載の凝集粒子除去装
    置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003107488A (ja) * 2001-09-27 2003-04-09 Shibaura Mechatronics Corp スペーサ散布装置及びスペーサ散布方法
JP2020030287A (ja) * 2018-08-21 2020-02-27 大日本印刷株式会社 調光ユニット、調光部材及び調光ユニットの製造方法

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